JP3369446B2 - 浄化装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浄化装置に関し、
さらに詳しくは、都市ごみ処理プラントなどから排出さ
れるガスを処理するために好適に用いられる浄化装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】都市ごみの破砕分別プラントおよびＲＤ
Ｆプラントなどの都市ごみ処理プラントでは、ごみから
発生する臭気をプラント外に排出させないように浄化装
置である脱臭装置が設置される。従来の技術の脱臭装置
は活性炭による吸着を主体とする吸着式脱臭装置であ
り、臭気を含んだ排ガスを吸着式脱臭装置に導いて活性
炭に臭気を吸着させて脱臭を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術において、前記吸着式脱臭装置の活性炭が飽和吸着
量に達したときには、活性炭を再生または交換しなけれ
ばならず、また充填使用する活性炭の量が多ければ長期
間の使用に耐えることができるが、前記装置が大形にな
って設備コストが増大し、活性炭の量が少なければ前記
装置の小形化を図ることができるが、前記装置の使用期
間が短くなり、活性炭の再生または交換を度々行わなけ
ればならず、保守管理に手間がかかるという問題があ
る。

【０００４】また都市ごみ焼却プラントからの排ガス中
には塩化水素、ＮＯ_X、ＳＯ_Xおよびダイオキンなどの有
害成分が含まれているが、前記脱臭装置によって前記有
害成分を排ガス中から除去することはできず、前記有害
成分を除去するための装置が別途必要となり、設備の構
成が複雑化するという問題がある。

【０００５】本発明の目的は、保守管理に手間がかから
ず、構成の簡略化を図ることができる浄化装置を提供す
ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、煤塵などの塵
埃を含むガスが供給され、このガスから塵埃を捕集して
除去する集塵手段と、塵埃が除去されたガスが供給さ
れ、放電電極およびアース電極間の放電によって非平衡
プラズマを発生させるプラズマ発生手段とを含み、前記
放電電極は線状体から成り、前記アース電極は複数の透
孔が形成される円筒状体から成り、アース電極によって
囲まれた空間には同軸に前記放電電極が配置されること
を特徴とする浄化装置である。

【０００７】本発明に従えば、集塵手段は煤塵などの塵
埃を含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分およ
び有害成分とを含む空気から塵埃を捕集して除去し、プ
ラズマ発生手段には塵埃が除去されたガスだけが供給さ
れるので、放電によって発生したプラズマによって塵埃
が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解し
て除去することができ、プラズマ発生手段の清掃などの
手間がかからず、浄化装置の保守管理を容易にすること
ができる。

【０００８】

【０００９】本発明に従えば、前記プラズマ発生手段は
放電電極およびアース電極間のガスを放電によって電子
とイオンとに電離させ、電子の電子温度がイオンのイオ
ン温度に比べて高い状態で電子とイオンとが熱力学的に
平衡していない状態のプラズマである非平衡プラズマを
発生させるので、放電によって発生する各電極間のプラ
ズマの温度が常温に保たれた状態で高速の電子を得るこ
とができ、この高速の電子を塵埃が除去されたガス中の
臭気成分および有害成分に衝突させてラジカルを形成
し、化学反応を起こさせてガス中の臭気成分および有害
成分を除去することができる。また放電によって発生す
る各電極間のプラズマの温度は常温に保たれているの
で、プラズマ発生手段に冷却手段などを設ける必要がな
く、またプラズマ発生手段から排出されるガスの温度も
常温に保たれ、熱プラズマを用いるときのように高温の
ガスが排出されることがなく、排出されるガスの冷却手
段などを設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることが
できる。

【００１０】

【００１１】本発明に従えば、前記アース電極には複数
の透孔が形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透
孔を介して非平衡プラズマが発生するアース電極によっ
て囲まれた空間に供給して、前記ガス中の臭気成分およ
び有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを前記
空間から各透孔を介して排出することができ、アース電
極の軸線方向だけでなくこの軸線方向に交差する方向に
塵埃が除去されたガスを通過させることができるととも
に、アース電極の表面積を複数の透孔が形成されていな
い同一寸法のアース電極の表面積よりも小さくすること
ができ、これによって放電電極およびアース電極間の静
電容量を小さくして放電に要する時間を短縮し、非平衡
プラズマを発生させやすくして、高速の電子を得ること
ができる。

【００１２】本発明は、煤塵などの塵埃を含むガスが供
給され、このガスから塵埃を捕集して除去する集塵手段
と、塵埃が除去されたガスが供給され、放電電極および
アース電極間の放電によって非平衡プラズマを発生させ
るプラズマ発生手段とを含み、前記放電電極は、線状体
から成り、かつ相互に間隔をあけて複数設けられ、前記
アース電極は、複数の透孔が形成される板状体から成
り、前記複数の放電電極から一定の間隔をあけて両側に
配置され、前記複数の透孔が形成される板状体は、波板
状に形成されることを特徴とする浄化装置である。

【００１３】本発明に従えば、前記アース電極には複数
の透孔が形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透
孔を介して非平衡プラズマが発生する各放電電極および
アース電極間の空間に供給して、前記ガス中の臭気成分
および有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを
前記空間から各透孔を介して排出することができ、アー
ス電極に平行な方向でかつ放電電極に交差する方向およ
び各放電電極に沿う方向だけでなく、アース電極側から
各放電電極に交差する方向に、塵埃が除去されたガスを
大きな流量で通過させて前記ガスを処理することができ
るとともに、アース電極の表面積を複数の透孔が形成さ
れていない同一寸法のアース電極の表面積よりも小さく
することができ、これによって各放電電極およびアース
電極間の静電容量を小さくして放電に要する時間を短縮
して非平衡プラズマを発生させやすくして、高速の電子
を得ることができる。

【００１４】

【００１５】

【００１６】

【００１７】本発明に従えば、前記複数の透孔が形成さ
れる板状体は波板状に形成されるので、板状体が平板状
に形成されているときよりも放電電極およびアース電極
間で高速の電子が得られる領域が増え、これによって板
状体が平板状に形成されているときよりもガスを処理す
る能力が向上し、構成が簡単でかつ安価なプラズマ発生
手段を形成することができる。また前記板状体を波板状
に形成することによって板状体が平板状に形成されてい
るときよりも各アース電極間の間隔を小さくして波板状
のアース電極を配置することができ、プラズマ発生手段
を小形化することができる。

