JPH04197418A - ガス浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明はＣＯ、トルエン、ベンゼン、燃焼排ガス中の
未燃炭化水素等の有害ガス物質や有害溶媒蒸気（以下ガ
ス状汚染物質と総称する）、あるいはアンモニア、硫化
水素、メチールメルカブタン等の悪臭物質を含んだ空気
または製造工程・作業工程で発生するガス（以下汚染ガ
スと総称する）から除去するガス浄化装置１関するもの
である。また該汚染ガス中に浮遊する微粒子や細菌類を
も除去するものである。

「従来技術」 従来汚染ガス中の上記ガス状汚染物質や悪臭物質を除く
には該汚染ガス中にオゾンを添加し、その強力な酸化作
用で該ガス状汚染物質や悪臭を酸化分解し、残存オゾン
は活性炭等の吸着材（以下吸着材と総称する）あるいは
オゾン分解触媒で除去して外部に放出するという方法が
取られて来た。これは有効な方法であるが、添加す八き
オゾンの量は少な（とも該ガス状汚染物質や悪臭物質と
化学量論的に当量以上の大量を必要とすると共に、オゾ
ン除去に吸着材を用いる時はこれを大量に用いないとそ
の寿命が短すぎ、オゾン分解触媒を用いる時もＳＶ値で
５ｏｏｏｏ、好ましくは２００００という大量の触媒を
使用する必要があり、極めて高価についていた。

［解決しようとする発明の課題］ この発明の課題は上記従来の技術に比べて著しく小型か
つ安価で有効な汚染ガス中のガス状汚染物質・悪臭物質
の分解除去手段を提供する事である。また該汚染ガス中
に浮遊する微粒子ないし細菌類をも同時に捕集除去する
手段を提供する事である６ ［問題を解決するための手段］ この発明は該ガス状汚染物質ないし悪臭物質を強力に分
解する作用を有する、ＯＨ−ラジカル等の反応過程にお
いて自己を再生ないし増殖する連鎖反応性ラジカル含む
各種の強力な化学的活性種（ＯＨ−ラジカル；０−ラジ
カル；Ｎ−ラ・二・２カル：Ｈ−ラジカル、ＮＨ２−ラ
ジカル：励起酸素；励起窒素等、以下これら連鎖反応性
の強力ラジカルを含む強力な化学的化学的活性種の集合
をラジカルと総称する）を直接上記汚染ガスの流れの中
で生成して、気相中および該吸着材ないしオゾン分解触
媒（以下これらを吸着分解要素と総称する）中で該ガス
状汚染物質ないし悪臭物質に反応せしめる事によって上
記課題を達成する。

即ち従来の方法におけるオゾン４二よる該ガス状汚染物
質ないし悪臭物質の分解方式では、分解の大部分は該吸
収分解要素内で行なわれる。該ガス状汚染物質ないし悪
臭物質の内、気相で分解されるものは極（僅かで、その
大部分とオゾンの大部分は先ず一旦該吸着分解要素の内
部表面に吸着され、次いで該内部表面上の活性中心でオ
ゾンが酸素分子と活性なＯ−ラジカルに分解される。そ
してこのＯ−ラジカルが近傍に吸着集積された該ガス状
汚染物質ないし悪臭物質の分子と反応してこれらを酸化
分解する。二の場合０−ラジカルは連鎖反応性を有しな
いので、必然的にオゾンの所要量は該ガス状汚染物質な
いし悪臭物質の量と化学量論的に当量以上となる。

また反応の中間生成物としてＯ−ラジカルでは分解困難
な酪酸・蟻酸・プロピオン酸等の物質が生じ、これらが
次第に該吸着分解要素の内部表面を占有する。したがっ
て該吸着分解要素の使用量が少ないと、短時間でこれら
難分解物質が飽和吸着して外部に放出され、その固有の
臭気を発散するにいたる。またこの場合、該活性中心も
該難分解物質によって占有されるので、短時間でオゾン
の分解も阻害されてオゾンが外部に放出される様になり
、固有のオゾン臭を発散するのみならず、オゾンの安全
濃度限界を越えるに至る事すら生ずる。

本発明ではＯＨ−ラジカル等の連鎖反応性強力ラジカル
を含む強力なラジカルを利用し、ラジカル反応の相当部
分を気相中で行ない、残りのラジカル反応を該吸着分解
要素の内部で行なう、この場合該連鎖反応性ラジカルは
分解反応の過程で繰り返して自己を再生ないし増殖する
ので、ラジカルの所要供給量は該ガス状汚染物質ないし
悪臭物質の量に比にて化学量論的に遥かに少なくて良い
、また利用するラジカルの化学的活性が強力である事と
、連鎖反応を活用して短時間に反応を連鎖的に繰り返し
行なうため、上記難分解性物質を含めてすべてのガス状
汚染物質ないし悪臭物質が悉く分解され。

該吸着分解要素の内部表面はこれらが飽和吸着する事が
無く、またその活性中心はつねに活性状態にあってオゾ
ン分解機能を維持する。その結果、本発明では該吸着分
解要素の所要量も従来のオゾン分解方式に比式て数分の
一程度の少ない量で済む６例えばオゾン分解触媒を使用
する時は、所要Ｓｖ値は容易に１５００００ないし２０
００００以上に取る事が出来て、装置が極めて小型・安
価・高性能となるのである。

このようなラジカルは一般に極めて短寿命であるが、本
発明の様仁これを直接該汚埼ガス中で生成する限りはそ
の固有の利点を充分に活用する事が出来る。また該連鎖
反応を該吸着分解要素の中でも有効に発生させる為、ラ
ジカル生成部は出来る限り該吸着分解要素に近接して、
その上流側に設け、該ラジカルを出来るだけ多く該吸着
分解要素内に送入する必要がある。但し該ラジカル生成
部では一般にオゾンも生成されるのでこれを該吸着分解
要素の下流側に設けるとオゾンか外気に放出される恐れ
があり、好ましくない。

尚、該連鎖反応性ラジカルの中でも最も重要なものはＯ
Ｈ−ラジカルであるが、これは水分ないし炭化水素等、
水素源を含む雰囲気中で生成される。汚染ガスは一般に
常にこれらの水素源を含むので、この中で放電を利用し
てプラズマ化学反応により、あるいは紫外線等を利用し
て光化学反応によりラジカルを生成する時は生成反応の
エネルギーが充分であれば通常常に連鎖反応性ラジカル
を生成する事が可能である。

即ち、本発明による新規のガス浄化装置は、汚染ガスの
入口と清浄ガスの出口とガスの通路を形成せるたケーシ
ングを有し、該ケーシングの内の上流側に該汚染ガス中
のガス状汚染物質ないし悪臭物質を分解する為の少なく
とも連鎖反応性ラジカルを含むラジカルを生成するラジ
カル生成要素を具備したラジカル生成部を設け、該ケー
シング内の該ラジカル生成部の下流側に該ガス状汚染物
質ないし悪臭物質およびそれらの分解中間生成物を吸着
して該ラジカルによる分解を完結せしめる為の吸着分解
要素を具備した吸着分解部を設けた事を特徴とする。

また該ガス状汚染物質ないし悪臭物質に加えて、汚染ガ
ス中に浮遊する微粒子ないしバクテリヤ・ビールス・黴
等（以下細菌票と総称する）をも捕集するには、該ケー
シング内の汚染ガス入口と該吸着分解部の中間にガス流
を遮る如くに集塵要素を具備した集塵部を設ける。これ
によって該吸着分解部の吸着分解要素が微粒子で汚れ、
その性能が低下するのを防ぐ事が出来て好適である。

万−該ラジカル生成要素ないし該吸着分解要素の性能が
経時劣化した時は、外部に未分解ガス物質、特に未分解
オゾンが放出される。そこで該ケーシング内の該吸着分
解部と該清浄ガス出口の間に未分解ガス物質、特にオゾ
ンを検知するセンサーを設けてこれを監視し、所定の放
出濃度を越えると警報信号を発する様にする必要がある
。

該ラジカル生成要素としては適当なあらゆる原理・方式
のものを用いることが出来るが、中でも汚染ガスの通路
を隔てて１対の電極要素を互いに絶縁配設し、これらの
間に適当な放電を発生させて放電域にラジカルを生成す
る方式（以下プラズマ化学反応方式という）と、汚染ガ
スの通路にガスの全量が通過する自由空間（以下照射空
間という）を設けると共に該照射空間の内部あるいは外
部に紫外線ランプを配設して該照射空間の全域を紫外線
が照射する様にしてラジカルを生成する方式（以下紫外
線方式という）の両方式が有効・安全・経済的で特に好
適である。また場合により両方式を組合せてその相乗効
果を利用する事も出来、その場合放電域の近傍に紫外線
ランプを配設する事により該相乗効果をより向上出来る
事もある。

該プラズマ化学方式の中では、汚染ガスの通路内で負コ
ロナ放電を起こさせてラジカルを生成する方式（以下負
コロナ方式という）が簡単かつ有効である。これは該汚
染ガス通路にコロナ電極と非コロナ対向電極を互いに絶
縁のうえガス間隙を隔てて対向配設してなるコロナ電極
系を設け１両電極間に前者が負極性、後者が正極性とな
る様に直流高電圧を印加して前者より後者に向かって負
コロナ放電を発生させものである。この場合正コロナ放
電はラジカル生成量が少なく且つ火花放電に移行しやす
いので不適当である。また該直流高電圧の代わりにパル
ス高電圧を印加しても良く、このときは極性を逆にして
該コロナ放電極を正極性とし、正のストリーマ−状パル
スコロナ放電を発生させると負極性に下場合に較べて遥
かに多量のラジカルが生成出来て好適である。

またプラズマ化学方式の中では汚染ガスの通路内で交流
沿面放電を起こさせてラジカルを生成する方式（以下交
流沿面放電方式という）も簡単かつ有効である。これは
該汚染ガス通路に、誘電体層を挟んでその一方の表面上
に線状のコロナ放電極を付設し他方の表面上に該線状コ
ロナ放電極と対向する部位全体を覆う如くに面状の電極
（以下誘導電極という）を付設してなる沿面放電系を該
線状のコロナ放電極が汚染ガス流に露出する如くに設け
１両電極間に交流高電圧を印加して該線状のコロナ放電
極の周縁から該誘電体層に沿って交流沿面放電を発生さ
せるものである。この場合該誘導電極の外表面の全部を
別の誘電体層で被覆し、外誘導電極が事実上−つの誘電
体層内に埋設された如（に該沿面放電極系を構成しても
よい。

またプラズマ化学方式の中では汚染ガスの通路内で無声
放電を起こさせてラジカルを生成する方式（以下無声放
電方式という）も簡単かつ有効である。これは該汚染ガ
ス通路を介して互いに平行な面状電極を相互に絶縁の上
配設し、両電極間の間隙にガス流に平行に誘電体層を配
設して無声放電極系を構成し、両電極間に交流高電圧を
印加してその間の流通汚染ガス中に無声放電を発生させ
るものである。

