JP2017527794A - X線光学系による試料の走査方法及び試料走査用装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1対向部材と、
第2対向部材と、
2つの対向部材を接続する1対の接続部材と、を備える。
第1旋回軸の延長方向に沿って延びる第1接続面内の一対の接続部材である接続部材は、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第1端部を介して第1対向部材と接続される。
第1旋回軸の延長方向に沿って延びる第1接続面の側に配置された(第1台形ガイドの領域内の)第2接続面内の一対の接続部材である接続部材は、第1接続面の第1旋回軸に対向する第1接続面から離れて配置され、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第2端部を介して第2対向部材と接続される。
第1接続面に沿って、かつ第1旋回軸に対して直角の方向に、一方の接続部材の少なくとも1つの第1端部は、第2接続面に沿った方向に、他方の接続部材の少なくとも1つである第1端部までの間の第1距離を有し、一方の接続部材の少なくとも1つの第2端部は、第1旋回軸に対して直角に、他方の接続部材の少なくとも1つである第2端部までの間の第2距離を有し、第1距離は第2距離より小さい。
第1旋回軸に対して直角に延びる面方向に沿って、それぞれの少なくとも1つの第1端部から、それぞれの接続部材の少なくとも1つの第2端部までの距離は、それぞれ等しい。
第1台形ガイドは、その対向部材の1つを介して受入部材と自動的に接続され、したがって、第1旋回軸回りにするX線光学装置のある程度の回転は、他方の対向部材に連動して受入部材が自動的に接続された対向部材の旋回によって自動的に実現される。
第1対向部材と、
第2対向部材と、
2つの対向部材を接続する1対の接続部材とを備える。
第2旋回軸の延長方向に沿って延びる第1接続面内の一対の接続部材である接続部材は、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第1端部を介して第1対向部材と接続される。
第2旋回軸の延長方向に沿って延びる第2接続面の側に配置された(第2台形ガイドの領域内の)第1接続面内の一対の接続部材である接続部材は、第1接続面の第2旋回軸に対向する第1接続面から離れて配置され、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第2端部を介して第2対向部材と接続されている。
第1接続面に沿って、かつ第2旋回軸に対して直角の方向に、一方の接続部材の少なくとも1つの第1端部は、第2接続面に沿った方向に、他方の接続部材の少なくとも1つである第1端部までの間の第1距離を有し、一方の接続部材の少なくとも1つの第2端部は、第1旋回軸に対して直角に、他方の接続部材の少なくとも1つである第2端部までの間の第2距離を有し、第1距離は第2距離より小さい。
第2旋回軸に対して直角に延びる面方向に沿って、それぞれの少なくとも1つの第1端部から、それぞれの接続部材の少なくとも1つの第2端部までの距離は、それぞれ等しい。
第1台形ガイドは、その対向部材の1つを介して受入部材と自動的に接続され、したがって、第1旋回軸回りにするX線光学装置のある程度の回転は、他方の対向部材に連動して受入部材が自動的に接続された対向部材の旋回によって自動的に実現される。
第1台形ガイドの第1対向部材は、X線光学系に全く動かないように接続され、
第1台形ガイドの第2対向部材は、第2台形ガイドの第2対向部材に全く動かないように接続されているか、又は第2台形ガイドの第2対向部材と一体となっており、
第2台形ガイドの第1対向部材は、装置を固定するためのものである。
前記第1台形ガイドの前記第1対向部材に第1駆動力を導入することを含み、前記第1枢動力は、前記第1走査方向の成分を含み(その結果、X線光学系を第1旋回軸回りにある程度回転させることができる)、さらに好ましくは、アクチュエータは、以下のように設計されている。
第1台形ガイドの第1対向部材に第2枢動力を導入することを含み、前記第2駆動力は、前記第2走査方向の成分を含み(第2旋回軸回りにX線光学系をある程度の旋回され得る結果として)、前記第2駆動力は第1台形ガイドの接続部材を介して第1及び第2台形ガイドの第2対向部材に導かれる。
図示されたように、2つの機構は、第1平行四辺形ガイド220及び第2平行四辺形ガイド260として機能することができる。
図4は、平行移動機構200をx軸方向、すなわち正のx方向に見た側面図である。
