JP3370109B2 - 電子ビーム測長機 - Google Patents
電子ビーム測長機Info
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- JP3370109B2 JP3370109B2 JP28307192A JP28307192A JP3370109B2 JP 3370109 B2 JP3370109 B2 JP 3370109B2 JP 28307192 A JP28307192 A JP 28307192A JP 28307192 A JP28307192 A JP 28307192A JP 3370109 B2 JP3370109 B2 JP 3370109B2
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- chamber
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウェハトレイを搬入
搬出する場合の、ウェハトレイ搬送システムを改良した
電子ビーム測長機に関する。 【０００２】 【従来の技術】電子ビーム測長機は、一般には通常の走
査型電子顕微鏡を用い、そのステージ上に被測定物を載
置して行うが、そのため試料室に隣接して予備排気室を
設け、試料を予備排気室に搬送して真空にした後、更に
試料室に搬送して高真空とし、そこで測定が行われるよ
うにしている。 【０００３】そして従来の、電子ビーム測長機にウェハ
トレイを搬入搬出するウェハトレイ搬送システムとして
は、例えば、図３に示すようなものがある。ウェハ１を
試料室２に送り込むためには、ウェハ１をウェハトレイ
４に載置し、ロボット（図示せず）等により、ウェハト
レイ４を予備排気室３内に搬送する。なお予備排気室３
にはウェハトレイ４の上下駆動装置５が設けられてい
る。 【０００４】予備排気室３内の真空が一定値以下に達す
ると、ロボット等と協働して上下駆動装置５からウェハ
トレイ４を試料室２に送り、試料室２のＸＹステージ６
に乗せる。一方ＸＹステージ６には上下動機構７が設け
られており、ウェハ１をＷＤ（ワーキングディスタン
ス）が最も適切な位置を取るように調整する。そして試
料室２を高真空とし、電子銃８から電子線を照射して測
定が行われる。 【０００５】試料室２における測定が終了すると、ウェ
ハトレイ４は再びロボット等によって予備排気室３に戻
されるが、搬出の際、ウェハトレイ４が予備排気室３の
通路にぶつからないようにするため、ウェハトレイの搬
入前と同じ高さに、上下駆動装置５により少し下降させ
ておくようにする。そして予備排気室３で真空をリーク
させた後、ウェハ１を予備排気室３から搬出されるとい
う経過を辿って、一連の測定動作が終了する。 【０００６】またウェハトレイ４を予備排気室３から、
試料室２のＸＹステージ６上に移動させるのに、ロボッ
ト等を使用せず、ウェハトレイ４をＸＹステージ６また
は予備排気室３上で引きずりながら移動させる場合もあ
る。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところでこのような、
従来の電子ビーム測長機にあっては、ウェハトレイの搬
送のため、予備排気室３にウェハトレイ４を上下させる
駆動装置５を設け、試料室２には、そのＸＹステージ６
の上下動機構７を設けなければならないため、装置が複
雑になり大型化してしまうという問題があり、また、ウ
ェハトレイ４をＸＹステージ６上で引きずりながら移動
させると、摩擦が生じてウェハトレイ４が破損し、又、
発塵の原因にもなるという問題があった。 【０００８】この発明は、このような従来の課題に着目
してなされたもので、被測定物であるウェハを、簡単な
機構の装置により、予備排気室と試料室との間で搬入搬
出することができる電子ビーム測長機を提供することを
目的とする。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、その構成を、ウェハを載置
するウェハ載置部材と、該ウェハを予備的に保存してあ
る一定の真空状態に保持する予備排気室と、前記ウェハ
を観察し測定を行う試料室と、該試料室内に配置され前
記ウェハ載置部材を支持する支持部材とを備え、前記ウ
ェハの測長を行う電子ビーム測長機において、前記試料
室でのウェハの位置が最適なワーキングディスタンスと
なる位置の、前記試料室と前記予備排気室とに、前記ウ