【００１８】本発明において、相互に隣接する各放電電
極間の中央部には、第２のアース電極が配置されること
を特徴とする。

【００１９】本発明に従えば、相互に隣接する各放電電
極間の中央部には第２のアース電極が配置されるので、
放電電極およびアース電極間で高速の電子が得られると
ともに、放電電極および第２のアース電極間においても
高速の電極を得ることができ、ガスを処理する能力をさ
らに向上させることができる。

【００２０】本発明において、前記集塵手段は、前記ア
ース電極を外囲するバグフィルタであることを特徴とす
る。

【００２１】本発明に従えば、前記集塵手段は前記アー
ス電極を外囲するバグフィルタであるので、バグフィル
タの周囲から煤塵などの塵埃を含むガスをバグフィルタ
に導き、バグフィルタによって煤塵などの塵埃を捕集
し、塵埃が除去されたガスを放電電極とアース電極との
間の空間に導いて、放電電極およびアース電極間に発生
するプラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭気成
分および有害成分を分解除去することができる。またバ
グフィルタに導かれる前記塵埃を含むガスは、バグフィ
ルタの周囲から導かれるので、バグフィルタの設置位置
にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができ
る。

【００２２】本発明において、前記集塵手段は、前記放
電電極と前記アース電極との間の空間から予め定める放
出位置に処理後のガスを導く導気手段を含むことを特徴
とする。

【００２３】本発明に従えば、集塵手段は前記放電電極
と前記アース電極との間の空間から予め定める放出位置
に処理後のガスを導く導気手段を含むので、導気手段に
よってバグフィルタの周囲の煤塵などの塵埃を含むガス
をバグフィルタに導き、バグフィルタによって煤塵など
の塵埃を捕集し、塵埃が除去されたガスを放電電極とア
ース電極との間の空間に導いて、放電電極およびアース
電極間に発生するプラズマによって塵埃が除去されたガ
ス中の臭気成分および有害成分を分解除去し、この処理
後のガスをたとえばアース電極の軸線方向に導いて予め
定める放出位置に導くことができる。また導気手段には
処理後のガスが導かれるので、導気手段の汚損が少な
い。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態で
ある浄化装置１の構成を簡略化して示す断面図である。
浄化装置１は、供給管路２と、集塵手段３と、プラズマ
発生手段４と、排出管路５とを含み、煤塵などの塵埃を
含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分および有
害成分とを含む空気の流下方向Ａ上流側からこの順番で
配置される。供給管路２は、前記ガスを導くダクトが接
続される第１筒部６と、第１筒部６に連なり、第１筒部
６の軸線方向に沿って拡開して形成される拡開部７と、
拡開部７に連なり、前記軸線方向に延びる第２筒部８
と、第２筒部８の周壁から外方に向かって延びる外向き
フランジ９とから成る。

【００２５】集塵手段３は、煤塵を含む塵埃、たとえば
繊維状および粒子状の塵埃を含むガスが供給され、この
ガスから繊維状の塵埃を捕集して除去する濾過集塵部１
０と、繊維状の塵埃が除去された粒子状の塵埃を含むガ
スが供給され、このガスから粒子状の塵埃を捕集して除
去する電気集塵部１１とを含む。濾過集塵部１０は、繊
維状の塵埃を捕集する濾過フィルタ１２とこの濾過フィ
ルタ１２が収納される略筒状のハウジング１３と、ハウ
ジング１３の軸線方向両端部の周壁から外方に向かって
延びる外向きフランジ１４，１５と、ハウジング１３の
上部でかつガスの通過領域よりも外方に設けられ、ロー
ル状の濾過フィルタ１２が装着される供給ロール１６
と、ハウジング１３の下部でかつ供給ロール１６に装着
された濾過フィルタ１２が架け渡されて巻取られる巻取
ロール１７とから成る。

【００２６】濾過フィルタ１２は、たとえば目の粗い濾
布から成る。供給ロール１６には、ロール状の濾過フィ
ルタ１２が装着される。濾過フィルタ１２は巻取ロール
１７に架け渡されており、濾過フィルタ１２を通過する
前記ガスの通気抵抗が大きくなると、巻取りロール１７
は濾過フィルタ１２を巻取って新しい濾過面を露出させ
ている。また濾過フィルタ１２が架け渡された領域は、
ガスの通過領域を含む。濾過フィルタ１２が全て巻取ロ
ール１７に巻取られると、塵埃捕集後の濾過フィルタ１
２を巻取ロール１７から取外し、新しい濾過フィルタ１
２を供給ロール１６に装着して巻取ロール１７に架け渡
す。

【００２７】電気集塵部１１は、たとえば電気集塵器に
よって実現される。電気集塵部１１には、粒子状の塵埃
を捕集する塵埃捕集部分１８と、捕集された粒子状の塵
埃を貯留し、回収するホッパ１９とを有する。塵埃捕集
部分１８は、たとえば線状の放電電極と、平板状の集塵
電極とを含む。粒子状の塵埃の捕集は、放電電極を負極
とし、集塵電極を正極として放電電極および集塵電極間
にコロナ放電を起こさせて粒子状の塵埃を帯電させ、集
塵電極にクーロン力によって吸着される。集塵電極に付
着した粒子状の塵埃が所定の厚さに達したときには、槌
打によって集塵電極から払い落とし、ホッパ１９で回収
される。また電気集塵部１１のハウジング２０の周壁に
は、外向きフランジ２１，２２が設けられる。

【００２８】プラズマ発生手段４は、ハウジング２６
と、非平衡プラズマを発生させる非平衡プラズマ発生部
２７と、非平衡プラズマによって引起こされる化学反応
によって生じた固形物を貯留し、回収するホッパ２８と
を含む。ハウジング２６には、外向きフランジ２９，３
０が設けられる。ここで非平衡プラズマとは、プラズマ
中の電子の電子温度がプラズマ中のイオンのイオン温度
に比べて高い状態で電子とイオンとが熱力学的に平衡し
ていない状態のプラズマのことである。非平衡プラズマ
発生部２７は、放電電極と、アース電極と、電源（図示
せず）とを含む。非平衡プラズマを発生させるには、放
電電極およびアース電極間にコロナ放電を発生させ、放
電電極およびアース電極間のガスを電離させる。このと
き放電電極およびアース電極間には、直流電圧１００〜
２００ｋＶ、周波数１００〜２０００Ｈｚのパルス電圧
が印加される。また電圧の立上り時間は、たとえば１０
０〜３００ｎｓであり、この極端に短い立上り時間の間
に質量の小さい電子だけが加速されて高速の電子が得ら
れる。またパルス電圧の周期は立上り時間に比べて充分
に長いので、この期間中に冷却が行われて次のパルス印
加時には再び初期状態に復帰し、ガスの温度上昇が抑制
され、ガスの温度は常温に保たれる。ここでパルス電圧
の極性は、放電電極を正極とし、アース電極を負極とす
る。これは正のストリーマコロナが強い進展傾向を有
し、放電電極およびアース電極間の空間を橋絡し、全空
間にわたって非平衡プラズマを発生させて単位容積あた
りの反応効果が大幅に向上するためである。