該紫外線方式においては該紫外線ランプとして目的によ
り高圧水銀灯ないし低圧水銀灯のいずれを用いてもよく
、あるいはそれらを組み合わせ用いてもよい。

該吸着分解要素としては問題となるガス状汚染物質ない
し悪臭物質、あるいはそれらのラジカルによる分解の中
間生成物を有効に吸着のうえ分解する機能を持った適当
な触媒を利用する事が出来る。しかしラジカル生成に伴
い殆ど常にオゾンが生成されて外気に放出される恐れが
あるので、上記触媒としてはオゾンを分解する機能を合
わせ持った触媒（以下オゾン分解触媒という）を用いる
事が特に望ましい。かかるオゾン分解触媒にはチタニア
・シリカ系、マンガン系、銅系、白金系等々適当な凡ゆ
る触媒を利用出来、またその形状はハニカム状、粒状５
繊維層状等、適当な凡ゆる形状のものを使用できる。特
に繊維層フィルター状として濾過集塵機能を具備させた
ものは好適である。

また該吸着分解要素としては、問題となるガス状汚染物
質。

悪臭物質ないしそれらの分解中間生成物を有効に吸着す
る機能を有する適当な吸着材を使用する事も出来る。か
かる吸着材としては活性炭が安価・有効であり、その形
状としては粒状、ハニカム状、ソポンジ状、繊維層状で
濾過集塵機能を具備したもの等々任意のものを用いる事
が出来る。また該活性炭に白金、鉄、マンガン、チタン
、チタニア・シリカ、ゼオライト等を担持または混入し
てその吸着分解性能を向上させたものを用いても良い。

また該吸着材としてはこの他、ゼオライト、シリカゲル
、白金を担持させた海綿状の鉄、銅イオンを担持させた
アクリルニトリル繊維等々適当な凡ゆるものを用いる事
が出来る。

また上記吸着分解要素として触媒と吸着材の双方を組み
合わせて用いても良（、また両者を混合して用いても良
い。

また上記吸着分解要素には、触媒、吸着材または両者の
混合物を２枚の繊維濾過層の間に挟持の上これをジグザ
グ状に折り曲げて濾過集塵層を構成したもの、あるいは
２枚の活性炭繊維層の間にオゾン分解触媒を挟持の上こ
れをジグザグ状に折り曲げて濾過集塵層を構成したもの
等、集塵作用を兼ねさせた構造のものを用いても良い。

また汚染ガスが粗大塵埃を含んでいると、その付着によ
って紫外線ランプや触媒・吸着材等が蟹われ、そのラジ
カル生成効果や吸着分解が低下するので、これを防止す
るためケーシングの入口付近に粗フィルターを設ける事
が望ましい。

また本発明によるガス浄化装置は、既に送風機を備えた
空調システムや工場の排気システムのダクト内に組み込
んで使用しても、あるいはこれらと独立に室内の床上、
壁、天井等に据え付は使用しても良い。後者の場合には
本装置自体に、そのケーシング内のガス入口より出口ま
でのガス通路にの何処かに独自の送風機を設ける必要が
ある。

本発明の集崖部に用いる集塵要素としては、適当な凡ゆ
る形式・種類の乾式ないし湿式のものを用い得る。

中でも繊維層を用いた濾過集塵要素は簡単・高性能かつ
安価で好適である。特に該繊維層をジグザグ状に折り曲
げ、その上流側と下流側の折り曲げ溝部分にガス通路を
確保する為のセパレータを挿入してなるプリーツ状の濾
過集塵要素はガス４こ対する圧損が少なく送風機の動力
費と騒音を低減出来る。

特に繊維層を比較的小さい折り曲げ幅でジグザグ状に折
り曲げて構成し、且つその上流側と下流側の折り曲げ溝
部分にそれぞれ一定の上下の相互間隔をもって複数本の
プラスチックリボンを挿入溶着して該溝部分の溝幅を確
保ると共に、該濾過集塵要素自体に風圧４こ対する強度
を付与した構造のミニプリーツ型濾過集塵要素は、小型
・軽量・堅牢で好適である。

また該捕集部の集塵要素には粒状捕集体を充填した充填
層濾過集塵要素を用いても良く、さら４二これに上から
水を噴霧して該粒状捕集体表面に水腹を形成し、かつ下
部に汚水を捕集するホッパーを設けた湿式充填層濾過集
塵要素を用いても良い。この場合、該粒状捕集体はチタ
ン酸バリュウム磁器等のセラミック誘電体で構成の上、
該充填層を挟んでガスの通過を許す如き電極を設け、こ
れに交流高電圧を印加して該捕集体相互の接触点で放電
を起こさせ、これによってラジカルを生成してラジカル
生成部を兼ねさせても良い。

また該捕集部の集塵要素にはコロナ放電極と集塵極をガ
ス流を隔てて互いに絶縁のうえ配設し、該集塵極を接地
し、該コロナ放電極に負の直流高電圧を印加して該集塵
極に向けて負コロナ放電を起こさせ、これにより供給さ
れた負イオンを浮遊粒子に射突せしめてこれを負に荷電
のうえ、静電力により該集塵極に駆動してこれに付着さ
せ、ガス流から分離除去する、いわゆる−段式電気集崖
装置を使用しても良い、この場合には上記コロナ放電に
よりラジカルが生成されるので、該一段式電気集塵装置
をラジカル生成要素として前照する事が出来る。

また該捕集部の集塵要素には、イオン源と非コロナ対向
電極をガス流を隔てて互いに絶縁配設して該非コロナ対
向電極を接地し、該イオン源に負の直流高電圧を印加し
て該非コロナ対向電極に向けて負イオンを供給させ、“
これを浮遊微粒子に射突させて該微粒子を負に予備荷電
する予備荷電ニレメンを設け、その下流側に静電力を利
用して予備荷電された微粒子を除去するための静電集捕
集エレメントを設けて成る予備荷電式静電集塵装置を用
いても良い、この場合、該イオン源のイオン発生部には
コロナ放電極を用いる事が出来、その際コロナ放電の作
用でラジカルが生成されるので、該予備荷電部をラジカ
ル生成用コロナ電極系として兼用する事が出、来る。

また該イオン源としては、上記のラジカル生成用の沿面
放電極系を利用する事も出来、その場合には線状コロナ
放電極に対向してガス流を隔ててこれより絶縁のうえ該
非コロナ対向電極を配設し、該線状コロナ放電極と該非
コロナ対向電極のいずれかを接地して画電極の間に直流
高電圧を印加すればよい。この場合該線状コロナ放電極
と該面状誘導電極の間印加せる交流高電圧により該線状
コロナ放電極から生ずる交流沿面放電のプラズマ領域か
ら正または負のイオンが引きだされ該非コロナ対向電極
に向かって供給されるので浮遊粒子に射突してこれを荷
電する。

該予備荷電式静電集塵装置の静電集捕集エレメントとし
ては適当な凡ゆる原理・形式・種類のものを用い得る１
例えば、ガス通路を隔てて互いに平行に且つ相隣る相互
に絶縁の上、等間隔に配設された複数個の平行平板電極
群を一つおきに接続して２群に分け、その一方を接地、
他方仁直流高電圧を印加する型のもの（以下平行平板型
静電捕集エレメントという）を眉い得る。この場合予備
荷電された微粒子は両電極間で静電力を受けて一方の電
極群の表面に捕集される。二の場合両型極群の間に直流
高電圧を印加するにはそのための別個の直流高圧電源（
以下静電捕集エレメント用直流高圧電源という′）を用
いても良いが、該平行平板電極群を一つおき仁王流側に
突出せしめてこれを接地し、別の−っおきの大地から絶
縁された電極群をフロート状態で上流側に突出せしめて
該イオン源の該イオン発生部にガス間隙を隔てて対向せ
しめ、これによって該突出上流側平板電極群に該イオン
発生部からイオンを取り入れさせてオートバイアス効果
により自動的に接地側電極に対して直流高圧電位を発生
せしめる方式（以下オートバイアス方式という）を用い
ると、該静電捕集エレメント用直流高圧電源を當略出来
て経済的な上、万一両電極間の絶縁が低下しても過電流
が流れて発火等の事故が起ζらず、極めて安全となる。

該オートバイアス方式は該平行平板型静電捕集エレメン
トの上流側にガスの通過を許す如き電極（以下イオンコ
レクター電極という）にを大地から絶縁支持してフロー
ト状態とし少なくともその一部を該イオン源の該イオン
発生部にガスｒｔＩ隙を隔てて対向せしめた上で、これ
に該平行平板電極の相隣る一つおきの群を接続し、別の
一つおきの群れを接地しても実現出来る。この場合、該
イオン発生部からイオンが該イオンコレクター電極に供
給されて上記オートバイアス効果が得られる。

また該静電捕集エレメントとしては繊維層集塵要素をそ
のまま、あるいはその上流側と下流側にガスの通過を許
す如き電＠（以下加電電極という）を付設した構成（以
下静電繊維層集塵エレメントという）で用いる事が出来
る。前者の場合仁は該繊維層に捕集される帯電微粒子の
電荷が繊維層に苔積されてこれを高電位とし、静電力が
該微粒子に加わって捕集効果が上がる。また静電繊維層
集塵エレメントでは該上流側電極と下流側電極間に直流
高電圧を印加する事により、繊維層中に電界が形成でき
て上記の静電力による捕集効果がさらに向上する。この
場合も該上流側電極をイオンコレクター電極として大地
より絶縁のうえ、少なくともその一部を該イオン源の該
イオン発生部にガス間隙を隔てて対向せしめると共に下
流側電極を接地する事によりオートバイアス方式を実現
する事が出来る。

該繊維層型の静電捕集エレメントとしては、既に記載し
たミニプリーツ型濾過集塵要素を用いるのが好適であり
、特にそのジグザグに折り曲げたプリーツの上流側稜線
と下流側稜線の上に導電１を設け、これに上記加電電極
を代行させると簡便であり、さらに下流側の稜線上導電
層群を接地し、上流側の稜線上導電層群をフロートさせ
てこれに直接イオンコレクター電極を代行させても良く
、あるいは別にイオンコレクター電極を設けてこれに該
上流側の稜線上導電層群を接続しても良い、かかるイオ
ンコレクター電極としては金網電極を直接該ミニプリー
ツ型濾過集塵要素の上流側に該稜線上導電層に接する如
く付設するのが良い。

