JP3398125B2 - ニッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ニッケルあるいは
鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液に係
り、特にニッケルあるいは鉄ニッケル合金上にめっきに
より設けられた鉛フリーのスズ合金層や、その下に存在
するニッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合金層を剥離す
るための剥離液に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、トランジスタやＩＣ等の電子部品
を実装するためのリードフレーム、コネクター等の素材
として、あるいは、下地層として、ニッケルや鉄ニッケ
ル合金が使用されている。例えば、リードフレームに
は、電気めっき等によりスズ層またはスズ−鉛合金（は
んだ）等のスズ合金層からなるパターンが種々の目的で
形成されるが、このパターン形成工程や不要となったパ
ターンの除去工程等において、リードフレーム上のスズ
層またはスズ合金層の除去が行われる。また、廃棄され
たリードフレームからニッケルや鉄ニッケル合金を回収
する場合においても、スズ層またはスズ合金層の除去が
必要となる。

【０００３】上記のようなリードフレームやコネクター
等に形成されたスズ層またはスズ合金層を剥離する場
合、（１）スズ層またはスズ合金層のみならず、その下
に存在するニッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合金層も
確実に剥離できること、（２）剥離時にニッケルあるい
は鉄ニッケル合金からなる素材や下地層の溶解が少ない
こと（通常、０．１μｍ／分以下）、（３）剥離後の素
材や下地層の表面が変色やスマット発生がなく平坦であ
ること、（４）再めっきにより形成されたスズ層または
スズ合金層の外観、および、熱処理後の外観が良好であ
ること、が要求される。

【０００４】さらに、近年、環境保全の観点から、スズ
−鉛合金（はんだ）に代えて、人体に有害な鉛を含有し
ないスズ合金、例えば、スズ−銅合金、スズ−ビスマス
合金、スズ−銀合金等への切り替えが望まれている。

【０００５】従来のスズ層またはスズ合金層の除去に用
いる剥離液としては、例えば、特公平４−８０１１７号
に開示されるような、アルカンスルホン酸と硝酸第二鉄
との水溶液を含む剥離液、特開昭６３−１６１１７８号
に開示されるような、チオ尿素、ハロゲン化合物、無機
酸および／または有機酸を含む剥離液が知られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
４−８０１１７号に開示されている剥離液は、銅表面に
形成されたスズ層またはスズ合金層を剥離するためのも
のであり、ニッケルや鉄ニッケル合金上に形成されたス
ズ層またはスズ合金層を剥離した場合、剥離時のニッケ
ルや鉄ニッケル合金からなる素材や下地層の溶解が極め
て大きく、表面の平坦性が低下し、剥離後に再めっきを
行うと密着不良やフクレが生じるという問題があった。

【０００７】また、特開昭６３−１６１１７８号に開示
されている剥離液も、銅表面に形成されたスズ層または
スズ合金層を剥離するためのものであり、ニッケルや鉄
ニッケル合金上に形成されたスズ層またはスズ合金層を
剥離した場合、剥離液に含有されるイオウ成分によっ
て、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金からなる素材や下
地層の表面に被膜が形成されるという問題、および、再
めっきを行うとフクレが生じるという問題があった。

【０００８】さらに、上述のいずれの剥離液も、ニッケ
ルあるいは鉄ニッケル合金からなる素材上の鉛フリーの
スズ合金を剥離するものではなく、無鉛スズ合金の剥離
が困難であったり、上述のような剥離時のニッケルや鉄
ニッケル合金からなる素材や下地層の溶解が極めて大き
かったり、表面の平坦性が低下し、剥離後に再めっきを
行うと密着不良やフクレが生じるという問題があった。
したがって、ニッケルや鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合
金の剥離を、上述の（１）〜（４）の条件をすべて満足
して行うことが可能な剥離液の開発が望まれている。

【０００９】本発明は、上述のような実情に鑑みてなさ
れたものであり、素材や下地層であるニッケルあるいは
鉄ニッケル合金上に設けられた無鉛スズ合金層やその下
に存在するニッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合金層
を、素材や下地層の溶解を極めて低く抑え、かつ、剥離
後の表面が平坦となるように剥離することができ、さら
に、剥離後の素材や下地層上に再めっきを安定して行う
ことが可能な剥離液を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のニッケルあるいは鉄ニッケル合金上
の無鉛スズ合金剥離用の剥離液は、無鉛スズ合金である
スズ−銅合金剥離用の剥離液であって、少なくともアル
カンスルホン酸を３５〜４２０ｍＬ／Ｌの範囲内で含有
し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩
を１０〜３００ｇ／Ｌの範囲で含有し、さらに、チオ尿
素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群
のなかの１種以上を５ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有
するような構成とした。

【００１１】また、上記において、アルカンスルホン酸
として、７０％メタンスルホン酸を５０〜６００ｍＬ／
Ｌの範囲内で含有し、メタニトロベンゼンスルホン酸ナ
トリウムを１０〜３００ｇ／Ｌの範囲で含有し、チオ尿
素を５ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有するような構成
とした。

【００１２】本発明のニッケルあるいは鉄ニッケル合金
上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液は、無鉛スズ合金であ
るスズ−ビスマス合金剥離用の剥離液であって、少なく
ともアルカンスルホン酸を３５〜４２０ｍＬ／Ｌの範囲
内で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸あるい
はその塩を１０〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有し、ハロゲ
ンイオンを０．０９ｍｏｌ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含
有し、ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾール、イミ
ダゾールおよびその誘導体からなる群の中の１種以上を
２ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有するような構成とし
た。

【００１３】また、上記において、７０％メタンスルホ
ン酸を５０〜６００ｍＬ／Ｌの範囲内で含有し、メタニ
トロベンゼンスルホン酸ナトリウムを１０〜２５０ｇ／
Ｌの範囲で含有し、塩素イオンを０．０９ｍｏｌ／Ｌ以
上で溶解度範囲内で含有し、ベンゾトリアゾールを２ｇ
／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有するような構成、さら
に、ベンゾトリアゾールを２〜５０ｇ／Ｌの範囲内で含
有するような構成とした。

【００１４】本発明のニッケルあるいは鉄ニッケル合金
上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液は、無鉛スズ合金であ
るスズ−銀合金およびスズ−銅合金剥離用の剥離液であ
って、少なくともアルカンスルホン酸を３５〜３５０ｍ
Ｌ／Ｌの範囲内で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスル
ホン酸あるいはその塩を５〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有
し、さらに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族
チオ尿素からなる群のなかの１種以上を２０ｇ／Ｌ以上
で溶解度範囲内で含有し、硝酸を０．６８〜４０．５ｍ
Ｌ／Ｌの範囲で含有するような構成とした。

【００１５】また、上記において、７０％メタンスルホ
ン酸を５０〜５００ｍＬ／Ｌの範囲内で含有し、メタニ
トロベンゼンスルホン酸ナトリウムを５〜２５０ｇ／Ｌ
の範囲で含有し、チオ尿素を２０ｇ／Ｌ以上で溶解度範
囲内で含有し、６７．５％硝酸を１〜６０ｍＬ／Ｌの範
囲で含有するような構成とした。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明の最適な実施形態に
ついて説明する。

【００１７】（第１の実施形態）本発明のニッケルある
いは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液の
うち、スズ−銅合金剥離用の剥離液は、少なくともアル
カンスルホン酸を３５〜４２０ｍＬ／Ｌの範囲内で含有
し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩
を１０〜３００ｇ／Ｌの範囲で含有し、さらに、チオ尿
素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群
のなかの１種以上を５ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有
する水溶液である。

【００１８】ここで、ニッケルや鉄ニッケル合金上に電
気めっき等でスズ−銅合金層、スズ−ビスマス合金層、
スズ−銀合金層等の無鉛スズ合金層を形成した場合、経
時によりニッケルや鉄ニッケル合金がスズと反応してニ
ッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合金層が界面に生成さ
れる。本発明の剥離液は、無鉛スズ合金層のみならず、
そに下に存在するニッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合
金層も確実に剥離するものである。以下で説明する実施
形態においても同様である。

