JP3408069B2 - Liquid coating device - Google Patents

Liquid coating device

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JP3408069B2
JP3408069B2 JP20144796A JP20144796A JP3408069B2 JP 3408069 B2 JP3408069 B2 JP 3408069B2 JP 20144796 A JP20144796 A JP 20144796A JP 20144796 A JP20144796 A JP 20144796A JP 3408069 B2 JP3408069 B2 JP 3408069B2
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pattern
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cross
sectional area
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル基板等
の被塗布体上に、ノズル先端部のニードルから液剤を塗
布する液剤塗布装置に関するもので、特に、所望する液
剤パターンを被塗布体上に直接塗布描画する液剤塗布装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid agent applying device for applying a liquid agent onto a target object such as a liquid crystal panel substrate from a needle at the tip of a nozzle, and more particularly to a desired liquid agent pattern on the target object. The present invention relates to a liquid agent coating device that directly paints and draws on.

【0002】[0002]

【従来の技術】液剤塗布装置は、ニードルから流動性の
ある粘性液剤を吐出し、被塗布体上に任意の液剤パター
ンを塗布する装置であり、例えば液晶パネル貼り合わせ
用のシール材料の塗布形成に用いられる。
2. Description of the Related Art A liquid agent applying device is a device for discharging a viscous liquid agent having fluidity from a needle to apply an arbitrary liquid agent pattern on an object to be coated. For example, application and formation of a sealing material for bonding liquid crystal panels. Used for.

【0003】従来の液剤塗布装置は、図13に示すよう
に、ノズル51に充填された液剤をニードル52からテ
ーブル53上に載置された被塗布体54上に吐出しなが
ら、ニードル52と被塗布体54との距離を一定に保
ち、テーブル53をニードル52に対して相対的に移動
させることにより、被塗布体54上に任意の液剤パター
ン55を塗布するものである。テーブル53は、X及び
Y方向に移動できる構造となっている。
As shown in FIG. 13, a conventional liquid agent applying device discharges a liquid agent filled in a nozzle 51 from a needle 52 onto an object 54 to be coated placed on a table 53, and the needle 52 and the object to be coated. By keeping the distance to the application body 54 constant and moving the table 53 relative to the needle 52, an arbitrary liquid agent pattern 55 is applied onto the application body 54. The table 53 has a structure that can be moved in the X and Y directions.

【0004】同一の被塗布体54上に、等しい形状の液
剤パターン55を複数形成する必要がある場合には、1
本のノズル51で液剤を塗布する方法ではかなりの時間
を必要とし、実用的ではない。このため、図14に示す
ように、複数のノズル51を用いて液剤の塗布時間を短
縮する方法が提案されている。
When it is necessary to form a plurality of liquid agent patterns 55 having the same shape on the same object 54 to be coated, 1
The method of applying the liquid agent with the nozzle 51 of the book requires a considerable amount of time and is not practical. For this reason, as shown in FIG. 14, a method of shortening the application time of the liquid agent by using a plurality of nozzles 51 has been proposed.

【0005】図14に示す複数のノズル51を用いた方
法においても、ノズル51に充填された液剤をニードル
52からテーブル53上に載置された被塗布体54上に
吐出しながら、ニードル52と被塗布体54との距離を
一定に保ち、テーブル53をニードル52に対して相対
的に移動させることにより、被塗布体54上に任意の液
剤パターン55を塗布する構造となっており、テーブル
53は、X及びY方向に移動できる構造となっている。
Also in the method using a plurality of nozzles 51 shown in FIG. 14, while the liquid agent filled in the nozzles 51 is discharged from the needles 52 onto the object 54 to be coated placed on the table 53, The table 53 is structured such that an arbitrary liquid agent pattern 55 is applied onto the object to be coated 54 by keeping the distance to the object to be coated 54 constant and moving the table 53 relative to the needle 52. Has a structure capable of moving in the X and Y directions.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】複数のノズルを用いた
液剤塗布装置の問題点として、各ノズルと被塗布体との
距離のばらつきにより、理想的な液剤塗布状態に対し
て、塗布された液剤パターンの膜厚にばらつきが生じ
る。
A problem with the liquid agent applying device using a plurality of nozzles is that the applied liquid agent is different from the ideal liquid agent applied state due to the variation in the distance between each nozzle and the object to be applied. The film thickness of the pattern varies.

【0007】さらに、塗布された液剤パターンの膜厚が
適正であっても、ニードルの加工公差並びに液剤の粘度
及びチクソ比の影響により、塗布された液剤パターンの
線幅及び断面積にばらつきが生じる。
Further, even if the thickness of the applied liquid agent pattern is proper, the line width and the cross-sectional area of the applied liquid agent pattern vary due to the processing tolerance of the needle and the viscosity and thixo ratio of the liquid agent. .

【0008】さらに、塗布された液剤パターンの線幅、
膜厚及び断面積が適正であっても、ニードルの加工公差
並びに液剤の粘度及びチクソ比の影響により、液剤の塗
布開始点及び終点で次のような問題点が生じる。
Further, the line width of the applied liquid agent pattern,
Even if the film thickness and cross-sectional area are appropriate, the following problems occur at the application start point and the end point of the liquid agent due to the processing tolerance of the needle and the viscosity and thixo ratio of the liquid agent.

【0009】開始点においては、各ニードルの先端に付
着している液剤を負圧で吸引してから液剤の塗布を行う
のであるが、この負圧による吸引が不足している場合、
塗布された液剤パターンの断面積が大きくなってしま
い、負圧による吸引を過度に行った場合、液剤の吐出が
遅れ、液剤パターンが短くなってしまう。
At the starting point, the liquid agent adhering to the tip of each needle is sucked with a negative pressure before applying the liquid agent, but if suction with this negative pressure is insufficient,
When the cross-sectional area of the applied liquid agent pattern becomes large and suction is performed by negative pressure excessively, the liquid agent is delayed in ejection and the liquid agent pattern becomes short.

【0010】終点においては、液剤の塗布終了のタイミ
ングが早い場合、液剤パターンが短くなってしまい、液
剤の塗布終了のタイミングが遅い場合、液剤パターンの
断面積が大きくなってしまう。
At the end point, the liquid agent pattern is shortened when the liquid agent application end timing is early, and the liquid agent pattern cross-sectional area is large when the liquid agent application end timing is late.

【0011】このように、各ノズル間で塗布された液剤
パターンの線幅、膜厚、断面積並びに塗布開始点及び終
点の位置及び断面積にばらつきが生じた場合、以降の工
程に悪影響を与えることとなる。
As described above, when the liquid agent pattern applied between the nozzles has variations in the line width, film thickness, cross-sectional area, and the position and cross-sectional area of the application start point and end point, it adversely affects subsequent steps. It will be.

【0012】前述した問題点の修正方法としては、断面
積測定器等を用いた測定結果から人間の勘と経験とによ
り、塗布された液剤パターンの状態に影響を与えるパラ
メーターの設定をトライアンドエラーで変更する方法を
用いており、時間と労力を必要とし、作業者にはある程
度の習熟度が必要である。
As a method of correcting the above-mentioned problems, a trial and error setting of parameters that influence the state of the applied liquid agent pattern is made by human intuition and experience from the measurement results using a cross-sectional area measuring instrument or the like. However, it requires time and labor, and requires a certain degree of proficiency for the operator.

【0013】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、塗布された液剤パターンの線
幅、膜厚、断面積並びに塗布開始点及び終点の位置及び
断面積を測定し、所望の値が得られるように、塗布され
た液剤パターンの状態に影響を与えるパラメーターを自
動で変更することができる液剤塗布装置を提供すること
を目的としている。
The present invention has been made in view of the conventional problems as described above, and the line width, film thickness, cross-sectional area of the applied liquid agent pattern, and the position and cross-sectional area of the application start point and the end point are determined. It is an object of the present invention to provide a liquid agent application device capable of automatically changing a parameter that influences the state of the applied liquid agent pattern so that a desired value can be measured and obtained.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項1記載の液剤塗布装置は、ノズ
ル先端部のニードルから液剤を被塗布体上に塗布し、任
意の液剤パターンを形成する液剤塗布装置において、前
記被塗布体上に塗布した前記液剤パターンの位置、線
幅、膜厚及び断面積を測定する測定手段と、前記測定手
段から得られたデーターに基づいて最適な塗布条件を算
出し、算出した塗布条件に設定する演算処理手段とを有
し、前記演算処理手段は、塗布条件として、第1段階で
溶剤パターンの線幅、膜厚及び断面積に影響するパラメ
ーター算出し、第2段階で溶剤パターンの塗布終点に影
響するパラメーターを算出し、第3段階で溶剤パターン
の塗布開始点に影響するパラメーターを算出することを
特徴としている。
In order to achieve the above-mentioned object, a liquid agent applying apparatus according to claim 1 of the present invention applies a liquid agent from a needle at a tip of a nozzle onto an object to be coated, In a liquid agent applying device for forming a pattern, it is optimal based on the measurement means for measuring the position, line width, film thickness and cross-sectional area of the liquid agent pattern applied on the object to be coated, and the data obtained from the measuring means. And a calculation processing unit configured to calculate the different coating conditions and set the calculated coating conditions. The calculation processing unit affects the line width, the film thickness, and the cross-sectional area of the solvent pattern in the first step as the coating conditions. It is characterized in that the parameters are calculated, the parameter affecting the application end point of the solvent pattern is calculated in the second step, and the parameter affecting the application start point of the solvent pattern is calculated in the third step.

