JP6374883B2 - Ｘ線光学系の空間位置合わせのためのデバイス及び当該デバイスを有する装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線光学系において、光学的入射点と射出点との空間的位置合わせをするためのデバイスに関する。さらに本発明は、本発明とＸ線光学系とに係るデバイスを備える装置に関する。

従来技術によれば、Ｘ線光学系は、Ｘ線管の焦点上で測定装置の範囲で、所望の方向に位置合わせされる。Ｘ線光学系とは、例えばポリキャピラリＸ線レンズである。ポリキャピラリＸ線レンズは入射フォーカスと射出フォーカスとを有する。測定装置の基本的な位置合わせの間、入射フォーカスはＸ線管上の焦点と一致される。当該焦点は、Ｘ線放射が生成される電極線と陽極を焼成して形成される。

入射フォーカスが焦点と一致されることにより、放射されたＸ線放射の可能な最大の役割である、サンプルを検査するための使用をすることができる。

本発明の目的は、例えば、Ｘ線管上の焦点といった第１の所定の点に関し、Ｘ線光学系の光学的入射点の測定を、第１のゲージ操作でできるように、そして、例えばプローブといった第２の所定の点に関し、第１のゲージ操作に影響を与えることなく、任意の有意な程度まで、Ｘ線光学系の光学的射出点を測定する第２の位置合わせ操作でできるように、デバイスを作成することにある。

当該目的は、独立請求項に記載した特徴を有するデバイスと装置とにより解決される。さらに、本発明の好適な実施形態は、従属請求項に記載した残りの特徴に由来する。

Ｘ線光学系の、光学的入射点と光学的射出点との空間的な位置合わせのための本発明に係るデバイスは、以下を有する：

保持部材（１１０）と、前記保持部材（１１０）に接続され且つ前記Ｘ線光学系（１００）の前記入射点（１０４）を第１の所定の点（１０２）に対して位置合わせする平行移動機構（２００）と、前記保持部材（１１０）及び前記平行移動機構（２００）に接続され且つＸ線光学系の射出点（１０８）を第２の所定の点（１０６）に対して位置合わせするゴニオメータ機構（３００）。

ここで、前記保持部材（１１０）は、前記Ｘ線光学系（１００）を初期位置でＺ方向に位置合わせし且つ当該デバイス（９８）によって構造的に予め決定される少なくとも一つの旋回軸（３３６、３７６）上に前記入射点（１０４）が実質的に位置するように、前記Ｘ線光学系（１００）を保持及び固定し、前記平行移動機構（２００）は、Ｚ方向と実質的に異なる第１の平行移動方向（２２１）への、前記Ｘ線光学系（１００）の平行移動のために設計された第１の平行運動部（２２０）と、Ｚ方向及び第１の平行移動方向（２２１）と実質的に異なる第２の平行移動方向（２６１）への、Ｘ線光学系（１００）の平行移動のために設計された第２の平行運動部（２６０）を有し、前記ゴニオメータ機構（３００）は、前記入射点（１０４）周りを前記Ｘ線光学系（１００）が少なくともほぼ旋回するように前記Ｘ線光学系（１００）を移動させるように設計され、前記ゴニオメータ機構（３００）は、第１の旋回軸（３３６）周りを前記Ｘ線光学系（１００）が少なくともほぼ旋回するように前記Ｘ線光学系（１００）を移動させるように設計された第１のゴニオメータ運動部を有し、前記第１の旋回軸（３３６）は、前記Ｚ方向とは異なる方向に伸びている。

本発明では、固定部材、原点と当該原点から延びる座標系のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸とを有する三次元デカルト座標を参照するものとする。各個々の軸は、他の二つの軸に直交するように配置されている。

本願では、用語「方向」とは、特により詳細な定義がない限り、符号に関係なく固定部材（固定された場所）の方向を記述するために使用される。

Ｘ方向は、正又は負のＸ軸の方向を表す。Ｙ方向は、正又は負のＹ軸の方向を表す。Ｚ方向は、正又は負のＺ軸の方向を表す。

ＸＹ面は、Ｘ方向とＹ方向により規定される面であって、すなわちＺ方向に対して垂直な面である。したがって、Ｘ軸とＹ軸とは、ＸＹ面内に位置し、あるいは当該面に平行である。

ＸＹ方向は、ＸＹ面における一方向を表す。したがって、互いに異なる無限個のＸＹ方向が考えられる。ＸＹ方向は、したがって、一般に、Ｘ成分とＹ成分、あるいはＸ成分又はＹ成分のみを有する。すなわち、ＸＹ方向はＺ方向に対して垂直な方向である。

Ｘ線光学系は、Ｘ線放射のビームの投影に影響を与えるための手段である。光学的入射点は、片側に位置する点であって、すなわちＸ線光学系に関係する所定の（定義された）空間的位置にある点である。概して、入射点は、Ｘ線光学系から離れている。つまり、Ｘ線光学系は、放射線伝播に関して上流側に位置することになる。同様に、光学的射出点は、片側に位置する点であって、すなわちＸ線光学系に関係する所定の（定義された）空間的位置にある点である。概して、射出点は、Ｘ線光学系から離れている。つまり、Ｘ線光学系は、放射線伝播に関して上流側に位置することになる。

入射点及び射出点は、Ｘ線光学系のＸ線光学特性によって定義される。入射点は、入射フォーカスであり、射出点は、射出フォーカスであることが好適である。さらに、入射点及び射出点は、例えばＸ線光学系の特性によって部分的に定義されてもよい。しかし例えば、入射点及び射出点がレンズ軸（例えばＸ線光学系の左右対称軸（すなわち中央の軸））に配置される場合、Ｘ線光学系から（入射点及び射出点までの）距離は、Ｘ線光学系によっては決定されない。Ｘ線光学系からの距離は（環境パラメータによる影響等）をさらなる考慮事項に基づいて、あるいはランダムに決定される。原則、適用の仕方次第であるが、入射側と射出側のランダムな点（であってＸ線光学系に関する位置合わせより前に位置が決定される点）が選択される。

Ｘ線光学系は、Ｘ線レンズであることが好適である。さらに、Ｘ線レンズは、キャピラリレンズ、特に、ポリキャピラリレンズであることが好適である。Ｘ線レンズは、光学的入射点として入射フォーカスと光学的射出点として射出フォーカスを有する。キャピラリレンズは、その内部に少なくとも一つのキャピラリ、特に複数のキャピラリを有する。典型的には、全反射により貫通したＸ線が入射フォーカスに保持され、射出フォーカスに導かれるように、キャピラリレンズのキャピラリが、形成、配置される。

Ｘ線光学系は、ＨＯＰＧ（Ｈｉｇｈｌｙ Ｏｒｉｅｎｔｅｄ Ｐｙｒｏｌｙｔｉｃ Ｇｒａｐｈｉｔｅ）光学系又はＨＡＰＧ光学系（Ｈｉｇｈｌｙ Ａｎｎｅａｌｅｄ Ｐｙｒｏｌｙｔｉｃ Ｇｒａｐｈｉｔｅ）であることが好適である。かかる場合であっても、光学的入射点は入射フォーカスであり、光学的射出点は射出フォーカスである。

Ｘ線光学系は、楕円形のモノキャピラリであることが好適である。楕円形のモノキャピラリは、光学的入射点として源焦点を含み、光学的射出点としての射出フォーカスを有する。

更に、Ｘ線光学系は、円筒形のモノキャピラリであることが好適である。円筒形のモノキャピラリの光学的入射点及び光学的射出点は、Ｘ線光学との関係で定義された空間的位置にある入射側及び射出側の点である。少なくとも一つの光学的入射点は、モノキャピラリの対称軸上にあることが好適である。

初期位置におけるＺ方向のＸ線光学系の位置合わせとは、レンズ軸等のＸ線光学系の軸、すなわち入射点と射出点とを通る直線がＺ方向に伸びるように、初期位置におけるＸ線光学系が主として配置されるもの、と解する。特に、Ｘ線光学系の射出点は、入射点に関して正のＺ方向に変位する。

同様に、第２の所定の点は、概して、第一の所定の点に関して正のＺ方向におけるスペーサー成分を含む。ここでは、正のＺ方向は、入射点から開始して、デバイスに向く方向を表す。

ここでは、射出点は、典型的に位置合わせされる位置から始まるＸ線光学系における位置であると解する。初期位置は、一般的に可能な、変位又はネジれ範囲の中心位置であることが好適である。

保持部材は、Ｘ線光学系を保持及び固定するように設計されることが好適である。これは、フォームフィット式の接続及び／又は力嵌め式の接続を利用して達成することができる。特に保持部材は、Ｘ線光学系にネジ込むためのネジ山を有する。

少なくとも一つの旋回軸は、概念的な旋回軸を表し、物理的な旋回軸ではない。つまり、概念的な旋回軸とは、装置の構造上の特性によって予め決定されるものであり、Ｘ線光学系が少なくともゴニオメータ機構によって少なくともほぼ旋回されるような軸である。

Ｘ線光学系の入射点は、第１の所定の点（特に固定された場所）に対して位置合わせされる。これは、Ｘ線光学系が、平行移動機構を用いて、実質的に第１の平行移動の方向及び第１の平行移動方向とは異なる第２の平行移動方向に、平行移動することによる。二つの平行移動方向は、Ｚ方向とは異なる空間方向を指す。しかし、平行移動方向は、例えばＺ成分を含んでも良い。

第１の所定の点は、Ｘ線管の陽極の焦点を表すことが好適である。

平行移動機構を介して、Ｘ線光学系の入射点の位置合わせとともに、第１の所定の点に対する少なくとも一つの旋回軸により、変位が生じる。

Ｚ方向の位置合わせは、例えばＸ線光学系と保持部材との間におけるスペーサ部材によって引き起こされる。Ｘ線光学は、ネジ接続を介して保持部材に接続することができる場合に特に有利である。すなわち、Ｘ線光学は、保持部材にネジ込むことができる。Ｚ方向の位置合わせは、通常、第１及び第２の平行移動方向の位置合わせよりも前に行われる。

第１の平行移動方向の平行移動は、第１の平行運動によって実現されるが、第２の平行移動方向の平行移動は、第２の平行運動によって実現される。

平行移動は、実質的に第１又は第２の平行移動方向で行われる。本願において、「実質的に平行移動方向で」とは、他の方向（例えば、それぞれの平行移動方向に対して直角な方向）に相対的に小さな程度で行われることもあるが、主としてはそれぞれの平行移動方向で行われることを表す。

ゴニオメータ機構は、第２の所定の（特定の固定された場所にある）点に対する、Ｘ線光学系の射出点を位置合わせするのに役立つ。これは、入射点周りをＸ線光学系が少なくともおおよその旋回することによって達成される。

第２の所定の点は、概して、本発明に係る装置を有する測定装置内における特定の幾何学的特性を有する仮想的な点を表す。第２の所定の点は、特に、測定デバイスの測定面上に位置し、測定デバイスの他の構成要素との関係又はサンプルとの関係により注目され定義される位置を含む。第２の所定の点は、概して、検査すべきサンプルの点、特にサンプル表面上の対象点を表す。