ェハ載置部材を搬送させるローラ部材を設けることとし
た。 【００１０】 【作用】次に本発明の作用を説明する。電子ビーム測長
機において、試料室と予備排気室とに設けられたローラ
部材により、ウェハ載置部材が試料室と予備排気室との
間を搬送される。ローラが設けられている位置は、前記
試料室でのウェハの位置が最適なワーキングディスタン
スとなる位置になっているから、試料室内の前記ウェハ
載置部材を支持する支持部材の上下動機構によるワーキ
ングディスタンスの調整が不要になり、前記予備排気室
でウェハトレイを上下させることも不要となる。 【００１１】 【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の構成図で、ウェハ１１を試料室１２に送
り込んで、電子銃１３からの電子線により、ウェハ１１
を観察し、電子ビームによる測長を行うものであるが、
まずウェハ１１を載置するウェハトレイ１４があり、ウ
ェハ１１を載置してある一定の真空状態に保持するた
め、予備排気室１５が設けられる。 【００１２】試料室１２には、ウェハトレイ１４を支持
し、電子銃１３からの電子線に対して直角方向に、ウェ
ハトレイ１４を移動させるＸＹステージ１６が設けられ
る。このＸＹステージ１６は、ウェハトレイ１４に支持
されたウェハ１１の位置が、最も適切なワーキングディ
スタンスとなるようにする。 【００１３】そしてウェハ１１の位置がそのまゝの上下
位置を保持するようにして、ウェハトレイ１４が、試料
室１２のＸＹステージ１６と予備排気室１５との間で搬
送されるように、試料室１２のＸＹステージ１６上には
転動ローラ２０を、予備排気室１５側には転動ローラ２
１を設ける。 【００１４】次に図２に示すように、予備排気室１５側
のローラ２１の側方には、載置されたウェハトレイ１４
が側方に飛び出さないように、縦方向のローラ群２２、
２３を設ける。 【００１５】またＸＹステージ１６上のローラ２０の側
方には、ウェハトレイ１４の水平方向の位置決めをする
ため、一方の側に１本の縦方向の位置決めローラ２４、
他方の側に２本の縦方向の位置決めローラ２５が配設さ
れており、ローラ２０の予備排気室１５と反対側には、
ストッパ２６が設けられている。 【００１６】ウェハトレイ１４上に載置されたウェハ１
１は、図示しないロボット等によって予備排気室１５の
ローラ２１の上に載置され、縦方向のローラ群２２、２
３により位置決めされる。 【００１７】すると、図示しない駆動装置により予備排
気室１５のローラ２１が回転駆動される。またそのと
き、予備排気室１５の方へＸＹステージ１６が移動し
て、ＸＹステージ１６上のローラ２０と、予備排気室１
５のローラ２１とが連続するような位置となっている。 【００１８】またＸＹステージ１６上のローラ２０も回
転駆動されているから、ウェハトレイ１４はＸＹステー
ジ１６上のローラ２０の方へ受け渡され、その水平方向
の位置は、ストッパ２６及び位置決めローラ２４、２５
によって規定され、所定の位置に停止する。そしてＸＹ
ステージ１６は正規の位置へ戻る。 【００１９】そのときのウェハトレイ１４の位置は、ウ
ェハ１１の位置が最適なワーキングディスタンスＷＤと
なる位置に来るようにしてあるから、試料室１２内にお
いてＸＹステージ１６の上下動機構による調整が不要に
なる。 【００２０】試料室１２における測定が終了すると、予
備排気室１５の方向へＸＹステージ１６が移動して、ウ
ェハトレイ１４を予備排気室１５の方へ送り出す。ウェ
ハトレイ１４は水平移動するだけであるから、予備排気
室１５内でウェハトレイ１４を上下させることも不要と
なる。 【００２１】こうして試料室１２と予備排気室１５との
間では、ＸＹステージ１６を移動させる他は、ローラ２
０，２１の転動により、ウェハトレイ１４を自由に受渡
し移動させることができるようになり、しかもワーキン
グディスタンスの調整も不要になって、電子ビーム測長
機のウェハ搬入搬出作業が簡易化される。 【００２２】なお上記の実施例では、ローラ２０は試料
室１２のＸＹステージ１６の上面に設けられるものにつ
いて述べたが、試料室内に配置されウェハ載置部材を支
持する支持部材であればＸＹステージには限定されず、
ウェハ載置部材もウェハトレイ１４には限定されない。
またＸＹステージ１６上のローラ２０と、予備排気室１
５のローラ２１とは、図１に示す円筒状のものには限定
