JP3408445B2 - ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ、ダイヤモンドカッタ調整装置、および、ダイヤモンドカッタの調整方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハを
個々の半導体素子に分離するスクライブ法で用いるダイ
ヤモンドカッタ取り付けホルダ,ダイヤモンドカッタ調
整装置およびダイヤモンドカッタの調整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ダイヤモンドカッタは、スクライ
ブ装置(図示せず)における取り外し不可能なダイヤモン
ドカッタ取り付けホルダに取り付けられている。図８
は、ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１に、ダイヤモ
ンドカッタ２が取り付けられた状態を示す図である。ま
た、図９は、ダイヤモンドカッタ２でスクライブ傷が入
れられたウェハ３を顕微鏡で見た模式図である。以下、
図８および図９に従って、従来のダイヤモンドカッタの
カッティングポイント位置合わせ方法について説明す
る。

【０００３】すなわち、図８に示すように、上記スクラ
イブ装置の取り外し不可能なダイヤモンドカッタ取り付
けホルダ１に、ダイヤモンドカッタ２が取り付けられた
状態で、図９に示すように、鏡面ウェハ３にスクライブ
傷４を入れ、このスクライブ傷４の状態を顕微鏡で確認
する。そして、歪みのない奇麗なスクライブ傷４aが得
られるように、ダイヤモンドカッタ２の取り付け位置を
調整するのである。

【０００４】ここで、図９において、スクライブ傷４a
は良好なスクライブ傷である。これに対して、スクライ
ブ傷４bは図中左側に歪み５bがあり、スクライブ傷４c
は右側に歪み５cがある。両歪み５b,５c共に、ダイヤモ
ンドカッタ２のカッティングポイントの位置ずれによっ
て発生している。このような歪み５b,５cを有するスク
ライブ傷４b,４cが入った場合には、オペレーターの経
験と勘とに基づいて、ダイヤモンドカッタ２の刃出し量
や取り付け角度やカッティングポイントの左右へのずれ
を調整するのである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記カッテ
ィングポイントの位置がずれた状態のダイヤモンドカッ
タ２によってスクライブを行うと、歪み５b,５cのある
スクライブ傷４b,４cとなり、ウェハ３の表面のみにス
クライブ傷４が入ってしまう。そして、この状態で素子
分離を行っても、艮好な形状の半導体素子を得ることは
できないため、ダイヤモンドカッタ２のカッティングポ
イントの位置合わせを行うのである。

【０００６】上記従来のカッティングポイントの位置合
わせにおいては、鏡面ウェハ３を用い、この鏡面ウェハ
３にスクライブ傷４を入れ、その後のスクライブ傷４の
状態を顕微鏡で確認する。こうして、カッティングポイ
ントの左右への振れおよび位置ずれを判断し、ダイヤモ
ンドカッタ２の取り付け位置の調整を繰り返し行うこと
で、ダイヤモンドカッタ２の位置合わせを行うのであ
る。

【０００７】ところが、このような従来の位置合わせ方
法においては、ダイヤモンドカッタ２のカッティングポ
イントの位置ずれを、スクライブ装置から取り外し不可
能なダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１にダイヤモン
ドカッタ２が取り付けられた状態で、間接的に鏡面ウェ
ハ３のスクライブ傷４を見て判断している。したがっ
て、正確なカッティングポイントの位置合わせができな
いばかりか、オペレータの熟練と勘が必要であり、非常
に時間を要する作業であるという問題がある。

【０００８】そこで、この発明の目的は、カッティング
ポイントの位置合わせを極めて簡単に短時間に且つ正確
にでき、半導体素子への分割率を向上できるダイヤモン
ドカッタ取り付けホルダと、このダイヤモンドカッタ取
り付けホルダが装着されるダイヤモンドカッタ調整装置
と、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダおよびダイ
ヤモンドカッタ調整装置を用いたダイヤモンドカッタの
調整方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、スクライブ時に使用される
ダイヤモンドカッタを先端部に取り付け保持するダイヤ
モンドカッタ取り付けホルダであって、スクライブ装置
と、このスクライブ装置とは別体に構成されたダイヤモ
ンドカッタ調整装置との夫々に、着脱可能になっている
ことを特徴としている。