【0015】[0015]

【0016】請求項2記載の液剤塗布装置は、請求項1
に記載の液剤塗布装置において、前記液剤パターンを複
数の塗布条件で塗布し、前記測定手段によって各々の液
剤パターンを測定し、前記演算処理手段によって最適な
塗布状態の液剤パターンを選択することを特徴としてい
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the liquid agent applying device according to the first aspect.
In the liquid agent applying device according to the item (1), the liquid agent pattern is applied under a plurality of applying conditions, each of the liquid agent patterns is measured by the measuring means, and the liquid agent pattern in the optimum applied state is selected by the arithmetic processing means. I am trying.

【0017】[0017]

【0018】本発明の液剤塗布装置によれば、ノズル先
端部のニードルから液剤を被塗布体上に塗布し、任意の
液剤パターンを形成する液剤塗布装置において、前記被
塗布体上に塗布した前記液剤パターンの位置、線幅、膜
厚及び断面積を測定する測定手段と、前記測定手段から
得られたデーターに基づいて最適な塗布条件を算出し、
算出した塗布条件に設定する演算処理手段とを有し、前
記演算処理手段は、塗布条件として、第1段階で溶剤パ
ターンの線幅、膜厚及び断面積に影響するパラメーター
算出し、第2段階で溶剤パターンの塗布終点に影響する
パラメーターを算出し、第3段階で溶剤パターンの塗布
開始点に影響するパラメーターを算出することによっ
て、互いに影響を及ぼし合う複数のパラメーターを最適
な値に設定することができる。
According to the liquid agent applying apparatus of the present invention, the liquid agent is applied from the needle at the tip of the nozzle onto the object to be coated to form an arbitrary liquid agent pattern. Position of the liquid agent pattern, line width, measuring means for measuring the film thickness and cross-sectional area, and calculate the optimum coating conditions based on the data obtained from the measuring means,
And a calculation processing unit for setting the calculated coating conditions, wherein the calculation processing unit calculates, as the coating conditions, parameters that affect the line width, the film thickness, and the cross-sectional area of the solvent pattern in the first step, and the second step. By calculating the parameters that affect the application end point of the solvent pattern with, and by calculating the parameters that affect the application start point of the solvent pattern in the third step, set multiple parameters that affect each other to optimal values. You can

【0019】[0019]

【0020】また、前記液剤パターンを複数の塗布条件
で塗布し、前記測定手段によって各々の液剤パターンを
測定し、前記演算処理手段によって最適な塗布状態の液
剤パターンを選択することにより、作業者の習熟度に関
係なく最適な塗布状態の液剤パターンを得ることができ
る。
Further, by applying the liquid agent pattern under a plurality of application conditions, measuring each liquid agent pattern by the measuring means, and selecting the most suitable applied liquid agent pattern by the arithmetic processing means, It is possible to obtain an optimally applied liquid agent pattern regardless of the proficiency level.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】図1乃至図12を用いて、本発明
の実施の形態について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0022】図1を用いて、本発明の液剤塗布装置の構
成について説明する。図1は本発明に係わる液剤塗布装
置を示す概念図である。
The configuration of the liquid agent applying device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a conceptual diagram showing a liquid agent applying device according to the present invention.

【0023】スリット光源1、カメラ2、照明3及びハ
ーフミラー4からなる測定手段によって測定したデータ
ーから、演算処理手段5によって最適な塗布条件を算出
し、演算処理手段5が液剤吐出制御手段6の塗布条件を
設定する。
From the data measured by the measuring means consisting of the slit light source 1, the camera 2, the illumination 3 and the half mirror 4, the arithmetic processing means 5 calculates the optimum application conditions, and the arithmetic processing means 5 controls the liquid agent discharge control means 6. Set the coating conditions.

【0024】液剤吐出制御手段6は、設定された塗布条
件に基づいてノズル7に充填されている液剤をニードル
8から吐出させる。そして、テーブル駆動機構9によっ
てテーブル10を駆動し、テーブル10上に載置した液
晶パネル基板等の被塗布体11上に描画して液剤パター
ン12を塗布する。
The liquid agent discharge control means 6 discharges the liquid agent filled in the nozzle 7 from the needle 8 based on the set coating conditions. Then, the table 10 is driven by the table drive mechanism 9, and a liquid agent pattern 12 is applied by drawing on the object to be coated 11 such as a liquid crystal panel substrate placed on the table 10.

【0025】次に、測定手段について説明する。液剤パ
ターン12の線幅、膜厚及び断面積については、スリッ
ト光源1を用いて液剤パターン12の光切断画像をカメ
ラ2で取り込むことによって求める。カメラ2の代わり
に、光学式距離計を用いて液剤パターン12の線幅、膜
厚及び断面積を求めてもかまわない。
Next, the measuring means will be described. The line width, the film thickness, and the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 are obtained by using the slit light source 1 and capturing a light-section image of the liquid agent pattern 12 with the camera 2. Instead of the camera 2, an optical distance meter may be used to obtain the line width, the film thickness, and the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12.

【0026】液剤パターン12の位置については、照明
3及びハーフミラー4を用いて、カメラ2で画像を取り
込んで液剤パターン12の位置を求める。カメラ2は、
液剤パターン12の線幅、膜厚及び断面積の測定と位置
の測定とに兼用してもかまわないし、別々のものを備え
ていてもかまわない。カメラ2、照明3及びハーフミラ
ー4は、同軸落射方式の照明付きカメラを用いてもかま
わない。
Regarding the position of the liquid agent pattern 12, the position of the liquid agent pattern 12 is obtained by capturing an image with the camera 2 using the illumination 3 and the half mirror 4. Camera 2
The line width, the film thickness, and the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 may be used for both the measurement and the position measurement, or may be provided separately. The camera 2, the illumination 3, and the half mirror 4 may use a coaxial incident type illuminated camera.

【0027】前述したような測定手段によって測定した
データーから、演算処理手段5によって最適な塗布条件
を算出及び設定するのであるが、液剤パターン12の塗
布状態に影響するパラメーターとしては以下に示すもの
が挙げられる。
Optimum coating conditions are calculated and set by the arithmetic processing means 5 from the data measured by the above-mentioned measuring means. The parameters which influence the coating state of the liquid agent pattern 12 are as follows. Can be mentioned.

【0028】液剤パターン12の線幅、膜厚及び断面積
については、ニードル8と被塗布体11との距離及び液
剤吐出圧力があり、塗布開始点の位置及び断面積につい
ては、塗布開始タイミング、ニードル先付着液剤吸引圧
力及びニードル先付着液剤吸引時間があり、塗布終点の
位置及び断面積については、塗布終了タイミングがあ
る。
Regarding the line width, film thickness and cross-sectional area of the liquid agent pattern 12, there is the distance between the needle 8 and the object to be coated 11 and the liquid agent discharge pressure. Regarding the position of the application starting point and the cross-sectional area, the application start timing, There is a suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip and a suction time of the liquid agent adhering to the needle tip, and there is a timing for ending the coating with respect to the position and cross-sectional area of the application end point.