されず、ベアリングを並べて配設したものでもよい。 【００２３】 【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子ビーム測長機において、試料室内のＸＹステー
ジが上下機構を設けない簡素なものであっても、ワーキ
ングディスタンスの短い高い分解能が得られる。また試
料室も薄くなり、上下機構がない分だけ形状が簡単なも
のとなる。 【００２４】また予備排気室にも上下駆動装置が不要と
なり、薄い形状の簡易な構造でよいので排気時間も短縮
し、また上下移動の調整時間もないので、予備的な作業
の時間が短縮し、ＸＹステージの調整動作が不要になっ
て、観察や測定の能率も向上し、スループットが向上す
るという効果を有する。
搬出する場合の、ウェハトレイ搬送システムを改良した
電子ビーム測長機に関する。 【０００２】 【従来の技術】電子ビーム測長機は、一般には通常の走
査型電子顕微鏡を用い、そのステージ上に被測定物を載
置して行うが、そのため試料室に隣接して予備排気室を
設け、試料を予備排気室に搬送して真空にした後、更に
試料室に搬送して高真空とし、そこで測定が行われるよ
うにしている。 【０００３】そして従来の、電子ビーム測長機にウェハ
トレイを搬入搬出するウェハトレイ搬送システムとして
は、例えば、図３に示すようなものがある。ウェハ１を
試料室２に送り込むためには、ウェハ１をウェハトレイ
４に載置し、ロボット（図示せず）等により、ウェハト
レイ４を予備排気室３内に搬送する。なお予備排気室３
にはウェハトレイ４の上下駆動装置５が設けられてい
る。 【０００４】予備排気室３内の真空が一定値以下に達す
ると、ロボット等と協働して上下駆動装置５からウェハ
トレイ４を試料室２に送り、試料室２のＸＹステージ６
に乗せる。一方ＸＹステージ６には上下動機構７が設け
られており、ウェハ１をＷＤ（ワーキングディスタン
ス）が最も適切な位置を取るように調整する。そして試
料室２を高真空とし、電子銃８から電子線を照射して測
定が行われる。 【０００５】試料室２における測定が終了すると、ウェ
ハトレイ４は再びロボット等によって予備排気室３に戻
されるが、搬出の際、ウェハトレイ４が予備排気室３の
通路にぶつからないようにするため、ウェハトレイの搬
入前と同じ高さに、上下駆動装置５により少し下降させ
ておくようにする。そして予備排気室３で真空をリーク
させた後、ウェハ１を予備排気室３から搬出されるとい
う経過を辿って、一連の測定動作が終了する。 【０００６】またウェハトレイ４を予備排気室３から、
試料室２のＸＹステージ６上に移動させるのに、ロボッ
ト等を使用せず、ウェハトレイ４をＸＹステージ６また
は予備排気室３上で引きずりながら移動させる場合もあ
る。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところでこのような、
従来の電子ビーム測長機にあっては、ウェハトレイの搬
送のため、予備排気室３にウェハトレイ４を上下させる
駆動装置５を設け、試料室２には、そのＸＹステージ６
の上下動機構７を設けなければならないため、装置が複
雑になり大型化してしまうという問題があり、また、ウ
ェハトレイ４をＸＹステージ６上で引きずりながら移動
させると、摩擦が生じてウェハトレイ４が破損し、又、
発塵の原因にもなるという問題があった。 【０００８】この発明は、このような従来の課題に着目
してなされたもので、被測定物であるウェハを、簡単な
機構の装置により、予備排気室と試料室との間で搬入搬
出することができる電子ビーム測長機を提供することを
目的とする。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、その構成を、ウェハを載置
するウェハ載置部材と、該ウェハを予備的に保存してあ
る一定の真空状態に保持する予備排気室と、前記ウェハ
を観察し測定を行う試料室と、該試料室内に配置され前
記ウェハ載置部材を支持する支持部材とを備え、前記ウ
ェハの測長を行う電子ビーム測長機において、前記試料
室でのウェハの位置が最適なワーキングディスタンスと
なる位置の、前記試料室と前記予備排気室とに、前記ウ
ェハ載置部材を搬送させるローラ部材を設けることとし
た。 【００１０】 【作用】次に本発明の作用を説明する。電子ビーム測長
機において、試料室と予備排気室とに設けられたローラ
部材により、ウェハ載置部材が試料室と予備排気室との
間を搬送される。ローラが設けられている位置は、前記