【００１９】本発明の剥離液において、アルカンスルホ
ン酸の含有量が３５ｍＬ／Ｌ未満であると、スズ−銅合
金層の溶解性が低く、剥離速度が１μｍ／分以下となり
実用に供し得ないものとなる。アルカンスルホン酸の含
有量が４２０ｍＬ／Ｌを超えると、スズ−銅合金層の剥
離速度が１μｍ／分以下となり、また、（メタ）ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃度が溶解度以上
となり溶解しないことになる。本発明では、アルカンス
ルホン酸として、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸
等を用いることができる。例えば、７０％メタンスルホ
ン酸を使用する場合、含有量は５０〜６００ｍＬ／Ｌの
範囲となる。

【００２０】本発明の剥離液において、（メタ）ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の含有量が１０ｇ／
Ｌ未満であると、スズ−銅合金層の溶解性が低く、剥離
速度が１μｍ／分以下となり実用に供し得ないものとな
る。また、３００ｇ／Ｌを超えると、（メタ）ニトロベ
ンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃度が溶解度以上と
なり溶解しないことになる。上記の塩としては、ナトリ
ウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩等を使用すること
ができる。

【００２１】本発明の剥離液において、チオ尿素、アル
キルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群のなかの
１種以上の含有量が５ｇ／Ｌ未満であると、ニッケルや
鉄ニッケル合金に変色が生じたり、スマットが発生し好
ましくない。

【００２２】さらに、本発明の剥離液は、必要に応じて
界面活性剤を溶解度範囲内で含有してもよい。界面活性
剤としては、ポリオキシエチレントリオール、ポリプロ
ピレングリコール等のノニオン系界面活性剤、パーフル
オロアルキルスルホン酸カリウム、ジオクチルスルホコ
ハク酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等を使用す
ることができる。

【００２３】上述のような本発明の剥離液を用いて、ニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上のスズ−銅合金層の剥
離を行う場合、剥離液（処理浴）の温度には特に制限は
ないが、例えば、２０〜６０℃の範囲で設定することが
できる。

【００２４】尚、鉄ニッケル合金には特に制限はなく、
リードフレームに使用される４２材（Ｆｅ：Ｎｉ＝５
８：４２）や、ＳＵＳ３１６等を挙げることができる。
また、再めっきによりスズ−銅合金層を形成する場合に
は、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金にアルカリ電解脱
脂を施した後に、スズ−銅合金層を形成することが好ま
しい。

【００２５】（第２の実施形態）本発明のニッケルある
いは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液の
うち、スズ−ビスマス合金剥離用の剥離液は、少なくと
もアルカンスルホン酸を３５〜４２０ｍＬ／Ｌの範囲内
で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸あるいは
その塩を１０〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有し、ハロゲン
イオンを０．０９ｍｏｌ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有
し、ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾール、イミダ
ゾールおよびその誘導体からなる群の中の１種以上を２
ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有する水溶液である。

【００２６】本発明の剥離液において、アルカンスルホ
ン酸の含有量が３５ｍＬ／Ｌ未満であると、スズ−ビス
マス合金層の溶解性が低く、剥離速度が１μｍ／分以下
となり実用に供し得ないものとなる。一方、アルカンス
ルホン酸の含有量が４２０ｍＬ／Ｌを超えると、スズ−
ビスマス合金層の剥離速度が１μｍ／分以下となり、ま
た、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩
の濃度が溶解度以上となり溶解しないことになる。本発
明では、アルカンスルホン酸として、メタンスルホン
酸、エタンスルホン酸等を用いることができる。例え
ば、７０％メタンスルホン酸を使用する場合、含有量は
５０〜６００ｍＬ／Ｌの範囲となる。

【００２７】本発明の剥離液において、（メタ）ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の含有量が１０ｇ／
Ｌ未満であると、スズ−ビスマス合金層の溶解性が低
く、剥離速度が１μｍ／分以下となり実用に供し得ない
ものとなる。また、２５０ｇ／Ｌを超えると、（メタ）
ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃度が溶解
度以上となり溶解しないことになる。上記の塩として
は、ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩等を使
用することができる。

【００２８】本発明の剥離液において、ハロゲンイオン
はスズ−ビスマス合金層の下に存在するニッケル（鉄ニ
ッケル合金）−スズ合金層の剥離促進のために添加され
るものである。含有するハロゲンイオンとして塩素イオ
ンを含有する場合、塩素源は、塩化ナトリウム、塩化カ
リウム、塩酸、塩化アンモニウム等を用いることができ
る。また、ハロゲンイオンとしてフッ素イオンを含有す
る場合、フッ素源は、フッ化カリウム、フッ化ナトリウ
ム、フッ酸、一水素二フッ化カリウム、一水素二フッ化
ナトリウム、一水素二フッ化アンモニウム等を用いるこ
とができる。さらに、ハロゲンイオンとして臭素イオン
を含有する場合、臭素源は、臭化カリウム、臭化ナトリ
ウム、臭化アンモニウム等を用いることができる。

【００２９】ハロゲンイオンの含有量が０．０９ｍｏｌ
／Ｌに満たない場合、スズ−ビスマス合金層の下に存在
するニッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合金層の剥離が
不十分となり、ニッケルや鉄ニッケル合金上に未剥離の
ニッケル（鉄ニッケル合金）−スズ合金層が残存するこ
とになる。

【００３０】本発明の剥離液において含有されるベンゾ
トリアゾール、ベンゾイミダゾール、イミダゾールおよ
びその誘導体からなる群の中の１種以上の成分は、ニッ
ケルあるいは鉄ニッケル合金の溶解速度を抑える作用を
有するものである。これらの成分の含有量が２ｇ／Ｌ未
満であると、ニッケルや鉄ニッケル合金に変色が生じた
り、スマットが発生し好ましくない。

【００３１】さらに、本発明の剥離液は、必要に応じて
界面活性剤を溶解度範囲内で含有してもよい。界面活性
剤としては、ポリオキシエチレントリオール、ポリプロ
ピレングリコール等のノニオン系界面活性剤、パーフル
オロアルキルスルホン酸カリウム、ジオクチルスルホコ
ハク酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等を使用す
ることができる。

【００３２】上述のような本発明の剥離液を用いて、ニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上のスズ−ビスマス合金
層の剥離を行う場合、剥離液（処理浴）の温度には特に
制限はないが、例えば、２０〜６０℃の範囲で設定する
ことができる。尚、鉄ニッケル合金には特に制限はな
く、リードフレームに使用される４２材（Ｆｅ：Ｎｉ＝
５８：４２）や、ＳＵＳ３１６等を挙げることができ
る。

【００３３】（第３の実施形態）本発明のニッケルある
いは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液の
うち、スズ−銀合金およびスズ−銅合金剥離用の剥離液
は、少なくともアルカンスルホン酸を３５〜３５０ｍＬ
／Ｌの範囲内で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスルホ
ン酸あるいはその塩を５〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有
し、さらに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族
チオ尿素からなる群のなかの１種以上を２０ｇ／Ｌ以上
で溶解度範囲内で含有し、硝酸を０．６８〜４０．５ｍ
Ｌ／Ｌの範囲で含有する水溶液である。

【００３４】本発明の剥離液において、アルカンスルホ
ン酸の含有量が３５ｍＬ／Ｌ未満であると、スズ−銀合
金層やスズ−銅合金層の溶解性が低く、剥離速度が１μ
ｍ／分以下となり実用に供し得ないものとなる。また、
アルカンスルホン酸の含有量が３５０ｍＬ／Ｌを超える
と、スズ−銀合金層やスズ−銅合金層の剥離速度が１μ
ｍ／分以下となり、また、（メタ）ニトロベンゼンスル
ホン酸あるいはその塩の濃度が溶解度以上となり溶解し
ないことになる。本発明では、アルカンスルホン酸とし
て、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸等を用いるこ
とができる。例えば、７０％メタンスルホン酸を使用す
る場合、含有量は５０〜５００ｍＬ／Ｌの範囲となる。