【0029】これらのパラメーターは各々独立している
わけではなく、各パラメーターのうち一つを変化させれ
ば互いに影響を及ぼし合うため、塗布条件の設定を行う
場合、設定する順番が重要となり、第1段階で液剤パタ
ーン12の線幅、膜厚及び断面積に影響するパラメータ
ーを設定し、第2段階で塗布終点に影響するパラメータ
ーを設定し、第3段階で塗布開始点に影響するパラメー
ターを設定するという3段階を経て設定を行う必要があ
る。
These parameters are not independent, and if one of the parameters is changed, they affect each other. Therefore, when setting the coating conditions, the order of setting is important. The parameters that affect the line width, film thickness and cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 are set in the first step, the parameters that affect the application end point are set in the second step, and the parameters that affect the application start point are set in the third step. It is necessary to set through the three steps of

【0030】(実施の形態1)第1段階での液剤パター
ン12の塗布状態と各パラメーターとの関係について、
図2及び図3を用いて説明する。図2は第1段階におけ
る液剤パターン12の塗布状態を説明する平面図、図3
は図2のA−A線における断面図である。
(Embodiment 1) Regarding the relationship between the coating state of the liquid agent pattern 12 and each parameter in the first step,
This will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a plan view illustrating a coating state of the liquid agent pattern 12 in the first stage, FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA of FIG.

【0031】液剤パターン12の線幅、膜厚及び断面積
に影響するパラメーターは、ニードル8と被塗布体11
との距離及び液剤吐出圧力であり、テーブル10とニー
ドル8との相対速度、つまり塗布スピードは生産におい
ては固定することが通常であるため、パラメーターから
は除外する。
The parameters that affect the line width, film thickness and cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 are the needle 8 and the object 11 to be coated.
And the liquid agent discharge pressure, and the relative speed between the table 10 and the needle 8, that is, the coating speed is usually fixed in production, and is therefore excluded from the parameters.

【0032】各パラメーターが最適値の場合、aのよう
な液剤パターン12の塗布状態となる。ニードル8と被
塗布体11との距離が長い場合、bのように液剤パター
ン12の膜厚が厚くなり、ニードル8と被塗布体11と
の距離が短い場合、cのように液剤パターン12の膜厚
が薄くなる。ニードル8と被塗布体11との距離が適正
値であっても、液剤吐出圧力が低い場合、dのように線
幅が細くなり、液剤吐出圧力が高い場合、eのように線
幅が太くなる。
When each parameter has an optimum value, the liquid agent pattern 12 as shown by a is applied. When the distance between the needle 8 and the object to be coated 11 is long, the film thickness of the liquid agent pattern 12 becomes thick as shown in b, and when the distance between the needle 8 and the object to be coated 11 is short, the liquid agent pattern 12 becomes thicker as shown in c. The film thickness becomes thin. Even if the distance between the needle 8 and the object to be coated 11 is an appropriate value, the line width becomes thin as shown by d when the liquid discharge pressure is low, and the line width becomes thick as e when the liquid discharge pressure is high. Become.

【0033】この第1段階における最適な塗布条件の設
定方法について、図4を用いて説明する。図4は第1段
階における実施の形態1での最適な塗布条件の設定方法
を説明するフローチャートである。図中のSはステップ
を意味している。
A method of setting the optimum coating conditions in the first stage will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a flow chart for explaining the optimum coating condition setting method in the first embodiment in the first stage. S in the figure means a step.

【0034】ニードル8と被塗布体11との距離及び液
剤吐出圧力を初期化し(ステップS101)、液剤パタ
ーン12を被塗布体11上に塗布する(ステップS10
2)。初期化とは、最適な塗布条件であると思われる値
に設定することである。
The distance between the needle 8 and the object 11 to be coated and the liquid agent discharge pressure are initialized (step S101), and the liquid agent pattern 12 is applied onto the object 11 to be coated (step S10).
2). Initialization means setting to a value that is considered to be optimum coating conditions.

【0035】液剤パターン12の線幅がニードル8の外
径と等しい場合、液剤パターン12の膜厚は、ニードル
8と被塗布体11との距離を正確に示すことが分かって
いるため、測定手段によって液剤パターン12の線幅を
測定する(ステップS103)。
When the line width of the liquid agent pattern 12 is equal to the outer diameter of the needle 8, it is known that the film thickness of the liquid agent pattern 12 accurately indicates the distance between the needle 8 and the object 11 to be coated, and therefore the measuring means. The line width of the liquid agent pattern 12 is measured by (step S103).

【0036】液剤パターン12の線幅の測定は、塗布開
始点及び終点以外の安定した液剤パターン12が得られ
る部分、例えば塗布中間点等で行う。
The line width of the liquid agent pattern 12 is measured at a portion other than the application start point and the end point where a stable liquid agent pattern 12 is obtained, for example, the midpoint of application.

【0037】演算処理手段5により、あらかじめ設定し
ておいた液剤パターン12の線幅の最適値とステップS
103で測定した液剤パターン12の線幅との偏差を求
め(ステップS104)、偏差が有る場合には、演算処
理手段5によって自動制御理論を用いて液剤吐出圧力を
補正し(ステップS105)、ステップS102へ戻
る。
The optimum value of the line width of the liquid agent pattern 12 set in advance by the arithmetic processing means 5 and step S
The deviation from the line width of the liquid agent pattern 12 measured in 103 is obtained (step S104). If there is a deviation, the arithmetic processing means 5 corrects the liquid agent discharge pressure using the automatic control theory (step S105), and the step Return to S102.

【0038】液剤パターン12の線幅が最適値よりも太
い場合、液剤吐出圧力を低く設定し、液剤パターン12
の線幅が最適値よりも細い場合、液剤吐出圧力を高く設
定する。
When the line width of the liquid agent pattern 12 is thicker than the optimum value, the liquid agent discharge pressure is set low and the liquid agent pattern 12 is set.
When the line width of is smaller than the optimum value, the liquid agent discharge pressure is set high.

【0039】液剤吐出圧力は、リアルタイムに補正する
ことができないため、液剤塗布、液剤パターン12の線
幅測定及び液剤吐出圧力補正を繰り返し、液剤パターン
12の線幅がニードル8の外径に対して±10μmを満
たすまで、ステップS102乃至ステップS105を行
う。
Since the liquid agent discharge pressure cannot be corrected in real time, the liquid agent application, the line width measurement of the liquid agent pattern 12 and the liquid agent discharge pressure correction are repeated, and the line width of the liquid agent pattern 12 with respect to the outer diameter of the needle 8. Steps S102 to S105 are performed until ± 10 μm is satisfied.

【0040】ステップS104において、ステップS1
02で塗布した液剤パターン12の線幅がニードル8の
外径に対して±10μmを満たしていれば、同じ条件で
液剤パターン12の膜厚補正用の液剤パターン12を塗
布し(ステップS106)、測定手段によって液剤パタ
ーン12の膜厚を測定する(ステップS107)。
In step S104, step S1
If the line width of the liquid agent pattern 12 applied in 02 satisfies ± 10 μm with respect to the outer diameter of the needle 8, the liquid agent pattern 12 for film thickness correction of the liquid agent pattern 12 is applied under the same conditions (step S106), The film thickness of the liquid agent pattern 12 is measured by the measuring means (step S107).

【0041】演算処理手段5により、あらかじめ設定し
ておいた液剤パターン12の膜厚の最適値とステップS
107で測定した液剤パターン12の膜厚との偏差を求
め(ステップS108)、偏差が有る場合には、演算処
理手段5によってニードル8と被塗布体11との距離を
補正し(ステップS109)、ステップS106へ戻
る。
The optimum value of the film thickness of the liquid agent pattern 12 set in advance by the arithmetic processing means 5 and step S
A deviation from the film thickness of the liquid agent pattern 12 measured in 107 is obtained (step S108), and if there is a deviation, the arithmetic processing means 5 corrects the distance between the needle 8 and the object to be coated 11 (step S109). It returns to step S106.

【0042】液剤パターン12の膜厚が最適値よりも厚
い場合、ニードル8と被塗布体11との距離を短く設定
し、液剤パターン12の膜厚が最適値よりも薄い場合、
ニードル8と被塗布体11との距離を長く設定する。例
えば、液剤パターン12の膜厚の最適値が30μmの場
合、ステップS107で測定した液剤パターン12の膜
厚が25μmであれば、ニードル8と被塗布体11との
距離が5μm短いことになる。
When the film thickness of the liquid agent pattern 12 is thicker than the optimum value, the distance between the needle 8 and the article 11 is set short, and when the film thickness of the liquid agent pattern 12 is thinner than the optimum value,
The distance between the needle 8 and the body 11 to be coated is set long. For example, when the optimum value of the film thickness of the liquid agent pattern 12 is 30 μm and the film thickness of the liquid agent pattern 12 measured in step S107 is 25 μm, the distance between the needle 8 and the coated object 11 is 5 μm shorter.