また該静電捕集エレメントとしては、金属箔あるいは導
電塗料の塗膜等より成る層状電極の間にガス通路を隔て
てポリプロピレンフィルム等の絶縁基層を介在させ積層
ないし渦巻き状に巻き込んでなるもの（以下絶縁基層型
電極要素と総称する）を用いる事も出来る。この場合、
該層状電極は該絶縁基層の一方の表面上に付設の上、こ
れを複数個、ガス通路を隔てて互いに平行に短い絶縁ス
ペーサーを介して等間隔に、且つ相隣る該絶縁基層の層
状電極がガス通路を介して直接向き合わない様に重ねる
か又は渦巻き状に巻き込んで積層のうえ該絶縁基層型集
塵要素を構成し、且つ相隣る該絶縁基層の層状電極群を
一つおきに接続して接地し、別の一つおきのの層状電極
群は互いに接続のうえ画電極群の間に直流高電圧を印加
する方式を取ると簡単・安価になる。この場合相隣る該
絶縁基層間のガス通路内に直流静電界が生じて予備荷電
された微粒子は静電力により一方の絶縁基層上に付着除
される。

この場合該絶縁基層の導電層が設けられていない方の表
面も、その上に吸着された僅かの水分層が導電性を有す
るのでイオンまたは帯電微粒子が持ち込む電気は裏面の
導電層を通じて大地に漏洩出来、従って上記の絶縁基層
の導電層が設けられていない方の表面も少なくとも静電
気的には電極の役目を果たしている。そのうえ相隣る該
絶縁基層上の導電層間には常の恐れが皆無となり安全性
が大幅に向上する。この場合さらに該導電層を適当な絶
縁性の保護膜で覆ってその信頼性と安全性を高める事も
可能である。また上記の絶縁基層型電極要素の上流側に
ガスの通過を許す如きイオンコレクター電極を設けて、
これを該層状電極の相隣る一つおきの群に接続し、別の
一つおきの層状電極の群は接地し、該イオンコレクター
電極を大地より絶縁支持してフロート状態としたうえ少
なくともその一部を該イオン源の該イオン発生部にガス
間隙を隔てて対向せしめる様にすると、オートバイアス
効果により該イオンコレクター電極に大地に対して自動
的に直流高電位が発生、静電捕集エレメント用に特に直
流高圧電源を設ける必要が無（なる。

また該絶縁基層型電極要素としては、１枚の層状電極を
二枚の絶縁基層で挟持してその間に埋設のうえ、該二枚
の絶縁基層の一方の外表面上に露出して別の層状電極を
付設してその１単位を構成し、これを複数個ガス通路を
隔てて互いに平行に且つ短い絶縁スペーサーを介して等
間隔に、且つ相隣る該絶縁基層型電極要素の該露出層状
電極がガス通路を介して直接向き合わない様に重ねるか
又は渦巻き状に巻き込んで積層のうえ絶縁基層型電極要
素を構成し、且つ該埋設層状電極と露出層状電極との間
は直流高　電圧を印加しても良い６［作　用］ 本発明は上記の如く本来極めて強力な分解作用を有する
が一般に寿命の短いラジカルを、直接汚染ガス中で生成
して気相中でそのガス状汚染物質および悪臭物質に作用
させ、さらに下流の触媒・活性炭等の吸着分解要素の内
部表面上でも作用させる。従って該ガス状汚染物質およ
び悪臭物質自体、あるいはこれらの反応中間生成物が本
来難分解性物質であっても極めて有効・迅速に悉く分解
する事が出来る。特にラジカルとして○Ｈ−ラジカル等
、連鎖反応性ラジカルを利用するので該ガス状汚染物質
および悪臭物質に対する該ラジカルの供給量が化学量論
的に極めて僅かであっても、完全な分解が達成され、ま
たこれに応じて必要な上記触媒・活性炭等の吸着分解要
素の量も大幅に低減出来るので、装置が極めて小型・軽
量・安価となる。また該吸着分解要素としてオゾンを分
解する機能を有するオゾン分解触媒やオゾンを吸着する
活性炭等のオゾン吸着材を用いるのでガスが外気に放出
される前に完全にラジカル生成部で出来たオゾンが除去
され、極めて安全である。また汚染ガス中に浮遊する微
粒子や細菌類は該吸着分解要素の前に設けた集塵部で有
効に捕集され、捕集された細菌想はラジカルやオゾンへ
の長時間暴露によって完全に死滅する。また外気への残
留オゾンの漏洩は、オゾン・センサーを出口に設けて常
に排気のオゾン濃度を監視し、その値が安全値を越える
と警報信号を発してラジカルやオゾンの発生を停止する
のでさらに安全性が向上する。

［実施例コ 本発明の構成及び特徴を以下実施例によってより詳細に
説明する。

第１図は本発明の一つの実施例の縦断断面図、第２図は
その水平断面図である。図においてｌは汚染ガスの通路
をなすケーシング、２は汚染ガス入口、３は清浄ガス出
口、４は入口粗フイルタ−，５は出口金網、６は送風機
である。７．８．９、はそれぞれコロナ電極系１０より
なるコロナラジカル生成部、紫外線照射空間１１と紫外
線ランプ１２．１３よりなる紫外線ラジカル生成部、な
らびにハニカム状オゾン分解触媒１４と繊維層状活性炭
１５よりなる吸着分解部である６１６は該コロナラジカ
ル生成部７の構成要素である非コロナ対向電極群で、ガ
ス流方向に互いに平行かつ等間隔に設けられた縦長の矩
形状金属平板よりなり、ケーシングと′共に接地されて
いる。１７はコロナ放電極群で、該非コロナ対向電極群
１６の相隣る各電極板の中間に絶縁配設された縦長の短
冊状金属板よりなり、その上流側および下流側の側縁１
８．１９には多数の鋭い突起２０（以下これを突起放電
部という）がす放電極群１７は上下化おいて水平導体支
持腕２１．２２に支持され、該支持腕２１．２２はそれ
ぞれ水平共通ビーム２３．２４に固定され、該共通ビー
ム２３，２４はそれぞれ碍管２５、碍子２６４：上下で
絶縁支持され、該共通ビーム２３は該碍管２５を貫通す
る導体の支持ロッド２７．導線２８を介して高圧直流電
源２９の良の出力端子３０に接続され、その正の出力端
子３１は接地されている。かくて該コロナ放電極１７に
はそれぞれの両側の接地された平板非コロナ対向電極１
６に対して負の直流高電圧が印加され、その結果該突起
放電部２０から該平板非コロナ対向電極１６に向かって
負コロナ放電を発生する。入口２から粗フイルタ−４を
経て該ケーシング１内に進入した汚染ガスは、まずコロ
ナラジカル生成部７のコロナ放電極１７と非コロナ対向
電極の間の間隙３２を通過し、その間に該負コロナ放電
のプラズマ化学作用によって生成されたラジカルの作用
を受け、そのガス状汚染物質および悪・臭物質の一部が
気相反応によって分解される８次いでガスは該紫外線ラ
ジカル生成部８の紫外線照射空間１１に進入し、ここで
紫外線ランプ１２．１３からの紫外線の照射を受けて高
い活性のラジカルやＯＨ−ラジカル等連鎖反応性ラジカ
ルがガス中に生成し、残７たガス状汚染物質および悪臭
物質の残りの一部がさらに分解し、該吸着分解部９のハ
ニカム状オゾン分解触媒１４中に進入する。ここでその
広大な触媒内部表面上に残ったガス状汚染物質、悪臭物
質、反応の中間生成物、ラジカル類およびラジカル生成
部７．８で発生したオゾンが吸着され、この吸着層にお
いて更にラジカルの分解反応が進行し、且つ触媒の活性
中心ではオゾンが分解されてＯ−ラジカルが生成、これ
も分解反応に大きく寄与する。特に寿命が長く活性度の
高いＮＨ２−ラジカルは残存量が大きいので触媒１４中
に進入しやすく、また連鎖反応性のＯＨ−ラジカルは寿
命は短いが僅かな残存量が触媒１４中仁入っても、その
表面で極めて多数回分解反応を繰り返す。またこれらの
ラジカルは上記活性中心に付着してこれを不活性化する
酪酸・蟻酸等の難分解性中間生成物を完全に分解し活性
中心を常に活性に保たせる結果、オゾンの分解も完全に
行なわれ、残存オゾンの気中放出がなくなるのみならず
、オゾンのす八でが０−ラジカル生成に寄与するため、
分解の効率も上がり、該ガス状汚染物質および悪臭物質
の分解は少ない触媒使用量で完結する０次いでガスは安
全のため予備的に設けられた小量の残存オゾン吸着用の
繊維層状活性炭１５を通過し、該送風機６の作用で金網
５を経て外部に放出される。

３３は紫外線ランプ用電源でラインの交流主電源と放電
安定用のり一ケージインダクタンス要素である安定器及
び放電スタート用グローランプより成る。３４は半導体
素子から成るオゾンセンサーで残存オゾン濃度を検出し
、これを警報回路３５で常に監視判別し、所定の値、例
えば環境規準値０．Ｏ５ｐｐｍを越えると警報ランプ３
６を点灯させると共に、警報信号を導線３７を介して高
圧直流電源２９および紫外線ランプ用電源をオフしてオ
ゾンの生成を停止する。尚、該紫外線ランプは該照射空
間１１の中央に設けても良く、更に該照射空間１１の内
部に等間隔に多数本設けても良い。

第３図は第１図の実施例において該コロナラジカル生成
部７の代わりに汚染ガス通路内で交流沿面放電を起こさ
せてラジカルを生成する沿面放電ラジカル生成部３８を
用いた実施例の縦断面図である６図における層より１５
までの番号の要素の名称および機能は第１図ならびに第
２図の同一番号の要素のそれと同じである０本実施例で
は汚染ガス入口２はケ−シング内 ９と平行に狭い間隙４０を隔てて隔壁４１が対向配設さ
れ、該内壁面３９上に板状の沿面放電系４２が付設され
て該沿面放電ラジカル生成部３８を形成しており、流入
汚染ガスの全量がこの間１１４０を高速で下方に通過す
る。第４図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ該沿面放電系
４２の縦断面図、横断面図を示す、純度９２％のアルミ
ナセラミックよりなる板状銹電体基板層４３の一方の表
面４４の上にタングステンの線状のコロナ放電極４５が
焼結付設され、該誘電体層４３の内部に厚み０．５ｍｍ
の介在層４６を介して面状の！ｌｔ導電極４７が該線状
コロナ放電極４５と対向する部位全体を覆う如くに埋設
されている。４８，４９はそれぞれ該誘導電極４７およ
び線状コロナ放電極４５に導通する入力端子で該誘電体
層４３の裏面５０上に設けられ、これら端子は導線５１
．５２を介して該ケーシング内に設けられた高周波高圧
電源５３の出力端子５４．５５に接続され、かつ５４は
接地されている。

か（して該線状コロナ放電極４５は間隙４０の高速汚染
ガス流に露出し、画電極４５．４７間に電源５３より印
加される交流高電圧の作用で該線状のコロナ放電極の周
縁５６．５７から該誘電体層表面４４に沿って交流沿面
放電が発生、そのプラズマ化学的作用で各種のラジカル
とオゾンが豊富に生成され、該汚染ガス流中に供給され
てそのガス状汚染物質および悪臭物質の一部を分解する
。尚、５８は９９％の高純度アルミナの薄い被積層で、
該アルミナセラミック誘電体基板層４３の表面４６を該
線状コロナ放電極４５と共に被覆して。