【００３５】本発明の剥離液において、（メタ）ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の含有量が５ｇ／Ｌ
未満であると、スズ−銀合金層やスズ−銅合金層の溶解
性が低く、剥離速度が１μｍ／分以下となり実用に供し
得ないものとなる。また、２５０ｇ／Ｌを超えると、
（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃
度が溶解度以上となり溶解しないことになる。上記の塩
としては、ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩
等を使用することができる。

【００３６】本発明の剥離液において、チオ尿素、アル
キルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群のなかの
１種以上の成分の含有量が２０ｇ／Ｌ未満であると、ニ
ッケルや鉄ニッケル合金に変色が生じたり、スマットが
発生し好ましくない。

【００３７】本発明の剥離液において、硝酸の含有量が
０．６８ｍＬ／Ｌ未満であると、スズ−銀合金層やスズ
−銅合金層の溶解性が低く、剥離速度が１μｍ／分以下
となり実用に供し得ないものとなる。また、ニッケルや
鉄ニッケル合金に変色が生じたり、スマットが発生し好
ましくない。一方、硝酸根の含有量が４０．５ｍＬ／Ｌ
を超えると、ニッケルや鉄ニッケル合金に変色が生じた
り、スマットが発生し好ましくない。本発明では、硝酸
として、例えば、６７．５％硝酸を用いることができ、
この場合、含有量は１〜６０ｍＬ／Ｌの範囲となる

【００３８】さらに、本発明の剥離液は、必要に応じて
界面活性剤を溶解度範囲内で含有してもよい。界面活性
剤としては、ポリオキシエチレントリオール、ポリプロ
ピレングリコール等のノニオン系界面活性剤、パーフル
オロアルキルスルホン酸カリウム、ジオクチルスルホコ
ハク酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等を使用す
ることができる。

【００３９】上述のような本発明の剥離液を用いて、ニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上のスズ−銀合金層やス
ズ−銅合金層の剥離を行う場合、剥離液（処理浴）の温
度には特に制限はないが、例えば、２０〜６０℃の範囲
で設定することができる。

【００４０】尚、鉄ニッケル合金には特に制限はなく、
リードフレームに使用される４２材（Ｆｅ：Ｎｉ＝５
８：４２）や、ＳＵＳ３１６等を挙げることができる。
また、再めっきによりスズ−銀合金層、スズ−銅合金層
を形成する場合には、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金
にアルカリ電解脱脂を施した後に、無鉛スズ合金層を形
成することが好ましい。

【００４１】

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。

【００４２】［実施例１］アルカンスルホン酸として７
０％メタンスルホン酸を使用し、また、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、チオ尿素を使用して、７０
％メタンスルホン酸の濃度を下記表１のように種々設定
した下記組成の１３種の水溶液を調製して剥離液（試料
１−１〜１−１３）を得た。

【００４３】 剥離液（試料１−１〜１−１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … 表１に示す濃度 ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部 また、比較として下記の組成の２種の剥離液（試料Ａ、
Ｂ）を調製した。

【００４４】 剥離液（試料Ａ）の組成 ・トリクロロ酢酸 … １００ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ２０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００４５】 剥離液（試料Ｂ）の組成 ・トリクロロ酢酸 … １００ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ２０ｇ／Ｌ ・スルファミン酸 … ４０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００４６】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料１−１〜１−１３）を使用し、
浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００
ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬
してスズ−銅合金層の剥離を行った。また、上記の剥離
液（試料Ａ、Ｂ）を使用し、浴温度４０℃、浴負荷量
０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を作成し、
浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合金層の剥
離を行った。これらの剥離処理におけるスズ−銅合金層
の剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後の
４２材の外観を測定、評価して下記の表１に示した。

【００４７】また、スズ−銅合金層の剥離後、４２材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、スズ−銅合金層
の外観、および、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施
した後のスズ−銅合金層の外観を評価して下記の表１に
示した。

【００４８】

【表１】

【００４９】表１に示されるように、メタンスルホン酸
が３５〜４２０ｍＬ／Ｌの範囲（７０％メタンスルホン
酸として５０〜６００ｍＬ／Ｌの範囲）内にある本発明
の剥離液（試料１−２〜１−１２）は、いずれも、スズ
−銅合金層剥離速度が１μｍ／分を超えるにもかかわら
ず、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良
好であった。特に、メタンスルホン酸が７０〜３５０ｍ
Ｌ／Ｌの範囲（７０％メタンスルホン酸として１００〜
５００ｍＬ／Ｌの範囲）内にある本発明の剥離液（試料
１−３〜１−１１）は、スズ−銅合金層剥離速度が２μ
ｍ／分を超える高いものであった。また、スズ−銅合金
層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマット発生が
なく良好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−
銅合金層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱
処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等の異常がみと
められず良好であった。

【００５０】これに対して、メタンスルホン酸の含有量
が本発明の範囲に満たない剥離液（試料１−１）では、
スズ−銅合金層の剥離速度が１μｍ／分以下であった。
また、メタンスルホン酸の含有量が本発明の範囲を超え
る剥離液（試料１−１３）では、メタニトロベンゼンス
ルホン酸ナトリウムを剥離液中に１０ｇ／Ｌ以上溶解さ
せることが困難となり、スズ−銅合金層の剥離速度が１
μｍ／分以下であった。

【００５１】一方、従来の剥離液である試料Ａは、スズ
−銅合金層を剥離することができず、４２材の溶解速度
も０．０４μｍ／分と大きいものであった。また、従来
の剥離液である試料Ｂでは、スズ−銅合金層剥離速度が
大きく、スズ−銅合金層剥離後の４２材の表面状態は、
変色やスマット発生がなく良好であり、再めっきで形成
したスズ−銅合金層の外観は良好であった。しかし、４
２材の溶解速度は０．０４μｍ／分と大きいものであっ
た。

【００５２】［実施例２］アルカンスルホン酸としての
７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、チオ尿素を使用して、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウムの濃度を下記の表２のように
種々設定した下記組成の１４種の水溶液を調製して剥離
液（試料２−１〜２−１４）を得た。

【００５３】 剥離液（試料２−１〜２−１４）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 表２に示す濃度 ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００５４】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料２−１〜２−１４）を使用し、
浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００
ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬
してスズ−銅合金層の剥離を行った。この剥離処理にお
けるスズ−銅合金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−
銅合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価して下記の
表２に示した。

【００５５】また、スズ−銅合金層の剥離後、４２材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、このスズ−銅合
金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の熱処理
を施した後の外観を評価して下記の表２に示した。

【００５６】

【表２】

【００５７】表２に示されるように、メタニトロベンゼ
ンスルホン酸ナトリウムを１０〜３００ｇ／Ｌの範囲内
で含有する本発明の剥離液（試料２−３〜２−１３）
は、いずれも、スズ−銅合金層剥離速度が２μｍ／分を
超えるものであった。このようにスズ−銅合金層剥離速
度が高いにもかかわらず、４２材の溶解速度は０．０１
μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−銅合金
層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマット発生が
なく良好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−
銅合金層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱
処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等の異常がみと
められず良好であった。

【００５８】これに対して、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウムの含有量が１０ｇ／Ｌ未満である剥離液
（試料２−１、２−２）では、スズ−銅合金層の剥離速
度が１μｍ／分以下であった。また、メタニトロベンゼ
ンスルホン酸ナトリウムの含有量が３００ｇ／Ｌを超え
る剥離液（試料２−１４）では、４２材の表面にスズ−
銅合金層が残り、揺動しても除去できなかった。

【００５９】［実施例３］アルカンスルホン酸としての
７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、チオ尿素を使用して、チオ尿素の濃度
を下記表３に示すように種々設定した下記組成の１３種
の水溶液を調製して剥離液（試料３−１〜３−１３）を
得た。

【００６０】 剥離液（試料３−１〜３−７）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … 表３に示す濃度 ・イオン交換水 … 残部

【００６１】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料３−１〜３−１３）を使用し、
浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００
ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬
してスズ−銅合金層の剥離を行った。この剥離処理にお
けるスズ−銅合金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−
銅合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価して下記の
表３に示した。