【００１０】上記構成によれば、ダイヤモンドカッタの
刃出し量,取り付け角度およびカッティングポイント位
置合わせ等の調整が、上記スクライブ装置から切り離し
て操作性よく短時間に行われる。

【００１１】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
係る発明のダイヤモンドカッタ取り付けホルダにおい
て、上記ダイヤモンドカッタは、本ダイヤモンドカッタ
取り付けホルダに対する取り付け位置および角度が変更
可能に取り付けられていることを特徴としている。

【００１２】上記構成によれば、上記ダイヤモンドカッ
タは、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダに取り付
けられた状態で、操作性良く取り付け位置および角度を
変更することが可能になる。

【００１３】また、請求項３に係る発明は、請求項２に
係る発明のダイヤモンドカッタ取り付けホルダにおい
て、上記スクライブ装置に取り付け装着される際に、上
記スクライブ装置の取り付け基準面と互いに当接する取
り付け基準面を備えていることを特徴としている。

【００１４】上記構成によれば、本ダイヤモンドカッタ
取り付けホルダの上記スクライブ装置に対する装着が、
互いの取り付け基準面を当接して行われる。したがっ
て、上記スクライブ装置に対する本ダイヤモンドカッタ
取り付けホルダの取り付け状態を、常に同じ状態にする
ことが可能になる。

【００１５】また、請求項４に係る発明は、請求項３に
係る発明のダイヤモンドカッタ取り付けホルダが装着さ
れて,上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダの先端部
に取り付け保持されているダイヤモンドカッタを調整す
るダイヤモンドカッタ調整装置であって、上記装着され
たダイヤモンドカッタ取り付けホルダに対する上記ダイ
ヤモンドカッタの刃出し量を設定する刃出し量設定手段
と、上記装着されたダイヤモンドカッタ取り付けホルダ
に対する上記ダイヤモンドカッタの取り付け角度を設定
する取付角度設定手段を備えたことを特徴としている。

【００１６】上記構成によれば、上記スクライブ装置か
ら切り離された状態で、上記ダイヤモンドカッタの刃出
し量と取り付け角度とが設定される。こうして、上記刃
出し量および取り付け角度の設定が操作性よく短時間に
行われる。

【００１７】また、請求項５に係る発明は、請求項４に
係る発明のダイヤモンドカッタ調整装置において、上記
ダイヤモンドカッタのカッティングポイントの拡大像を
得る顕微鏡を備えており、上記顕微鏡には,その視野内
における所定位置に見えるカッティングポイント位置合
わせ用マーカーが設けられていることを特徴としてい
る。

【００１８】上記構成によれば、上記スクライブ装置か
ら切り離された状態で、顕微鏡視野内のマーカーとカッ
ティングポイントとの位置を合わせるだけの簡単な操作
でカッティングポイント位置合わせが行われる。こうし
て、上記カッティングポイント位置合わせが、カッティ
ングポイントを直接確認することによって、熟練と勘と
に因らずに、簡単に短時間に且つ正確に行われる。

【００１９】また、請求項６に係る発明は、請求項４に
係る発明のダイヤモンドカッタ調整装置において、上記
ダイヤモンドカッタ取り付けホルダが装着された際に,
上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダの上記取り付け
基準面に当接する取り付け基準面を有しており、上記ダ
イヤモンドカッタ取り付けホルダは,上記両取り付け基
準面が互いに当接されて固定されることによって装着さ
れるようになっていることを特徴としている。

