JP4020355B2 - 研削液ノズル、その位置調整方法、及び微細スリットの研削加工法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークにアスペクト比の大きい微細スリットを精度よく加工するために用いられる研削液ノズル、その位置調整方法、及び微細スリットの研削加工法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えばハニカム成形用金型を製造するためには、幅が50μm、深さが2000〜3000μmというアスペクト比が非常に大きいスリットを金属製のワークに形成する必要がある。このため、従来から厚みが50μmの研削砥石を備えた研削装置が用いられている。この研削装置は、ワークをセットしたテーブルを研削砥石に対してX軸方向及びY軸方向に移動させながら、微細スリットの研削加工を行なうことができるものである。この研削装置には研削液ノズルが設けられており、研削部分に向けて研削液を吹出している。
【0003】
ところがこのような従来の研削装置を用いて研削された微細スリットは、図1(幅方向を誇張して表示)の右側に示すように、ワークの表面に対してわずかに傾斜する場合があることが判明した。この傾斜はスリットの下端部では数十μmに達することがあり、ハニカム成形に悪影響を及ぼすものである。しかし研削砥石の回転面はテーブルに対して垂直になるように機械的に設定されているのであるから、この傾斜は研削砥石の紙のように薄い切れ刃が撓むことが原因と考えられる。
【0004】
そして本発明者の究明したところによれば、この研削砥石の切れ刃の撓みは、研削液ノズルから吹出す研削液の方向が研削砥石の回転面に対してわずかに傾斜したとき、その液圧によって生ずるものである。すなわち従来の研削液ノズルは目分量により位置調整を行なっており、研削液ノズルから吹出す研削液の方向を厳密に設定する手段がなかったため、上記のような問題が生じていたものと考えられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記した従来の問題点を解決し、研削液の方向を研削砥石の回転面と厳密に一致させることにより、微細スリットの傾斜を防止することができる研削液ノズル、その位置調整方法、及び微細スリットの研削加工法を提供するためになされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためになされた請求項1の発明の研削液ノズルは、ブロック状のノズル本体の側部端面を、研削液吹出孔の中心軸線と平行な平面からなり、研削装置のテーブル上に置かれた位置調整用の冶具の垂直面と密着される第一基準面とするとともに、ノズル本体の中央部に研削液吹出孔の中心軸線を含み、かつ第一基準面と平行な平面からなる第二基準面を形成し、さらにこのノズル本体に、研削装置に対してノズル本体を任意の位置・角度に固定できるアームを設けたことを特徴とするものである。また請求項2の発明は、研削装置が、ハニカム成形用金型を製造するためのものであることを特徴とするものである。また請求項3の発明は、研削液吹出孔の中心軸線に、先端がノズル本体の底面の方向に向かう俯角を持たせたことを特徴とするものであり、請求項4の発明は、ノズル本体の一面に、研削液吹出孔を備えた突出部が形成されていることを特徴とするものである。
【0007】
請求項5の発明は研削液ノズルの位置調整方法に関するもので、請求項1記載の研削液ノズルを研削装置のテーブル上に置かれた冶具上に載せ、第一基準面を研削装置の研削砥石に平行とする調整を行い、その後、第二基準面と研削砥石とを同一平面に一致させる微調整を行なうことを特徴とするものである。また請求項6の発明は、第二基準面と研削砥石とを同一平面に一致させる微調整を、テーブル上にセットした非接触型変位計を用いて行うことを特徴とするものである。より具体的には、後記するようにまず研削液ノズルを研削装置のテーブル上に置かれた冶具上に載せ、アームをフリーとした状態で第一基準面を研削装置の研削砥石に平行とする調整を行い、次にアームを固定して冶具を外したうえで第二基準面と研削砥石との距離を測定し、再び研削液ノズルを治具上に載せてアームをフリーとし、テーブルを移動させて第二基準面と研削砥石とを同一平面に一致させる微調整を行なう。
【0008】
請求項7の発明は微細スリットの研削加工法に関するもので、請求項5の方法により位置調整された研削液ノズルから研削液を吹出しながら、研削砥石によりワークを研削することを特徴とするものである。
【0009】
