JP3382168B2

JP3382168B2 - 搬送システム

Info

Publication number: JP3382168B2
Application number: JP36307698A
Authority: JP
Inventors: 典昭吉川; 輝美六車
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-12-21
Filing date: 1998-12-21
Publication date: 2003-03-04
Anticipated expiration: 2018-12-21
Also published as: JP2000187513A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体デバ
イスや液晶表示装置等を製造するクリーンルーム等の構
内搬送システムに関するもので、特に、床を走行する搬
送車を使用するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体デバイスや液晶表示基板等
を製造するクリーンルームでは、製造装置間の製品搬送
に、工程自動搬送車（ＡＧＶ）等の自走式のロボット付
搬送車が使用されている。

【０００３】このような製造ラインにおいては、例え
ば、製造ラインの立ち上げ時や設備トラブル時などにし
ばしば搬送車の走行領域に作業者が入り込むことがあ
り、作業者の安全確保のために、搬送車と作業者との衝
突防止対策が必要となる。

【０００４】図９は、従来の搬送システムを示す説明図
である。同図において、搬送車３は、半導体製造装置６
近傍の床７上を走行するものであり、半導体ウェハ１を
運搬するための半導体ウェハ運搬治具２を有していると
ともに、障害物（作業者）５が搬送車３に接近したこと
を検知する近接センサ４を備えている。

【０００５】このような従来の搬送システムにおいて
は、近接センサ４によって、近くの障害物（作業者）５
を検出し、作業者５が搬送車３に接近したときには、搬
送車３が減速、停止する安全策が講じられている。

【０００６】また、他の安全策として、人と搬送車とが
混在するようなときには、作業者が搬送車に近づくこと
を前提として、搬送車の走行速度を常に作業者の歩行速
度程度に制限している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の安全策では、搬送車３の走行速度を速くし
て、搬送能力を向上させることが困難であった。

【０００８】すなわち、搬送車３が接近センサ４により
障害物（作業者）５を検出する方法においては、搬送車
３の走行速度が速くなるに従って、停止までの制動距離
が長くなることから、衝突を避けるためには、より遠く
の障害物（作業者）５を検出して減速、停止処置を講ず
る必要がある。

【０００９】ところが、遠くの障害物まで検知するよう
にすると、前を走る他の搬送車や走行領域近傍の壁など
を検知してしまい、誤動作の確率が高くなるという問題
があった。すなわち、前述した近接センサ４の検出範囲
を拡大した場合に、図９に示すように、例えば２台の搬
送車３，３’が前後に並んで走行しているときには、こ
れらの搬送車３，３’に備えられた近接センサ４が、お
互いに相手の搬送車を検知してしまい、両者が減速或い
は停止することとなり、実際上、高速走行が不可能とな
ることもある。

【００１０】また、このような近接センサ４に替えて、
障害物との接触を検出する接触検出センサを各搬送車３
に取り付けた場合には、搬送車３は、高速走行中に接触
を検知した後に停止することとなるため、衝突の衝撃は
大きく実際上安全装置として機能しないことから、やは
り搬送車３を高速運転することは困難である。

【００１１】一方、搬送車３の走行速度が作業者５の歩
行速度程度に制限する方法においても、当然、高速搬送
は不可能である。

【００１２】そこで、本発明は上記事情に鑑みて成され
たものであり、その目的は、例えば半導体デバイス等を
製造するクリーンルーム等に設けられる搬送システムに
おいて、クリーンルーム等の構内にいる作業者等の安全
を確保しつつ、搬送車の走行速度を速くすることによっ
て、搬送効率を向上させることのできる搬送システムを
提案するものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本願請求項１に係る発明は、所定の走行領域内を走
行する搬送車と、走行領域内における障害物の有無を管
理する管理手段とからなり、前記搬送車は、前記管理手
段からの情報に従って、前記障害物が前記走行領域内に
存在する場合には低速走行し、該障害物が存在しない場
合には高速走行し、且つ、前記搬送車は、前記走行領域
内の障害物を検出する検出手段を有するとともに、この
検出手段による検出結果に応じて走行速度を調節し、前
記管理手段からの情報に従って、前記走行領域内に障害
物が存在するときには該検出手段を動作させ、該走行領
域内に障害物が存在しないときには該検出手段を動作さ
せないことを特徴とするものである。

