JP3406774B2 - ダイヤモンド被覆した差込み工具及びその製造方法 - Google Patents
ダイヤモンド被覆した差込み工具及びその製造方法Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、広く言えば切削工
具に関する。より詳しく言えば、本発明は切削工具のた
めのダイヤモンド被覆した差込み工具(insert)
と、これらのダイヤモンド被覆差込み工具を製造する方
法に関する。
具に関する。より詳しく言えば、本発明は切削工具のた
めのダイヤモンド被覆した差込み工具(insert)
と、これらのダイヤモンド被覆差込み工具を製造する方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】機械加工産業では、所定の材料を切削す
るのに機械により使用される切削ポイントのタイプと形
状はその効率と精度にとってしばしば重要なものであ
る。従来技術である図1に示したように、このポイント
は通常、非常に硬質の材料から作られて加工物101に
ついて所望される切削のタイプに応じた形状にされた、
差込み工具102として知られる着脱可能な部品に設け
られる。切削工具用差込み工具102はしばしば、ネジ
103で工具ホルダー104に取りつけられ、そしてこ
のホルダーは機械の部品、例えば旋盤(図示せず)のキ
ャリジ106のようなものに、固定することができる。
典型的に、差込み工具102には切削のための多数のコ
ーナ部108a〜dがあり、そのため差込み工具102
の一つのコーナ108aが摩滅すると、差込み工具10
2を工具ホルダー104に配置しなおして別の未使用の
コーナ108b〜dを露出することができる。このよう
にして、単一の差込み工具をそのコーナ108a〜dの
全部が摩滅するまで配置しなおすことができる。差込み
工具はしばしば、三角又は四角の形をしており(とは言
え円形や六角形の差込み工具が知られている)、差込み
工具の各コーナ108a〜dが切削ポイントとして使用
される。差込み工具は各種の材料、例えば金属、炭化物
及びセラミック等から製造することができるとは言え、
多くの材料を切削する場合にはダイヤモンドを使用する
のが好ましい。合成の薄膜ダイヤモンドの開発につれ
て、切削工具でダイヤモンドを使用することが実現可能
になり、そして切削工具産業において一般に行われるよ
うになってきた。
るのに機械により使用される切削ポイントのタイプと形
状はその効率と精度にとってしばしば重要なものであ
る。従来技術である図1に示したように、このポイント
は通常、非常に硬質の材料から作られて加工物101に
ついて所望される切削のタイプに応じた形状にされた、
差込み工具102として知られる着脱可能な部品に設け
られる。切削工具用差込み工具102はしばしば、ネジ
103で工具ホルダー104に取りつけられ、そしてこ
のホルダーは機械の部品、例えば旋盤(図示せず)のキ
ャリジ106のようなものに、固定することができる。
典型的に、差込み工具102には切削のための多数のコ
ーナ部108a〜dがあり、そのため差込み工具102
の一つのコーナ108aが摩滅すると、差込み工具10
2を工具ホルダー104に配置しなおして別の未使用の
コーナ108b〜dを露出することができる。このよう
にして、単一の差込み工具をそのコーナ108a〜dの
全部が摩滅するまで配置しなおすことができる。差込み
工具はしばしば、三角又は四角の形をしており(とは言
え円形や六角形の差込み工具が知られている)、差込み
工具の各コーナ108a〜dが切削ポイントとして使用
される。差込み工具は各種の材料、例えば金属、炭化物
及びセラミック等から製造することができるとは言え、
多くの材料を切削する場合にはダイヤモンドを使用する
のが好ましい。合成の薄膜ダイヤモンドの開発につれ
て、切削工具でダイヤモンドを使用することが実現可能
になり、そして切削工具産業において一般に行われるよ
うになってきた。
【0003】現在、切削工具のためのダイヤモンドは三
つの別個の形態でもって入手可能であり、それらの形態
とは、単結晶、高温/高圧多結晶性(PCD)ブラン
ク、そしてより新しい化学気相成長(CVD)厚膜ブラ
ンク及び薄膜コーティングである。他の特性を犠牲にし
てある一定の特性を際立たせる、必要とする異なる製造
法のために、各形態は特定の範囲の用途に向いている。
つの別個の形態でもって入手可能であり、それらの形態
とは、単結晶、高温/高圧多結晶性(PCD)ブラン
ク、そしてより新しい化学気相成長(CVD)厚膜ブラ
ンク及び薄膜コーティングである。他の特性を犠牲にし
てある一定の特性を際立たせる、必要とする異なる製造
法のために、各形態は特定の範囲の用途に向いている。
【0004】単結晶の差込み工具は、天然又は人工ダイ
ヤモンドを差込み工具の切削部の形状にし、次いで完成
したダイヤモンドを基材へろう付けして製造される。P
CDダイヤモンドの差込み工具はダイヤモンド粒子を一
定割合の焼結助剤、典型的にはコバルト、とともに密に
詰めた塊を加熱及び昇圧して作られる。焼結工程の間に
コバルトが溶融してダイヤモンド粒子間の間隙に浸透す
る。得られたブランクは、後に所望の切削用の形状寸法
にするため機械加工しなくてはならない。CVDダイヤ
モンドの差込み工具は、所望の切削用の形状寸法を有す
る炭化タングステン又はセラミック基材上にダイヤモン
ドの薄い膜を被覆するか、あるいは切削を行う差込み工
具の上部へ所望の切削用の形状を有する自立のCVDダ
イヤモンドフィルムをろう付けして製造される。ダイヤ
モンド差込み工具を製造する三つの全ての方法(切削基
材を直接CVDコーティングにかける場合を除く)に共
通の難点は、ダイヤモンドが硬いためダイヤモンドで覆
われた差込み工具を所望の形状に機械加工するのがしば
しば極めて困難なことである。差込み工具は個々に機械
加工しなくてはならないので、差込み工具の品質が潜在
的にばらついてくる。結果として、製造したなら、各差
込み工具をほかの差込み工具とばらつきがないかどうか
について品質試験しなくてはならない。更に、新しい差
込み工具の形状と寸法が所望されるたびに、差込み工具
を機械加工するための新たな工具と方法が必要とされ
る。
ヤモンドを差込み工具の切削部の形状にし、次いで完成
したダイヤモンドを基材へろう付けして製造される。P
CDダイヤモンドの差込み工具はダイヤモンド粒子を一
定割合の焼結助剤、典型的にはコバルト、とともに密に
