JP3389938B2 - インクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動体 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動体Info
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- JP3389938B2 JP3389938B2 JP24851994A JP24851994A JP3389938B2 JP 3389938 B2 JP3389938 B2 JP 3389938B2 JP 24851994 A JP24851994 A JP 24851994A JP 24851994 A JP24851994 A JP 24851994A JP 3389938 B2 JP3389938 B2 JP 3389938B2
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- Japan
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- fixed
- recording head
- vibrators
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドに用いる圧電駆動体に関する。
ッドに用いる圧電駆動体に関する。
【０００２】
【従来の技術】縦振動モードを利用したインクジェット
記録ヘッドは、一般に特開平４−１０５２号公報に見ら
れるように、複数のノズルを穿設したノズルプレートの
背面に狭い間隙をおいて振動板を配設し、さらに振動板
の背面に各ノズルに対応するよう分割した縦振動モード
の圧電振動子を当接するように構成し、インク流路から
のインクをノズルプレートと振動板とで形成した圧力室
に導いた上、このインクを記録信号に応じて駆動させた
圧電振動子により加圧してインク滴としてノズルより飛
翔させるようにしたものである。
記録ヘッドは、一般に特開平４−１０５２号公報に見ら
れるように、複数のノズルを穿設したノズルプレートの
背面に狭い間隙をおいて振動板を配設し、さらに振動板
の背面に各ノズルに対応するよう分割した縦振動モード
の圧電振動子を当接するように構成し、インク流路から
のインクをノズルプレートと振動板とで形成した圧力室
に導いた上、このインクを記録信号に応じて駆動させた
圧電振動子により加圧してインク滴としてノズルより飛
翔させるようにしたものである。
【０００３】この種のインクジェット記録ヘッドは、圧
電プレートを細かく分割すればするほどその分だけ、圧
電振動子を細く構成できて、ノズルの配列ピッチを小さ
くすることができる。ところで、このような圧電振動子
は、圧電材料と導電材料を交互に積層し、これを焼結し
て形成した１枚の圧電振動板を、その後端を基台に固定
してワイヤソウや、ダイヤモンドカッタ等により歯割り
して形成される関係上、個々の圧電振動子が切断に耐え
る程度の強度が確保できる太さが必要で、そのサイズの
下限に限界があるばかりでなく、例え細く切断すること
ができたとしても強度が小さくなるため、記録ヘッドと
して組み込む際に圧電振動子が破損しやすいという問題
を抱えている。
電プレートを細かく分割すればするほどその分だけ、圧
電振動子を細く構成できて、ノズルの配列ピッチを小さ
くすることができる。ところで、このような圧電振動子
は、圧電材料と導電材料を交互に積層し、これを焼結し
て形成した１枚の圧電振動板を、その後端を基台に固定
してワイヤソウや、ダイヤモンドカッタ等により歯割り
して形成される関係上、個々の圧電振動子が切断に耐え
る程度の強度が確保できる太さが必要で、そのサイズの
下限に限界があるばかりでなく、例え細く切断すること
ができたとしても強度が小さくなるため、記録ヘッドと
して組み込む際に圧電振動子が破損しやすいという問題
を抱えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
圧電振動板から振動子に切分けたり、また組み込み時に
十分な強度を確保することができる新規な圧電駆動体を
提供することである。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
圧電振動板から振動子に切分けたり、また組み込み時に
十分な強度を確保することができる新規な圧電駆動体を
提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、変位方向の先端部分、及び