Ｘ線光学系の射出点は、構造的に予め決定される旋回軸周りにＸ線光学系を少なくともほぼ旋回するゴニオメータ運動部を用いて、第２の所定の点と位置合わせされる。概して、Ｘ線光学系を旋回する前に、入射点は平行移動機構を使用して、第１の所定の点に位置合わせされる。ここで、平行移動した後、入射点が実質的に旋回軸上に配置されるように、保持部材がＸ線光学系に取り付けられる。こうして、旋回軸も入射点とともに変位する。実質的には、平行移動機構を用いた位置合わせ後、旋回軸が、入射点と第１の所定の点とを通る。

したがって、入射点が以前に少なくともほぼ位置合わせされた（固定された場所である）第１の所定の点であるように、入射点周りにＸ線光学系の少なくともほぼ旋回運動をするように、ゴニオメータ機構は設計される。そして、入射点は、入射点周りの旋回運動の後、第１の所定の点に対して、実質的に位置合わせされた状態となる。

本願においては、「入射点周りのＸ線光学系の少なくともほぼ旋回運動」とは、回転運動及び回転運動と並進運動との組み合わせの意と解する。しかし、ゴニオメータの運動は、Ｘ線光学系の非常に小さなピボット角度で概して実施するように設計されている。つまり、旋回運動の際に固定された場所であるそれぞれの旋回軸に関して生じる並進運動は、無視してよい。

Ｘ線光学系を位置合わせする本発明に係る装置により、特に２点の位置合わせが可能となる。これは、同じ装置を用いて、第１の所定の点に対するＸ線光学系の入射点、特に陽極の焦点と、第２の所定の点に対するＸ線光学系の射出点、特にサンプル表面上の対象点との両方を位置合わせすることができる。かかる位置合わせ手順は、３自由度の位置合わせに相当する。

平行移動機構の第１の平行運動部は、第１の平行四辺形ガイド、及び／又は平行移動機構の第２の平行運動部は、第２の平行四辺形ガイド、であることが好適である。

平行四辺形ガイドによって、Ｘ線光学系の平行移動は、比較的低コストでかつ比較的小さな必要スペースで実現することができる。平行四辺形ガイドの典型的な運動により、一の平行移動方向への平行移動の際に、Ｘ線光学系は、それぞれの平行移動方向に関して垂直方向に、比較的小さな平行移動を描写する。しかしながら、平行移動方向で行われた平行移動は概して非常に小さく、平行四辺形ガイド内でそのように要求されるために、かかる垂直方向への平行移動は、無視することができる。

平行移動方向の平行移動は、最大プラスマイナス３ｍｍ、特に最大プラスマイナス１ｍｍに相当することが好適である。平行移動における接続部材の捻じ曲げは、最大プラスマイナス５°であることが好適であり、更に好適には、最大プラスマイナス３°、特に最大プラスマイナス２°である。当該平行移動に垂直な方向の平行移動は、平行移動方向の変位の最大２％、特に、最大１％に相当する。

平行四辺形ガイドは、第１及び第２の対になる部材を有する。かかる部材は、接続部材対によって（特に柔軟な方法で）互いに接続される。理想的な機能としては、二の接続部材は、それぞれの他方の部材への接続間において同一の長さを有する。同様に、接続部材への接続間における二の対になる部材の側面上の距離の長さは等しい。

平行四辺形ガイドによれば、第１の接続面（第１の対向部材の側面のフレクシブル接続を通り、それぞれの平行移動方向の方向に広がる面）は、第２の接続面（第２の対向部材の側面のフレクシブル接続を通る面）と平行である。加えて、更なる面は、対向部材に接続された第１の接続部材の端部を通り、接続面における二つの交差線は、平行移動方向に対して垂直に位置合わせされる。四つの面を側面から、つまり直線に見えるように見ると、かかる四つの面は平行四辺形を形成する。平行移動とともに、第１の接続面は第２の接続面に常に平行である。同様に、二つの面は、接続部材（二つの接続面に対して角度は変化するものの）によって、常に互いに平行である。「クラシック」なジョイントを用いることで、接続面は、回転軸又はフレクシブル接続の回転点を通り、当該回転軸は、接続面を通り、平行移動方向に対して垂直である。フレクシブル接続は、たわみベアリングによって実現されることが好適である。たわみベアリングを用いることで、接続面は、たわみベアリング、特に接続面から離れて位置するたわみベアリングの端点を通る。

本発明の好適な実施形態によれば、第１の平行移動方向へのＸ線光学系の平行移動のため下記を有することが提供される。

第１の対向部材と、第２の対向部材と、二つの対向部材と接続される接続部材対。

ここで、接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第１の端点を介して、第１の接続面上の第１の対向部材に接続される。

接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第２の端部を介して、第２の対向部材に、第２の接続面上でそれぞれ接続され、第２の接続面は、第１の接続面に対して平行であって、離れており、そして、少なくとも一つの旋回軸から見て外方向きの第１の接続面における側面に配置される。

第１の平行移動方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第１の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第１の端部と第１の距離を有し、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第２の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第２の端部と第２の距離（第１の距離に等しい）を有する。

第１の平行移動方向に沿って、接続面に垂直な一つの面上において、接続部材の少なくとも一つの第１の端部それぞれと少なくとも一つの第２の端部それぞれとの、それぞれの距離は等しい。

第１の平行四辺形ガイドは、対向部材の一つを介して、保持部材と機械的に接続され、そしてＸ線光学系の平行移動は、第１の平行移動方向において（保持部材及び第１の平行移動方向における他方の対向部材と機械的に接続される）対向部材の相対的な平行移動により実現される。

本発明の好適な実施形態によれば、第１の平行四辺形ガイドは、第１の平行移動方向へのＸ線光学系の平行移動のため下記を有することが提供される。

第１の対向部材と、第２の対向部材と、二つの対向部材と接続される接続部材対。

ここで、第１の平行移動方向に沿う第１の接続面上の接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第１の端点を介して、第１の対向部材に接続される。

接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第２の端部を介して、第２の対向部材に、第２の接続面上でそれぞれ接続され、第２の接続面は、第１の接続面に対して平行であって、離れており、そして、少なくとも一つの旋回軸から見て外方向きの第１の接続面における側面に配置される。

第１の平行移動方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第１の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第１の端部と第１の距離を有し、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第２の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第２の端部と第２の距離（第１の距離に等しい）を有する。

第１の平行四辺形ガイドは、対向部材の一つを介して、保持部材と機械的に接続され、そしてＸ線光学系の平行移動は、第１の平行移動方向において（保持部材及び第１の平行移動方向における他方の対向部材と機械的に接続される）対向部材の相対的な平行移動により実現される。

本発明の更なる好適な実施形態によれば、第２の平行四辺形ガイドは、第２の平行移動方向へのＸ線光学系の平行移動のため下記を有することが提供される。

第１の対向部材と、第２の対向部材と、二つの対向部材と接続される接続部材対。

ここで、接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第１の端点を介して、第１の接続面上の第１の対向部材に接続される。

接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第２の端部を介して、第２の対向部材に、第２の接続面上でそれぞれ接続され、第２の接続面は、第１の接続面に対して平行であって、離れており、そして、少なくとも一つの旋回軸から見て外方向きの第１の接続面における側面に配置される。

第２の平行移動方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第１の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第１の端部と第１の距離を有し、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第２の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第２の端部と第２の距離（第１の距離に等しい）を有する。

第２の平行移動方向に沿って、接続面に垂直な一つの面上において、接続部材の少なくとも一つの第１の端部それぞれと少なくとも一つの第２の端部それぞれとの、それぞれの距離は等しい。

第２の平行四辺形ガイドは、対向部材の一つを介して、保持部材と機械的に接続され、そしてＸ線光学系の平行移動は、第２の平行移動方向において（保持部材及び第２の平行移動方向における他方の対向部材と機械的に接続される）対向部材の相対的な平行移動により実現される。

本発明の更なる好適な実施形態によれば、第２の平行四辺形ガイドは、第２の平行移動方向へのＸ線光学系の平行移動のため下記を有することが提供される。

第１の対向部材と、第２の対向部材と、二つの対向部材と接続される接続部材対。

ここで、第２の平行移動方向に沿う第１の接続面上の接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第１の端点を介して、第１の対向部材にそれぞれ接続される。

接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第２の端部を介して、第２の対向部材に、第２の接続面上でそれぞれ接続され、第２の接続面は、第１の接続面に対して平行であって、離れており、そして、少なくとも一つの旋回軸から見て外方向きの第１の接続面における側面に配置される。

第２の平行移動方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第１の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第１の端部と第１の距離を有し、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第２の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第２の端部と第２の距離（第１の距離に等しい）を有する。

第２の平行四辺形ガイドは、対向部材の一つを介して、保持部材と機械的に接続され、そしてＸ線光学系の平行移動は、第２の平行移動方向において（保持部材及び第２の平行移動方向における他方の対向部材と機械的に接続される）対向部材の相対的な平行移動により実現される。

対向部材のうちの一つは、他方の対向部材に対して平行に変位可能な平行運動部の部品である。保持部材は機械的に平行に変位可能な対向部材に接続されている。接続部材対における接続部材は二つの対向部材を互いに接続するジョイントである。

接続部材の端部おいて、接続部材は対向部材に接続されている。かかる接続は少なくともほぼ対向部材に関して接続部材の捻じ曲げが可能となるように生成される。おおよその捻じ曲げは、ここでは回転部と並進部を有してもよい。回転部は、ここでは接続面の一つに平行な方向に位置し、平行移動方向に垂直なベクトルを有する。ここでは当該ベクトルは、回転が行われる面に垂直である。

接続部材は、少なくとも一つの第１の端部（すなわち一つ又は数個の第１の端部）と、少なくとも一つの第２の端部（すなわち一つ又は数個の第２の端部）とを有する。接続部材ごとに、数個の第１の端部及び第２の端部の両方又は一方を用いることで、第１の端部及び第２の端部の両方又は一方は、接続面に平行で第１の平行移動方向に垂直な方向に対して、それぞれ互いにオフセットされるように配置される。こうして、それぞれの接続部材における第１の端部及び第２の端部もまた、一つの面上に位置することになる。

初期位置において、一つの面は、それぞれの接続部材の端点を介して、接続面に対して直角を形成することが好適である。

以下であることが好適である。

第１の平行四辺形ガイドの第１の対向部材及び第２の平行四辺形ガイドの第１の対向部材、又は第１の平行四辺形ガイドの第２の対向部材及び第２の平行四辺形ガイドの第２の対向部材は、不動に互いに接続されるか又は単一部品として設計される。

こうして、二つの平行四辺形ガイドは、それぞれ第１の対向部材若しくは第２の対向部材を介して、互いに接続され、又は二つの平行ガイドは第１の対向部材若しくは第２の対向部材に分割される。これにより二つの平行四辺形ガイドのインターリーブ構造という省スペース（コンパクト）が実現される。こうして更なるビーム経路の長尺化を防ぐことができる。

