JP3379380B2 - 高強度・高導電性銅合金 - Google Patents

高強度・高導電性銅合金

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【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体機器のリー
ド材,端子,コネクタ等に使用される高強度・高導電性
銅合金に関し、特に、低コストで、42合金とほぼ同等
の強度を有しながら、導電率が50%IACS以上の高
強度・高導電性銅合金に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体装置のリード材には、鉄系
では42合金、銅合金ではコルソン系と称するCu−N
i−Si系合金,Cu−Sn系合金あるいはCu−Cr
系合金が使用されている。銅系材料は鉄系材料に比べて
高導電性であるため、熱放散性に優れるという特徴を有
しているが、比較的強度が低かったため強度を高める組
成が開発されてきた。これは、特に、最近200ピンを
超えるようなLSI(Large Scale Integrated Circui
t)パッケージが製造されるようになり、リード材をよ
り薄く、インナーリード,アウターリードの幅はより狭
くという傾向が強く現れてくるようになり、リードその
ものの強度が重要視されてきたからである。
【0003】近年のIC(Integrated Circuit)やLS
Iの高集積化,高速化の潮流は当然のことながら半導体
チップの発熱量の増大を促すこととなり、現在、半導体
パッケージの合理的な放熱が課題の一つとなっている。
半導体パッケージの放熱経路としては、絶縁モールドを
通しての放散や、積極的にヒートシンクを付けるといっ
た方法のほか、リード材を通した配線基板への放熱も考
えられる。
【0004】この場合、リード材の材質自体の熱伝導率
(導電率の値で置き換えることができる)が高いこと
が、直接、半導体パッケージの放熱性に影響してくるこ
とになる。この点に関し、従来の42合金は約3%IA
CS(International AnnealedCopper Standard)とい
う極めて低い導電率であり、半導体パッケージの設計
上、大きな問題となっている。従って、MOS−IC
(Metal Oxide Semiconductor Integrated Circuit)の
半導体パッケージでは鉄系から銅系への材質の転換が行
われており、より一層導電率の高い材料を指向する傾向
にある。この場合、銅系の材料に要求される特性として
は、一般的なリード材としての特性を持ち合わせている
こと、および、42合金とほぼ同等の強度を有すること
があげられる。このことから、現在は、主に、Cu−N
i−Si系,Cu−Sn系あるいはCu−Cr系の銅合
金が使用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
銅合金によると、Cu−Ni−Si系では導電率が50
%IACS程度、Cu−Sn系ではSnをCuに固溶さ
せて強度を上げているため30%IACS程度にしかな
らない。また、Cu−Cr系では導電率が70%IAC
S以上と高導電性を達成できるが、強度の点でやや不十
分であること、Crが難溶解材であること、および、耐
火材であるカーボンと反応しやすいことから溶解,鋳造
が難しく高コスト化するという問題がある。
【0006】
【発明の目的】従って、本発明の目的は、低コストで、
42合金とほぼ同等の強度を有しながら、導電率が50
%IACS以上の高強度・高導電性銅合金を提供するこ
とにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、FeとNiを合計で1〜4.5重量%、
Pを0.1〜0.8重量%含有してなる銅合金におい
て、FeとNiの重量%の合計がPの重量%の3〜10
倍であり、かつ、FeとNiのそれぞれの重量%の比が
Fe/Ni=0.8〜1.2の範囲にあることを特徴と
する高強度・高導電性銅合金を提供するものである。
【0008】また、本発明は、上記目的を達成するため
に、FeとNiを合計で1〜4.5重量%、Pを0.1
〜0.8重量%含有し、残部がCuからなる銅合金にお
いて、FeとNiの重量%の合計がPの重量%の3〜1
0倍であり、かつ、FeとNiのそれぞれの重量%の比
がFe/Ni=0.8〜1.2の範囲にあり、更に、Co、Sn、Mn、Ag、Cd、Pb、Zn:0.01〜1.0重量% Be、In、Te、Y:0.01〜0.5重量% Cr、Ti、Zr:0.01〜0.2重量% B:0.01〜0.1重量% の範囲 から選択した1種以上の元素を合計3重量%以下
の範囲で含有してなることを特徴とする高強度・高導電
性銅合金を提供するものである。
【0009】更に、本発明は、上記目的を達成するため
に、FeとNiを合計で1〜4.5重量%、Pを0.1
〜0.8重量%、Znを0.05〜2重量%含有してな
る銅合金の合金元素組成範囲で、FeとNiの重量%の
合計がPの重量%の3〜10倍であり、かつ、FeとN
iのそれぞれの重量%の比がFe/Ni=0.8〜1.