詰めた塊を加熱及び昇圧して作られる。焼結工程の間に
コバルトが溶融してダイヤモンド粒子間の間隙に浸透す
る。得られたブランクは、後に所望の切削用の形状寸法
にするため機械加工しなくてはならない。CVDダイヤ
モンドの差込み工具は、所望の切削用の形状寸法を有す
る炭化タングステン又はセラミック基材上にダイヤモン
ドの薄い膜を被覆するか、あるいは切削を行う差込み工
具の上部へ所望の切削用の形状を有する自立のCVDダ
イヤモンドフィルムをろう付けして製造される。ダイヤ
モンド差込み工具を製造する三つの全ての方法(切削基
材を直接CVDコーティングにかける場合を除く)に共
通の難点は、ダイヤモンドが硬いためダイヤモンドで覆
われた差込み工具を所望の形状に機械加工するのがしば
しば極めて困難なことである。差込み工具は個々に機械
加工しなくてはならないので、差込み工具の品質が潜在
的にばらついてくる。結果として、製造したなら、各差
込み工具をほかの差込み工具とばらつきがないかどうか
について品質試験しなくてはならない。更に、新しい差
込み工具の形状と寸法が所望されるたびに、差込み工具
を機械加工するための新たな工具と方法が必要とされ
る。
【0005】先に示唆されたように、機械加工を実質的
になくすために、個々の基材を調製して所望の形状と寸
法にし、そしてそれらをCVD反応器に入れて、そこで
工具全体に実質的にダイヤモンド被覆を施すことが知ら
れている。とは言え、個別に切削された基材はわずかに
異なる形状寸法を持つことがあるので、一致をみるのは
困難である。その上、CVD反応器内でのダイヤモンド
成長速度は使用のたびごとに変動することがあるので、
CVD反応器の使用のたびごとにわずかに異なる差込み
工具の形状寸法が得られる。もう一つの潜在的な問題
は、現在のCVD製造法の取扱いの要件である。各差込
み工具が個々に製造されて付形されるので、多数の基材
を注意深く選ばれた配列に並べ、なんらかの適当な方法
を使ってダイヤモンド被覆し、検査し、そして最終的に
梱包しなおさなくてはならない。これは、差込み工具を
頻繁に取り扱うことを必要とする。更に、おのおのの異
なる差込み工具形状寸法は特別に切削された基材を必要
とする。それにより、結果として、在庫品目録の必要と
製造時間が増加する。また、ダイヤモンド被覆プロセス
は各個別の差込み工具の寸法及び形状に敏感である傾向
もあり、従ってしばしば、新しい寸法又は形状の差込み
工具を製造する前に製造試験を行うことが必要である。
になくすために、個々の基材を調製して所望の形状と寸
法にし、そしてそれらをCVD反応器に入れて、そこで
工具全体に実質的にダイヤモンド被覆を施すことが知ら
れている。とは言え、個別に切削された基材はわずかに
異なる形状寸法を持つことがあるので、一致をみるのは
困難である。その上、CVD反応器内でのダイヤモンド
成長速度は使用のたびごとに変動することがあるので、
CVD反応器の使用のたびごとにわずかに異なる差込み
工具の形状寸法が得られる。もう一つの潜在的な問題
は、現在のCVD製造法の取扱いの要件である。各差込
み工具が個々に製造されて付形されるので、多数の基材
を注意深く選ばれた配列に並べ、なんらかの適当な方法
を使ってダイヤモンド被覆し、検査し、そして最終的に
梱包しなおさなくてはならない。これは、差込み工具を
頻繁に取り扱うことを必要とする。更に、おのおのの異
なる差込み工具形状寸法は特別に切削された基材を必要
とする。それにより、結果として、在庫品目録の必要と
製造時間が増加する。また、ダイヤモンド被覆プロセス
は各個別の差込み工具の寸法及び形状に敏感である傾向
もあり、従ってしばしば、新しい寸法又は形状の差込み
工具を製造する前に製造試験を行うことが必要である。
【0006】従来技術のダイヤモンド被覆した差込み工
具の生産において製造及び品質管理が困難であるほか
に、得られた差込み工具はある一定の欠点に悩まされ
る。例えば、差込み工具の切削ポイントが切れなくなる
(これは加工する材料に応じて頻繁に起こり得る)たび
に、差込み工具を廃棄するか、あるいは工具ホルダーか
ら外して注意深く再研削しなくてはならない。差込み工
具のコーナだけがダイヤモンド被覆されている場合に
は、切削ポイントは差込み工具全体を廃棄しなくてはな
らなくなる前に限られた回数再研削することができるに
過ぎない。差込み工具基材の全体がダイヤモンド層でC
VD被覆される状況においては、ダイヤモンド層は差込
み工具のすくい面に沿って延びるだけでなく、差込み工
具の逃げ面に沿っても延びる。ところが、ダイヤモンド
被覆された逃げ面のために、差込み工具を研ぎなおすの
は極めて困難である。実際のところ、たとえ研ぎなおす
ことができたとしても、その結果得られた差込み工具は
最初に製造されたときとは異なる逃げ面形状を有する。
具の生産において製造及び品質管理が困難であるほか
に、得られた差込み工具はある一定の欠点に悩まされ
る。例えば、差込み工具の切削ポイントが切れなくなる
(これは加工する材料に応じて頻繁に起こり得る)たび
に、差込み工具を廃棄するか、あるいは工具ホルダーか
ら外して注意深く再研削しなくてはならない。差込み工
具のコーナだけがダイヤモンド被覆されている場合に
は、切削ポイントは差込み工具全体を廃棄しなくてはな
らなくなる前に限られた回数再研削することができるに
過ぎない。差込み工具基材の全体がダイヤモンド層でC
VD被覆される状況においては、ダイヤモンド層は差込
み工具のすくい面に沿って延びるだけでなく、差込み工
具の逃げ面に沿っても延びる。ところが、ダイヤモンド
被覆された逃げ面のために、差込み工具を研ぎなおすの
は極めて困難である。実際のところ、たとえ研ぎなおす
ことができたとしても、その結果得られた差込み工具は
最初に製造されたときとは異なる逃げ面形状を有する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従って、簡単で且つ原
価効率的であるダイヤモンド被覆差込み工具の製造方法
を提供することが本発明の目的である。本発明のもう一
つの目的は、一致した結果をもたらすダイヤモンド被覆
差込み工具の製造方法を提供することである。最小限の
取扱いを必要とするダイヤモンド被覆差込み工具の製造
方法を提供することも、本発明の目的である。本発明の
別の目的は、時間効率的で且つ在庫品目録の必要が少な
いダイヤモンド被覆差込み工具の製造方法を提供するこ
とである。
