JP3410398B2 - 電力増幅モジュール - Google Patents

電力増幅モジュール

Info

Publication number
JP3410398B2
JP3410398B2 JP24053199A JP24053199A JP3410398B2 JP 3410398 B2 JP3410398 B2 JP 3410398B2 JP 24053199 A JP24053199 A JP 24053199A JP 24053199 A JP24053199 A JP 24053199A JP 3410398 B2 JP3410398 B2 JP 3410398B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
power amplification
metal block
amplification module
semiconductor chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP24053199A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001068615A (ja
Inventor
誠志 高原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP24053199A priority Critical patent/JP3410398B2/ja
Publication of JP2001068615A publication Critical patent/JP2001068615A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3410398B2 publication Critical patent/JP3410398B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance
    • H01L2924/30111Impedance matching

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話などの通
信機器に用いられる電力増幅モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、携帯電話をはじめとする通信機器
の普及により、マイクロ波帯の電力増幅モジュールの需
要が高まっている。この種の電力増幅モジュールは、例
えば、National Technical Report Vol. 42 No.1 Feb.1
966 の第101頁〜109頁に記載されているよう
に、基板に、電力増幅用半導体チップ及び受動回路部品
を搭載して、モジュール化した構造を有する。このよう
に、この種の電力増幅用モジュールは、電力増幅用半導
体チップ及び前記半導体とチップを用いた高周波電力増
幅回路から構成されるので、通信機に用いられる部品の
中で、最も電力消費量の多い部品であり、放熱性が極め
て重要な技術的改善項目になる。
【0003】具体的には、半導体チップには、数百mA
から1.5A程度の電流が流れるため、発熱する。発生
した熱を何らかの放熱手段によって放散しないと、半導
体のチャネル温度の上昇につながり、オン抵抗が上昇
し、熱暴走に至り、ひいては、半導体チップが破損す
る。
【0004】電力増幅モジュールにおける放熱性を改善
する手段として、上記文献には、基板として、熱伝導の
良好な窒化アルミニウムを用いる方法、及び、アルミナ
基板にキャビティを設け、キャビティ内において、基板
の面上に半導体チップを搭載する方法を開示している。
【0005】しかし、基板として、窒化アルミニウム基
板を用いる方法は、同文献にも記載されているように、
基板価格が高いという難点がある。
【0006】アルミナ基板にキャビティを設け、キャビ
ティ内において、基板の面上に半導体チップを搭載する
方法は、窒化アルミニウム基板を用いる方法の難点を解
消しようとするものである。
【0007】しかし、アルミナ基板は、所詮、誘電体材
料であるため、放熱性は、銅などの金属には、遠く及ば
ない。これを補う手段として、誘電体層の厚みを極力薄
くするなどの工夫がなされていたが、この場合には、基
板の構成が複雑になるばかりでなく、基板材質や構造が
限定されることにもなる。そして、基板材質や構造が限
定される関係上、形状の小型化が進展するにつれて、半
導体チップの放熱性能に限界も生じることになる。
【0008】しかも、キャビティ内にワイヤーボンディ
ング実装用の段差を設けなければならないため、基板の
構成が複雑になる。更に、キャビティ内で半導体チップ
のボンディング作業を行う必要があるため、実装作業性
が悪い等の問題点も生じる。
【0009】別の放熱性改善手段として、キャビティ内
において半導体チップを支持する基板に、ビアホール
(放熱用貫通孔)を設ける構造も知られているが、十分
な放熱性を確保することができない。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、シン
プルな構成で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを提
供することである。
【0011】本発明のもう一つの課題は、形状が小型
で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを提供すること
である。