2の範囲にあることを特徴とする高強度・高導電性銅合
金を提供するものである。
【0010】以上に述べたように、本発明の第1の特徴
は、銅中にFe,Ni,Pをある特定の組成比で添加
し、強度と導電率を好ましい値に調整した点にある。
【0011】今までにも、例えば、特開平2−1943
3号公報には、リードフレーム用、電子装置用としてC
u−Ni−Fe−P系の銅合金が提案されている。しか
し、これらの銅合金では、Pが0.1%以下ではFeと
Niに基づく強度と導電率の向上が充分でなく、0.8
%以上では導電率が低下し、また、FeとNiの配合比
が1対1を外れると、強度と導電率の向上のバランスが
崩れ、更に、Ni,Fe,Pの配合比に関係なくはんだ
処理を施されたときは、はんだ耐候性が充分でないこと
が判明した。そこで、まず、銅中にFe,Ni,Pをあ
る特定の組成比で添加し、強度と導電率を好ましい値に
調整した。
【0012】まず、Fe,Ni,Pの組成範囲である
が、FeとNiはそれぞれPと共添されると燐化物を形
成し、銅の強度および導電率を向上させる。このとき、
FeとNiが合計で1%以下ではこの効果は小さく、ま
た4.5%以上ではその効果は飽和してしまう。この組
成範囲でFeとNiを熱処理し効果的に燐化物を形成さ
せるためには、0.1〜0.8%のPが必要となる。
0.1%以下では、燐化物の形成が不十分となり、0.
8%以上では、余剰のPが銅中に固溶し導電率を低下さ
せる。
【0013】更に、上記の組成範囲の中でFeとNiの
合計量とPの量との比率には最適範囲が存在しており、
FeとNiの重量%の合計がPの重量%の3〜10倍の
範囲であることが必要である。これが3倍以下ではPが
過剰となり、10倍以上ではFe,Niが過剰となり、
それぞれ導電率を害する結果となる。また、4〜6倍の
範囲にあればより好ましい特性が期待できる。
【0014】次に、Fe量とNi量の比率にも最適範囲
が存在する。FeとNiは強度と導電率に対し、同様の
効果を期待して添加するものであるが、Feを添加した
場合、強度向上に対する効果は少ないが導電率は高めの
ものが得られやすい。一方、Niは強度向上に効果は高
いがFeと比べると導電率は高めのものを得にくい。従
って、半導体機器のリード材としての強度と導電率の双
方において調和のとれた材料を設計しようとするとき、
FeとNiを合計で1〜4.5%の範囲でそれぞれ1対
1の配合比とすることが必要になる。実際の量産での溶
解,鋳造では、完全に1対1とすることはほとんど不可
能であるため、支障のないと思われる範囲として、本発
明ではFe/Ni=0.8〜1.2の配合比を設定し
た。この比率が0.8以下ではNiが過剰となって導電
率不足となり、1.2以上ではFeが過剰となって強度
不足となり調和のとれた材料を得ることができなくな
る。
【0015】また、本発明の第2の特徴は、上記元素に
加えてCo,Sn,Mn,Ag,Cd,Pb,Zn,B
e,In,Te,Y,Cr,Ti,Zr,Bの中から選
択される1種以上の元素を添加した点にある。
【0016】これらの元素のうち、Mn,Ag,Cd,
Znは脱酸、脱硫効果があり、酸素と結びつきやすいP
の含有量を算定させる効果や熱間加工性の改善効果が高
い。また、Co,Sn,Y,Cr,Ti,Zrは結晶粒
を微細化させ延性を改善する効果を持つとともに、固溶
硬化,析出硬化によって強度を向上させる効果が高い。
更に、Pb、Be、In、Te、Bは快削性の向上効果
が高く、リード材成形時のプレス加工性を改善する。こ
れらの元素は単独で添加しても有効であるが、その働き
に応じ2種以上を組み合わせて添加することにより、さ
らに有効な効果を期待することができる。
【0017】ただし、これらの添加元素は、過剰に添加