【００１４】ここで、「障害物の有無を管理する管理手
段」とは、例えば、走行領域へ入ることを登録する登録
入力装置や、データキャリアと電磁結合式通信手段とに
よる無線通信手段によって作業者の入退室を管理する方
式等が挙げられる。

【００１５】従来の搬送システムでは、障害物（作業
者）が走行領域に存在するか否かを認識することができ
なかったため基本的には低速運転しかできなかったが、
請求項１に係る発明によれば、作業者がいない場合、搬
送車を高速運転することで大幅に搬送効率が向上させる
ことができ、また、作業者がいる場合には、低速運転を
することで作業者の安全を確保することができる。

【００１６】

【００１７】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
係る搬送システムにおいて、前記検出手段を動作させた
場合に、前記搬送車に前記障害物が接近した時には、該
搬送車は減速若しくは停止するものである。

【００１８】さらに、請求項３に係る発明は、請求項１
に係る搬送システムにおいて、前記検出手段を動作させ
た場合に、前記搬送車に前記障害物が接近した時には、
該搬送車は、進路の変更、搬送作業の順序変更、又は搬
送物の移載動作の停止等の動作を行うものである。

【００１９】上記発明によれば、障害物（作業者）が走
行領域にいる場合にのみ、障害物を検出する検出手段を
動作させることで、より信頼性の高い障害物関知センサ
の関知レベルの設定ができる。また、作業者がいない場
合には、検出手段を無効とすることで、搬送車相互の障
害物関知等の誤動作による、搬送車の不要な減速、停止
等の搬送効率低下を防止することができ、搬送効率の向
上を図ることができる。

【００２０】請求項４に係る発明は、請求項１乃至３に
係る搬送システムにおいて、前記管理手段は、前記走行
領域内における前記障害物の位置を検知する検知手段を
有し、前記情報には該障害物の位置に関する情報が含ま
れることを特徴とする。

【００２１】ここで、「障害物の位置を検出する検知手
段」としては、例えば、カメラ等の撮像手段で撮影され
た被写体の形状から所定の障害物の位置を特定するもの
や、赤外線によるエリアセンサ、超音波センサ、電磁波
に共振する共振子の反応により障害物の位置を特定する
もの、自動搬送車の走行領域を複数に区分し、この区分
毎にセンサを設け区分単位で障害物を検出する方式等が
挙げられる。

【００２２】このような請求項４に係る発明によれば、
障害物の位置をも管理手段で識別することによって、障
害物と搬送車の相対位置関係を把握することができ、状
況に応じた適切な制御を行うことができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】［第１の実施形態］（搬送システムの構成）以下、この発明に関わるクリー
ンルーム内の搬送システムの第１実施形態について説明
する。図１は、本実施形態に係る搬送システム１００の
全体構成を示す概略図である。

【００２４】同図において、搬送システム１００は、例
えば半導体デバイス等の製造システム内に設けられた走
行領域１４内を走行する自動搬送車３と、走行領域１４
内における作業者（障害物）５の有無を管理するととも
に自動搬送車３を制御するシステム制御装置１２とから
概略構成されるものである。

【００２５】走行領域１４は、半導体製造装置６の製造
ライン近傍に延設されるものであり、ゲート９によって
これへの入室・退室が制限されている。このゲート９
は、ゲート制御装置１３によって開閉されるものであ
り、ゲート制御装置１３には、作業者５が所持するＩＤ
データキャリア１０と、例えば電磁結合式通信等によっ
て無線交信することにより作業者５の作業者ＩＤを取得
する作業者検知装置１１が接続されている。なお、この
作業者検知装置１１は例えばゲート９の外側に設けられ
る。