【0043】ニードル8と被塗布体11との距離は、リ
アルタイムに補正することができないため、液剤塗布、
液剤パターン12の膜厚測定及びニードル8と被塗布体
11との距離補正を繰り返し、液剤パターン12の膜厚
があらかじめ設定した最適値に対して±1μmを満たす
まで、ステップS106乃至ステップS109を行う。
Since the distance between the needle 8 and the object 11 to be coated cannot be corrected in real time, liquid agent coating,
The measurement of the film thickness of the liquid agent pattern 12 and the correction of the distance between the needle 8 and the article 11 are repeated, and steps S106 to S109 are performed until the film thickness of the liquid agent pattern 12 satisfies ± 1 μm with respect to the preset optimum value. .

【0044】ステップS108において、ステップS1
06で塗布した液剤パターン12の膜厚があらかじめ設
定した最適値に対して±1μmを満たしていれば、同じ
条件で液剤パターン12の断面積補正用の液剤パターン
12を塗布し(ステップS110)、測定手段によって
液剤パターン12の断面積を測定する(ステップS11
1)。
In step S108, step S1
If the film thickness of the liquid agent pattern 12 applied in 06 satisfies ± 1 μm with respect to the preset optimum value, the liquid agent pattern 12 for correcting the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 is applied under the same conditions (step S110). The measuring means measures the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 (step S11).
1).

【0045】演算処理手段5により、あらかじめ設定し
ておいた液剤パターン12の断面積の最適値とステップ
S111で測定した液剤パターン12の断面積との偏差
を求め(ステップS112)、偏差が有る場合には、演
算処理手段5によって自動制御理論を用いて液剤吐出圧
力を補正し(ステップS113)、ステップS110へ
戻る。
The arithmetic processing means 5 obtains a deviation between the optimum cross-sectional area of the liquid medicine pattern 12 set in advance and the cross-sectional area of the liquid medicine pattern 12 measured in step S111 (step S112). First, the arithmetic processing means 5 corrects the liquid agent discharge pressure using the automatic control theory (step S113), and returns to step S110.

【0046】液剤パターン12の断面積が最適値よりも
大きい場合、液剤吐出圧力を低く設定し、液剤パターン
12の断面積が最適値よりも小さい場合、液剤吐出圧力
を高く設定する。
When the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 is larger than the optimum value, the liquid agent discharge pressure is set low, and when the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 is smaller than the optimum value, the liquid agent discharge pressure is set high.

【0047】液剤吐出圧力は、リアルタイムに補正する
ことができないため、液剤塗布、液剤パターン12の断
面積測定及び液剤吐出圧力補正を繰り返し、液剤パター
ン12の断面積があらかじめ設定しておいた液剤パター
ン12の断面積の最適値に対して±5%を満たすまで、
ステップS110乃至ステップS113を行う。
Since the liquid agent discharge pressure cannot be corrected in real time, the liquid agent application, the measurement of the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 and the correction of the liquid agent discharge pressure are repeated, and the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 is preset. Until the optimum value of the cross-sectional area of 12 is ± 5%,
Steps S110 to S113 are performed.

【0048】ステップS112において、ステップS1
10で塗布した液剤パターン12の断面積があらかじめ
設定した最適値に対して±5%を満たしていれば、液剤
吐出圧力及びニードル8と被塗布体11との距離を生産
用パターンの塗布データーファイルに写し、生産用の条
件として設定し(ステップS114)、第1段階におけ
る最適な塗布条件の設定を終了する。
In step S112, step S1
If the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 applied in 10 satisfies ± 5% of the preset optimum value, the liquid agent discharge pressure and the distance between the needle 8 and the object 11 are applied to the application data file of the production pattern. And set it as a production condition (step S114), and the setting of the optimum coating condition in the first stage is completed.

【0049】第2及び第3段階として、塗布開始点及び
終点の位置及び断面積に影響を与えるパラメーターの設
定を行うのであるが、第2及び第3段階における最適な
塗布条件の設定を行う際の前提となるのが、第1段階に
おける最適な塗布条件の設定が終了していることであ
る。
As the second and third steps, the parameters that affect the positions and cross-sectional areas of the coating start point and the end point are set. When setting the optimum coating conditions in the second and third steps, The premise is that the setting of the optimum coating conditions in the first stage has been completed.

【0050】第1段階における最適な塗布条件の設定が
終了していることにより、塗布開始点及び終点以外の部
分では、液剤パターン12の線幅、膜厚及び断面積が一
定であり、第2及び第3段階における最適な塗布条件の
設定に悪影響を与えることがないため、塗布開始点及び
終点の位置及び断面積を補正するだけでよく、最適な塗
布条件の設定をスムーズに行うことができる。
Since the setting of the optimum coating conditions in the first stage is completed, the line width, the film thickness and the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 are constant except for the coating start point and the end point. Also, since there is no adverse effect on the setting of the optimum coating conditions in the third stage, it is only necessary to correct the positions and cross-sectional areas of the coating start point and the end point, and the optimal coating conditions can be set smoothly. .

【0051】第2段階での液剤パターン12の塗布状態
と各パラメーターとの関係について、図5及び図6を用
いて説明する。図5は第2及び第3段階における液剤パ
ターン12の塗布状態を説明する平面図、図6は図5の
B−B線における断面図である。図5のB−B線は、液
剤パターン12の塗布終点近傍を示している。
The relationship between the coating state of the liquid agent pattern 12 and each parameter in the second stage will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a plan view illustrating a coating state of the liquid agent pattern 12 in the second and third stages, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. The line BB in FIG. 5 indicates the vicinity of the application end point of the liquid agent pattern 12.

【0052】液剤パターン12の塗布終点の位置及び断
面積に影響するパラメーターは、塗布終了タイミングで
あり、テーブル10とニードル8との相対速度、つまり
塗布スピードは生産においては固定することが通常であ
るため、パラメーターからは除外する。
The parameter that affects the position and the cross-sectional area of the application end point of the liquid agent pattern 12 is the application end timing, and the relative speed between the table 10 and the needle 8, that is, the application speed is usually fixed in production. Therefore, it is excluded from the parameters.

【0053】塗布終了タイミングが最適値の場合、fの
ような液剤パターン12の塗布状態となる。塗布終了タ
イミングが早い場合、iのように液剤パターン12が設
定位置に塗布されないまま塗布が終了し、塗布終了タイ
ミングが遅い場合、jのように液剤パターン12の塗布
終点の断面積が大きくなる。
When the application end timing is the optimum value, the application state of the liquid agent pattern 12 as shown by f is obtained. When the application end timing is early, the application ends without applying the liquid agent pattern 12 to the set position as in i, and when the application end timing is late, the cross-sectional area of the application end point of the liquid agent pattern 12 increases as in j.

【0054】この第2段階における最適な塗布条件の設
定方法について、図7を用いて説明する。図7は第2段
階における実施の形態1での最適な塗布条件の設定方法
を説明するフローチャートである。図中のSはステップ
を意味している。
A method of setting the optimum coating conditions in the second stage will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a flow chart for explaining the optimum coating condition setting method in the first embodiment in the second stage. S in the figure means a step.

【0055】塗布終了タイミングを初期化し(ステップ
S201)、液剤パターン12を被塗布体11上に塗布
する(ステップS202)。初期化とは、最適な塗布条
件であると思われる値に設定することである。
The application end timing is initialized (step S201), and the liquid agent pattern 12 is applied onto the article 11 to be coated (step S202). Initialization means setting to a value that is considered to be optimum coating conditions.

【0056】測定手段によって液剤パターン12の終点
位置を測定する(ステップS203)。そして、演算処
理手段5により、あらかじめ設定しておいた液剤パター
ン12の終点位置の設定位置とステップS203で測定
した液剤パターン12の終点位置とを比較し(ステップ
S204)、設定位置に液剤パターン12が無い場合に
は、演算処理手段5によって設定位置と液剤パターン1
2の終点位置との距離に基づいて塗布終了タイミングを
遅くし(ステップS205)、ステップS202へ戻
る。
The end point position of the liquid agent pattern 12 is measured by the measuring means (step S203). Then, the arithmetic processing means 5 compares the preset position of the end point position of the liquid agent pattern 12 with the end point position of the liquid agent pattern 12 measured in step S203 (step S204), and the liquid agent pattern 12 is set at the set position. If there is not, the setting position and the liquid agent pattern 1 are calculated by the arithmetic processing means 5.
The application end timing is delayed based on the distance from the end point position of 2 (step S205), and the process returns to step S202.

【0057】塗布終了タイミングは、リアルタイムで補
正することができないため、液剤塗布、液剤パターン1
2の終点位置測定及び塗布終了タイミング補正を繰り返
し、液剤パターン12の終点位置が設定位置に対して±
30μmとなるまで、ステップS202乃至ステップS
205を行う。
Since it is not possible to correct the application end timing in real time, liquid application, liquid pattern 1
Repeat the measurement of the end point position of 2 and the correction of the application end timing so that the end point position of the liquid agent pattern 12 is ±
Steps S202 to S202 until the thickness reaches 30 μm
Perform 205.

【0058】ステップS204において、ステップS2
02で塗布した液剤パターン12の終点位置が設定位置
に対して±30μmとなっていれば、測定手段によって
塗布終点の断面積を測定する(ステップS206)。
In step S204, step S2
If the end point position of the liquid agent pattern 12 applied in 02 is ± 30 μm with respect to the set position, the measuring means measures the cross-sectional area of the application end point (step S206).

【0059】この塗布終点の断面積を測定する位置は、
塗布終点から300μm程度離れた位置を測定すること
が望ましいが、300μmに限られたものではなく、塗
布終了時の過渡特性の影響を受ける部分であればよい。
The position for measuring the cross-sectional area at the end of coating is
It is desirable to measure a position about 300 μm away from the application end point, but the position is not limited to 300 μm and may be any part affected by transient characteristics at the end of application.

【0060】演算処理手段5により、あらかじめ設定し
ておいた液剤パターン12の塗布終点の断面積の最適値
とステップS206で測定した液剤パターン12の塗布
終点の断面積とを比較し(ステップS207)、塗布終
点の断面積が小さい場合には、ステップS205へ戻
り、演算処理手段5によって最適値との偏差に基づいて
塗布終了タイミングを遅くし、ステップS202へ戻
る。また、塗布終点の断面積が大きい場合には、演算処
理手段5によって最適値との偏差に基づいて塗布終了タ
イミングを早くし(ステップS208)、ステップS2
02へ戻る。
The calculation processing means 5 compares the preset optimum cross-sectional area of the application end point of the liquid agent pattern 12 with the cross-section area of the application end point of the liquid agent pattern 12 measured in step S206 (step S207). If the cross-sectional area of the application end point is small, the process returns to step S205, the arithmetic processing means 5 delays the application end timing based on the deviation from the optimum value, and the process returns to step S202. When the cross-sectional area of the application end point is large, the arithmetic processing means 5 advances the application end timing based on the deviation from the optimum value (step S208), and step S2.
Return to 02.

【0061】塗布終了タイミングは、リアルタイムで補
正することができないため、液剤塗布、液剤パターン1
2の終点の断面積測定及び塗布終了タイミング補正を繰
り返し、液剤パターン12の終点の断面積が最適値に対
して±5%を満たすまで、ステップS202乃至ステッ
プS208を行う。
Since the application end timing cannot be corrected in real time, liquid agent application, liquid agent pattern 1
The measurement of the cross-sectional area at the end point 2 and the correction of the application end timing are repeated, and steps S202 to S208 are performed until the cross-sectional area at the end point of the liquid agent pattern 12 satisfies ± 5% of the optimum value.

【0062】ステップS207において、ステップS2
02で塗布した液剤パターン12の塗布終点の断面積が
あらかじめ設定した最適値に対して±5%を満たしてい
れば、塗布終了タイミングを生産用パターンの塗布デー
ターファイルに写し、生産用の条件として設定し(ステ
ップS209)、第2段階における最適な塗布条件の設
定を終了する。
In step S207, step S2
If the cross-sectional area of the application end point of the liquid agent pattern 12 applied in 02 meets ± 5% with respect to the preset optimum value, the application end timing is copied to the application data file of the production pattern and used as the production condition. The setting is performed (step S209), and the setting of the optimum coating conditions in the second stage is completed.

【0063】第3段階での液剤パターン12の塗布状態
と各パラメーターとの関係について、図5及び図8を用
いて説明する。図8は図5のC−C線における断面図で
ある。図5のC−C線は、液剤パターン12の塗布開始
点近傍を示している。
The relationship between the coating state of the liquid agent pattern 12 and each parameter in the third stage will be described with reference to FIGS. 5 and 8. FIG. 8 is a sectional view taken along the line CC of FIG. The line C-C in FIG. 5 indicates the vicinity of the application start point of the liquid agent pattern 12.

【0064】液剤パターン12の塗布開始点の位置及び
断面積に影響するパラメーターは、塗布開始タイミン
グ、ニードル先付着液剤吸引圧力及びニードル先付着液
剤吸引時間であり、テーブル10とニードル8との相対
速度、つまり塗布スピードは生産においては固定するこ
とが通常であるため、パラメーターからは除外する。
The parameters that affect the position of the application start point and the cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 are the application start timing, the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip and the suction time of the liquid agent adhering to the needle tip, and the relative speed between the table 10 and the needle 8. That is, since the coating speed is usually fixed in production, it is excluded from the parameters.

【0065】この塗布開始点の位置及び断面積に影響す
るパラメーターのうち、塗布開始タイミング及びニード
ル先付着液剤吸引時間は、使用する液剤の粘度及びチク
ソ比並びに生産用パターン毎にあらかじめ設定しておい
た最適値に合わせて一度設定すれば固定することができ
るため、ニードル先付着液剤吸引圧力のみを補正して設
定すればよい。
Among the parameters that affect the position of the coating start point and the cross-sectional area, the coating start timing and the suction time of the liquid agent adhering to the needle tip are set in advance for each viscosity and thixo ratio of the liquid agent used and for each production pattern. Since it can be fixed once it is set according to the optimum value, only the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip needs to be corrected and set.

【0066】ニードル先付着液剤吸引圧力が最適値の場
合、fのような液剤パターン12の塗布状態となる。ニ
ードル先付着液剤吸引圧力が低い場合、ニードル先付着
液剤を吸引しきれないため、gのように塗布開始点に液
剤を擦り付けてしまって断面積が大きくなり、ニードル
先付着液剤吸引圧力が高い場合、液剤とともに空気をニ
ードル8内に吸い込んでしまうため、hのように塗布開
始点に液剤パターン12が塗布されない。
When the suction pressure of the liquid material adhering to the needle tip is the optimum value, the liquid material pattern 12 as shown by f is applied. When the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip is low, the liquid agent adhering to the needle tip cannot be completely sucked up, and the liquid agent is rubbed at the application start point as shown in g, resulting in a large cross-sectional area. Since the air is sucked into the needle 8 together with the liquid agent, the liquid agent pattern 12 is not applied at the application start point like h.

【0067】この第3段階における最適な塗布条件の設
定方法について、図9を用いて説明する。図9は第3段
階における最適な塗布条件の設定方法を説明するフロー
チャートである。図中のSはステップを意味している。
A method of setting the optimum coating conditions in the third stage will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a flowchart for explaining the optimum coating condition setting method in the third step. S in the figure means a step.

【0068】ニードル先付着液剤吸引圧力を初期化し
(ステップS301)、液剤パターン12を被塗布体1
1上に塗布する(ステップS302)。初期化とは、最
適な塗布条件であると思われる値に設定することであ
る。
The suction pressure of the liquid agent attached to the needle tip is initialized (step S301), and the liquid agent pattern 12 is applied to the object 1 to be coated.
1 is applied (step S302). Initialization means setting to a value that is considered to be optimum coating conditions.

【0069】測定手段によって液剤パターン12の開始
点位置を測定する(ステップS303)。そして、演算
処理手段5により、あらかじめ設定しておいた液剤パタ
ーン12の開始点位置の設定位置とステップS303で
測定した液剤パターン12の開始点位置とを比較し(ス
テップS304)、設定位置に液剤パターン12が無い
場合には、演算処理手段5によって設定位置と液剤パタ
ーン12の開始点位置との距離に基づいてニードル先付
着液剤吸引圧力を低くし(ステップS305)、ステッ
プS302へ戻る。
The position of the starting point of the liquid agent pattern 12 is measured by the measuring means (step S303). Then, the arithmetic processing means 5 compares the preset position of the starting point position of the liquid agent pattern 12 with the starting point position of the liquid agent pattern 12 measured in step S303 (step S304), and the liquid agent is placed at the setting position. If there is no pattern 12, the calculation processing means 5 lowers the needle tip-adhered liquid agent suction pressure based on the distance between the set position and the start point position of the liquid agent pattern 12 (step S305), and returns to step S302.