【００６２】また、スズ−銅合金層の剥離後に、４２材
に対してアルカリ電解脱脂を施した後、上記と同様の条
件で厚み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、このスズ
−銅合金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の
熱処理を施した後のスズ−銅合金層の外観を評価して下
記の表３に示した。

【００６３】

【表３】

【００６４】表３に示されるように、チオ尿素が５ｇ／
Ｌ以上で溶解度範囲内で含有する本発明の剥離液（試料
３−３〜３−１３）は、いずれも、スズ−銅合金層剥離
速度が３μｍ／分を超えるものであり、かつ、４２材の
溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良好であった。
また、スズ−銅合金層剥離後の４２材の表面状態は、変
色やスマット発生がなく良好であった。さらに、再めっ
きで形成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみら
れず良好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。

【００６５】これに対し、チオ尿素を含有しない剥離液
（試料３−１）では、スズ−銅合金層の剥離速度が０．
１μｍ／分以下であり、実用に供し得ないものであっ
た。また、チオ尿素を１ｇ／Ｌ含有する剥離液（試料３
−２）は、スズ−銅合金層剥離速度が１μｍ／分を超え
るものであり、４２材の溶解速度も０．０１μｍ／分以
下であり良好であるが、スズ−銅合金層剥離後の４２材
表面にスマットが発生し、共に実用に供し得ないもので
あった。尚、スズ−銅合金層剥離は、チオ尿素の含有量
が５ｇ／Ｌ以上で良好な結果が得られ、１０ｇ／Ｌ以上
では、剥離性能に更なる向上はみられなかった。

【００６６】［実施例４］実施例１の剥離液（試料１−
６）の成分である７０％メタンスルホン酸の代わりに、
エタンスルホン酸を使用した下記組成の剥離液（試料
４）を調製した。

【００６７】 剥離液（試料４）の組成 ・エタンスルホン酸 … ２５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００６８】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料４）を使用し、浴温度４０℃、
浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を
作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合
金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−銅合
金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後
の４２材の外観を測定、評価した。その結果、スズ−銅
合金層剥離速度は４．００μｍ／分で充分に大きいにも
かかわらず、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下
であり良好であった。また、スズ−銅合金層剥離後の４
２材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であ
った。

【００６９】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、また、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。上記の結果
より、アルカンスルホン酸として、エタンスルホン酸を
用いた場合も、上述のメタンスルホン酸を使用した剥離
液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認され
た。

【００７０】［実施例５］実施例２の剥離液（試料２−
７）の成分であるメタニトロベンゼンスルホン酸ナトリ
ウムの代わりに、メタニトロベンゼンスルホン酸を使用
した下記組成の剥離液（試料５）を調製した。

【００７１】 剥離液（試料５）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸 … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００７２】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料５）を使用し、浴温度４０℃、
浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を
作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合
金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−銅合
金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後
の４２材の外観を測定、評価した。その結果、スズ−銅
合金層剥離速度は４．００μｍ／分で充分に大きいもの
であり、また、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以
下であり良好であった。一方、スズ−銅合金層剥離後の
４２材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良好で
あった。

【００７３】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
メタニトロベンゼンスルホン酸を用いた場合も、上述の
メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを使用した剥
離液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認さ
れた。

【００７４】［実施例６］実施例３の剥離液（試料３−
７）の成分であるチオ尿素の代わりに、ジメチルチオ尿
素を使用した下記組成の剥離液（試料６）を調製した。

【００７５】 剥離液（試料６）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 …２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・ジメチルチオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００７６】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料６）を使用し、浴温度４０℃、
浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を
作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合
金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−銅合
金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後
の４２材の外観を測定、評価した。その結果、スズ−銅
合金層剥離速度は４．００μｍ／分で充分に大きく、４
２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良好であ
った。また、スズ−銅合金層剥離後の４２材の表面状態
は、変色やスマット発生がなく良好であった。

【００７７】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
ジメチルチオ尿素を用いた場合も、上述のチオ尿素を使
用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られること
が確認された。

【００７８】［実施例７］まず、実施例１の剥離液（試
料１−６）と同じ下記組成の剥離液（試料７）を調製し
た。

【００７９】 剥離液（試料７）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００８０】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材、日本金属工業（株）製のＳＵＳ３
１６、および、ニッケル材、鉄材を準備し、これらの素
材上に厚み１０μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離
試料を準備した。次いで、上記の剥離液（試料７）を使
用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量
５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の各被剥離試
料を浸漬してスズ−銅合金層の剥離を行った。この剥離
処理におけるスズ−銅合金層剥離速度、素材溶解速度、
スズ−銅合金層剥離後の素材の外観を測定、評価して下
記の表４に示した。

【００８１】また、スズ−銅合金層の剥離後、素材にア
ルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚み
１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、スズ−銅合金層の
外観、および、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施し
た後のスズ−銅合金層の外観を評価して下記の表４に示
した。

【００８２】

【表４】

【００８３】表４に示されるように、本発明の剥離液
（試料７）は、素材がニッケルあるいは鉄ニッケル合金
である被剥離試料に対しては、スズ−銅合金層剥離速度
が２．００μｍ／分以上と大きく、かつ、素材の溶解速
度も十分小さく良好であった。また、スズ−銅合金層剥
離後の素材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良
好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−銅合金
層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後
のスズ−銅合金層の外観はフクレ等の異常がみとめられ
ず良好であった。尚、素材がＳＵＳ３１６である被剥離
試料においては、スズ−銅合金層剥離後の表面状態に若
干の表面粗れがみられるが、剥離後の再めっき、およ
び、熱処理においても何ら問題がなく、実用レベルと判
断される。

【００８４】しかし、素材が鉄材である被剥離試料に対
しては、鉄材の溶解速度が２．９１μｍ／分と大きく、
表面粗れを生じ、剥離後に再めっきで形成したスズ−銅
合金層にはノジュールがみられ、さらに、熱処理を施す
ことによりスズ−銅合金層にフクレが生じた。

【００８５】［実施例８］アルカンスルホン酸として７
０％メタンスルホン酸を使用し、また、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、塩化ナトリウム、ベンゾト
リアゾールを使用して、７０％メタンスルホン酸の濃度
を下記表５のように種々設定した下記組成の１３種の水
溶液を調製して剥離液（試料８−１〜８−１３）を得
た。

【００８６】 剥離液（試料８−１〜８−１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … 表５に示す濃度 ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００８７】また、比較として上述の実施例１と同組成
の２種の剥離液（試料Ａ、Ｂ）を調製した。次に、鉄ニ
ッケル合金として、住友特殊金属（株）製の４２材を使
用し、この４２材上に厚み１０μｍのスズ−ビスマス合
金層を形成して被剥離試料を準備した。

【００８８】次いで、上記の剥離液（試料８−１〜８−
１３）を使用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²
／Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の
被剥離試料を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行
った。また、上記の剥離液（試料Ａ、Ｂ）を使用し、浴
温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍ
Ｌの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬し
てスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。これらの剥離
処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材溶
解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観を
測定、評価して下記の表５に示した。

【００８９】また、スズ−ビスマス合金層の剥離後に、
上記と同様の条件で厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金
層を形成し、このスズ−ビスマス合金層の外観、およ
び、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施した後のスズ
−ビスマス合金層の外観を評価して下記の表５に示し
た。

【００９０】

【表５】

【００９１】表５に示されるように、メタンスルホン酸
が３５〜４２０ｍＬ／Ｌの範囲（７０％メタンスルホン
酸として５０〜６００ｍＬ／Ｌの範囲）内にある本発明
の剥離液（試料８−２〜８−１２）は、いずれも、スズ
−ビスマス合金層剥離速度が２μｍ／分を超える高いも
のであるにもかかわらず、４２材の溶解速度は０．０１
μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−ビスマ
ス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマット
発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成した
スズ−ビスマス合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。