【００２６】自動搬送車３は、走行領域１４内の床７上
を自走して、半導体ウェハ１を半導体製造装置６に対し
て自動搬送するものであり、その上部に設けられた半導
体ウェハ運搬治具２に半導体ウェハ１を収納する。

【００２７】また、この自動搬送車３は、その前後及び
左右に、作業者を検知する障害物検知センサ４を備えて
いるとともに、システム制御装置１２からの制御信号を
受信する受信手段３ａが設けられている。障害物検知セ
ンサ４は、作業者５が自動搬送車３に接近したのを検知
するものであり、半径約２ｍ以内の障害物を検知するも
のである。この障害物検知センサ４は、システム制御装
置１２からの制御信号に基づいて、自動搬送車３に備え
られたマイコン等の制御手段（図示せず）により、その
動作のＯＮ／ＯＦＦが切り替えられるようになってい
る。

【００２８】前記システム制御装置１２は、走行領域１
４内を走行する複数の自動搬送車３を総合的にコントロ
ールするものであるとともに、作業者５の走行領域１４
内への入退室を管理するものである。すなわち、システ
ム制御装置１２には、各自動搬送車３の動作を制御する
ための制御信号を送信する送信手段８が備えられている
とともに、前述したゲート９の開閉を制御するゲート制
御装置１３が接続されている。

【００２９】（搬送システムの動作）このような構成の
搬送システム１００の動作について説明する。本実施形
態に係る自動搬送車３は、障害物検知センサ４による検
出結果に応じて走行速度を調節するとともに、システム
制御装置１２から送信される制御信号に従って、障害物
検知センサ４のＯＮ／ＯＦＦを切り替える。

【００３０】具体的には、走行領域１４内に作業者５が
いない場合には、自動搬送車３は、秒速１ｍ以上の高速
運転をしており、この高速運転をしている間は、障害物
検知センサ４（図示せず）はＯＦＦとなっている。

【００３１】そして、作業者５が、自動搬送車３の走行
領域１４内に入ろうとすると、作業者検知装置１１が作
業者５の作業者ＩＤデータキャリア１０と無線交信し、
作業者ＩＤを取得するとともに、ゲート制御装置１３は
作業者検知装置１１が取得したＩＤをシステム制御装置
１２に送出する。

【００３２】システム制御装置１２は、送出された作業
者５の作業者ＩＤと、システム制御装置１２内に格納さ
れている入室可能な作業者ＩＤデータとを照合し、入室
可能な作業者ＩＤであれば、ゲート制御装置１３にゲー
ト開放の許可を与えるとともに、自動搬送車３の最高走
行速度を秒速１ｍ以下にし、障害物検知センサ４（図示
せず）をＯＮとする。一方、入室可能でない作業者ＩＤ
であるときは、ゲート開放の許可は出さず、例えば、入
室拒否の警告等をゲート制御装置１３に行わせる。

【００３３】そして、ゲート制御装置１３は、システム
制御装置１２の指令に基づいて、ゲート９を開放し、作
業者５を走行領域１４に入室させる。作業者５が自動搬
送車３の走行領域１４にいる間は、自動搬送車３の最高
走行速度が１ｍ以下で、障害物検知センサ４（図示せ
ず）もＯＮとなっているため、この障害物検知センサ４
で自動搬送車３に作業者５が接近するのを検知し、これ
に応じて減速或いは停止することによって、自動搬送車
３と作業者５の衝突は防止される。

【００３４】その後、作業者５が自動搬送車３の走行領
域から退去する場合には、作業者検知装置１１が、作業
者５のＩＤデータキャリア１０と無線交信し、ゲート９
を開放し、走行領域１４から作業者５を退室させ、シス
テム制御装置１２に作業者５が退室したことを通知す
る。