【００２０】上記構成によれば、上記ダイヤモンドカッ
タ取り付けホルダの本ダイヤモンドカッタ調整装置およ
びスクライブ装置に対する装着が互いの取り付け基準面
を当接して行われる。したがって、本ダイヤモンドカッ
タ調整装置に装着されて設定された上記ダイヤモンドカ
ッタのダイヤモンドカッタ取り付けホルダに対する刃出
し量,取り付け角度およびカッティングポイント位置合
わせ等の関係が、上記スクライブ装置に装着されても同
じに保たれる。こうして、上記ダイヤモンドカッタの調
整の容易性と調整の正確性とが両立される。

【００２１】また、請求項７に係る発明は、請求項３に
係る発明のダイヤモンドカッタ取り付けホルダおよび請
求項５に係る発明のダイヤモンドカッタ調整装置を用い
たダイヤモンドカッタの調整方法であって、ダイヤモン
ドカッタが取り付けられた上記ダイヤモンドカッタ取り
付けホルダを上記ダイヤモンドカッタ調整装置に装着
し、上記ダイヤモンドカッタを軸の周りに回転させて,
上記ダイヤモンドカッタ調整装置の顕微鏡の視野内にお
けるカッティングポイント位置合わせ用マーカーと上記
ダイヤモンドカッタのカッティングポイントとの位置を
合わせることによって、上記ダイヤモンドカッタにおけ
るカッティングポイントの位置合わせを行うことを特徴
としている。

【００２２】上記構成によれば、上記ダイヤモンドカッ
タ調整装置によって、上記スクライブ装置から切り離さ
れた状態で、顕微鏡視野内のマーカーとカッティングポ
イントとの位置を合わせるだけの簡単な操作でカッティ
ングポイント位置合わせが行われる。こうして、上記カ
ッティングポイント位置合わせが、カッティングポイン
トを直接確認することによって、熟練と勘とに因らず
に、簡単に短時間に且つ正確に行われる。

【００２３】また、請求項８に係る発明は、請求項７に
係る発明のダイヤモンドカッタの調整方法において、上
記カッティングポイントの位置合わせは、上記ダイヤモ
ンドカッタに設けられた平坦部に回転力を加えて軸の周
りに回転させることによって行うことを特徴としてい
る。

【００２４】上記構成によれば、ダイヤモンドカッタの
カッティングポイントの位置合わせが、上記ダイヤモン
ドカッタの上記平坦部に回転力を加えて軸の周りに回転
させることによって、作業性良く且つ正確に行われる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態のダイ
ヤモンドカッタ取り付けホルダの側面図である。また、
図２は、ダイヤモンドカッタ取り付けホルダに取り付け
られるダイヤモンドカッタを示す図である。以下、図１
および図２に従って、ダイヤモンドカッタ取り付けホル
ダと、このダイヤモンドカッタ取り付けホルダに基づく
カッティングポイントの位置合わせ方法に付いて説明す
る。

【００２６】先ず、図２に従って、ダイヤモンドカッタ
１１のカッティングポイント１２の位置合わせ用の平坦
面１３に付いて説明する。ダイヤモンドカッタ１１のカ
ッティングポイント１２が設けられた一端とは反対側の
他端に、カッティングポイント位置合わせ用の平坦面１
３が設けられている。このカッティングポイント位置合
わせ用の平坦面１３は、軸に平行で且つ互いに平行な二
平面である。そして、このカッティングポイント位置合
わせ用の平坦面１３によってカッティングポイントの位
置合わせを行うのである。尚、このカッティングポイン
ト位置合わせ用の平坦面１３は、カッティングポイント
１２とは反対側に限らず、ダイヤモンドカッタ１１をダ
イヤモンドカッタ取り付けホルダ１４に取り付けた場合
に、ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１４から突出す
る部分であればどこでも差し支えない。

