JP3406853B2 - 走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査形プローブ顕微鏡Info
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- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
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- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
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- G—PHYSICS
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- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/868—Scanning probe structure with optical means
- Y10S977/87—Optical lever arm for reflecting light
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、原子間力顕微鏡
や摩擦力顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡に関する。
や摩擦力顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】 原子間力顕微鏡では、カンチレバーと
試料間に働く力による影響はカンチレバーの機械的変位
としてあらわれ、その変位は一般的に光てこ方式で測定
される。この光てこ方式では、フォーカスしたレーザー
光がカンチレバーの背面に当てられ、反射した光はたと
えば４分割のフォトダイオードで検出されてカンチレバ
ーの変位が測定される。
試料間に働く力による影響はカンチレバーの機械的変位
としてあらわれ、その変位は一般的に光てこ方式で測定
される。この光てこ方式では、フォーカスしたレーザー
光がカンチレバーの背面に当てられ、反射した光はたと
えば４分割のフォトダイオードで検出されてカンチレバ
ーの変位が測定される。
【０００３】ところで、カンチレバーと試料間に力が働
いていない時には、カンチレバーで反射したレーザー光
をフォトダイオードの適正位置、すなわち中心に入射さ
せることが大事である。このような調整はオペレータに
よって行われ、オペレータは、フォトダイオードを直接
見ながらその中心にレーザー光が入射するようにフォト
ダイオードの位置を調整している。
いていない時には、カンチレバーで反射したレーザー光
をフォトダイオードの適正位置、すなわち中心に入射さ
せることが大事である。このような調整はオペレータに
よって行われ、オペレータは、フォトダイオードを直接
見ながらその中心にレーザー光が入射するようにフォト
ダイオードの位置を調整している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、フォ
トダイオードの大きさは小さく、その中心にレーザー光
を入射させる調整は非常に困難である。
トダイオードの大きさは小さく、その中心にレーザー光
を入射させる調整は非常に困難である。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、フォトダイオードへの光の入射位置
の調整を容易に行うことができる走査形プローブ顕微鏡
を提供することにある。
ので、その目的は、フォトダイオードへの光の入射位置
の調整を容易に行うことができる走査形プローブ顕微鏡
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の走査形プローブ顕微鏡は、光源からの光をカンチ
レバーの背面に照射し、カンチレバーで反射した光を光
検出器で検出してカンチレバーの変位を測定するように
した走査形プローブ顕微鏡において、前記光検出器の受
光部の図を表示装置に表示させると共に、前記受光部の
出力に基づいて受光部への光の入射位置を求めて、その
入射位置を示すマーカーを前記受光部の図に重畳させて
表示させるようにしたことを特徴とする。
発明の走査形プローブ顕微鏡は、光源からの光をカンチ
レバーの背面に照射し、カンチレバーで反射した光を光
検出器で検出してカンチレバーの変位を測定するように
した走査形プローブ顕微鏡において、前記光検出器の受
光部の図を表示装置に表示させると共に、前記受光部の
出力に基づいて受光部への光の入射位置を求めて、その
入射位置を示すマーカーを前記受光部の図に重畳させて
表示させるようにしたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【０００８】図１は本発明の一例として示した、原子間
力顕微鏡の概略図である。
力顕微鏡の概略図である。
【０００９】図１において、１は試料であり、試料１
は、Ｘ，ＹおよびＺ方向に移動可能な試料移動手段２の
上に置かれている。この試料１に対向してカンチレバー
３が配置されており、カンチレバー３の先端には探針４
が固定されている。
は、Ｘ，ＹおよびＺ方向に移動可能な試料移動手段２の
上に置かれている。この試料１に対向してカンチレバー
３が配置されており、カンチレバー３の先端には探針４
が固定されている。
【００１０】５は光源で、光源５で発生したレーザー光
