JP3356480B2 - 無漏洩ポンプ - Google Patents

無漏洩ポンプ

Info

Publication number
JP3356480B2
JP3356480B2 JP05865493A JP5865493A JP3356480B2 JP 3356480 B2 JP3356480 B2 JP 3356480B2 JP 05865493 A JP05865493 A JP 05865493A JP 5865493 A JP5865493 A JP 5865493A JP 3356480 B2 JP3356480 B2 JP 3356480B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
pump
shaft
sealed container
rotor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP05865493A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06272688A (ja
Inventor
和己 秋久
武博 高島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Shokubai Co Ltd
Original Assignee
Nippon Shokubai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Shokubai Co Ltd filed Critical Nippon Shokubai Co Ltd
Priority to JP05865493A priority Critical patent/JP3356480B2/ja
Priority to US08/102,197 priority patent/US5397220A/en
Publication of JPH06272688A publication Critical patent/JPH06272688A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3356480B2 publication Critical patent/JP3356480B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/04Shafts or bearings, or assemblies thereof
    • F04D29/046Bearings
    • F04D29/047Bearings hydrostatic; hydrodynamic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D13/00Pumping installations or systems
    • F04D13/02Units comprising pumps and their driving means
    • F04D13/06Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
    • F04D13/0606Canned motor pumps
    • F04D13/0633Details of the bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/06Lubrication
    • F04D29/061Lubrication especially adapted for liquid pumps
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/12Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
    • H02K5/128Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05BINDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2230/00Manufacture
    • F05B2230/90Coating; Surface treatment
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/16Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields
    • H02K5/167Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K9/00Arrangements for cooling or ventilating
    • H02K9/19Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil
    • H02K9/197Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil in which the rotor or stator space is fluid-tight, e.g. to provide for different cooling media for rotor and stator
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S417/00Pumps
    • Y10S417/01Materials digest