【００３５】システム制御装置１２は、作業者５が走行
領域１４内に存在しないことを判別すると、自動搬送車
３を秒速１ｍ以上の高速運転に切り替え、作業者を検知
する障害物検知センサ４もＯＦＦとして効率的な運転モ
ードに切り換える。

【００３６】このような本実施形態に係る搬送システム
１００によれば、作業者５が自動搬送車３の走行領域１
４内に存在しないときには、自動搬送車３の走行速度を
高速とするとともに、自動搬送車３の障害物検知センサ
４をＯＦＦとして、効率的運転モードに切り換える。こ
れにより、障害物検知センサ４の誤動作による自動搬送
車３が減速、停止するのを回避して、搬送効率を向上さ
せることができる。

【００３７】一方、作業者５が自動搬送車３の走行領域
１４内に存在するときには、自動搬送車３の走行速度を
減速させるとともに、自動搬送車３の障害物検知センサ
４をＯＮとして、安全運転モードに切り換えることとに
より、自動搬送車３と作業者５との衝突を防止すること
ができる。

【００３８】また、本実施形態に係る搬送システム１０
０では、作業者５の認識を、電磁結合式データキャリア
との無線通信で行うことによって、広範囲の作業者５を
感知することが可能となり、より信頼性の高い、作業者
５の立ち入りを管理することができる。特に、搬送シス
テム１００では、作業者ＩＤで入室管理することで、走
行領域１４への入室者の判別が可能となるとともに、作
業者ＩＤを登録制とすることで、不正な入室や、作業訓
練されていないものの入室を行わせないなど、入室許可
判定を作業者のレベルに応じて個別的に実施することが
できる。

【００３９】（搬送システムの制御フロー）次に、上述
したような搬送システム１００の動作を制御するための
制御プログラムについて説明する。図２は、かかる制御
プログラムのフローチャートを示すものである。なお、
この制御プログラムは、入室登録用のフローと、搬送車
制御用のフローとから構成され、これらのフローはＤＡ
ＴＡ１，２を送受することによって連動するものであ
る。

【００４０】先ず、入室登録用のフロー（Ｓ３０１）に
おいて、入室要求の有無について判断する（Ｓ３０
２）。入室要求がなければその旨の内容を含むＤＡＴＡ
１を搬送車制御用フロー側に送出する。

【００４１】一方、入室要求があれば、作業者ＩＤの入
力を待って（Ｓ３０３）、入室可能な作業者であるか否
かについての照合を行う（Ｓ３０４）。入室可能でない
場合は、再度作業者ＩＤの入力を要求し（Ｓ３０３）、
入室可能である場合は、ゲート９を開放し、作業者５の
入室を確認した後、ゲート９を閉鎖する（Ｓ３０５）と
ともに、作業者入室中（安全運転）モードをＯＮとする
（Ｓ３０６）とともに、その旨の内容を含むＤＡＴＡ１
を搬送車制御用フロー側に送出する。

【００４２】搬送車制御用フローでは、入室登録用フロ
ーから送出されてきたＤＡＴＡ１の内容を判別すること
により、作業者が入室中であるか否かを判断する（Ｓ３
０８）。

【００４３】作業者入室中と判断した場合は、自動搬送
車３の走行速度を低速とする（Ｓ３０９）とともに、障
害物検知センサ４をＯＮとして（Ｓ３１０）、作業者入
室中モードを実行する。一方、作業者が入室中でないと
判断した場合は、自動搬送車３の速度を高速とする（Ｓ
３１１）とともに、障害物検知センサ４をＯＦＦとして
（Ｓ３１２）、効率的搬送モードを実行する。そして、
現在いずれのモードを実行中であるかの内容を含むＤＡ
ＴＡ２を入室登録用フローに送出する。

【００４４】（第１実施形態の変更例）なお、上述した
実施形態では、作業者５の走行領域１４への入退室を、
作業者５が所持するＩＤデータキャリア１０と、これと
無線交信する作業者検知装置１１とによって管理した
が、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、
これらのＩＤデータキャリア１０や作業者検知装置１１
に替えて、図３に示すような、作業者５が所持する磁気
式ＩＤカード２２と、これを識別する登録入力装置２１
とを用いることができる。