価効率的であるダイヤモンド被覆差込み工具の製造方法
を提供することが本発明の目的である。本発明のもう一
つの目的は、一致した結果をもたらすダイヤモンド被覆
差込み工具の製造方法を提供することである。最小限の
取扱いを必要とするダイヤモンド被覆差込み工具の製造
方法を提供することも、本発明の目的である。本発明の
別の目的は、時間効率的で且つ在庫品目録の必要が少な
いダイヤモンド被覆差込み工具の製造方法を提供するこ
とである。
【0008】本発明の更に別の目的は、切削用部分が摩
滅後に再使用可能であるダイヤモンド被覆差込み工具を
提供することである。本発明のなお別の目的は、差込み
工具のいずれのダイヤモンド被覆部分も切削用部分とし
て使用することができるダイヤモンド被覆差込み工具を
提供することである。本発明のなおもう一つの目的は、
切削寿命の長いダイヤモンド被覆差込み工具を提供する
ことである。
滅後に再使用可能であるダイヤモンド被覆差込み工具を
提供することである。本発明のなお別の目的は、差込み
工具のいずれのダイヤモンド被覆部分も切削用部分とし
て使用することができるダイヤモンド被覆差込み工具を
提供することである。本発明のなおもう一つの目的は、
切削寿命の長いダイヤモンド被覆差込み工具を提供する
ことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】下記において詳しく検討
される本発明の目的に従って、本発明の方法は一般に、
任意の既知のCVD手法を利用して耐久性で且つダイヤ
モンド付着性の材料の基材の実質的に滑らかな表面へダ
イヤモンド層を被覆し、次いでこのダイヤモンドを被覆
した基材を所望の形状寸法を有する多数の差込み工具に
分割することを含む。好ましくは、この分割はレーザー
ビームを使用してなされる。所望の差込み工具形状が前
もって分かっている場合には、基材表面に、製造時間を
更に最小にするためレーザービームの切断平面に沿って
溝を設けてもよい。
される本発明の目的に従って、本発明の方法は一般に、
任意の既知のCVD手法を利用して耐久性で且つダイヤ
モンド付着性の材料の基材の実質的に滑らかな表面へダ
イヤモンド層を被覆し、次いでこのダイヤモンドを被覆
した基材を所望の形状寸法を有する多数の差込み工具に
分割することを含む。好ましくは、この分割はレーザー
ビームを使用してなされる。所望の差込み工具形状が前
もって分かっている場合には、基材表面に、製造時間を
更に最小にするためレーザービームの切断平面に沿って
溝を設けてもよい。
【0010】差込み工具を切断して切り離したら、所望
ならば差込み工具のエッジとコーナを所望の平滑性と仕
上がりになるまで機械加工することができる。任意的
に、完成した差込み工具に固定用の貫通穴をレーザー穿
孔のような任意の既知の穿孔方法を利用して機械加工す
る。完成した差込み工具はその後、従来技術の文献に記
載されたのと同様なやり方でもって工具ホルダー及び切
削旋盤に取り付けて使用することができる。一定のこの
ほかの場合には、分割した被覆基材を切削工具差込み工
具として使用するよりも、ダイヤモンド被覆した基材を
ろう付けか又は接着剤により別の基材に結合させること
ができる。それから、ダイヤモンド表面をアブレーショ
ン(ablation)あるいは別の所望の仕上げ技術
によって仕上げることができよう。
ならば差込み工具のエッジとコーナを所望の平滑性と仕
上がりになるまで機械加工することができる。任意的
に、完成した差込み工具に固定用の貫通穴をレーザー穿
孔のような任意の既知の穿孔方法を利用して機械加工す
る。完成した差込み工具はその後、従来技術の文献に記
載されたのと同様なやり方でもって工具ホルダー及び切
削旋盤に取り付けて使用することができる。一定のこの
ほかの場合には、分割した被覆基材を切削工具差込み工
具として使用するよりも、ダイヤモンド被覆した基材を
ろう付けか又は接着剤により別の基材に結合させること
ができる。それから、ダイヤモンド表面をアブレーショ
ン(ablation)あるいは別の所望の仕上げ技術
によって仕上げることができよう。
【0011】本発明の方法の結果は典型的に、強いダイ
ヤモンド付着性を持つ耐久性の材料から製作された実質
的に多角形の基材を一般に含む切削用差込み工具であっ
て、これらの差込み工具では、差込み工具のすくい面が
ダイヤモンド層で被覆されており、且つ差込み工具の逃
げ面がこのCVDダイヤモンドすくい面の厚さを超えて
ダイヤモンド被覆されていない。この差込み工具は、差
込み工具のダイヤモンド被覆された表面の中央から底面
の中央まで達する貫通孔を随意に含む。貫通孔が設けら
れる場合、それは切削用差込み工具を工具ホルダーに取
り付けるための結合手段を受け入れる寸法にされる。
ヤモンド付着性を持つ耐久性の材料から製作された実質
的に多角形の基材を一般に含む切削用差込み工具であっ
て、これらの差込み工具では、差込み工具のすくい面が
ダイヤモンド層で被覆されており、且つ差込み工具の逃
げ面がこのCVDダイヤモンドすくい面の厚さを超えて
ダイヤモンド被覆されていない。この差込み工具は、差
込み工具のダイヤモンド被覆された表面の中央から底面
の中央まで達する貫通孔を随意に含む。貫通孔が設けら
れる場合、それは切削用差込み工具を工具ホルダーに取
り付けるための結合手段を受け入れる寸法にされる。
【0012】本発明の差込み工具製造方法は簡単で且つ
原価効率的であり、ばらつきのない結果をもたらし、そ
して異なる形状の差込み工具を容易に製造するのを可能
にする。結果として得られた本発明の差込み工具は、差
込み工具を研ぎなおす際に切削用差込み工具の全表面を
使用することができることから、従来の差込み工具より
もはるかに長い寿命を示す。詳しく言えば、差込み工具
のコーナのうちの二つが摩滅した場合、それらの間のエ
ッジを単に差込み工具を所望の形状に研削することによ
り切削工具として使用することができる。このために
は、いくつかの研削手法が利用可能であり、例えばもと
の差込み工具を切断してより小さい多数の差込み工具に
することによるような、あるいはもとの差込み工具を研
磨してダイヤモンド被覆の未使用の部分を露出させるこ
とによるような手法を利用できる。ダイヤモンド被覆は
比較的薄く、そして差込み工具の逃げ面はダイヤモンド
で被覆されないので、本発明の差込み工具は他のCVD
ダイヤモンド被覆工具が持たない研ぎなおしの可能性を
も有する。