【００２９】プラズマ発生手段４に供給されるガス、た
とえばアンモニア、硫化水素、メチルメルカプタン、硫
化メチル、トリメチルアミン、アセトアルデヒド、スチ
レン、および二硫化メチルなどの臭気成分、ならびに塩
化水素、ＮＯ_X、ＳＯ_X、およびダイオキシンなどの有害
成分を含む空気は、プラズマ発生手段４の放電電極およ
びアース電極間で得られる高速の電子と前記ガス中の臭
気成分および有害成分との衝突によってラジカルが形成
され、化学反応を起こさせてガス中の臭気成分および有
害成分が除去されて清浄な空気となる。

【００３０】排出管路５は、前記供給管路２の第２筒部
８の内径にほぼ等しい内径を有する第１筒部３１と、第
１筒部３１に連なり、内周面が第１筒部３１の軸線に近
接する方向に傾斜して形成される絞り部３２と、絞り部
３２に連なり、清浄なガスが導かれるダクトに接続され
る第２筒部３３と、第１筒部３１の開口端側の周壁から
外方に向かって延びる外向きフランジ３４とから成る。

【００３１】供給管路２と集塵手段３の濾過集塵部１０
とは、外向きフランジ９，１４を介して連結される。濾
過集塵部１０と電気集塵部１１とは、外向きフランジ２
３，２４を有する筒状の連結管路２５に外向きフランジ
１５，２１を介して連結される。集塵手段３の電気集塵
部１１とプラズマ発生手段４とは、外向きフランジ２
２，２９を介して連結される。プラズマ発生手段４と排
出管路５とは、外向きフランジ３０，３４を介して連結
される。

【００３２】このようにして供給管路２と、濾過集塵部
１０のハウジング１３と、連結管路２５と、電気集塵部
１１のハウジング２０と、プラズマ発生手段４のハウジ
ング２６と、排出管路５とを含んで導気手段が構成さ
れ、予め定める放出位置である排出管路５の第２筒部３
３の開口部にガスを導く。

【００３３】煤塵などの塵埃を含むガスは、供給管路２
の第１筒部６から図１の左方から図１の右方へ向かう前
記ガスの流下方向Ａに供給される。第１筒部６に供給さ
れたガスは、拡開部７で前記ガスの流速が、たとえば１
ｍ／ｓに減速されて濾過フィルタ１２を通過する。この
とき濾過フィルタ１２では、前記ガス中の繊維状の塵埃
が捕集される。この繊維状の塵埃が除去された粒子状の
塵埃を含むガスは、電気集塵部１１に供給される。電気
集塵部１１では、粒子状の塵埃が塵埃捕集部分１８で捕
集され、プラズマ発生手段４に塵埃が除去されたガスが
供給される。プラズマ発生手段４では、塵埃が除去され
たガス中の臭気成分および有害成分に、放電電極および
アース電極間に発生する非平衡プラズマの高速の分子が
衝突してラジカルを形成し、プラズマ発生手段４内で化
学反応を起こさせて前記ガス中の臭気成分および有害成
分を除去して清浄なガスをプラズマ発生手段４から排出
する。プラズマ発生手段４から排出された清浄なガス
は、排出管路５の絞り部３２で絞られて流速を増速させ
て第２筒部３３を介して浄化装置１から排出される。

【００３４】プラズマ発生手段４に塵埃が供給される
と、塵埃が非平衡プラズマの高速の電子によって帯電し
てアース電極に付着し、プラズマ発生手段４の清掃など
の手間がかかってしまう。また塵埃が繊維状であるとき
には、この塵埃がアース電極に対して垂直に付着して、
放電電極および塵埃の先端間で火花放電が生じて電圧が
下がり、高速の電子が得られなくなるという不具合が生
じてしまう。しかしながら、本発明の浄化装置１におい
て、プラズマ発生手段４には塵埃が除去されたガスが供
給されるので、このような不具合が生じない。

【００３５】集塵手段３は、煤塵などの塵埃を含むガス
から塵埃を捕集して除去し、プラズマ発生手段４には塵
埃が除去されたガスだけが供給されるので、放電によっ
て発生したプラズマによって、塵埃が除去されたガス中
の臭気成分および有害成分を分解して除去することがで
き、プラズマ発生手段４の清掃などの手間がかからず、
浄化装置１の保守管理を容易にすることができる。

【００３６】また前記プラズマ発生手段４は、放電電極
およびアース電極間のガスを放電、たとえばコロナ放電
によって電子とイオンとに電離させ、電子の電子温度が
イオンのイオン温度に比べて高い状態で、電子とイオン
とが熱力学的に平衡していない状態のプラズマである非
平衡プラズマを発生させるので、放電によって発生する
各電極間のプラズマの温度が常温に保たれた状態で高速
の電子を得ることができ、この高速の電子を塵埃が除去
されたガス中の臭気成分および有害成分に衝突させてラ
ジカルを形成し、化学反応を起こさせてガス中の臭気成
分および有害成分を除去することができる。さらに放電
によって発生する各電極間のプラズマの温度は常温に保
たれているので、プラズマ発生手段４に冷却手段などを
設ける必要がなく、またプラズマ発生手段４から排出さ
れるガスの温度も常温に保たれ、熱プラズマを用いると
きのように高温のガスが排出されることがなく、排出さ
れるガスの冷却手段などを設ける必要がなく、構成の簡
略化を図ることができる。