試料室でのウェハの位置が最適なワーキングディスタン
スとなる位置になっているから、試料室内の前記ウェハ
載置部材を支持する支持部材の上下動機構によるワーキ
ングディスタンスの調整が不要になり、前記予備排気室
でウェハトレイを上下させることも不要となる。 【００１１】 【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の構成図で、ウェハ１１を試料室１２に送
り込んで、電子銃１３からの電子線により、ウェハ１１
を観察し、電子ビームによる測長を行うものであるが、
まずウェハ１１を載置するウェハトレイ１４があり、ウ
ェハ１１を載置してある一定の真空状態に保持するた
め、予備排気室１５が設けられる。 【００１２】試料室１２には、ウェハトレイ１４を支持
し、電子銃１３からの電子線に対して直角方向に、ウェ
ハトレイ１４を移動させるＸＹステージ１６が設けられ
る。このＸＹステージ１６は、ウェハトレイ１４に支持
されたウェハ１１の位置が、最も適切なワーキングディ
スタンスとなるようにする。 【００１３】そしてウェハ１１の位置がそのまゝの上下
位置を保持するようにして、ウェハトレイ１４が、試料
室１２のＸＹステージ１６と予備排気室１５との間で搬
送されるように、試料室１２のＸＹステージ１６上には
転動ローラ２０を、予備排気室１５側には転動ローラ２
１を設ける。 【００１４】次に図２に示すように、予備排気室１５側
のローラ２１の側方には、載置されたウェハトレイ１４
が側方に飛び出さないように、縦方向のローラ群２２、
２３を設ける。 【００１５】またＸＹステージ１６上のローラ２０の側
方には、ウェハトレイ１４の水平方向の位置決めをする
ため、一方の側に１本の縦方向の位置決めローラ２４、
他方の側に２本の縦方向の位置決めローラ２５が配設さ
れており、ローラ２０の予備排気室１５と反対側には、
ストッパ２６が設けられている。 【００１６】ウェハトレイ１４上に載置されたウェハ１
１は、図示しないロボット等によって予備排気室１５の
ローラ２１の上に載置され、縦方向のローラ群２２、２
３により位置決めされる。 【００１７】すると、図示しない駆動装置により予備排
気室１５のローラ２１が回転駆動される。またそのと
き、予備排気室１５の方へＸＹステージ１６が移動し
て、ＸＹステージ１６上のローラ２０と、予備排気室１
５のローラ２１とが連続するような位置となっている。 【００１８】またＸＹステージ１６上のローラ２０も回
転駆動されているから、ウェハトレイ１４はＸＹステー
ジ１６上のローラ２０の方へ受け渡され、その水平方向
の位置は、ストッパ２６及び位置決めローラ２４、２５
によって規定され、所定の位置に停止する。そしてＸＹ
ステージ１６は正規の位置へ戻る。 【００１９】そのときのウェハトレイ１４の位置は、ウ
ェハ１１の位置が最適なワーキングディスタンスＷＤと
なる位置に来るようにしてあるから、試料室１２内にお
いてＸＹステージ１６の上下動機構による調整が不要に
なる。 【００２０】試料室１２における測定が終了すると、予
備排気室１５の方向へＸＹステージ１６が移動して、ウ
ェハトレイ１４を予備排気室１５の方へ送り出す。ウェ
ハトレイ１４は水平移動するだけであるから、予備排気
室１５内でウェハトレイ１４を上下させることも不要と
なる。 【００２１】こうして試料室１２と予備排気室１５との
間では、ＸＹステージ１６を移動させる他は、ローラ２
０，２１の転動により、ウェハトレイ１４を自由に受渡
し移動させることができるようになり、しかもワーキン
グディスタンスの調整も不要になって、電子ビーム測長
機のウェハ搬入搬出作業が簡易化される。 【００２２】なお上記の実施例では、ローラ２０は試料
室１２のＸＹステージ１６の上面に設けられるものにつ
いて述べたが、試料室内に配置されウェハ載置部材を支
持する支持部材であればＸＹステージには限定されず、
ウェハ載置部材もウェハトレイ１４には限定されない。
またＸＹステージ１６上のローラ２０と、予備排気室１
５のローラ２１とは、図１に示す円筒状のものには限定
されず、ベアリングを並べて配設したものでもよい。 【００２３】 【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子ビーム測長機において、試料室内のＸＹステー
ジが上下機構を設けない簡素なものであっても、ワーキ
ングディスタンスの短い高い分解能が得られる。また試