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、軸封部を持たない無漏
洩ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、無漏洩ポンプの一つであるキャン
ドモータポンプは、一般のポンプと異なり、ポンプケー
シングにおけるポンプ軸貫通部分からの液漏れを制限す
るための軸封部を持たないものであり、例えば図3に示
すように、ポンプケーシング40、そのポンプケーシン
グ40と結合されたフレーム41、そのフレーム41内
に収納されたステータ42、そのそのステータ42を缶
詰めの状態に密閉したステータキャン43、ロータを密
閉したロータキャン44、ロータのシャフト45を支持
するベアリング46,47、シャフト45の一方端部に
固定されたインペラー48、吐出される液体の一部をケ
ーシングフランジ49部分からステータキャン43内側
のモータ内部に導く循環パイプ51等から構成されてお
り、この種のキャンドモータポンプでは、取り扱う液体
の一部を循環液としてモータ内部を通過させることによ
り、ベアリング46,47の潤滑、冷却を行なったり、
発熱するモータのコイルの冷却を行うようになってい
る。
【0003】このような構成のキャンドモータポンプ
は、取り扱う液体が外部に漏れることがないため、人体
に有害な液、爆発または引火しやすい液、腐食性のある
液等の取扱いに適していること、また、外気を吸い込ま
ないため、真空系での運転や、外気に触れると変質する
ような液の取扱いに適していることなどから、化学工
業、原子力工業、エネルギー産業等の幅広い分野で利用
されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
キャンドモータポンプでは、例えばアクリル系モノマー
のような重合しやすい液体、重合物を含む液、あるいは
付着性の物質を含む液体を取り扱う場合、運転時におい
て、ポンプ軸の軸受け部分で生じる摩擦熱やモータのコ
イルから生じる熱によって、循環液中で重合反応が生じ
たり、あるいは液体の粘度が高くなり、その結果、モー
タを冷却するための循環液が正常に循環しなくなるとい
う課題があった。このように、液体が正常に循環しなく
なると、一旦、ポンプの運転を停止させて冷却期間を取
る必要があり、停止させた場合には、システム全体に与
える影響が大きいため、上記したような発熱を抑制する
ことのできるキャンドモータポンプが望まれていた。
【0005】本発明は以上のような従来の無漏洩ポンプ
の課題を考慮し、重合しやすい液体や付着しやすい液体
等を、モータ冷却用循環液として正常に循環させること
のできる無漏洩ポンプを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】 本発明は、ステータの
内側に密閉容器を持ち、その密閉容器内にロータを配置
し、密閉容器内側がポンプ内部と連通している無漏洩ポ
ンプにおいて、密閉容器内側を流動する液体が重合しや
すい液体、或いは重合物を含む液体からなり、その液体
接触する、ロータのシャフトの被支持部表面が電解研
磨処理されている無漏洩ポンプである。
【0007】
【作用】本発明では、密閉容器内側を流動する液体が接
触する、ロータのシャフトの被支持部表面が電解研磨処
理されているため、無漏洩ポンプが運転された際に、そ
のシャフト被支持部表面と接触して流動する液体の摩擦
熱が抑制され、液体の流動が安定することにより、モー
タを冷却するための循環液も安定して供給される。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は、本発明の一実施例であるキャンドモータ
ポンプの構成を示す縦断面図である。同図において、吸
込口と吐出口を有し、内部にインペラー1を収納したポ
ンプケーシング2は、円筒状のフレーム3と結合されて
おり、そのフレーム3内にはモータ部が収納されてい
る。モータ部におけるステータ4内面は、非磁性体から
なる金属薄板であるステータキャン5によって、また、
その側面は耐食性金属厚板によって完全に密封されてお
り、取扱い液がステータ4内に侵入しないように隔離さ
れている。なお、本実施例においては、取扱い液をアク
リル系モノマーとする。
【0009】また、ステータキャン5の内側に配置され
るロータ6の外面もまた、非磁性体からなる金属薄板で
あるロータキャン7によって密閉され、また側面は耐食
性金属厚板によって完全に密封され、取扱い液がロータ
6内に侵入しないように隔離されている。なお、上記し
た非磁性体からなる金属薄板とは、具体的には、ステン
レス鋼板である。
【0010】上記ロータ6のシャフト8は、シャフト軸
受け部によって支持されている。すなわち、シャフトス
リーブ9aおよび10aを介し、ベアリング9bおよび
10bによって両端で支持されており、その一方端部に
インペラー1が固定されている。なお、9c,10cは
鍔状のスラストカラーである。上記したシャフトスリー
ブ9a,10aおよびスラストカラー9c,10cは、
一体構造をなしており、「被支持部」とみなすことがで
きる。
【0011】上記シャフトスリーブ9a,10aおよび
スラストカラー9c,10cの表面は、それぞれ電解複
合研摩によって表面あらさ約0.5μmRmaxに仕上
げられている。この電解複合研摩は、電解による金属溶
出作用と研摩材による機械的擦過作用を複合した研摩技
術であり、電極と研摩材が交互に配列された研摩工具を
回転させながら研摩面に押しつけることにより、電解作
用に基づくより不動態化皮膜を研磨面の凹凸部に生成さ
せ、その不動態化皮膜における凸部分を研摩材で強制的
に除去して金属素地を露出させ、それにより凸部分へ電
解電流が集中して選択的な電解溶出が行われるようにし
たものであり、その結果、荒い下地表面であっても平滑
化され、極めて高品位の鏡面を得ることができる。そし
て鏡面が得られることにより、取扱い液の付着を著しく
減少させることができるようにしている。なお、通常の
機械仕上げの場合は、約1.0μmRmaxである。
【0012】また、上記ベアリング9b,10bの材質
は、ガラス繊維補強フッ素樹脂で構成されており、それ
により、シャフト被支持部およびシャフト支持部の双方
に液体の摩擦係数を低減させる処理が施されている。ま
た、フレーム3の上方に配置されている循環パイプ11
は、吐出される液体の一部をケーシングフランジ12か
らステータキャン5内側のモータ内部に導くものであ
る。
【0013】次に、上記構成を有するキャンドモータポ
ンプの動作について説明する。モータ部が駆動を開始す
ると、インペラー1の回転により、吸込口から取扱い液
が吸い込まれ、吐出口へ送り出される。この際、液体の
一部(以下循環液と呼ぶ)が、ケーシングフランジ12
からフィルタ13に送られ、そのフィルタ13によって