【００４５】すなわち、作業者５が走行領域１４に入る
場合、作業者５は、ゲート９の外側に設けられた登録入
力装置２２に磁気式ＩＤカード２２を挿入する。この登
録入力装置２１は、磁気式ＩＤカード２２から作業者５
の作業者ＩＤを取得し、これをゲート制御装置１３を介
してシステム制御装置１２に通知する。システム制御装
置１２は、通知された作業者５の作業者ＩＤが入室可能
な作業者のＩＤであるか否かを照合し、入室可能な作業
者のものであれば、ゲート制御装置１３にゲート９の開
放を許可する。また、入室可能でない作業者のものであ
るときには、ゲートの開放は許可しない。なお、その後
の自動搬送車３等の制御は上述した実施形態と同様であ
る。

【００４６】［第２の実施形態］次いで、本発明の第２
の実施形態について説明する。図４は、本実施形態に係
る搬送システム２００の全体構成を示す概略図である。

【００４７】同図において、搬送システム２００は、上
述した第１実施形態におけるシステム制御装置１２が、
作業者５の位置を検知する手段を備えていることを特徴
とする。すなわち、本実施形態に係る搬送システム２０
０では、自動搬送車３の走行領域の天井４７にカメラ４
１〜４３を設け、システム制御装置１２は、これらカメ
ラ４１〜４３によって自動搬送車３以外の障害物である
作業者５の位置を認識する。

【００４８】カメラ４１〜４３は、自動搬送車３の走行
領域１４の天井４７に取り付けられており、各カメラ４
１〜４３の認識範囲は、図中点線で示すカメラ認識範囲
４４〜４６である。図５（ａ）は、カメラ４１〜４３の
いずれかが捉えた被写体の映像を示すものである。

【００４９】この撮影された映像はシステム制御装置１
２に対して送出される。システム制御装置１２は、被写
体の形状を識別することによって、この被写体が自動搬
送車３であるか或いは自動搬送車３以外の障害物である
かを認識する。詳述すると、システム制御装置１２に
は、図５（ｂ）に示すような自動搬送車３の形状に関す
るデータが予め記憶されており、このデータと、図５
（ａ）に示すようなカメラ４１〜４３が捉える映像とを
比較することで、被写体が自動搬送車３であるか、自動
搬送車３以外の障害物であるかを判別する。

【００５０】これにより、システム制御装置１２は、走
行領域１４内に自動搬送車３以外の障害物が侵入したこ
とを認識することができる。また、カメラ４１〜４３の
うちいずれのカメラが作業者５を撮影したかを識別し、
さらに、カメラが捉えた映像のどの位置に侵入者が存在
するかを識別することによって侵入者の位置を特定する
ことができる。そして、システム制御装置１２は、送信
手段８を介して、作業者５の位置に関する情報を自動搬
送車３に送信し、作業者５が自動搬送車３に近づいたと
きには、徐行若しくは停止させる。

【００５１】このような本実施形態の搬送システム２０
０によれば、カメラ４１〜４３が自動搬送車３以外の障
害物である作業者５を確実に認識することができ、走行
領域１４内に作業者５が存在するときのみ、作業者５に
対する自動搬送車３の走行速度の制限を行うことができ
る。そのため、自動搬送車３の近くに作業者５が存在し
ないときには、自動搬送車３の走行速度を高速化するこ
とができ、搬送量の増大や搬送時間の短縮といった搬送
効率の向上が可能になる。

【００５２】［第３の実施形態］次いで、本発明の第３
の実施形態について説明する。図６は、本実施形態に係
る搬送システム３００の全体構成を示す概略図である。
この搬送システム３００は、自動搬送車３’等と作業者
５との相対距離を自動搬送車３’等が自ら検出すること
を特徴とする。