【0012】本発明の更にもう一つの課題は、実装組立
が容易で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを提供す
ることである。
【0013】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る電力増幅モジュールは、少なくとも
1枚の基板と、半導体チップと、金属ブロックとを含
む。
【0014】前記基板は、面内に切り抜き部を有してお
り、前記金属ブロックは、前記基板の前記切り抜き部内
に配置されている。前記半導体チップは、前記金属ブロ
ックの表面に実装されている。
【0015】上述したように、本発明に係る電力増幅モ
ジュールでは、半導体チップが金属ブロックの表面に実
装されているから、半導体チップに発生した熱を、金属
ブロックを通して放熱できる。金属ブロックは、アルミ
ナ等と比較して、著しく熱伝導度の優れた金属材料を用
いて構成され得る。このため、放熱性の極めて優れた電
力増幅モジュールが得られる。
【0016】しかも、基板は面内に切り抜き部を有して
おり、金属ブロックはこの基板の切り抜き部内に配置さ
れている。このため、シンプルな構成で、放熱性に優れ
た電力増幅モジュールを得ることができる。また、金属
ブロックを基板の切り抜き部内に配置し、金属ブロック
の表面に半導体チップを実装する構造であるので、実装
組立が容易である。
【0017】更に、金属ブロックの表面を、基板の表面
と位置合わせすることが容易であり、半導体チップのボ
ンディング作業を、段差のない表面で行うことができる
ため、実装作業が極めて容易になる。
【0018】具体的な一態様として、基板は、金属ブロ
ックの表面と対向する面側に、誘電体層を有していても
よい。この場合、前記誘電体層は、少なくとも一面側に
導体パターンを有し、前記導体パターンは前記誘電体層
よりも厚い構成とする。この構造によれば、誘電体層に
よる放熱性の影響を限りなく小さくするとともに、薄型
化を図ることができる。
【0019】更に別の態様として、金属ケースを含み、
前記金属ケースを、前記金属ブロックの前記表面と対向
する面側で、前記金属ブロックに熱結合させてもよい。
この場合には、金属ケースを含む放熱体を構成し、放熱
特性を一層改善することができる。
【0020】本発明の他の目的、構成及び利点について
は、実施例である添付図面を参照して更に具体的に説明
する。図は、単なる例示に過ぎない。
【0021】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る電力増幅モジ
ュールの電気回路図である。図1に図示された電気回路
は、携帯電話を含む各種の通信機器において、マイクロ
波帯の電力増幅モジュールとして周知のものである。但
し、図1は単なる例示に過ぎず、本発明に係る電力増幅
モジュールが、図1に示される回路に限定されるもので
ないことは言うまでもない。
【0022】図1において、FET1、FET2は2段
電力増幅回路を構成する。入力端子Pinから供給され
た入力信号は、コンデンサC2及びインピーダンス素子
Z1を通って、FET1のゲートに供給される。コンデ
ンサC2及びインピーダンス素子Z1は、入信号ライン
のインピ−ダンス(50Ω)と、インピーダンス整合を
とる整合回路を構成する。FET1によって電力増幅さ
れた信号は、インピーダンス素子Z2、コンデンサC
5、コンデンサC6及びインピーダンス素子Z3で構成
されたインピーダンス整合回路を通って、FET2のゲ
ートに供給される。FET2によって電力増幅された信
号は、インピーダンス素子Z4、コンデンサC9及びイ
ンピーダンス素子C10によって構成されたインピーダ
ンス制御回路を通して、出力端子Poutに導かれ、出
力端子Poutから出力される。
【0023】FET1のゲートには、抵抗R1〜R3及
びコンデンサC1、C3による回路が接続されている。
抵抗R1、R2は一端が互いに接続され、抵抗R1の他
端が第1の直流電源Vggに接続され、抵抗R2の他端
が接地されている。抵抗R3は、抵抗R1及び抵抗R2
の接続点と、FET1のゲートとの間に接続されてい
る。これらの抵抗R1〜R3はFET1のためのバイア
ス回路を構成する。
【0024】コンデンサC1は一端が第1の電源端子V
ggに接続され、他端が接地されている。コンデンサC
3は一端が抵抗R1、R2、R3の接続点に接続され、
他端が接地されている。
【0025】FET1のドレインにはインピーダンス素
子Z6の一端が接続されている。インピーダンス素子Z
6の他端は、第2の電源端子Vd1に接続されている。
インピーダンス素子Z6の他端には、コンデンサC4の
一端が接続されている。コンデンサC4の他端は接地さ
れている。
【0026】FET2のゲートには、抵抗R4〜R6及
びコンデンサC7による回路が接続されている。抵抗R
4、R5は一端が互いに接続されている。抵抗R4の他
端は第1の電源端子Vggに接続され、抵抗R5の他端
は接地されている。抵抗R6は、抵抗R4及び抵抗R5
の接続点と、FET2のゲートとの間に接続されてい
る。これらの抵抗R4〜R6はFET2のためのバイア
ス回路を構成する。コンデンサC7は一端が抵抗R4〜
R6の接続点に接続され、他端が接地されている。
【0027】FET2のドレインにはインピーダンス素
子Z7の一端が接続されている。インピーダンス素子Z
7の他端は、第3の電源端子Vd2に接続されている。
インピーダンス素子Z7の他端には、コンデンサC8の
一端が接続されている。コンデンサC8の他端は接地さ