【００２７】次に、図１に従って、ダイヤモンドカッタ
取り付けホルダ１４およびダイヤモンドカッタ調整装置
２１の取り付け基準面に付いて説明する。ダイヤモンド
カッタ１１は、クランプネジ１５によって、ダイヤモン
ドカッタ取り付けホルダ１４に取り付けられる。このダ
イヤモンドカッタ取り付けホルダ１４は、取り付け基準
面１６a,１６b,１６cを有している。そして、ダイヤモ
ンドカッタ調整装置２１のホルダ取り付け基準面１７a,
１７b,１７cに上記基準面１６a,１６b,１６cを当接させ
て、固定ネジ１８等によって取り付けられる。

【００２８】次に、ダイヤモンドカッタ調整装置２１に
付いて説明する。図３はダイヤモンドカッタ調整装置２
１の概略側面図であり、図４は部分概略平面図である。
ダイヤモンドカッタ調整装置２１は、スクライブ装置
(図示せず)と別置きであり、ダイヤモンドカッタ１１の
刃出し量,取付角度およびカッティングポイント位置合
わせが可能な機能を有している。上述のように、ダイヤ
モンドカッタ調整装置２１にはホルダ取り付け基準面１
７が設けられており、このホルダ取り付け基準面１７に
ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１４の取り付け基準
面１６を当接させて、固定ネジ１８等で固定することに
よって、ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１４が取り
付けられる。そして、ダイヤモンドカッタ取り付けホル
ダ１４は、この固定ネジ１８を緩めることによって容易
に取り外しできるのである。

【００２９】上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１
４に取り付けられたダイヤモンドカッタ１１の刃出し量
「Ａ」は、グイヤモンドカッタ調整装置２１のダイヤモ
ンドカッタ保持面２２で決定される。そこで、このダイ
ヤモンドカッタ保持面２２と取付台との間にスペーサ２
３等を挟み込むことによって、すなわちダイヤモンドカ
ッタ保持面２２の高さを替えることによって、上記刃出
し量「Ａ」を任意に調整できるのである。また、ダイヤ
モンドカッタ１１の取り付け角度「Ｂ」は、回転テーブ
ル２４の回転ダイヤル２５を回すことによって、ダイヤ
モンドカッタ１１が回転テーブル２４に追従して回転し
て調整される。さらに、ダイヤモンドカッタ調整装置２
１には、高倍率の顕微鏡２６が設けられており、ダイヤ
モンドカッタ１１のカッティングポイント１２を拡大し
て見ることができるようになっている。

【００３０】次に、上記ダイヤモンドカッタ調整装置２
１によるダイヤモンドカッタ１１のカッティングポイン
ト１２の位置合わせについて、図５および図６に示す顕
微鏡２６の視野内の像とダイヤモンドカッタ１１の位置
とに基づいて説明する。尚、図５(a)および図６(a)は顕
微鏡視野像の模式図であり、図５(b)および図６(b)はダ
イヤモンドカッタ１１の位置を示す。顕微鏡２６の視野
内には、図５(a)および図６(a)に示すように、カッティ
ングポイント位置合わせ用マーカー３１が表示されてい
る。そして、図５に示すように、このカッティングポイ
ント位置合わせ用マーカー３１と、ダイヤモンドカッタ
１１のカッティングポイント１２との位置を合わせるこ
とで、正確にカッティングポイント１２の位置合わせを
行うのである。

【００３１】その場合、図６に示すように、上記カッテ
ィングポイント位置合わせ用マーカー３１とカッティン
グポイント１２の位置とがズレている場合には、顕微鏡
２６で確認しながら、ダイヤモンドカッタ１１の上記他
端に設けられたカッティングポイント位置合わせ用の平
坦面１３をスパナ等の治具で挟んで矢印Ｃの方向に回転
させてカッティングポイント１２の位置合わせを行うの
である。こうして、顕微鏡２６の視野内のカッティング
ポイント位置合わせ用マーカー３１とカッティングポイ
ント１２との位置を合わせるだけの簡単な操作でカッテ
ィングポイント位置合わせが行える。したがって、オペ
レータは、特別な熟練と勘とを必要とせず、非常に短時
間に且つ正確にカッティングポイント位置合わせを行う
ことができるのである。