ろ過された循環液は、循環パイプ11内を通ってRBハ
ウジング14内に送られる。RBハウジング14内に送
られた循環液は、次に、回転中であるベアリング10b
とシャフトスリーブ10aとの隙間を通過し、更にステ
ータキャン5とロータキャン7との隙間を通過し、更に
回転中であるベアリング9bとシャフトスリーブ9aと
の隙間を通過し、最終的に、インペラー1のバランスホ
イールを通過してインペラー1の入口低圧部に送られ
る。
【0014】この間、循環液はモータ内部の各部と接触
しながら流動することにより、シャフト軸受け部の潤
滑、冷却を行ない、モータコイルの発熱を抑制するよう
機能するが、上記したように、シャフト軸受け部の各部
材表面が、極めて摩擦係数の小さいものであるため、取
扱い液が重合を起こしやすいアクリル系モノマーである
にもかかわらず、循環液の温度上昇が起こらないため、
循環がスムースに行われる。
【0015】また、図2は、他の実施例として、循環パ
イプ11の経路途中に「冷却手段」を設けたものであ
る。具体的には、循環パイプ11の途中にドライアイス
20を入れた容器21を取り付け、その循環パイプ11
を通過する循環液を、一旦容器21内で冷却させた後、
ステータキャン5内側のモータ内部に導くよう構成して
いる。この構成によれば、モータ部の冷却効率をさらに
向上させることができる。なお、上記以外の構成につい
ては、図1に示す構成と同様である。
【0016】また、モータコイルの発熱や軸受け部の摩
擦によって生じる発熱を抑制するための方法として、上
記した冷却手段を設ける代わりに、循環パイプ11の内
径を拡大させる、またはモータ部におけるロータキャン
7とステータキャン5との間隔を拡大させる、あるい
は、循環パイプ11の内径およびモータ部におけるロー
タキャン7とステータキャン5との間隔双方を拡大させ
ることにより、循環液の循環量を増やし、それによって
発熱を抑制することもできる。この場合、循環液の循環
量が全体として約2.5%以上増加するように、上記内
径および/または上記間隔を設定すれば、発熱を抑制す
る効果が得られる。
【0017】なお、本発明の被支持部は、上記実施例で
はシャフトスリーブおよびスラストカラーであったが、
これに限らず、シャフトスリーブとスラストカラーのど
ちらか一方であってもよく、また、ベアリングによって
支持されるシャフト部分の任意の部材を含む。
【0018】また、本発明の支持部の材質は、上記実施
例では、ガラス繊維補強フッ素樹脂であったが、これに
限らず、摩擦係数が小さく接着性の低い材料であり、か
つ軸受けとして十分な強度を有するものであれば、単に
フッ素樹脂でもよく、またそれ以外の任意の材料で構成
することもできる。
【0019】また、本発明の冷却手段は、上記実施例で
はドライアイスを冷媒としたが、これに限らず、循環液
の種類に応じて各種フロン代替ガス、アルゴンガス、冷
却水等の冷媒を適宜選択することができる。
【0020】また、本発明の取扱い液は、上記実施例で
は、アクリル系モノマーであったが、これに限らず、重
合反応を起こしやすい液体、重合物を含む液体、付着物
を含む液体等を適用させることができる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の無漏洩ポンプは、重合しやすい液体や付着しやす
い液体を、モータ冷却用循環液として正常に循環させる
ことができる。したがって、この種の液体についても無
漏洩ポンプを連続運転させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成を示す断面図である。
【図2】同実施例の循環パイプに設けた冷却手段の構成
を示す断面図である。
【図3】従来の無漏洩ポンプの構成を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
1 インペラー 2 ポンプケーシング 3 フレーム 4 ステータ 5 ステータキャン 6 ロータ 7 ロータキャン 8 シャフト 9a,10a シャフトスリーブ 9b,10b ベアリング 9c,10c スラストカラー 11 循環パイプ 12 ケーシングフランジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−315692(JP,A) 特開 平3−206396(JP,A) 特開 平2−310335(JP,A) 特公 昭58−31479(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F04D 13/06 C25F 3/16 F04D 7/06 F04D 29/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステータの内側に密閉容器を持ち、その
    密閉容器内にロータを配置し、前記密閉容器内側がポン
    プ内部と連通している無漏洩ポンプにおいて、 前記密閉容器内側を流動する液体が重合しやすい液体、
    或いは重合物を含む液体からなり、その液体が接触す
    る、前記ロータのシャフトの被支持部表面が電解研磨処
    理されていることを特徴とする無漏洩ポンプ。
  2. 【請求項2】 前記シャフトを支持する支持部が、フッ
    素樹脂またはガラス繊維補強フッ素樹脂からなるベアリ
    ングで構成されている請求項1記載の無漏洩ポンプ。
  3. 【請求項3】 前記無漏洩ポンプは、ポンプケーシング
    の吐出口と前記密閉容器内部とを連絡する循環パイプを
    備えた循環式無漏洩ポンプである請求項1または2に記
    載の無漏洩ポンプ。
  4. 【請求項4】 前記循環パイプの循環路途中に冷却手段
    が備えられている請求項3記載の無漏洩ポンプ。
JP05865493A 1993-03-18 1993-03-18 無漏洩ポンプ Expired - Lifetime JP3356480B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05865493A JP3356480B2 (ja) 1993-03-18 1993-03-18 無漏洩ポンプ
US08/102,197 US5397220A (en) 1993-03-18 1993-08-05 Canned motor pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05865493A JP3356480B2 (ja) 1993-03-18 1993-03-18 無漏洩ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06272688A JPH06272688A (ja) 1994-09-27
JP3356480B2 true JP3356480B2 (ja) 2002-12-16