原価効率的であり、ばらつきのない結果をもたらし、そ
して異なる形状の差込み工具を容易に製造するのを可能
にする。結果として得られた本発明の差込み工具は、差
込み工具を研ぎなおす際に切削用差込み工具の全表面を
使用することができることから、従来の差込み工具より
もはるかに長い寿命を示す。詳しく言えば、差込み工具
のコーナのうちの二つが摩滅した場合、それらの間のエ
ッジを単に差込み工具を所望の形状に研削することによ
り切削工具として使用することができる。このために
は、いくつかの研削手法が利用可能であり、例えばもと
の差込み工具を切断してより小さい多数の差込み工具に
することによるような、あるいはもとの差込み工具を研
磨してダイヤモンド被覆の未使用の部分を露出させるこ
とによるような手法を利用できる。ダイヤモンド被覆は
比較的薄く、そして差込み工具の逃げ面はダイヤモンド
で被覆されないので、本発明の差込み工具は他のCVD
ダイヤモンド被覆工具が持たない研ぎなおしの可能性を
も有する。
【0013】本発明のこのほかの目的と利点は、添付の
図面に関連してなされる詳しい説明を参照することによ
り当業者にとって明らかになろう。
図面に関連してなされる詳しい説明を参照することによ
り当業者にとって明らかになろう。
【0014】
【発明の実施の形態】図2〜4を参照して、本発明のダ
イヤモンド被覆した差込み工具を製造する方法を説明す
る。第一の面206と第二の面208を有する10cm
×10cmの長方形基材204の第一の面206に、厚
さが2〜200μmの範囲のダイヤモンド層222を被
覆する。ダイヤモンド層の被覆は、任意のCVD手法を
利用して行うことができる。基材204は十分に剛性で
あることが重要であり、さもなければ得られた差込み工
具のその後の研削作業で基材204は過度に曲がり、ヤ
ング率が50GPa未満の大抵の材料、例えばグラファ
イト又は六方晶窒化ホウ素のようなものの場合にそうで
あるように、ダイヤモンド層222が剥げ落ちる(すな
わち小片あるいは破片になる)。更に別の要件は、ダイ
ヤモンド層222が基材204に付着性であることであ
る。十分に剛性であり且つダイヤモンドに付着性である
材料には、種々のグレードのSiC、Si3 N4 又は炭
化タングステンが含まれる。炭化タングステンの場合、
ダイヤモンド被覆への非付着性に寄与する要因を補償す
るために中間層を導入することが必要なことがある。こ
のほかの材料も、基材とダイヤモンド被覆との熱膨張が
合わないため特別な方法を必要としよう。
イヤモンド被覆した差込み工具を製造する方法を説明す
る。第一の面206と第二の面208を有する10cm
×10cmの長方形基材204の第一の面206に、厚
さが2〜200μmの範囲のダイヤモンド層222を被
覆する。ダイヤモンド層の被覆は、任意のCVD手法を
利用して行うことができる。基材204は十分に剛性で
あることが重要であり、さもなければ得られた差込み工
具のその後の研削作業で基材204は過度に曲がり、ヤ
ング率が50GPa未満の大抵の材料、例えばグラファ
イト又は六方晶窒化ホウ素のようなものの場合にそうで
あるように、ダイヤモンド層222が剥げ落ちる(すな
わち小片あるいは破片になる)。更に別の要件は、ダイ
ヤモンド層222が基材204に付着性であることであ
る。十分に剛性であり且つダイヤモンドに付着性である
材料には、種々のグレードのSiC、Si3 N4 又は炭
化タングステンが含まれる。炭化タングステンの場合、
ダイヤモンド被覆への非付着性に寄与する要因を補償す
るために中間層を導入することが必要なことがある。こ
のほかの材料も、基材とダイヤモンド被覆との熱膨張が
合わないため特別な方法を必要としよう。
【0015】ダイヤモンド層の被覆222の厚さの範囲
は、用途ごとにいろいろであるのを可能にするようなも
のである。具体的な厚さの値は、経済的な要因により、
また基材204とダイヤモンド層222との結合を維持
する必要によって決定される。一般には、差込み工具3
10(図4参照)の耐摩耗性はダイヤモンド層222の
厚さを増加させることで増大するのに対し、差込み工具
の製造費はダイヤモンド層222の厚さを減少させるこ
とで低下する。ダイヤモンド層222が剥がれる傾向
も、ダイヤモンド層の厚さを減少させることにより制限
される。その上、差込み工具を充填剤入りプラスチック
のような軟質であるが摩耗作用のある材料を機械加工す
るために使用しようとする場合には、扱かえるだけ厚い
ダイヤモンド層222が好ましい。しかしながら、例え
ば金属のような、より剛性で且つより強靱な材料を機械
加工するのには、ダイヤモンド層の剥がれを防ぐためよ
り薄い層が必要であろう。
は、用途ごとにいろいろであるのを可能にするようなも
のである。具体的な厚さの値は、経済的な要因により、
また基材204とダイヤモンド層222との結合を維持
する必要によって決定される。一般には、差込み工具3
10(図4参照)の耐摩耗性はダイヤモンド層222の
厚さを増加させることで増大するのに対し、差込み工具
の製造費はダイヤモンド層222の厚さを減少させるこ
とで低下する。ダイヤモンド層222が剥がれる傾向
も、ダイヤモンド層の厚さを減少させることにより制限
される。その上、差込み工具を充填剤入りプラスチック
のような軟質であるが摩耗作用のある材料を機械加工す
るために使用しようとする場合には、扱かえるだけ厚い
ダイヤモンド層222が好ましい。しかしながら、例え
ば金属のような、より剛性で且つより強靱な材料を機械
加工するのには、ダイヤモンド層の剥がれを防ぐためよ
り薄い層が必要であろう。
【0016】次に、図3を参照すると、ダイヤモンド層
222で被覆された長方形基材204は、レーザービー
ム302を使って多数の三角形の差込み工具310に分
割される。レーザービーム302は、好ましくは、得ら
れた差込み工具の壁が垂直になるように基材204の第
一の面206に対して垂直にされる。所望の差込み工具
形状が前もって分かっている場合には、製造時間を更に
最小にするためレーザービーム302の切断平面(図示
せず)に沿って基材204に溝を用意してもよい。切断
用レーザー(図示せず)は、ダイヤモンド被覆222に
損傷を与えるのを避けるため、例えばNd−YAGレー
ザーにより製造されるもののように、ビーム302が細
く且つパワー密度が高くなければならない。レーザービ
ーム302は基材204の第一の面206に対して垂直
であると開示されてはいるが、工具に対しプラスのすく