【００５３】すなわち、同図において、搬送システム３
００では、作業者５に共振子１２を所持させるととも
に、自動搬送車３’及び３”にはそれぞれ電磁発信機６
４，６５が設けられており、各電波発信機６４，６５の
検知範囲６１，６２内に作業者５が存在することを検知
する。そして、自動搬送車３’又は３”は、作業者５に
近づき、作業者５が所持する共振子１２を検知すると、
徐行若しくは停止する。

【００５４】本実施形態の搬送システムによれば、電波
発信器６４，６５が取り付けられた自動搬送車３’、
３”は、作業者５が所持する共振子６３を確実に認識す
ることができ、電磁発信器６４，６５が共振子６３を認
識したときのみ、作業者５に対する自動搬送車３の走行
速度の制限を行うことができる。

【００５５】そのため、自動搬送車３の近くに作業者５
が存在しないときには、自動搬送車３の走行速度を高速
化することができ、搬送量の増大や搬送時間の短縮とい
った搬送効率の向上が可能となる。また、従来の近接セ
ンサ方式よりも、より安全で確実に作業者５の検出が行
える。さらに、自動搬送車３自身が侵入者或いは侵入物
の接近を検知するため、搬送車の走行制御は容易にな
る。

【００５６】［第４の実施形態］次いで、本発明の第４
の実施形態について説明する。図７は、本実施形態に係
る搬送システム４００の全体構成を示す概略図であり、
図８は、搬送システム４００による障害物の位置検出に
ついて説明する説明図である。この搬送システム４００
では、自動搬送車３の走行領域１４を複数のエリア１〜
３に区分し、これらのエリア毎に障害物の有無を検知す
るとともに、各自動搬送車３と作業者５との相対位置関
係を管理することを特徴とする。

【００５７】同図において、搬送システム４００では、
上述した第１実施形態におけるシステム制御装置１２
が、作業者５の位置をエリア毎に検知する検知手段を備
えている。具体的には、本実施形態に係る搬送システム
４００は、自動搬送車３の走行領域１４の天井に設けら
れた磁気発信器７１〜７３と、作業者５に取り付けられ
た共振子７７とにより、作業者５の位置を特定する。

【００５８】磁気発信器７１〜７３それぞれの認識範囲
は、各エリア１〜３、すなわち図中点線で示す磁気発信
器認識範囲７４〜７６であり、各磁気発信器７１〜７３
による検知結果は、システム制御装置１２に送出され
る。システム制御装置１２は、この磁気発信器７１〜７
３からの検知結果に基づいて、各自動搬送車３の速度を
制御する。詳述すると、図８に示すように、作業者５が
走行領域１４に侵入したとき、磁気発信器７１〜７３の
いずれかが作業者５が所持する共振子７７を検知する。
いずれの磁気発信器が検知したかによって、作業者５の
位置を特定し、これに応じて作業者５の近くにいる自動
搬送車３の速度を制御する。

【００５９】具体的には、複数のエリア１〜３にそれぞ
れ設けられた磁気発信器７１〜７３によって作業者５が
所持する共振子７７を検知し、この検知結果をシステム
制御装置１２のエリア別搬送車速度決定部８３に送出す
る。このエリア別搬送車速度決定部８３では、作業者５
の近くを走行中の自動搬送車３の走行速度を決定する。
このエリア別搬送車速度決定部８３が決定した走行速度
は、搬送車位置認識部８１が把握する自動搬送車３の位
置に応じて、搬送車速度司令部８２が自動搬送車３に指
令する。

【００６０】図示した例では、エリア３に属する磁気発
信器７３が作業者５が所持する共振子７７を検知し、エ
リア別搬送車速度決定部８３は、エリア３に隣接するエ
リア２を走行中の自動搬送車３の走行速度を決定する。
ここでは、エリア１を高速走行領域とし、エリア２を減
速領域とするとともに、エリア３を徐行（停止）領域に
設定する。そして、このエリア別搬送車速度決定部８３
が決定した走行速度は、搬送車速度司令部８２により、
エリア２を走行中の自動搬送車３に送信される。