後端部分が不活性領域に、また他の領域を変位可能な活
性領域となるように圧電材料と導電材料を交互に積層し
て構成された圧電振動子と、前記活性領域の一部を摺動
可能に支持し、かつ前記後端部分の不活性領域を固定す
る固定基板とから構成されている。
るために本発明においては、変位方向の先端部分、及び
後端部分が不活性領域に、また他の領域を変位可能な活
性領域となるように圧電材料と導電材料を交互に積層し
て構成された圧電振動子と、前記活性領域の一部を摺動
可能に支持し、かつ前記後端部分の不活性領域を固定す
る固定基板とから構成されている。
【０００６】
【作用】圧電振動子の活性領域が固定基板により摺動可
能に支持させているため、少なくとも固定基板側への反
りや、また組立時における破損も防止できる。
能に支持させているため、少なくとも固定基板側への反
りや、また組立時における破損も防止できる。
【０００７】
【実施例】そこで以下に図示した実施例について説明す
る。図１は本発明の一実施例をなす圧電駆動体を示した
ものであって、図中符号１は、圧電振動子２、２、２‥
‥を固定する固定基板で、快削性を備えたセラミックス
の板材からなり、圧電振動子２、２、２‥‥の不活性領
域２ｂが固定される固定領域１ａと、圧電振動子２、
２、２‥‥の活性領域の先端側の一部に当接する支持部
１ｂを備えるように一半側の中央部１ｄと先端部１ｃに
凹部を形成して構成されている。
る。図１は本発明の一実施例をなす圧電駆動体を示した
ものであって、図中符号１は、圧電振動子２、２、２‥
‥を固定する固定基板で、快削性を備えたセラミックス
の板材からなり、圧電振動子２、２、２‥‥の不活性領
域２ｂが固定される固定領域１ａと、圧電振動子２、
２、２‥‥の活性領域の先端側の一部に当接する支持部
１ｂを備えるように一半側の中央部１ｄと先端部１ｃに
凹部を形成して構成されている。
【０００８】２、２、２‥‥は、それぞれ圧電振動板か
ら切分けて構成された圧電振動子で、図２に示したよう
に先端、及び後端側の一半には圧電振動に関与しない不
活性領域２ａ、２ｂが形成され、また他半には２つの極
となる導電層３、４を圧電材料５を介して交互に積層し
た活性領域２ｃが形成されていて、活性領域２ｃの先端
側が固定基板１の支持部１ｂに摺動可能に当接し、かつ
先端の不活性領域２ａが固定基板１の先端面１ｅよりも
突出するように前記後端側の不活性領域２ｂが固定領域
１ａに接着剤により固定されている。
ら切分けて構成された圧電振動子で、図２に示したよう
に先端、及び後端側の一半には圧電振動に関与しない不
活性領域２ａ、２ｂが形成され、また他半には２つの極
となる導電層３、４を圧電材料５を介して交互に積層し
た活性領域２ｃが形成されていて、活性領域２ｃの先端
側が固定基板１の支持部１ｂに摺動可能に当接し、かつ
先端の不活性領域２ａが固定基板１の先端面１ｅよりも
突出するように前記後端側の不活性領域２ｂが固定領域
１ａに接着剤により固定されている。
【０００９】これら圧電振動子２、２、２‥‥の先端に
は活性領域２ｃの一方の極を形成している導電層３が露
出しており、先端面及び表面に形成された電極層７を介
して後端側に導電的に導かれて、フレキシブルケーブル
１０に形成された共通の電極パターン１１に接続されて
いる。そして、他方の極となる導電層４は、圧電振動子
２、２、２‥‥の後端面から露出していてやはり表面に
形成された電極層８を介してフレキシブルケーブル１０
の個別電極のパターン１２、１２、１２‥‥に接続され
ている。
は活性領域２ｃの一方の極を形成している導電層３が露
出しており、先端面及び表面に形成された電極層７を介
して後端側に導電的に導かれて、フレキシブルケーブル
１０に形成された共通の電極パターン１１に接続されて
いる。そして、他方の極となる導電層４は、圧電振動子
２、２、２‥‥の後端面から露出していてやはり表面に
形成された電極層８を介してフレキシブルケーブル１０
の個別電極のパターン１２、１２、１２‥‥に接続され
ている。
【００１０】このような構成により共通の電極パターン
１１、及び印字すべき圧電振動子２に接続する個別電極
のパターン１２、１２、１２に駆動信号を印加すること
により圧電振動子２、２、２‥‥を駆動することができ
る。
１１、及び印字すべき圧電振動子２に接続する個別電極
のパターン１２、１２、１２に駆動信号を印加すること
により圧電振動子２、２、２‥‥を駆動することができ
る。
【００１１】これら圧電振動子２、２、２‥‥の両側に
は、これと同様の手法で構成された振動に関与しないダ
ミー圧電振動子９、９が配設されていて、固定基板１の
