JP3378378B2 - ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造 - Google Patents
ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、トランジスター又はI
Cの製造に際してワイヤボンディングを行うためのワイ
ヤボンディング装置において、ワイヤの切断等に際して
ワイヤをクランプするためのワイヤクランプ機構の構造
に関するものである。
Cの製造に際してワイヤボンディングを行うためのワイ
ヤボンディング装置において、ワイヤの切断等に際して
ワイヤをクランプするためのワイヤクランプ機構の構造
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、ワイヤボンディング装置による
ワイヤボンディングは、従来から良く知られているよう
に、ボンディングツールの一つであるところのキャピラ
リツールに挿通したワイヤの下端にボール部を形成し、
このボール部を前記キャピラリツールの下降動にて第1
ボンディング箇所に接合し、次いで、前記キャピラリツ
ールが第2ボンディング箇所に移動してワイヤの途中を
第2ボンディング箇所に接合し、そして、ワイヤをクラ
ンプ装置でクランプした状態で、前記キャピラリツール
をクランプ装置の一緒に上昇動することでワイヤを切断
すると言う方法で行われる。
ワイヤボンディングは、従来から良く知られているよう
に、ボンディングツールの一つであるところのキャピラ
リツールに挿通したワイヤの下端にボール部を形成し、
このボール部を前記キャピラリツールの下降動にて第1
ボンディング箇所に接合し、次いで、前記キャピラリツ
ールが第2ボンディング箇所に移動してワイヤの途中を
第2ボンディング箇所に接合し、そして、ワイヤをクラ
ンプ装置でクランプした状態で、前記キャピラリツール
をクランプ装置の一緒に上昇動することでワイヤを切断
すると言う方法で行われる。
【0003】この場合、従来のワイヤボンディング装置
においては、そのワイヤクランプ機構を、左右一対のク
ランパー体から成る鋏型にして、その一方のクランパー
体を、前記キャピラリツールが取付くホーンに対する支
持部材に取付ける一方、他方のクランパー体を、前記一
方のクランパー体に対してボールベアリングを介して回
動自在に枢着し、この他方のクランパー体を、両クラン
パー体の他端に設けた電磁石等にて、開閉回動するよう
に構成している。
においては、そのワイヤクランプ機構を、左右一対のク
ランパー体から成る鋏型にして、その一方のクランパー
体を、前記キャピラリツールが取付くホーンに対する支
持部材に取付ける一方、他方のクランパー体を、前記一
方のクランパー体に対してボールベアリングを介して回
動自在に枢着し、この他方のクランパー体を、両クラン
パー体の他端に設けた電磁石等にて、開閉回動するよう
に構成している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来における
ワイヤクランプ機構では、前記したように、一対のクラ
ンパー体のうち一方のクランパー体を固定し、この一方
のクランパー体に対して他方のクランパー体を、ボール
ベアリングにて回動自在に枢着し、この他方のクランパ
ー体を開閉回動するように構成しているが、前記他方の
クランパー体の回動角度は、1deg以下と言うよう
に、きわめて小さいことにより、前記ボールベアリング
における各ボールは、略同じ箇所で極く僅かに転動する
のみの状態になって、潤滑油切れが発生し易いから、他
方のクランパー体の開閉に作動不良が多発するばかり
か、磨耗が大きくて耐久性が低いと言う問題があった。
ワイヤクランプ機構では、前記したように、一対のクラ
ンパー体のうち一方のクランパー体を固定し、この一方
のクランパー体に対して他方のクランパー体を、ボール
ベアリングにて回動自在に枢着し、この他方のクランパ
ー体を開閉回動するように構成しているが、前記他方の
クランパー体の回動角度は、1deg以下と言うよう
に、きわめて小さいことにより、前記ボールベアリング
における各ボールは、略同じ箇所で極く僅かに転動する
のみの状態になって、潤滑油切れが発生し易いから、他
方のクランパー体の開閉に作動不良が多発するばかり
か、磨耗が大きくて耐久性が低いと言う問題があった。
【0005】また、ボールベアリングには微小なガタ付
きが存在することのために、他方のクランパー体の開閉
に作動不良が発生する場合があるばかりか、ボールベア
リングを使用するので、枢着部が大型化し、且つ、重量
が増大することが問題であった。本発明は、これら問題
を解消したワイヤクランプ機構を提供することを技術的
課題とするものである。
きが存在することのために、他方のクランパー体の開閉
に作動不良が発生する場合があるばかりか、ボールベア
リングを使用するので、枢着部が大型化し、且つ、重量
が増大することが問題であった。本発明は、これら問題
を解消したワイヤクランプ機構を提供することを技術的
課題とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「ワイヤボンディング装置におけるボ
ンディングツール付きホーン体に対する支持部材等に取
付けた一方のクランパー体と、この一方のクランパー体
に対して開閉回動自在に枢着した他方のクランパー体