放電によるスパッタリングで該線状コロナ放電極４５が
消耗するのを防ぐ。ガスは次いで直角１曲がって紫外線
照射空間８で紫外線照射によるラジカル生成・分解の作
用を受けた後。

ガス流速均一化用多孔板５９を経て該吸着分解部９に入
り、すでに述べた様に完全にガス状汚染物質、悪臭物質
１分解中間生成物およびオゾンが分解除去された後ガス
出口５から外部に放出される。

第５図は本発明の別の実施例で、送風機が無（、空調シ
ステムに内蔵して使用する型のものの水平断面図、第６
図はその沿面放電ラジカル生成部の詳細を示す水平断面
図、第７図はその静電ミニプリーツ型濾過集塵層の詳細
を示す斜視図である。図における層より５８までの番号
の要素の名称および機能は第１図、第２図および第３図
における同一番号の要素のそれと同じである。本実施例
は第１図、第２図の実施例におけるコロナラジカル生成
部７のコロナ放電極群１７の代わりに、第４図に示す構
造の両面型沿面放電系６０が用いられて沿面放電による
ラジカル生成を行なう共に、板状非コロナ対向電極群１
６との組合せにより微粒子のイオンによる予備荷電部を
も行なう両者兼用の機能部分（以下予備荷電型ラジカル
生成部という）６１を構成している。該両面型沿面放電
系６０はアルミナセラミック誘電体基板層４３の表面４
４、裏面５０の両方の上に該線状コロナ放電極４５ａ、
４５ｂが付設され、該基板層４３の内部に１枚の面状誘
導電極４７が埋設されて構成されている。そして該誘導
電極４７と上記線状コロナ放電極４５ａ、４５ｂとの間
４こ導線５１と５２ａ、５２ｂならびに絶縁用コンデン
サー６２．６３を介して高周波高圧電源５３より高周波
高電圧が印加され、該線状コロナ放電極４５ａおよび４
５ｂの周縁から該基板層４３の表面４６、裏面５０に沿
って高周波沿面放電が発生し、正負のイオンを豊富に含
むと同時に各種のラジカルを豊富に生成する沿面プラズ
マが生成する。このラジカルはガス入口２よりケーシン
グｌ内に進入し、間隙３２を通過する汚染ガス中に供給
されてそのガス状汚染物質および悪臭物質の一部を分解
する。

２９は直流高圧電源でその負および正の出力端子３０．
３１はそれぞれ導線２８．６４を介して該線状コロナ放
電極４５ａおよび４５ｂ、および該板状非コロナ対向電
極群工６に接続のうえ後者の導線６４は接地されている
。その結果該線状コロナ放電極４５ａおよび４５ｂはそ
れぞれに対向する該板状非コロナ対向電極１６にたいし
て負の高電位となり、前者の電極４５ａ、４５ｂ付近の
沿面プラズマから負イオンが後者の対向電極に向かって
ガス間隙３２を介して供給され、汚染ガス中の浮遊微粒
子に射突してこれを負に荷電する。６５は第７図に示す
様なミニプリーツ型濾過集塵暦６６を備えた集塵部、９
ａ、９ｂは２分割された吸着分解部で、それぞれハニカ
ム状オゾン分解触媒１４、ハニカム状活性炭層６７より
成る。８ａ、８ｂ、８Ｃはそれぞれ該予備荷電型ラジカ
ル生成部６１．該集塵部６５、オゾン分解触媒１４の鉦
下流に設けられた紫外線ラジカル生成部で２それぞれ紫
外線ランプ１２ａ、１２ｂ、１２ｃおよび紫外線照射空
間１１ａ、１１ｂ、ｌｌｃを備えている。そして紫外線
ランプ１２ａ、１２ｂ、１２ｃはそれぞれがラジカル生
成を行なって汚染ガスの浄化に寄与すると共に、１２ａ
は紫外線の光量子を該沿面放電ラジカル生成部６１の該
線状コロナ放電極４５ａ、４５ｂ近傍の放電域に照射す
る事によって、そのラジカル生成を大幅に向上し、１２
ｂは紫外線の光量子を該ハニカム状オゾン分解触媒１４
のハニカム空隙内にも照射する事によってこの領域にも
ラジカルを生成して上記のオゾン分解効果を大幅に向上
せしめ、１２ｃは紫外線の光量子を該ハニカム状オゾン
分解触媒１４と該ハニカム状活性炭層６７のそれぞれの
ハニカム空隙内にも照射してそれぞれの吸着分解効果を
高める。

該静電ミニプリーツ型濾過集塵肩６６は第７図に示す様
にガラス繊維よりなる繊維層フィルター６６ａを１５ｍ
ｍから５０ｍｍ程度の短い折り曲げ長をもってジグザグ
状に折り曲げて濾過層を構成し、かつその上流側と下流
側の折り曲げ溝６８．６９内に該繊維層６８を挟む如く
に一対の熱融着性プラスチックリボン７ｏ、７１を上下
一定の間隔毎に挿入融着固定してガスの通路である折り
曲げ溝６８．６９の幅を常に一定の必要最小限度の小さ
い値に確保してフィルターの空間装荷率を上げると共に
、そのガス流に対する機械的抵抗強度を上げた、所謂ミ
ニプリーツフィルターに於て、その上流側の稜線７２と
下流側の稜線７３上及びそれらに連接する該プラスチッ
クリボン７０．７１の連接部分上４二、それぞれ導電性
塗料ないしアルミ箔を施して上流側稜線電極７４と下流
側稜線電極７５を形成したものである。この静電ミニプ
リーツ型濾過集塵層６６は矩形断面のケーシング１の壁
１：接する如く装着されたプラスチック絶縁物よりなる
矩形状外枠７６の内部にその上流側は充分な幅７７を残
す如くに外周を気密固定支持し、且つ該上流側稜線電極
７４と下流側稜線電極７５に接する如く４ニガスの通過
を許す様な上流側金網電極７８、下流側金網電極７９を
付設し、後者を接地する。また上流側金網電極７８は導
線２８ａを介して直流高圧電源２９ａに接続し、画電極
７８．７９を介して該上流側稜線電極７４と下流側稜線
電極７５間に直流高電圧を印加し、該繊維層６７の内部
に上流側から下流側へと繊維層６７の表面（こ沿った方
向の静電界を形成し、予備荷電され進入微粒子を濾過集
塵作用に加えて静電力の作用で極めて有効に低圧損で捕
集する。それ以外の該ハニカム状オゾン分解触媒１４、
ハニカム状活性炭６７のガス状汚染物質、悪臭物質、オ
ゾンの分解除去作用等については自明であるから省略す
る。

第８図は本発明の今一つの実施例を示す縦断面図、第９
図はその水平断面図である。図における層より７９まで
の番号の要素の名称および機能は第１図、第２図、第５
図および第７図における同一番号の要素のそれと同じで
ある０本実施例は第１図、第２図の実施例において該コ
ロナラジカル生成部のコロナ電極系１０に微粒子のイオ
ン射突仁よる予備荷電の作用をも行なわせて予備荷電型
ラジカル生成部６１としたもので、その集塵部６５には
第５図および第７図に示した静電ミニプリーツ型濾過集
塵層６６を用いている。但しその上流側金網電極７８ａ
はフロートさせると共に、該コロナ電極系１０のコロナ
放電極の下流側の突起放電部群２０にガス間隙を隔てて
近接対向させ、イオンコレクター電極として働かせ。

該突起放電部群２０からの負イオンを捕集してオートバ
イアス効果により大地Ｃ二対し負の直流高電位に保たせ
て、該静電ミニプリーツ型濾過集塵層６６の図には示さ
れていない上流側稜線電極７４と下流側稜線電極７５と
の間に直流高電圧を印加する。かくして該コロナ電極系
１０において予備かでんされた微粒子は該静電ミニプリ
ーツ型濾過集塵層６６の内部で静電力の作用を受は極め
て効果的に捕集される事は既に述べた通りである。それ
以外の該ハニカム状オゾン分解触媒１４、繊維状活性炭
層１５によるガス状汚染物質、悪臭物質、オゾンの分解
除去作用等仁ついては自明であるから省略する。

清浄になったガスは送風機６で吸引されて曲がり部８２
で１８０度反転して該ケーシングｌ内の上部排気ダクト
８３を逆方向に流動し、ルーパー８４を備えた清浄ガス
出口３から外部に放出される。尚オゾンセンサー３４、
その警報回路３５および紫外線ランプ１２は該上部排気
ダクト８３の中に収納配設されている。また該コロナ電
極系１０に直流高電圧を印加するための高圧直流電源２
９はケーシング１内の側方に設けられた電源室８５の中
に収納されている。本実施例では該コロナ電極系ｌＯ１
静電ミニプリーツ型濾過集塵層６６、ハニカム状オゾン
分解触媒１４および繊維状活性炭層１５は共通の該ケー
シング内ガス主通路８６の内壁に密着する如く摺動自在
に挿入された脱着自在の矩形状断面を有する外枠８６内
に気密に収納されている。該外枠８７は紫外線照射部１
１の上部に紫外線透過用スリット８８を有している。該
ケーシング１の全面の汚染ガス入口部には多数のガス通
路用孔８９を有する前面扉９０が蝶番９１を中心として
矢印９２の方向に回転自在に装着されており、これを回
転して開（事により該外枠８７を前方に引きだして交換
する事が出来る。９３゜９４は脚である。また９５．９
６は背面９７に固定された取り付は用金具で壁９８に固
定された受は金具９９．１００に引）掛けて本装置を壁
９８に懸架固定する。