は前記カンチレバー３の背面に当たり、カンチレバー３
の背面で反射したレーザー光は光検出器６の受光部で検
出される。図中７は、その受光部である４分割フォトダ
イオードであり、フォトダイオード７は４つの受光素子
７ａ〜７ｄで構成されている。受光素子７ａ〜７ｄの出
力信号ａ〜ｄは、それぞれ増幅器で増幅されてからＡＤ
変換された後、光入射位置算出手段８と光強度算出手段
９に送られる。この光入射位置算出手段８の出力信号と
光強度算出手段９の出力信号は表示制御手段１０に送ら
れ、表示制御手段１０は送られてくる信号に基づいて表
示装置１１を制御する。
は前記カンチレバー３の背面に当たり、カンチレバー３
の背面で反射したレーザー光は光検出器６の受光部で検
出される。図中７は、その受光部である４分割フォトダ
イオードであり、フォトダイオード７は４つの受光素子
７ａ〜７ｄで構成されている。受光素子７ａ〜７ｄの出
力信号ａ〜ｄは、それぞれ増幅器で増幅されてからＡＤ
変換された後、光入射位置算出手段８と光強度算出手段
９に送られる。この光入射位置算出手段８の出力信号と
光強度算出手段９の出力信号は表示制御手段１０に送ら
れ、表示制御手段１０は送られてくる信号に基づいて表
示装置１１を制御する。
【００１１】図中、１２は光源調整手段であり、光源調
整手段１２は、光源５の発光量を調整したり、光源５を
移動させたり傾斜させるためのものである。また、１３
は光検出器調整手段であり、光検出器調整手段１３は、
前記フォトダイオード７を移動させるためのものであ
る。
整手段１２は、光源５の発光量を調整したり、光源５を
移動させたり傾斜させるためのものである。また、１３
は光検出器調整手段であり、光検出器調整手段１３は、
前記フォトダイオード７を移動させるためのものであ
る。
【００１２】以下、このような構成における、フォトダ
イオード７へのレーザー光の入射位置調整について説明
する。
イオード７へのレーザー光の入射位置調整について説明
する。
【００１３】まず、この調整時には、カンチレバー３と
試料１間に力が働かないように、試料１はカンチレバー
３から遠ざけられる。この状態で、カンチレバー３にレ
ーザー光が当てられ、カンチレバー３の背面で反射した
レーザー光は、フォトダイオード７の各受光素子７ａ〜
７ｄで検出される。受光素子７ａ〜７ｄは、検出した光
信号を電気信号に変換して、信号ａ〜ｄをそれぞれ出力
する。これらの出力信号ａ〜ｄは、増幅器とＡＤ変換器
を介して光入射位置算出手段８と光強度算出手段９に送
られる。
試料１間に力が働かないように、試料１はカンチレバー
３から遠ざけられる。この状態で、カンチレバー３にレ
ーザー光が当てられ、カンチレバー３の背面で反射した
レーザー光は、フォトダイオード７の各受光素子７ａ〜
７ｄで検出される。受光素子７ａ〜７ｄは、検出した光
信号を電気信号に変換して、信号ａ〜ｄをそれぞれ出力
する。これらの出力信号ａ〜ｄは、増幅器とＡＤ変換器
を介して光入射位置算出手段８と光強度算出手段９に送
られる。
【００１４】光入射位置算出手段８は、各受光素子から
信号が送られてくると、受光素子ごとの信号強度の割合
から、フォトダイオード７への入射光の中心位置を算出
する。この入射光の中心位置をあらわす信号は、前記表
示制御手段１０に送られる。
信号が送られてくると、受光素子ごとの信号強度の割合
から、フォトダイオード７への入射光の中心位置を算出
する。この入射光の中心位置をあらわす信号は、前記表
示制御手段１０に送られる。
【００１５】一方、前記光強度算出手段９は、各受光素
子から送られてくる信号を加算して、フォトダイオード
７への入射光の強度を算出する。この入射光の強度をあ
らわす信号は前記表示制御手段１０に送られる。
子から送られてくる信号を加算して、フォトダイオード
７への入射光の強度を算出する。この入射光の強度をあ
らわす信号は前記表示制御手段１０に送られる。
【００１６】ところで、表示装置１１の表示画面には、
表示制御手段１０の制御により、前記４分割フォトダイ
オード７の受光面の拡大図が表示されている。そして、
表示制御手段１０は、光入射位置算出手段８から上述し
たフォトダイオード７への入射光の中心位置をあらわす
信号が送られてくると、その中心位置に対応する前記受
光面図上の位置に、その位置を中心とする円形のマーカ
ーを受光面図に重畳させて表示する。
表示制御手段１０の制御により、前記４分割フォトダイ
オード７の受光面の拡大図が表示されている。そして、
表示制御手段１０は、光入射位置算出手段８から上述し
たフォトダイオード７への入射光の中心位置をあらわす
信号が送られてくると、その中心位置に対応する前記受
光面図上の位置に、その位置を中心とする円形のマーカ
ーを受光面図に重畳させて表示する。
【００１７】この表示により、オペレータは、フォトダ
イオード７へのレーザー光の入射位置を知ることがで
き、オペレータは、マーカーの中心が受光面図の中心に
来るように前記光検出器調整手段１３を調整する。この
調整は非常に簡単で、かつ正確にレーザー光をフォトダ
イオードの中心に入射させることができる。
イオード７へのレーザー光の入射位置を知ることがで
き、オペレータは、マーカーの中心が受光面図の中心に
来るように前記光検出器調整手段１３を調整する。この
調整は非常に簡単で、かつ正確にレーザー光をフォトダ
イオードの中心に入射させることができる。
【００１８】また、表示制御手段１０は、光強度算出手
段９から送られてくる入射光の強度をあらわす信号に基
づき、入射光の強度が適正であれば前記マーカーをたと
えば緑色に、また入射光の強度が高ければマーカーをた
とえば赤色に、また入射光の強度が低ければマーカーを