い(すなわちすくい面に対する逃げ面の角度が90度よ
り小さい)が要望される場合には角度のついたレーザー
ビームを使用してもよい。同様に、差込み工具310
は、差込み工具の所期の用途に応じて任意の所望の形状
に切断してもよい。
222で被覆された長方形基材204は、レーザービー
ム302を使って多数の三角形の差込み工具310に分
割される。レーザービーム302は、好ましくは、得ら
れた差込み工具の壁が垂直になるように基材204の第
一の面206に対して垂直にされる。所望の差込み工具
形状が前もって分かっている場合には、製造時間を更に
最小にするためレーザービーム302の切断平面(図示
せず)に沿って基材204に溝を用意してもよい。切断
用レーザー(図示せず)は、ダイヤモンド被覆222に
損傷を与えるのを避けるため、例えばNd−YAGレー
ザーにより製造されるもののように、ビーム302が細
く且つパワー密度が高くなければならない。レーザービ
ーム302は基材204の第一の面206に対して垂直
であると開示されてはいるが、工具に対しプラスのすく
い(すなわちすくい面に対する逃げ面の角度が90度よ
り小さい)が要望される場合には角度のついたレーザー
ビームを使用してもよい。同様に、差込み工具310
は、差込み工具の所期の用途に応じて任意の所望の形状
に切断してもよい。
【0017】図4に見られるように、三角形の差込み工
具310を切断して切り離した後に、差込み工具310
の辺(side)318a、318b、318cとコー
ナ320a、320b、320cを所望の仕上がりにな
るまでトリミングレーザー又は他の通常のグラインダー
を使って削摩してもよい。とは言え、最初の切断をうま
く制御することにより、切断とトリミングを同一にして
もよい。場合によっては、差込み工具310を、削摩及
び仕上げする前にろう付け又は接着剤で結合することに
より別の基材(図示せず)に結合させてもよい。次に、
任意の既知の穿孔方法、例えばレーザー穿孔又はダイヤ
モンドコア穿孔の如きものによって、差込み工具310
の貫通孔324を機械加工して仕上げしてもよい(所望
ならば)。完成した差込み工具は、その後工具ホルダー
及び/又は切削用旋盤と組み合わせて使用することがで
きる。
具310を切断して切り離した後に、差込み工具310
の辺(side)318a、318b、318cとコー
ナ320a、320b、320cを所望の仕上がりにな
るまでトリミングレーザー又は他の通常のグラインダー
を使って削摩してもよい。とは言え、最初の切断をうま
く制御することにより、切断とトリミングを同一にして
もよい。場合によっては、差込み工具310を、削摩及
び仕上げする前にろう付け又は接着剤で結合することに
より別の基材(図示せず)に結合させてもよい。次に、
任意の既知の穿孔方法、例えばレーザー穿孔又はダイヤ
モンドコア穿孔の如きものによって、差込み工具310
の貫通孔324を機械加工して仕上げしてもよい(所望
ならば)。完成した差込み工具は、その後工具ホルダー
及び/又は切削用旋盤と組み合わせて使用することがで
きる。
【0018】本発明の方法は従来技術を上回るいろいろ
な改良をもたらすことが認められよう。第一に、基材2
04は事前に切断する必要がなく、ダイヤモンドで被覆
する前に特定の形状を与える必要がないので、この方法
は融通性があり、特注の差込み工具形状寸法を製作する
のを可能にする。第二に、差込み工具310を切断する
のにレーザービーム302を使用することが、差込み工
具310が極めて鋭利で精密な切削コーナ320a〜c
と辺318a〜cを有することを可能にする。第三に、
この方法はダイヤモンド被覆した基材をレーザーで切断
した後まで小さな部品を必要としないので、CVD反応
器における取扱いの困難が少なくなる。第四に、CVD
反応器で使用される基材が大きいことと形状寸法が一致
していることが、堆積(成長)の間反応器をより大きな
熱流束で運転するのを可能にし、それによりダイヤモン
ドの堆積成長速度がより大きくなる。
な改良をもたらすことが認められよう。第一に、基材2
04は事前に切断する必要がなく、ダイヤモンドで被覆
する前に特定の形状を与える必要がないので、この方法
は融通性があり、特注の差込み工具形状寸法を製作する
のを可能にする。第二に、差込み工具310を切断する
のにレーザービーム302を使用することが、差込み工
具310が極めて鋭利で精密な切削コーナ320a〜c
と辺318a〜cを有することを可能にする。第三に、
この方法はダイヤモンド被覆した基材をレーザーで切断
した後まで小さな部品を必要としないので、CVD反応
器における取扱いの困難が少なくなる。第四に、CVD
反応器で使用される基材が大きいことと形状寸法が一致
していることが、堆積(成長)の間反応器をより大きな
熱流束で運転するのを可能にし、それによりダイヤモン
ドの堆積成長速度がより大きくなる。
【0019】本発明の方法により作られる差込み工具3
10は、図5に更に詳細に示される。図2〜4を参照し
て先に示唆されたように、切削用差込み工具310は一
般に、等辺三角形の形状に切断される材料から作られた
基材204を含む。差込み工具310は、等しい側面3
11a、311b、311cにより画定された三角形の
第一の面206と反対側の第二の面208を含み、そし
てこれらの側面は限定された高さ312と長さ314を
有する。第一の面206と側面311a、311b、3
11cはエッジ318a、318b、318cを画定
し、これらのエッジはコーナ320a、320b、32
0cで一緒になる。第一の面206は、図示されたよう
に典型的には2〜200μmの厚さのダイヤモンド層2
22で被覆される。
10は、図5に更に詳細に示される。図2〜4を参照し
て先に示唆されたように、切削用差込み工具310は一
般に、等辺三角形の形状に切断される材料から作られた
基材204を含む。差込み工具310は、等しい側面3
11a、311b、311cにより画定された三角形の
第一の面206と反対側の第二の面208を含み、そし
てこれらの側面は限定された高さ312と長さ314を
有する。第一の面206と側面311a、311b、3
11cはエッジ318a、318b、318cを画定
し、これらのエッジはコーナ320a、320b、32
0cで一緒になる。第一の面206は、図示されたよう
に典型的には2〜200μmの厚さのダイヤモンド層2
22で被覆される。