【００９２】これに対して、メタンスルホン酸の含有量
が本発明の範囲に満たない剥離液（試料８−１）では、
スズ−ビスマス合金層の剥離速度が１μｍ／分以下であ
った。また、メタンスルホン酸の含有量が本発明の範囲
を超える剥離液（試料８−１３）では、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウムを剥離液中に１０ｇ／Ｌ以上
溶解させることが困難となり、スズ−ビスマス合金層の
剥離速度が１μｍ／分以下であった。一方、従来の剥離
液である試料Ａでは、スズ−ビスマス合金層を剥離する
ことができず、４２材の溶解速度も０．０４μｍ／分と
大きいものであった。また、従来の剥離液である試料Ｂ
では、スズ−ビスマス合金層剥離速度が大きく、スズ−
ビスマス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やス
マット発生がなく良好であった。しかし、再めっきで形
成したスズ−ビスマス合金層は密着不良が発生した。

【００９３】［実施例９］アルカンスルホン酸としての
７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、塩化ナトリウム、ベンゾトリアゾール
を使用して、メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム
の濃度を下記表６のように種々設定した下記組成の１３
種の水溶液を調製して剥離液（試料９−１〜９−１３）
を得た。

【００９４】 剥離液（試料９−１〜９−１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 表６に示す濃度 ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【００９５】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料９−１〜９−１３）を使用
し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５
００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥
離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材
溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観
を測定、評価して下記の表６に示した。また、スズ−ビ
スマス合金層の剥離後に、上記と同様の条件で厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ−ビス
マス合金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の
熱処理を施した後の外観を評価して下記の表６に示し
た。

【００９６】

【表６】

【００９７】表６に示されるように、メタニトロベンゼ
ンスルホン酸ナトリウムを１０〜２５０ｇ／Ｌの範囲内
で含有する本発明の剥離液（試料９−３〜９−１２）
は、いずれも、スズ−ビスマス合金層剥離速度が２μｍ
／分を超えるものであり、スズ−ビスマス合金層剥離速
度が高いにもかかわらず、４２材の溶解速度は０．０１
μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−ビスマ
ス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマット
発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成した
スズ−ビスマス合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。

【００９８】一方、メタニトロベンゼンスルホン酸ナト
リウムの含有量が１０ｇ／Ｌ未満である剥離液（試料９
−１、９−２）では、スズ−ビスマス合金層の剥離速度
が１μｍ／分以下であった。また、試料９−１３では、
メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムの添加量が溶
解度以上となり、過剰のメタニトロベンゼンスルホン酸
ナトリウムは浴内に沈殿しており、材料ロスを来たし
た。

【００９９】［実施例１０］塩素供給源として塩化ナト
リウムを使用し、また、７０％メタンスルホン酸、メタ
ニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム、ベンゾトリアゾ
ールを使用して、塩素イオン濃度を下記表７に示すよう
に種々設定した下記組成の１３種の水溶液を調製して剥
離液（試料１０−１〜１０−１３）を得た。

【０１００】 剥離液（試料１０−１〜１０−１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 …２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・塩化イオン（供給源：塩化ナトリウム） …表７に示す濃度 ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１０１】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１０−１〜１０−１３）を
使用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液
量５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試
料を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。こ
の剥離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、４
２材溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の
外観を測定、評価して下記の表７に示した。また、スズ
−ビスマス合金層の剥離後に、上記と同様の条件で厚み
１０μｍのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ−
ビスマス合金層の外観、および、更に１７０℃、１５時
間の熱処理を施した後のスズ−ビスマス合金層の外観を
評価して下記の表７に示した。

【０１０２】

【表７】

【０１０３】表７に示されるように、塩素イオン濃度が
０．０９ｍｏｌ／Ｌ（塩化ナトリウム濃度５ｇ／Ｌ）以
上で溶解度範囲内である本発明の剥離液（試料１０−２
〜１０−１３）は、いずれも、スズ−ビスマス合金層剥
離速度が４μｍ／分を超えるものであった。このように
スズ−ビスマス合金層剥離速度が高いにもかかわらず、
４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良好で
あった。また、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の
表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
さらに、再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層の外
観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後のスズ
−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめられ
ず良好であった。

【０１０４】これに対し、塩素イオンを含有しない剥離
液（試料１０−１）では、スズ−ビスマス合金層の剥離
が不可能であった。また、塩素イオン濃度が０．０２ｍ
ｏｌ／Ｌの剥離液（試料１０−２）では、スズ−ビスマ
ス合金層剥離速度が２μｍ／分を超えるものであり、４
２材の溶解速度も０．０１μｍ／分以下であり良好であ
るが、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材表面にスマ
ットが発生し、共に実用に供し得ないものであった。
尚、スズ−ビスマス合金層剥離は、塩素イオン濃度が
０．０９ｍｏｌ／Ｌ（塩化ナトリウム濃度５ｇ／Ｌ）以
上で良好な結果が得られ、０．２６ｍｏｌ／Ｌ（塩化ナ
トリウム濃度１５ｇ／Ｌ）以上では、剥離性能に更なる
向上はみられなかった。

【０１０５】［実施例１１］アルカンスルホン酸として
の７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、塩化ナトリウム、ベンゾトリアゾー
ルを使用して、ベンゾトリアゾールの濃度を下記表８に
示すように種々設定した下記組成の９種の水溶液を調製
して剥離液（試料１１−１〜１１−９）を得た。

【０１０６】 剥離液（試料１１−１〜１１−９）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … 表８に示す濃度 ・イオン交換水 … 残部

【０１０７】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１１−１〜１１−９）を使
用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量
５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料
を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。この
剥離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２
材溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外
観を測定、評価して下記の表８に示した。また、スズ−
ビスマス合金層の剥離後に、上記と同様の条件で厚み１
０μｍのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ−ビ
スマス合金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間
の熱処理を施した後の外観を評価して下記の表８に示し
た。

【０１０８】

【表８】

【０１０９】表８に示されるように、ベンゾトリアゾー
ルを２ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有する本発明の剥
離液（試料１１−２〜１１−８）は、いずれも、スズ−
ビスマス合金層剥離速度が３μｍ／分と大きく、かつ、
４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良好で
あった。また、スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の
表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
さらに、再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層の外
観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後のスズ
−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめられ
ず良好であった。

【０１１０】これに対して、ベンゾトリアゾールの含有
量が２ｇ／Ｌ未満である剥離液（試料１１−１）では、
スズ−ビスマス合金層の剥離が不可能であった。また、
試料１１−９においては、ベンゾトリアゾールの添加量
が溶解度以上となり、過剰のベンゾトリアゾールは浴内
に沈殿しており、材料ロスによるコスト増大を来たすこ
とになる。したがって、本実施例では、ベンゾトリアゾ
ールの濃度は２〜５０ｇ／Ｌの範囲で設定することが好
ましい。

【０１１１】［実施例１２］実施例８の剥離液（試料８
−４）の成分である塩化ナトリウムの代わりに、フッ化
カリウムを使用した下記組成の剥離液（試料１２）を調
製した。

【０１１２】 剥離液（試料１２）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・フッ化カリウム … １０ｇ／Ｌ （フッ素イオン＝０．１８ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１１３】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１２）を使用し、浴温度４
０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は５．
７１μｍ／分で充分に大きく、また、４２材の溶解速度
は０．０１μｍ／分以下であり良好であった。さらに、
スズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変
色やスマット発生がなく良好であった。

【０１１４】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、ハロゲンイオン
として、フッ素イオンを用いた場合も、上述の塩素イオ
ンを使用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られ
ることが確認された。

【０１１５】［実施例１３］実施例８の剥離液（試料８
−４）の成分である塩化ナトリウムの代わりに、臭化カ
リウムを使用した下記組成の剥離液（試料１３）を調製
した。

【０１１６】 剥離液（試料１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・臭化カリウム … １１ｇ／Ｌ （臭素イオン＝０．０９ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１１７】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１３）を使用し、浴温度４
０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は５．
７１μｍ／分で充分に大きく、４２材の溶解速度は０．
０１μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマ
ット発生がなく良好であった。

【０１１８】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、ハロゲンイオン
として、臭素イオンを用いた場合も、上述の塩素イオン
を使用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られる
ことが確認された。

【０１１９】［実施例１４］実施例８の剥離液（試料８
−４）の成分である７０％メタンスルホン酸の代わり
に、エタンスルホン酸を使用した下記組成の剥離液（試
料１４）を調製した。

【０１２０】 剥離液（試料１４）の組成 ・エタンスルホン酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１２１】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１４）を使用し、浴温度４
０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は５．
７１μｍ／分で充分に大きく、４２材の溶解速度は０．
０１μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマ
ット発生がなく良好であった。

【０１２２】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、アルカンスルホ
ン酸として、エタンスルホン酸を用いた場合も、上述の
メタンスルホン酸を使用した剥離液と同様の性能をもつ
剥離液が得られることが確認された。

【０１２３】［実施例１５］実施例９の剥離液（試料９
−７）の成分であるメタニトロベンゼンスルホン酸ナト
リウムの代わりに、メタニトロベンゼンスルホン酸を使
用した下記組成の剥離液（試料１５）を調製した。

【０１２４】 剥離液（試料１５）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸 … ５０ｇ／Ｌ ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１２５】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１５）を使用し、浴温度４
０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は５．
７１μｍ／分で充分に大きく、かつ、４２材の溶解速度
は０．０１μｍ／分以下であり良好であった。また、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色
やスマット発生がなく良好であった。

【０１２６】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施し
た。その結果、剥離後の再めっきで形成したスズ−ビス
マス合金層の外観はノジュールがみられず良好であり、
熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異
常がみとめられず良好であった。上記の結果より、メタ
ニトロベンゼンスルホン酸を用いた場合も、上述のメタ
ニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを使用した剥離液
と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認され
た。

【０１２７】［実施例１６］実施例１１の剥離液（試料
１１−３）の成分であるベンゾトリアゾールの代わり
に、イミダゾールを使用した下記組成の剥離液（試料１
６）を調製した。

【０１２８】 剥離液（試料１６）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・イミダゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１２９】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液（試料１６）を使用し、浴温度４
０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は５．
７１μｍ／分で充分に大きく、４２材の溶解速度は０．
０１μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマ
ット発生がなく良好であった。

【０１３０】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に１７０℃、１５時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、イミダゾールを
用いた場合も、上述のベンゾトリアゾールを使用した剥
離液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認さ
れた。

【０１３１】［実施例１７］まず、実施例８の剥離液
（試料８−４）と同じ下記組成の剥離液（試料１７）を
調製した。

【０１３２】 剥離液（試料１７）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … １５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・塩化ナトリウム … ３０ｇ／Ｌ （塩素濃度＝０．５１ｍｏｌ／Ｌ） ・ベンゾトリアゾール … ４ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１３３】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材、日本金属工業（株）製のＳＵＳ３
１６、および、ニッケル材、鉄材を準備し、これらの素
材上に厚み１０μｍのスズ−ビスマス合金層を形成して
被剥離試料を準備した。次いで、上記の剥離液（試料１
７）を使用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／
Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の各
被剥離試料を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行
った。この剥離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離
速度、素材溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の素
材の外観を測定、評価して下記の表９に示した。また、
スズ−ビスマス合金層の剥離後、上記と同様の条件で厚
み１０μｍのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ
−ビスマス銅合金層の外観、および、更に１７０℃、１
５時間の熱処理を施した後のスズ−ビスマス合金層の外
観を評価して下記の表９に示した。

【０１３４】

【表９】

【０１３５】表９に示されるように、本発明の剥離液
（試料１７）は、素材がニッケルあるいは鉄ニッケル合
金である被剥離試料に対しては、スズ−ビスマス合金層
剥離速度が２．８５μｍ／分以上と大きく、かつ、素材
の溶解速度も十分小さく良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の素材の表面状態は、変色やスマッ
ト発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成し
たスズ−ビスマス合金層の外観はノジュールがみられず
良好であり、熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観は
フクレ等の異常がみとめられず良好であった。尚、素材
がＳＵＳ３１６である被剥離試料においては、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の表面状態に若干の表面粗れがみら
れるが、剥離後の再めっき、および、熱処理においても
何ら問題がなく、実用レベルと判断される。

【０１３６】しかし、素材が鉄材である被剥離試料に対
しては、鉄材の溶解速度が２．９１μｍ／分と大きく、
表面粗れを生じ、剥離後に再めっきを行って形成したス
ズ−ビスマス合金層にはノジュールがみられ、さらに、
熱処理を施すことによりスズ−ビスマス合金層にフクレ
が生じた。

【０１３７】［実施例１８］アルカンスルホン酸として
７０％メタンスルホン酸を使用し、また、メタニトロベ
ンゼンスルホン酸ナトリウム、チオ尿素、６７．５％硝
酸を使用して、７０％メタンスルホン酸の濃度を下記表
１０のように種々設定した下記組成の１２種の水溶液を
調製して剥離液（試料１８−１〜１８−１２）を得た。

【０１３８】 剥離液（試料１８−１〜１８−１２）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 …表１０に示す濃度 ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１３９】また、比較として、実施例１と同様の組成
である２種の剥離液（試料Ａ、Ｂ）を調製した。次に、
鉄ニッケル合金として、住友特殊金属（株）製の４２材
を使用し、この４２材上に厚み１０μｍのスズ−銀合金
層を形成して被剥離試料を準備した。

【０１４０】上記の剥離液（試料１８−１〜１８−１
２）を使用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／
Ｌ、液量５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被
剥離試料を浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。ま
た、上記の剥離液（試料Ａ、Ｂ）を使用し、浴温度４０
℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銀合金層の剥離を行った。これらの剥離処理におけるス
ズ−銀合金層の剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銀合
金層剥離後の４２材の外観を測定、評価して下記の表１
に示した。

【０１４１】また、スズ−銀合金層の剥離後、４２材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、このスズ−銀合
金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の熱処理
を施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下記の表
１０に示した。

【０１４２】

【表１０】

【０１４３】表１０に示されるように、メタンスルホン
酸が３５〜３５０ｍＬ／Ｌの範囲（７０％メタンスルホ
ン酸として５０〜５００ｍＬ／Ｌの範囲）内にある本発
明の剥離液（試料１８−２〜１８−１１）は、いずれ
も、スズ−銀合金層剥離速度が１μｍ／分を超えるにも
かかわらず、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下
であり良好であった。特に、メタンスルホン酸が７０〜
３５０ｍＬ／Ｌの範囲（７０％メタンスルホン酸として
１００〜５００ｍＬ／Ｌの範囲）内にある本発明の剥離
液（試料１８−３〜１８−１１）は、スズ−銀合金層剥
離速度が４μｍ／分を超える高いものであった。また、
スズ−銀合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やス
マット発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。

【０１４４】これに対して、メタンスルホン酸の含有量
が３５ｍＬ／Ｌ（７０％メタンスルホン酸として５０ｍ
Ｌ／Ｌ）に満たない剥離液（試料１８−１）では、スズ
−銀合金層の剥離速度が１μｍ／分以下であった。ま
た、メタンスルホン酸の含有量が本発明の範囲を超える
剥離液（試料１８−１２）では、建浴時に浴分解を起こ
し、建浴が不可能であった。

【０１４５】一方、従来の剥離液である試料Ａは、スズ
−銀合金層を剥離することができず、４２材の溶解速度
も０．０４μｍ／分と大きいものであった。また、従来
の剥離液である試料Ｂでは、スズ−銀合金層剥離速度が
大きいものの、スズ−銀合金層剥離時の４２材の溶解速
度は、過剰反応により測定が不可能なまで大きいもので
あった。また、剥離後の４２材の表面状態は荒れた状態
であり、再めっきで形成したスズ−銀合金層の外観は悪
いものであった。

【０１４６】［実施例１９］アルカンスルホン酸として
の７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、チオ尿素、６７．５％硝酸を使用し
て、メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムの濃度を
下記の表１１のように種々設定した下記組成の１３種の
水溶液を調製して剥離液（試料１９−１〜１９−１３）
を得た。

