JP3410280B2 - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
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- JP3410280B2 JP3410280B2 JP05253896A JP5253896A JP3410280B2 JP 3410280 B2 JP3410280 B2 JP 3410280B2 JP 05253896 A JP05253896 A JP 05253896A JP 5253896 A JP5253896 A JP 5253896A JP 3410280 B2 JP3410280 B2 JP 3410280B2
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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- Wire Bonding (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＴＡＢテープのイ
ンナーリードのような、長さ方向に垂直な方向に平行に
配列した複数の直線状のパターンの曲りを検査する装置
に関する。
ンナーリードのような、長さ方向に垂直な方向に平行に
配列した複数の直線状のパターンの曲りを検査する装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】リー
ド線の曲りを検査する必要があるものとして、図６に示
すように、リード線２の片側が解放されているものや、
図７に示すように、リード線２の両側が基板１によって
保持されているものがある。特に、ＴＡＢ用のインナー
リードは、図６のように、片持ちになっており、先端が
曲がり（なびき）やすい。
ド線の曲りを検査する必要があるものとして、図６に示
すように、リード線２の片側が解放されているものや、
図７に示すように、リード線２の両側が基板１によって
保持されているものがある。特に、ＴＡＢ用のインナー
リードは、図６のように、片持ちになっており、先端が
曲がり（なびき）やすい。
【０００３】従来、このようなリード線の曲りの検査は
目視検査を中心に行なわれている。しかし、これによれ
ば、検査員によって検査基準や計測値が変動し、定量的
な評価を行なうことができないという問題がある。ま
た、インナーリードの曲りの検査では、１０μｍ程度の
曲りを検出することが要求される。したがって、自動計
測を行なうために、インナーリードの画像データを２値
化処理するとなると、高分解能かつ複数視野による計測
が必要となる。またしたがって、装置構成が複雑とな
り、処理速度も遅くなってしまう。
目視検査を中心に行なわれている。しかし、これによれ
ば、検査員によって検査基準や計測値が変動し、定量的
な評価を行なうことができないという問題がある。ま
た、インナーリードの曲りの検査では、１０μｍ程度の
曲りを検出することが要求される。したがって、自動計
測を行なうために、インナーリードの画像データを２値
化処理するとなると、高分解能かつ複数視野による計測
が必要となる。またしたがって、装置構成が複雑とな
り、処理速度も遅くなってしまう。
【０００４】そこで本発明の目的は、簡便な構成で高速
に処理できる、パターンの曲りの検査装置を提供するこ
とにある。
に処理できる、パターンの曲りの検査装置を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のパターン検査装置は、長さ方向に垂直な方向に
平行配列された複数の直線状のパターンの曲りを検査す
る装置であって、前記長さ方向において位置が異なる第
１および第２の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に垂
直な第１および第２のライン上における前記直線状パタ
ーンの第１および第２の画像データを光電変換により取
得するデータ取得手段と、この第１および第２の画像デ
ータの差に基づいて前記直線状パターンの曲りを検出す
るデータ処理手段とを具備し、前記データ処理手段は、
前記第１および第２の画像データの濃度の前記第１およ
び第２のライン方向の位置ｘに対する変化をsin 2 ｘで近
似し、これら双方の変化の間の位相差δと濃度差との間
に成り立つ関係を利用して前記曲りの検出を行うもので
あることを特徴とする。前記パターンとしては、例えば
ＴＡＢテープのインナーリードのパターンが該当する。
本発明のパターン検査装置は、長さ方向に垂直な方向に
平行配列された複数の直線状のパターンの曲りを検査す
る装置であって、前記長さ方向において位置が異なる第
１および第２の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に垂
直な第１および第２のライン上における前記直線状パタ
ーンの第１および第２の画像データを光電変換により取
得するデータ取得手段と、この第１および第２の画像デ
ータの差に基づいて前記直線状パターンの曲りを検出す