Family

ID=13090580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05865493A Expired - Lifetime JP3356480B2 (ja) 1993-03-18 1993-03-18 無漏洩ポンプ

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5397220A (ja)
JP (1) JP3356480B2 (ja)

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6012909A (en) * 1997-09-24 2000-01-11 Ingersoll-Dresser Pump Co. Centrifugal pump with an axial-field integral motor cooled by working fluid
US5951267A (en) * 1997-09-24 1999-09-14 Ingersoll-Dresser Pump Co. Diaphragm for seal-less integral-motor pump
US7064070B2 (en) * 1998-09-28 2006-06-20 Tokyo Electron Limited Removal of CMP and post-CMP residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process
US6129524A (en) * 1998-12-07 2000-10-10 Turbodyne Systems, Inc. Motor-driven centrifugal air compressor with axial airflow
US6361752B1 (en) * 1999-05-19 2002-03-26 S. C. Johnson & Son, Inc. Apparatus for volatilizing and dispensing a chemical into a room environment
US6142748A (en) * 1999-08-18 2000-11-07 Eastman Chemical Company Degas piping for pumps
JP2001114705A (ja) 1999-10-12 2001-04-24 Nippon Shokubai Co Ltd 易重合性化合物の移送方法
US6890853B2 (en) * 2000-04-25 2005-05-10 Tokyo Electron Limited Method of depositing metal film and metal deposition cluster tool including supercritical drying/cleaning module
DE10025190A1 (de) * 2000-05-20 2001-12-06 Wilo Gmbh Spaltrohrmotor mit Folienspaltrohr
US6447269B1 (en) * 2000-12-15 2002-09-10 Sota Corporation Potable water pump
JP2005516405A (ja) * 2002-01-25 2005-06-02 東京エレクトロン株式会社 超臨界二酸化炭素プロセス中の汚染物の形成を低減する方法
US6924086B1 (en) * 2002-02-15 2005-08-02 Tokyo Electron Limited Developing photoresist with supercritical fluid and developer
CN1296771C (zh) * 2002-03-04 2007-01-24 东京毅力科创株式会社 在晶片处理中低电介质材料的钝化方法
US7387868B2 (en) * 2002-03-04 2008-06-17 Tokyo Electron Limited Treatment of a dielectric layer using supercritical CO2
US20050227187A1 (en) * 2002-03-04 2005-10-13 Supercritical Systems Inc. Ionic fluid in supercritical fluid for semiconductor processing
AU2003220443A1 (en) * 2002-03-22 2003-10-13 Supercritical Systems Inc. Removal of contaminants using supercritical processing
US7169540B2 (en) * 2002-04-12 2007-01-30 Tokyo Electron Limited Method of treatment of porous dielectric films to reduce damage during cleaning
US20040112409A1 (en) * 2002-12-16 2004-06-17 Supercritical Sysems, Inc. Fluoride in supercritical fluid for photoresist and residue removal
US20040177867A1 (en) * 2002-12-16 2004-09-16 Supercritical Systems, Inc. Tetra-organic ammonium fluoride and HF in supercritical fluid for photoresist and residue removal
US20040231707A1 (en) * 2003-05-20 2004-11-25 Paul Schilling Decontamination of supercritical wafer processing equipment
US7163380B2 (en) * 2003-07-29 2007-01-16 Tokyo Electron Limited Control of fluid flow in the processing of an object with a fluid
US20050022850A1 (en) * 2003-07-29 2005-02-03 Supercritical Systems, Inc. Regulation of flow of processing chemistry only into a processing chamber
US7341436B2 (en) * 2003-09-04 2008-03-11 Lawrence Pumps, Inc. Open face cooling system for submersible motor
US6986647B2 (en) * 2003-11-21 2006-01-17 Tokyo Electron Limited Pump design for circulating supercritical carbon dioxide
US20060102282A1 (en) * 2004-11-15 2006-05-18 Supercritical Systems, Inc. Method and apparatus for selectively filtering residue from a processing chamber
US20060165566A1 (en) * 2005-01-25 2006-07-27 Fina Technology, Inc. Loop reactor design