【００３２】図７(a)は、上述のようにしてカッティン
グポイント１２の位置合わせが行われた後のダイヤモン
ドカッタ１１で、スクライブを行った場合の分割率を示
す。図７(a)によれば、殆どのロットが分割率９０％以
上を呈し、図７(b)に示す従来の方法でカッティングポ
イントの位置合わせが行われたダイヤモンドカッタでス
クライブを行った場合の分割率に比較して、本実施の形
態による効果が立証された。

【００３３】こうして、上記ダイヤモンドカッタ１１の
刃出し量,取り付け角度およびカッティングポイント１
２の位置合わせが終了すると、固定ネジ１８が緩められ
て、ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１４がダイヤモ
ンドカッタ調整装置２１から取り外される。そして、上
記スクライブを行うに際しては、ダイヤモンドカッタ取
り付けホルダ１４が、取り付け基準面１６a,１６b,１６
cを上記スクライブ装置側のホルダ取り付け基準面(図示
せず)に当接させて取り付けられるのである。

【００３４】その場合に、上記ダイヤモンドカッタ取り
付けホルダ１４,ダイヤモンドカッタ調整装置２１およ
びスクライブ装置の夫々は、取り付け用の基準面１６,
１７およびスクライブ装置側のホルダ取り付け基準面を
有している。したがって、各基準面１６,１７及びスク
ライブ装置側のホルダ取り付け基準面を基準として、ダ
イヤモンドカッタ取り付けホルダ１４とダイヤモンドカ
ッタ調整装置２１、および、ダイヤモンドカッタ取り付
けホルダ１４とスクライブ装置のホルダ取り付け位置を
合わせて固定することができる。すなわち、ダイヤモン
ドカッタ調整装置２１によって設定されたダイヤモンド
カッタ取り付けホルダ１４に対するダイヤモンドカッタ
１１の刃出し量,取り付け角度およびカッティングポイ
ント１２の位置を保ったままの状態で、ダイヤモンドカ
ッタ１１を上記スクライブ装置に取り付けることができ
るのである。

【００３５】以上のごとく、本実施の形態によれば、上
記スクライブ装置とは別置きのダイヤモンドカッタ調整
装置２１には、そのホルダ取り付け基準面１７にダイヤ
モンドカッタ取り付けホルダ１４の取り付け基準面１６
を当接させて、ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１４
を固定ネジ１８で取り付け固定する。さらに、ダイヤモ
ンドカッタ取り付けホルダ１４には、ダイヤモンドカッ
タ１１がクランプネジ１５によって取り付けられる。

【００３６】そして、上記ダイヤモンドカッタ１１の刃
出し量「Ａ」は、ダイヤモンドカッタ保持面２２にスペ
ーサ２３等を挟み込むことによって設定する。また、ダ
イヤモンドカッタ１１の取り付け角度「Ｂ」は、回転テ
ーブル２４の回転ダイヤル２５を回すことによって設定
する。また、ダイヤモンドカッタ１１のカッティングポ
イント１２の位置合わせは、ダイヤモンドカッタ調整装
置２１の顕微鏡２６の視野内に表示されるカッティング
ポイント位置合わせ用マーカー３１とカッティングポイ
ント１２との位置を合わせることによって行う。