るデータ処理手段とを具備し、前記データ処理手段は、
前記第１および第２の画像データの濃度の前記第１およ
び第２のライン方向の位置ｘに対する変化をsin 2 ｘで近
似し、これら双方の変化の間の位相差δと濃度差との間
に成り立つ関係を利用して前記曲りの検出を行うもので
あることを特徴とする。前記パターンとしては、例えば
ＴＡＢテープのインナーリードのパターンが該当する。
【０００６】また、前記位相差δと濃度差との間に成り
立つ関係がsin2ｘ−sin2（ｘ−δ）で表されるとよい。
立つ関係がsin2ｘ−sin2（ｘ−δ）で表されるとよい。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
るパターン検査装置を示す概略図である。この検査装置
は、ＴＡＢ用のインナーリードの曲り（なびき、変形
等）の有無を検査するものである。インナーリードは、
図２に示すように、ＴＡＢテープ１上において、長さ方
向に垂直な方向に平行に配列された複数の直線状のリー
ド２のパターンを有している。本検査装置は、図１およ
び２に示すように、リード２の長さ方向において位置が
異なる第１および第２の点をそれぞれ通りかつリード２
の長さ方向に垂直な第１および第２のライン３、５上に
おけるリード２の第１および第２の画像データを光電変
換により取得するデータ取得手段と、この第１および第
２の画像データの差に基づいてリード２の曲りの有無を
判定するための画像処理装置７とを備える。データ取得
手段は、ＴＡＢテープ１上を照明する照明手段９と、こ
れによって照明されたＴＡＢテープ１上のインナーリー
ドを撮影するＴＶカメラ１１とを有する。照明手段９の
代わりに、ＴＡＢテープ１を下面から透過光により照明
する照明手段１３を用いてもよく、あるいは両方を交互
に用い、反射光および透過光の双方により検査してもよ
い。
るパターン検査装置を示す概略図である。この検査装置
は、ＴＡＢ用のインナーリードの曲り（なびき、変形
等）の有無を検査するものである。インナーリードは、
図２に示すように、ＴＡＢテープ１上において、長さ方
向に垂直な方向に平行に配列された複数の直線状のリー
ド２のパターンを有している。本検査装置は、図１およ
び２に示すように、リード２の長さ方向において位置が
異なる第１および第２の点をそれぞれ通りかつリード２
の長さ方向に垂直な第１および第２のライン３、５上に
おけるリード２の第１および第２の画像データを光電変
換により取得するデータ取得手段と、この第１および第
２の画像データの差に基づいてリード２の曲りの有無を
判定するための画像処理装置７とを備える。データ取得
手段は、ＴＡＢテープ１上を照明する照明手段９と、こ
れによって照明されたＴＡＢテープ１上のインナーリー
ドを撮影するＴＶカメラ１１とを有する。照明手段９の
代わりに、ＴＡＢテープ１を下面から透過光により照明
する照明手段１３を用いてもよく、あるいは両方を交互
に用い、反射光および透過光の双方により検査してもよ
い。
【０００８】また、ＴＶカメラ１１のかわりに複数のラ
インセンサを配置してもよい。あるいは１本のラインセ
ンサを有し、ＴＡＢテープを動かしながら検査してもよ
い。
インセンサを配置してもよい。あるいは１本のラインセ
ンサを有し、ＴＡＢテープを動かしながら検査してもよ
い。
【０００９】この構成において、ＴＶカメラ１１を介し
て得られるインナーリードの画像データは、画像処理装
置７によって取り込まれる。画像処理装置７は、この画
像データから、図２（ａ）に示すようなライン３および
５のそれぞれに沿った、図２（ｂ）および（ｃ）にそれ
ぞれ示すような強度プロファイルを得、さらにこれらの
差分信号（同図（ｄ））を得る。このとき、インナーリ
ード中に曲ったリード２ａがある場合は、その部分に対
応して、差分信号においては、図２（ｄ）に示すよう
に、強度の強い部分と弱い部分とが隣接した部分Ｂが現
れる。また、先端が細くなったリード２ｂがある場合
は、差分信号は、リード２ｂの両端部分において強度が
弱くなる。したがって、画像処理装置７は、差分信号に
おいて、一定の強度Ｌ１以上、あるいは一定の強度Ｌ２
以下の部分があるか否かを調べることにより、リードの
曲りや先細り等の異状の存在を検出することができる。
て得られるインナーリードの画像データは、画像処理装
置７によって取り込まれる。画像処理装置７は、この画
像データから、図２（ａ）に示すようなライン３および
５のそれぞれに沿った、図２（ｂ）および（ｃ）にそれ
ぞれ示すような強度プロファイルを得、さらにこれらの
差分信号（同図（ｄ））を得る。このとき、インナーリ
ード中に曲ったリード２ａがある場合は、その部分に対
応して、差分信号においては、図２（ｄ）に示すよう
に、強度の強い部分と弱い部分とが隣接した部分Ｂが現
れる。また、先端が細くなったリード２ｂがある場合
は、差分信号は、リード２ｂの両端部分において強度が
弱くなる。したがって、画像処理装置７は、差分信号に
おいて、一定の強度Ｌ１以上、あるいは一定の強度Ｌ２
以下の部分があるか否かを調べることにより、リードの
曲りや先細り等の異状の存在を検出することができる。