不動に互いに接続されていない又は単一部品として設計されていない、平行四辺形ガイドの二つの対向部材は、概して、接続面に垂直な方向において互いに離れて配置される。これにより、これらの相対的な動きが可能となる。

ゴニオメータ機構は、第２のゴニオメータ運動部を有し、これは第２の旋回軸周りにＸ線光学系を少なくともほぼ旋回するように設計されることが好適である。ここで、第２の旋回軸はＺ方向と第１の旋回軸とは異なる方向に延びている。

当該位置合わせは４自由度を有する位置合わせに相当するデバイスを用いて実現可能である。

第１のゴニオメータ運動部（特に初期位置において）が第１の等脚台形ガイドであること、及び第２のゴニオメータ運動部（特に初期位置において）が第２の等脚台形ガイドであることの両方又は一方であることが好適である。

台形ガイドを用いることで、少なくともほぼ旋回運動を、相対的に低いコストと比較的小さな必要スペースとで実現することができる。台形ガイドの運動により、Ｘ線光学系はまた、旋回運動中に連続的に相対的に小さな直進運動を描く。両方の旋回方向の並進運動を可能な限り等しくかつ小さく維持するために、ガイドが等脚台形を描くように初期位置が選択される。Ｘ線光学系が旋回しているとき、初期位置にまだある台形の二つの平行側面は、お互いに向かってわずかに旋回する。台形のガイドは、このように、一般的にも、長さが等しく対向する一対の矩形のガイドとして描くことができる。

旋回時の並進運動は、Ｘ線光学系の旋回角度が小さいために実質的に無視することができます。旋回角度は最大プラスマイナス５°、特に最大プラスマイナス２°であることが好適である。旋回軸に対する入射点の並進は最大プラスマイナス０．２ｍｍ／°、特に最大プラスマイナス０．１ｍｍ／°であることが好適である。ゴニオメータ運動の際の静止対向部材（及び初期位置を始点として）に関する接続部材の捻じ曲げは、最大プラスマイナス５°であることが好適であり、更に好適には、最大プラスマイナス３°、特に最大プラスマイナス２°である。旋回が小さいほど、入射点と第１の所定の点（第１の所定の点に対して、平行移動機構によって入射点が位置合わせされる）との間の並進移動量は小さくなる。

台形ガイドは、特に第１の対向部材及び第２の対向部材を有し、これらは接続部材対（特にフレクシブルな方法で）によってお互いに接続される。フレクシブル接続は特にたわみベアリングを用いて実現することができる。理想的には、対向部材に対するそれぞれ二つの接続間において、二つの接続部材は同じ長さを有する。しかしながら、回転軸に向き対向部材の側面上の、接続部材による接続間の距離は、対応する他方の対向部材の側面上の距離よりも小さい。

台形ガイドによれば、第１の対向部材の側面上のフレクシブル接続を介して、第１の接続面はガイドの旋回軸に対して平行にある。同様に、第２の接続面は、ガイドの旋回軸と第２対向部材の側面に柔軟な接続を介して並列に実行されます。第１の接続面は旋回軸と第２の接続面との間に配置される。加えて、更なる面が、対向部材に接続された第１の接続部材の端部を通り、接続面とのかかる二つの交線は旋回軸の方向に配置される。第１の接続面に沿って、接続部材を通る二つの面の第１の距離は、第２の接続面に沿う二つの面の第２の距離よりも小さい。更に、第１の対向部材と接続部材の面に沿う第２の対向部材とを有する第１の接続部材のフレクシブル接続間の距離は、第２の接続部材に対応する距離に等しい。「クラシック」なジョイントを用いることで、接続面は、回転軸又はフレクシブル接続の回転点を通り、当該回転軸は、旋回軸方向にある。フレクシブル接続は、特にたわみベアリングによって実現するこができる。たわみベアリングを用いることで、接続面は、たわみベアリング、特に接続部材から離れて位置するたわみベアリングの端点を通る。

初期位置において、二つの接続面は概して互いに平行に配置される。それらが直線に見えるように側面から四つの面すべてを見ると、四つの面は等脚台形を形成する。

ゴニオメータ運動が行われたときに、角度は、二つの接続部材と二つの対向部材との間で変化する。その結果、対向部材は、他方の対向部材に関してゴニオメータ運動を行う。

本発明の更なる好適な実施形態によれば、第１の台形ガイドは、第１の旋回軸周りをＸ線光学系が少なくともほぼ旋回運動するため下記を有する。

第１の対向部材と、第２の対向部材と、二つの対向部材と接続される接続部材対。

ここで、第１の旋回軸の延長方向にある第１の接続面上の接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第１の端点を介して、第１の対向部材にそれぞれ接続される。

接続部材対の接続部材は、第１の接続面の側第１の旋回軸の延長の方向に延びる第２の接続面上及び（第１の台形ガイドの領域内）第１の接続面の側面上に配置される。なお、第１の接続面は第１の旋回軸に対して外向し、第２の接続面は第１の接続面から距離があり、それぞれ少なくとも一つの第２の短点を介して、第２の対向部材に接続される。

第１の接続面に沿い、第１の旋回軸と垂直な方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第１の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第１の端部と第１の距離を有し、第２の接続面に沿い、第１の旋回軸と垂直な方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第２の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第２の端部と第２の距離（第１の距離より長い）を有する。

第１の旋回軸と垂直な一つの面の経路に沿う方向において、接続部材における、それぞれの少なくとも一つの第１の端点からそれぞれの少なくとも一つの第２の端点までの、それぞれの距離は等しい。

第１の台形ガイドは対向部材の一つを介して機械的に保持部材と接続されており、そして、他方の対向部材に向けた保持部材と機械的に接続された対向部材を旋回することにより、第１の旋回軸周りのＸ線光学系のほぼ旋回を実現することができる。

本発明の更なる好適な実施形態によれば、第２の台形ガイドは、第２の旋回軸周りを少なくともほぼ旋回運動するため、少なくとも下記を有することが提供される。

第１の対向部材と、第２の対向部材と、二つの対向部材と接続される接続部材対。

ここで、第２の旋回軸の延長方向にある第１の接続面上の接続部材対の接続部材は、少なくとも一つの第１の端点を介して、第１の対向部材にそれぞれ接続される。

接続部材対の接続部材は、第１の接続面の側第２の旋回軸の延長の方向に延びる第２の接続面上及び（第２の台形ガイドの領域内）第２の接続面の側面上に配置される。なお、第１の接続面は第１の旋回軸に対して外向し、第２の接続面は第１の接続面から距離があり、それぞれ少なくとも一つの第２の短点を介して、第２の対向部材に接続される。

第１の接続面に沿い、第２の旋回軸と垂直な方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第１の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第１の端部と第１の距離を有し、第２の接続面に沿い、第２の旋回軸と垂直な方向において、接続部材のうちの一つにおける少なくとも一つの第２の端部は、少なくとも一つの他方の接続部材の第２の端部と第２の距離（第１の距離より長い）を有する。

第２の旋回軸と垂直な一つの面の経路に沿う方向において、接続部材における、それぞれの少なくとも一つの第１の端点からそれぞれの少なくとも一つの第２の端点までの、それぞれの距離は等しい。

第２の台形ガイドは対向部材の一つを介して機械的に保持部材と接続されており、そして、他方の対向部材に向けた保持部材と機械的に接続された対向部材を旋回することにより、第１の旋回軸周りのＸ線光学系のほぼ旋回を実現することができる。

第１の接続面はそれぞれの旋回軸から離れた位置にある。面に「沿う」方向の説明は、かかる平面に平行な方向にあるものとする。

対向部材のうちの一つは、他方の対向部材に対してそれぞれの旋回軸周りに旋回運動することのできる台形ガイドの部品である。保持部材は機械的に平行に変位可能な対向部材に接続されており、特に統合的に接続される。接続部材対における接続部材は二つの対向部材を互いに接続するジョイントである。

接続部材の端部おいて、接続部材は対向部材に接続されている。かかる接続は対向部材に関して接続部材の少なくともほぼ捻じ曲げが可能となるように生成される。おおよその捻じ曲げは、ここでは回転部と並進部を有してもよい。回転部は、ここでは旋回軸に平行な方向に位置するベクトルを有する。ここでは当該ベクトルは、回転が行われる面に垂直である。

接続部材は、少なくとも一つの第１の端部（すなわち一つ又は数個の第１の端部）と、少なくとも一つの第２の端部（すなわち一つ又は数個の第２の端部）とを有する。各接続部材に対して、数個の第１の端部及び第２の端部の両方又は一方を用いることで、第１の端部及び第２の端部の両方又は一方は、それぞれの旋回軸の方向においてガイドに対して、それぞれの場合において互いにオフセットされるように配置される。こうして、それぞれの接続部材における第１の端部及び第２の端部もまた、一つの面上に位置することになる。また、かかる面はそれぞれの軸の方向に延びている。

初期位置において、それぞれの台形ガイドにおける第１の接続部材及び第２の接続部材は、概して互いに平行に配置される。こうして、台形ガイドは等脚台形に見える。

好適には、以下が提供される。

第１の台形ガイドの第１の対向部材及び第２の台形ガイドの第１の対向部材、又は第１の台形ガイドの第２の対向部材及び第２の台形ガイドの第２の対向部材、は不動に互いに接続され、又は単一部品として設計される。

こうして、二つの台形ガイドは、それぞれ第１の対向部材若しくは第２の対向部材を介して、互いに接続され、又は二つの台形ガイドは第１の対向部材若しくは第２の対向部材に分割される。これにより二つの平行四辺形ガイドのインターリーブ構造という省スペース（コンパクト）が実現される。

不動に互いに接続されていない又は単一部品として設計されていない、台形ガイドの二つの対向部材は、概して、接続されていない対抗部材における接続面の一つに垂直な方向において互いに離れて配置される。これにより、これらの相対的な動きが可能となる。

好適には、以下が提供される。ガイドのうちの少なくとも二つは、それぞれ一つの第一の対向部材及び一つの第２の対向部材を有し、これらはそれぞれのガイドの接続部材対によって互いに接続されている。接続部材対は可動可能に、特にフレクシブルな方法で、対向部材に接続することができる。フレクシブル接続は「クラシック」なジョイント又はたわみベアリングを用いて実施することができる。更に、接続部材対は対向部材に比べて相対的にフレクシブルである。

更に好適には以下が提供される。第１の対向部材はそれぞれのガイドの第２の対向部材と第１の旋回軸との間に配置される。こうして、第１の対向部材は第１の旋回軸を向く側面上にあり、第２の対向部材は第１の旋回軸に対して外向する

好適には、以下が提供される。少なくとも二つのガイドにおける、第１の対向部材のうちの二つ又は第２の対向部材のうちの二つは、不動に互いに接続され、又は単一部品として設計されてもよい。例えば、第２の平行ガイドの第１の対向部材は第１の台形ガイドの第１の対向部材と不動に接続され、又は第１の台形ガイドの第１の対向部材とともに単一部品として設計される。第２の台形ガイドの第２の対向部材は第１の台形ガイドの第２の対向部材と不動に接続され、又は第１の台形ガイドの第２の対向部材とともに単一部品として設計される。

