JP3399012B2 - ダウンフロー方式のクリーンルーム - Google Patents
ダウンフロー方式のクリーンルームInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダウンフロー方式のク
リーンルームに係り、詳しくは、ホウ素濃度を低減する
ダウンフロー方式のクリーンルームに関するものであ
る。
リーンルームに係り、詳しくは、ホウ素濃度を低減する
ダウンフロー方式のクリーンルームに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造などに代表される高浄化が必
要な工程には、従来よりダウンフロー方式のクリーンル
ームが採用されてきた。
要な工程には、従来よりダウンフロー方式のクリーンル
ームが採用されてきた。
【０００３】従来のダウンフロー方式のクリーンルーム
を図６および図７を用いて概要説明を行う。図におい
て、Ｋは、建築物の隔壁空間を形成する構造躯体であ
る。
を図６および図７を用いて概要説明を行う。図におい
て、Ｋは、建築物の隔壁空間を形成する構造躯体であ
る。
【０００４】構造躯体Ｋで形成される隔壁空間内には、
有孔床Ｇと天井裏全体にわたり形成されたダクトＤおよ
び仕切壁Ｓとで囲んで画室Ｒが形成されている。画室Ｒ
には、生産ラインを構成する作業台Ａが配置されてい
る。
有孔床Ｇと天井裏全体にわたり形成されたダクトＤおよ
び仕切壁Ｓとで囲んで画室Ｒが形成されている。画室Ｒ
には、生産ラインを構成する作業台Ａが配置されてい
る。
【０００５】ここで、作業台Ａとは、製品（ウエハー）
がその雰囲気中に保管される部分をいい、例えば、生産
装置前のロード（生産装置へのウエハー取入部），アン
ロード（生産装置へのウエハー搬出部）部やストック部
を構成する。
がその雰囲気中に保管される部分をいい、例えば、生産
装置前のロード（生産装置へのウエハー取入部），アン
ロード（生産装置へのウエハー搬出部）部やストック部
を構成する。
【０００６】天井全面には、一定の間隔をおいて空気吹
出口Ｈが設けられている。空気吹出口Ｈには、天井エア
フィルタＦが取り付けられている。仕切壁Ｓと構造躯体
Ｋとで囲まれた有孔板Ｇ下に通じる別室Ｂには、ファン
ＮとエアフィルタＯとを有する送風機Ｍが配設されてい
る。送風機Ｍは、送風管Ｐを介してダクトＤと連通して
いる。
出口Ｈが設けられている。空気吹出口Ｈには、天井エア
フィルタＦが取り付けられている。仕切壁Ｓと構造躯体
Ｋとで囲まれた有孔板Ｇ下に通じる別室Ｂには、ファン
ＮとエアフィルタＯとを有する送風機Ｍが配設されてい
る。送風機Ｍは、送風管Ｐを介してダクトＤと連通して
いる。
【０００７】このように構成された従来のダウンフロー
方式のクリーンルームによれば、ダクトＤから下方に吹
き出された空気は、天井エアフィルタＦで浄化されて画
室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵埃などで汚れ
た空気は、送風機Ｍによって有孔床Ｇの通気孔Ｔから床
下に吸い出され、そのエアフィルタＯで浄化されて再び
ダクトＤへ送られる。
方式のクリーンルームによれば、ダクトＤから下方に吹
き出された空気は、天井エアフィルタＦで浄化されて画
室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵埃などで汚れ
た空気は、送風機Ｍによって有孔床Ｇの通気孔Ｔから床
下に吸い出され、そのエアフィルタＯで浄化されて再び
ダクトＤへ送られる。
【０００８】このようにして、画室Ｒは常に浄化され
て、そこにダウンフロー方式のクリーンルームが形成さ
れている。
て、そこにダウンフロー方式のクリーンルームが形成さ
れている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の天井
エアフィルタＦを構成する塵埃除去用の高性能エアフィ
ルタとして、ホウケイ酸を含んだＨＥＰＡフィルタ，Ｕ
ＬＰＡフィルタなどが用いられているため、室内雰囲気
中のホウ素濃度が高くなる傾向があった。
エアフィルタＦを構成する塵埃除去用の高性能エアフィ
ルタとして、ホウケイ酸を含んだＨＥＰＡフィルタ，Ｕ
ＬＰＡフィルタなどが用いられているため、室内雰囲気
中のホウ素濃度が高くなる傾向があった。
【００１０】そのため、室内雰囲気中にホウ素が存在す
ることを嫌う、例えば、ドライエッチングプロセス，熱
拡散プロセス，イオン注入プロセスなどの製造工程でホ
ウ素を使う工程においては、不具合を生ずるおそれがあ
った。
ることを嫌う、例えば、ドライエッチングプロセス，熱
拡散プロセス，イオン注入プロセスなどの製造工程でホ
ウ素を使う工程においては、不具合を生ずるおそれがあ
った。
【００１１】そこで、塵埃除去用の高性能フィルタ（天
井エアフィルタＦ）をホウ素成分を含まないものとする
ことで、室内雰囲気中のホウ素濃度上昇を防止すること
が提案されている。
井エアフィルタＦ）をホウ素成分を含まないものとする
ことで、室内雰囲気中のホウ素濃度上昇を防止すること
が提案されている。
【００１２】このホウ素成分を含まない高性能フィルタ
は、ホウ素を発生しないという性能をもっているため、
全ての天井エアフィルタＦに置き換えた場合には、室内
雰囲気中のホウ素濃度上昇を防止することが可能であ
る。
は、ホウ素を発生しないという性能をもっているため、
全ての天井エアフィルタＦに置き換えた場合には、室内
雰囲気中のホウ素濃度上昇を防止することが可能であ
る。
【００１３】しかし、ホウ素成分を含まない高性能フィ
ルタには、雰囲気中のホウ素を除去する機能がないた
め、ホウケイ酸を含んだフィルタと混在して使用する
と、ホウケイ酸を含んだフィルタを用いたダウンフロー
方式のクリーンルームと同様に、室内雰囲気中のホウ素
濃度が上昇し、好ましくない。
ルタには、雰囲気中のホウ素を除去する機能がないた
め、ホウケイ酸を含んだフィルタと混在して使用する
と、ホウケイ酸を含んだフィルタを用いたダウンフロー
方式のクリーンルームと同様に、室内雰囲気中のホウ素
濃度が上昇し、好ましくない。