料室も薄くなり、上下機構がない分だけ形状が簡単なも
のとなる。 【００２４】また予備排気室にも上下駆動装置が不要と
なり、薄い形状の簡易な構造でよいので排気時間も短縮
し、また上下移動の調整時間もないので、予備的な作業
の時間が短縮し、ＸＹステージの調整動作が不要になっ
て、観察や測定の能率も向上し、スループットが向上す
るという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子ビーム測長機の試料室と予備排気
室の側面図である。 【図２】本発明の電子ビーム測長機の試料室と予備排気
室の平面図である。 【図３】従来の電子ビーム測長機の試料室と予備排気室
の側面図である。 【符号の説明】 １１ ウェハ １２ 試料室 １４ ウェハトレイ（ウェハ載置部材） １５ 予備排気室 １６ ＸＹステージ（支持部材） ２０ ＸＹステージ上のローラ（ローラ部材） ２１ 予備排気室内のローラ（ローラ部材）
室の側面図である。 【図２】本発明の電子ビーム測長機の試料室と予備排気
室の平面図である。 【図３】従来の電子ビーム測長機の試料室と予備排気室
の側面図である。 【符号の説明】 １１ ウェハ １２ 試料室 １４ ウェハトレイ（ウェハ載置部材） １５ 予備排気室 １６ ＸＹステージ（支持部材） ２０ ＸＹステージ上のローラ（ローラ部材） ２１ 予備排気室内のローラ（ローラ部材）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 37/20
G01B 15/00
H01J 37/28
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】ウェハを載置するウェハ載置部材と、該ウ
ェハを予備的に保存してある一定の真空状態に保持する
予備排気室と、前記ウェハを観察し測定を行う試料室
と、該試料室内に配置され前記ウェハ載置部材を支持す
る支持部材とを備え、前記ウェハの測長を行う電子ビー
ム測長機において、前記試料室でのウェハの位置が最適
なワーキングディスタンスとなる位置の、前記試料室と
前記予備排気室とに、前記ウェハ載置部材を搬送させる
ローラ部材を設けたことを特徴とする電子ビーム測長
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28307192A JP3370109B2 (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | 電子ビーム測長機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28307192A JP3370109B2 (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | 電子ビーム測長機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06187939A JPH06187939A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3370109B2 true JP3370109B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=17660834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28307192A Expired - Fee Related JP3370109B2 (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | 電子ビーム測長機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3370109B2 (ja) |
-
1992
- 1992-10-21 JP JP28307192A patent/JP3370109B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06187939A (ja) | 1994-07-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
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