れている。
【0028】インピーダンス素子Z1〜Z7はストリッ
プラインで構成され、高周波に対するインダクタンス成
分として働く。
【0029】図1の回路図において、FET1及びFE
T2による電力増幅度は、第1の電源端子Vgg、第2
の電源端子Vd1及び第3の電源端子Vd2に印加され
る電圧により制御される。この時、FET1及びFET
2には、数百mAから1.5A程度の電流が流されるた
め、発熱する。発生した熱を何らかの放熱手段によって
放散しないと、半導体のチャネル温度の上昇につなが
り、オン抵抗が上昇し、熱暴走に至り、終には、半導体
が破損する。本発明は、FET1及びFET2に発生し
た熱を効率よく放熱できる構造を持つ電力増幅モジュー
ルを開示する。
【0030】図2は図1に示した電気回路図で示された
電力増幅モジュールにおいて、本発明を適用した具体的
実装例を示す図、図3は図2の3ー3線に沿った部分断
面図である。図2、図3において、図1に示された回路
構成部分に対応する部分については、図1と同じ参照符
号を付してある。図示実施例の電力増幅モジュールは、
基板1と、半導体チップ3と、金属ブロック5とを含
む。
【0031】基板1は、面内に切り抜き部7を有してい
る。図示実施例において、基板1は第1の誘電体基板1
1、第2の誘電体基板12及び第3の誘電体基板13を
積層した構成となっている。基板1は互いに独立する第
1〜第3の誘電体基板11〜13を順次に積層して接着
してもよいし、あるいは、連続塗布法によって、第1〜
第3の誘電体基板11〜13を構成する誘電体層、及
び、必要な導体パターンを積層することによって形成し
てもよい。第1〜第3の誘電体基板11〜13は有機系
誘電体材料またはセラミック誘電体材料の何れで構成し
てもよい。
【0032】第1〜第3の誘電体基板11〜13のそれ
ぞれは、切り抜き部7を有しており、積層された状態
で、各切り抜き部7が同一位置で重なり、実質的に連続
する1つの切り抜き部7を構成している。
【0033】第1〜第3の誘電体基板11〜13は、図
1に示された回路図に含まれる回路部品のうち、受動回
路部品を搭載し、かつ、受動回路部品を必要な回路構成
となるように接続する。回路部品の配置については、特
に限定はないが、採用し得る一例を次に示す。例えば、
第1の誘電体基板11の表面(上面)に、図1におい
て、バイアス回路を構成する回路素子の一部、及び、イ
ンピーダンス整合回路を構成する回路素子を搭載する。
具体的には、抵抗R1〜R6及びコンデンサC1〜C1
0、インピーダンス素子Z1〜Z7等である。これらの
回路部品は、チップ部品で構成し、第1の誘電体基板1
1の表面に予め形成された導体パターン14に対して、
半田付け等の手段によって取り付けることができる。ま
たは、これらの回路部品の一部は、第1の誘電体基板1
1の表面に形成された導体パターンによって構成しても
よい。
【0034】第2の誘電体基板12において、第1の誘
電体基板11の下面と接合される表面に、GNDパター
ン及びバイアス回路の一部となる導体パターン15を形
成することができる。
【0035】また、第3の誘電体基板13において、第
2の誘電体基板12の下面と接合される表面には、FE
T1、2のバイアス回路の一部16を形成する。また、
第3の誘電体基板13の下面にはGNDパタ−ン17を
形成する。
【0036】基板1には、所定の適切な位置に、任意数
のスルーホール21、22が設けられている。スルーホ
ール21は、その内部に充填された導体により、例え
ば、第1の誘電体基板11の表面に形成された導体パタ
ーン14、第2の誘電体基板12に形成された導体パタ
ーン15及び第3の誘電体基板13の下面に形成された
導体パターン17を電気的に接続するために使用され
る。スルーホール22は、その内部に充填された導体に
より、例えば、第1の誘電体基板11の表面に形成され
た導体パターン14及び第3の誘電体基板13の上面に
形成された導体パターン16を電気的に接続するために
使用される。
【0037】金属ブロック5は、基板1の前記切り抜き
部7の内部に配置されている。金属ブロック5は、熱伝
導性の良好な金属材料、例えば、銅または銅合金等によ
って構成することができる。金属ブロック5の形状は任
意である。この実施例では、金属ブロック5は、基板1
の厚みとほぼ同じ厚みを有するとともに、切り抜き部7
に嵌り込むような外形形状を有する。金属ブロック5の
表面は、基板1の表面とほぼ一致している。
【0038】半導体チップ3は、金属ブロック5の表面
に実装されている。半導体チップ3は、図1において、
電力増幅用として用いられるFET1及びFET2を含
み、基板1の一部に設けられた金属ブロック5上に銀ペ
−ストなどの接着剤を介して接合されている。
【0039】半導体チップ3の電極は、ワイヤーボンデ
ィング18により、基板1の表面上に実装されたリ−ド
フレーム19上に接続され、1層目や3層目の整合回
路、バイアス回路へ接続される。また、半導体チップ3
は、その信頼性確保のため、封止用樹脂20により、封
止された状態で実装される。封止用樹脂20は、リ−ド
フレーム19の段差により部品実装エリアに流出しない
ようにすることが好ましい。
【0040】基板1には、信号入力用端子Pin、信号
出力用端子Pout、接地端子GND及び第1〜第3の
電源端子Vgg、Vd1、Vd2等が側面電極の形態で
付与される。
【0041】上述したように、本発明に係る電力増幅モ
ジュールでは、半導体チップ3が金属ブロック5の表面
に実装されているから、半導体チップ3に発生した熱