【００１４】本発明は斯かる従来の問題点を解決するた
めになされたもので、その目的は、室内で部分的にホウ
素濃度を低減することを可能としたダウンフロー方式の
クリーンルームを提供することにある。
めになされたもので、その目的は、室内で部分的にホウ
素濃度を低減することを可能としたダウンフロー方式の
クリーンルームを提供することにある。
【００１５】請求項１は、天井側に配設した空気吹出口
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記エアフィルタの一
部が、塵埃除去性能に優れるとともに、表面にシラノー
ル基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ
材で構成されているものである。
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記エアフィルタの一
部が、塵埃除去性能に優れるとともに、表面にシラノー
ル基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ
材で構成されているものである。
【００１６】請求項２は、天井側に配設した空気吹出口
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記エアフィルタの一
部が、塵埃除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表
面にシラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性
能を有する部材とで構成されているものである。
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記エアフィルタの一
部が、塵埃除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表
面にシラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性
能を有する部材とで構成されているものである。
【００１７】請求項３は、天井側に配設した空気吹出口
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、塵埃除
去性能に優れるとともに、表面にシラノール基またはＯ
Ｈ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成する
エアフィルタと送風機とからなるエアフィルタユニット
を配置したものである。
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、塵埃除
去性能に優れるとともに、表面にシラノール基またはＯ
Ｈ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成する
エアフィルタと送風機とからなるエアフィルタユニット
を配置したものである。
【００１８】請求項４は、天井側に配設した空気吹出口
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、塵埃除
去性能に優れた高性能エアフィルタと表面にシラノール
基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材
で構成する部材とからなるエアフィルタ部材と、送風機
とで構成されているエアフィルタユニットを配置したも
のである。
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、塵埃除
去性能に優れた高性能エアフィルタと表面にシラノール
基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材
で構成する部材とからなるエアフィルタ部材と、送風機
とで構成されているエアフィルタユニットを配置したも
のである。
【００１９】請求項５は、天井側に配設した空気吹出口
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、空気浄
化機能を有する生産装置を配置するとともに、この生産
装置のエアフィルタを、塵埃除去性能に優れるととも
に、表面にシラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素
吸着性能を有するろ材で構成するエアフィルタで構成し
たものである。
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、空気浄
化機能を有する生産装置を配置するとともに、この生産
装置のエアフィルタを、塵埃除去性能に優れるととも
に、表面にシラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素
吸着性能を有するろ材で構成するエアフィルタで構成し
たものである。
【００２０】請求項６は、天井側に配設した空気吹出口
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、空気浄
化機能を有する生産装置を配置するとともに、この生産
装置のエアフィルタを、エアフィルタユニット塵埃除去
性能に優れるとともに、表面にシラノール基またはＯＨ
基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成するエ
アフィルタで構成したものである。
から吹き出す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置
を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃
などとともに吸い出して画室内を浄化するダウンフロー
方式のクリーンルームにおいて、前記画室内に、空気浄
化機能を有する生産装置を配置するとともに、この生産
装置のエアフィルタを、エアフィルタユニット塵埃除去
性能に優れるとともに、表面にシラノール基またはＯＨ