【0020】図示された差込み工具310には、第二の
面208の中央からダイヤモンド層222を通って第一
の面206の中央に達する貫通孔324も備えられてい
る。この貫通孔324は、第一の面206の近くにある
ヘッド部326と第二の面208の近くにあるネック部
328を含む。ヘッド部326は、直径がその底部32
6aからその最上部326bまで増大する逆円錐台の形
状を有する。底部326aでのヘッド部326の直径は
ネック部328の直径に等しい。ヘッド部326の直径
は、第一の面206に達するまでその底部326aから
増大する。このように、当業者には、貫通孔324は差
込み工具310を図1の従来技術に示したように工具ホ
ルダーに取り付けるのに使用される固定用ネジの頭部と
ネジ山のない本体部分とを受け入れるための形状と寸法
にされることが理解されよう。詳しく言えば、貫通孔3
24のヘッド部326は固定用ネジの頭部を受け入れる
ための形状にされる一方、ネック部328は固定用ネジ
の本体のネジ山のない部分を受け入れるための形状にさ
れる。下記において図3を参照して検討するように、所
望ならば差込み工具310に追加の貫通孔を用意しても
よい。
面208の中央からダイヤモンド層222を通って第一
の面206の中央に達する貫通孔324も備えられてい
る。この貫通孔324は、第一の面206の近くにある
ヘッド部326と第二の面208の近くにあるネック部
328を含む。ヘッド部326は、直径がその底部32
6aからその最上部326bまで増大する逆円錐台の形
状を有する。底部326aでのヘッド部326の直径は
ネック部328の直径に等しい。ヘッド部326の直径
は、第一の面206に達するまでその底部326aから
増大する。このように、当業者には、貫通孔324は差
込み工具310を図1の従来技術に示したように工具ホ
ルダーに取り付けるのに使用される固定用ネジの頭部と
ネジ山のない本体部分とを受け入れるための形状と寸法
にされることが理解されよう。詳しく言えば、貫通孔3
24のヘッド部326は固定用ネジの頭部を受け入れる
ための形状にされる一方、ネック部328は固定用ネジ
の本体のネジ山のない部分を受け入れるための形状にさ
れる。下記において図3を参照して検討するように、所
望ならば差込み工具310に追加の貫通孔を用意しても
よい。
【0021】典型的な切削工具用差込み工具において
は、基材204の各辺311a〜cは長さがおよそ12
mmであり、差込み工具の厚さは4mmである。貫通孔
324のヘッド部326の直径は4〜7mmの範囲にあ
り、ネック部は3mmの直径である。差込み工具310
のために使用される材料は、好ましくは極めて耐久性で
あり、且つ強いダイヤモンド付着性を有する。基材20
4のための好適な材料には、炭化ケイ素(SiC)、窒
化ケイ素(Si3 N4 )、炭化タングステン(WC)、
その他の遷移金属炭化物、窒化物及びホウ化物、ジルコ
ニウムアルミナ(Al2 O3 −ZrO2 )、そしてアル
ミナ(Al2 O3 )が含まれる。
は、基材204の各辺311a〜cは長さがおよそ12
mmであり、差込み工具の厚さは4mmである。貫通孔
324のヘッド部326の直径は4〜7mmの範囲にあ
り、ネック部は3mmの直径である。差込み工具310
のために使用される材料は、好ましくは極めて耐久性で
あり、且つ強いダイヤモンド付着性を有する。基材20
4のための好適な材料には、炭化ケイ素(SiC)、窒
化ケイ素(Si3 N4 )、炭化タングステン(WC)、
その他の遷移金属炭化物、窒化物及びホウ化物、ジルコ
ニウムアルミナ(Al2 O3 −ZrO2 )、そしてアル
ミナ(Al2 O3 )が含まれる。
【0022】上記のように、差込み工具310は、図6
と図7で更に示されるように差込み工具のエッジ318
a、318b、318cの全長もコーナ320a、32
0b、320cと同じように使用することができるとい
う事実のために、従来の差込み工具よりもはるかに長い
寿命を示す。
と図7で更に示されるように差込み工具のエッジ318
a、318b、318cの全長もコーナ320a、32
0b、320cと同じように使用することができるとい
う事実のために、従来の差込み工具よりもはるかに長い
寿命を示す。
【0023】次に、図6を参照して、本発明の差込み工
具310を研削する第一の方法を説明する。差込み工具
310のコーナ320a、320b、320cが摩滅し
たなら、差込み工具310を切断して四つのより小さい
同一三角形の差込み工具310a、310b、310
c、310dにする。これは、もとの差込み工具310
を、この差込み工具310の各エッジ318a、318
b、318cの中央に連絡する3本の線305a、30
5b、305cに沿って切断してなされる。次に、四つ
の新しい差込み工具310a〜310dを機械加工し、
そして所望のように仕上げる。切断された差込み工具の
うちの三つ310b、310c、310dはおのおの、
もとの差込み工具310の摩滅したコーナ320a、3
20b、320cの一つを含み、従って使用可能なコー
ナを二つだけ有する。更に、これらの差込み工具310
b、310c、310dは、貫通孔が前述のように既に
設けられていなければ、必要なら更に機械加工して切削
工具に取り付けるための貫通孔を用意することができ
る。ところが、切断された四番目の差込み工具310a
は、三つの使用可能なコーナを持ち、そしてその中央に
もとの差込み工具310の貫通孔324を含む。もとの
差込み工具310の大きさと切断された差込み工具31
0a〜310dの所望される用途とに応じて、切断され
た外側の差込み工具310b、310c、310dと内
側の差込み工具310aを再使用のために同じように再
研削してもよく、例えば切断された差込み工具310c
について線609で示されたように一つのエッジ305
bを研削して二つの未使用のコーナを露出させることで
再研削してもよい、ということが更に理解されよう。こ
のようにして、もとの差込み工具310のダイヤモンド
被覆したエッジ318a、318b、318cが差込み
工具310を廃棄する前にある程度使用される。
具310を研削する第一の方法を説明する。差込み工具
310のコーナ320a、320b、320cが摩滅し
たなら、差込み工具310を切断して四つのより小さい
同一三角形の差込み工具310a、310b、310
c、310dにする。これは、もとの差込み工具310