【００３７】図２は浄化装置１に備えられる非平衡プラ
ズマ発生部２７の放電電極４０およびアース電極４１を
簡略化して示す正面図であり、図３は図２の切断面線Ｉ
ＩＩ−ＩＩＩから見た断面図である。図２および図３に
おいて、放電電極４０は図解を容易にするため、その直
径を拡大して示している。放電電極４０は導電性を有す
る材料、たとえば鋼から成り、断面形状が円形状の線状
体から成る。アース電極４１は導電性を有する材料、た
とえば鋼から成り、複数の透孔４２が形成される筒状体
から成る。すなわちアース電極４１はいわゆる網目状に
形成される。アース電極４１によって囲まれた空間４３
には、同軸に放電電極４０が配置される。放電電極４０
は、少なくともアース電極４１の長手方向全長に臨んで
配置される。この放電電極４０およびアース電極４１
は、非平衡プラズマ発生部２７にアース電極４１が相互
に接触した状態で複数設けられる。塵埃が除去されたガ
スは、図３の下方から上方に向かう前記ガスの流下方向
Ａに供給される。前記ガスはアース電極４１の側面側か
ら各透孔４２を介して非平衡プラズマが発生するアース
電極４１によって囲まれた空間４３に供給され、ガス中
の臭気成分および有害成分を分解除去し、この分解除去
したガスを前記空間４３から各透孔４２を介して排出す
る。

【００３８】放電電極４０およびアース電極４１の寸法
の一例を示すと、放電電極４０の直径Ｄ１は１〜５ｍｍ
程度に選ばれる。アース電極４１の内径Ｄ２は、２５０
ｍｍ程度に選ばれる。アース電極４１の軸線方向長さＬ
１は、３〜１０ｍ程度に選ばれる。アース電極４１の周
壁の厚さｔは、２ｍｍ程度に選ばれる。

【００３９】前記アース電極４１には複数の透孔４２が
形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔４２を
介して非平衡プラズマが発生するアース電極４１によっ
て囲まれた空間４３に供給して、前記ガス中の臭気成分
および有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを
前記空間４３から各透孔４２を介して排出することがで
き、アース電極４１の軸線方向だけでなく、この軸線方
向に交差する方向に塵埃が除去されたガスを通過させる
ことができる。これとともに、アース電極４１の表面積
を、複数の透孔４２が形成されていない同一寸法のアー
ス電極の表面積よりも小さくすることができ、これによ
って放電電極４０およびアース電極４１間の静電容量を
小さくして放電に要する時間を短縮し、非平衡プラズマ
を発生させやすくして、高速の電子を得ることができ
る。

【００４０】アース電極４１は円筒状に形成されている
が、他の形態として、角筒状に形成されていてもよい。

【００４１】図４は本発明の基礎となる実施の形態であ
る浄化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部２７ａの
放電電極５０およびアース電極５１を簡略化して示す正
面図であり、図５は図４の切断面線Ｖ−Ｖから見た断面
図である。図４および図５において、放電電極５０は図
解を容易にするため、その直径を拡大して示している。
放電電極５０は導電性を有する材料、たとえば鋼から成
り、断面形状が円形状の線状体から成り、かつ相互に間
隔をあけて複数設けられる。アース電極５１は導電性を
有する材料、たとえば鋼から成り、複数の透孔５２が形
成される平板状の板状体から成り、前記複数の放電電極
５０から一定の間隔ｄ２をあけて両側に配置される。す
なわちアース電極５１はいわゆる網目状に形成される。
複数の放電電極５０は、非平衡プラズマ発生部２７ａに
複数列設けられる。放電電極５０は、少なくともアース
電極５１の長手方向全長に臨んで配置される。

【００４２】塵埃が除去されたガスは、図５の下方から
上方に向かう前記ガスの流下方向Ａに供給される。この
ガスは、アース電極５１の側面側から各透孔５２を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極５１間の空間５
３に供給され、前記ガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この分解除去したガスを前記空間５３から
各透孔５２を介して排出する。

【００４３】放電電極５０およびアース電極５１の寸法
の一例を示すと、放電電極５０の直径Ｄ１は、１〜５ｍ
ｍ程度に選ばれる。各放電電極５０間の間隔ｄ１は、１
００ｍ程度に選ばれる。各放電電極５０およびアース電
極５１間の間隔ｄ２は、１２５ｍｍ程度に選ばれる。ア
ース電極５１の厚さｔは、たとえば２ｍｍ程度に選ばれ
る。アース電極５１の幅Ｗは、３ｍ程度に選ばれる。ア
ース電極５１の長手方向長さＬ２は、３〜１０ｍ程度に
選ばれる。

【００４４】アース電極５１には複数の透孔５２が形成
されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔５２を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極５１間の空間５
３に供給して、前記ガスの臭気成分および有害成分を分
解除去し、この分解除去したガスを前記空間５３から各
透孔５２を介して排出することができ、アース電極５１
に平行な方向でかつ放電電極５０に交差する方向および
各放電電極５０に沿う方向だけでなく、アース電極５１
側から各放電電極５２に交差する方向に塵埃が除去され
たガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処理するこ
とができる。これとともに、アース電極５１の表面積を
複数の透孔５２が形成されていない同一寸法のアース電
極の表面積よりも小さくすることができ、これによって
各放電電極５０およびアース電極５１間の静電容量を小
さくして放電に要する時間を短縮して非平衡プラズマを
発生させやすくして高速の電子を得ることができる。

【００４５】また前記複数の透孔５２が形成される板状
体から成るアース電極５１は平板状に形成されるので、
入手が容易な平板状の板状体をアース電極５１として用
いることができ、これによって構成が簡単でかつ安価な
プラズマ発生手段４を形成することができる。

【００４６】さらに各放電電極５０間の中央部に１また
は複数の第２のアース電極を配置することによって、高
速の電子が得られる領域が増え、ガスを処理する能力を
向上させることができる。

【００４７】図６は本発明の実施の他の形態である浄化
装置に備えられる非平衡プラズマ発生部２７ｂの放電電
極６０ならびにアース電極６１および第２アース電極６
３を簡略化して示す正面図であり、図７は図６の切断面
線ＶＩＩ−ＶＩＩから見た断面図である。図６および図
７は、図解を容易にするため、放電電極６０および第２
のアース電極６３の直径および幅を拡大して示してい
る。放電電極６０は導電性を有する材料、たとえば鋼か
ら成り、断面形状が円形状の線状体から成り、かつ相互
に間隔をあけて複数設けられる。アース電極６１は導電
性を有する材料、たとえば鋼から成り、複数の透孔６２
が形成される波板状の板状体から成り、前記複数の放電
電極６０から一定の間隔をあけて両側に配置される。す
なわちアース電極６１はいわゆる網目状に形成される、
複数の放電電極６０は、非均衡プラズマ発生部２７ｂに
複数列設けられる。相互に隣接する各放電電極６０の位
置関係は、正三角形をなすように配置される。相互に隣
接する各放電電極６０間の中央部には、第２のアース電
極６３が配置される。第２のアース電極６３は、導電性
を有する材料、たとえば鋼から成り、断面形状が正方形
状の線状体から成る。アース電極６１は、各放電電極６
０およびこの放電電極に隣接する第２のアース電極６３
間の間隔を半径とする仮想円筒面の一部を形成するよう
に弯曲している。放電電極６０および第２のアース電極
６３は、少なくともアース電極６１の長手方向全長に臨
んで配置される。