上記した本発明によれば、研削液の方向を研削砥石の回転面に厳密に一致させることができ、研削液圧による研削砥石の切れ刃の撓みが防止されるので、傾斜のない微細スリットの研削加工が可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を示す。
図2は請求項1の発明の実施形態を示す斜視図である。図示のように、金属製で略直方体状のブロックよりなるノズル本体1の1面に、研削液吹出孔2を備えた突出部が突設されている。図示しないが、ノズル本体1の内部にはこの研削液吹出孔2に連通する研削液流路が形成されている。なお研削液吹出孔2の中心軸線aは、先端がノズル本体1の底面4の方向に向かうように約15°の俯角を持たせてある。
【0011】
このノズル本体1の一方の側部端面は、第一基準面3となっている。この第一基準面3は、研削液吹出孔2の中心軸線aと平行な平面となるように正確に加工されている。この第一基準面3は、ノズル本体1の底面4に対して垂直となっている。またノズル本体1の中央部には、第二基準面5が形成されている。この第二基準面5は、前記した研削液吹出孔2の中心軸線aを含み、かつ第一基準面3と平行な平面となるように正確に加工されている。このような基準面を持つ研削液ノズルは、従来知られていない。
【0012】
図3に示すように、この研削液ノズルのノズル本体1には、研削装置に対してノズル本体1を自由位置に固定できるアーム6が設けられている。この実施形態のアーム6はユニバーサルジョイント構造を備え、クランプ摘み7を弛めれば位置や角度を自由に動かすことができ、クランプ摘み7を締めることによってアーム6を任意の位置・角度に固定できるようになっている。このアーム6の基部は、研削装置の機器取付け板8に取り付けられている。機器取付け板8はテーブル10に対して垂直である。
【0013】
次にこの研削液ノズルの位置調整方法を説明する。なお、研削装置自体の位置や角度に関する精度は予め保証されているものとして説明を進める。すなわち、研削装置の研削砥石20がセットされるスピンドル21のフランジ22は研削装置の機器取付け板8に対して厳密に平行であり、ワークがセットされるテーブル10のX,Y両軸方向の動きも厳密に制御可能となっている。当然ながら、研削砥石20の回転面はテーブル10のX軸と平行である。
【0014】
先ず図4に示すように、研削装置のテーブル10上に冶具11を適当に置き、その上にアーム6をフリーとした状態で研削液ノズルを載せる。ここで用いられる冶具11は、テーブル10に密着固定される冶具本体12の片面に一定厚さの垂直壁13を立設したものである。研削液ノズルはその第一基準面3をこの垂直壁13に密着させた状態で治具11上に置かれる。図5はこの状態の平面図である。
【0015】
次に、研削装置のテーブル10をX軸方向に少しずつ移動させながら、冶具本体12の垂直壁13と研削装置の機器取付け板8との距離が常に一定になるようにテーブル10上における冶具11の角度を調整する。この調整のためには例えば機器取付け板8にダイヤルゲージを取付け、テーブル10をX軸方向に移動させてもダイヤルゲージの読みが変化しないようにすればよい。なおこのときには予めテーブル10をY軸方向に適当な距離だけ移動させ、冶具11と機器取付け板8とを接近させてダイヤルゲージによる測定が行いやすいようにしておくことが好ましい。
【0016】
この調整によって、冶具本体12の垂直壁13と研削装置の機器取付け板8とは平行となる。また冶具本体12の垂直壁13と密着されている研削液ノズルの第一基準面3及び研削液吹出孔2の中心軸線aも、研削装置の機器取付け板8と平行となる。従って、この段階で研削液ノズルの研削液吹出孔2の中心軸線aは、研削砥石20の回転面に対して平行となる。
【0017】
このようにアーム6をフリーとした状態で第一基準面3を利用して研削砥石20との平行を出したら、次に図6に示すようにアーム6を固定してこのときの機械座標を位置Aとして記録する。そして研削液ノズルを冶具11から外す。その結果、研削液ノズルはアーム6のみにより研削装置の機器取付け板8に支持される。この状態では研削液ノズルの研削液吹出孔2の中心軸線aは、研削砥石20の回転面に対して平行ではあるが、未だ研削砥石20の回転面と同一平面にはない。
【0018】
そこで次に図7に示すように、テーブル10をY軸方向に任意の距離だけ移動させたうえ、テーブル10上に適宜の非接触型変位計30をセットし、研削液ノズルの第二基準面5までの距離S1を測定する。次にテーブル10をX軸方向に移動させて、同じ非接触型変位計30により研削装置の研削砥石20までの距離S2を測定する。前記したように研削液ノズルの第二基準面5は研削液吹出孔2の中心軸線aと同一平面上にあるから、距離S1と距離S2とが一致しておれば研削砥石20と研削液吹出孔2の中心軸線aとは同一平面上にあることとなる。