US20060185694A1 (en) * 2005-02-23 2006-08-24 Richard Brown Rinsing step in supercritical processing
US20060186088A1 (en) * 2005-02-23 2006-08-24 Gunilla Jacobson Etching and cleaning BPSG material using supercritical processing
US20060185693A1 (en) * 2005-02-23 2006-08-24 Richard Brown Cleaning step in supercritical processing
US7550075B2 (en) * 2005-03-23 2009-06-23 Tokyo Electron Ltd. Removal of contaminants from a fluid
US20060226117A1 (en) * 2005-03-29 2006-10-12 Bertram Ronald T Phase change based heating element system and method
US20060219268A1 (en) * 2005-03-30 2006-10-05 Gunilla Jacobson Neutralization of systemic poisoning in wafer processing
US7399708B2 (en) * 2005-03-30 2008-07-15 Tokyo Electron Limited Method of treating a composite spin-on glass/anti-reflective material prior to cleaning
US20060223899A1 (en) * 2005-03-30 2006-10-05 Hillman Joseph T Removal of porogens and porogen residues using supercritical CO2
US7442636B2 (en) * 2005-03-30 2008-10-28 Tokyo Electron Limited Method of inhibiting copper corrosion during supercritical CO2 cleaning
US20060225769A1 (en) * 2005-03-30 2006-10-12 Gentaro Goshi Isothermal control of a process chamber
US20070000519A1 (en) * 2005-06-30 2007-01-04 Gunilla Jacobson Removal of residues for low-k dielectric materials in wafer processing
US9214842B2 (en) * 2007-02-07 2015-12-15 Regal Beloit America, Inc. Motor
DE102007023779A1 (de) * 2007-05-22 2008-11-27 Wilo Ag Lagerträger aus Stahldrahtgestrick für eine Spaltrohrpumpe
US8496448B2 (en) * 2010-03-16 2013-07-30 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Pump assembly
US9127897B2 (en) * 2010-12-30 2015-09-08 Kellogg Brown & Root Llc Submersed heat exchanger
CN102606488B (zh) * 2012-03-06 2014-09-10 东莞市众隆电机电器制造有限公司 液泵
EP2667034B1 (de) * 2012-05-22 2019-04-10 Sulzer Management AG Mehrstufige Pumpe
DE102016105309A1 (de) * 2016-03-22 2017-09-28 Klaus Union Gmbh & Co. Kg Magnetkupplungspumpe
CN110043472A (zh) * 2019-04-04 2019-07-23 常州市江南三翔电机有限公司 一种可运输含颗粒液体的泵用屏蔽电机
TWI704291B (zh) * 2019-08-12 2020-09-11 訊凱國際股份有限公司 磁驅泵浦
WO2022255369A1 (ja) 2021-06-02 2022-12-08 株式会社日本触媒 熱交換器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3115839A (en) * 1960-12-09 1963-12-31 Ingersoll Rand Co Electric motor driven pump
US3572976A (en) * 1967-10-09 1971-03-30 Nikkiso Co Ltd Fluid takeoff device for canned motor driven pump
JPS5958197A (ja) * 1982-09-28 1984-04-03 Nikkiso Co Ltd キヤンドモ−タポンプ
US4487557A (en) * 1982-09-28 1984-12-11 Autoclave Engineers Magnetically driven centrifugal pump
US4806080A (en) * 1983-07-06 1989-02-21 Ebara Corporation Pump with shaftless impeller
US4616980A (en) * 1983-12-06 1986-10-14 Crane Co. Canned motor pumps pressurized recirculation system
JPH056416Y2 (ja) * 1987-03-19 1993-02-18
GB2219359B (en) * 1988-05-30 1992-11-04 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Roller elements for machine parts such as roller bearings.
US5009963A (en) * 1988-07-20 1991-04-23 Tadahiro Ohmi Metal material with film passivated by fluorination and apparatus composed of the metal material
JPH0689783B2 (ja) * 1989-01-14 1994-11-14 エヌティエヌ株式会社 グリース封入軸受
JP2548811B2 (ja) * 1989-11-30 1996-10-30 エヌティエヌ株式会社 機械部品
US5246509A (en) * 1990-01-22 1993-09-21 Daido Metal Company Ltd. Copper base alloy superior in resistances to seizure, wear and corrosion suitable for use as material of sliding member
US5139393A (en) * 1990-02-13 1992-08-18 Hale Fire Pump Company Thermal relief valve