【００１０】次に、画像データにおけるライン３および
５に沿った方向の位置ｘに対する濃度変化がsin2ｘで近
似できる場合について説明する。ここでは、リード２の
配列ピッチは９０μｍ、この長さに対応する、画像デー
タにおける画素数は７、リード２の線幅は４５μｍ、こ
れに対応する画素数は３．５である。この場合、ライン
３または５に沿った濃度変化は例えば図３に示すような
ものとなる。このようなライン３および５に沿った濃度
変化をsin2ｘで近似し、両者間の位相差をδとすれば、
濃度差は、sin2ｘ−sin2（ｘ−δ）＝sin2ｘ−cos2（ｘ
−δ＋π／２）＝−cos （２ｘ−δ＋π／２）× cos
（δ−π／２）＝−cos （２ｘ−δ＋π／２）× sinδ
となる。したがって、濃度差の最大値は、位相差δに応
じて変動することがわかる。この関係を図４に示す。画
像処理装置７はこの位相差δと濃度差との間に成り立つ
関係を利用して前記判定を行う。
５に沿った方向の位置ｘに対する濃度変化がsin2ｘで近
似できる場合について説明する。ここでは、リード２の
配列ピッチは９０μｍ、この長さに対応する、画像デー
タにおける画素数は７、リード２の線幅は４５μｍ、こ
れに対応する画素数は３．５である。この場合、ライン
３または５に沿った濃度変化は例えば図３に示すような
ものとなる。このようなライン３および５に沿った濃度
変化をsin2ｘで近似し、両者間の位相差をδとすれば、
濃度差は、sin2ｘ−sin2（ｘ−δ）＝sin2ｘ−cos2（ｘ
−δ＋π／２）＝−cos （２ｘ−δ＋π／２）× cos
（δ−π／２）＝−cos （２ｘ−δ＋π／２）× sinδ
となる。したがって、濃度差の最大値は、位相差δに応
じて変動することがわかる。この関係を図４に示す。画
像処理装置７はこの位相差δと濃度差との間に成り立つ
関係を利用して前記判定を行う。
【００１１】例えば、リード２が線幅の１／４曲ること
は、位相がπ／８ずれることを意味する。したがって、
線幅の１／４以上の曲りを異常と判定するとすれば、位
相差δがπ／８のときの濃度差の最大値 sin（π／８）
＝０．３８３以上の濃度差があった場合に、異常である
と判定すれば良い。
は、位相がπ／８ずれることを意味する。したがって、
線幅の１／４以上の曲りを異常と判定するとすれば、位
相差δがπ／８のときの濃度差の最大値 sin（π／８）
＝０．３８３以上の濃度差があった場合に、異常である
と判定すれば良い。
【００１２】濃度変化をsin2ｘで近似していたので、実
際には、例えばリード２上の画素データの濃度を２０
０、バックグラウンドの濃度を３０とすれば、位相差δ
がπ／８のときの濃度差の最大値は（２００−３０）×
sin（π／８）＝６５．０６であるから、この値を閾値
とする。そして、図５に示すような、画像データのライ
ン３および５にそれぞれ沿った各画素の濃度の差におい
て、この閾値を超える部分があるとすれば、その部分の
リード線はライン３および５間で線幅の１／４以上曲っ
ていると判定することができる。
際には、例えばリード２上の画素データの濃度を２０
０、バックグラウンドの濃度を３０とすれば、位相差δ
がπ／８のときの濃度差の最大値は（２００−３０）×
sin（π／８）＝６５．０６であるから、この値を閾値
とする。そして、図５に示すような、画像データのライ
ン３および５にそれぞれ沿った各画素の濃度の差におい
て、この閾値を超える部分があるとすれば、その部分の
リード線はライン３および５間で線幅の１／４以上曲っ
ていると判定することができる。
【００１３】このように、ライン３および５に沿った濃
度変化をsin2ｘで近似し、これら双方の変化の間の位相
差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して曲りの検
出を行うことにより、低分解能（１５〜２０μｍ／ピク
セル）による広い視野（１０〜１５ｍｍ角）により、ま
た高速かつ簡単な構成により、ＴＡＢ用のインナーリー
ドの曲りの検査を行なうことができる。
度変化をsin2ｘで近似し、これら双方の変化の間の位相
差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して曲りの検
出を行うことにより、低分解能（１５〜２０μｍ／ピク
セル）による広い視野（１０〜１５ｍｍ角）により、ま
た高速かつ簡単な構成により、ＴＡＢ用のインナーリー
ドの曲りの検査を行なうことができる。
【００１４】なお、この例では第１および第２のライン
として、ライン３および５の２本のラインしか用いてい
ないが、より多くのラインを用い、それら各ライン間で
濃度を比較することにより、曲りの程度をさらに詳細に
検査することができる。
として、ライン３および５の２本のラインしか用いてい
ないが、より多くのラインを用い、それら各ライン間で
濃度を比較することにより、曲りの程度をさらに詳細に
検査することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、第
１および第２のライン上における画像データの差に基づ
いて直線状パターンの曲りを検出するようにしたため、