を、金属ブロック5を通して放熱できる。金属ブロック
5は、アルミナ等と比較して、著しく熱伝導度の優れた
金属材料を用いて構成され得る。このため、放熱性の極
めて優れた電力増幅モジュールが得られる。
【0042】しかも、基板1は面内に切り抜き部7を有
しており、金属ブロック5はこの基板1の切り抜き部7
内に配置する構造である。このため、シンプルな構成
で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを得ることがで
きる。
【0043】また、金属ブロック5を基板1の切り抜き
部7内に配置し、金属ブロック5の表面に半導体チップ
3を実装する構造であるので、実装組立が容易である。
【0044】更に、金属ブロック5の表面を、基板1の
表面と位置合わせすることが容易であり、半導体チップ
3のボンディング作業を、段差のない表面で行うことが
できる。このため、実装作業が極めて容易になる。
【0045】図4は図2、図3に示した電力増幅モジュ
ールの使用状態を示す図である。電力増幅モジュール1
00はシステム基板(マザーボード)200の上に接合
等の手段によって搭載されている。接合手段としては、
例えば、銀ペースト等を用いることができる。システム
基板200の接合面は、熱伝導性の良好な金属によって
構成することができる。
【0046】半導体チップ3に発生した熱は、金属ブロ
ック5を通して、システム基板200に伝達され、シス
テム基板200を通して外部に放散される。
【0047】図5は本発明の電力増幅モジュールの別の
実施例を示す。図において、図1〜4に現れた構成部分
と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して
ある。図示実施例において、金属ブロック5は、第3の
誘電体基板(誘電体層)13の上面に設けられた導体パ
ターン16の上に、銀ペ一ストなどの接着材を介して実
装される。従って、金属ブロック5は第3の誘電体基板
13によって支持される。
【0048】第3の誘電体基板13の上面に形成された
導体パターン16、及び、下面に形成された導体パター
ン17は、その膜厚t2が、第3の誘電体基板13の厚
みt1と同等以上の厚みとなるようにしてある。例え
ば、図5に示す実施例において、導体パターン16、1
7の膜厚t2=70μmに対して、第3の誘電体基板1
3の厚みt1=60μmのように設定する。
【0049】更に、第3の誘電体基板13は、金属ブロ
ック5の直下に、任意数、及び、任意大きさのサーマル
ビア23、24を有する。
【0050】金属ブロック5から導体パターン16ヘ伝
えられた熱は、金属ブロック5の直下に設けられたサー
マルビア23、24を介して導体パターン17ヘ伝えら
れ、モジュール外部へ放熱されるので、導体パターン1
6、17の厚みt2、及び、第3の誘電体基板13の厚
みt1の関係を、t1≦t2のように選定することによ
り、第3の誘電体基板13による放熱性の影響を限りな
く小さくできる。特に、パタ−ン厚みt2を大きくし、
誘電体層厚t1を小さくすることにより、誘電体による
放熱性の影響を限りなく小さくできる。
【0051】導体パターン16、17の材料には、熱伝
導性の高い銅や金などの金属材料を用いることは容易に
可能であるので、結果として、半導体チップ3からの熱
は、効率良く、外部へ放熱される。
【0052】導体パターン17は、全面電極とすること
ができる。この場合には、導体パターン17をシステム
基板に半田付けできるので、外部への放熱性をより一層
高めることができる。
【0053】図6にまた別の本発明における電力増幅モ
ジュールの構成図を示す。図6に示す例は、図3に示す
実施例を逆さまに構成した形態であり、最上面に金属ケ
ース9が配置され、金属ケース9は金属ブロック5と銀
ペ−ストや半田により接続される。基板1の下端部は、
側面電極の形成のため、部品搭載面より、ある幅で突出
した形態となる。
【0054】半導体チップ3から発生した熱は、金属ブ
ロック5を伝わり、金属ケース9をへて、金属ケース9
の上部の空気中へ伝わる。この熱伝導経路は、熱が下側
から上方向に向かう自然な経路である。このため、放熱
特性が更に改善される。
【0055】また、放熱用金属ケ−ス9は、接地端子G
NDによりシステム基板200に半田付けされるので、
放熱用金属ケース9で受けた熱は、システム基板200
へも放熱される。これによっても、放熱が促進される。
【0056】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 (a)シンプルな構成で、放熱性に優れた電力増幅モジ
ュールを提供することができる。 (b)形状が小型で、放熱性に優れた電力増幅モジュー
ルを提供することができる。 (c)実装組立が容易で、放熱性に優れた電力増幅モジ
ュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電力増幅モジュールの電気回路図
である。
【図2】図1に示した電気回路図で示された電力増幅モ
ジュールにおいて、本発明を適用した具体的実装例を示
す図である。
【図3】図2の3ー3線に沿った部分断面図である。
【図4】図2、図3に示した電力増幅モジュールの使用
状態を示す図である。
【図5】本発明に係る電力増幅モジュールの別の実施例
を示す部分断面図である。
【図6】本発明に係る電力増幅モジュールの別の実施例
を示す部分断面図である。
【符号の説明】
1 基板 3 半導体チップ 5 金属ブロック 7 切り抜き部