【００４８】塵埃が除去されたガスは、図７の下方から
上方に向かう前記ガスの流下方向Ａに供給される。この
ガスは、アース電極６１側から各透孔６２を介して非平
衡プラズマが発生するアース電極６１間の空間６４に供
給され、前記ガス中の臭気成分および有害成分を分解除
去し、この分解除去したガスを前記空間６４から各透孔
６２を介して排出する。

【００４９】放電電極６０、アース電極６１および第２
のアース電極６３の寸法の一例を示すと、放電電極６０
の直径Ｄ１は、１〜５ｍｍ程度に選ばれる。アース電極
６１の幅Ｗは、３ｍ程度に選ばれる。アース電極６１の
長手方向長さＬ２は、３〜１０ｍ程度に選ばれる。アー
ス電極６１の厚さｔは、２ｍｍ程度に選ばれる。アース
電極６１の放電電極６０に臨む弯曲した面の半径Ｒは、
１２５ｍｍ程度に選ばれる。第２のアース電極６３の一
辺の長さＢは、４ｍｍ程度に選ばれる。各放電電極６０
間の間隔ｄ３は、たとえば２５０ｍｍ程度に選ばれる。
放電電極６０および第２のアース電極６３間の間隔ｄ４
は、１２５ｍｍに選ばれる。各放電電極６０およびアー
ス電極６１間の間隔ｄ５は、たとえば１２５ｍｍ程度に
選ばれる。

【００５０】アース電極６１には複数の透孔６２が形成
されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔６２を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極６１間の空間６
４に供給して、前記ガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この分解除去したガスを前記空間６４から
各透孔６２を介して排出することができ、アース電極６
１に平行な方向でかつ放電電極６０に交差する方向およ
び各放電電極６０に沿う方向だけでなく、アース電極６
１側から各放電電極６０に交差する方向に塵埃が除去さ
れたガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処理する
ことができる。これとともに、アース電極６１の表面積
を複数の透孔が形成されていない同一寸法のアース電極
の表面積よりも小さくすることができ、これによって各
放電電極６０およびアース電極６１間の静電容量を小さ
くして放電に要する時間を短縮して非平衡プラズマを発
生させやすくし、高速の電子を容易に得ることができ
る。

【００５１】また前記複数の透孔６２が形成される板状
体であるアース電極６１は、波板状に形成されるので、
アース電極６１が平板状に形成されているときよりも放
電電極６０およびアース電極６１間で高速の電子が得ら
れる領域が増え、アース電極６１が平板状に形成されて
いるときよりも、ガスを処理する能力が向上し、構成が
簡単でかつ安価なプラズマ発生手段４を形成することが
できる。

【００５２】さらにアース電極６１を波板状に形成する
ことによって、アース電極６１が平板状に形成されてい
るときよりも各アース電極６１間の間隔を小さくして波
板状のアース電極６１を配置することができ、プラズマ
発生手段４を小形化することができる。

【００５３】さらに相互に隣接する各放電電極６０間の
中央部には第２のアース電極６３が配置されるので、放
電電極６０およびアース電極６１間で高速の電子が得ら
れるとともに、放電電極６０および第２のアース電極６
３間においても高速の電子を得ることができ、プラズマ
発生手段４がガスを処理する能力をさらに向上させるこ
とができる。

【００５４】本実施形態において第２のアース電極６３
は断面形状が四角形状に形成される線状体からなってい
るが、これに代えて断面形状が円形状の線状体から成っ
ていてもよく、また帯板から成っていてもよい。さらに
この帯板に透孔が形成されていてもよい。さらに、第２
のアース電極６３は相互に隣接する各放電電極６０間の
中央部に１つ設けられているが、複数設けられていても
よい。

【００５５】また本実施形態において、アース電極６１
は複数の透孔６２が形成される波板状の板状体から成っ
ているが、これに代えて、複数の透孔が形成されていな
い波板状の板状体から成っていてもよい。

【００５６】図８は本発明の実施のさらに他の形態であ
る浄化装置７０の構成を簡略化して示す断面図であり、
図９は図８の切断面線ＩＸ−ＩＸから見た拡大断面図で
あり、図１０はバグフィルタ７２付近の構成を簡略化し
て示す拡大縦断面図である。本実施形態において前述の
実施形態の構成に対応する部分には同一の参照符を付
す。浄化装置７０は、ハウジング７１と、集塵手段であ
るバグフィルタ７２と、プラズマ発生手段４と、塵埃回
収手段１００とを含む。ハウジング７１は、ほぼ水平に
延び、四角形状に形成される端板７１ａと、端板７１ａ
の長手方向両端部と長手方向に垂直な幅方向両端部とか
ら鉛直下方に延びる４つの側板７１ｂと、各側板７１ｂ
の下端部に連なり、鉛直下方に向かうにつれて近接する
方向に傾斜する案内面を有するホッパ部７３とを含む。

【００５７】各側板７１ｂには、端板７１ａに間隔をあ
けて仕切り板７６が設けられる。仕切り板７６は、その
周縁部７６ａが各側板７１ｂの上部に気密に固定され
る。仕切り板７６には、全面にわたって相互に間隔をあ
けて複数の透孔７９が形成される。このようにしてハウ
ジング７１の内部空間７５は、仕切り板７６によって煤
塵などの塵埃を含むガスが供給される第１空間７７と、
処理後のガスが供給される第２空間７８とに仕切られ
る。