二値化等の処理量の多い画像処理を必要とすることな
く、高速に検査を行なうことができる。
１および第２のライン上における画像データの差に基づ
いて直線状パターンの曲りを検出するようにしたため、
二値化等の処理量の多い画像処理を必要とすることな
く、高速に検査を行なうことができる。
【００１６】また、画像データの濃度の第１および第２
のラインに沿った変化をsin2ｘで近似し、これら変化の
間の位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して
曲りの検出を行うことにより、低分解能による広い視野
により、したがってさらに高速かつ簡単な構成により、
検査を行なうことができる。
のラインに沿った変化をsin2ｘで近似し、これら変化の
間の位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して
曲りの検出を行うことにより、低分解能による広い視野
により、したがってさらに高速かつ簡単な構成により、
検査を行なうことができる。
【図１】 本発明の一実施形態に係るパターン検査装置
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図２】 図１の装置における動作を説明するための図
である。
である。
【図３】 図１の装置において処理される濃度データを
示す図である。
示す図である。
【図４】 図１の装置において、濃度差の最大値が位相
差δに応じて変動する様子を示すグラフである。
差δに応じて変動する様子を示すグラフである。
【図５】 図１の装置により実際に曲りを検査する場合
の濃度差を示すグラフである。
の濃度差を示すグラフである。
【図６】 リード線の片側が解放されている場合を示す
模式図である。
模式図である。
【図７】 リード線の両側が基板によって保持されてい
る場合を示す図である。
る場合を示す図である。
１：ＴＡＢテープ、２：リード、３：第１のライン、
５：第２のライン、７：画像処理装置、９：照明手段、
１１：ＴＶカメラ、１３：照明手段。
５：第２のライン、７：画像処理装置、９：照明手段、
１１：ＴＶカメラ、１３：照明手段。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−272931（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−306026（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−129110（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−286834（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−160057（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−301551（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/255
H01L 21/66
Claims (2)
- 【請求項１】 長さ方向に垂直な方向に平行配列された
複数の直線状のパターンの曲りを検査する装置であっ
て、 前記長さ方向において位置が異なる第１および第２の点
をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に垂直な第１および第
２のライン上における前記直線状パターンの第１および
第２の画像データを光電変換により取得するデータ取得
手段と、 この第１および第２の画像データの差に基づいて前記直
線状パターンの曲りを検出するデータ処理手段とを具備
し、 前記データ処理手段は、前記第１および第２の画像デー
タの濃度の前記第１ および第２のライン方向の位置ｘに
対する変化をsin 2 ｘで近似し、これら双方の変化の間の
位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して前記
曲りの検出を行うものであることを特徴とするパターン
検査装置。 - 【請求項２】 前記パターンはＴＡＢテープのインナー
リードのパターンであることを特徴とする請求項１に記
載のパターン検査装置。 【請求項３】 前記位相差δと濃度差との間に成り立つ
関係がsin2ｘ−sin2（ｘ−δ）で表されることを特徴と
する請求項１または２に記載のパターン検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05253896A JP3410280B2 (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置 |
| US08/794,394 US5995216A (en) | 1996-02-16 | 1997-02-06 | Pattern inspection apparatus |