【0019】
しかし多くの場合にはこの段階では距離S1と距離S2とは不一致であるから、再びアーム6をフリーにし、機械座標を前工程で記録された位置Aに戻し、研削液ノズルを治具11に支持させる。そして図8に示すように測定された距離S1と距離S2との相違分だけテーブル10をY軸方向に移動させれば、研削液ノズルの研削液吹出孔2の中心軸線aが研削砥石20と同一平面上に正確に一致したこととなる。そこでその位置でアーム6を固定したうえ、治具10を取り外せばよい。
【0020】
このようにして位置調整された研削液ノズルの研削液吹出孔2から研削液を吹出しながら、図3に示すように研削砥石20によりワークを研削すれば、研削液吹出孔2の中心軸線aが研削砥石20と同一平面上に正確に一致しているために液圧により薄い切れ刃が左右に撓むことがなくなり、図1の左側に示すように傾斜のない微細スリットを得ることができる。
【0021】
なお、本発明はハニカム成形用金型のみならず、薄い切れ刃を備えた研削砥石を用いて、アスペクト比の大きい微細スリットを加工する場合に、広く適用できることはいうまでもない。
【0022】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の研削液ノズルを本発明の方法で位置調整すれば、研削液吹出孔の中心軸線aを研削砥石と同一平面上に正確に一致させることができる。このため、微細スリットを研削加工する際に研削液が研削砥石の切れ刃に対して斜めから当たることがなくなり、切れ刃の撓みによる微細スリットの傾斜を確実に防止することができる。
【0023】
具体的には、従来はスリットの下端が数十μmずれることがあったが、本発明によればスリット下端のずれを数μm以下に抑制することが可能となった。しかも従来は研削液ノズルの調整に1日以上の長時間を要していたが、本発明によれば3時間以下で調整を完了することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】幅を誇張した微細スリットの断面図である。
【図2】本発明の研削液ノズルの斜視図である。
【図3】研削状態を示す斜視図である。
【図4】調整状態を示す斜視図である。
【図5】治具に研削液ノズルを乗せた状態の平面図である。
【図6】研削液ノズルを機器取付け板に支持させた状態の平面図である。
【図7】距離S1と距離S2を測定する状態の平面図である。
【図8】距離S1と距離S2を一致させる状態の平面図である。
【符号の説明】
1ノズル本体、2 研削液吹出孔、3 第一基準面、4 ノズル本体の底面、5 第二基準面、6 アーム、7 クランプ摘み、8 機器取付け板、10 テーブル、11 治具、12 治具本体、13 垂直壁、14 非接触型変位計、20 研削砥石、21 スピンドル、22 フランジ、a 研削液吹出孔の中心軸線、S1 第二基準面までの距離、S2 研削砥石までの距離
Claims (7)
- ブロック状のノズル本体の側部端面を、研削液吹出孔の中心軸線と平行な平面からなり、研削装置のテーブル上に置かれた位置調整用の冶具の垂直面と密着される第一基準面とするとともに、ノズル本体の中央部に研削液吹出孔の中心軸線を含み、かつ第一基準面と平行な平面からなる第二基準面を形成し、さらにこのノズル本体に、研削装置に対してノズル本体を任意の位置・角度に固定できるアームを設けたことを特徴とする研削液ノズル。
- 研削装置が、ハニカム成形用金型を製造するためのものであることを特徴とする請求項1記載の研削液ノズル。
- 研削液吹出孔の中心軸線に、先端がノズル本体の底面の方向に向かう俯角を持たせたことを特徴とする請求項1記載の研削液ノズル。
- ノズル本体の一面に、研削液吹出孔を備えた突出部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の研削液ノズル。
- 請求項1記載の研削液ノズルを研削装置のテーブル上に置かれた冶具上に載せ、第一基準面を研削装置の研削砥石に平行とする調整を行い、その後、第二基準面と研削砥石とを同一平面に一致させる微調整を行なうことを特徴とする研削液ノズルの位置調整方法。
- 第二基準面と研削砥石とを同一平面に一致させる微調整を、テーブル上にセットした非接触型変位計を用いて行うことを特徴とする請求項5記載の研削液ノズルの位置調整方法。
- 請求項5の方法により位置調整された研削液ノズルから研削液を吹出しながら、研削砥石によりワークを研削することを特徴とする微細スリットの研削加工法。
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