たとえば黄色に色分けして識別表示する。図１では、円
形のマーカーの内側に斜線が入っているが、実際には、
この斜線部分には入射光の強度に対応した色が付けられ
る。
段９から送られてくる入射光の強度をあらわす信号に基
づき、入射光の強度が適正であれば前記マーカーをたと
えば緑色に、また入射光の強度が高ければマーカーをた
とえば赤色に、また入射光の強度が低ければマーカーを
たとえば黄色に色分けして識別表示する。図１では、円
形のマーカーの内側に斜線が入っているが、実際には、
この斜線部分には入射光の強度に対応した色が付けられ
る。
【００１９】このような色表示により、オペレータは、
フォトダイオード７へのレーザー光の強度が適正である
かどうかを知ることができ、オペレータは、マーカーの
色を見ながら前記光源調整手段１２を調整する。
フォトダイオード７へのレーザー光の強度が適正である
かどうかを知ることができ、オペレータは、マーカーの
色を見ながら前記光源調整手段１２を調整する。
【００２０】なお、光源５の発光量が多い時には前記入
射光の強度は高く、このような場合には光源５の寿命は
短くなる。また、入射光の強度が低すぎるとＳ／Ｎが下
がって力測定の精度が下がる。これらの問題を発生させ
ないために、上述した光源調整が行われる。
射光の強度は高く、このような場合には光源５の寿命は
短くなる。また、入射光の強度が低すぎるとＳ／Ｎが下
がって力測定の精度が下がる。これらの問題を発生させ
ないために、上述した光源調整が行われる。
【００２１】以上、図１の装置の動作について説明した
が、上述したマーカーを同心円としたり、マーカーの中
心に＋表示を行ったり、マーカーの中心の輝度を他より
上げたりすると、マーカーの中心がわかりやすくなる。
が、上述したマーカーを同心円としたり、マーカーの中
心に＋表示を行ったり、マーカーの中心の輝度を他より
上げたりすると、マーカーの中心がわかりやすくなる。
【００２２】また、上記例では、マーカーの形は円形で
あったが、その形は正方形などでも良い。
あったが、その形は正方形などでも良い。
【００２３】また、上記例では、入射光の強度を色であ
らわすようにしたが、入射光の強度に応じて前記円形マ
ーカーの径を変えて表示させ、その径が所定の大きさに
なるように前記光源調整手段を調整するようにしても良
い。このとき、図２に示すように、前記受光面図の中心
に、最適強度をあらわすマーカーを表示させておけば、
その調整は容易になる。
らわすようにしたが、入射光の強度に応じて前記円形マ
ーカーの径を変えて表示させ、その径が所定の大きさに
なるように前記光源調整手段を調整するようにしても良
い。このとき、図２に示すように、前記受光面図の中心
に、最適強度をあらわすマーカーを表示させておけば、
その調整は容易になる。
【００２４】また、本発明は原子間力顕微鏡に限らず、
カンチレバーにより力を検出する摩擦力顕微鏡などにも
適用可能である。
カンチレバーにより力を検出する摩擦力顕微鏡などにも
適用可能である。
【図１】 本発明の一例として示した、原子間力顕微鏡
の概略図である。
の概略図である。
【図２】 表示装置に表示されるマーカーを示した図で
ある。
ある。
１…試料、２…試料移動手段、３…カンチレバー、４…
探針、５…光源、６…光検出器、７…フォトダイオー
ド、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ…受光素子、８…光入射位
算出手段、９…光強度算出手段、１０…表示制御手段、
１１…表示装置、１２…光源調整手段、１３…光検出器
調整手段
探針、５…光源、６…光検出器、７…フォトダイオー
ド、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ…受光素子、８…光入射位
算出手段、９…光強度算出手段、１０…表示制御手段、
１１…表示装置、１２…光源調整手段、１３…光検出器
調整手段
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(56)参考文献 特開 平８−240602（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−118843（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−218369（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−210809（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−44695（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−90284（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−163739（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−334520（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−274050（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−104245（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−258067（ＪＰ，Ａ)
特開2000−19093（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−8909（ＪＰ，Ｕ)