本発明の好適な実施形態によれば、少なくとも二つのガイドは捻じ曲げる方法及び嵌合のうち両方又は一方によって互いに向き合って配置される。ガイドは、レンズ周りに、特にレンズ軸周りに、捻じ曲げる方法によって互いに向き合って配置されてもよい。特に、内側のガイドが外側のガイドの接続部材間に配置されるように、ガイドは嵌合される。これにより、特にデバイスのコンパクトなデザインが実現される。

更に、好適には以下が提供される。機械的な接続シーケンスに沿って、保持部材から、当該デバイスを固定するために設けられる第１の対向部材又は第２の対向部材に至るまで、保持部材は第１の対向部材又は第２の対向部材に（特に不動に）接続され、又は保持部材は第１の対向部材又は第２の対向部材とともに単一部品として設計される。そして、当該部材から始めて、平行四辺形ガイド及び台形ガイドのうち両方又は一方にある第１の対向部材は（特に不動に）お互いに接続され、若しくは単一の部材として設計され、又は第２の対向部材は（特に不動に）お互いに接続され、若しくは単一の部材として設計される。

つまり、保持部材が、第１の対向部材に接続され、又は第１の対向部材とともに単一部品として設計されるときは、例えば同一の運動部における第２の対向部材は、次の運動部における第２の対向部材に接続され、又は次の運動部における第２の対向部材とともに単一部品として設計される。かかる次の運動部における第１の対向部材は、順々に、更なる運動部における第１の対向部材に接続され、又は更なる運動部における第１の対向部材とともに単一部品として設計される、等等。かかるパターンは、運動部の一つの対向部材のみが残るまで続けられる。かかる対向部材は当該デバイスを固定するのに設けられる。

更なる好適な実施形態において、以下が提供される。

保持部材が、（特に不動に）第１の台形ガイドの第１の対向部材に接続され、又は単一部品として設計される。

第１の台形ガイドの第２の対向部材は、（特に不動に）第２の台形ガイドの第２の対向部材に接続され、又は単一部品として設計される。

第１の台形ガイドの第２の対向部材は、（特に不動に）第２の台形ガイドの第２の対向部材に接続され、又は単一部品として設計される。

第１の平行四辺形ガイドの第２の対向部材は、（特に不動に）第２の平行四辺形ガイドの第２の対向部材に接続され、又は単一部品として設計される。

第２の平行ガイドの第１の対向部材は、当該デバイスを固定するために設けられる。

こうして、まず平行移動が行われることにより、台形ガイドはまた平行四辺形ガイドによって変位される。

好適には、以下が提供される。当該デバイスは更に調節部材を有する。

調節部材は、第１の平行四辺形ガイドの第１の対向部材に対して第１の調節力を導入するように設計される。ここで第１の調節力は、第１の平行移動方向の成分（Ｘ線光学系の平行移動が第１の平行移動方向になされる結果として）を有する。

調節部材は、第１の平行四辺形ガイドの第１の対向部材に対して第２の調節力を導入するように設計される。ここで第２の調節力は、第１の平行四辺形ガイドの接続部材を介して、第１の平行四辺形ガイド及び第２の平行四辺形ガイドの第２の対向部材に向けて導かれる第２の平行移動方向の成分（Ｘ線光学系の平行移動が第２の平行移動方向になされる結果として）を有する。及び／又は、

調節部材は、第１の台形ガイドの第１の対向部材に対して第３の調節力を導入するように設計される。ここで第３の調節力は、第１の旋回軸に垂直な成分及び第１の台形ガイドに接続される平面の一つに平行な成分（Ｘ線光学系のおよそ旋回が第１の旋回軸周りに行われる結果として）を有する。

調節部材は、第１の台形ガイドの第１の対向部材に対して第４の調節力を導入するように設計される。ここで第４の調節力は、第１の台形ガイドの接続部材を介して導かれ、第１の台形ガイド及び第２の台形ガイドの第２の対向部材において、第２の旋回軸に対して垂直で、第２の台形ガイドの接続高さ（レベル）の一つに平行な成分（Ｘ線光学系のおよそ旋回が第２の旋回軸周りに行われる結果として）を有する。

第３の調節力及び第４の調節力における成分は、特に第１の旋回軸に対して垂直で、旋回される対抗部材の接続面と平行である。特に、第３の調節力の成分は第１の対向部材と平行であり、第４の調節力の成分は第２の対向部材に平行である。好適には、成分の値は実質的には調節力のそれぞれの値に相当する。

調節部材としては細目ネジの主軸が好適である。これにより正確な位置合わせを実現することができる。

調節部材が、平行四辺形ガイド及び台形ガイドの両方又は一方のそれぞれの第１の対向部材に対して、すなわち第２の対向部材及び旋回軸間の対向部材に対して、それぞれの調節力を導入することにより、調節部材は同一の機構端部に配置される。これにより位置合わせを連続的に（オンライン）行うことができる。

調節力はそれぞれの対向部材の平行移動又は旋回を生じさせる。調節力は例えばそれぞれの対向部材に対するばね力を導入するように設計されたばね部材によって吸収される。ばね力はそれぞれ、調節力の成分とは反対の向きの成分を含む。そして、十分な平行移動又は旋回が達成されるまで、平行移動又は旋回して、ばね力が増加又は減少します。静的なバランスが達成されるまで、圧縮又はばね部材の拡大により、ばね力は、公知の方法で増加又は減少する。

第１の調節力及び第２の調節力のための対向ベアリングと第３の調節力及び第４の調節力としての対向ベアリングとのうち両方又は一方として、単一のバネ部材が提供されることが好適である。ここで、ばね部材は、第１の対向部材に作用すると、上述の、第１の調節力及び第２の調節力と第３の調節力と第４の調節力との成分とは逆方向の成分のばね力を有する。

接続部材対の接続部材は、接続部材の端部を介して第１の対部材と第２の対部材に接続されていることと、端部が接続部材及び対向部材間の接続を最適化する特殊な性質をここに持つこととを提供することが好適である。

接続部材の端部は、それぞれの端部にジョイント又はたわみベアリング、特に特に一つのジョイントやたわみベアリング、を有すること、

したがって接続部材は、ジョイント又はたわみベアリングを介して第１の対向部材及び第２の対向部材に接続されている。たわみベアリングはフリープレイガイド（遊びの自由についてのガイド）の利点があり、ジョイントを作動させる際に、さらに、全く離脱トルクを克服する必要はないこと、

特に、たわみベアリングの結果として、部品の数を減らすことが「古典的な」運動と比較して可能となる。たわみベアリングは、特に、二つの接続面の間に配置され、接続部材から離れて面する側の接続面によって制限されることが好適であること、を提供することが好適である。

たわみベアリングは、特にフラットボディであり、主表面（最大表面内容を有する面）は、好適には、平行なガイド及び平行な変位方向（両方の兆候）の方向を指す。台形のガイドでは、主表面は、好適には、実質的に、それぞれの接続面に沿って旋回軸に対して垂直に延びている方向を指す。換言すれば、それらの主要な拡張とたわみベアリングは、それぞれの接続面に対して垂直な動作面に沿って、垂直にそれぞれ平行な変位方向に、又は、それぞれの旋回軸の方向に延びている。したがって、平行移動方向の方向や旋回軸に対して垂直な方向におけるたわみベアリングの柔軟性は、それが他の方向にあるよりも、それぞれの接続面に沿って低くなる。このように、対象とたわみとは力の比較的低い程度で所望の方向に対して効果がある。

平行四辺形ガイドの二つの接続面が平行移動した後も平行を保つ、又は台形ガイドが両方の方向に旋回した後に同じ特性を保持するためには、たわみベアリングの定義された寸法が必要となる。平行移動方向で変位面に垂直な一つの平面上は、接続部材における少なくとも一つの第１の端部と少なくとも一つの第２の端部とにおける平行移動距離とともに、他の接続部材の少なくとも一つつの第１の端部と少なくとも一つの第２の端部との間の距離に等しく保たれる、という一つの基準を適用することができる。この目的のために、接続部材のたわみベアリングは、特に、他の接続部材のたわみベアアリングとして、平行移動中に同一のたわみ曲線を有する。これを確実にするために、同一のたわみベアリングを使用することができ、接続部材は、たわみベアリングの間に同一の長手方向の拡張を有することができる。あるいは、それらはまた、それ自体が端部間のたわみベアリングとして設計することができるが、接続部材は、たわみベアリングに関連して、実質的に剛性であることが好適である。

「標準」のジョイントでは、例えば、ピボットジョイント又はボールジョイントを使用して、接続部材に対して対向部材を結合する選択肢がある。

好適には、二つの平行移動の方向は、互いに垂直に配置される。その結果、第１の所定の点にＸ線光学系の入射点の単純な位置合わせが保証される。

好適には、以下が提供される。

第１の平行移動方向はＸＹ平面に広がることと、第２の平行移動方向は、ＸＹ平面に広がり、特に、第２の平行移動の方向は、第１の平行移動方向に対して垂直であることと、のうち両方又は一方。

ＸＹ平面上で実行される平行移動方向を経由して、Ｚ方向の位置合わせに対して垂直なＸ線光学系の平行移動が可能となる。第１の平行移動方向は、それに応じて第１のＸＹ方向にあり、第２の平行移動方向は、第２のＸＹ方向にあることができる。

第２のＸＹ方向は、第２のＸＹ方向に対して垂直であることが好適である。その結果、Ｘ線光学系は、互いに直交する二つのＸＹ方向に、平行運動部によって平行に変位させることができる。

二つの平行な旋回軸は、互いに垂直に配置されています。その結果、第２の所定の点のＸ線光学系の射出点の単純な位置合わせが保証される。

本発明に係る好適な実施形態によれば、以下が提供される。

少なくとも初期位置において、第１の旋回軸はＸＹ平面の延在方向にあることと、

第２の旋回軸は、少なくとも初期位置において、ＸＹ平面の延在方向にあり、特に、第２の旋回軸は、第１の旋回軸に対して垂直をなすことのうち両方又は一方。

こうして、Ｘ線光学系は、Ｚ平面上で旋回することができる。Ｚ平面は、ＸＹ平面上にある回転軸に対して垂直な平面である。第１の旋回軸は、それに応じて第１のＸＹ方向にあり、第２の平行移動方向は、特に、互いに直交する第２のＸＹ方向にあることができる。

Ｘ線光学系は、実質的により接続部材対の二つのそれぞれの接続部材間で集中的に保持できるように平行四辺形ガイド及び台形のガイドの両方又は一方は、互いに関連して配置されること、が提供されることが好適である。

接続部材対の接続部材間のＸ線光学系の中央配置により、コンパクトな構成が実現される。この目的のために、平行移動機構（特に平行四辺形ガイド）とゴニオメータ機構（特に、少なくとも一つの台形ガイド）は、それらを貫通する開口部を含む。レンズは、開口部内に配置することができる。