【００３７】このように、本実施の形態においては、上
記刃出し量,取り付け角度およびカッティングポイント
位置を合わせは、ダイヤモンドカッタ１１が取り付けら
れたダイヤモンドカッタ取り付けホルダ１４を、上記ス
クライブ装置とは切り離して行うことができる。したが
って、上記刃出し量,取り付け角度及びカッティングポ
イント位置を合わせを簡単に短時間に且つ正確に設定で
きるのである。また、カッティングポイント１２の位置
合わせは顕微鏡２６の視野内のティングポイント位置合
わせ用マーカー３１とカッティングポイント１２との位
置を合わせることによって行うので、熟練と勘とを必要
とせず、簡単に短時間に且つ正確にカッティングポイン
ト位置合わせを行うことができるのである。

【００３８】さらに、上記ダイヤモンドカッタ取り付け
ホルダ１４,ダイヤモンドカッタ調整装置２１および上
記スクライブ装置の夫々に位置合わせ用の基準面１６,
１７およびスクライブ装置側のホルダ取り付け基準面を
設けている。したがって、この基準面１６,１７および
スクライブ装置側のホルダ取り付け基準面を基準とし
て、各位置合わせを正確に行うことができる。

【００３９】尚、上記実施の形態においては、上記ダイ
ヤモンドカッタ保持面２２と取付台との間にスペーサ２
３等を挟み込むことによってダイヤモンドカッタ１１の
刃出し量を設定しているが、ねじ機構によってダイヤモ
ンドカッタ保持面２２を移動させてもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明のダイヤモンドカッタ取り付けホルダは、スクラ
イブ装置とこのスクライブ装置とは別体に構成されたダ
イヤモンドカッタ調整装置との夫々に着脱可能になって
いるので、ダイヤモンドカッタの刃出し量,取り付け角
度およびカッティングポイント位置合わせ等の調整を、
上記ダイヤモンドカッタ調整装置によって、上記スクラ
イブ装置から切り離して操作性よく短時間に行うことが
できる。

【００４１】また、請求項２に係る発明のダイヤモンド
カッタ取り付けホルダは、上記ダイヤモンドカッタが、
本ダイヤモンドカッタ取り付けホルダに対する取り付け
位置および角度が変更可能なように取り付けられている
ので、上記ダイヤモンドカッタの取り付け位置および角
度を、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダに取り付
けられた状態で操作性良く変更することができる。

【００４２】また、請求項３に係る発明のダイヤモンド
カッタ取り付けホルダは、上記スクライブ装置の取り付
け基準面に当接する取り付け基準面を備えているので、
上記スクライブ装置に対する装着を、互いの取り付け基
準面を当接することによって行うことができる。したが
って、上記スクライブ装置に対する本ダイヤモンドカッ
タ取り付けホルダの取り付け状態を、常に同じ状態にす
ることができる。

【００４３】また、請求項４に係る発明のダイヤモンド
カッタ調整装置は、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホ
ルダに対するダイヤモンドカッタの刃出し量を設定する
刃出し量設定手段と取り付け角度を設定する取付角度設
定手段を有しているので、上記スクライブ装置から切り
離された状態で上記ダイヤモンドカッタの刃出し量およ
び取り付け角度を設定できる。したがって、上記刃出し
量および取り付け角度の設定を、操作性よく短時間に行
うことができる。

【００４４】また、請求項５に係る発明のダイヤモンド
カッタ調整装置は、カッティングポイントの拡大像を得
る顕微鏡を備えており、上記顕微鏡には、その視野内に
おける所定位置に見えるカッティングポイント位置合わ
せ用マーカーが設けられているので、上記スクライブ装
置から切り離された状態で、顕微鏡視野内のマーカーと
カッティングポイントとの位置を合わせるだけの簡単な
操作でカッティングポイント位置合わせを行うことがで
きる。したがって、上記カッティングポイントを直接確
認することができ、上記カッティングポイント位置合わ
せを、熟練と勘とに因らずに、簡単に短時間に且つ正確
に行うことができる。すなわち、この発明によれば、上
述のようにして位置合わせが行われたダイヤモンドカッ
タによって半導体ウェハに安定したスクライブ傷を入れ
ることができ、半導体素子への分割率を向上して品質を
安定化できる。