接続面228、230に対して平行方向に、かつ第1平行移動方向221に対して直角の方向に、それぞれの接続部材226の2つの第1端部232及び2つの第2端部234は、したがってこの例ではy方向に、互いにずれている。
92 第1走査方向
92a 正の第1走査方向
92b 負の第1走査方向
93 第2走査方向
93a 正の第2走査方向
93b 負の第2走査方向
94 検出器
96 装置
97 制御デバイス
98 デバイス
99 試料
100 X線光学系/キャピラリーレンズ
101 レンズ軸
102 所定の点/焦点
103 試料台
104 入射点/入射焦点
105 中央測定点
106 測定点
107a (進行する)X線
107b (発散する)放射線
108 射出点/射出焦点
109 測定開始点
110 受取部材
112 ギャップ
114 調整部材
115 弾性部材
116 湾曲ベアリング
117 アクチュエータ
118 第1収納部
119 第2収納部
120 ホルダー
122 窓
124 スペーサの位置
126 ねじ込み接続
128 窪み
130 ねじ穴
132 貫通孔
134 開口部
200 平行移動機構
220 第1平行機構/第1平行四辺形ガイド
221 第1平行移動方向
222 第1対向部材
224 第2対向部材
226 接続部材
228 第1接続面
230 第2接続面
232 第1端部
234 第2端部
238 第1調整力
239 第1対向ベアリング
240 第1距離
242 第2距離
244 第1接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
246 第2接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
260 第2平行機構/第2平行四辺形ガイド
261 第2平行移動方向
262 第1対向部材
264 第2対向部材
266 接続部材
268 第1接続面
270 第2接続面
272 第1端部
274 第2端部
278 第2調整力
279 第2対向部材
280 第1距離
282 第2距離
284 第1接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
286 第2接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
300 ゴニオメータ
320 第1ゴニオメータ/第1台形ガイド
321 第1旋回軸に直角な面
322 第1対向部材
324 第2対向部材
326 接続部材
328 第1接続面
330 第2接続面
332 第1端部
334 第2端部
336 第1旋回軸
338 第1枢動力
339 複合カウンターベアリング
340 第1距離
342 第2距離
344 第1接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
346 第1接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
360 第2ゴニオメータ/第2台形ガイド
361 第2旋回軸に対して直角に延びる面
362 第1対向部材
364 第2対向部材
366 接続部材
368 第1接続面
370 第2接続面
372 第1端部
374 第2端部
376 第2旋回軸
378 第2駆動力
380 第1距離
382 第2距離
384 第1接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
386 第2接続部材の第1端部と第2端部との間の距離
400 開始測定点の占有
402 放射線の検出
404 第1走査方向の正の測定点の移動
406 正の第1走査方向の測定範囲の端部に達したかどうかの判定
408 正の第2走査方向の測定範囲の端部に達したかどうかの判定
410 全体走査を形成するための結合
412 正の第2走査方向における測定点の移動
414 負の第1走査方向における測定点の移動
416 負の第1走査方向の測定範囲の端部に達したかどうかの決定
500 グリッドエリア
502 測定グリッド
Claims (15)
- 試料にX線を照射するためのX線光学系を用いて、前記試料を走査する方法であって、
工程(a)と、工程(b)と、工程(c)とを備え、
前記工程(a)では、第1旋回軸回りに前記X線光学系を旋回させることによって、前記X線光学系の射出点(108)によって規定される、前記試料の中の測定点を第1走査方向へ移動し、
前記工程(b)では、前記第1走査方向(92)に沿って、少なくとも2つの測定点(106)で試料(99)から発する放射線(107b)を検出し、