を、この差込み工具310の各エッジ318a、318
b、318cの中央に連絡する3本の線305a、30
5b、305cに沿って切断してなされる。次に、四つ
の新しい差込み工具310a〜310dを機械加工し、
そして所望のように仕上げる。切断された差込み工具の
うちの三つ310b、310c、310dはおのおの、
もとの差込み工具310の摩滅したコーナ320a、3
20b、320cの一つを含み、従って使用可能なコー
ナを二つだけ有する。更に、これらの差込み工具310
b、310c、310dは、貫通孔が前述のように既に
設けられていなければ、必要なら更に機械加工して切削
工具に取り付けるための貫通孔を用意することができ
る。ところが、切断された四番目の差込み工具310a
は、三つの使用可能なコーナを持ち、そしてその中央に
もとの差込み工具310の貫通孔324を含む。もとの
差込み工具310の大きさと切断された差込み工具31
0a〜310dの所望される用途とに応じて、切断され
た外側の差込み工具310b、310c、310dと内
側の差込み工具310aを再使用のために同じように再
研削してもよく、例えば切断された差込み工具310c
について線609で示されたように一つのエッジ305
bを研削して二つの未使用のコーナを露出させることで
再研削してもよい、ということが更に理解されよう。こ
のようにして、もとの差込み工具310のダイヤモンド
被覆したエッジ318a、318b、318cが差込み
工具310を廃棄する前にある程度使用される。
【0024】コーナ320a、320b、320cが摩
滅したならもとの差込み工具310を再研削する第二の
方法を図7でもって説明する。使用されたもとのコーナ
320a、320b、320cが摩滅後、各辺311
a、311b、311cを、結果として得られた研削済
みの差込み工具710が三つの未使用のダイヤモンド被
覆コーナ720a、720b、720cを持ち且つより
小さくなることを除いてもとの差込み工具710と同様
になるように一様に研削する。この新しい差込み工具7
10は、コーナ720a〜720cが摩滅したら同様の
やり方で再研削することができる。この方法は、差込み
工具の所望の用途のために十分な材料がもとの差込み工
具310から残っている間は、繰り返すことができる。
三つの全ての辺を繰り返し研削して三つの新しいコーナ
を備えたより小さな差込み工具を得る代わりに、図6の
線609に関し先に検討したように、また図7の破線7
09により示唆されるように、二つの新しいコーナを得
るのには1辺だけを研削することが必要であることも認
められよう。
滅したならもとの差込み工具310を再研削する第二の
方法を図7でもって説明する。使用されたもとのコーナ
320a、320b、320cが摩滅後、各辺311
a、311b、311cを、結果として得られた研削済
みの差込み工具710が三つの未使用のダイヤモンド被
覆コーナ720a、720b、720cを持ち且つより
小さくなることを除いてもとの差込み工具710と同様
になるように一様に研削する。この新しい差込み工具7
10は、コーナ720a〜720cが摩滅したら同様の
やり方で再研削することができる。この方法は、差込み
工具の所望の用途のために十分な材料がもとの差込み工
具310から残っている間は、繰り返すことができる。
三つの全ての辺を繰り返し研削して三つの新しいコーナ
を備えたより小さな差込み工具を得る代わりに、図6の
線609に関し先に検討したように、また図7の破線7
09により示唆されるように、二つの新しいコーナを得
るのには1辺だけを研削することが必要であることも認
められよう。
【0025】ダイヤモンド層222は比較的薄いので、
本発明の差込み工具310はこのほかのダイヤモンド被
覆工具が持ち合わせない研ぎなおしの潜在能力を持つ。
ダイヤモンド被覆が工具の逃げ面に沿って広がりそして
ダイヤモンド固有の硬さのために容易に研ぎなおすこと
ができない従来のダイヤモンド被覆工具と違って、本発
明の差込み工具310はその切削用形状寸法に影響を及
ぼすことなく容易に研ぎなおすことができる。詳しく言
うと、薄いダイヤモンド層222を備えた基材204
は、差込み工具を使って加工物を切削するたびにしばし
ば一様に摩滅し、こうして差込み工具310のもとの切
削部分の鋭利さを維持する。基材204が薄いダイヤモ
ンド層222より速く摩滅するよくある場合には、工具
の上部の鋭利なエッジが維持され、更に鋭くする必要が
ない。
本発明の差込み工具310はこのほかのダイヤモンド被
覆工具が持ち合わせない研ぎなおしの潜在能力を持つ。
ダイヤモンド被覆が工具の逃げ面に沿って広がりそして
ダイヤモンド固有の硬さのために容易に研ぎなおすこと
ができない従来のダイヤモンド被覆工具と違って、本発
明の差込み工具310はその切削用形状寸法に影響を及
ぼすことなく容易に研ぎなおすことができる。詳しく言
うと、薄いダイヤモンド層222を備えた基材204
は、差込み工具を使って加工物を切削するたびにしばし
ば一様に摩滅し、こうして差込み工具310のもとの切
削部分の鋭利さを維持する。基材204が薄いダイヤモ
ンド層222より速く摩滅するよくある場合には、工具
の上部の鋭利なエッジが維持され、更に鋭くする必要が
ない。
【0026】ここには、切削工具のためのダイヤモンド
被覆した差込み工具と、これを製造する方法が記載さ
れ、説明されている。本発明の特定の態様を説明した
が、本発明は当該技術が許容するほど範囲が広いものと
考えられ、且つこの明細書はそのように読まれるものと
考えられるので、本発明はそれらの態様に限定されるも
のではないと考えられる。従って、ダイヤモンド被覆し
た基材から製造されるとして三角形のダイヤモンド被覆
差込み工具が開示されてはいるが、例えば菱形、長方形
あるいは他の多角形といったような、そのほかの幾何学
形状も製造することができる。同様に、方法発明の出発
エレメントとして長方形の基材が示されてはいるが、任
意の形状の基材を使用することができることが認められ
よう。更に、本発明の方法に関連して特定の切断手法と
仕上げ手法が開示されてはいるが、このほかの切断手法
と仕上げ手法も使用してよい。例えば、レーザー切断及
び仕上げ手段が提案されてはいるが、ダイヤモンド被覆
したドリル及びグラインダーも使用することができる。
更にまた、摩滅した切削コーナと辺を持つ切削用差込み
工具を再研削するために特定の研削手法が記載され例示
されてはいるが、このほかの研削手法も使用することが