平行移動機構、特に、ゴニオメータ機構を平行移動機構に同軸に配置された平行移動機構とゴニオメータ機構とは、互いに同軸上に配置されることが提供されることが好適である。

したがって、ガイド機構は、特に、実質的に円筒形として設計することができる。さらに、ガイドの少なくとも一つは、他のガイドの両方又は一方が配置された開口部を有することができる。

平行移動機構、特に、ゴニオメータ機構を平行移動機構に同軸に配置された平行移動機構とゴニオメータ機構とは、実質的に円筒形として設計されており、互いに対して同軸上に配置されることが更に提供されることが好適である。

特に、運動部はＸ線光学系の軸の周りに同軸に配置されることが好適である。

かかる設計は、設置スペースの最適な使用を提供する。

本発明の好適な実施形態によれば、平行移動機構は、単一部品として設計されること、及びゴニオメータ機構が、単一部品として設計されることとのうち両方又は一方が提供される。

単一部品の設計（デザイン）は、例えば旋盤、フライス加工、穴あけやワイヤ切断によって、生み出することができる。これは、標準的な調節ユニットと比較して装置のコスト上の利点を達成することができ、その結果として、低コストの製造を可能ににする。

装置の大きさを明確にするために、いくつかの好適な測定について説明する。

したがって、当該デバイスは、Ｚ方向において、好適には３０ｍｍから１５０ｍｍ、特に７０ｍｍから１００ｍｍの高さ、及びＺ方向に垂直な方向おいて、好適には２０ｍｍから１００ｍｍ、特に３０ｍｍから５０ｍｍの直径のうち両方又は一方を実質的に有する。

たわみベアリングは、Ｚ方向において、１ｍｍから１５ｍｍ、特に２ｍｍから８ｍｍの高さ、及びＺ方向に実質的に垂直な方向において、１ｍｍから１５ｍｍ、特に２ｍｍから８ｍｍの幅のうち両方又は一方を有する。それぞれのたわみ方向に、すなわち、その高さ及び幅に実質的に垂直な方向に、たわみベアリングは、０．１ｍｍから１ｍｍの、特に０．２ｍｍから０．６ｍｍの厚さを有する。

更に、装置が提供される。かかる装置は、Ｘ線光学系を初期位置にＺ方向に位置合わせされるように保持部材に保持され、これ以前の請求項のうち少なくとも一項記載のデバイスとＸ線光学系とを有し、Ｘ線光学系が初期位置においてＺ軸方向に配列され、入射点が当該デバイスにより予め構造的に決定される実質的に少なくとも一つの旋回軸上に位置するように、これらは保持部材に保持され、固定される。

結果として、当該デバイスとＸ線光学系とからなるユニットが提供される。

図面を参照しながら、本発明の例示的な実施形態について下記説明する。
図１は装置の断面図を示している。 図２は装置の断面図の詳細を示している。 図３は平行移動機構の正面図を示している。 図４は平行移動機構の側面図を示している。 図５は平行移動機構の第１の斜視図を示している。 図６は平行移動機構の第２の斜視図を示している。 図７はゴニオメータ機構の正面図を示している。 図８はゴニオメータ機構の側面図を示している。 図９はゴニオメータ機構の第１の斜視図を示している。 図１０はゴニオメータ機構の第２の斜視図を示している。

発明の詳細な説明

図１は本発明の好適な実施形態に係る装置９６の、負のＹ軸方向に対抗するビュー方向での断面図を示している。中央に十字を有する円は矢印方向のビューの矢印を示し、中央に点を有する円は矢印方向に対向するビューを示す。装置９６は、Ｘ線光学系１００の空間的な位置合わせのための装置９８、例えばキャピラリレンズ１００（すなわちポリキャピラリレンズ）であって、第１の収容部１１８、第２の収容部１１９、及びホルダ１２０（装置９６を固定するため）に収納されるように配置されるもの、を有する。更に、装置９６はレンズ収容において断面図には不図示のキャピラリレンズ１００を有する。

装置９８とレンズ１００は、概して減圧された（部分真空）空間で操作される。当該真空空間は、概して、第１の収容部１１８の外層壁に沿って封止されているものである。ホルダ１２０は、ここでは、真空空間外に配置される。当該デバイスを向く第２の収容部１１９の側面は真空空間の側面にある。その結果、装置９８を作動させるための調節部材１１４は、（例えば微細ネジドライブ）、真空空間外から操作することができる。調節部材１１４の調節力に対する反力は、ばね部材１１５を用いて適用することができる。調節部材１１４及びばね部材１１５は、グリースを使用して第２の収容部１１９内に封止することができる。

図中の調節部材１１４によって、平行移動方向２２１で平行移動し、第１の旋回軸３３６（点として図示）周りをレンズ１００が少なくともほぼ旋回するように、装置９８を作動させることができる。さらに二つの不図示の調節部材によって、第二の平行移動の方向２６１（図示点として投影）における平行移動し、第１の旋回軸周りをレンズ１００が少なくともほぼ旋回するように、装置９８を作動することができる。

例に示すように、すなわち、両方の二つの平行移動方向２２１、２６１と二つの旋回軸３３６、３７６とは、ＸＹ方向に、すなわちＸＹ平面内にある。

具体的には、次に示すように、第１の平行移動方向２２１及び第２の旋回軸３７６は、Ｘ方向に伸びていて、第２の平行移動方向２６１及び第１の旋回軸３３６はＹ方向に伸びている。このように、二つの旋回軸３３６、３７６同様二つの平行移動方向２２１、２２６は、互いに関して直角を形成する。

レンズ１００は、初期位置において、図示している保持部材１１０を用いてＺ方向に配列され、光学的入射点１０４と光学的射出点１０８とを有する。これらはＺ方向に対して互いに離れている。Ｘ線光学系１００に示されるように、これはキャピラリレンズ１００であり、光学的入射点１０４は入射フォーカス１０４であり、光学的射出点１０８は入射フォーカス１０８であり。つまり、Ｘ線光学系１００の軸１０１は、Ｚ方向に並ぶレンズ１０１のレンズ軸を示した場合であり、レンズ１００は、Ｘ線のＺ方向に透過である。また、レンズ１００の入射フォーカス１０４は、二つの旋回軸３３６、３７６の交点において、保持部材１１０によって位置決めされる。第２の収容部１１９のウィンドウ１２２は、Ｘ線や真空封止可能な最小影響伝送を保証します。

第１の所定の点１０２（例えば陽極上の焦点）に対する入射フォーカス１０４の前に、Ｚ方向における第１の所定の点１０２に対する入射フォーカス１０４からの偏差が存在するかどうかをまず確認する。わずかな偏差がある場合には、残っている位置合わせをする前に、保持部材１１０とレンズ１００との間の位置１２４での厚さが異なるスペーサディスク（不図示）を用いることで、当該偏差を相殺することができます。

位置合わせを目的として、入射フォーカス１０４は、第１の所定の点１０２に対する平行移動２２１、２６１について、まず位置合わせされる。すなわち、第１の所定１０２の点にしたがって行われる。ここでは、旋回軸３３６、３７６の交点が第１の所定の点に一致するように、旋回軸３３６、３７６も入射フォーカス１０４として変位される。こうして、旋回軸３３６、３７６周りをレンズ１００が更に旋回することによって、入射フォーカス１０４は第１の所定の点１０２に対して位置合わせされる状態を保つ。

第２の所定の点１０６（例えばサンプル表面の対象点）に対する射出フォーカス１０８を位置合わせするために、レンズ１００は旋回軸３３６、３７６及び入射フォーカス１０４周りにおよそ旋回する。入射フォーカス１０４はかかるゴニオメータ調節に際して、実質的に固定された場所にある。

位置合わせ処理の結果として、入射フォーカスは第１の所定の点１０４に対して位置合わせされ、射出フォーカスは第２の所定の点１０６に対して位置合わせされる。Ｚ方向における二つのフォーカス１０４、１０８間でのレンズ１００の旋回により生じる変化はたいてい無視することができる。

装置９６と旋回軸３３６、３７６との間に示される距離、二つの焦点、及び所定の２点は、図に縮尺通りには示されていない。

図２は、装置９６という図１に示された断面図の詳細を示す。デバイス９８は、Ｘ線光学系１００の空間的な位置合わせのためのデバイス９８は、平行移動機構２００とゴニオメータ機構３００とを有する。

平行移動機構２００は、第１の平行移動方向２２１においてレンズ１００の平行移動のための第１の平行移動運動部２２０と、第２の平行移動方向２６１においてレンズ１００の平行移動のための第２の平行移動運動部２６０と、を有する。示すように、かかる二つの運動部は、第１の平行四辺形ガイド２２０及び第２の平行四辺形ガイド２６０として設計することができる。

ゴニオメータ機構３００は、第１の旋回軸３３６周りをレンズ１００が少なくともほぼ旋回するための第１のゴニオメータ運動部３２０と、第２の旋回軸３７６周りをレンズが少なくともほぼ旋回するための第２のゴニオメータ運動部３６０と、を有する。かかる二つの運動部３２０は第２の等脚台形ガイド３６０として設計される。「等脚台形ガイド」という記載は、示された初期位置におけるかかるガイドの形状を示している。

図２に見られるように、ゴニオメータ機構は特に初期位置において平行移動機構２００とレンズ軸１０１との間で同軸に配置される。

運動部２２０、２６０、３２０、３６０それぞれは、旋回軸３３６、３７６と第２の対向部材２２４、２６４、３２４、３６４との間に配置される第１の対向部材２２２、２６２、３２２、３６２を有する。

具体的には、第１の平行四辺形ガイド２２０は、第１の対向部材２２２と第２の対向部材２２４とを有し、これらは二つの接続部材２２６を用いて互いに接続されている。第２の平行四辺形ガイド２６０は、第１の対向部材２６２と第２の対向部材２６４とを有し、これらは二つの接続部材２６６を用いて互いに接続されている。接続部材２６６のうち、一つだけは図示されており、図２においてレンズ１００の背面側に伸びている。示すように、二つの第２の対向部材２２４、２６４は統合的に互いに接続され、すなわち、ジョイント対向部材として設計される。第１の対向部材２６２はまた第２の収容部１１９におけるデバイスを固定するために用いられる。これは例えば府図示のネジ接続によって達成することができる。二つの第１の対向部材２２２、２６２間においてギャップ１１２があり、互いに第１の対向部材２２２、２６２の相対的な動作を可能にする。

第１の台形ガイド３２０は、第１の対向部材３２２と第２の対向部材３２４とを有し、これらは二つの接続部材３２６を用いて互いに接続されている。第２の台形ガイド３６０は、第１の対向部材３６２と第２の対向部材３６４とを有し、これらは二つの接続部材３６６を用いて互いに接続されている。接続部材３６６のうち、一つだけは図示されており、図２においてレンズ１００の背面側に伸びていて、接続部材２６６の前にある。示すように、二つの第２の対向部材３２４、３６４は統合的に互いに接続され、すなわち、ジョイント対向部材として設計される。第１の対向部材３２２は保持部材１１０とともに単一部品として設計され、レンズ１００を保持し、固定するように働く。レンズ１００は例えばネジ接続１２６によって保持部材１１０にネジ止めされる。二つの第１の対向部材３２２、３６２間においてギャップ１１２があり、互いに第１の対向部材３２２、３６２の相対的な動作を可能にする。