【００４５】また、請求項６に係る発明のダイヤモンド
カッタ調整装置は、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホ
ルダが装着された際に,上記ダイヤモンドカッタ取り付
けホルダの上記取り付け基準面に当接する取り付け基準
面を有しており、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホル
ダは,上記両取り付け基準面が互いに当接されて固定さ
れることによって装着されるようになっているので、本
ダイヤモンドカッタ調整装置に装着されて設定された上
記ダイヤモンドカッタの刃出し量,取り付け角度および
カッティングポイント位置合わせ結果等を、上記スクラ
イブ装置に装着された際にも同じに保つことができる。
したがって、上記ダイヤモンドカッタの調整の容易性と
調整の正確性とを両立できるのである。

【００４６】また、請求項７に係る発明のダイヤモンド
カッタの調整方法は、ダイヤモンドカッタが取り付けら
れたダイヤモンドカッタ取り付けホルダを上記ダイヤモ
ンドカッタ調整装置に装着し、上記ダイヤモンドカッタ
を軸の周りに回転させて、上記ダイヤモンドカッタ調整
装置の顕微鏡の視野内におけるカッティングポイント位
置合わせ用マーカーと上記ダイヤモンドカッタのカッテ
ィングポイントとの位置を合わせるので、上記スクライ
ブ装置から切り離された状態で、顕微鏡視野内のマーカ
ーとカッティングポイントとの位置を合わせるだけの簡
単な操作でカッティングポイントの位置合わせを行うこ
とができる。したがって、上記カッティングポイントを
直接確認することができ、上記カッティングポイント位
置合わせを、熟練と勘とに因らずに、簡単に短時間に且
つ正確に行うことができる。すなわち、この発明によれ
ば、上述のようにして位置合わせが行われたダイヤモン
ドカッタによって半導体ウェハに安定したスクライブ傷
を入れることができ、半導体素子への分割率を向上して
品質を安定化できる。

【００４７】また、請求項８に係る発明のダイヤモンド
カッタの調整方法は、上記カッティングポイントの位置
合わせを、上記ダイヤモンドカッタに設けられた平坦部
に回 転力を加えて軸の周りに回転させることによって行
うので、上記カッティングポイントの位置合わせを作業
性良く且つ正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のダイヤモンドカッタ取り付けホル
ダの側面図である。

【図２】 図１におけるダイヤモンドカッタを示す図で
ある。

【図３】 この発明のダイヤモンドカッタ調整装置の概
略側面図である。

【図４】 図３に示すダイヤモンドカッタ調整装置の部
分平面図である。

【図５】 図３における顕微鏡の視野像およびダイヤモ
ンドカッタの位置を示す図である。

【図６】 カッティングポイントがずれている場合にお
ける顕微鏡視野像およびダイヤモンドカッタの位置を示
す図である。

【図７】 位置合わせが行われたダイヤモンドカッタで
スクライブを行った場合の分割率を示す図である。

【図８】 従来のダイヤモンドカッタ取り付けホルダに
対するダイヤモンドカッタの取り付け状態を示す図であ
る。

【図９】 図８におけるダイヤモンドカッタでスクライ
ブ傷が入れられたウェハを顕微鏡で見た模式図である。

【符号の説明】

１１…ダイヤモンドカッタ、 １２…カッティングポイント、 １３…平坦面、 １４…ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ、 １５…クランプネジ、 １６a,１６b,１６c,１７a,１７b,１７c…基準面、 １８…固定ネジ、 ２１…ダイヤモ
ンドカッタ調整装置、 ２２…ダイヤモンドカッタ保持面、 ２３…スペー
サ、 ２４…回転テーブル、 ２５…回転ダイ
ヤル、 ２６…顕微鏡、 ３１…カッティングポイント位置合わせ用マーカー、 １…ダイヤモンドカッタ取り付けホルダ、 ２…ダイヤモンドカッタ、 ３…鏡面ウェ
ハ、 ４a,４b,４c…スクライブ傷、 ５b,5c…歪
み、 Ａ…刃出し量、 Ｂ…取り付け
角度、 Ｃ…回転方向。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/301