固定領域１ａと支持部１ｂに当接する箇所を接着剤によ
り固定されている。
は、これと同様の手法で構成された振動に関与しないダ
ミー圧電振動子９、９が配設されていて、固定基板１の
固定領域１ａと支持部１ｂに当接する箇所を接着剤によ
り固定されている。
【００１２】図３は、上述した圧電駆動体の製造方法の
一実施例を示すものであって、図中符号２０は、圧電振
動板で、例えば特開平4-1052号公報に見られるようにペ
ースト状の圧電材料層の長手方向中間部に導電層を積層
して、先端側の一半に活性領域が、また後端側を不活性
領域とするように焼結により成形され、また各導電層と
接続する電極が形成され、前述の図２に示したのと同一
の断面構造となるように構成されている（I）。
一実施例を示すものであって、図中符号２０は、圧電振
動板で、例えば特開平4-1052号公報に見られるようにペ
ースト状の圧電材料層の長手方向中間部に導電層を積層
して、先端側の一半に活性領域が、また後端側を不活性
領域とするように焼結により成形され、また各導電層と
接続する電極が形成され、前述の図２に示したのと同一
の断面構造となるように構成されている（I）。
【００１３】１は、前述の基台で、セラミック等の比較
的強度の大きな材料からなる所定の厚みの板を、後端側
に圧電振動子の固定領域１ａを、また先端部近傍で圧電
振動子を支持する支持部１ｂを形成するように切削加工
されている（II）。
的強度の大きな材料からなる所定の厚みの板を、後端側
に圧電振動子の固定領域１ａを、また先端部近傍で圧電
振動子を支持する支持部１ｂを形成するように切削加工
されている（II）。
【００１４】圧電プレート２０の不活性領域を接着剤等
により固定領域１ａに固定すると、圧電プレート２０の
先端部が支持部１ｂに当接した状態で固着される（II
I）。
により固定領域１ａに固定すると、圧電プレート２０の
先端部が支持部１ｂに当接した状態で固着される（II
I）。
【００１５】この状態で圧電プレート２０の表面に平行
にワイヤソウをあてがい、両端には比較的幅広いダミー
振動子９、９を形成する一方、これの内側には圧力発生
室を膨張収縮させるのに適した０．１４ミリ程度の一定
ピッチで歯割りする（IV）。
にワイヤソウをあてがい、両端には比較的幅広いダミー
振動子９、９を形成する一方、これの内側には圧力発生
室を膨張収縮させるのに適した０．１４ミリ程度の一定
ピッチで歯割りする（IV）。
【００１６】圧電プレート２０は、一半が固定基板１に
固定され、また先端側が支持部１ｂに支持されて両端で
支持されているから、切断時のたわみや変形が少なく、
切断時の破損が防止される。
固定され、また先端側が支持部１ｂに支持されて両端で
支持されているから、切断時のたわみや変形が少なく、
切断時の破損が防止される。
【００１７】歯割りが終了した時点で、ダミー振動子
９、９と支持部１ｂとの当接領域に接着剤を流し込ん
で、ダミー振動子９、９を支持部１ｂに固定する。
９、９と支持部１ｂとの当接領域に接着剤を流し込ん
で、ダミー振動子９、９を支持部１ｂに固定する。
【００１８】構成された圧電駆動体は、図４、図５に示
したように下端に予めノズルプレート４０やスペーサ４
１、振動板４２等を一体に固定して共通のインク室４
３、インク供給口４４、圧力発生室４５が形成された流
路ユニット３０を一端に固定したフレーム３１の圧電駆
動体収容穴３２に、固定基板１の先端面１e、圧電振動
子２、２、２、２‥‥、及びダミー振動子９、９の先端
に接着剤を塗布し、両端のダミー振動子９、９と、固定
基板１をガイドとして圧電駆動体収容穴３２に挿入され
る。
したように下端に予めノズルプレート４０やスペーサ４
１、振動板４２等を一体に固定して共通のインク室４
３、インク供給口４４、圧力発生室４５が形成された流
路ユニット３０を一端に固定したフレーム３１の圧電駆
動体収容穴３２に、固定基板１の先端面１e、圧電振動
子２、２、２、２‥‥、及びダミー振動子９、９の先端
に接着剤を塗布し、両端のダミー振動子９、９と、固定
基板１をガイドとして圧電駆動体収容穴３２に挿入され
る。
【００１９】挿入の際、支持部１ｂが収容穴３２にガイ
ドされるため、挿入の過程でのがたつきを無くして圧電
振動子２、２、２への無理な力が掛かるのを防ぐことが
できて、圧電振動子２、２、２‥‥の折損を防止するこ
とができる。
ドされるため、挿入の過程でのがたつきを無くして圧電
振動子２、２、２への無理な力が掛かるのを防ぐことが
できて、圧電振動子２、２、２‥‥の折損を防止するこ
とができる。
【００２０】また、圧電駆動体が収容穴３２に挿入され