お互いの相対的な移動を不可能とするために、平行移動機構２００は、第１の対向部材２２２と第１の対向部材３６２とを介して、ゴニオメータ機構３００に接続されている。例においては、それらは一緒にネジ止めされる。

現在の命名法によれば、それぞれの第１の対向部材２２２、２６２、３２２、３６２は、旋回軸３３６、３７６とそれぞれの第２の対向部材２２４、２６４、３２４、３６４との間に配置される。換言すると、それぞれの第２の対向部材２２４、２６４、３２４、３６４は正のＺ方向において第１の対向部材２２２、２６２、３２２、３６２と離れている。

接続部材２２６、２６６、３２６、３６６と対向部材２２２、２６２、３２２、３６２、２２４、２６４、３２４、３６４は特に有利に、たわみベアリング１１６によって達成される。以下図を用いて詳細を説明する。

たわみベアリング１１６の結果として、平行移動機構２００とゴニオメータ機構３００との両方は単一部品として設計することができる。

図３は、負のＹ方向において、Ｙ軸に対抗するビュー方向の順に、平行移動機構２００の正面図を示す。かかるビューにおいて、第１の平行四辺形ガイド２２０の第１の対向部材２２２は、部分的に、第二の平行四辺形ガイド２６０の第１の対向部材２６２によって覆われている。これにより、第１の対向部材２２２、２６２間のギャップ１１２（特に図４に示す）は部分的に見えている。図４はＸ軸方向の、つまり正のＸ方向におけるビュー平行移動機構の側面図を示している。

たわみガイド１１６は接続部材２２６、２６６とともに接続部材２２６、２６６と接続され、当該接続は、接続部材２２６、２６６における、少なくとも一つの第１の端点２３２、２７２（例えば示すように、二つの端点２３２、２７２それぞれを介して）及び少なくとも一つの第２の端点２３４、２７４（例えば示すように、二つの端点２３４、２７４それぞれを介して）を介して、達成される。それぞれの平行移動方向２２１、２６１において剛性を生じさせるために加えられた力が、他の空間的方向に比して、かなり低くなるように、たわみベアリング１１６は、たわみ剛性と柔軟性の値に対して寸法決めされる。

第１の平行四辺形ガイド２２０において、接続部材２２６は、第１の平行移動方向２２１に沿い、それぞれのケースにおいて二つの第１の端点２３２を介して、第１の接続面２２８上の第１の対向部材２２２に接続される。示す例においては、第１の接続面２２８はＸＹ面である。第１の接続面２２８とは離れた第２の接続面２３０において、接続部材２２６は、それぞれのケースにおいて二つの第２の端点２３４を介して、第２の対向部材２２４に接続される。第２の対向部材２２４と第２の接続部材２３０とは、Ｚ方向において第１の対向部材２２２と第１の接続面２２８とから相殺される。

第１の平行移動方向２２１において、接続部材２２６の一つにおける二つの第１の端点２３２は、他方の接続部材２２６における二つ目の第１の端点２３２からの第１の距離２４０を有する。かかる方向において、接続部材２２６の一つにおける二つの第１の端点２３４は、他方の接続部材の二つの第２の端点２３４からの第２の距離２４２を有する。平行四辺形ガイドを達成するために、第１の距離２４０は第２の距離２４２に等しい。

これは、第１の平行移動方向２２１の方向にあり、二つの接続面２２９、２３０に垂直な一つの平面上において、接続部材２２６におけるそれぞれの第１の端点２３２とそれぞれの第２の端点２３４との間それぞれの距離２４４、２４６が等しいという事実を導く。それぞれの接続部材２２６における二つの第１の端点２３２と二つの第２の端点２３４とは、接続面２２８、２３０に平行であって第１の平行移動方向２２１に垂直な方向、すなわち例えばＹ方向において、相殺される。

第１の平行移動方向２２１においてレンズ１００の平行移動を行うために、第１の平行移動方向２２１に成分を有する第１の調節力２３８は、調節部材１１４によって対向部材２２２に導入される。第１の平行移動方向２２１に示す第１の調節力２３８は、例示的な実施形態において、正のＸ方向に（唯一の）成分を有する。第１の調節力２３８の結果として、たわみベアリング１１６のたわみ、すなわち必然の第１の対向部材２２２の平行移動は、このように第２の対向部材２２４に対して相対的に達成される。

力のバランスがなされたときに、平行移動は終了する。これは、一方で正のＸ方向に作用する第１の調整力２３８と、他方で、ばね部材１１５に引き起こされ負のＸ方向の第１の対抗ベアリング２３９において作用するばね力（不図示）と同様なたわみベアリング１１６のたわみに起因する力と、によって引き起こされる。ばね部材１１５のプリテンションにより、平行移動を負のＸ方向にも行うことができる。

第２の平行四辺形ガイド２６０において、接続部材２６８は第１の接続部材上の第１の対向部材２６２に接続されており、それぞれの場合に多いて二つの第１の端点２７２を介して、第１の平行移動方向２６１に沿っている。図示する例においては、第１の接続面２６８はＸＹ平面である。第１の接続面２７０から離れた接続面２６８において、接続部材２６６は、第２の端点２７４を介して第２の対向部材２６４に接続される。第２の対向部材２６４と第２の接続部材２７０とは、Ｚ方向において第１の対向部材２６２と第１の接続面２６８とから相殺される。第２の平行移動方向２６１において、接続部材２６６のうちの一つにおける二つの第１の端点２７２は、他の接続部材２６６の二つ目の第１の端点２７２から第１の距離２８０を有する。かかる方向において、接続部材２６６のうちの一つにおける二つの第１の端点２７４は、他の接続部材２６６の二つの第２の端点２７４から第２の距離２８２を有する。平行四辺形ガイドを達成するために、第１の距離２８０は、第２の距離２８２に等しい。これは、第２の平行移動方向２６１の方向にあり、二つの接続面２６９、２７０に垂直な一つの平面上において、接続部材２６６におけるそれぞれの第１の端点２７２とそれぞれの第２の端点２７４との間それぞれの距離２８４、２８６が等しいという事実を導く。それぞれの接続部材２６６における二つの第１の端点２７２と二つの第２の端点２７４とは、接続面２６８、２７０に平行であって第２の平行移動方向２２１に垂直な方向、すなわち例えばＸ方向において、相殺される。

例示的な実施形態では、平行四辺形ガイド２３０、２７０における、第１の接続面２２８、２６８と第２の接続面２３０、２７０とは、同一である。

第２の平行移動方向２６１においてレンズ１００の平行移動を行うために、第２の平行移動方向２６１に成分を有する第２の調節力２７８は、調節部材１１４によって対向部材２２２に導入される。第２の平行移動方向２６１に示す第２の調節力２７８は、例示的な実施形態において、正のＸ方向に（唯一の）成分を有する。第２の調整力２７８は、第２の平行移動方向２６１において、第１及び第２の平行四辺形ガイド２２０、２６０における第２のジョイント対向部材２２４、２６４に対して、第２の平行四辺形ガイド２２０の剛性のたわみベアリング１１６を超えて導かれる。第２の調節力２７８により、第２の平行移動ガイド２６０におけるたわみベアリング１１６のたわみ、すなわち、第２の平行移動方向２６１の第２の対向部材２６４と比較する必然の第２の対向部材２６４の平行移動は、達成される。

第２の平行移動方向２６１で力のバランスがなされたときに、平行移動は終了する。これは、一方で正のＹ方向に作用する第２の調整力２７８と、他方で、ばね部材１１５に引き起こされ負のＹ方向の第１の対抗ベアリング２７９において作用するばね力（不図示）と同様なたわみベアリング１１６のたわみに起因する力と、によって引き起こされる。ばね部材１１５のプリテンションにより、平行移動は負のＹ方向にも行うことができる。

詳細Ｃ及びＤにおいて、たわみベアリング１１６が詳細に示されている。いくつかの場合では、これらは、対向部材２２２、２２４、２６２、２６４及び接続部材２２６、２６６の円形の移行部を有する。これらを破線で示す。

図５及び６は平行移動機構２００の斜視図を示す。レンズ軸周りの平行移動機構２００における同軸構造がよく見えている。更に、平行移動機構２００と全デバイス９８とを貫通する開口部１３４を見ることができる。開口部１３４はゴニオメータ機構３００を保持するように機能する。更に、平行移動機構２００と第２の収容部１１９におけるデバイス９８とを固定するように機能するネジ穴１３０を、第１の対向部材２６２（図６）において見ることができる。第１の対向部材２２２（図５）における貫通孔１３２は、平行移動機構２００をゴニオメータ機構３００と接続するように機能する。第１の対向部材２６２（図６）における貫通孔１３２によって、ネジは第１の対向部材２６２を通して導かれ、かかるネジヘッドを第１の対向部材２２２に挿入することができる。平行移動機構は、下記に説明するゴニオメータ機構３００のように、単一部品として設計される。

図７は、負のＹ方向でＹ軸に対向するビューの方向における、ゴニオメータ機構３００の正面図を示している。かかるビューにおいて、第１の等脚台形ガイド３２０の第１の対向部材３２２は、部分的に第２の等脚台形ガイド３６０の第１の対向部材３６２に覆われている。これにより、第１の対向部材３２２、３６２間のギャップ１１２（特に図８に示す）は部分的にしか見えていない。図８は、Ｘ軸方向すなわち正のＸ方向のビューにおけるゴニオメータ機構３００の側面図を示している。

たわみガイド１１６は接続部材３２６、３６６を対向部材３２２、３６２、３２４、３６４と接続し、当該接続は、接続部材３２６、３６６における、少なくとも一つの端点３３２、３７２（例示するように、二つの端点３３２、３７２それぞれ）と、少なくとも一つの第２の端点３３４、３７４（例示するように、二つの端点３３４、３７４それぞれ）とを介して達成される。たわみ剛性とたわみ値（たわみを生成するための与えられる、第１の旋回軸３３６周りの力（すなわちＸ方向のたわみ）又は第２の旋回軸３７６周りの力（すなわちＹ方向のたわみ））とが他の空間的方向に比してかなり低くなるように、たわみベアリング１１６は寸法決めされる。

第１の台形ガイド３２０において、接続部材３２６は、第１の接続平面３２８上で第１の対向部材３２２に接続されており、それぞれの場合において二つの第１の端点２３２を介して、第１の旋回軸３３６と平行な方向に伸びる。同じく第１の旋回軸３３６と第１の接続面３３０に平行な方向に伸びる第２の接続面３３０上において、接続部材３２６は、それぞれの場合において、二つの第２の端点３３４を介して、第２の対向部材３２４と接続されている。例示において、第２の接続面３３０はＸＹ平面である。更に、示される初期位置、第１の接続面３２８は第２の接続面３３０に平行である。第２の対向部材３２４と第２の接続部材３３０は、正のＺ方向において、第１の接続部材３２２と第１の接続面３２８とから相殺される。