【０１４７】 剥離液（試料１９−１〜１９−１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２００ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム …表１１に示す濃度 ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１４８】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料１９−１〜１９−１３）を使用
し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５
００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理
におけるスズ−銀合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−銀合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価して下
記の表１１に示した。

【０１４９】また、スズ−銀合金層の剥離後、４２材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、このスズ−銀合
金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の熱処理
を施した後の外観を評価して下記の表１１に示した。

【０１５０】

【表１１】

【０１５１】表１１に示されるように、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウムを５〜２５０ｇ／Ｌの範囲内
で含有する本発明の剥離液（試料１９−２〜１９−１
２）は、いずれも、スズ−銀合金層剥離速度が３μｍ／
分を超えるものであった。このようにスズ−銀合金層剥
離速度が高いにもかかわらず、４２材の溶解速度は０．
０１μｍ／分以下であり良好であった。また、スズ−銀
合金層剥離後の４２材の表面状態は、変色やスマット発
生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成したス
ズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良好であ
り、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等の異常
がみとめられず良好であった。

【０１５２】これに対して、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウムの含有量が５ｇ／Ｌ未満である剥離液
（試料１９−１）では、スズ−銀合金層の剥離速度が１
μｍ／分以下であった。また、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウムの含有量が２５０ｇ／Ｌを超える剥離
液（試料１９−１３）では、４２材の表面にスズ−銀合
金層が残り、揺動しても除去できなかった。

【０１５３】［実施例２０］アルカンスルホン酸として
の７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、チオ尿素、６７．５％硝酸を使用し
て、チオ尿素の濃度を下記表１２に示すように種々設定
した下記組成の１３種の水溶液を調製して剥離液（試料
２０−１〜２０−１３）を得た。

【０１５４】 剥離液（試料２０−１〜２０−１３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 …表１２に示す濃度 ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１５５】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料２０−１〜２０−１３）を使用
し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５
００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理
におけるスズ−銀合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−銀合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価して下
記の表１２に示した。

【０１５６】また、スズ−銀合金層の剥離後に、４２材
に対してアルカリ電解脱脂を施した後、上記と同様の条
件で厚み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、このスズ
−銀合金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の
熱処理を施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下
記の表１２に示した。

【０１５７】

【表１２】

【０１５８】表１２に示されるように、チオ尿素が２０
ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有する本発明の剥離液
（試料２０−６〜２０−１３）は、いずれも、スズ−銀
合金層剥離速度が７μｍ／分を超えるものであった。こ
のようにスズ−銀合金層剥離速度が高いにもかかわら
ず、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良
好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の４２材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。さ
らに、再めっきで形成したスズ−銀合金層の外観はノジ
ュールがみられず良好であり、熱処理後のスズ−銀合金
層の外観はフクレ等の異常がみとめられず良好であっ
た。

【０１５９】これに対し、チオ尿素の含有量が５ｇ／Ｌ
以下である剥離液（試料２０−１〜２０−３）では、ス
ズ−銀合金層の剥離速度が０．１μｍ／分以下であり、
スズ−銀合金層剥離後の４２材表面にスマットが発生
し、実用に供し得ないものであった。また、チオ尿素を
１０〜１５ｇ／Ｌ含有する剥離液（試料２０−４、２０
−５）は、スズ−銀合金層剥離速度が６μｍ／分程度で
あり、４２材の溶解速度も０．０１μｍ／分以下であり
良好であるが、スズ−銀合金層剥離後の４２材表面にス
マットが発生し、共に実用に供し得ないものであった。
尚、スズ−銀合金層剥離は、チオ尿素の含有量が２０ｇ
／Ｌ以上で良好な結果が得られ、添加量を増加させても
剥離性能に更なる向上はみられなかった。

【０１６０】［実施例２１］アルカンスルホン酸として
の７０％メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、チオ尿素、６７．５％硝酸を使用し
て、６７．５％硝酸の濃度を下記表１３に示すように種
々設定した下記組成の１１種の水溶液を調製して剥離液
（試料２１−１〜２１−１１）を得た。

【０１６１】 剥離液（試料２１−１〜２１−１１）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 …表１３に示す濃度 ・イオン交換水 … 残部

【０１６２】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料２１−１〜２１−１１）を使用
し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５
００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理
におけるスズ−銀合金層剥離速度、４２材溶解速度、ス
ズ−銀合金層剥離後の４２材の外観を測定、評価して下
記の表１３に示した。

【０１６３】また、スズ−銀合金層の剥離後に、４２材
に対してアルカリ電解脱脂を施した後、上記と同様の条
件で厚み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、このスズ
−銀合金層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の
熱処理を施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下
記の表１３に示した。

【０１６４】

【表１３】

【０１６５】表１３に示されるように、硝酸が０．６８
〜４０．５ｍＬ／Ｌの範囲内（６７．５％硝酸として１
〜６０ｍＬ／Ｌの範囲）で含有する本発明の剥離液（試
料２１−２〜２１−１０）は、いずれも、スズ−銀合金
層剥離速度が４μｍ／分を超えるものであった。このよ
うにスズ−銀合金層剥離速度が高いにもかかわらず、４
２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良好であ
った。また、スズ−銀合金層剥離後の４２材の表面状態
は、変色やスマット発生がなく良好であった。さらに、
再めっきで形成したスズ−銀合金層の外観はノジュール
がみられず良好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外
観はフクレ等の異常がみとめられず良好であった。

【０１６６】これに対し、硝酸含有量が０．６８ｍＬ／
Ｌ未満（６７．５％硝酸として１ｍＬ／Ｌ未満）である
剥離液（試料２１−１）では、スズ−銀合金層の剥離速
度が０．１μｍ／分以下であり、スズ−銀合金層剥離後
の４２材表面にスマットが発生し、実用に供し得ないも
のであった。また、硝酸含有量が４０．５ｍＬ／Ｌ（６
７．５％硝酸として６０ｍＬ／Ｌ）を超える剥離液（試
料２１−１１）は、スズ−銀合金層剥離速度が１３μｍ
／分程度であるが、４２材の溶解速度が０．０１μｍ／
分を超え、かつ、スズ−銀合金層剥離後の４２材表面に
スマットが発生し、実用に供し得ないものであった。

【０１６７】［実施例２２］実施例１８の剥離液（試料
１８−５）の成分である７０％メタンスルホン酸の代わ
りに、エタンスルホン酸を使用した下記組成の剥離液
（試料２２）を調製した。

【０１６８】 剥離液（試料２２）の組成 ・エタンスルホン酸 … ２００ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１６９】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料２２）を使用し、浴温度４０
℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銀合金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−
銀合金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銀合金層剥
離後の４２材の外観を測定、評価した。その結果、スズ
−銀合金層剥離速度は７．０６μｍ／分で充分に大き
く、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良
好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の４２材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。

【０１７０】次いで、スズ−銀合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
アルカンスルホン酸として、エタンスルホン酸を用いた
場合も、上述のメタンスルホン酸を使用した剥離液と同
様の性能をもつ剥離液が得られることが確認された。

【０１７１】［実施例２３］実施例１９の剥離液（試料
１９−７）の成分であるメタニトロベンゼンスルホン酸
ナトリウムの代わりに、メタニトロベンゼンスルホン酸
を使用した下記組成の剥離液（試料２３）を調製した。

【０１７２】 剥離液（試料２３）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２００ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸 … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１７３】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料２３）を使用し、浴温度４０
℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銀合金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−
銀合金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銀合金層剥
離後の４２材の外観を測定、評価した。その結果、スズ
−銀合金層剥離速度は７．０６μｍ／分で充分に大き
く、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良
好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の４２材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。

【０１７４】次いで、スズ−銀合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
メタニトロベンゼンスルホン酸を用いた場合も、上述の
メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを使用した剥
離液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認さ
れた。

【０１７５】［実施例２４］実施例２０の剥離液（試料
２０−７）の成分であるチオ尿素の代わりに、ジメチル
チオ尿素を使用した下記組成の剥離液（試料２４）を調
製した。