た状態では、固定基板１の両側が収容穴３２の両側部３
３、３３で支持されていて、この両側部３３、３３が位
置決め部材として機能することになるから、圧電振動子
２、２、２‥‥の先端がアイランド部４６と確実に当接
するように位置決めされる。
た状態では、固定基板１の両側が収容穴３２の両側部３
３、３３で支持されていて、この両側部３３、３３が位
置決め部材として機能することになるから、圧電振動子
２、２、２‥‥の先端がアイランド部４６と確実に当接
するように位置決めされる。
【００２１】そして、圧着の際、固定基板１の先端面１
ｅの接着剤が押し出されても、固定基板１の先端の凹所
３４に収容されるため、圧電振動子２、２、２‥‥にま
で流れ出すことはない。
ｅの接着剤が押し出されても、固定基板１の先端の凹所
３４に収容されるため、圧電振動子２、２、２‥‥にま
で流れ出すことはない。
【００２２】このフレーム３１には、図５に示したよう
に振動板４２を支持している面を，アイランド部４６近
傍まで迫り出させてオーバハング部３１ａが形成されて
おり、また固定基板１は、その先端面１ｅだけをオーバ
ハング部３１ａに接着剤により固定されるため、実質的
にはフレーム３１のオーバハング部３１ａの厚みＬ０に
相当する高分子材料と，セラミックスの熱膨張差とな
り、例えばオーバハング部３１ａを１ｍｍ程度にする
と、温度１０°Ｃあたりの歪み量を１乃至２μｍに抑え
ることができる。
に振動板４２を支持している面を，アイランド部４６近
傍まで迫り出させてオーバハング部３１ａが形成されて
おり、また固定基板１は、その先端面１ｅだけをオーバ
ハング部３１ａに接着剤により固定されるため、実質的
にはフレーム３１のオーバハング部３１ａの厚みＬ０に
相当する高分子材料と，セラミックスの熱膨張差とな
り、例えばオーバハング部３１ａを１ｍｍ程度にする
と、温度１０°Ｃあたりの歪み量を１乃至２μｍに抑え
ることができる。
【００２３】この結果、環境の温度が変化すると、各部
材は、それぞれを構成している材料の熱膨張率に基づい
て膨張、収縮を起こしたとしても、振動板４２は、圧電
振動子２とフレーム３１とに固定されているため、これ
ら両者の熱膨張差の影響を受けることになるが、上述の
ように熱膨張が極めて小さく抑えられる。このため、接
着作業時にヘッド全体を温度約６０°Ｃの高温下におく
ことにより、常温での接着時間に比較して３時間という
短時間で硬化させて固定することができ、接着作業の簡
素化と、作業時間の短縮を図ることが可能となる。
材は、それぞれを構成している材料の熱膨張率に基づい
て膨張、収縮を起こしたとしても、振動板４２は、圧電
振動子２とフレーム３１とに固定されているため、これ
ら両者の熱膨張差の影響を受けることになるが、上述の
ように熱膨張が極めて小さく抑えられる。このため、接
着作業時にヘッド全体を温度約６０°Ｃの高温下におく
ことにより、常温での接着時間に比較して３時間という
短時間で硬化させて固定することができ、接着作業の簡
素化と、作業時間の短縮を図ることが可能となる。
【００２４】また固定基板１の側面１ｆとフレーム３１
の内壁面３１ｂとの間には空隙３６が確保されていてい
る。この空間３６には必要に応じて常温で固化する接着
剤が充填されて、剛性を高める処理が施される。
の内壁面３１ｂとの間には空隙３６が確保されていてい
る。この空間３６には必要に応じて常温で固化する接着
剤が充填されて、剛性を高める処理が施される。
【００２５】図６は、本発明の第２実施例を示すもので
あって、図中符号５０は固定基板で、圧電振動子の活性
領域部と不活性領域部との境界が対向する位置に溝５１
を設けて固定領域５０ａと支持部５０ｂとに分離し、圧
電振動子２、２、２‥‥の不活性領域、及びダミー振動
子９、９全体を固定基板５０に固定したものである。
あって、図中符号５０は固定基板で、圧電振動子の活性
領域部と不活性領域部との境界が対向する位置に溝５１
を設けて固定領域５０ａと支持部５０ｂとに分離し、圧
電振動子２、２、２‥‥の不活性領域、及びダミー振動
子９、９全体を固定基板５０に固定したものである。
【００２６】図７は、上述の圧電駆動体の製造方法を示
す図であって、図中符号２０は、圧電振動板で、ペース
ト状の圧電材料層の長手方向中間部に導電層を積層し
て、先端側の一半に活性領域が、また後端側を不活性領
域とするように焼結により成形され、また各導電層と接
続する電極が形成され、前述の図２に示したのと同一の
断面構造となるように構成されている（I）。
す図であって、図中符号２０は、圧電振動板で、ペース
ト状の圧電材料層の長手方向中間部に導電層を積層し