第１の接続面３２８に沿い第１の旋回軸３３６に対して垂直な方向（例においてはＸ方向）に伸び、接続部材３２６のうちの一つにおける二つの第１の端点３３２は、他方の接続部材３２６の二つの端点３３２に関する第１の距離３４０を有する。第２の接続面３３０に沿い第１の旋回軸３３６に対して垂直な方向（例においてはＸ方向）に伸び、接続部材３２６のうちの一つにおける二つの第２の端点３３４は、他方の接続部材３２６の二つの端点３３４に関する第２の距離３４２を有する。第１の距離３４０は第２の距離３４２に比して小さい。

第１の旋回軸３３６に垂直な平面３２１の進行に沿った方向において、接続部材３２６の、それぞれの第１の端点３３２及びそれぞれの第２の端点３３４間におけるそれぞれの距離３４４、３４６は等しい。それぞれの接続部材３２６の、二つの第１の端点３３２及び二つの第２の端点３３４は、第１の旋回軸３３６の方向で相殺される。すなわち、例えばＹ方向で互いに相殺される。

第１の旋回軸３３６周りのレンズ１００のゴニオメータの動作を行うために、第３の調節力３３８が、調節部材１１４によって、第１の対向部材３２２に導入され、第３の調節力３３８は、第１の旋回軸３３６に垂直で第１の接続面３２８に平行な成分を有する。示す第３の調節力３３８は、例示的な実施形態において、正のＸ方向に（唯一の）成分を有する。第３の調節力３３８により、たわみベアリング１１６のたわみ、すなわち必然の第１の対向部材３２２のゴニオメータの動作は、第１の対向部材３２２が少なくともほぼ第１の旋回軸３３６周りで旋回することにより達成される。第２の台形ガイド３６０が作動されない限り、レンズ１００はすなわち少なくともほぼ平面３２１上で旋回される。

力のバランスがなされたときに、ゴニオメータの動作は終了する。これは、一方で正のＸ方向に作用する第３の調整力３３８と、他方で、ばね部材１１５に引き起こされ、負のＸ方向における他のものの間において、組み合わされた対抗ベアリング３３９において作用するばね力（不図示）と同様なたわみベアリング１１６のたわみに起因する力と、によって引き起こされる。組み合われた対向ベアリング３３９として機能するばね部材は、ＸＹ平面内の前傾位置のために第１の対向部材３２２上で、ばね力をもたらし、それは第３の調節力３３８と第４の調節力３７８（図８を参照）との両方に逆らう力である。ばね部材１１５のプリテンションにより、ゴニオメータの動作を第１の旋回軸３３６周りで逆旋回方向に行うことができる。

第２の台形ガイド３６０において、接続部材３２８は、第１の接続平面３２８上で第１の対向部材３６２に接続されており、それぞれの場合において二つの第１の端点２７２を介して、第２の旋回軸３７６と平行な方向に伸びる。例示においては、第１の接続面３６８はＸＹ平面である。同じく第２の旋回軸３７６と第１の接続面３６８に平行な方向に伸びる第２の接続面３７０上において、接続部材３６６は、それぞれの場合において、二つの第２の端点３６４を介して、第２の対向部材３６４と接続されている。初期位置、第１の接続面３６８は第２の接続面３７０に平行である。第２の対向部材３６４と第２の接続部材３７０は、正のＺ方向において、第１の接続部材３６２と第１の接続面３６８とから相殺される。

第１の接続面３６８に沿い第２の旋回軸３７６に対して垂直な方向（例においてはＹ方向）に伸び、接続部材３６６のうちの一つにおける二つの第１の端点３７２は、他方の接続部材３６６の二つの端点３７２に関する第１の距離３８０を有する。第２の接続面３７０に沿い第１の旋回軸３７６に対して垂直な方向（例においてはＹ方向）に伸び、接続部材３６６のうちの一つにおける二つの第２の端点３７４は、他方の接続部材３６６の二つの端点３７４に関する第２の距離３８２を有する。第１の距離３８０は第２の距離３８２に比して小さい。

第２の旋回軸３７６に垂直な平面３６１の進行に沿った方向において、接続部材３２６の、それぞれの第１の端点３７２及びそれぞれの第２の端点３７４間におけるそれぞれの距離３８４、３８６は等しい。それぞれの接続部材３６６の、二つの第１の端点３７２及び二つの第２の端点３７４は、第１の旋回軸３７６の方向で相殺される。すなわち、例えばＸ方向で互いに相殺される。

第２の旋回軸３７６周りのレンズ１００のゴニオメータの動作を行うために、第４の調節力３７８が、調節部材１１４によって、第１の対向部材３２２に導入され、第４の調節力３７８は、第２の旋回軸３７６に垂直で第２の接続面３７０に平行な成分を有する。示す第４の調節力３７８は、例示的な実施形態において、正のＹ方向に（唯一の）成分を有する。第４の調節力３７８は、第２の旋回軸３７６に垂直で第２の接続部材３７０に平行な方向において、第１及び第２の台形ガイド３２０、３６０の第２のジョイント対向部材３２４、３６４に対して硬い、第１の台形ガイド３２０のたわみベアリング１１６を介して導かれる。第４の調節力３７８により、第２の台形ガイド３６０におけるたわみベアリング１１６のたわみ、すなわち必然の第２の対向部材３２４、３６４のゴニオメータの動作は、第１の対向部材３２２が少なくともほぼ第２の旋回軸３７６周りで旋回することにより達成される。第１の台形ガイド３２０が作動されない限り、レンズ１００はすなわち少なくともほぼ平面３６１上で旋回される。

力のバランスがなされたときに、ゴニオメータの動作は終了する。これは、一方で正のＹ方向に作用する第４の調整力３７８と、他方で、ばね部材１１５に引き起こされ、負のＹ方向における他のものの間において、組み合わされた対抗ベアリング３３９において作用するばね力（不図示）と同様なたわみベアリング１１６のたわみに起因する力と、によって引き起こされる。組み合われた対向ベアリング３３９として機能するばね部材１１５は、上述の通り、ＸＹ平面内の前傾位置のために第１の対向部材３２２上で、ばね力をもたらし、それは第３の調節力３３８と第４の調節力３７８との両方に逆らう力である。ばね部材１１５のプリテンションにより、ゴニオメータの動作を第２の旋回軸３７６周りで逆旋回方向に行うことができる。

例示的な実施形態において、台形ガイド３２０、３６０の第２の接続面３３０、３７０同様、第１の接続面３２８及び３６８は、示された初期位置において互いに平行である。

詳細Ｄ及びＥにおいて、たわみベアリング１１６が詳細に示されている。いくつかの場合では、これらは、対向部材３２２、３２４、３６２、３６４及び接続部材３２６、３６６の円形の移行部を有する。これらを破線で示す。

図９及び１０はゴニオメータ機構３００の斜視図を示している。レンズ軸周りのゴニオメータ機構３００の同軸構造がよく見えている。更に、ゴニオメータ機構３００と全デバイス９８とを貫通する開口部１３４を見ることができる。Ｘ線は開口部１３４とデバイス９８とを貫通することができる。更に、ゴニオメータ機構３００と平行移動機構２００とを固定するように機能するネジ穴１３０を、第１の対向部材３６２において見ることができる。

特に図１、２、５、６、９及び１０に見られるように、平行移動機構２００とゴニオメータ機構３００は実質的に中空の円筒として設計され、互いに同軸に配置され、ゴニオメータ機構３００は、平行移動機構２００において同軸に配置される。

すなわち、装置９６（参照：図１及び２）の範囲で、レンズ１００は保持部材１１０に接続され（又は保持部材１１０にネジ止めされ）、保持部材１１０は第１の台形ガイド３２０の第１の対向部材３２２とともに単一部品として設計される。

第１の対向部材３２２は、第１の台形ガイド３２０の接続部材３２６及びそのたわみベアリング１１６によって、第１及び第２の台形ガイド３２０、３６０の第２の対向部材３２４、３６４と接続される。これらは単一部品として設計される。

第２の対向部材３２４、３６４は、第２の台形ガイド３６０の接続部材３６６及びそのたわみベアリング１１６によって、第２の台形ガイド３６０の第１の対向部材３６２と接続される。

第２の台形ガイド３６０の第１の対向部材３６２は、第１の平行ガイド２２０の第１の対向部材２２２と接続（又はネジ止め）される。

第１の対向部材２２２は、第１の平行四辺形ガイド２２０の接続部材２２６及びそのたわみベアリング１１６によって、第１及び第２の平行四辺形ガイド２２０、２６０の第２の対向部材２２４、２６４と接続される。これらは単一部品として設計される。

第２の対向部材２２４、２６４は、第２の台形ガイド２６０の接続部材２６６及びそのたわみベアリング１１６によって、第２の台形ガイド２６０の第１の対向部材２６２と接続される。

第２の平行四辺形ガイド２６０の第１の対向部材２６２は、装置９６の第２の収容部１１９と接続（又はネジ止め）される。

すなわち、デバイス９８によって、２点位置合わせのためのデバイスが実現される。これは、そのコンパクト性、真空弾力性及び素晴らしいアクセス性により他のものの間でも、最も狭い空間であっても、機械技術に起因する制限があっても、適切に行うことができる。これは、特に、たわみベアリング１１６を用いた２軸のゴニオメータの位置合わせ運動部の実現により達成される。

位置合わせを目的として、レンズ１００の入射フォーカス１０４（入射側における焦点で）が、第１の所定の点１０２（陽極焦点）に対して、二つの平行四辺形ガイド２２０、２６０（平行軸）の助けにより、位置合わせされる。そして、射出フォーカス１０８が第２の所定の点１０６（サンプル表面上の対象点）に対して位置合わせされるまで、レンズ１００は、第１の所定の点１０２周り周りで旋回する。こうして、簡素化された位置合わせ手順が実現される結果として、デバイス９８は、両方の（陽極側／サンプル側）部分的な位置合わせ操作を分離する。

同軸構造により、デバイスの統合が簡素化される結果として、最大の設置空間の利用が達成される。

各場合における二つの運動部（軸）は単一のブロックから実現されるため、デバイス９８は、非常に少ない数の部品によって特徴づけられる。示される実施形態は設計及び生産の最適化によっても特徴づけられる。一つのデバイスにおいて、全励起源の励起点を互いに位置合わせすることができる限り、いくつかの励起源を用いることができる。