すると導電率の劣化を引き起こすという問題がある。ま
た、Cr、Ti等の難溶解材は添加量が多くなると鋳造
が難しくなる。そこでそれぞれ1元素あたりの添加量
を、Co,Sn,Mn,Ag,Cd,Pb,Znについ
ては0.01〜1.0重量%、Be,In,Te,Yに
ついては0.01〜0.5重量%、Cr,Ti,Zrに
ついては0.01〜0.2重量%、Bについては0.0
01〜0.1重量%とし、かつ、2種以上の元素を添加
する場合は、その合計量を3重量%以下にするよう添加
量の範囲を規定する。この範囲より少ない量では各元素
の添加効果を期待することが難しく、この範囲を超える
量では導電率の劣化をはじめとして、延性の低下、はん
だ付け性やめっき性の劣化等の悪影響が生じやすくな
る。
【0018】更に、本発明の第3の特徴は、Cu−Ni
−Fe−P系の銅合金に、Znをある特定の組成比で添
加し、はんだ耐候性を向上させるようにした点にある。
【0019】Znは、例えば、半導体装置のリード材が
基板にはんだ付けされ、ある温度で化学変化を受けてい
く過程ではんだが剥離する現象を防止する効果、いわゆ
る、はんだ耐候性を向上させる元素である。従って、Z
nは効果を及ぼす最小の添加量として0.05%以上と
し、導電性に悪影響を及ぼすため最大2%の範囲で添加
するようにした。
【0020】以上の各添加元素は、いずれも活性な元素
ではなく容易に溶解,鋳造が可能なものであるため、低
コストで供給が可能である。
【0021】
【実施例】[実施例1] 溶解原材料として、純銅、純鉄、純ニッケル,銅−燐母
合金および各副成分元素を用意して試料とし、これらの
試料を高周波溶解炉で木炭を被覆しながら所定の配合成
分となるように溶解,鋳造した。表1に試料の組成を示
す。
【表1】
【0022】次に、この鋳塊を2mmに板厚まで熱間圧
延した後、表面の酸化物を除去し、0.7mmまで冷間
圧延した。ここで、900℃で30分間加熱し水冷する
溶体化処理を行った。引き続き、500℃で1時間の時
効処理を行い、0.5mmまで再び冷間圧延を行い性能
試験に供した。この性能試験の結果を表2に示す。
【表2】
【0023】表2から明らかなように、本発明の銅合金
(No.1〜No.13)では導電率が50%IACS
以上、硬さも150Hv以上とバランスのとれた性能が
得られていることがわかる。一方、比較合金(No.1
4〜No.23)をみると、Fe/Ni比の小さいN
o.14では導電率が不足し、逆にFe/Ni比の大き
いNo.17,No.19では硬さが不足している。
(Fe+Ni)/P比では、これが小さいNo.15や
No.18、また逆に大きいNo.20は導電率が極め
て低い値となっている。更に、Fe+Niが5.0重量
%と高いNo.16はFe+NiとPの比を適切な値に
しても良好な特性は得られていない。No.21〜N
o.23は副成分の量が過剰であるが、いずれの場合も
導電率が低くなっている。
【0024】〔実施例2〕溶解原材料として、純銅、純
鉄、純ニッケル,銅−燐母合金を用意して試料とし、こ
れらの試料を高周波溶解炉で木炭を被覆しながら所定の
配合成分となるように溶解,鋳造した。表3に試料の組
成を示す。
【表3】
【0025】次に、この鋳塊を2mmの板厚まで熱間圧
延した後、表面の酸化物を除去し、0.7mmまで冷間
圧延した。ここで、900℃で30分間加熱し水冷する
溶体化処理を行った。引き続き、500℃で1時間の時
効処理を行い、0.5mmまで再び冷間圧延を行い性能
試験に供した。この性能試験の結果を表4に示す。
【表4】
【0026】表4から明らかなように、本発明の銅合金
(No.31〜No.33)では導電率が50%IAC
S以上、硬さも150Hv以上とバランスのとれた性能
が得られていることがわかる。一方、比較合金(No.