【００５８】バグフィルタ７２は、たとえばガラス繊維
から成り、袋状に形成される。バグフィルタ７２の上端
部は、仕切り板７６に気密に設けられる取付手段９３に
外挿され、したがってバグフィルタ７２が仕切り板７６
から垂れ下がり、バグフィルタ７２の内部空間と第２空
間７８とが各透孔７９を介して連通する。ハウジング７
１の上部には、端板７１ａと、各側板７１ｂの上部７１
ｂ１と、仕切り板７６と、取付手段９３とによってヘッ
ダ９２が形成される。さらにハウジング７１の下部のバ
グフィルタ７２の下端部よりも下方には、煤塵などの塵
埃を含むガスを第１空間７７に供給する供給管路８０が
接続される。

【００５９】取付手段９３は、端板７６の各透孔７９の
周縁部から鉛直下方に延びる筒状の取付体９４と、前記
取付体９４の外周面に当接し、外挿されたバグフィルタ
７２の内周面を支持し、バグフィルタ７２を補強する網
状の補強体９５と、バグフィルタ７２の上部の外周面に
当接し、バグフィルタ７２を補強体９５を介して取付体
９４に締結して保持する保持体９６とを含む。バグフィ
ルタ７２の上端面と仕切り板７６の下方に臨む一表面と
の間には、パッキン９７が介在され、第１空間７７とヘ
ッダ９２の内部空間である第２空間７８との間の気密状
態を保持する。

【００６０】プラズマ発生手段４は、非平衡プラズマを
発生させる非平衡プラズマ発生部２７を含み、非平衡プ
ラズマ発生部２７は、図２および図３に示される構成と
同一の構成を有する複数の放電電極４０と、複数のアー
ス電極４１と、電源９８とを含む。バグフィルタ７２は
各アース電極４１を外囲し、相互に接触しないように間
隔をあけてそれぞれ設けられる。

【００６１】導気手段７４は、少なくとも取付手段９３
と、ヘッダ９２と、第１管路８１と、吸引ファン８２
と、第２管路８３と、第１開閉弁９０とを含む。厳密に
いえば導気手段７４は、供給管路８０と、ヘッダ９２を
含むハウジング７１と、取付手段９３と、第１管路８１
と、吸引ファン８２と、第２管路８３と、第１開閉弁９
０と、第２開閉弁８６と、第３管路８４と、複数の第３
開閉弁８７と、複数の第４管路８５とを含む。

【００６２】第１管路８１は、その一端部がヘッダ９２
を構成する端板７１ａに接続され、他端部が吸引ファン
８２の供給口に接続されてヘッダ９２内の第２空間７８
と吸引ファン８２内の空間とを連通する。吸引ファン８
２の排気口には、第２管路８３が接続される。第２管路
８３には、ガスの流下方向下流側に第３管路８４が接続
される。また第２管路８３には、第２管路８３と第３管
路８４との接続位置８９よりもガスの流下方向下流側に
第１開閉弁９０が介在される。

【００６３】第３管路８４には、一端部が第３管路８４
の流下方向下流側にそれぞれ接続され、他端部が放電電
極４０とアース電極４１との間の空間である各アース電
極４１によって囲まれた空間４３に臨んでそれぞれ配置
される複数の第４管路８５が設けられる。第３管路８４
のガスの流下方向上流側には、第２開閉弁８６が介在さ
れる。各第４管路８５には、第３開閉弁８７がそれぞれ
介在される。集塵手段は、バグフィルタ７２と上述の導
気手段７４とを含んで構成される。

【００６４】塵埃回収手段１００は、前記ホッパ部７３
と、スクリューコンベヤ１０１と、ロータリフィーダ１
０２と、排出口１０３とを含む。スクリューコンベヤ１
０１は、ホッパ部７３の下部に設けられ、図８の紙面に
垂直な水平軸線まわりに回転駆動され、ホッパ部７３に
貯留された塵埃を排出口７３ａに移送する。ロータリフ
ィーダ１０２は、ホッパ部７３の排出口７３ａの下方に
設けられ、ケーシング１０５内で回転駆動されるロータ
１０６が設けられるロータリバルブ１０７と、前記ロー
タ１０６を所定の回転速度で回転駆動するモータ１０８
とを有し、スクリューコンベヤ１０１によって移送され
た塵埃をロータリフィーダ１０２の下方に設けられる排
出口１０３に移送し、排出する。さらに詳しく述べる
と、スクリューコンベヤ１０１を定期的または所定の貯
留量に達したときに駆動して、塵埃を含む粉粒体をスク
リューコンベヤ１０１によって強制的に排出してロータ
リフィーダ１０２に導き、ケーシング１０５内のガスを
漏出することなく排出口１０３から排出することができ
る。

【００６５】第１開閉弁９０が開放され、第２開閉弁８
６および各第３開閉弁８７が閉鎖されているときに吸引
ファン８２が運転されると、ヘッダ９２内の空間である
第２空間７８の圧力は負圧となって、バグフィルタ７２
によって囲まれた空間が負圧とされ、供給管路８０から
煤塵などの塵埃を含むガスが第１空間７７に供給され
る。供給された前記ガスは、バグフィルタ７２の周囲か
らバグフィルタ７２に導かれ、バグフィルタ７２によっ
て前記ガスから煤塵などの塵埃を除去する。煤塵などの
塵埃が除去されたガスは、アース電極４１によって囲ま
れた空間４３に導かれる。アース電極４１によって囲ま
れた空間４３に導かれたガスは、放電電極４０およびア
ース電極４１間に発生する非平衡プラズマによって塵埃
が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解除
去する。この処理後のガス、すなわち清浄な空気はアー
ス電極４１の軸線方向上方に導かれ、透孔７９を介して
第２空間７８に導かれ、第１管路８１、吸引ファン８２
および第２管路８３および第１開閉弁９０を介して予め
定める放出位置８８に放出される。

【００６６】またバグフィルタ７２に捕集された塵埃を
回収するには、第１開閉弁９０を閉鎖し、第２開閉弁８
６を開放して、塵埃を回収しようとするバグフィルタ７
２に対応する第３開閉弁８７を開放することによって、
第２管路８３を流れる清浄な空気を第３管路８４に導
き、選択された第３開閉弁８７を介して選択された第４
管路８５に導き、アース電極４１によって囲まれた空間
４３に導く。前記空間４３に導かれた清浄な空気は、バ
グフィルタ７２の内方から外方に向かって放出され、バ
グフィルタ７２に捕捉された塵埃を吹き払う。吹き払わ
れた塵埃は、ホッパ部７３に落下して貯留された後、ロ
ータリフィーダ１０２を介して排出口１０３から回収さ
れる。