９６：装置、９８：デバイス、１００：Ｘ線光学系／キャピラリレンズ、１０１：レンズ軸、１０２：第１の所定の点、１０４：光学的入射点／入射フォーカス、１０６：第２の所定の点、１０８：光学的射出点／射出フォーカス、１１０：保持部材、１１２：ギャップ、１１４：調節部材、１１５：バネ部材、１１６：たわみベアリング、１１８：第１の収容部、１１９：第２の収容部、１２０：ホルダ、１２２：ウィンドウ、１２４：スペーサディスクの位置、１２６：ネジ接続、１２８：凹所、１３０：ネジ穴、１３２：貫通孔、１３４：開口部、２００：平行移動機構、２２０：第１の平行運動部／第１の平行四辺形ガイド、２２１：第１の平行移動方向、２２２：第１の対向部材、２２４：第２の対向部材、２２６：接続部材、２２８：第１の接続面、２３０：第２の接続面、２３２：第１の端部、２３４：第２の端部、２３８：第１の調節力、２３９：第１の対向ベアリング、２４０：第１の距離、２４２：第２の距離、２４４：第１の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、２４６：第２の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、２６０：第２の平行運動部／第２の平行四辺形ガイド、２６１：第２の平行移動方向、２６２：第１の対向部材、２６４：第２の対向部材、２６６：接続部材、２６８：第１の接続面、２７０：第２の接続面、２７２：第１の端部、２７４：第２の端部、２７８：第２の調節力、２７９：第２の対向ベアリング、２８０：第１の距離 、２８２：第２の距離、２８４：第１の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、２８６：第２の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、３００：ゴニオメータ機構、３２０：第１のゴニオメータ運動部／第１の台形ガイド、３２１：第１の旋回軸に垂直な面、３２２：第１の対向部材、３２４：第２の対向部材、３２６：接続部材、３２８：第１の接続面、３３０：第２の接続面、３３２：第１の端部、３３４：第２の端部、３３６：第１の旋回軸、３３８：第３の調節力、３３９：組み合わされた対向ベアリング、３４０：第１の距離、３４２：第２の距離、３４４：第１の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、３４６：第１の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、３６０：第２のゴニオメータ運動部／第２の台形ガイド、３６１：第２の旋回軸に対して垂直に延びる面、３６２：第１の対向部材、３６４：第２の対向部材、３６６：接続部材、３６８：第１の接続面、３７０：第２の接続面、３７２：第１の端部、３７４：第２の端部、３７６：第２の旋回軸、３７８：第４の調節力、３８０：第１の距離、３８２：第２の距離、３８４：第１の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離、３８６：第２の接続部材における第１の端部及び第２の端部間の距離。

Claims (16)

1. 光学的入射点（１０４）及び光学的射出点（１０８）を有するＸ線光学系（１００）の空間的な位置合わせを行うためのデバイス（９８）であって、
   保持部材（１１０）と、
   前記保持部材（１１０）に接続され且つ前記Ｘ線光学系（１００）の前記入射点（１０４）を第１の所定の点（１０２）に対して位置合わせする平行移動機構（２００）と、
   前記保持部材（１１０）及び前記平行移動機構（２００）に接続され且つＸ線光学系の射出点（１０８）を第２の所定の点（１０６）に対して位置合わせするゴニオメータ機構（３００）を備え、
   前記保持部材（１１０）は、前記Ｘ線光学系（１００）を初期位置でＺ方向に位置合わせし且つ当該デバイス（９８）によって構造的に予め決定される少なくとも一つの旋回軸（３３６、３７６）上に前記入射点（１０４）が実質的に位置するように、前記Ｘ線光学系（１００）を保持及び固定し、
   前記平行移動機構（２００）は、
   Ｚ方向と実質的に異なる第１の平行移動方向（２２１）への、前記Ｘ線光学系（１００）の平行移動のために設計された第１の平行運動部（２２０）と、
   Ｚ方向及び第１の平行移動方向（２２１）と実質的に異なる第２の平行移動方向（２６１）への、Ｘ線光学系（１００）の平行移動のために設計された第２の平行運動部（２６０）を有し、
   前記ゴニオメータ機構（３００）は、前記入射点（１０４）周りを前記Ｘ線光学系（１００）が少なくともほぼ旋回するように前記Ｘ線光学系（１００）を移動させるように設計され、
   前記ゴニオメータ機構（３００）は、第１の旋回軸（３３６）周りを前記Ｘ線光学系（１００）が少なくともほぼ旋回するように前記Ｘ線光学系（１００）を移動させるように設計された第１のゴニオメータ運動部を有し、前記第１の旋回軸（３３６）は、前記Ｚ方向とは異なる方向に伸びており、
   前記平行移動機構（２００）及び前記ゴニオメータ機構（３００）は互いに同軸に重なって配置される、デバイス（９８）。
2. 前記平行移動機構（２００）の前記第１の平行運動部（２２０）が第１の平行四辺形ガイド（２２０）であること、及び、前記平行移動機構（２００）の前記第２の平行運動部（２６０）が第２の平行四辺形ガイド（２６０）であること、のうちの両方又は一方である請求項１記載のデバイス。
3. 前記ゴニオメータ機構（３００）は、第２の旋回軸（３７６）周りを前記Ｘ線光学系（１００）が少なくともほぼ旋回するように前記Ｘ線光学系（１００）を移動させるように設計された第２のゴニオメータ運動部（３６０）を有し、前記第２の旋回軸（３７６）は、前記Ｚ方向と前記第１の旋回軸（３３６）とは異なる方向に延びている、請求項１記載のデバイス。
4. 前記第１のゴニオメータ運動部（３２０）は、第１の等脚台形ガイド（３２０）であること、及び、前記第２のゴニオメータ運動部（３６０）は、第２の等脚台形ガイド（３６０）であること、のうちの両方又は一方である、請求項３記載のデバイス。
5. 前記平行移動運動部又はゴニオメータ運動部（２２０、２６０、３２０、３６０）の少なくとも二つは、少なくとも一つの第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）と第２の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）を有し、第１及び第２対向部材は、前記平行移動運動部又はゴニオメータ運動部（２２０、２６０、３２０、３６０）のそれぞれの接続部材対（２２６、２６６、３２６、３６６）を介して互いに接続される、請求項３又は請求項４記載のデバイス。
6. 前記第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）は、それぞれの前記平行移動運動部又はゴニオメータ運動部（２２０、２６０、３２０、３６０）の前記第２の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）と、前記第１の旋回軸（３３６）との間に配置される、請求項５記載のデバイス。
7. 少なくとも二つの平行移動運動部又はゴニオメータ運動部（２２０、２６０、３２０、３６０）において、前記第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）のうちの二つ若しくは前記第２の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）のうちの二つは、不動に互いに接続されるか、又は単一部品として設計される、請求項５記載のデバイス。
8. 機械的な接続シーケンスに沿って、当該デバイスを固定するように設計された、前記保持部材（１１０）から、第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）若しくは第二の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）に至るまで、前記保持部材（１１０）は、第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）若しくは第２の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）に対して不動に接続されるか、又は第１の対向部材若しくは第２の対向部材とともに単一部品として設計され、これに基づいて、代わりに前記平行移動運動部（２２０、２６０）及び前記ゴニオメータ運動部（３２０、３６０）のいずれか一つに属する第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）が不動に互いに接続されるか若しくは単一部品として設計されること、並びに第２の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）が不動に互いに接続されるか若しくは単一部品として設計されること、のうち両方又は一方である、請求項５記載のデバイス。
9. 前記保持部材（１１０）は前記第１のゴニオメータ運動部（３２０）の前記第１の対向部材（３２２）に対して不動に接続されるか、又は前記第１のゴニオメータ運動部（３２０）の前記第１の対向部材（３２２）とともに単一部品として設計され、
   前記ゴニオメータ運動部（３２０）の前記第２の対向部材（３２４）は前記第２のゴニオメータ運動部（３６０）の前記第２の対向部材（３６４）に対して不動に接続されるか、又は前記第２のゴニオメータ運動部（３６０）の前記第２の対向部材（３６４）とともに単一部品として設計され、
   前記第２のゴニオメータ運動部（３６０）の前記第１の対向部材（３６２）は前記第１の平行移動運動部（２２０）の前記第１の対向部材（２２２）に対して不動に接続されるか、又は前記第１の平行移動運動部（２２０）の前記第１の対向部材（２２２）とともに単一部品として設計され、
   前記第１の平行移動運動部（２２０）の前記第２の対向部材（２２４）は前記第２の平行移動運動部（２６０）の前記第２の対向部材（２６４）に対して不動に接続されるか、又は前記第２の平行移動運動部（２６０）の前記第２の対向部材（２６４）とともに単一部品として設計され、
   前記第２の平行移動運動部（２６０）の前記第１の対向部材（２６２）は、当該デバイス（９８）を固定するために設けられている、
   請求項５記載のデバイス。
10. 前記接続部材対（２２６、２６６、３２６、３６６）の前記接続部材（２２６、２６６、３２６、３６６）は、前記接続部材（２２６、２６６、３２６、３６６）の端部（２３２、２３４、２７２、２７４、３３２、３３４、３７２、３７４）を介して、前記第１の対向部材（２２２、２６２、３２２、３６２）と前記第２の対向部材（２２４、２６４、３２４、３６４）とに、それぞれ接続されている、請求項５記載のデバイス。
11. 前記接続部材（２２６、２６６、３２６、３６６）の前記端部（２３２、２３４、２７２、２７４、３３２、３３４、３７２、３７４）は、それぞれの端部（２３２、２３４、２７２、２７４、３３２、３３４、３７２、３７４）において、一つのジョイント又は一つのたわみベアリング（１１６）を有する、請求項１０記載のデバイス。
12. 前記接続部材（２２６、２６６、３２６、３６６）の端点（２３２、２３４、２７２、２７４、３３２、３３４、３７２、３７４）は、一つのジョイント又は一つのたわみベアリング（１１６）をそれぞれの端点（２３２、２３４、２７２、２７４、３３２、３３４、３７２、３７４）において有する請求項１１記載のデバイス。
13. 前記平行四辺形ガイド（２２０、２６０）及び／又は前記台形のガイド（３２０、３６０）は、前記接続部材対の二つの前記接続部材（２２６、２６６、３２６、３６６）の間の略中心において前記Ｘ線光学系（１００）が前記保持部材（１１０）によって保持されるように、互いに関連しあって配置される、請求項５記載のデバイス。
14. 前記平行移動機構（２００）及び前記ゴニオメータ機構（３００）は互いに同軸に配置され、特に前記ゴニオメータ機構（３００）は、前記平行移動機構（２００）内に同軸に配置される、請求項１記載のデバイス。
15. 前記平行移動機構（２００）及びゴニオメータ機構（３００）のうち両方又は一方は、単一部品として設計される、請求項１記載のデバイス。
16. 請求項１乃至１４のいずれか一項記載の前記デバイス（９８）とＸ線光学系（１００）とを備える装置（９６）であって、
    前記Ｘ線光学系（１００）は、初期位置でＺ方向に位置合わせされ且つ前記デバイス（９８）によって構造的に予め決定される少なくとも一つの旋回軸（３３６、３７６）上に前記入射点（１０４）が実質的に配置されるように、前記保持部材（１１０）によって保持及び固定される、装置（９６）。