【０１７６】 剥離液（試料２４）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 …２２０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・ジメチルチオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１７７】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。次いで、上記の剥離液（試料２４）を使用し、浴温
度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬ
の処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬して
スズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理における
スズ−銀合金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銀合
金層剥離後の４２材の外観を測定、評価した。その結
果、スズ−銀合金層剥離速度は７．０６μｍ／分で充分
に大きく、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下で
あり良好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の４２
材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であっ
た。

【０１７８】次いで、スズ−銀合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
ジメチルチオ尿素を用いた場合も、上述のチオ尿素を使
用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られること
が確認された。

【０１７９】［実施例２５］まず、実施例１８の剥離液
（試料１８−５）と同じ下記組成の剥離液（試料２５）
を調製した。

【０１８０】 剥離液（試料２５）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２００ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１８１】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材、日本金属工業（株）製のＳＵＳ３
１６、および、ニッケル材、鉄材を準備し、これらの素
材上に厚み１０μｍのスズ−銀合金層を形成して被剥離
試料を準備した。次いで、上記の剥離液（試料２５）を
使用し、浴温度４０℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液
量５００ｍＬの処理浴を作成し、浴中に上記の各被剥離
試料を浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥
離処理におけるスズ−銀合金層剥離速度、素材溶解速
度、スズ−銀合金層剥離後の素材の外観を測定、評価し
て下記の表１４に示した。

【０１８２】また、スズ−銀合金層の剥離後、素材にア
ルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚み
１０μｍのスズ−銀合金層を形成し、このスズ−銀合金
層の外観、および、更に１７０℃、１５時間の熱処理を
施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下記の表１
４に示した。

【０１８３】

【表１４】

【０１８４】表１４に示されるように、本発明の剥離液
（試料２５）は、素材がニッケルあるいは鉄ニッケル合
金である被剥離試料に対しては、スズ−銀合金層剥離速
度が３．５３μｍ／分以上と大きく、かつ、素材の溶解
速度も十分小さく良好であった。また、スズ−銀合金層
剥離後の素材の表面状態は、変色やスマット発生がなく
良好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−銀合
金層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理
後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等の異常がみとめら
れず良好であった。尚、素材がＳＵＳ３１６である被剥
離試料においては、スズ−銀合金層剥離後の表面状態に
若干の表面粗れがみられるが、剥離後の再めっき、およ
び、熱処理においても何ら問題がなく、実用レベルと判
断される。

【０１８５】しかし、素材が鉄材である被剥離試料に対
しては、鉄材の溶解速度が２．９１μｍ／分と大きく、
表面粗れを生じ、剥離後に再めっきで形成したスズ−銀
合金層にはノジュールがみられ、さらに、熱処理を施す
ことによりスズ−銀合金層にフクレが生じた。

【０１８６】［実施例２６］まず、実施例１８の剥離液
（試料１８−６）と同じ下記組成の剥離液（試料２６）
を調製した。

【０１８７】 剥離液（試料２６）の組成 ・７０％メタンスルホン酸 … ２５０ｍＬ／Ｌ ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … ５０ｇ／Ｌ ・チオ尿素 … ３０ｇ／Ｌ ・６７．５％硝酸 … ２０ｍＬ／Ｌ ・イオン交換水 … 残部

【０１８８】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属（株）製の４２材を使用し、この４２材上に厚み１０
μｍのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液（試料２６）を使用し、浴温度４０
℃、浴負荷量０．５ｄｍ²／Ｌ、液量５００ｍＬの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銅合金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−
銅合金層剥離速度、４２材溶解速度、スズ−銅合金層剥
離後の４２材の外観を測定、評価した。その結果、スズ
−銅合金層剥離速度は４．００μｍ／分で充分に大き
く、４２材の溶解速度は０．０１μｍ／分以下であり良
好であった。また、スズ−銅合金層剥離後の４２材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。

【０１８９】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、４２材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み１０μｍのスズ−銅合金層を形成し、更に１７０
℃、１５時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
スズ−銀合金層と同様に、スズ−銅合金層に対しても優
れた剥離性能を有することが確認された。

【０１９０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上に設けられた無鉛スズ
合金層やその下に存在するニッケル（鉄ニッケル合金）
−スズ合金層を確実に剥離することができ、かつ、この
剥離においてニッケルあるいは鉄ニッケル合金の溶解を
極めて低く（例えば、０．０１μｍ／分以下）抑えるこ
とができ、さらに、剥離後のニッケルや鉄ニッケル合金
の表面が平坦なものとなり、再度、無鉛スズ合金をめっ
きしても、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金との密着性
が良好であり、熱処理を施しても良好な密着状態が維持
されるという効果が奏される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2001−279475（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−161178（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−149790（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−74281（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−77577（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−164984（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−307710（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−158660（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−80117（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−156481（ＪＰ，Ａ) 特表 平４−501138（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23F 1/30 C23F 1/44

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 無鉛スズ合金であるスズ−銅合金剥離用
   の剥離液において、 少なくともアルカンスルホン酸を３５〜４２０ｍＬ／Ｌ
   の範囲内で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸
   あるいはその塩を１０〜３００ｇ／Ｌの範囲で含有し、
   さらに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ
   尿素からなる群のなかの１種以上を５ｇ／Ｌ以上で溶解
   度範囲内で含有することを特徴とするニッケルあるいは
   鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液。
2. 【請求項２】 アルカンスルホン酸として、７０％メタ
   ンスルホン酸を５０〜６００ｍＬ／Ｌの範囲内で含有
   し、メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを１０〜
   ３００ｇ／Ｌの範囲で含有し、チオ尿素を５ｇ／Ｌ以上
   で溶解度範囲内で含有することを特徴とする請求項１に
   記載のニッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合
   金剥離用の剥離液。
3. 【請求項３】 無鉛スズ合金であるスズ−ビスマス合金
   剥離用の剥離液において、 少なくともアルカンスルホン酸を３５〜４２０ｍＬ／Ｌ
   の範囲内で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸
   あるいはその塩を１０〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有し、
   ハロゲンイオンを０．０９ｍｏｌ／Ｌ以上で溶解度範囲
   内で含有し、ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾー
   ル、イミダゾールおよびその誘導体からなる群の中の１
   種以上を２ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有することを
   特徴とするニッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛ス
   ズ合金剥離用の剥離液。
4. 【請求項４】 ７０％メタンスルホン酸を５０〜６００
   ｍＬ／Ｌの範囲内で含有し、メタニトロベンゼンスルホ
   ン酸ナトリウムを１０〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有し、
   塩素イオンを０．０９ｍｏｌ／Ｌ以上で溶解度範囲内で
   含有し、ベンゾトリアゾールを２ｇ／Ｌ以上で溶解度範
   囲内で含有することを特徴とする請求項３に記載のニッ
   ケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の
   剥離液。
5. 【請求項５】 ベンゾトリアゾールを２〜５０ｇ／Ｌの
   範囲内で含有することを特徴とする請求項４に記載のニ
   ッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用
   の剥離液。
6. 【請求項６】 無鉛スズ合金であるスズ−銀合金および
   スズ−銅合金剥離用の剥離液において、 少なくともアルカンスルホン酸を３５〜３５０ｍＬ／Ｌ
   の範囲内で含有し、（メタ）ニトロベンゼンスルホン酸
   あるいはその塩を５〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有し、さ
   らに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ尿
   素からなる群のなかの１種以上を２０ｇ／Ｌ以上で溶解
   度範囲内で含有し、硝酸を０．６８〜４０．５ｍＬ／Ｌ
   の範囲で含有することを特徴とするニッケルあるいは鉄
   ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液。
7. 【請求項７】 ７０％メタンスルホン酸を５０〜５００
   ｍＬ／Ｌの範囲内で含有し、メタニトロベンゼンスルホ
   ン酸ナトリウムを５〜２５０ｇ／Ｌの範囲で含有し、チ
   オ尿素を２０ｇ／Ｌ以上で溶解度範囲内で含有し、６
   ７．５％硝酸を１〜６０ｍＬ／Ｌの範囲で含有すること
   を特徴とする請求項６に記載のニッケルあるいは鉄ニッ
   ケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液。