基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成するエ
アフィルタで構成したものである。
【００２１】
【作用】請求項１においては、ホウ素を含む空気が、天
井側に配設した空気吹出口から吹き出されると、塵埃除
去性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエア
フィルタによって吸着され、このエアフィルタに対応す
る画室内の領域におけるホウ素濃度が低減することがで
きる。
井側に配設した空気吹出口から吹き出されると、塵埃除
去性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエア
フィルタによって吸着され、このエアフィルタに対応す
る画室内の領域におけるホウ素濃度が低減することがで
きる。
【００２２】請求項２においては、ホウ素を含む空気
が、天井側に配設した空気吹出口から吹き出されると、
エアフィルタを構成するホウ素吸着性能を有する部材に
よって吸着され、このエアフィルタに対応する画室内の
領域におけるホウ素濃度が低減することができる。
が、天井側に配設した空気吹出口から吹き出されると、
エアフィルタを構成するホウ素吸着性能を有する部材に
よって吸着され、このエアフィルタに対応する画室内の
領域におけるホウ素濃度が低減することができる。
【００２３】請求項３においては、ホウ素を含む空気
が、天井エアフィルタから吹き出されると、塵埃除去性
能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエアフィ
ルタによって吸着され、送風機によって吹き出され、こ
のエアフィルタに対応する画室内の領域におけるホウ素
濃度が低減することができる。
が、天井エアフィルタから吹き出されると、塵埃除去性
能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエアフィ
ルタによって吸着され、送風機によって吹き出され、こ
のエアフィルタに対応する画室内の領域におけるホウ素
濃度が低減することができる。
【００２４】請求項４においては、ホウ素を含む空気
が、天井エアフィルタから吹き出されると、エアフィル
タを構成するホウ素吸着性能を有する部材によって吸着
され、送風機によって吹き出され、このエアフィルタに
対応する画室内の領域におけるホウ素濃度が低減するこ
とができる。
が、天井エアフィルタから吹き出されると、エアフィル
タを構成するホウ素吸着性能を有する部材によって吸着
され、送風機によって吹き出され、このエアフィルタに
対応する画室内の領域におけるホウ素濃度が低減するこ
とができる。
【００２５】請求項５においては、ホウ素を含む空気
が、天井エアフィルタから吹き出されると、画室内の生
産装置に取り込まれ、塵埃除去性能に優れるとともに、
ホウ素吸着性能を有するエアフィルタによって吸着さ
れ、送風機によって吹き出され、生産装置内の作業領域
におけるホウ素濃度が低減することができる。
が、天井エアフィルタから吹き出されると、画室内の生
産装置に取り込まれ、塵埃除去性能に優れるとともに、
ホウ素吸着性能を有するエアフィルタによって吸着さ
れ、送風機によって吹き出され、生産装置内の作業領域
におけるホウ素濃度が低減することができる。
【００２６】請求項６においては、画室内の生産装置に
取り込まれ、塵埃除去性能に優れるとともに、エアフィ
ルタを構成するホウ素吸着性能を有する部材によって吸
着され、送風機によって吹き出され、生産装置内の作業
領域におけるホウ素濃度が低減することができる。
取り込まれ、塵埃除去性能に優れるとともに、エアフィ
ルタを構成するホウ素吸着性能を有する部材によって吸
着され、送風機によって吹き出され、生産装置内の作業
領域におけるホウ素濃度が低減することができる。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、請求項１を有孔床設置のダウンフロー方
式のクリーンルームに適用した一実施例を示す。
する。図１は、請求項１を有孔床設置のダウンフロー方
式のクリーンルームに適用した一実施例を示す。
【００２８】図において、１は画室を表す。この画室１
は、構造躯体で形成される隔壁空間内には、多数の通気
孔を有する有孔床３と、この有孔床３の下方に形成され
た床下空間５と、天井裏全体にわたり形成された天井空
間７と、仕切壁９とで囲んで形成されている。
は、構造躯体で形成される隔壁空間内には、多数の通気
孔を有する有孔床３と、この有孔床３の下方に形成され
た床下空間５と、天井裏全体にわたり形成された天井空
間７と、仕切壁９とで囲んで形成されている。
【００２９】画室１には、生産ラインを構成する作業台
（図示せず）が配置されている。ここで、作業台とは、
製品（ウエハー）がその雰囲気中に保管される部分をい
い、例えば、生産装置前のロード（生産装置へのウエハ
ー取入部），アンロード（生産装置へのウエハー搬出
部）部やストック部を構成する。
（図示せず）が配置されている。ここで、作業台とは、
製品（ウエハー）がその雰囲気中に保管される部分をい
い、例えば、生産装置前のロード（生産装置へのウエハ
ー取入部），アンロード（生産装置へのウエハー搬出
部）部やストック部を構成する。
【００３０】天井空間７には、空気吹出口１１が取り付
けられている。天井全面には、塵埃除去性能に優れるホ
ウケイ酸を含んだ通常の天井エアフィルタ１３と、塵埃
除去性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有する天
井エアフィルタ１５が取り付けられている。
けられている。天井全面には、塵埃除去性能に優れるホ
ウケイ酸を含んだ通常の天井エアフィルタ１３と、塵埃
除去性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有する天
井エアフィルタ１５が取り付けられている。
【００３１】この天井エアフィルタ１５は、石英成分か
らなる素材を用いた不織布または織布によって構成され
ている。仕切壁９と構造躯体とで囲まれた有孔床３下の
床下空間５には、空気吸込口１７が設けられている。
らなる素材を用いた不織布または織布によって構成され
ている。仕切壁９と構造躯体とで囲まれた有孔床３下の
床下空間５には、空気吸込口１７が設けられている。
【００３２】この空気吸込口１７は、配管１９を介して
床下空間５通じる別室に配置した送風機２１に連絡して
いる。送風機１７は、ファンとエアフィルタとを有す
る。そして、送風機２１は、送風管１９を介して空気吹
出口１１と連通している。
床下空間５通じる別室に配置した送風機２１に連絡して
いる。送風機１７は、ファンとエアフィルタとを有す
る。そして、送風機２１は、送風管１９を介して空気吹
出口１１と連通している。
【００３３】つぎに、このように構成された本実施例の
作用を説明する。空気吹出口１１から天井空間７内に吹
き出された空気は、天井エアフィルタ１３，１５で浄化
されて画室１へ送給される。そして、その画室１で発生
した塵埃などで汚れた空気は、送風機２１によって有孔
床３から床下の床下空間５に吸い出され、送風機２１内
のエアフィルタで浄化されて再び空気吹出口１１へ送ら
れる。
作用を説明する。空気吹出口１１から天井空間７内に吹
き出された空気は、天井エアフィルタ１３，１５で浄化
されて画室１へ送給される。そして、その画室１で発生
した塵埃などで汚れた空気は、送風機２１によって有孔
床３から床下の床下空間５に吸い出され、送風機２１内
のエアフィルタで浄化されて再び空気吹出口１１へ送ら
れる。
【００３４】そして、空気吹出口１１から天井空間７内
に吹き出された空気は、塵埃除去性能に優れるホウケイ
酸を含んだ通常の天井エアフィルタ１３を通過する際に
は、従来のクリーンルームと同様に、ホウ素成分を含ん
だ状態で画室１内に供給される。
に吹き出された空気は、塵埃除去性能に優れるホウケイ
酸を含んだ通常の天井エアフィルタ１３を通過する際に
は、従来のクリーンルームと同様に、ホウ素成分を含ん
だ状態で画室１内に供給される。
【００３５】一方、塵埃除去性能に優れるとともに、ホ
ウ素吸着性能を有する天井エアフィルタ１５を通過する
際には、空気中のホウ素成分が、天井エアフィルタ１５
により吸着される。
ウ素吸着性能を有する天井エアフィルタ１５を通過する
際には、空気中のホウ素成分が、天井エアフィルタ１５
により吸着される。
【００３６】この作用は、つぎのようになるものと想定
される。石英は、図２に示すように、ＯＨ基の手を持っ
ている。ホウ素は、アルカリ水酸化合物とは容易に融解
状態で反応し、ホウ酸塩を与えるという化学的性質を持
っているため、石英のＯＨ基の手と反応する。
される。石英は、図２に示すように、ＯＨ基の手を持っ
ている。ホウ素は、アルカリ水酸化合物とは容易に融解
状態で反応し、ホウ酸塩を与えるという化学的性質を持
っているため、石英のＯＨ基の手と反応する。
【００３７】このような原理に基づいて、天井エアフィ
ルタ１５では、ホウ素成分が除去されるものと思われ
る。したがって、天井エアフィルタ１５の下流側に対応
する点線で囲った領域２５は、ホウ素濃度が低減した範
囲となっている。
ルタ１５では、ホウ素成分が除去されるものと思われ
る。したがって、天井エアフィルタ１５の下流側に対応
する点線で囲った領域２５は、ホウ素濃度が低減した範
囲となっている。
【００３８】なお、床下空間５において、天井エアフィ
ルタ１３を通過した空気と天井エアフィルタ１５を通過
した空気とが混合して送風機２１により、天井空間７内
に吹き出されるため、天井空間７内においては、循環空
気におけるホウ素濃度はほぼ同様となるが、天井エアフ
ィルタ１３と天井エアフィルタ１５を通過した空気は、
上述した原理により、ホウ素を吸着されたものと、ホウ
素を放出するものとに分けられる。
ルタ１３を通過した空気と天井エアフィルタ１５を通過
した空気とが混合して送風機２１により、天井空間７内
に吹き出されるため、天井空間７内においては、循環空
気におけるホウ素濃度はほぼ同様となるが、天井エアフ
ィルタ１３と天井エアフィルタ１５を通過した空気は、
上述した原理により、ホウ素を吸着されたものと、ホウ
素を放出するものとに分けられる。
【００３９】以上のように、本実施例によれば、天井空
間７に配設した空気吹出口１１から吹き出す空気を、天
井エアフィルタ１３，１５で浄化し、生産装置を設置し
た画室１内に供給し、その画室１内で発生する塵埃など
で汚れた前記空気を有孔床３から吸い出して画室１内を
浄化するダウンフロー方式のクリーンルームにおいて、
天井エアフィルタ１５が、塵埃除去性能に優れるととも
に、ホウ素吸着性能を有するエアフィルタで構成されて
いるので、空気が天井エアフィルタ１５を通過する際
に、ホウ素が吸着され、天井エアフィルタ１５の下流側
に対応する点線で囲った領域２５を、ホウ素濃度の低減
した範囲とすることが可能ととなる。
間７に配設した空気吹出口１１から吹き出す空気を、天
井エアフィルタ１３，１５で浄化し、生産装置を設置し
た画室１内に供給し、その画室１内で発生する塵埃など
で汚れた前記空気を有孔床３から吸い出して画室１内を
浄化するダウンフロー方式のクリーンルームにおいて、
天井エアフィルタ１５が、塵埃除去性能に優れるととも
に、ホウ素吸着性能を有するエアフィルタで構成されて
いるので、空気が天井エアフィルタ１５を通過する際
に、ホウ素が吸着され、天井エアフィルタ１５の下流側
に対応する点線で囲った領域２５を、ホウ素濃度の低減
した範囲とすることが可能ととなる。
【００４０】なお、残りの天井エアフィルタ１３では、
従来の塵埃除去性能に優れるホウケイ酸を含んだ通常の
天井エアフィルタ１３を使用しているため、空気が通過
する際には、従来のクリーンルームと同様に、ホウ素成
分を含んだ状態で画室１内に供給される。
従来の塵埃除去性能に優れるホウケイ酸を含んだ通常の
天井エアフィルタ１３を使用しているため、空気が通過
する際には、従来のクリーンルームと同様に、ホウ素成
分を含んだ状態で画室１内に供給される。
【００４１】ところが、画室１を通過した空気は、送風
機２１によって再び天井空間７に戻されるため、ホウ素
を含んだ空気の一部は、塵埃除去性能に優れるととも
に、ホウ素吸着性能を有する天井エアフィルタ１５を通
過し、ホウ素が確実に吸着される。
機２１によって再び天井空間７に戻されるため、ホウ素
を含んだ空気の一部は、塵埃除去性能に優れるととも
に、ホウ素吸着性能を有する天井エアフィルタ１５を通
過し、ホウ素が確実に吸着される。
【００４２】その結果、画室１内を循環する空気のホウ
素濃度が徐々に低減することも可能となる。なお、天井
エアフィルタ１５は、請求項２に記載のように、従来の
塵埃除去性能に優れた高性能エアフィルタと、ホウ素吸
着性能を有する部材とで構成することも可能である。
素濃度が徐々に低減することも可能となる。なお、天井
エアフィルタ１５は、請求項２に記載のように、従来の
塵埃除去性能に優れた高性能エアフィルタと、ホウ素吸
着性能を有する部材とで構成することも可能である。
【００４３】この場合には、ホウケイ酸を含まないエア
フィルタの上流側に、石英粉末を貯蔵する槽を配置す
る。または、ホウケイ酸を含むエアフィルタの下流側
に、石英粉末を貯蔵する槽を配置し、その下流側にホウ
ケイ酸を含まないエアフィルタを配置する。
フィルタの上流側に、石英粉末を貯蔵する槽を配置す
る。または、ホウケイ酸を含むエアフィルタの下流側
に、石英粉末を貯蔵する槽を配置し、その下流側にホウ
ケイ酸を含まないエアフィルタを配置する。
【００４４】また、ホウ素成分を吸着させるためには、
石英以外でも、図２に示すように、ＯＨ基の手を持った
物質であれば、同様の作用を奏するので、石英以外の物
質でも使用可能である。
石英以外でも、図２に示すように、ＯＨ基の手を持った
物質であれば、同様の作用を奏するので、石英以外の物
質でも使用可能である。
【００４５】さらに、上記実施例では、空気吹出口１１
が天井空間７に開口した場合について説明したが、空気
吹出口１１が各天井エアフィルタ１３および１５に直結
する方式としてもよい。
が天井空間７に開口した場合について説明したが、空気
吹出口１１が各天井エアフィルタ１３および１５に直結
する方式としてもよい。
【００４６】図３は、請求項３を有孔床設置のダウンフ
ロー方式のクリーンルームに適用した一実施例を示す。
本実施例では、画室１内に、塵埃除去性能に優れるとと
もに、ホウ素吸着性能を有するエアフィルタ３１と送風
機３３とからなるエアフィルタユニット３０を配置した
ものである。
ロー方式のクリーンルームに適用した一実施例を示す。
本実施例では、画室１内に、塵埃除去性能に優れるとと
もに、ホウ素吸着性能を有するエアフィルタ３１と送風
機３３とからなるエアフィルタユニット３０を配置した
ものである。
【００４７】送風機３３は、任意の制御装置によって運
転制御されるように構成されている。天井エアフィルタ
３５は、従来のクリーンルームと同様にホウケイ酸を含
む高性能エアフィルタにより構成されている。その他の
構成は、図１に示すものと同様である。
転制御されるように構成されている。天井エアフィルタ
３５は、従来のクリーンルームと同様にホウケイ酸を含
む高性能エアフィルタにより構成されている。その他の
構成は、図１に示すものと同様である。
【００４８】本実施例においは、ホウ素を含む空気が、
天井エアフィルタ３５から吹き出されると、塵埃除去性
能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエアフィ
ルタ３１によって吸着され、送風機３３によって吹き出
され、このエアフィルタ３３に対応する画室１内の領域
３７におけるホウ素濃度が低減することができる。
天井エアフィルタ３５から吹き出されると、塵埃除去性
能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエアフィ
ルタ３１によって吸着され、送風機３３によって吹き出
され、このエアフィルタ３３に対応する画室１内の領域
３７におけるホウ素濃度が低減することができる。
【００４９】なお、エアフィルタ３１は、請求項４に記
載のように、従来の塵埃除去性能に優れた高性能エアフ
ィルタと、ホウ素吸着性能を有する部材とで構成するこ
とも可能である。
載のように、従来の塵埃除去性能に優れた高性能エアフ
ィルタと、ホウ素吸着性能を有する部材とで構成するこ
とも可能である。
【００５０】この場合には、ホウケイ酸を含まないエア
フィルタの上流側に、石英粉末を貯蔵する槽を配置す
る。または、ホウケイ酸を含むエアフィルタの下流側
に、石英粉末を貯蔵する槽を配置し、その下流側にホウ
ケイ酸を含まないエアフィルタを配置する。
フィルタの上流側に、石英粉末を貯蔵する槽を配置す
る。または、ホウケイ酸を含むエアフィルタの下流側
に、石英粉末を貯蔵する槽を配置し、その下流側にホウ
ケイ酸を含まないエアフィルタを配置する。
【００５１】また、ホウ素成分を吸着させるためには、
石英以外でも、図２に示すように、ＯＨ基の手を持った
物質であれば、同様の作用を奏するので、石英以外の物
質でも使用可能である。
石英以外でも、図２に示すように、ＯＨ基の手を持った
物質であれば、同様の作用を奏するので、石英以外の物
質でも使用可能である。
【００５２】図４は、請求項５を有孔床設置のダウンフ
ロー方式のクリーンルームに適用した一実施例を示す。
本実施例では、画室１内に、空気浄化機能を有する生産
装置５１を配置するとともに、この生産装置５１のエア
フィルタ５３を、塵埃除去性能に優れるとともに、ホウ
素吸着性能を有するエアフィルタで構成したものであ
る。
ロー方式のクリーンルームに適用した一実施例を示す。
本実施例では、画室１内に、空気浄化機能を有する生産
装置５１を配置するとともに、この生産装置５１のエア
フィルタ５３を、塵埃除去性能に優れるとともに、ホウ
素吸着性能を有するエアフィルタで構成したものであ
る。
【００５３】生産装置５１には、送風機５５が設けら
れ、任意の制御装置によって運転制御されるように構成
されている。天井エアフィルタ５７は、従来のクリーン
ルームと同様にホウケイ酸を含む高性能エアフィルタに
より構成されている。その他の構成は、図１に示すもの
と同様である。
れ、任意の制御装置によって運転制御されるように構成
されている。天井エアフィルタ５７は、従来のクリーン
ルームと同様にホウケイ酸を含む高性能エアフィルタに
より構成されている。その他の構成は、図１に示すもの
と同様である。
【００５４】本実施例においては、ホウ素を含む空気
が、天井エアフィルタ５７から吹き出されると、送風機
５５により画室１内の生産装置に取り込まれ、塵埃除去
性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエアフ
ィルタ５３によって吸着され、生産装置５１内の作業領
域５９におけるホウ素濃度が低減することができる。
が、天井エアフィルタ５７から吹き出されると、送風機
５５により画室１内の生産装置に取り込まれ、塵埃除去
性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を有するエアフ
ィルタ５３によって吸着され、生産装置５１内の作業領
域５９におけるホウ素濃度が低減することができる。
【００５５】なお、エアフィルタ５３は、請求項６に記
載のように、従来の塵埃除去性能に優れた高性能エアフ
ィルタと、ホウ素吸着性能を有する部材とで構成するこ
とも可能である。
載のように、従来の塵埃除去性能に優れた高性能エアフ
ィルタと、ホウ素吸着性能を有する部材とで構成するこ
とも可能である。
【００５６】この場合には、ホウケイ酸を含まないエア
フィルタの上流側に、石英粉末を貯蔵する槽を配置す
る。または、ホウケイ酸を含むエアフィルタの下流側
に、石英粉末を貯蔵する槽を配置し、その下流側にホウ
ケイ酸を含まないエアフィルタを配置する。
フィルタの上流側に、石英粉末を貯蔵する槽を配置す
る。または、ホウケイ酸を含むエアフィルタの下流側
に、石英粉末を貯蔵する槽を配置し、その下流側にホウ
ケイ酸を含まないエアフィルタを配置する。
【００５７】また、ホウ素成分を吸着させるためには、
石英以外でも、図２に示すように、ＯＨ基の手を持った
物質であれば、同様の作用を奏するので、石英以外の物
質でも使用可能である。
石英以外でも、図２に示すように、ＯＨ基の手を持った
物質であれば、同様の作用を奏するので、石英以外の物
質でも使用可能である。
【００５８】つぎに、本発明の具体的実験例を図５に示
す。図５において、天井エアフィルタを除く基本的な構
成は、図１に示す実施例と同様である。
す。図５において、天井エアフィルタを除く基本的な構
成は、図１に示す実施例と同様である。
【００５９】本実験例では、天井エアフィルタとし
て、塵埃除去性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を
有するエアフィルタ（石英成分からなる素材を用いた不
織布により構成した）、天井エアフィルタとして、ホ
ウ素を含まない塵埃除去性能に優れたエアフィルタ（フ
ッ素樹脂メンブレンフィルタ）、天井エアフィルタと
して、ホウ素を含まない塵埃除去性能に優れたエアフィ
ルタ（ポリプロピレンエレクトレットフィルタ）、天井
エアフィルタとして、ホウケイ酸成分を含む塵埃除去
性能に優れたエアフィルタ（ガラス製フィルタ）を用い
た。
て、塵埃除去性能に優れるとともに、ホウ素吸着性能を
有するエアフィルタ（石英成分からなる素材を用いた不
織布により構成した）、天井エアフィルタとして、ホ
ウ素を含まない塵埃除去性能に優れたエアフィルタ（フ
ッ素樹脂メンブレンフィルタ）、天井エアフィルタと
して、ホウ素を含まない塵埃除去性能に優れたエアフィ
ルタ（ポリプロピレンエレクトレットフィルタ）、天井
エアフィルタとして、ホウケイ酸成分を含む塵埃除去
性能に優れたエアフィルタ（ガラス製フィルタ）を用い
た。
【００６０】また、図５において、Ｕ，Ｄ1 ，Ｄ2 ，Ｄ
3 ，Ｄ4 は、空気中のホウ素濃度の測定点を表す。本実
験例では、天井空間側と、各天井エアフィルタ〜の
下流側におけるホウ素濃度を次のようにして測定した。
3 ，Ｄ4 は、空気中のホウ素濃度の測定点を表す。本実
験例では、天井空間側と、各天井エアフィルタ〜の
下流側におけるホウ素濃度を次のようにして測定した。
【００６１】測定器６０は、図６に示すように、吸収液
６３を入れた石英製ミゼットインピージャー（３段連
結）６１をダイヤフラム方式ミニポンプ６５に連結した
ものである。
６３を入れた石英製ミゼットインピージャー（３段連
結）６１をダイヤフラム方式ミニポンプ６５に連結した
ものである。
【００６２】この測定器６０は、試料空気を取込口６７
から取り込み、ダイヤフラム方式ミニポンプ６５の吐出
口６９から床下空間へ排出する。つぎに、分析法につい
て説明する。 (1) 試料採取と前処理法 図６に示す測定器６０のダイヤフラム方式ミニポンプ６
５を作動し、クリーンルーム内の空気を吸引量２ｌ/min
で２４時間かけてサンプリングした。
から取り込み、ダイヤフラム方式ミニポンプ６５の吐出
口６９から床下空間へ排出する。つぎに、分析法につい
て説明する。 (1) 試料採取と前処理法 図６に示す測定器６０のダイヤフラム方式ミニポンプ６
５を作動し、クリーンルーム内の空気を吸引量２ｌ/min
で２４時間かけてサンプリングした。
【００６３】その吸収液を加熱・蒸発処理後、希硝酸で
溶解し測定液とした。なお、試料の前処理はクリーンル
ーム（クラス１００）内に設置したクリーンドラフト
（クラス１００）内で実施した。 (2) 測定法 ＩＣＭ−ＭＳ法（誘導結合プラズマ質量分析法） 装置（横河電機製 PMS 2000 型） 使用条件 プラズマ・トーチ 高周波出力 １．２ｋｗ 導入系 ネブライザー コンセントリック型 スプレーチェーンバー 電子冷却式 質量分析計 測定質量数 ホウ素：ｍ／ｚ １１ 表中のホウ素濃度は、ng/m3 （空気１m3中のホウ素重
量）で表す。
溶解し測定液とした。なお、試料の前処理はクリーンル
ーム（クラス１００）内に設置したクリーンドラフト