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1枚の基板と、半導体チップ
    と、金属ブロックとを含む電力増幅モジュールであっ
    て、 前記基板は、面内に切り抜き部を有しており、 前記金属ブロックは、前記基板の前記切り抜き部内に配
    置されており、 前記半導体チップは、前記金属ブロックの表面に実装さ
    れており、更に、 前記基板は、前記金属ブロックの前記表面と対向する面
    側に備えられた誘電体層を含んでおり、 前記誘電体層は、少なくとも一面側に導体パターンを有
    しており、前記導体パターンは、前記誘電体層よりも厚
    電力増幅モジュール。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載された電力増幅モジュー
    ルであって、 更に、金属ケースを含み、 前記金属ケースは、前記金属ブロックの前記表面と対向
    する面側で、前記金属ブロックに熱結合する電力増幅モ
    ジュール。
JP24053199A 1999-08-26 1999-08-26 電力増幅モジュール Expired - Lifetime JP3410398B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24053199A JP3410398B2 (ja) 1999-08-26 1999-08-26 電力増幅モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24053199A JP3410398B2 (ja) 1999-08-26 1999-08-26 電力増幅モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001068615A JP2001068615A (ja) 2001-03-16
JP3410398B2 true JP3410398B2 (ja) 2003-05-26