前記工程(c)では、検出された放射線(107b)と関連する測定値を結びつけて、全体走査をなす、
方法。 - 前記工程(b)のあとに以下の工程を含む、請求項1に記載の方法。
・前記X線光学系(100)を第2旋回軸(376)回りに旋回させることによって、前記試料(99)の測定点(106)を第2走査方向(93)に移動する工程
・前記工程(a)及び(b)を繰り返す工程 - 前記第1旋回軸(336)又は前記第2旋回軸(376)の少なくとも1つが、前記X線光学系(100)の入射点(104)を通る、請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 前記方法は、前記試料(99)を前記第1走査方向(92)又は前記第2走査方向(93)の少なくとも1つの方向に移動する工程を含む、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の方法(90)。
- 前記試料(99)を走査するための装置(96)であって、
X線光学系(100)と、ゴニオメータ(300)と、アクチュエータ(117)と、制御デバイス(97)とを備え、
前記X線光学系(100)は、前記試料(99)にX線(107a)を照射するためのものであり、
前記ゴニオメータ(300)は、前記X線光学系(100)に接続されたゴニオメータ(300)であって、前記X線光学系(100)を第1旋回軸(336)回りに旋回させるように構成されたものであり、
前記アクチュエータ(117)は、前記ゴニオメータ(300)を作動させるように構成された少なくとも1つものであり、 前記制御デバイス(97)は、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の方法(90)を実施するように構成されたものである、
装置。 - 前記ゴニオメータ(300)が、前記X線光学系(100)を第2旋回軸(376)回りに旋回させるように構成されている、請求項5に記載の装置(96)。
- 前記X線光学系(100)が、X線レンズ、好ましくはキャピラリーレンズ、さらに好ましくはポリキャピラリーレンズである、請求項5又は請求項6に記載の装置(96)。
- 前記アクチュエータ(117)は、電気モータ、好ましくはリニアモータ又は圧電素子を含む、請求項5〜請求項7のいずれか一項に記載の装置(96)。
- 前記ゴニオメータが、少なくとも1つの台形ガイド(320、360)を備える、請求項5〜請求項8のいずれか一項に記載の装置(96)。
- 前記少なくとも1つの台形ガイド(320、360)は、一対の連結部材(326、366)(320、360)によって連結されている第1対向部材(322、362)と第2対向部材(324、364)とを含む、請求項9に記載の装置(96)。
- 2つの台形ガイド(320、360)を備えている装置(96)であって、
前記各ガイド(320、360)の前記第2対向部材(324、364)と前記第1旋回軸(336)との間に前記第1対向部材(322、362)が配置され、
前記第1対向部材(322、362)は、前記台形ガイド(320、360)の前記第2対向部材(324、364)と第1旋回軸(336)の間に配置され、
少なくとも2つの台形ガイドの、前記第1対向部材(322、362)のうちの2つ又は前記第2対向部材(324、364)のうちの2つは、互いに固定して接続されているか又は一体型の構造体となる、
請求項10に記載の装置(96)。 - 前記第1台形ガイド(320)の前記第1対向部材(322)は、X線光学系(100)に固定して接続され、
前記第1台形ガイド(320)の前記第2対向部材(324)は、前記第2台形ガイド(360)の第2対向部材(364)に固定して接続されているか、又は前記第2台形ガイドと一体型の構造体となり、
第2台形ガイド(360)の第1対向部材(362)は、前記装置(96)を固定するためのものである、
請求項10又は請求項11に記載の装置(96)。 - 前記ゴニオメータ(300)が、好ましくは前記台形ガイド(320、360)の少なくとも1つが、湾曲ベアリング(366)を備える、請求項5〜請求項12の少なくとも一項に記載の装置(96)。
- 前記台形ガイド(320、360)は、入れ子構造を有する、請求項9〜請求項13のいずれか一項に記載の装置(96)。
- 前記ゴニオメータ(300)が一体型の構成を有する、請求項5〜請求項14のいずれか一項に記載の装置(96)。
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