【００６７】前記集塵手段はアース電極４１を外囲する
バグフィルタ７２であり、前記集塵手段はアース電極４
１によって囲まれた空間４３から予め定める放出位置８
８に処理後のガスを導く導気手段７４を含むので、導気
手段７４の吸引ファン８２によってバグフィルタ７２内
は負圧とされ、バグフィルタ７２の周囲の煤塵などの塵
埃を含むガスをバグフィルタ７２に導き、塵埃が除去さ
れたガスをアース電極４１によって囲まれた空間４３に
導いて、放電電極４０およびアース電極４１間に発生す
る非平衡プラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭
気成分および有害成分を分解除去し、この処理後のガス
をアース電極４１の軸線方向上方に導いて、予め定める
放出位置８８に導くことができる。またアース電極４１
の周囲にバグフィルタ７２が設けられることによって、
図１〜図７に示される本発明の実施の形態と比較して構
成が簡略化され、集塵手段をプラズマ発生手段４の近傍
に配置することが可能となり、これによって図１〜図７
に示される本発明の実施の形態と比較して浄化装置７０
の小形化を図ることができる。さらにバグフィルタ７２
に導かれる前記塵埃を含むガスはバグフィルタ７２の周
囲から導かれるので、バグフィルタ７２の設置位置にか
かわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができるとと
もに、導気手段７４には処理後のガスが導かれるので、
導気手段７４、特に吸引ファン８２の汚損が少ない。

【００６８】図１〜図１０に示される実施の形態におい
て、放電電極４０，５０，６０、アース電極４１，５
１，６１および第２のアース電極６３は、鋼から成って
いるが、これに代えて、銅またはアルミニウムなどの他
の導電性を有する材料から成っていてもよい。

【００６９】アース電極４１，５１，６１は、その透孔
４２，５２，６２を機械加工によって板状体を打ち抜い
て形成してもよいし、またアース電極４１，５１，６１
にラス板または金網を用いてもよい。

【００７０】図２〜図１０に示される実施の形態におい
て、放電電極４０，５０，６０は断面形状が円形状であ
るが、これに限られるものではなく、環状、多角形状な
どの他の形状であってもよい。

【００７１】図８〜図１０に示される本発明の実施の形
態において、バグフィルタ７２は各アース電極４１を外
囲してそれぞれ設けられているが、本発明の実施のさら
に他の形態として、複数のアース電極４１を外囲するよ
うに１つのバグフィルタ７２を設けてもよい。このよう
に構成することによってバグフィルタ７２の取付作業が
容易になる。

【００７２】また図８〜図１０に示される本発明の実施
の形態において、バグフィルタ７２に捕集された塵埃を
バグフィルタ７２から除去するには、予め定める放出位
置８８に導かれる清浄な空気をアース電極４１によって
囲まれた空間４３に導いて、バグフィルタ７２の内方か
ら外方に向かって放出しているが、これに代えて、バグ
フィルタ７２を振動させることによって塵埃を除去して
もよい。

【００７３】さらに図８〜図１０に示される本発明の実
施の形態において、煤塵などの塵埃を含むガスは吸引フ
ァン８２によってヘッダ９２内の清浄な空気を吸引して
ヘッダ９２内を負圧とすることによって第１空間７７に
供給しているが、これに代えて、供給管路８０のガスの
流下方向上流側に送風ファンを設け、ヘッダ９２を大気
開放して前記ガスを第１空間７７に供給してもよい。さ
らに送風ファンを用いず、前記ガスの排気圧によって第
１空間７７に供給してもよい。

【００７４】さらに図８〜図１０に示される本発明の実
施の形態において、バグフィルタ７２は円筒状のアース
電極４１を外囲して設けられているが、これに代えて、
図４〜図７に示される平板状または波板状のアース電極
５１，６１、もしくは第２のアース電極６３が設けられ
た平板状または波板状のアース電極５１，６１を外囲し
て設けられていてもよい。

【００７５】

【発明の効果】本発明によれば、集塵手段は煤塵などの
塵埃を含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分お
よび有害成分とを含む空気から塵埃を捕集して除去し、
プラズマ発生手段には塵埃が除去されたガスだけが供給
されるので、放電によって発生したプラズマによって塵
埃が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解
して除去することができ、プラズマ発生手段の清掃など
の手間がかからず、浄化装置の保守管理を容易にするこ
とができる。

【００７６】前記プラズマ発生手段は放電電極およびア
ース電極間のガスを放電によって電子とイオンとに電離
させ、電子の電子温度がイオンのイオン温度に比べて高
い状態で電子とイオンとが熱力学的に平衡していない状
態のプラズマである非平衡プラズマを発生させるので、
放電によって発生する各電極間のプラズマの温度が常温
に保たれた状態で高速の電子を得ることができ、この高
速の電子を塵埃が除去されたガス中の臭気成分および有
害成分に衝突させてラジカルを形成し、化学反応を起こ
させてガス中の臭気成分および有害成分を除去すること
ができる。また放電によって発生する各電極間のプラズ
マの温度は常温に保たれているので、プラズマ発生手段
に冷却手段などを設ける必要がなく、またプラズマ発生
手段から排出されるガスの温度も常温に保たれ、熱プラ
ズマを用いるときのように高温のガスが排出されること
がなく、排出されるガスの冷却手段などを設ける必要が
なく、構成の簡略化を図ることができる。

【００７７】前記アース電極には複数の透孔が形成され
るので、塵埃が除去されたガスを各透孔を介して非平衡
プラズマが発生するアース電極によって囲まれた空間に
供給して、前記ガス中の臭気成分の分子および有害成分
の分子を分解除去し、この分解除去したガスを前記空間
から各透孔を介して排出することができる。またアース
電極の軸線方向だけでなくこの軸線方向に交差する方向
に塵埃が除去されたガスを通過させることができる。こ
れとともに、アース電極の表面積を複数の透孔が形成さ
れていない同一寸法のアース電極の表面積よりも小さく
することができ、これによって放電電極およびアース電
極間の静電容量を小さくして放電に要する時間を短縮
し、非平衡プラズマを発生させやすくして、高速の電子
を得ることができる。