Family

ID=17060924

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24053199A Expired - Lifetime JP3410398B2 (ja) 1999-08-26 1999-08-26 電力増幅モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3410398B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4720162B2 (ja) * 2004-12-02 2011-07-13 株式会社村田製作所 電子部品装置
JP5227716B2 (ja) * 2008-09-28 2013-07-03 古河電気工業株式会社 発熱部品搭載回路基板
WO2013065316A1 (ja) * 2011-11-02 2013-05-10 富士電機株式会社 電力変換器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001068615A (ja) 2001-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100839067B1 (ko) 전자 회로 모듈과 그 제조 방법
KR100197187B1 (ko) 고주파전력 증폭회로장치
JP2950290B2 (ja) 高周波集積回路装置およびその製造方法
KR100367936B1 (ko) 적층체를구비한고주파집적회로장치
JP3426842B2 (ja) 高周波用電力増幅器
US20060171130A1 (en) Semiconductor module
US6158116A (en) Radio frequency module and method for fabricating the radio frequency module
JP2003197835A (ja) 電力増幅モジュール及び電力増幅モジュール用要素集合体
US20080019108A1 (en) Power Amplifier
JP3578366B2 (ja) 混成集積回路装置
JP3515854B2 (ja) 高周波電力増幅回路装置
JP3410398B2 (ja) 電力増幅モジュール
JP2001127237A (ja) 高周波モジュール
JP3396541B2 (ja) 混成集積回路装置を搭載した回路基板
JP2003229521A (ja) 半導体モジュール及びその製造方法
US6624703B1 (en) Terminal arrangement for an electrical device
JPH05167218A (ja) 電力増幅器の実装構造
JP2004047866A (ja) 半導体装置
JPH0746007A (ja) 電力用基板および高周波用電力増幅器
JP3510813B2 (ja) ハイブリッドモジュール
JPH10308471A (ja) 混成集積回路装置およびその製造方法
JP2583507B2 (ja) 半導体実装回路装置
JP2879503B2 (ja) 面実装型電子回路装置
JP2005051062A (ja) 半導体装置
JPH02122549A (ja) 混成集積回路基板

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030305

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3410398

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090320

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100320

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110320

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120320

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120320

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130320

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140320

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term