て、先端側の一半に活性領域が、また後端側を不活性領
域とするように焼結により成形され、また各導電層と接
続する電極が形成され、前述の図２に示したのと同一の
断面構造となるように構成されている（I）。
【００２７】５０は、前述の基台で、セラミック等の比
較的強度の大きな材料からなる所定の厚みの板のほぼ中
央に溝５１を形成して、後端側に圧電振動子の固定領域
５０ａを、また先端側に圧電振動子２、２、２‥‥に当
接して圧電振動子２、２、２を支持する支持部５０ｂを
形成するとともに、ダミー振動子９、９と圧電振動子
２、２、２‥‥との境界には、前記溝５１と直交する溝
５３、５４を形成してダミー振動子固定領域５０ｃ、５
０ｄが形成されている（II）。
較的強度の大きな材料からなる所定の厚みの板のほぼ中
央に溝５１を形成して、後端側に圧電振動子の固定領域
５０ａを、また先端側に圧電振動子２、２、２‥‥に当
接して圧電振動子２、２、２を支持する支持部５０ｂを
形成するとともに、ダミー振動子９、９と圧電振動子
２、２、２‥‥との境界には、前記溝５１と直交する溝
５３、５４を形成してダミー振動子固定領域５０ｃ、５
０ｄが形成されている（II）。
【００２８】圧電プレート２０の不活性領域２ｂ、及び
その両側部を接着剤等により固定領域５０ａ、５０ｃ、
５０ｃ、５０ｄ、５０ｄに固定すると、歯割りした際に
圧電振動子２、２、２‥‥の活性領域だけが支持部５０
ｂに当接し、また他の領域が全て固定基板５０に固定さ
れることになる。なお、ダミー振動子９、９と圧電振動
子２、２、２‥‥との境界が溝５３、５４により分離さ
れているため、ダミー振動子９、９を固定する接着剤が
圧電振動子２、２、２‥‥の活性領域２ｃに流れ込むの
が防止できる（III）。
その両側部を接着剤等により固定領域５０ａ、５０ｃ、
５０ｃ、５０ｄ、５０ｄに固定すると、歯割りした際に
圧電振動子２、２、２‥‥の活性領域だけが支持部５０
ｂに当接し、また他の領域が全て固定基板５０に固定さ
れることになる。なお、ダミー振動子９、９と圧電振動
子２、２、２‥‥との境界が溝５３、５４により分離さ
れているため、ダミー振動子９、９を固定する接着剤が
圧電振動子２、２、２‥‥の活性領域２ｃに流れ込むの
が防止できる（III）。
【００２９】この状態で圧電プレート２０の表面に平行
にワイヤソウをあてがい、両端には比較的幅広いダミー
振動子９、９を形成する一方、これの内側には圧力発生
室を膨張収縮させるのに適した０．１４ミリ程度の一定
ピッチで歯割りする（IV）。
にワイヤソウをあてがい、両端には比較的幅広いダミー
振動子９、９を形成する一方、これの内側には圧力発生
室を膨張収縮させるのに適した０．１４ミリ程度の一定
ピッチで歯割りする（IV）。
【００３０】この実施例によれば、両側のダミー振動子
９、９がその大部分を固定基板５０に固定されているた
めに強度が大きく、しかも圧電振動子２、２、２の活性
領域がほとんど支持部５０ｂに支持されることとあいま
って、組み立て作業時における圧電振動子２、２、２‥
‥の折損を確実に防ぐことができ、さらには固定基板と
なる板材に３本の溝を形成するだけよいから、加工作業
の簡素化を図ることができる。
９、９がその大部分を固定基板５０に固定されているた
めに強度が大きく、しかも圧電振動子２、２、２の活性
領域がほとんど支持部５０ｂに支持されることとあいま
って、組み立て作業時における圧電振動子２、２、２‥
‥の折損を確実に防ぐことができ、さらには固定基板と
なる板材に３本の溝を形成するだけよいから、加工作業
の簡素化を図ることができる。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
圧電振動板の歯割りにより圧電振動子を構成する際にも
破損を防止でき、また圧電振動子の反りを防止して、圧
電振動子の先端を流路ユニットの規定の位置に確実に固
定することができる。
圧電振動板の歯割りにより圧電振動子を構成する際にも
破損を防止でき、また圧電振動子の反りを防止して、圧
電振動子の先端を流路ユニットの規定の位置に確実に固
定することができる。
【図１】本発明の圧電駆動体の一実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】圧電プレート、及び圧電振動子の電極構造を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】同上圧電駆動体の製造方法を示す図である。
【図４】フレームへの挿入工程を示す図である。
【図５】同上圧電駆動体を使用したインクジェット式記