| KR1019970004590A KR100268975B1 (ko) | 1996-02-16 | 1997-02-15 | 패턴검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05253896A JP3410280B2 (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09222315A JPH09222315A (ja) | 1997-08-26 |
| JP3410280B2 true JP3410280B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=12917560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05253896A Expired - Fee Related JP3410280B2 (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5995216A (ja) |
| JP (1) | JP3410280B2 (ja) |
| KR (1) | KR100268975B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG42307A1 (en) * | 1996-01-09 | 1997-08-15 | Peng Seng Toh | Measurement and inspection of leads on integrated circuit packages |
| KR100820917B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2008-04-10 | 스템코 주식회사 | 연성인쇄회로기판의 외관 검사 장치 및 방법 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5490084A (en) * | 1987-06-01 | 1996-02-06 | Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting bent leads in electronic components |
| JP2885443B2 (ja) * | 1989-10-25 | 1999-04-26 | 株式会社東芝 | フラットパッケージ集積回路のリード検査装置 |
| US5113565A (en) * | 1990-07-06 | 1992-05-19 | International Business Machines Corp. | Apparatus and method for inspection and alignment of semiconductor chips and conductive lead frames |
| JPH05152405A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-18 | Fujitsu Ltd | 外観検査装置 |
| US5452368A (en) * | 1993-08-02 | 1995-09-19 | Motorola, Inc. | Method of detecting defects in semiconductor package leads |
| US5648853A (en) * | 1993-12-09 | 1997-07-15 | Robotic Vision Systems, Inc. | System for inspecting pin grid arrays |
| US5617209A (en) * | 1995-04-27 | 1997-04-01 | View Engineering, Inc. | Method and system for triangulation-based, 3-D imaging utilizing an angled scaning beam of radiant energy |
-
1996
- 1996-02-16 JP JP05253896A patent/JP3410280B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-02-06 US US08/794,394 patent/US5995216A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-15 KR KR1019970004590A patent/KR100268975B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100268975B1 (ko) | 2000-12-01 |
| KR970063622A (ko) | 1997-09-12 |
| JPH09222315A (ja) | 1997-08-26 |
| US5995216A (en) | 1999-11-30 |
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