できる。例えば、使用済みの切削用差込み工具を切断あ
るいは研磨して三角形にする研削手法がいくつか開示さ
れてはいるが、使用済みの切削用差込み工具を切断又は
研磨して長方形又はその他の多角形にするための研削手
法を使用してもよい。従って、当業者には、特許請求の
範囲に記載された発明の精神と範囲から逸脱することな
しにここに提供された発明に対して更にこのほかの変更
を加えることができるであろうということが認められよ
う。
被覆した差込み工具と、これを製造する方法が記載さ
れ、説明されている。本発明の特定の態様を説明した
が、本発明は当該技術が許容するほど範囲が広いものと
考えられ、且つこの明細書はそのように読まれるものと
考えられるので、本発明はそれらの態様に限定されるも
のではないと考えられる。従って、ダイヤモンド被覆し
た基材から製造されるとして三角形のダイヤモンド被覆
差込み工具が開示されてはいるが、例えば菱形、長方形
あるいは他の多角形といったような、そのほかの幾何学
形状も製造することができる。同様に、方法発明の出発
エレメントとして長方形の基材が示されてはいるが、任
意の形状の基材を使用することができることが認められ
よう。更に、本発明の方法に関連して特定の切断手法と
仕上げ手法が開示されてはいるが、このほかの切断手法
と仕上げ手法も使用してよい。例えば、レーザー切断及
び仕上げ手段が提案されてはいるが、ダイヤモンド被覆
したドリル及びグラインダーも使用することができる。
更にまた、摩滅した切削コーナと辺を持つ切削用差込み
工具を再研削するために特定の研削手法が記載され例示
されてはいるが、このほかの研削手法も使用することが
できる。例えば、使用済みの切削用差込み工具を切断あ
るいは研磨して三角形にする研削手法がいくつか開示さ
れてはいるが、使用済みの切削用差込み工具を切断又は
研磨して長方形又はその他の多角形にするための研削手
法を使用してもよい。従って、当業者には、特許請求の
範囲に記載された発明の精神と範囲から逸脱することな
しにここに提供された発明に対して更にこのほかの変更
を加えることができるであろうということが認められよ
う。
【図1】従来技術の切削工具用差込み工具を工具ホルダ
ー及び加工物とともに示す斜視図である。
ー及び加工物とともに示す斜視図である。
【図2】本発明の製造方法の第一の工程で得られたダイ
ヤモンド被覆した切削用差込み工具の斜視図である。
ヤモンド被覆した切削用差込み工具の斜視図である。
【図3】本発明の製造方法の第二の工程で得られた分割
されたダイヤモンド被覆切削用差込み工具の斜視図であ
る。
されたダイヤモンド被覆切削用差込み工具の斜視図であ
る。
【図4】本発明の製造方法の第三の工程で得られた完成
したダイヤモンド被覆切削用差込み工具の斜視図であ
る。
したダイヤモンド被覆切削用差込み工具の斜視図であ
る。
【図5】図4の完成したダイヤモンド被覆切削用差込み
工具の拡大斜視図である。
工具の拡大斜視図である。
【図6】もとのコーナが摩滅後に再使用のために研削す
ることができる第一の方法を説明する、図4の切削用差
込み工具の上面図である。
ることができる第一の方法を説明する、図4の切削用差
込み工具の上面図である。
【図7】もとのコーナが摩滅後に再使用のために研削す
ることができる第二の方法を説明する、図4の切削用差
込み工具の上面図である。
ることができる第二の方法を説明する、図4の切削用差
込み工具の上面図である。
204…基材
206…第一の面
208…第二の面
222…ダイヤモンド層
302…レーザービーム
310…差込み工具
311a、311b、311c…辺
318a、318b、318c…エッジ
320a、320b、320c…コーナ
324…貫通孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平5−277845(JP,A)
特開 平4−240007(JP,A)
特開 昭61−111801(JP,A)
特開 平6−279187(JP,A)
特開 平6−262406(JP,A)
特開 平6−155174(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
B23B 27/114
B23P 15/28
Claims (10)
- 【請求項1】 ダイヤモンド被覆した切削工具用差込み
工具の製造方法であって、 a)炭化ケイ素、窒化ケイ素、炭化タングステン、ジル
コニウムアルミナ、及びアルミナからなる群より選ばれ
る切削工具用差込み工具基材を得る工程、 b)この基材の第一の面に化学気相成長(CVD)技術
により付着性のダイヤモンド層を直接被覆して、ダイヤ
モンド被覆した基材を作る工程、 c)このダイヤモンド被覆した基材を切断して、ダイヤ
モンド被覆された面を有する複数の切削工具用差込み工
具であって、ダイヤモンド被覆された面を有するこれら
の複数の差込み工具のうちの少なくとも一つは当該ダイ
ヤモンド被覆された面を越えてダイヤモンド被覆されて
いない逃げ面を少なくとも二つ有し、且つダイヤモンド
被覆の成長面が露出するすくい面を有するものにする工
程、を含むダイヤモンド被覆した切削工具用差込み工具
の製造方法。 - 【請求項2】 下記の工程d)を更に含む、請求項1記
載の方法。 d)前記複数の切削工具用差込み工具を機械加工して所
望の仕上がりにする工程 - 【請求項3】 前記複数の切削工具用差込み工具のうち
の少なくとも一つに貫通孔をあけることを更に含む、請
求項1記載の方法。 - 【請求項4】 前記第一の面をダイヤモンド層で被覆す
る前に、複数の切断平面に沿って前記第一の面に溝を用
意し、前記切断をこれらの溝に沿って当該切断平面で行
う、請求項1記載の方法。 - 【請求項5】 前記ダイヤモンド層が2〜200μmの
厚さである、請求項1記載の方法。 - 【請求項6】 前記切断を切断用レーザーを用いて行
う、請求項1記載の方法。 - 【請求項7】 前記機械加工をアブレーションレーザー
を用いて行う、請求項2記載の方法。 - 【請求項8】 前記孔あけを穿孔用レーザーを用いて行
う、請求項3記載の方法。 - 【請求項9】 前記ダイヤモンド層が2〜200μmの
厚さである、請求項6記載の方法。 - 【請求項10】 前記切削工具用差込み工具の形状が多
角形である、請求項6記載の方法。
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