【００７８】本発明によれば、前記アース電極には複数
の透孔が形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透
孔を介して非平衡プラズマが発生する各放電電極および
アース電極間の空間に供給して、前記ガス中の臭気成分
および有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを
前記空間から各透孔を介して排出することができる。ま
たアース電極に平行な方向で、かつ放電電極に交差する
方向および各放電電極に沿う方向だけでなく、アース電
極側から各放電電極に交差する方向に、塵埃が除去され
たガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処理するこ
とができる。これとともに、アース電極の表面積を複数
の透孔が形成されていない同一寸法のアース電極の表面
積よりも小さくすることができる。これによって各放電
電極およびアース電極間の静電容量を小さくして放電に
要する時間を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすく
して、高速の電子を得ることができる。

【００７９】

【００８０】前記複数の透孔が形成される板状体は波板
状に形成されるので、板状体が平板状に形成されている
ときよりも放電電極およびアース電極間で高速の電子が
得られる領域が増え、これによって板状体が平板状に形
成されているときよりもガスを処理する能力が向上し、
構成が簡単でかつ安価なプラズマ発生手段を形成するこ
とができる。また前記板状体を波板状に形成することに
よって板状体が平板状に形成されているときよりも各ア
ース電極間の間隔を小さくして波板状のアース電極を配
置することができ、プラズマ発生手段を小形化すること
ができる。

【００８１】本発明によれば、相互に隣接する各放電電
極間の中央部には第２のアース電極が配置されるので、
放電電極およびアース電極間で高速の電子が得られると
ともに、放電電極および第２のアース電極間においても
高速の電子を得ることができ、ガスを処理する能力をさ
らに向上させることができる。

【００８２】本発明によれば、前記集塵手段は前記アー
ス電極を外囲するバグフィルタであるので、バグフィル
タの周囲から煤塵などの塵埃を含むガスをバグフィルタ
に導き、バグフィルタによって煤塵などの塵埃を捕集
し、塵埃が除去されたガスを放電電極とアース電極との
間の空間に導いて、放電電極およびアース電極間に発生
するプラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭気成
分および有害成分を分解除去することができる。またバ
グフィルタに導かれる前記塵埃を含むガスは、バグフィ
ルタの周囲から導かれるので、バグフィルタの設置位置
にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができ
る。

【００８３】本発明によれば、集塵手段は前記放電電極
と前記アース電極との間の空間から予め定める放出位置
に処理後のガスを導く導気手段を含むので、導気手段に
よってバグフィルタの周囲の煤塵などの塵埃を含むガス
をバグフィルタに導き、バグフィルタによって煤塵など
の塵埃を捕集し、塵埃が除去されたガスを放電電極とア
ース電極との間の空間に導いて、放電電極およびアース
電極間に発生するプラズマによって塵埃が除去されたガ
ス中の臭気成分および有害成分を分解除去し、この処理
後のガスをたとえばアース電極の軸線方向に導いて予め
定める放出位置に導くことができる。また導気手段には
処理後のガスが導かれるので、導気手段の汚損が少な
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態である浄化装置１の構成
を簡略化して示す断面図である。

【図２】浄化装置１に備えられる非平衡プラズマ発生部
２７の放電電極４０およびアース電極４１を簡略化して
示す正面図である。

【図３】図２の切断面線ＩＩＩ−ＩＩＩから見た断面図
である。

【図４】本発明の基礎となる実施の形態である浄化装置
に備えられる非平衡プラズマ発生部２７ａの放電電極５
０およびアース電極５１を簡略化して示す正面図であ
る。

【図５】図４の切断面線Ｖ−Ｖから見た断面図である。

【図６】本発明の実施の他の形態である浄化装置に備え
られる非平衡プラズマ発生部２７ｂの放電電極６０なら
びにアース電極６１および第２のアース電極６３を簡略
化して示す正面図である。

【図７】図６の切断面線ＶＩＩ−ＶＩＩから見た断面図
である。

【図８】本発明の実施のさらに他の形態である浄化装置
７０の構成を簡略化して示す断面図である。

【図９】図８の切断面線ＩＸ−ＩＸから見た拡大断面図
である。

【図１０】バグフィルタ７２付近の構成を簡略化して示
す拡大縦断面図である。

【符号の説明】

１，７０ 浄化装置 ３ 集塵手段 ４ プラズマ発生手段 ４０，５０，６０ 放電電極 ４１，５１，６１ アース電極 ４２，５２，６２ 透孔 ４３ アース電極内の空間 ６３ 第２のアース電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−312115（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−363115（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−227117（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−309231（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−116460（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−155249（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−265653（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−265655（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−128660（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01D 53/34 - 53/75 B01D 53/32,46/42 B01J 19/08 H05H 1/46

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 煤塵などの塵埃を含むガスが供給され、
   このガスから塵埃を捕集して除去する集塵手段と、 塵埃が除去されたガスが供給され、放電電極およびアー
   ス電極間の放電によって非平衡プラズマを発生させるプ
   ラズマ発生手段とを含み、 前記放電電極は線状体から成り、 前記アース電極は複数の透孔が形成される円筒状体から
   成り、 アース電極によって囲まれた空間には同軸に前記放電電
   極が配置されることを特徴とする浄化装置。
2. 【請求項２】 煤塵などの塵埃を含むガスが供給され、
   このガスから塵埃を捕集して除去する集塵手段と、 塵埃が除去されたガスが供給され、放電電極およびアー
   ス電極間の放電によって非平衡プラズマを発生させるプ
   ラズマ発生手段とを含み、 前記放電電極は、線状体から成り、かつ相互に間隔をあ
   けて複数設けられ、 前記アース電極は、複数の透孔が形成される板状体から
   成り、前記複数の放電電極から一定の間隔をあけて両側
   に配置され、 前記複数の透孔が形成される板状体は、波板状に形成さ
   れることを特徴とする浄化装置。
3. 【請求項３】 相互に隣接する各放電電極間の中央部に
   は、第２のアース電極が配置されることを特徴とする請
   求項２記載の浄化装置。
4. 【請求項４】 前記集塵手段は、前記アース電極を外囲
   するバグフィルタであることを特徴とする請求項１〜３
   のうちのいずれかに記載の浄化装置。
5. 【請求項５】 前記集塵手段は、前記放電電極と前記ア
   ース電極との間の空間から予め定める放出位置に処理後
   のガスを導く導気手段を含むことを特徴とする請求項１
   〜４のうちのいずれかに記載の浄化装置。
6. 【請求項６】 前記プラズマ発生手段には、放電電極お
   よびアース電極の複数の組が設けられ、 各アース電極が相互に接触した状態で設けられることを
   特徴とする請求項１記載の浄化装置。