（クラス１００）内で実施した。 (2) 測定法 ＩＣＭ−ＭＳ法（誘導結合プラズマ質量分析法） 装置（横河電機製 PMS 2000 型） 使用条件 プラズマ・トーチ 高周波出力 １．２ｋｗ 導入系 ネブライザー コンセントリック型 スプレーチェーンバー 電子冷却式 質量分析計 測定質量数 ホウ素：ｍ／ｚ １１ 表中のホウ素濃度は、ng/m3 （空気１m3中のホウ素重
量）で表す。
【００６４】この分析結果から、天井エアフィルタの
場合には、他の天井エアフィルタ〜に比して天井エ
アフィルタの直下のホウ素濃度が極めて低いことを示し
ている。
場合には、他の天井エアフィルタ〜に比して天井エ
アフィルタの直下のホウ素濃度が極めて低いことを示し
ている。
【００６５】
【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし６に
よれば、天井側のエアフィルタの一部が、塵埃除去性能
に優れるとともに、表面にシラノール基またはＯＨ基を
多く持つホウ素吸着性能を有するエアフィルタ、また
は、塵埃除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表面
にシラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能
を有する部材とで構成されているので、エアフィルタを
通過する空気にホウ素が混入していても、確実に吸着
し、その下流側の雰囲気中のホウ素濃度を低減すること
ができる。
よれば、天井側のエアフィルタの一部が、塵埃除去性能
に優れるとともに、表面にシラノール基またはＯＨ基を
多く持つホウ素吸着性能を有するエアフィルタ、また
は、塵埃除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表面
にシラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能
を有する部材とで構成されているので、エアフィルタを
通過する空気にホウ素が混入していても、確実に吸着
し、その下流側の雰囲気中のホウ素濃度を低減すること
ができる。
【００６６】したがって、例えば、ドライエッチングプ
ロセス，熱拡散プロセス，イオン注入プロセスなどの室
内雰囲気中にホウ素が存在することを嫌う製造工程を、
クリーンルームにおいてホウ素を混入を考慮することな
く実施することが可能となる。
ロセス，熱拡散プロセス，イオン注入プロセスなどの室
内雰囲気中にホウ素が存在することを嫌う製造工程を、
クリーンルームにおいてホウ素を混入を考慮することな
く実施することが可能となる。
【００６７】しかも、従来のホウ素成分を含まないエア
フィルタのように、天井全体に敷設する必要がなく、ホ
ウ素成分を除去したい領域だけに、塵埃除去性能に優れ
るとともに、表面にシラノール基またはＯＨ基を多く持
つホウ素吸着性能を有するエアフィルタ、または、塵埃
除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表面にシラノ
ール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有する
部材とで構成されているエアフィルタユニットを敷設す
ればよいので、使用目的に応じて任意に設定できる利点
がある。
フィルタのように、天井全体に敷設する必要がなく、ホ
ウ素成分を除去したい領域だけに、塵埃除去性能に優れ
るとともに、表面にシラノール基またはＯＨ基を多く持
つホウ素吸着性能を有するエアフィルタ、または、塵埃
除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表面にシラノ
ール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有する
部材とで構成されているエアフィルタユニットを敷設す
ればよいので、使用目的に応じて任意に設定できる利点
がある。
【図１】請求項１に係るダウンフロー方式のクリーンル
ームの一実施例を示す説明図である。
ームの一実施例を示す説明図である。
【図２】石英のＯＨ基の手を示す説明図である。
【図３】請求項３に係るダウンフロー方式のクリーンル
ームの一実施例を示す説明図である。
ームの一実施例を示す説明図である。
【図４】請求項５に係るダウンフロー方式のクリーンル
ームの一実施例を示す説明図である。
ームの一実施例を示す説明図である。
【図５】本発明の具体的実験例を示す説明図である。
【図６】従来のダウンフロー方式のクリーンルームの概
要を示す説明図である。
要を示す説明図である。
【図７】図６の天井裏の平面図である。
１ 画室
３ 有孔床
５ 床下空間
７ 天井空間
１１ 空気吹出口
１３，１５，３５，５７ 天井エアフィルタ
２１，３３，５５ 送風機
２５，３７，５９ 領域
３０ エアフィルタユニット
３１，５３ エアフィルタ
５１ 生産装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−267918（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−103328（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−113221（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−138805（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/06
Claims (6)
- 【請求項１】 天井側に配設した空気吹出口から吹き出
す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置を設置した
画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃などととも
に吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリ
ーンルームにおいて、前記エアフィルタの一部が、塵埃
除去性能に優れるとともに、表面にシラノール基または
ＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成さ
れていることを特徴とするダウンフロー方式のクリーン
ルーム。 - 【請求項２】 天井側に配設した空気吹出口から吹き出
す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置を設置した
画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃などととも
に吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリ
ーンルームにおいて、前記エアフィルタの一部が、塵埃
除去性能に優れた高性能エアフィルタと、表面にシラノ
ール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有する
部材とで構成されていることを特徴とするダウンフロー
方式のクリーンルーム。 - 【請求項３】 天井側に配設した空気吹出口から吹き出
す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置を設置した
画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃などととも
に吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリ
ーンルームにおいて、前記画室内に、塵埃除去性能に優
れるとともに、表面にシラノール基またはＯＨ基を多く
持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成するエアフィル
タと送風機とからなるエアフィルタユニットを配置した
ことを特徴とするダウンフロー方式のクリーンルーム。 - 【請求項４】 天井側に配設した空気吹出口から吹き出
す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置を設置した
画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃などととも
に吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリ
ーンルームにおいて、前記画室内に、塵埃除去性能に優
れた高性能エアフィルタと表面にシラノール基またはＯ
Ｈ基を多く持つホウ素吸着性能を有するろ材で構成する
部材とからなるエアフィルタ部材と、送風機とで構成さ
れているエアフィルタユニットを配置したことを特徴と
するダウンフロー方式のクリーンルーム。 - 【請求項５】 天井側に配設した空気吹出口から吹き出
す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置を設置した
画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃などととも
に吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリ
ーンルームにおいて、前記画室内に、空気浄化機能を有
する生産装置を配置するとともに、この生産装置のエア
フィルタを、塵埃除去性能に優れるとともに、表面にシ
ラノール基またはＯＨ基を多く持つホウ素吸着性能を有
するろ材で構成するエアフィルタで構成したことを特徴
とするダウンフロー方式のクリーンルーム。 - 【請求項６】 天井側に配設した空気吹出口から吹き出
す空気を、エアフィルタで浄化し、生産装置を設置した
画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃などととも
に吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリ
ーンルームにおいて、前記画室内に、空気浄化機能を有
する生産装置を配置するとともに、この生産装置のエア
フィルタを、エアフィルタユニット塵埃除去性能に優れ
るとともに、表面にシラノール基またはＯＨ基を多く持
つホウ素吸着性能を有するろ材で構成するエアフィルタ
で構成したことを特徴とするダウンフロー方式のクリー
ンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07705293A JP3399012B2 (ja) | 1993-04-02 | 1993-04-02 | ダウンフロー方式のクリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07705293A JP3399012B2 (ja) | 1993-04-02 | 1993-04-02 | ダウンフロー方式のクリーンルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06288588A JPH06288588A (ja) | 1994-10-11 |
| JP3399012B2 true JP3399012B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=13623021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07705293A Expired - Fee Related JP3399012B2 (ja) | 1993-04-02 | 1993-04-02 | ダウンフロー方式のクリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3399012B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-02 JP JP07705293A patent/JP3399012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06288588A (ja) | 1994-10-11 |
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