録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
【図６】本発明の圧電駆動体の他の一実施例を示す図で
ある。
ある。
【図７】同上圧電駆動体の製造方法を示す図である。
１ 固定基板
１ａ 固定領域
１ｂ 支持部
２ 圧電振動子
３、４ 導電層
７、８ 電極層
９ ダミー振動子
１０ フレキシブルケーブル
２０ 圧電プレート
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−235041（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
B41J 2/16
H01L 41/083
H01L 41/09
Claims (6)
- 【請求項１】 変位方向の先端部分、及び後端部分が不
活性領域に、また他の領域を変位可能な活性領域となる
ように圧電材料と導電材料を交互に積層して構成された
圧電振動子と、前記活性領域の一部を摺動可能に支持
し、かつ前記後端部分の不活性領域を固定する固定基板
とからなるインクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動
体。 - 【請求項２】 前記圧電振動子が、先端部分、及び後端
部分に不活性領域を有し、また他の領域に変位可能な活
性領域を有するように圧電材料と導電材料を交互に積層
して構成された圧電プレートを、複数の領域に歯割して
形成されている請求項１のインクジェット式記録ヘッド
用の圧電駆動体。 - 【請求項３】 前記固定基板が、前記圧電振動子と対向
する側に、前記圧電振動子の活性領域の一部と当接する
支持部が形成されている請求項１のインクジェット式記
録ヘッド用の圧電駆動体。 - 【請求項４】 前記固定基板の、前記圧電振動子の活性
領域と不活性領域との境界に対向する部分に溝が形成さ
れている請求項１のインクジェット記録式ヘッド用の圧
電駆動体。 - 【請求項５】 前記圧電振動子が前記固定基板に複数列
状に固定され、前記圧電振動子の列の両側にダミーの圧
電振動子が固定されている請求項１のインクジェット式
記録ヘッド用の圧電駆動体。 - 【請求項６】 前記ダミーの圧電振動子は、前記固定基
板に複数の領域で固定されている請求項５のインクジェ
ット式記録ヘッド用の圧電駆動体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24851994A JP3389938B2 (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | インクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24851994A JP3389938B2 (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | インクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0885215A JPH0885215A (ja) | 1996-04-02 |
| JP3389938B2 true JP3389938B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=17179400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24851994A Expired - Fee Related JP3389938B2 (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | インクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3389938B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5827044B2 (ja) * | 2011-06-28 | 2015-12-02 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
-
1994
- 1994-09-16 JP JP24851994A patent/JP3389938B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0885215A (ja) | 1996-04-02 |
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