第１０図は第８図、第９因の実施例において集塵部６５
に該静電ミニプリーツ型濾過集塵層６６の代わりに第１
１１！ＩＣ示す構造の積層ウェーハー型静電集塵エレメ
ント１０１を使用したものの水平断面図で、図における
層より１００までの番号の要素の名称および機能は第１
図、第２図、第８図および第９図における同一番号の要
素のそれと同じである。但し本実施例の紫外線ランプは
少なくとも波長２５３．７ｎｍの殺菌線と波長１８４．
９ｎｍのオゾン化線の両方ないし一方を放射するもので
、照射空間１１の中央部に取り付けて照射効率を上げる
様になっている。該積層ウェーハー型静電集塵エレメン
ト１０１はプラスチック絶縁フィルム１０２の片方の表
面１０３ａ上のみに導電層１０４を付設し、絶縁スペー
サー１０５を設けたウェーハー状の電極（以下ウェーハ
ー電極という）１０６を第１１図に示す様に相隣るウェ
ーハー電極の導電層１０４が間隙を介して直接向き合う
事が無いように複数個積層の上、プラスチック外枠７６
内に収納してて構成されている。そして一つおきの該ウ
ェーハー電極群１０６ａ、１０６ｂの一方１０６ａの導
電層１０４ａは大地より絶縁されたフロート状のイオン
コレクター電極である上流側金網電極８０に、また他方
１０６ｂの導電層１０４ｂは接地された下流側金網電極
８１に接続されている。その結果、ガス通路をなす相隣
るウェーハー電極１０６ａ、１０６ｂ間の間隙１０８に
は直流電界が形成され、コロナ電極系１０で予備荷電さ
れた微粒子は静電力の作用で該電極１０６ａ、１０６ｂ
の表面上仁捕集される。この場合、該ウェーハー電極１
０５の導電層を施さない側の表面１０３ｂの上にも、僅
かな導電性を有する水分吸着層が常に存在するので、こ
れが静電気的には電極の役目をし、その上に飛来付着す
る帯電微粒子やイオンによって運ばれる電荷を、かかる
水分吸着層を通じて反対側表面１０３ａ上の該導電層１
０４へと導（、但しがかろ水分吸着層の電気抵抗は極め
て大きいので動電気約１は絶縁表面として作用し、相隣
るウェーハー電極群１０ａ、１０６ｂの間の間隙１０８
を１ｍｍ程度に小さくして集塵性能の飛躍的向上を計っ
ても、該間隙１０８に火花が生ずる事は完全に阻止され
る。それ以外の該ハニカム状オゾン分解触媒１４、繊維
層活性炭１５のガス状汚染物質、悪臭物質、オゾンの分
解除去作用等１ついては自明であるから省略する６第１
２図は第１０＠の実施例においてコロナラジカル生成部
７のコロナ電極系１０として、板状非コロナ対向電極群
１６と突起放電部付き短冊状コロナ放電極群１７よりな
るものの代わりに下記の様なコロナ電極系であるハイイ
ンテンジチーアイオナイザ−１０９を用いたものの縦断
面図、第１３図はその水平断面図、第１４図は該ハイイ
ンテンジチーアイオナイザー（以下ＨＩと略記する）１
０９の横断面図を示す。

図におけるｌより１０８までの番号の要素の名称および
機能は第１図、第２図、第８図、第９図、第１０図およ
び第１１図における同一番号の要素のそれと同じである
。但本例では汚染ガス入口２はその吸引ダクト１１０の
上流側仁あり、該ダクト１１０の途中に送風機６が配設
されている。また照射空間１１にはその両側に取り付け
た紫外線ランプ１２．１３の他、別の紫外線ランプ１１
１をその中央に取り付けて、そのラジカル生成効果を増
している。また本例では繊維層活性炭１５の代わりにハ
ニカム状活性炭６７を用いている。該送風機６の下流に
該Ｈｒ１０９が設けられて予備荷電型ラジカル生成部６
１を形成している。該Ｈｒはガス通路をなす接地のベン
チュリ一部１１２の円筒状絞り部１１３の中心軸にそっ
て同心的に円筒導体１１４を配設のうえ、碍管２５を貫
通する導体支持ロッド２７で大地に対して絶縁支持し、
該円筒導体１１４４二鋭い放電円周部１１５を有する円
盤状コロナ電極１１６を該放電円周部１１５が該円筒状
絞り部１１３の内壁１１７に向かって垂直に該約１０ｍ
ｍ程度突出する如くに同心的に取り付けて構成する。こ
の場合１１５と１１７の円環状の間隙１１８の間隙長は
１０ｍｍから５０ｍｍの範囲にとるのが好適である。該
円盤状コロナ電極１１６には直流高圧電源２９から食の
直流高電圧が出力端子３０、導線２８、該円筒導体１１
４を介して印加され、その結果、放電円周部１１５から
内壁１１７に向かって負コロナ放電を発生する。該間隙
１１８におけるガス流速を少なくとも３０ｍ／ｓ以上の
高速とする。その効果として５間隙の平均電界強度で１
ｏｋＶ　／　ａ　ｍないしそれ以上にも達する極めて高
い電圧を火花の発生なく安定に印加する事が出来るとい
うハイインテンジチーアイオナイザー固有の特性が得ら
れ、極めて強力なラジカル生成効果と微粒子予備荷電効
果が得られる。それ以外の該積層ウェーハー型静電集塵
エレメント１０１．ハニカム状オゾン分解触媒１４、ハ
ニカム状活性炭６７のガス状汚染物質、悪臭物質、オゾ
ンの分解除去作用等については自明であるから省略する
。

第１５図は本発明の別の実施例の縦断面図、第１６図は
その円筒状吸着分解部１１９の水平断面図である。本実
施例はコロナラジカル生成部と集塵部を兼ねた鉛直の円
筒状電気集塵部１２０と紫外線ラジカル生成部と該吸着
分解部を一体化した鉛直の円筒状照射分解部１１９をガ
ス通路をなす上部室１２１で連結してより成る。該電気
集塵部１２０は接地された円筒状集塵極１２２と、′そ
の中心軸に沿って絶縁配設された多数の刺状の突起放電
部１２３を具備せる棒状コロナ放電極１２４から成り、
その下部には汚染ガス入口２を備えたダスト捕集用ホッ
パー１２５を備え、その上部は該上部室１２１に連通し
ている。該棒状コロナ放電極１２４は該上部室１２１内
で支持碍子１２６ａ、１２６ｔによって大地から絶縁支
持された水平支持ビーム１２７に固定され、高圧直流電
源２９よりその負の出力端子３０、導線２８、碍管２５
、該水平支持ビーム１２７を介して負の直流高電圧が印
加され、その結果、該刺状突起放電部１２２から該円筒
状集塵極１２１の内壁１２８に向かって食コロナ放電を
生ずる。該汚染ガス入口２より進入したガスは、該円筒
状集塵極１２１の内壁１２８と該棒状コロナ放電極１２
４の間の間隙を上昇する過程において、該負コロナ放電
で生じたラジカルの供給を受けると共に、その中の浮遊
ダストが負イオンに射突されて負に荷電され、静電力の
作用で該内壁１２８の上に付着堆積する。

か（て生じた堆積ダスト層は、該集塵極１２１の外壁に
装着した適当な杵打装置ないし振動装置１２９で該集塵
極１２１に機械的衝軍ないし振動をあたえる事によりそ
の内壁１２８から剥離して下方に落下し、該ホッパー１
２５に捕集されたうえホッパー下部の気密の回転ｌｉ　
１３０　ａを開く事によりダスト出口１３１から外部に
排出される。この場合該集塵極１２１の内壁１２８に上
部から水を供給して水流下膜を形成しても良く、この時
はダストは該水腹と共にホッパーに流下し、再飛散が無
いので極めて高い捕集効果が得られる。該電気集塵部１
２０でダストを除き且つガス状汚染物質と悪臭物質を部
分的に分解したガスは、該上部室１２１を通って上方ガ
ス入口１３２から１２１に連結された該照射分解部１１
９に進入する。該照射分解部１１９は下部仁清浄ガス出
口３とホッパー１３３を備えた円筒状ケーシング１３４
の内部にこれと同心的に繊維層よりなる円筒状吸着分解
部１３５を有し、且つ該円筒状ケーシング１３４の中心
軸に沿って紫外線ランプ１３６が配設され、その電源３
３に接続されている６該円筒状吸着分解部１３５は繊維
状触媒層と繊維状活性炭層の両方を重ねるか、あるいは
少なくともその一つを用い、これををジグザグ状に折り
曲げてプリーツ状とした上で縦長円筒状の濾過層１３７
として構成したものである。該進入ガスは該円筒状吸着
分解部１３５と該紫外線ランプ１３６との間の間隙をな
す円筒状照射空間１３８を紫外線の照射を受けつつ降下
し、ラジカルの供給・作用を受けたのち該円筒状吸着分
解部１３５の濾過層１３７を通過し、既に述べた機構で
そのガス状汚染物質、悪臭物質、オゾンが完全に除去さ
れ、該円筒状吸着分解部１３５と該円筒状集塵極１２１
の間の間隙１３９を通って清浄ガス出口３より外部に排
出される。該濾過層１３７は時々清浄ガスを逆流させて
逆洗によりその付着ダストを払い落とす。払い落とされ
たダストは該間隙１３９を落下して該ホッパーに捕集さ
れ、該回転１１３０ｂを開（事によりダスト出口１４０
から外部に排出される。

第１７図は本発明の別の実施例で第５図の実施例におけ
る板状の両面型沿面放電系６ｏの代わりに円筒型沿面放
電系１４１を沿面放電ラジカル生成部３８に用い、且つ
集塵部６５に静電ミニプリーツ型濾過集塵層６６の代わ
りに電圧を印加しない通常のミニプリーツフィルター１
４２を用いたものの水平断面図、第１８図（ａ）は該円
筒型沿面放電系１４１の詳細を示す縦断面図、第１８図
（ｂ）はその横断面図である。

図における層より１１１までの番号の要素の名称および
機能は第５図、第７図および第１３図における同一番号
の要素のそれと同じである。該円筒型沿面放電系１４１
は高純度アルミナセラミック円筒１４３の内面にタング
ステンよりなるケージ型の線状コロナ電極群１４４がそ
の両端の接続用環状導体部１４５ａ、１４５ｂと共に焼
結によって付設され、その表面を９９％のアルミナ保護
層１４３ａに覆われて保護されている。該線状コロナ電
極群１４４および環状導体部１４５ａ、１４５ｂと対向
する該セラミック円筒１４３の肉厚１４６内の部位にセ
ラミック層の一部１４７を介して円筒状の面状誘導電極
１４８が埋設されている。そして画電極１４４゜１４８
はそれぞれ該セラミック円筒１４３の外表面１４９上に
設けられた端子１５０，１５１にセラミック層を貫通し
て接続されている。該円筒型沿面放電系１４１は主ダク
トｌの上流側フード１５２の絞られた先端に装着され、
１４１の上流側には汚染ガスの入口２を有する入口フラ
ンジ１５３が固定されて入る。また該セラミック円筒１
４３の外表面１４９には冷却フィン１５４が取り付けら
れ、ファン１５５によって風冷されて温度上昇により沿
面放電のラジカル生成効果が低下するのを防いでいる。

さらに該セラミック円筒１４３の中心軸にそって点−で
示された内部円筒１５６が設けられ。

汚染ガスが悉く円筒１５６と上記セラミック円筒１４３
の内表面の間の円環状の狭い間隙１５７を高速で通過す
る様になっている。この様に該フード１５２を用い、且
つ該円筒を挿入してガス速度を上げる理由は、沿面放電
のプラズマ領域でのガス滞留時間が短い程、ＮＯｘ等を
含む特定のガス状汚染物質や悪臭物質の分解効率が良く
なると言う本発明者の実験結果に基くものである。いま
高周波高圧電源５３の出力端子５４．５５より、それぞ
れ導線５１．５２、端子１５１．ＩｓＯを介して高周波
高電圧を該誘導電極１４８と該線状コロナ電極群１４４
の間に印加すると、後者の電極１４４の周縁から上記セ
ラミック円筒１４３の内表面に沿って沿面放電を生じ、
豊富なラジカルを間隙１５７を高速で通過する汚染ガス
に供給する。該ミニプリーツフィルター１４２は吸着分
解部の触媒１４と活性炭１５を微粒子汚染から保護する
為のものである。それ以外の本実施例における各要素の
機能については自明であるので省略する。