【0070】ニードル先付着液剤吸引圧力は、リアルタ
イムで補正することができないため、液剤塗布、液剤パ
ターン12の開始点位置測定及びニードル先付着液剤吸
引圧力補正を繰り返し、液剤パターン12の開始点位置
が設定位置に対して±30μmとなるまで、ステップS
302乃至ステップS305を行う。
Since the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip cannot be corrected in real time, the application of the liquid agent, the measurement of the starting point position of the liquid agent pattern 12 and the correction of the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip are repeated to determine the starting point position of the liquid agent pattern 12. Step S until the set position is ± 30 μm
Steps 302 to S305 are performed.

【0071】ステップS304において、ステップS3
02で塗布した液剤パターン12の開始点位置が設定位
置に対して±30μmとなっていれば、測定手段によっ
て塗布開始点の断面積を測定する(ステップS30
6)。
In step S304, step S3
If the starting point position of the liquid agent pattern 12 applied in 02 is ± 30 μm with respect to the set position, the measuring means measures the cross-sectional area of the applying start point (step S30).
6).

【0072】この塗布開始点の断面積を測定する位置
は、塗布開始点から300μm程度離れた位置を測定す
ることが望ましいが、300μmに限られたものではな
く、塗布開始時の過渡特性の影響を受ける部分であれば
よい。
The position at which the cross-sectional area of the coating start point is measured is preferably a position about 300 μm away from the coating start point, but it is not limited to 300 μm, and the influence of transient characteristics at the start of coating is It only has to be the part to receive.

【0073】演算処理手段5により、あらかじめ設定し
ておいた液剤パターン12の塗布開始点の断面積の最適
値とステップS306で測定した液剤パターン12の塗
布開始点の断面積とを比較し(ステップS307)、塗
布開始点の断面積が小さい場合には、ステップS305
へ戻り、最適値との偏差に基づいてニードル先付着液剤
吸引圧力を低くし、ステップS302へ戻る。また、塗
布開始点の断面積が大きい場合には、演算処理手段5に
よって最適値との偏差に基づいてニードル先付着液剤吸
引圧力を高くし(ステップS308)、ステップS30
2へ戻る。
The arithmetic processing means 5 compares the preset cross-sectional area of the application starting point of the liquid agent pattern 12 with the cross-sectional area of the application starting point of the liquid agent pattern 12 measured in step S306 (step S307), if the cross-sectional area of the application start point is small, step S305
Returning to step S302, the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip is lowered based on the deviation from the optimum value, and the process returns to step S302. When the cross-sectional area of the application start point is large, the suction pressure of the needle tip adhering liquid agent is increased by the arithmetic processing means 5 based on the deviation from the optimum value (step S308), and step S30.
Return to 2.

【0074】ニードル先付着液剤吸引圧力は、リアルタ
イムで補正することができないため、液剤塗布、液剤パ
ターン12の開始点の断面積測定及びニードル先付着液
剤吸引圧力補正を繰り返し、液剤パターン12の開始点
の断面積が最適値に対して±5%を満たすまで、ステッ
プS302乃至ステップS308を行う。
Since the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip cannot be corrected in real time, the application of the liquid agent, the measurement of the cross-sectional area of the starting point of the liquid agent pattern 12 and the correction of the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip are repeated to obtain the starting point of the liquid agent pattern 12. Steps S302 to S308 are performed until the cross-sectional area of 5 satisfies ± 5% of the optimum value.

【0075】ステップS307において、ステップS3
02で塗布した液剤パターン12の塗布開始点の断面積
があらかじめ設定した最適値に対して±5%を満たして
いれば、ニードル先付着液剤吸引圧力を生産用パターン
の塗布データーファイルに写し、生産用の条件として設
定し(ステップS309)、第3段階における最適な塗
布条件の設定を終了し、すべての塗布条件の設定を終了
する。
In step S307, step S3
If the cross-sectional area of the application start point of the solution pattern 12 applied in 02 meets ± 5% of the preset optimum value, the needle tip attached solution suction pressure is copied to the application data file of the production pattern to produce (Step S309), the setting of the optimum coating conditions in the third stage is finished, and the setting of all the coating conditions is finished.

【0076】第1段階における最適な塗布条件を設定す
る際の液剤パターン12は、塗布スピードを生産時と等
しく、すべてのノズル7を使用した直線部分を多く含む
パターンが望ましく、被塗布体11全体を埋めてしまう
ようなパターンである必要はなく、何度も繰り返して塗
布し、補正するため、直線のような単純なパターンを塗
布することで十分である。
The liquid agent pattern 12 for setting the optimum coating conditions in the first stage is preferably a pattern having a coating speed equal to that at the time of production and including many straight line portions using all the nozzles 7. It is not necessary to have a pattern that fills in, and it is sufficient to apply a simple pattern such as a straight line in order to apply and correct it repeatedly.

【0077】第2段階における最適な塗布条件を設定す
る際の液剤パターン12についても、第1段階と同様
に、塗布スピードを生産時と等しく、すべてのノズル7
を使用した直線部分を多く含むパターンが望ましく、被
塗布体11全体を埋めてしまうようなパターンである必
要はなく、何度も繰り返して塗布し、補正するため、直
線のような単純なパターンを塗布することで十分であ
る。
As for the liquid agent pattern 12 when setting the optimum coating conditions in the second stage, the coating speed is the same as that in the production and all the nozzles 7 are used, as in the first stage.
A pattern including a large number of straight line portions using is preferable and does not need to be a pattern that fills the entire body 11 to be coated. Since a simple pattern such as a straight line is used for applying and correcting repeatedly. Application is sufficient.

【0078】第3段階における最適な塗布条件を設定す
る際の液剤パターン12については、第1及び第2段階
のように、直線のような単純なパターンを用いることは
困難である。
As for the liquid agent pattern 12 for setting the optimum coating conditions in the third step, it is difficult to use a simple pattern such as a straight line as in the first and second steps.

【0079】それは、塗布終点から次の塗布開始点への
ノズル7の移動時間が異なれば、ニードル8先に付着す
る液剤の量が異なるため、ニードル先付着液剤吸引圧力
の設定を直線のような単純なパターンで行って生産用パ
ターンを塗布した場合、ニードル先付着液剤吸引圧力が
最適値に設定されていない状態となってしまうためであ
る。
If the moving time of the nozzle 7 from the application end point to the next application start point is different, the amount of the liquid agent attached to the tip of the needle 8 is different. This is because if the production pattern is applied by performing a simple pattern, the suction pressure of the liquid agent adhering to the needle tip will not be set to the optimum value.

【0080】このため、第3段階における最適な塗布条
件を設定する際の液剤パターン12としては、塗布終点
から次の塗布開始点へのノズル7の移動時間が生産用パ
ターンと完全に等しくなる単純なパターンまたは生産用
パターンを用いることが望ましい。
Therefore, as the liquid agent pattern 12 for setting the optimum coating conditions in the third stage, the liquid agent pattern 12 is simple in that the moving time of the nozzle 7 from the coating end point to the next coating start point is completely equal to the production pattern. It is desirable to use different patterns or production patterns.

【0081】第1乃至第3段階における最適な塗布条件
を設定する際には、何度も繰り返して液剤パターン12
を被塗布体11上に塗布するため、液剤パターン12が
被塗布体11上からはみ出してしまう可能性がある。
When setting the optimum coating conditions in the first to third steps, the liquid agent pattern 12 is repeated many times.
Is applied on the object 11 to be coated, the liquid agent pattern 12 may protrude from the object 11 to be coated.

【0082】そこで、次のような塗布前処理を行う必要
がある。この塗布前処理を図10を用いて説明する。図
10は塗布前処理の方法を説明するフローチャートであ
る。
Therefore, it is necessary to perform the following coating pretreatment. This coating pretreatment will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a flowchart illustrating a method of pretreatment for coating.

【0083】測定手段を用いて、被塗布体11上の液剤
パターン12の位置を測定し(ステップS401)、演
算処理手段5によって次の液剤パターン12が被塗布体
11上に塗布できるか判断する(ステップS402)。
The position of the liquid agent pattern 12 on the object to be coated 11 is measured using the measuring means (step S401), and the arithmetic processing means 5 determines whether the next liquid agent pattern 12 can be applied to the object to be coated 11. (Step S402).

【0084】ステップS402において、被塗布体11
上に次の液剤パターン12を塗布できると判断した場
合、塗布前処理を終了する。
In step S402, the object to be coated 11
When it is determined that the next liquid material pattern 12 can be applied, the pre-application process is ended.

【0085】一方、ステップS402において、被塗布
体11上に次の液剤パターン12を塗布できないと判断
した場合、演算処理手段5が別の新しい被塗布体11を
要求する(ステップS403)とともに、別の新しい被
塗布体11がセットされたか否かを確認する(ステップ
S404)。
On the other hand, if it is determined in step S402 that the next liquid agent pattern 12 cannot be applied onto the object 11 to be coated, the arithmetic processing means 5 requests another new object 11 to be coated (step S403) and the It is confirmed whether or not the new object 11 to be coated has been set (step S404).

【0086】ステップS404において、別の新しい被
塗布体11がセットされていない場合、ステップS40
3に戻って再度別の新しい被塗布体11を要求し、別の
新しい被塗布体11がセットされている場合、塗布前処
理を終了する。
If another new object 11 is not set in step S404, step S40.
Returning to step 3, another new object to be coated 11 is requested again, and when another new object to be coated 11 is set, the coating pretreatment is ended.

【0087】(実施の形態2)第1段階での液剤パター
ン12の塗布状態と各パラメーターとの関係について
は、図2及び図3を用いて実施の形態1で説明した通り
である。
(Embodiment 2) The relationship between the application state of the liquid agent pattern 12 and each parameter at the first stage is as described in Embodiment 1 with reference to FIGS. 2 and 3.

【0088】この第1段階における最適な塗布条件の設
定方法について、図11を用いて説明する。図11は第
1段階における実施の形態2での最適な塗布条件の設定
方法を説明するフローチャートである。図中のSはステ
ップを意味している。
A method of setting the optimum coating conditions in the first stage will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a flow chart for explaining the optimum coating condition setting method in the second embodiment in the first stage. S in the figure means a step.

【0089】ニードル8と被塗布体11との距離及び液
剤吐出圧力の設定範囲を手動にて設定し(ステップS5
01)、その範囲内で可能な限り多くの条件で液剤パタ
ーン12を多数塗布する(ステップS502)。
The distance between the needle 8 and the object to be coated 11 and the setting range of the liquid agent discharge pressure are manually set (step S5).
01), a large number of liquid agent patterns 12 are applied under as many conditions as possible within the range (step S502).

【0090】この多数塗布した液剤パターン12の線
幅、膜厚及び断面積を測定手段によって測定し(ステッ
プS503)、あらかじめ設定しておいた最適値に最も
近い液剤パターン12を演算処理手段5によって検出す
る(ステップS504)。
The line width, film thickness and cross-sectional area of the liquid agent pattern 12 applied in large numbers are measured by the measuring means (step S503), and the liquid agent pattern 12 closest to the preset optimum value is calculated by the arithmetic processing means 5. It is detected (step S504).

【0091】そして、最適値に最も近い液剤パターン1
2は、線幅が最適値であるニードル8の外径に対して±
10μm、膜厚が最適値に対して±1μm、断面積が最
適値に対して±5%の生産基準値を満たしているか否か
を演算処理手段5によって判断する(ステップS50
5)。
Liquid agent pattern 1 closest to the optimum value
2 is ± with respect to the outer diameter of the needle 8 whose line width is the optimum value.
The arithmetic processing means 5 determines whether or not the production standard value of 10 μm, the film thickness ± 1 μm with respect to the optimum value, and the cross-sectional area ± 5% with respect to the optimum value are satisfied (step S50).
5).

【0092】ステップS505において、液剤パターン
12が生産基準値を満たしていない場合、ステップS5
01に戻り、ニードル8と被塗布体11との距離及び液
剤吐出圧力の設定範囲を手動にて狭くし、液剤パターン
12が生産基準値を満たすまでステップS501乃至ス
テップS505を行う。
In step S505, when the liquid agent pattern 12 does not satisfy the production standard value, step S5
Returning to 01, the distance between the needle 8 and the object to be coated 11 and the setting range of the liquid agent discharge pressure are manually narrowed, and steps S501 to S505 are performed until the liquid agent pattern 12 satisfies the production reference value.

【0093】一方、ステップS505において、液剤パ
ターン12が生産基準値を満たしている場合、ニードル
8と被塗布体11との距離及び液剤吐出圧力を生産用パ
ターンの塗布データーファイルに写し、生産用の条件と
して設定し(ステップS506)、第1段階における最
適な塗布条件の設定を終了する。
On the other hand, in step S505, when the liquid agent pattern 12 satisfies the production standard value, the distance between the needle 8 and the object 11 to be coated and the liquid agent discharge pressure are copied to the coating data file of the production pattern and used for production. This is set as a condition (step S506), and the setting of the optimum coating condition in the first stage is completed.

【0094】第2段階での液剤パターン12の塗布状態
と各パラメーターとの関係については、図5及び図6を
用いて実施の形態1で説明した通りである。
The relationship between the coating state of the liquid agent pattern 12 and each parameter in the second stage is as described in the first embodiment with reference to FIGS. 5 and 6.

【0095】この第2段階における最適な塗布条件の設
定方法について、図12を用いて説明する。図12は第
2段階における実施の形態2での最適な塗布条件の設定
方法を説明するフローチャートである。図中のSはステ
ップを意味している。
A method of setting the optimum coating conditions in the second stage will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a flow chart for explaining the optimum coating condition setting method in the second embodiment in the second stage. S in the figure means a step.

【0096】塗布終了タイミングの設定範囲を手動にて
設定し(ステップS601)、その範囲内で可能な限り
多くの条件で液剤パターン12を多数塗布する(ステッ
プS602)。
The setting range of the application end timing is manually set (step S601), and a large number of liquid agent patterns 12 are applied under as many conditions as possible within that range (step S602).

【0097】この多数塗布した液剤パターン12の終点
位置及び終点の断面積を測定手段によって測定し(ステ
ップS603)、あらかじめ設定しておいた最適値に最
も近い液剤パターン12を演算処理手段5によって検出
する(ステップS604)。
The end point position and the cross-sectional area of the end point of the applied liquid agent pattern 12 are measured by the measuring means (step S603), and the arithmetic means 5 detects the liquid agent pattern 12 closest to the preset optimum value. Yes (step S604).

【0098】そして、最適値に最も近い液剤パターン1
2は、終点位置が設定位置に対して±30μm、終点の
断面積が最適値に対して±5%の生産基準値を満たして
いるか否かを演算処理手段5によって判断する(ステッ
プS605)。
The liquid agent pattern 1 closest to the optimum value
In No. 2, the arithmetic processing unit 5 determines whether or not the end point position is within ± 30 μm with respect to the set position and the cross-sectional area of the end point satisfies the production reference value of ± 5% with respect to the optimum value (step S605).

【0099】ステップS605において、液剤パターン
12が生産基準値を満たしていない場合、ステップS6
01に戻り、塗布終了タイミングの設定範囲を手動にて
狭くし、液剤パターン12が生産基準値を満たすまでス
テップS601乃至ステップS605を行う。
In step S605, if the liquid agent pattern 12 does not meet the production standard value, step S6.
Returning to 01, the setting range of the application end timing is manually narrowed, and steps S601 to S605 are performed until the liquid agent pattern 12 satisfies the production reference value.

【0100】一方、ステップS605において、液剤パ
ターン12が生産基準値を満たしている場合、塗布終了
タイミングを生産用パターンの塗布データーファイルに
写し、生産用の条件として設定し(ステップS60
6)、第2段階における最適な塗布条件の設定を終了す
る。
On the other hand, if the liquid agent pattern 12 satisfies the production reference value in step S605, the application end timing is copied to the application data file of the production pattern and set as the production condition (step S60).
6) Then, the setting of the optimum coating conditions in the second stage is completed.

【0101】第3段階での液剤パターン12の塗布状態
と各パラメーターとの関係については、図5及び図8を
用いて実施の形態1で説明した通りである。
The relationship between the application state of the liquid agent pattern 12 and each parameter in the third stage is as described in the first embodiment with reference to FIGS. 5 and 8.