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スクライブ時に使用されるダイヤモンド
   カッタを先端部に取り付け保持するダイヤモンドカッタ
   取り付けホルダであって、 スクライブ装置と、このスクライブ装置とは別体に構成
   されたダイヤモンドカッタ調整装置との夫々に、着脱可
   能になっていることを特徴とするダイヤモンドカッタ取
   り付けホルダ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のダイヤモンドカッタ取
   り付けホルダにおいて、 上記ダイヤモンドカッタは、本ダイヤモンドカッタ取り
   付けホルダに対する取り付け位置および角度が変更可能
   に取り付けられていることを特徴とするダイヤモンドカ
   ッタ取り付けホルダ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のダイヤモンドカッタ取
   り付けホルダにおいて、 上記スクライブ装置に取り付け装着される際に、上記ス
   クライブ装置の取り付け基準面と互いに当接する取り付
   け基準面を備えていることを特徴とするダイヤモンドカ
   ッタ取り付けホルダ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のダイヤモンドカッタ取
   り付けホルダが装着されて、上記ダイヤモンドカッタ取
   り付けホルダの先端部に取り付け保持されているダイヤ
   モンドカッタを調整するダイヤモンドカッタ調整装置で
   あって、 上記装着されたダイヤモンドカッタ取り付けホルダに対
   する上記ダイヤモンドカッタの刃出し量を設定する刃出
   し量設定手段と、上記 装着されたダイヤモンドカッタ取り付けホルダに対
   する上記ダイヤモンドカッタの取り付け角度を設定する
   取付角度設定手段を備えたことを特徴とするダイヤモン
   ドカッタ調整装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のダイヤモンドカッタ調
   整装置において、 上記ダイヤモンドカッタのカッティングポイントの拡大
   像を得る顕微鏡を備えており、 上記顕微鏡には、その視野内における所定位置に見える
   カッティングポイント位置合わせ用マーカーが設けられ
   ていることを特徴とするダイヤモンドカッタ調整装置。
6. 【請求項６】 請求項４に記載のダイヤモンドカッタ調
   整装置において、 上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダが装着された際
   に、上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダの上記取り
   付け基準面に当接する取り付け基準面を有しており、 上記ダイヤモンドカッタ取り付けホルダは、上記両取り
   付け基準面が互いに当接されて固定されることによって
   装着されるようになっていることを特徴とするダイヤモ
   ンドカッタ調整装置 。
7. 【請求項７】 請求項３に記載のダイヤモンドカッタ取
   り付けホルダおよび請求項５に記載のダイヤモンドカッ
   タ調整装置を用いたダイヤモンドカッタの調整方法であ
   って、 ダイヤモンドカッタが取り付けられた上記ダイヤモンド
   カッタ取り付けホルダを上記ダイヤモンドカッタ調整装
   置に装着し、 上記ダイヤモンドカッタを軸の周りに回転させて、上記
   ダイヤモンドカッタ調整装置の顕微鏡の視野内における
   カッティングポイント位置合わせ用マーカーと上記ダイ
   ヤモンドカッタのカッティングポイントとの位置を合わ
   せることによって、上記ダイヤモンドカッタにおけるカ
   ッティングポイントの位置合わせを行うことを特徴とす
   るダイヤモンドカッタの調整方法。
8. 【請求項８】 請求項７に記載のダイヤモンドカッタの
   調整方法において、 上記カッティングポイントの位置合わせは、上記ダイヤ
   モンドカッタに設けられた平坦部に回転力を加えて軸の
   周りに回転させることによって行うことを特徴とするダ
   イヤモンドカッタの調整方法。