と、この他方のクランパー体を開閉回動するための作動
機構とを備えて成るワイヤクランプ機構において、前記
他方のクランパー体の一方のクランパー体に対する枢着
部に、これら両クランパー体を横断する方向に延びる平
面体に構成した薄い板ばね体を配設し、この板ばね体に
おける両端部を前記両クランパー体に対して、この両ク
ランパー体に一体に設けた突起部と当て座金板との挟み
付けにて、他方のクランパー体が当該板ばね体の屈曲に
よって開閉回動するように固着する。」と言う構成にし
た。
るため本発明は、「ワイヤボンディング装置におけるボ
ンディングツール付きホーン体に対する支持部材等に取
付けた一方のクランパー体と、この一方のクランパー体
に対して開閉回動自在に枢着した他方のクランパー体
と、この他方のクランパー体を開閉回動するための作動
機構とを備えて成るワイヤクランプ機構において、前記
他方のクランパー体の一方のクランパー体に対する枢着
部に、これら両クランパー体を横断する方向に延びる平
面体に構成した薄い板ばね体を配設し、この板ばね体に
おける両端部を前記両クランパー体に対して、この両ク
ランパー体に一体に設けた突起部と当て座金板との挟み
付けにて、他方のクランパー体が当該板ばね体の屈曲に
よって開閉回動するように固着する。」と言う構成にし
た。
【0007】
【発明の作用・効果】このように構成することにより、
両クランパー体のうち他方のクランパー体における一方
のクランパー体に対する開閉回動を、薄い板ばね体の屈
曲によって行うことができ、この他方のクランパー体に
おける一方のクランパー体に対する枢着部に、従来のよ
うに潤滑油切れが発生したり、ガタツキが存在したりす
ることを確実に防止できるから、他方のクランパー体の
開閉に可動不良が発生することを大幅に低減できると共
に、耐久性を大幅に向上できるのである。
両クランパー体のうち他方のクランパー体における一方
のクランパー体に対する開閉回動を、薄い板ばね体の屈
曲によって行うことができ、この他方のクランパー体に
おける一方のクランパー体に対する枢着部に、従来のよ
うに潤滑油切れが発生したり、ガタツキが存在したりす
ることを確実に防止できるから、他方のクランパー体の
開閉に可動不良が発生することを大幅に低減できると共
に、耐久性を大幅に向上できるのである。
【0008】しかも、本発明は、板ばね体による枢着で
あるために、枢着部を小型・軽量化を図ることができる
効果をも有する。
あるために、枢着部を小型・軽量化を図ることができる
効果をも有する。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図1〜図4の図面
について説明する。この図において符号1は、ワイヤボ
ンディング装置における本体を示し、この本体1には、
ホーン体2が、その支持部材3を介して振動可能に支持
されており、このホーン体2の先端には、ボンディング
ツールの一つであるところのキャビラリツール4が取付
けられ、このキャビラリツール4にはワイヤ5が挿通さ
れている。
について説明する。この図において符号1は、ワイヤボ
ンディング装置における本体を示し、この本体1には、
ホーン体2が、その支持部材3を介して振動可能に支持
されており、このホーン体2の先端には、ボンディング
ツールの一つであるところのキャビラリツール4が取付
けられ、このキャビラリツール4にはワイヤ5が挿通さ
れている。
【0010】符号6は、前記ワイヤ5に対するワイヤク
ランプ機構を示し、このワイヤクランプ機構6は、前記
支持部材3の上面に、ねじ7にて取付け一方のクランパ
ー体8と、この一方のクランパー8に対して開閉回動自
在に枢着される他方のクランパー体9と、これら両クラ
ンパー体8,9の他端間に位置して、前記他方のクラン
パー体9を一方のクランパー8に対して開閉作動するた
めの電磁石等の開閉作動機構10とから成り、この両ク
ランパー体8,9の先端部に固着したクランプ片17,
18にて、前記キャビラリツール4に挿通したワイヤ5
をクランプする。
ランプ機構を示し、このワイヤクランプ機構6は、前記
支持部材3の上面に、ねじ7にて取付け一方のクランパ
ー体8と、この一方のクランパー8に対して開閉回動自
在に枢着される他方のクランパー体9と、これら両クラ
ンパー体8,9の他端間に位置して、前記他方のクラン
パー体9を一方のクランパー8に対して開閉作動するた
めの電磁石等の開閉作動機構10とから成り、この両ク
ランパー体8,9の先端部に固着したクランプ片17,
18にて、前記キャビラリツール4に挿通したワイヤ5
をクランプする。
【0011】そして、前記一方のクランパー8に対して
他方のクランパー体9を開閉回動自在に枢着するに際し
ては、両クランパー体8,9の上面及び下面に突起部8
a,8b,9a,9bを一体的に突出し、両クランパー
体8,9の上面における突起部8a,9aの間、及び下
面における突起部8b,9bの間の各々に薄い板ばね体
11,12を装架し、この両板ばね体11,12の両端
を、その各々の突起部8a,8b,9a,9bに対し
て、当て座金板13,14付きねじ15,16のねじ込
みによる挟み付けにて、前記他方のクランパー体9が当
該両板ばね体11,12の屈曲で開閉回動するように固
着する。
他方のクランパー体9を開閉回動自在に枢着するに際し
ては、両クランパー体8,9の上面及び下面に突起部8