国際公開97／8733（ＷＯ，Ａ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 13/10 - 13/24
G12B 21/00 - 21/24
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 光源からの光をカンチレバーの背面に照
射し、カンチレバーで反射した光を光検出器で検出して
カンチレバーの変位を測定するようにした走査形プロー
ブ顕微鏡において、前記光検出器の受光部の図を表示装
置に表示させると共に、前記受光部の出力に基づいて受
光部への光の入射位置を求めて、その入射位置を示すマ
ーカーを前記受光部の図に重畳させて表示させるように
したことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記受光部の出力強度に応じて、前記マ
ーカーの色を変化させて表示することを特徴とする請求
項１記載の走査形プローブ顕微鏡。 - 【請求項３】 前記マーカーの形状を円形とし、その円
の径を前記受光部の出力強度に応じて変えることを特徴
とする請求項１または２に記載の走査形プローブ顕微
鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32498098A JP3406853B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 走査形プローブ顕微鏡 |
| US09/434,234 US6294774B1 (en) | 1998-11-16 | 1999-11-05 | Scanning probe microscope having graphical information |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32498098A JP3406853B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 走査形プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000146808A JP2000146808A (ja) | 2000-05-26 |
| JP3406853B2 true JP3406853B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=18171791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32498098A Expired - Fee Related JP3406853B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 走査形プローブ顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6294774B1 (ja) |
| JP (1) | JP3406853B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008051556A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構及びそれを用いた表面情報計測装置 |
| DE102006055528A1 (de) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Rasterkraftmikroskop mit Artefaktkontrolle |
| JP7255521B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2023-04-11 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡における光軸調整方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4134481C2 (de) * | 1991-10-18 | 1998-04-09 | Zeiss Carl Fa | Operationsmikroskop zur rechnergestützten, stereotaktischen Mikrochirurgie |
| US5481908A (en) | 1993-04-28 | 1996-01-09 | Topometrix Corporation | Resonance contact scanning force microscope |
-
1998
- 1998-11-16 JP JP32498098A patent/JP3406853B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-11-05 US US09/434,234 patent/US6294774B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6294774B1 (en) | 2001-09-25 |
| JP2000146808A (ja) | 2000-05-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030225 |
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