【0102】この第3段階における最適な塗布条件の設
定方法については、図9を用いて実施の形態1で説明し
た通りに行う。これは、第1及び第2段階における最適
な塗布条件の設定では、直線のような単純なパターンで
十分であるが、第3段階における最適な塗布条件の設定
では、塗布終点から次の塗布開始点へのノズル7の移動
時間が生産用パターンと完全に等しくなる単純なパター
ンまたは生産用パターンを用いることが望ましいため、
被塗布体11上に多数の液剤パターン12を塗布するこ
とが困難となるためである。
The optimum coating condition setting method in the third stage is as described in the first embodiment with reference to FIG. This is because a simple pattern such as a straight line is sufficient for setting the optimum coating conditions in the first and second stages, but in the setting of the optimum coating conditions in the third stage, the next coating start from the coating end point. Since it is desirable to use a simple pattern or a production pattern in which the moving time of the nozzle 7 to the point is completely equal to the production pattern,
This is because it becomes difficult to apply a large number of liquid agent patterns 12 onto the article 11 to be coated.

【0103】実施の形態2においても、塗布前処理につ
いては行う必要があり、図10を用いて実施の形態1で
説明した通りに行う。
In the second embodiment as well, it is necessary to perform the pretreatment for coating, and it is performed as described in the first embodiment with reference to FIG.

【0104】[0104]

【0105】[0105]

【発明の効果】本発明の液剤塗布装置によれば、ノズル
先端部のニードルから液剤を被塗布体上に塗布し、任意
の液剤パターンを形成する液剤塗布装置において、前記
被塗布体上に塗布した前記液剤パターンの位置、線幅、
膜厚及び断面積を測定する測定手段と、前記測定手段か
ら得られたデーターに基づいて最適な塗布条件を算出
し、算出した塗布条件に設定する演算処理手段とを有
し、前記演算処理手段は、塗布条件として、第1段階で
溶剤パターンの線幅、膜厚及び断面積に影響するパラメ
ーター算出し、第2段階で溶剤パターンの塗布終点に影
響するパラメーターを算出し、第3段階で溶剤パターン
の塗布開始点に影響するパラメーターを算出することに
よって、互いに影響を及ぼし合う複数のパラメーターを
最適な値に設定することができるため、習熟度の低い作
業者であっても、時間と労力を必要としないで最適な塗
布条件を設定することができる。
According to the liquid agent applying apparatus of the present invention, the liquid agent is applied onto the object to be coated from the needle at the tip of the nozzle to form an arbitrary liquid agent pattern. Position of the liquid agent pattern, line width,
The processing means has a measuring means for measuring the film thickness and the cross-sectional area, and an arithmetic processing means for calculating an optimum coating condition based on the data obtained from the measuring means and setting the calculated coating condition. Is a coating condition. In the first step, parameters affecting the line width, film thickness, and cross-sectional area of the solvent pattern are calculated, in the second step, parameters affecting the coating end point of the solvent pattern are calculated, and in the third step, the solvent is calculated. By calculating the parameters that affect the application start point of the pattern, it is possible to set multiple parameters that affect each other to the optimum values, so even a worker with low proficiency can save time and effort. Optimal coating conditions can be set without the need.

【0106】[0106]

【0107】また、前記液剤パターンを複数の塗布条件
で塗布し、前記測定手段によって各々の液剤パターンを
測定し、前記演算処理手段によって最適な塗布状態の液
剤パターンを選択することにより、作業者の習熟度に関
係なく最適な塗布状態の液剤パターンを得ることができ
る。
Further, by applying the liquid agent pattern under a plurality of application conditions, measuring each liquid agent pattern by the measuring means, and selecting the most suitable applied liquid agent pattern by the arithmetic processing means, It is possible to obtain an optimally applied liquid agent pattern regardless of the proficiency level.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係わる液剤塗布装置を示す概念図であ
る。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a liquid agent applying device according to the present invention.

【図2】第1段階における液剤パターンの塗布状態を説
明する平面図である。
FIG. 2 is a plan view illustrating a coating state of a liquid agent pattern in a first stage.

【図3】図2のA−A線における断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図4】第1段階における実施の形態1での最適な塗布
条件の設定方法を説明するフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart illustrating a method of setting optimum coating conditions according to the first embodiment in the first stage.

【図5】第2及び第3段階における液剤パターンの塗布
状態を説明する平面図である。
FIG. 5 is a plan view illustrating a coating state of liquid agent patterns in the second and third stages.

【図6】図5のB−B線における断面図である。6 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.

【図7】第2段階における実施の形態1での最適な塗布
条件の設定方法を説明するフローチャートである。
FIG. 7 is a flowchart illustrating a method of setting optimum coating conditions according to the first embodiment in the second stage.

【図8】図5のC−C線における断面図である。8 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.

【図9】第3段階における最適な塗布条件の設定方法を
説明するフローチャートである。
FIG. 9 is a flowchart illustrating a method of setting optimum coating conditions in a third step.

【図10】塗布前処理の方法を説明するフローチャート
である。
FIG. 10 is a flowchart illustrating a method of pretreatment for coating.

【図11】第1段階における実施の形態2での最適な塗
布条件の設定方法を説明するフローチャートである。
FIG. 11 is a flowchart illustrating a method of setting optimum coating conditions according to the second embodiment in the first stage.

【図12】第2段階における実施の形態2での最適な塗
布条件の設定方法を説明するフローチャートである。
FIG. 12 is a flowchart illustrating a method of setting optimum coating conditions according to the second embodiment in the second stage.

【図13】従来の液剤塗布装置の主要部を示す斜視図で
ある。
FIG. 13 is a perspective view showing a main part of a conventional liquid agent applying device.

【図14】従来の複数のノズルを用いた液剤塗布装置の
主要部を示す斜視図である。
FIG. 14 is a perspective view showing a main part of a conventional liquid agent applying device using a plurality of nozzles.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スリット光源 2 カメラ 3 照明 4 ハーフミラー 5 演算処理手段 6 液剤吐出制御手段 7 ノズル 8 ニードル 9 テーブル駆動機構 10 テーブル 11 被塗布体 12 液剤パターン 51 ノズル 52 ニードル 53 テーブル 54 被塗布体 55 液剤パターン 1 slit light source 2 camera 3 lighting 4 half mirror 5 Processing means 6 Liquid agent discharge control means 7 nozzles 8 needles 9 Table drive mechanism 10 tables 11 Body to be coated 12 liquid agent pattern 51 nozzles 52 needle 53 tables 54 coated object 55 liquid agent pattern

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ノズル先端部のニードルから液剤を被塗
布体上に塗布し、任意の液剤パターンを形成する液剤塗
布装置において、 前記被塗布体上に塗布した前記液剤パターンの位置、線
幅、膜厚及び断面積を測定する測定手段と、 前記測定手段から得られたデーターに基づいて最適な塗
布条件を算出し、算出した塗布条件に設定する演算処理
手段とを有し、 前記演算処理手段は、塗布条件として、第1段階で溶剤
パターンの線幅、膜厚及び断面積に影響するパラメータ
ー算出し、第2段階で溶剤パターンの塗布終点に影響す
るパラメーターを算出し、第3段階で溶剤パターンの塗
布開始点に影響するパラメーターを算出することを特徴
とする液剤塗布装置。
1. A liquid agent applying device for applying a liquid agent onto an object to be coated from a needle at the tip of a nozzle to form an arbitrary liquid agent pattern, the position of the liquid agent pattern applied to the object to be coated, the line width, And an arithmetic processing unit configured to calculate an optimum coating condition based on the data obtained from the measuring unit and set the calculated coating condition. Is a coating condition. In the first step, parameters affecting the line width, film thickness, and cross-sectional area of the solvent pattern are calculated, in the second step, parameters affecting the coating end point of the solvent pattern are calculated, and in the third step, the solvent is calculated. A liquid agent applying device, which calculates a parameter that influences an application starting point of a pattern.
【請求項2】 前記液剤パターンを複数の塗布条件で塗
布し、前記測定手段によって各々の液剤パターンを測定
し、前記演算処理手段によって最適な塗布状態の液剤パ
ターンを選択することを特徴とする請求項1記載の液剤
塗布装置。
2. The liquid agent pattern is applied under a plurality of application conditions, each liquid agent pattern is measured by the measuring means, and the liquid agent pattern in the optimum applied state is selected by the arithmetic processing means. Item 1. The liquid agent applying device according to item 1.
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