第１９図は本発明の別の実施例で、第１７図の実施例に
おける円筒型沿面放電系１４１をラジカル生成部に加え
て微粒子の予備荷電をも行なう予備荷電型ラジカル生成
部６１とし、且つその下流ケーシング内に第８図および
第９図に示すフロート型のイオンコレクター電極を有す
る静電ミニプリーツ型濾過集塵層６６を設けて集塵部６
５としたものの水平断面図、第２０図は該円筒型沿面放
電系１４１の横断面図である０図における層より１５７
までの番号の要素の名称および機能は第８図、第９図、
第１７図および第１８図における同一番号の要素のそれ
と同じである。本実施例でケージ型線状コロナ電極群１
４４が該高周波高圧電源５３の接地側出力端子５５に接
続され、該誘導電極１４８が碍管１６１を介して該高周
波高圧電源５３の非接地側出力端子５４に接続されてい
る。

本実施例に円筒型沿面放電系１４１では、第１７図のそ
れにおける内部円筒１５６の代わりに円筒状イオン吸引
電極１５８を支持碍子１５９および碍管１６０で絶縁し
て配設し、これに高圧痕流電源２９の正の出力端子３層
より導線２８ａを介して正の直流高電圧を印加し、これ
によって接地のケージ型線状コロナ電極群１４４近傍の
沿面放電プラズマ領域から間隙１５７を横切って豊富な
員イオンを該イオン吸引電極１５８に吸引する。その結
果、該員イオンが該間隙１５７を通過する汚染ガス中の
浮遊微粒子に射突、これを予備荷電する。

また該イオンコレクター電極７８はこの場合特に豊富供
給されて飛来する負イオンを捕集し、特にコロナ放電極
に対向させな（でもオートバイアス効果により充分な魚
のフロート電圧に達する。それ以外の集塵機能ならびに
ガス状汚染物質、悪臭物質、オゾンの分解除去機能等に
ついては自明であるので省略する。

第２１図は本発明のいま一つの実施例で、第１７図の実
施何重おける円筒型沿面放電系１４１で、その中心軸に
沿って内部円筒１５６の代わり１紫外線ランプ１６２を
配設し、且つ該ミニプリーツフィルターを省いたものの
水平断面図である。図における１から１４９までの番号
の要素の名称および機能は第１７図における同一番号の
要素のそれと同じである。

但し本実施例では該冷却フィン１５４の代わりに該セラ
ミック円筒１４３の外表面１４９上を囲繞して水の入口
１６３と出口１６４を備えた水冷ジャケント１６５が設
けられており、水冷によってより効果的に該セラミック
円筒１４３を冷却し。

そのラジカル生成能力を向上する。該紫外線ランプ１６
２はこれと該セラミック円筒１４３の内壁の間の間！！
［１５７に紫外線をを照射して、ここにラジカルを生成
するのみならず。

さらに該ケージ型線状コロナ電極群１４４近傍の沿面放
電領域のガス分子を予備励起ないし予備電離して放電に
よるラジカル生成を助成するという相乗効果を有し、よ
り強力なラジカルがより豊富に生成され、より優れガス
状汚染物質および悪臭物質の分解除去効果が達成される
。それ以外のガス状汚ｔＪｊ、物質、悪臭物質、オゾン
の分解除去機能等については自明であるので省略する。

［発明の効果コ 本発明は以上に詳述せる如く、汚染ガスの通路において
各種の強力なラジカルやオゾン、特にＯＨ−ラジカル等
の連鎖反応性ラジカルを直接生成して該ガス中のガス状
汚染物質や悪臭物質と反応させるので、強力でありなか
ら寿命が短〈従来利用の出来なかったラジカルの分解作
用を前面的に活用して優れたガス浄化効果を達成できる
。また該ラジカル生成部で分解し切れなかった一部のガ
ス状汚染物質、悪臭物質、反応中間生成物およびオゾン
は触媒、活性炭等の吸着分解部にラジカルやオゾンと共
に吸着させ、そこで分解反応を完結すると共に、残留オ
ゾンも悉く分解して外部に放出するので、完全なガス浄
化効果と安全性が得られる。特にＯＨ−ラジカル等の連
鎖反応性ラジカルは該吸収分解部の活性中心を常に活性
１保つので、極めて小量のラジカル生成量と小量の吸着
分解部の使用で、著しく優れたガス浄化効果が得られて
経済的である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例の縦断面図、第２図はその水
平断面図を示す。第３図は別の実施例の縦断面図、第４
図（ａ）、　（ｂ）はそれに用いる板状沿面放電系の横
断面図を示す。 第５図はいま一つの実施例の水平断面図、第６図はそれ
に用いる両面型沿面放電系を具備した使用せる予備荷電
型ラジカル生成部の詳細を示す水平断面図、第７図は同
じく第５図の実施例に用いる静電ミニプリーツ型濾過集
塵層の斜視図を示す、第８図は本発明の別の実施例の縦
断面図、第９図はその水平断面図を示す。第１０図は本
発明の更に別の実施例の水平断面図、第１１図はそれに
用いる積層ウェーハー型静電集塵エレメントの縦断面図
である。第１２図は本発明のいま一つの実施例の縦断面
図、第１３図はその水平断面図、第１４図はそれに用い
るハイインテンジチーアイオナイザーの横断面図である
。第１５図は本発明の別の実施例の縦断面図、第１６図
はそれに用いる円筒状吸着分解部の水平断面図である。 第１７図は本発明のさらに別の実施例の水平断面図、第
１８図はそれに用いる円筒型沿面放電系の横断面図であ
る。第１９図は本発明の更にいま一つの実施例の水平断
面図、第２０図はそれに用いるイオン吸引電極付き円筒
型沿面放電系の横断面図である。第２１図は本発明の更
に別の実施例の水平断面図である６図において １−ｍ−ケーシング ２−ｍ−汚染ガス入口 ３−ｍ−清浄ガス出口 ４−一一入口粗フイルター ５−ｍ−出口金網 ６−ｍ−送風機 ７−ｍ−コロナラジカル生成部 ８．８ａ、８ｂ、８ｃ−−一紫外線ラジカル生成部９．
９ａ、９ｂ−一一吸着分解部 １０−ｍ−コロナ電極系 １１．１１ａ、ｌｌｂ、１ｌｃ−−一紫外線照射空間１
２．１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１３．１０９−−一紫外
線ランプ １４−ｍ−ハニカム状オゾン分解媒触 １５−ｍ−繊維層活性炭 １６一−−非コロナ対向電棲群で １７−−−コロナ放電極群で １８−ｍ−上流側側縁 １９−ｍ−下流側側縁 ２０−一一突起放電部 ２１．２２−ｍ−水平導体支持腕 ２３．２４−ｍ−水平共通ビーム ２５−ｍ−碍管 ２６−−−碍子 ２７一−−導体支持ロンド ２８．２８ａ−−一導線 ２９．２９ａ−−一高圧直流電源 ３ｏ−ｍ−負出力端子 ３１−ｍ−正出力端子 ３２−ｍ−間隙 ３３−ｍ−紫外線ランプ用電源 ３４−−−オゾンセンサー ３５−ｍ−警報回路 ３６−−−警報ランプ ３７−−−導線 ３８−−一沿面放電うジカル生成部部 ３９−−−上端部内壁面 ４０−ｍ−間隙 ４１−ｍ−隔壁 ４２−−一板状沿面放電系 ４３−一一板状誘電体基板層 ４４−一一板状誘電体基板層表面 ４５．４５ａ、４５ｂ−−一線状コロナ放電極４６−−
−誘電体介在層 ４７−−−誘導電極 ４８．４９−ｍ−入力端子 ５ｏ−一一板状誘電体基板層裏面 ５１．５２．５２ａ、５２ｂ、６４．８０−−一導線５
３−−−高周波高圧電源 ５４．５５−ｍ−出力端子 ５６．５７−−−線状コロナ放電極周縁５８−ｍ−高純
度アルミナ被覆層 ５９−ｍ−多孔板５ ６０−ｍ−両面型沿面放電系 ６１−一一子備荷電型ラジカル生成部 ６２．６３−−一絶縁用コンデンサー ６５−−−集塵部 ６６一−−静電ミニプリーツ型濾過集塵層６６ｍ−−一
繊維層フイルター ６フーーーハニカム状活性炭 ６８−−一上流側折り曲げ溝 ６９−一一下流側折り曲げ溝 ７０．７１−−一熱融着性プラスチックリボン７２−ｍ
−上流側稜線 ７３−ｍ−下流側稜線 ７４−ｍ−上流側稜線電極 ７５−ｍ−下流側稜線電極 ７６−−−プラスチツク外枠 ７フ一−−絶縁幅 ７８．８０−ｍ−上流側金網電極 ７９．８１−−一上流側金網電極 ８２−一一曲がり部 ８３−一一上部排気ダクト ８４−ｍ−ルーバー ８５−ｍ−電源室 ８６一−−主通路 ８７−−−外枠 ８８−一一紫外線透過用スリット ８９−ｍ−ガス通路用孔 ９０−ｍ−前面扉 ９１−ｍ−蝶番 ９２−ｍ−矢印 ９３．９４−一一脚 ９５．９６−−−取り付は用金具 ９７一−−背面 ９８−一一壁 ９９．１００−−一層は金具 １０１−−一積層ウニーバー型静電集塵エレメント１０
２−−−プラスチック絶縁フィルム１０３ａ、１０３ｂ
−−一表面 １０４．１０４ａ、１０４ｂ−−一導電層１０５−−−
絶縁スペーサ− １０６，１０６ａ、１０６ｂ−−−ウェーハー電極１０
８−−一間隙 １０９−−−ハイインテンジチーアイオナイザー１１０
−−一吸引ダクト １１１−−一紫外線うンブ １１２−−−ベンチュリ一部 １１３−−一円筒状絞り部 １１４−−一円筒導体 １１５−−一放電円周部 １１６一−−円盤状コロナ電極 １１７−−−内壁 １１８−−一円環状間隙 １１９−−一円筒状吸着分解部 １２０−−一円筒状電気集塵部 １２１−−一上部室１ １２２−ｍ−円筒状集塵極１ １２３−−一刺状突起放電部 １２４−−一棒状コロナ放電極 １２５．１３３−−−ホッパー １２６ａ、１２６ｂ−−一支持碍子 １２７−−−水平支持ビーム１ １２８−−一内壁 １２９−一一杵打・振動装置 １３０ａ、１０３ｂ−−一回転蓋 １３１．１４０−−−ダスト出口１ １３２−ｍ−上方ガス入口 １３４−−一円筒状ケーシング １３５−〜−一円筒状吸着分解部 １３６−−−紫外線ランプ １３７一−−濾過層 １３８−−一円筒状照射空間 １３９−−一間隙 １４１−−一円筒型沿面放電系 １４２−−−ミニプリーツフィルター １４３−−−セラミック円筒 １４４−−−ケージ型線状コロナ電極群１４５ａ、１４
５ｂ−−一接続用環状導体部１４６−−−セラミツク円
筒肉厚 １４７−−−セラミツク介在層 １４８−−一面状誘導電極 １４９−−一外表面 １５０．１５１−−一端子 １５２−−−１流側フード １５３−−一人ロフランジ １５４−−一冷却フイン １５５−−−ファン １５６−−−内部円筒 １５７一−−間隙 １５８−−一円筒状イオン吸引電極 １５９−−−支持碍子 １６０．１６１−−一碍管 １６２−−一紫外線ランプ １６３−−一水入口 １’６４−−一水出口 １６５−−一水冷ジャケット 以　　　上 オ　２１　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、汚染ガスの入口と清浄ガスの出口とガスの通路を形
   成せるたケーシングを有し、該ケーシングの内の上流側
   にに該汚染ガス中のガス状汚染物質ないし悪臭物質を分
   解する為の少なくとも連鎖反応性ラジカルを含むラジカ
   ルを生成するラジカル生成要素を具備したラジカル生成
   部を設け、該ケーシング内の該ラジカル生成部の下流側
   に該ガス状汚染物質ないし悪臭物質よびそれらの分解中
   間生成物を吸着して該ラジカルによる分解を完結せしめ
   る為の吸着分解要素を具備した吸着分解部を設けた事を
   特徴とするガス浄化装置。 ２、該ケーシング内の汚染ガス入口と該吸着分解部の中
   間にガス流を遮る如くに配設せる汚染ガス中の塵埃を除
   去する為の集塵要素を具備した集塵部を設けた事を特徴
   とする請求項１に記載のガス浄化装置。 ３、該ケーシング内の該吸着分解部と該清浄ガス出口の
   間に未分解ガス物質を検知して警報信号を発するための
   ガスセンサーを設けた事を特徴とする請求項１または２
   のいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ４、該ラジカル生成要素が汚染ガスの通路を隔てて互い
   に絶縁のうえ配設された少なくとも１対の電極要素から
   なり放電によるプラズマ化学反応によりラジカルを生成
   するための放電電極系であり、かつその両電極間に電圧
   を供給するための放電用電源を設けた事を特徴とする請
   求項１から３までのいずれか１項に記載のガス浄化装置
   。 ５、該放電電極系がコロナ電極系であり、その１対の電
   極要素の一方がコロナ放電を行なうコロナ放電極であり
   、他方がコロナ放電を行なわない非コロナ対向電極であ
   り、且つ該放電用電源が高圧直流電源であって、該高圧
   直流電源の負の出力端子が該コロナ放電極に接続され、
   その正の出力端子が該非コロナ対向電極に接続のうえ接
   地されている事を特徴とする請求項４に記載のガス浄化
   装置。 ６、該放電電極系がコロナ電極系であり、その１対の電
   極要素の一方がコロナ放電を行なうコロナ放電極であり
   、他方がコロナ放電を行なわない非コロナ対向電極であ
   り、且つ該放電用電源が高圧パルス電源であつて、該高
   圧パルス電源の正の出力端子が該コロナ放電極に接続さ
   れ、その負の出力端子が該非コロナ対向電極に接続のう
   え接地されている事を特徴とする請求項４に記載のガス
   浄化装置。 ７、該放電電極系が沿面放電極系であり、その１対の電
   極要素の一方が線状コロナ放電極であつて誘電体層の一
   方の表面上に付設され、他方が面状の誘導電極であって
   該誘電体層の他方の表面上に該線状コロナ放電極と対向
   する部位全体を覆う如くに付設され、且つ該放電用電源
   が交流高圧電源であって、該交流高圧電源の出力端子の
   一方が該線状コロナ放電極に接続され、他方が該面状誘
   導電極に接続されている事を特徴とする請求項４に記載
   のガス浄化装置。 ８、該放電電極系が沿面放電極系であり、その１対の電
   極要素の一方が線状コロナ放電極であつて誘電体層の一
   方の表面上に付設され、他方が面状の誘導電極であって
   該誘電体層の内部に該誘電体層の一部を介して該線状コ
   ロナ放電極と対向する部位全体を覆う如くに埋設され、
   且つ該放電用電源が交流高圧電源であって、該交流高圧
   電源の出力端子の一方が該線状コロナ放電極に接続され
   、他方が該面状誘導電極に接続されている事を特徴とす
   る請求項４に記載のガス浄化装置。 ９、該放電電極系が無声放電極系であり、その１対の電
   極要素が互いに平行な面状電極であって、その間の間隙
   が該汚染ガスの通路を形成すると共に、該間隙内介在し
   て誘電体層を配設し、且つ該放電用電源が交流高圧電源
   であつて、該交流高圧電源の出力端子を該１対の面状電
   極に接続した事を特徴とする請求項４に記載のガス浄化
   装置。 １０、該ラジカル生成要素が紫外線を照射して光化学反
   応によりラジカルを生成する紫外線ランプであり、且つ
   該紫外線ランプに電圧を印加して紫外線を発生せしめる
   ための紫外線ランプ用電源を設けた事を特徴とする請求
   項１に記載のガス浄化装置。 １１、該紫外線ランプが高圧水銀灯である事を特徴とす
   る請求項１０に記載のガス浄化装置。 １２、該紫外線ランプが低圧水銀灯である事を特徴とす
   る請求項１０に記載のガス浄化装置。 １３、該ラジカル生成要素として放電電極系と紫外線ラ
   ンプの双方を具備した事を特徴とする請求項１から３ま
   でのいずれか１項に記載のガス浄化装置。 １４、該吸着分解要素が該悪臭ないしガス状汚染物質お
   よびそれらの分解中間生成物を吸着分解する機能を有す
   る触媒である事を特徴とする請求項１から１３までのい
   ずれか１項に記載のガス浄化装置。 １５、該触媒がオゾン分解機能を有するオゾン分解触媒
   である事を特徴とする請求項１４に記載のガス浄化装置
   。 １６、該オゾン分解触媒がハニカム状のオゾン分解触媒
   層である事を特徴とする請求項１５に記載のガス浄化装
   置。 １７、該オゾンキラー捕集要素が粒状のオゾン分解触媒
   の層より成る事を特徴とする請求項１５に記載のガス浄
   化装置。 １８、オゾン分解触媒が濾過集塵機能を備えた繊維層状
   の触媒でる事を特徴とする請求項１５に記載の空気清浄
   装置。 １９、該吸着分解要素が該悪臭ないしガス状汚染物質お
   よびそれらの分解中間生成物を吸着する機能を有する吸
   着材である事を特徴とする請求項１から１８までのいず
   れか１項に記載のガス浄化装置。 ２０、該吸着材が活性炭がである事を特徴とする請求項
   １９に記載のガス浄化装置。 ２１、該活性炭が粒状の活性炭層より成る事を特徴とす
   る請求項２０に記載のガス浄化装置。 ２２、該活性炭が繊維層状活性炭より成る濾過層である
   事を特徴とする請求項２０記載のガス浄化装置。 ２３、該吸着材がゼオライトである事を特徴とする請求
   項１９に記載のガス浄化装置。 ２４、該吸着材がシリカゲルである事を特徴とする請求
   項１９に記載のガス浄化装置。 ２５、該吸着分解要素として触媒と吸着材の双方を具備
   した事を特徴とする請求項１から３までのいずれか１項
   に記載のガス浄化装置。 ２６、該吸着分解要素が触媒または吸着材の少なくとも
   いずれかを２枚のジグザグ状の濾過層の間に挟持してな
   るガスフィルターである事を特徴とする請求項２５に記
   載のガス浄化装置。 ２７、該吸着分解要素がオゾン分解触媒を挟持した活性
   炭繊維層より成る濾過集塵要素層である事を特徴とする
   請求項２５に記載のガス浄化装置。 ２８、該ケーシングの入口付近に汚染ガス中の粗大塵埃
   を除去するための粗フィルターを設けた事を特徴とする
   請求項１より２７までのいずれか１項に記載のガス浄化
   装置。 ２９、該ケーシング内の入口より出口までのガス通路に
   送風機を設けた事を特徴とする請求項１より２９までの
   いずれか１項に記載のガス浄化装置。 ３０、該集塵要素が繊維層よりなる濾過集塵要素である
   事を特徴とする請求項２より２９までのいずれか１項に
   記載のガス浄化装置。 ３１、該濾過集塵要素が繊維層をジグザグ状に折り曲げ
   て構成し、その上流側および下流側の溝部分にセパレー
   タを挿入してなるプリーツ状濾過集塵要素である事を特
   徴とする請求項３０記載のガス浄化装装置。 ３２、該濾過集塵要素が繊維層を比較的小さい曲げ幅で
   ジグザグ状に折り曲げて構成し、且つその上流側および
   下流側溝部分にそれぞれ一定の相互間隔をもってプラス
   チックリボンを挿入溶着して該溝部分の溝幅を確保する
   と共に、該濾過集塵要素自体に風圧に対する強度を付与
   したミニプリーツ型濾過集塵要素である事を特徴とする
   請求項３０に記載のガス浄化装装置。 ３３、該捕集部の捕集要素が粒状捕集体の充填層よりな
   る濾過集塵要素である事を特徴とする請求項１より２９
   までのいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ３４、該集塵要素がガス流を隔てて互いに絶縁のうえ配
   設されたコロナ放電極と集塵極よりなる一段式電気集塵
   装置であり、且つ集塵用直流高圧電源を具備してその負
   の出力端子を該コロナ放電極に接続し、その正の出力端
   子を該集塵極に接続の上接地した事を特徴とする請求項
   ２５に記載のガス浄化浄装置。 ３５、該一段式電気集塵装置のコロナ放電極、集塵極、
   集塵用直流高圧電源が、該ラジカル生成用コロナ電極系
   のコロナ放電極、非コロナ対向電極、直流高圧電源を兼
   ねた事を特徴とする請求項２７に記載のガス浄化装置。 ３６、該集塵要素がガス流を隔てて互いに絶縁のうえ配
   設されたイオン源と非コロナ対向電極よりなりガス中に
   浮遊する微粒子を予備荷電するための予備荷電エレメン
   トと、その下流側の該ケーシング内に設けられた静電力
   の作用を利用して予備荷電された微粒子を除去する静電
   集捕集エレメントから成り、且つ予備荷電用直流高圧電
   源を具備してその負の出力端子を該イオン源のイオン発
   生部に接続し、その正の出力端子を該非コロナ対向電極
   に接続の上接地した事を特徴とする請求項２より３３ま
   でのいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ３７、該イオン源のイオン発生部がコロナ放電極である
   事を特徴とする請求項２６に記載のガス浄化装置。 ３８、該イオン源のコロナ放電極、非コロナ対向電極、
   荷電用直流高圧電源が、請求項５に記載のラジカル生成
   用コロナ電極系のコロナ放電極、非コロナ対向電極、直
   流高圧電源を兼ねた事を特徴とする請求項３７に記載の
   ガス浄化装置。 ３９、該イオン源が請求項７または８のいずれか１項に
   記載のラジカル生成用沿面放電極系であってその線状コ
   ロナ放電極と面状誘導電極に接続された交流高圧電源を
   備え、該線状コロナ放電極が該イオン源のイオン発生部
   を兼ねた事を特徴とする請求項３６に記載のガス浄化装
   置。 ４０、該静電捕集エレメントがガス通路を隔てて互いに
   平行に且つ相隣る相互に絶縁の上、等間隔に配設された
   複数個の平行平板電極群より成る平行平板型静電捕集エ
   レメントであり、且つ相隣る電極間に直流高電圧を印加
   するための静電捕集エレメント用直流高圧電源を設け、
   その一方の出力端子を相隣る一つおきの平行平板電極の
   群に接続し、他方の出力端子を別の一つおきの平行平板
   電極の群のに接続のうえ接地した事を特徴とする請求項
   ３６より３９までのいずれか１項に記載のガス浄化装置
   。 ４１、該平行平板型静電捕集エレメントの相隣る平行平
   板電極を一つおきに下流側に突出せしめてこれを接地し
   、別の一つおきの電極を出上流側に突出せしめて該イオ
   ン源の該イオン発生部にガス間隙を隔てて対向せしめ、
   これによって該突出上流側平板電極に該イオン発生部か
   らイオンを取り入れさせてオートバイアス効果により自
   動的に接地側電極に対して直流高圧電位を発生せしめ、
   該静電捕集エレメント用直流高圧電源を省略した事を特
   徴とする請求項３６より３９までのいずれか１項に記載
   のガス浄化装置。 ４２、該平行平板型静電捕集エレメントの上流側にガス
   の通過を許す如きイオンコレクター電極を設け、これに
   相隣る平行平板電極の一つおきの群を接続し、別の一つ
   おきの平行平板電極を接地し、該イオンコレクター電極
   を大地より絶縁支持してフロート状態としたうえ少なく
   ともその一部を該イオン源の該イオン発生部にガス間隙
   を隔てて対向せしめ、これによって該イオンコレクター
   電極に該イオン発生部からイオンを捕集させてオートバ
   イアス効果によりこれに自動的に該接地平行平板電極に
   対して直流高電位を発生せしめ、該静電捕集エレメント
   用直流高圧電源を省略した事を特徴とする請求項３６よ
   り３９までのいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ４３、該静電捕集エレメントが繊維層集塵要素である事
   を特徴とする請求項３６より３９までのいずれか１項に
   記載のガス浄化装置。 ４４、該静電捕集エレメントが絶縁物の繊維層より成る
   繊維層集塵要素の上流側と下流側にガスの通過を許す如
   き電極を付設して成る静電繊維層集塵エレメントであり
   、且つ両電極間に直流高電圧を印加するための静電捕集
   エレメント用直流高圧電源を設けた事を特徴とする請求
   項３６より３９までのいずれか１項に記載のガス浄化装
   置。 ４５、該静電捕集エレメントが繊維層集塵要素の上流側
   にガスの通過を許す如きイオンコレクター電極を、下流
   側にガスの通過を許す如き接地電極を付設して成る静電
   繊維層集塵要素であり、該イオンコレクター電極を大地
   より絶縁支持してフロート状態としたうえ少なくともそ
   の一部を該イオン源の該イオン発生部にガス間隙を隔て
   て対向せしめ、これによつて該イオンコレクター電極に
   該イオン発生部からイオンを捕集させてオートバイアス
   効果によりこれに自動的に該下流側接地電極に対して直
   流高電位を発生せしめた事を特徴とする請求項３６より
   ３９までのいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ４６、該静電捕集エレメントが請求項３２に記載のミニ
   プリーツ型濾過集塵要素であり、且つその上流側稜線上
   と下流側稜線上に導電層を設けた事を特徴とする請求項
   ４３より４５までのいずれか１項に記載のガス浄化装置
   。 ４７、該静電捕集エレメントが、層状電極を絶縁基層の
   一方の表面上に付設せる絶縁基層型電極要素をガス通路
   を隔てて互いに平行に且つ短い絶縁スペーサーを介して
   等間隔に、且つ相隣る該絶縁基層型電極要素の層状電極
   がガス通路を介して直接向き合わない様に積層配設して
   成る絶縁型基層型静電捕集エレメントであり、且つ相隣
   る該絶縁基層型電極要素の層状電極群の間に直流高電圧
   を印加する為の静電捕集エレメント用直流高圧電源を設
   け、その一方の出力端子を一つおきの該絶縁基層型電極
   要素の層状電極群に接続し、他方の出力端子を別の一つ
   おきの層状電極群に接続のうえ接地した事を特徴とする
   請求項３６より３９までのいずれか１項に記載のガス浄
   化装置。 ４８、該絶縁基層型電極要素の上流側にガスの通過を許
   す如きイオンコレクター電極を設けて、これを該層状電
   極の相隣る一つおきの群に接続し、別の一つおきの層状
   電極群を接地し、該イオンコレクター電極を大地より絶
   縁支持してフロート状態としたうえ少なくともその一部
   を該イオン源の該イオン発生部にガス間隙を隔てて対向
   せしめ、これによって該イオンコレクター電極に該イオ
   ン発生部からイオンを捕集させてオートバイアス効果に
   よりこれに自動的に該接地層状電極群に対して直流高電
   位を発生せしめ、且つ該静電捕集エレメント用直流高圧
   電源を省略した事を特徴とする請求項４７に記載のガス
   浄化装置。４９、該静電捕集エレメントが、１枚の層状
   電極を二枚の絶縁基層で挟持埋設のうえ該二枚の絶縁基
   層の一方の外表面上に露出して別の層状電極を付設して
   なる絶縁基層型電極要素をガス通路を隔てて互いに平行
   に且つ短い絶縁スペーサーを介して等間隔に、且つ相隣
   る該絶縁基層型電極要素の該露出層状電極がガス通路を
   介して直接向き合わない様に積層配設して成る絶縁基層
   型静電捕集エレメントであり、且つ該絶縁基層型電極要
   素の該埋設層状電極と該露出層状電極との間に直流高電
   圧を印加する為の静電捕集エレメント用直流高圧電源を
   設け、その一方の出力端子を該埋設層状電極に接続し、
   他方の出力端子を該露出層状電極に接続した事を特徴と
   する請求項３６より３９までのいずれか１項に記載のガ
   ス浄化装置。 ５０、該絶縁基層型電極要素の上流側にガスの通過を許
   す如きイオンコレクター電極を設けて、これを該露出層
   状電極または該埋設層状電極のいずれか一方に接続し、
   他方を接地し、該イオンコレクター電極を大地より絶縁
   支持してフロート状態としたうえ少なくともその一部を
   該イオン源の該イオン発生部にガス間隙を隔てて対向せ
   しめ、これによって該イオンコレクター電極に該イオン
   発生部からイオンを捕集させてオートバイアス効果によ
   りこれに自動的に該接地層状電極に対して直流高電位を
   発生せしめ、且つ該静電捕集エレメント用直流高圧電源
   を省略した事を特徴とする請求項４９に記載のガス浄化
   装置。 ５１、該汚染ガス入口にガスの通過を許す多数のスリッ
   トを有し且つ該ケーシング断面とほぼ等しい面積を有す
   ると共に該ガス入口にに開閉自在に取り付けられた扉を
   もうけ、該扉を開いて該ラジカル生成部、該集塵部、該
   吸着分解部のうち少なくとも一つを該ケーシング外に取
   り外し可能としたした事を特徴とする請求項１または２
   のいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ５２、該放電用直流高圧電源、集塵用直流高圧電源、予
   備荷電用直流高圧電源の少なくとも一つが、その出力電
   圧を印加した電極間に火花が発生した場合、ただちにこ
   れを検出してその出力電圧をゼロ付近までさげる事によ
   り火花からアークへの移行を防ぎ、短い休止時間の後に
   該出力電圧を再び規定値まで回復せしめる如き制御回路
   を有し、さらに該火花が該出力電圧の回復に際して再び
   発生する場合、上記制御動作が所定の回数連続して繰り
   返す時は、爾後出力電圧の回復を停止して警報信号を出
   すごとき制御回路を有する事を特徴とする請求項５、３
   ４または３６のいずれか１項に記載のガス浄化装置。 ５３、該静電捕集エレメント用直流高圧電源が、その出
   力電流値が所定の値以下の領域ではほぼ一定の出力電圧
   を供給せしめ、この電流値を越えると急激に出力電圧を
   低下せしめる制御回路を有する事を特徴とする請求項４
   ０、４４、４７または４９のいずれか１項に記載のガス
   浄化装置。 ５４、該放電用直流高圧電源、集塵用直流高圧電源、予
   備荷電用直流高圧電源、静電捕集エレメント用直流高圧
   電源の少なくとも一つが、その高圧出力端子とそれに接
   続された電極との間の電流経路に介入して挿入された高
   圧ヒューズを有する事を特徴とする請求項１より５２ま
   でのいずれか１項に記載のガス浄化装装置。 ５５、汚染ガスの入口と清浄ガスの出口とガスの通路を
   形成せるたケーシングを有し、該ケーシングの内の上流
   側より順次に、接地した金網状粗フィルターと、ガス流
   に平行かつ相互に等間隔に配設のうえ接地せる平行平板
   集塵電極群および該平行平板集塵電極群のそれぞれ相隣
   る２枚の中間にこれらに平行にかつ大地から絶縁の上配
   設支持せる少なくとも一方の長辺に尖鋭な突起を複数個
   備えた短冊状コロナ放電極群よりなる一段式電気集塵部
   と、ガス流を遮る如く設けられた照射空間およびこの空
   間内を流通するガスの全量に紫外線が照射される如く配
   設せる紫外線がランプよりなる紫外線照射部と、ハニカ
   ム状オゾン分解触媒ならびに活性炭層の少なくともいず
   れか一つよりなる吸着分解部を有し、該一段式電気集塵
   部の両電極間に直流高電圧を印加する為の集塵部用直流
   高圧電源を設けてその負の出力端子を該コロナ放電極に
   正の出力端子を大地に接続し、該紫外線ランプに電圧を
   供給する為の電源を設けた事を特徴とする請求項２に記
   載のガス浄化装置。 ５６、該ラジカル生成部として円筒型沿面放電極系の中
   心軸にそって紫外線ランプを配設したラジカル生成部を
   有する事を特徴とする請求項１より５５までのいずれか
   １項に記載したガス浄化装置。