【００６１】本実施形態の搬送４００によれば、作業者
５と、自動搬送車３の相対位置から搬送車の走行速度が
決定され、作業者５と自動搬送車３とが近づいたときに
は減速や徐行（停止）することから、状況に応じて適切
に自動搬送車３の速度を決定することができ、作業者５
の安全がより確実に確保される。また、作業者５と自動
搬送車３とが離れているときには、自動搬送車３の走行
速度を高速化することができ、搬送量の増大や搬送時間
の短縮といった搬送効率の向上が可能となる。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の搬送シス
テムによれば、例えば半導体デバイス等を製造するクリ
ーンルーム等に設けられる搬送システムにおいて、クリ
ーンルーム等の構内にいる作業者等の安全を確保しつ
つ、搬送車の走行速度を速くすることによって、搬送効
率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る搬送システムを
示す概略図である。

【図２】本発明の第１の実施形態に係る搬送システムの
動作を示すフローチャート図である。

【図３】本発明の第１の実施形態に係る搬送システムの
変更例を示す概略図である。

【図４】本発明の第２の実施形態に係る搬送システムを
示す概略図である。

【図５】本発明の第２の実施形態に係る搬送システムに
おける被写体の形状を認識する動作を説明する説明図で
あり、（ａ）は被写体を撮影した映像であり、（ｂ）は
制御装置に記憶されたデータを示すものである。

【図６】本発明の第３の実施形態に係る搬送システムを
示す概略図である。

【図７】本発明の第４の実施形態に係る搬送システムを
示す概略図である。

【図８】本発明の第４の実施形態に係る搬送システムの
動作を示す説明図である。

【図９】従来の搬送システムの動作を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１…半導体ウェハ、２…半導体ウェハ運搬治具、３…自
動搬送車、４…近接センサ、５…作業者（障害物）、６
…半導体製造装置、７…床、８…送信手段、９…ゲー
ト、１０…ＩＤデータキャリア、１１…作業者検知装
置、１２…制御装置、１３…ゲート制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平３−163607（ＪＰ，Ａ) 特開平７−210245（ＪＰ，Ａ) 特開平４−310107（ＪＰ，Ａ) 特開平１−253010（ＪＰ，Ａ) 特開平２−68608（ＪＰ，Ａ) 特開平３−276212（ＪＰ，Ａ) 特開平４−98406（ＪＰ，Ａ) 実開昭62−179612（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 1/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の走行領域内を走行する搬送車と、前記走行領域内における障害物の有無を管理する管理手
段とからなり、前記搬送車は、前記管理手段からの情報に従って、前記
障害物が前記走行領域内に存在する場合には低速走行
し、該障害物が存在しない場合には高速走行し、且つ、
前記搬送車は、前記走行領域内の障害物を検出する検出
手段を有するとともに、この検出手段による検出結果に
応じて走行速度を調節し、前記管理手段からの情報に従
って、前記走行領域内に障害物が存在するときには該検
出手段を動作させ、該走行領域内に障害物が存在しない
ときには該検出手段を動作させないことを特徴とする搬
送システム。
【請求項２】請求項１に記載の搬送システムにおい
て、前記検出手段を動作させた場合に、前記搬送車に前記障
害物が接近した時には、該搬送車は減速若しくは停止す
ることを特徴とする搬送システム。
【請求項３】請求項１に記載の搬送システムにおい
て、前記検出手段を動作させた場合に、前記搬送車に前記障
害物が接近した時には、該搬送車は、進路の変更、搬送
作業の順序変更、又は搬送物の移載動作の停止等の動作
を行うことを特徴とする搬送システム。
【請求項４】請求項１乃至３に記載の搬送システムに
おいて、前記管理手段は、前記走行領域内における前記障害物の
位置を検知する検知手段を有し、前記情報には該障害物
の位置に関する情報が含まれることを特徴とする搬送シ
ステム。