Also Published As

Publication number Publication date
US5397220A (en) 1995-03-14
JPH06272688A (ja) 1994-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3356480B2 (ja) 無漏洩ポンプ
US5009578A (en) Motor driven pumps
US5129795A (en) Motor driven pump
EP0401761B1 (en) Magnet pump
US3318253A (en) Pumps with heat exchanger for pumping slurries
US2993449A (en) Motor-pump
US4120618A (en) Permanent magnetic centrifugal pump
US3850550A (en) Centrifugal pump and motor
CA2429584C (en) Horizontal centrifugal pumping system
JP2003529702A (ja) 軸封部を備えた水中用モータ
JP2834035B2 (ja) ポンプ
TWI290605B (en) Canned pump
JP2544825B2 (ja) マグネツトポンプ
FI103604B (fi) Nesterengaskone ja menetelmä fluidin siirtämiseksi
JP4281614B2 (ja) ポンプ装置
JPH05187385A (ja) 電動ポンプ
CN213360544U (zh) 一种串联式多级泵滑动轴承防靠死结构及多级屏蔽电泵
CN1064114C (zh) 密封电动泵
CN110242596A (zh) 一种高压磁力泵
JPH10238489A (ja) 小型流体ポンプ
JPS5913352Y2 (ja) 真空系装置用キヤンドモ−タポンプ
WO2017022517A1 (ja) 軸受装置および回転機械
JPH0631198Y2 (ja) 無漏洩ポンプの軸受装置
JPH04279796A (ja) 高蒸気圧液用グランドレスモータポンプ装置
JPS58183891A (ja) グランドレスポンプ

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020910

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071004

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081004

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081004

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091004

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101004

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111004

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111004

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121004

Year of fee payment: 10