JP2008111782A - エックス線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発生装置2と検出装置3とを共通のラック6によってこのラック6と噛合するピニオン27a、37aをそれぞれ備えた駆動モータ27、37により各別に移動させるようにする。また、発生装置2と検出装置3とを、それぞれ照射方向と検出方向に移動可能とする。これら発生装置2と検出装置3の移動を案内するガイドレール4を3分割にして形成し、ベースプレート5に形成した収容溝4bに収容させて固定すると共に、該ガイドレール4の内側部分にはベースプレート5に固定した維持板5aを当接させて、ガイドレール4が温度変化等により変形することを防止する。
【選択図】 図1
Description
2 発生装置(エックス線発生手段)
27 駆動モータ
3 検出装置(エックス線検出手段)
37 駆動モータ
4 ガイドレール
5 ベースプレート
51 径方向駆動モータ
6 ラック
7 コントロールボックス
8 支持プレート
81 径直角方向駆動モータ
9 架台プレート
10 支持ブラケット
12 キャピラリー
13 キャピラリー
30 測距装置
101 エックス線制御器
O 測定対象物
Do 照射方向
Di 検出方向
Claims (7)
- 測定対象の被測定位置に対して白色エックス線を照射するエックス線発生手段と、前記被測定位置から放出されたエックス線のエネルギーと強度を検出するエックス線検出手段とを有し、照射角度と検出角度を所定の関係に保って前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とをそれぞれ移動させ、前記エックス線検出手段により取得されたエックス線のエネルギーと強度とに基づいて回折エックス線分析と蛍光エックス線分析を行うエックス線分析装置において、
前記エックス線発生手段の移動とエックス線検出手段の移動とを案内する共通の案内手段と、
前記案内手段に、前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とのそれぞれを各別に連繋させてこれらエックス線発生手段とエックス線検出手段を前記案内手段に案内させて各別に移動させる発生手段駆動手段と検出手段駆動手段とからなり、
エックス線発生手段の移動とエックス線検出手段の移動とを各別に行うことを特徴とするエックス線分析装置。 - 前記発生手段駆動手段と検出手段駆動手段は、前記案内手段と所定の位置関係に配したラックと、前記ラックに噛合するピニオンギヤと、前記ピニオンギヤを有する、発生手段用駆動モータと検出手段用駆動モータとからなることを特徴とする請求項1に記載のエックス線分析装置。
- 前記発生手段用駆動モータと検出手段用駆動モータは、ステッピングモータからなることを特徴とする請求項2に記載のエックス線分析装置。
- 前記案内手段を、前記被測定位置を位置付かせる測定予定位置を中心とした円弧に沿った形状のガイドレールで形成し、
前記ガイドレールの両端部の位置を、前記測定予定位置よりも該ガイドレールの敷設側に配し、
前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とを、それぞれ照射方向と検出方向とに移動可能とし、
前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とを、前記ガイドレールのそれぞれの端部よりも突出した位置まで移動可能としたことを特徴とする請求項2または請求項3に記載のエックス線分析装置。 - 前記ガイドレールを敷設したベースプレートを、前記ガイドレールと相似形に円弧に沿った形状に形成すると共に、このベースプレートの両端部にガイドレールの両端部よりも突出させた突出部を設け、この突出部を支持ブラケットで、該突出部を移動可能に支持したことを特徴とする請求項4に記載のエックス線分析装置。
- 前記ガードレールを適宜数に分割した構造とし、前記ベースプレートのガイドレールを収容する収容溝を形成し、この収容溝にガイドレールを収容させて敷設したことを特徴とする請求項5に記載のエックス線分析装置。
- 前記ガイドレールの内側の円弧面とほぼ等しい円弧面を備えた維持板を前記ベースプレートに取り付て、この維持板によりガイドレールの円弧形状を維持させることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のエックス線分析装置。
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