34〜No.41)をみると、Fe/Ni比の小さいN
o.34では導電率が不足し、逆にFe/Ni比の大き
いNo.39,No.41では硬さが不足している。
(Fe+Ni)/P比では、これが小さいNo.35や
No.38、また逆に大きいNo.40は導電率が極め
て低い値となっている。更に、Fe+Niが5.0重量
%と高いNo.36はFe+Ni/Pの比を適切な値に
しても良好な特性は得られておらず、Znを2.5%と
したNo.38では導電率が低くなっている。
【0027】なお、上記の実施例1および実施例2の製
造工程では、溶体化処理後直ちに時効処理する工程とな
っているが、両工程の間に冷間圧延を施しても良いし、
冷間圧延をはさんで2段の時効処理を行うようにしても
良い。
【0028】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の高強度・高
導電性銅合金によれば、FeとNiを合計で1〜4.5
重量%、Pを0.1〜0.8重量%含有してなる銅合金
において、FeとNiの重量%の合計をPの重量%の3
〜10倍とし、かつ、FeとNiのそれぞれの重量%の
比をFe/Ni=0.8〜1.2の範囲としたので、低
コストで、42合金とほぼ同等の強度を有しながら、導
電率が50%IACS以上の高強度・高導電性銅合金を
提供することができる。従って、42合金の代替合金と
して半導体装置用のリード材として使用することができ
る。その結果、ICやLSIの高速化,高集積化に大き
く寄与することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−331363(JP,A) 特開 平10−298680(JP,A) 特開 昭61−67738(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C22C 1/00 - 49/14 C22F 1/00 - 3/02 H01L 23/14

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】FeとNiを合計で1〜4.5重量%、P
    を0.1〜0.8重量%含有し、残部がCuからなる銅
    合金であって、 FeとNiの重量%の合計がPの重量%の3〜10倍で
    あり、かつ、FeとNiのそれぞれの重量%の比がFe
    /Ni=0.8〜1.2の範囲にあり、溶体化処理後に
    時効処理が施されていることを特徴とする高強度・高導
    電性銅合金。
  2. 【請求項2】FeとNiを合計で1〜4.5重量%、P
    を0.1〜0.8重量%、下記の中から選択した1種以
    上の元素を合計3重量%以下の範囲で含有し、残部がC
    uからなる銅合金であって、 FeとNiの重量%の合計がPの重量%の3〜10倍で
    あり、かつ、FeとNiのそれぞれの重量%の比がFe
    /Ni=0.8〜1.2の範囲にあり、溶体化処理後に
    時効処理が施されていることを特徴とする高強度・高導
    電性銅合金。 (記) Co:0.01〜1.0重量%、Sn:0.01〜1.
    0重量%、 Mn:0.01〜1.0重量%、Ag:0.01〜1.
    0重量%、 Cd:0.01〜1.0重量%、Pb:0.01〜1.
    0重量%、 Zn:0.01〜1.0重量%、Be:0.01〜0.
    5重量%、 In:0.01〜0.5重量%、Te:0.01〜0.
    5重量%、 Y:0.01〜0.5重量%、Cr:0.01〜0.2
    重量%、 Ti:0.01〜0.2重量%、Zr:0.01〜0.
    2重量%、B:0.01〜0.1重量%
  3. 【請求項3】FeとNiを合計で1〜4.5重量%、P
    を0.1〜0.8重量%、Znを0.05〜2重量%含
    有し、残部がCuからなる銅合金であって、FeとNi
    の重量%の合計がPの重量%の3〜10倍であり、か
    つ、FeとNiのそれぞれの重量%の比がFe/Ni=
    0.8〜1.2の範囲にあり、溶体化処理後に時効処理
    が施されていることを特徴とする高強度・高導電性銅合
    金。
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