a,8b,9a,9bを一体的に突出し、両クランパー
体8,9の上面における突起部8a,9aの間、及び下
面における突起部8b,9bの間の各々に薄い板ばね体
11,12を装架し、この両板ばね体11,12の両端
を、その各々の突起部8a,8b,9a,9bに対し
て、当て座金板13,14付きねじ15,16のねじ込
みによる挟み付けにて、前記他方のクランパー体9が当
該両板ばね体11,12の屈曲で開閉回動するように固
着する。
【0012】このように構成することにより、両クラン
パー体8,9のうち他方のクランパー体9における一方
のクランパー体8に対する開閉回動を、両薄い板ばね体
11,12の屈曲によって行うことができるから、この
他方のクランパー体9における一方のクランパー体8に
対する枢着部に、従来のように潤滑油切れが発生した
り、ガタツキが存在したりすることを確実に防止できる
のである。
パー体8,9のうち他方のクランパー体9における一方
のクランパー体8に対する開閉回動を、両薄い板ばね体
11,12の屈曲によって行うことができるから、この
他方のクランパー体9における一方のクランパー体8に
対する枢着部に、従来のように潤滑油切れが発生した
り、ガタツキが存在したりすることを確実に防止できる
のである。
【0013】なお、前記実施例のように、両クランパー
体8,9の上面側と下面側との両方に、板ばね体11,
12を配設することにより、他方のクランパー体9を、
その開閉回動に際して捩じれ等を生じることなく、一方
のクランパー体8に対してバランス良く枢着することが
できるのである。
体8,9の上面側と下面側との両方に、板ばね体11,
12を配設することにより、他方のクランパー体9を、
その開閉回動に際して捩じれ等を生じることなく、一方
のクランパー体8に対してバランス良く枢着することが
できるのである。
【図1】本発明の実施例を示す正面図である。
【図2】図1のII−II拡大視断面図である。
【図3】図1の拡大平面図である。
【図4】ワイヤクランプ機構を分解した状態を平面図で
ある。
ある。
1 ワイヤボンディング装置の本体
2 ホーン体
3 支持部材
4 キャピラリツール
5 ワイヤ
6 ワイヤクランプ機構
8 一方のクランパー体
9 他方のクランパー体
10 開閉作動機構
11,12 板ばね体
Claims (2)
- 【請求項1】ワイヤボンディング装置におけるボンディ
ングツール付きホーン体に対する支持部材等に取付けた
一方のクランパー体と、この一方のクランパー体に対し
て開閉回動自在に枢着した他方のクランパー体と、この
他方のクランパー体を開閉回動するための作動機構とを
備えて成るワイヤクランプ機構において、 前記他方のクランパー体の一方のクランパー体に対する
枢着部に、これら両クランパー体を横断する方向に延び
る平面体に構成した薄い板ばね体を配設し、この板ばね
体における両端部を前記両クランパー体に対して、この
両クランパー体に一体に設けた突起部と当て座金板との
挟み付けにて、他方のクランパー体が当該板ばね体の屈
曲によって開閉回動するように固着したことを特徴とす
るワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構
の構造。 - 【請求項2】前記請求項1の記載において、前記板ばね
体を、両クランパー体を挟んでそのの左右両側に配設し
たことを特徴とするワイヤボンディング装置におけるワ
イヤクランプ機構の構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25058294A JP3378378B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25058294A JP3378378B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08115939A JPH08115939A (ja) | 1996-05-07 |
JP3378378B2 true JP3378378B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=17210039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25058294A Expired - Fee Related JP3378378B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3378378B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100388958B1 (ko) * | 2000-12-15 | 2003-06-25 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어클램프의 피봇구조 |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP25058294A patent/JP3378378B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08115939A (ja) | 1996-05-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |