JP3359874B2 - 洗浄装置のノズル構造及び洗浄方法 - Google Patents

洗浄装置のノズル構造及び洗浄方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造プロセ
スにおけるウエハ上に残存する有機物皮膜や、汚れやダ
ストの除去・洗浄を行う洗浄装置のノズル構造及び洗浄
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来例の半導体ウエハ洗浄装置の
ノズル構造を示す図である。
【０００３】薬液（Ａ）２１と薬液（Ｂ）２２を調合機
２３で調合し、温調機２４にて適切な温度にした後、配
管２５を介してノズル２６からチャック２７に乗ったウ
エハ２８に薬液をかける。
【０００４】その時、ウエハ２８を一定の回転数で回転
させ、一定の時間ノズル２６から薬液をかけた後、純水
２９を配管３０を介してノズル３１から吐出させ、一定
時間リンスする。その後、ウエハ２８を高速回転にして
乾燥させ、洗浄は終了する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構造で
は調合後や温調後に洗浄物のウエハまでの距離があり、
時間がかかるため温度が不安定、調合した薬液の特性が
変化してしまう等の問題があった。又、多種類の薬液を
使用する場合、ノズルの数が多くなり、設置スペースが
大きくなるという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウエハを吸着
するチャックの上部に設けられるノズルの本体に複数の
ノズル口を備え、ノズル口の１つに複数の吐出穴を設け
たものである。また、本発明は、ウエハを吸着するチャ
ックの上部に設けられるノズルの本体に複数のノズル口
を備え、複数のノズル口の間にヒーターを設けたもので
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施形態を
示す図で、（ａ）はノズル外観図、（ｂ）はノズル断面
図である。
【０００８】同図において、ウエハ１を吸着するチャッ
ク２が配置され、その上にノズル本体３が設けられる。
ノズル本体３は薬液（Ａ）４のノズル口５、薬液（Ｂ）
６のノズル口７、純水８のノズル口９に分かれる。各ノ
ズル口は各々薬液（Ａ）４、薬液（Ｂ）６、純水８の入
った容器に配管（図示せず）を介して接続される構成に
なっている。
【０００９】以下、第１の実施形態の動作について説明
する。
【００１０】ウエハ１をチャック２に吸着させる。ウエ
ハ１をある一定の回転数で回転させ、薬液（Ａ）４をノ
ズル本体３のノズル口５から吐出させながら同時に薬液
（Ｂ）６をノズル口７から吐出させる。一定時間後、各
薬液の吐出を止め、純水８をノズル本体３のノズル口９
から吐出させ、リンスを行う。
【００１１】一定時間後、純水８の吐出を止め、ウエハ
１を高速回転にして乾燥し、洗浄は終了する。
【００１２】以上のように、薬液を離れた調合機で調合
しないでユースポイント（サブシステムからユースポイ
ント配管で導かれた超純水をウエハ処理工程において洗
浄等の目的で使用するために、取り出す箇所をいう。）
近くで調合するため薬液の特性が変化しない。又、各々
の薬液の量を変えることで濃度変化も可能である。
【００１３】また、ノズル口を増やすことにより１つの
ノズル本体で複数の薬液が使用でき、組み合わせれば、
何種類もの薬液が使用できる。したがって調合機も不用
になる。又、ノズルの数も１つで済み、スペースが有効
的に活用できる。
【００１４】図２は本発明の第２の実施形態を示す図
で、（ａ）はノズル外観図、（ｂ）はノズル断面図であ
る。
【００１５】第２の実施形態は、第１の実施形態に対
し、図２に示すようにノズル口５に吐出穴１０を設けた
もので、薬液（Ａ）４をノズル本体３のノズル口５の吐
出穴１０から吐出させる。
【００１６】これによりユースポイント近くで調合が早
くなり、即ち、薬液が混ざりやすくなり洗浄能力を向上
させる。
【００１７】他の基本構成及び動作については第１の実
施形態と同様である。
【００１８】図３は本発明の第３の実施形態を示す図
で、（ａ）はノズル外観図、（ｂ）はノズル断面図であ
る。
【００１９】第３の実施形態では、ノズル本体３は薬液
（Ａ）４のノズル口５、薬液（Ｂ）６のノズル口７、純
水８のノズル口９、バキューム１１のノズル口１２に分
かれる。各ノズル口は各々薬液（Ａ）４、薬液（Ｂ）
６、純水８の入った容器、バキューム１１の吸引部に配
管を介して接続される。
【００２０】以下、第３の実施形態の動作について説明
する。
【００２１】ウエハ１をチャック２に吸着させる。ウエ
ハ１をある一定の回転数で回転させ、薬液（Ａ）４をノ
ズル本体３のノズル口５から吐出させながら同時に薬液
（Ｂ）６をノズル口７から吐出させる。同時にノズル口
１２からバキューム１１で調合された薬液を吸い込む。
【００２２】この時、調合された薬液がノズル口から吐
出されてウエハ１に当たるが、ノズルの中央からバキュ
ーム１１で引いているので、薬液は吸い込まれる。同時
に薬液はウエハ１が回転しているため竜巻状になる。一
定時間後、各薬液の吐出とバキューム１１を止め、純水
８をノズル本体３のノズル口９から吐出させ、リンスを
行う。
【００２３】一定時間後、純水８の吐出を止め、ウエハ
１を高速回転にして乾燥し、洗浄は終了する。
【００２４】このようにバキュームのノズル口を設ける
ことで、パーティクル（微粒子状のゴミ）を除去するの
に有用である。
【００２５】図４は本発明の第４の実施形態を示す図
で、（ａ）はノズル外観図、（ｂ）はノズル断面図であ
る。
【００２６】第４の実施形態では、ノズル本体３は薬液
（Ａ）４のノズル口５、薬液（Ｂ）６のノズル口７、純
水８のノズル口９に分かれる。各ノズル口は各々薬液
（Ａ）４、薬液（Ｂ）６、純水８の入った容器に配管を
介して接続され、各ノズル口にはヒーター１３が各々設
置される。
【００２７】以下、第４の実施形態の動作について説明
する。
【００２８】ウエハ１をチャック２に吸着させる。ウエ
ハ１をある一定の回転数で回転させ、薬液（Ａ）４をノ
ズル本体３のノズル口５から吐出させながら同時に薬液
（Ｂ）６をノズル口７から吐出させる。同時にヒーター
１３で薬液は一定の温度になる。一定時間後、各薬液の
吐出を止め、純水８をノズル本体３のノズル口９から吐
出させてリンスを行う。
【００２９】この時、薬液の種類によってはヒーター１
３で純水８の温度を上げ、温水を吐出させる場合もあ
る。一定時間後、純水８の吐出を止め、ウエハ１を高速
回転にして乾燥し、洗浄は終了する。
【００３０】このように、各ノズル口にヒーターを設け
ることで薬液を温度調節する温調機が不用になり、各々
のヒーターの温度の組み合わせにより種々の温度に設定
できる。
【００３１】また、ユースポイント近くなので温度が安
定する。又、ユーティリティ（システム運用に際し外部
的に必要とする電源、冷却水などをいう）の耐熱配管が
いらなくなり、コスト低減が見込める。
【００３２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば薬液を離れた調合機で調合しないでユースポイント
近くで調合するため薬液の特性が変化しない。又、各々
の薬液の量を変えることで濃度変化も可能となる。
【００３３】また、ノズル口を増やすことにより１つの
ノズル本体で複数の薬液が使用でき、組み合わせれば、
何種類もの薬液が使用できる。そのため調合機も不用に
なる。又、ノズルの数も１つで済み、スペースが有効的
に活用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す図
【図２】本発明の第２の実施形態を示す図
【図３】本発明の第３の実施形態を示す図
【図４】本発明の第４の実施形態を示す図
【図５】従来例の洗浄装置のノズル構造を示す図
【符号の説明】
１ ウエハ ２ チャック ３ ノズル本体 ４ 薬液（Ａ） ５，７，９，１２ ノズル口 ６ 薬液（Ｂ） ８ 純水 １０ 吐出穴 １１ バキューム １３ ヒーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 B08B 3/02 B08B 3/08

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウエハを吸着するチャックの上部に設け
    られるノズルの本体に複数のノズル口を備え、前記ノズ
    ル口の１つに複数の吐出穴を設け、前記ノズルの中で薬
    液調合することを特徴とする洗浄装置のノズル構造。
  2. 【請求項２】 ウエハを吸着するチャックの上部に設け
    られるノズルの本体に複数のノズル口を備え、前記複数
    のノズル口の間にヒーターを設け、前記ノズルの中で薬
    液調合することを特徴とする洗浄装置のノズル構造。
  3. 【請求項３】 複数のノズル口を備え、前記ノズル口の
    １つに複数の吐出穴を設けたノズルを使用し、 ウエハをチャックに吸着させて前記ウエハを回転させ 、複数の薬液を、前記吐出穴を設けたノズル口を含む複数
    のノズル口から、それぞれ吐出させ、前記ノズル内で薬
    液を調合し、前記ウエハに薬液をかけ、 一定時間後各薬液の吐出を止め、 薬液を吐出させたノズル口とは別のノズル口から純水を
    吐出させてリンスを行うことを特徴とする洗浄方法。
  4. 【請求項４】 複数のノズル口を備え、前記複数のノズ
    ル口の間にヒーターを設けたノズルを使用し、 ウエハをチャックに吸着させて前記ウエハを回転させ、 前記ヒーターで温めて一定温度にした複数の薬液を、前
    記複数のノズル口からそれぞれ吐出させ、前記ノズル内
    で薬液を調合し、前記ウエハに薬液をかけ、 一定時間後各薬液の吐出を止め、 薬液を吐出させたノズル口とは別のノズル口から純水を
    吐出させてリンスを行うことを特徴とする洗浄方法。
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