JPH02163643A - Ｘ線応力測定装置の試料位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線応力測定装置における試料位置決め装置
に関する。

（従来の技術） Ｘ線応力測定装置は、試料面にＸ線ビームを照射し、試
料からの回折Ｘ線の方向を測定するものであるから、構
造要素としてゴニオメータ心を有し、試料の測定点をゴ
ニオメータの中心に位置させる必要があるが、測定試料
は大型の構造物で形状が不特定であるので、Ｘ線の照射
位置即ち試料設置場所は広く何もない空間となっている
ために、試料が正しい位置にセットされたのがどうかを
何らかの方法で確認する必要がある。

従来は、この試料が正しい位置にセラｌ−されたかどう
かを確認するために、セツティング治具をゴニオメータ
の基準となる面にセラｌ−して、その治具に設けられた
針状の先端が試料の測定点と一致するように配置し、試
料の測定点が上記針状先端に当たるように試料をセット
シている。

しかし、上記の方法では、測定前にセツティング治具を
取付け、試料を正しい位置にセットシた後、測定を行う
時には、セツティング治具を取り外すと云う作業を行っ
ているので、試料を交換する度に、」二記のセツティン
グ作業を行う必要があるので、時間がかかり、作業性が
悪いと云う問題があった。

また、治具の先端が針状であるため、試料をセツティン
グする時に試料が治具に接触して、試料面に傷が生じる
とか治具の方を変形させてしまうと云う問題もあった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、試料の位置決め作業を能率良く且つ試料面を
傷つけたりすることなく行えるようにすることを目０勺
とする。

く課題を解決するための手段） Ｘ線応力測定装置において、Ｘ線応力測定装置における
正しい試料位置を睨むように配置され、試料から発せら
れる特定波長の蛍光Ｘ線（試料から発せられる特性Ｘ線
）を検出する分光検出手段と、試料面をＸ線応力測定装
置に対して相対的に上下に移動させる移動手段と、上記
分光検出手段で検出される特性Ｘ線の検出信号により上
記移動手段を制御して、上記検出信号が最大値を示す位
置に試料の測定点を位置させるようにした。

（作用） Ｘ線応力測定装置は、試料の格子間距離が応力によって
歪んで変化するので、格子間距離を測定することによっ
て試料の残留応力を測定しようとするものであり、格子
間距離はＸ線の回折角度を測定することによって得られ
る。本発明は応力測定のためのＸ線照射により、試料か
ら発せられる蛍光Ｘ線を利用して試料の位置決めをする
ものである。

試料にＸ線を照射し、励起された試料から放射される蛍
光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線測定装置では、検出器は測定
点の方向に向けて設けてあり、そのために試料面が正し
いＸ線照射位置からずれると、試料からの蛍光Ｘ線が検
出手段に入射しなくなり、検出器の検出出力も低下する
から、試料からの蛍光Ｘ線の検出出力が最大になるよう
に試料を移動させれば、自動的に試料を正しい位置にセ
ラ１へできることになる。

（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、Ｓ
は試料、ＧはＸ線回折装置のゴニオメータ、１はＸ線管
、２はＸ線管から放射されるＸ線がゴニオメータの中心
線上にある試料の測定領域を照射するように規制するＸ
線１次側絞り、３は試料照射Ｘ線を平行線束にする１次
側ソーラースリット、４は正しい測定点にある試料から
放射及び回折されるＸ線だけがＸ線検出器６に入射する
ようにＸ線の入射方向に制限を加える２次側絞り、５は
ソーラスリット３と同様に試料からの平行Ｘ線束を取出
す２次側ソーラースリッｌ〜で、これらの絞り４．ソー
ラスリッ１〜５によりＸ線検出器が正しい試料位置をに
らむようになっている。Ｘ線検出器６は入射Ｘ線光子の
エネルギーに比例した波高のパルスを出力する比例検出
器で、７はＸ線検出器６で検出される信号をその出力に
比例した波高を持つパルス信号に変換する比例増幅器、
８は特定の波高のパルス信号だけを選別する波高分析器
、８Ａは選別する波高のローレベルを設定するローレベ
ル設定器、８Ｂは選別する波高のハイレベルを設定する
ハイレベル設定器で、比例検出器６．比例増幅器７．波
高分析器８によりＸ線分光器を構成すると共に、Ｘ線応
力測定装置の回折Ｘ線検出器ともなっている。９は波高
分析器８で選別されたパルス信号を計数する計数器であ
る。測定点を中心として回動するようにゴニオメータＧ
上に、Ｘ線管１．１次側絞り２，１次側ソーラスリット
３を一体として取付け、同様にして、２次側絞り４，２
次側ソーラースリット５．Ｘ線検出器６を一体としてゴ
ニオメータＧ上に摺動可能に取付けている。

本発明の主旨である試料のセツティング動作について説
明する。波高分析器８の選別波高値を試料主元素の特性
Ｘ線のエネルギー値に設定する。

Ｘ線検出器６の初位置は任意であるが、ゴニオメータＧ
上の位置を試料について予想される回折Ｘ線の方向から
外れた方向に設定しておくのが便利である。試料をＡか
らＣまで降下させながら測定すると、第２図に示すよう
な計数曲線が得られる。蛍光Ｘ線の放射方向は全立体角
内に広がっているから、Ｘ線検出器６がどの方向にあっ
ても検出でき、第２図の計数曲線は試料位置による蛍光
Ｘ線の強度変化を示す。この計数曲線のピーク頂点に相
当する位置に試料を固定する。

この状態において、波高分析器８の選別波高値をＸ線源
のターゲットの特性Ｘ線のエネルギー値に合わせ、ゴニ
オメータ上でＸ線検出器６を駆動させて、目的のＸ線の
回折角度を走査する。検出された回折Ｘ線ピークの回折
角により格子間歪みを計算して、試料の残留応力を測定
する。

上記実施例では、Ｘ線応力測定装置に対して試料を上下
させているが、応力の測定装置の方を上下させてもよい
ことは云うまでもない。

（発明の効果） 本発明によれば、試料の位置決め作業を自動的に能率良
く且つ試料面を傷つけることなく行えるようになったこ
とで、測定能率が一段と向上した１次側絞り、３・・・
１次側ソーラスリット、４・・・２次側絞り、５・・・
２次側ソーラスリット、６・・・Ｘ線検出器、７・・・
比例増幅器、８・・・波高分析器、８Ａ・・・ローレベ
ル設定器、８Ｂ・・ハイレベル設定器、９・・・計数器
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｘ線応力測定装置における正しい試料位置を睨むように
   配置され、試料から発せられる特定波長の蛍光Ｘ線を検
   出する分光検出手段と、試料面をＸ線応力測定装置に対
   して相対的に上下に移動させる移動手段と、上記分光検
   出手段で検出される特性Ｘ線の検出信号により上記移動
   手段を制御して、上記検出信号が最大値を示す位置に試
   料の測定点を位置させるようにしたことを特徴とするＸ
   線応力測定装置の試料位置決め装置。