JP3349370B2 - 太陽電池セル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明に属する技術分野】本発明は、たとえば、シリコ
ン多結晶太陽電池セル,シリコン単結晶太陽電池セルの
構造および製造方法に関する。さらに詳しくは、高性能
でかつ機械的強度の強い太陽電池セルおよびその製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の太陽電池セルの製造方法およびセ
ル構造を図８に示す。

【０００３】まず、図８(１)に示すように、０.４mm
厚、結晶軸(１００)のｐ型シリコン基板１０１を数％の
水酸化ナトリウムとイソプロピルアルコールを溶かした
８０℃の溶液中で３０分間処理し、基板表面１０１Ａの
ダメージを取り去るとともに表面１０１Ａにピラミッド
状の凹凸１０２を形成する(テクスチャーエッチ工程)。
なお、図８(１)において一点鎖線で囲んだ部分は所定の
倍率で拡大されている。

【０００４】次に、図８(２)に示すように、基板１０１
を１０００℃で３０分間処理し、n型不純物(一般にはリ
ン)を拡散することにより、基板表面にｐｎ接合１０３
を形成する。

【０００５】次に、図８(３)に示すように、スプレー法
を用いて受光面１０４に金属酸化物を形成し反射防止膜
１０５とする。そして、受光面１０４を耐酸テープで覆
った後、フッ酸と硝酸の混合液で３０秒間処理し、裏
面,側面の不要なｎ型拡散層１０６Ｂ,１０６Ｃを除去し
て、図８(４)に示すように、受光面１０４にｎ型拡散層
１０６Ａと反射防止膜１０５が順に積層した構造にす
る。

【０００６】次に、図８(５)に示すように、基板１０１
の裏面に銀ペーストとアルミペーストをスクリーン印刷
して７００℃〜８００℃で焼成する。これにより、アル
ミペーストはシリコン基板１０１と合金化して裏面にＰ
＋層１１０を形成する。この構造によって、太陽電池セ
ルの高出力化を図ることができる。

【０００７】上記アルミペーストで形成されたアルミ電
極１１１には直接はんだ付けができないから、銀ペース
トが構成する銀電極部１１２が出力取り出し用として基
板１０１の裏面に形成されるのである。

【０００８】一方、図８(６)に示すように、基板１０１
の表面にも、銀ペーストをスクリーン印刷し７００℃〜
７５０℃に焼成して、銀電極部１１５を形成する。そし
てさらに、１９０℃に加熱した銀入りはんだ(ＱＱＳ５
７１Ｓn６２等)槽にフラックスを塗布した基板１０１を
３０秒間浸漬し、図８(７)に示すように、表裏の銀電極
部１１２と１１５にはんだ層１１６を被覆した後、キシ
レン、トルエン、アセトン等の有機溶剤にてフラックスを
洗浄除去して、太陽電池セル１１７が完成する。

【０００９】この従来の太陽電池セル１１７の表面形状
を図９に示し、裏面形状を図１０に示す。図７(Ｂ)に示
すように、この従来の太陽電池セル１１７裏面では、高
出力化のためにアルミ電極１１１と出力取り出し用の銀
電極１１２とが、部分的に重なり合うように形成されて
いる。この重なり合った部分１２０は、シリコン、銀、ア
ルミの３種の金属が合金化しており、非常に脆弱になっ
ている。そのため、はんだ被覆工程等で基板１０１が急
激に加熱、冷却されると基板が割れ歩留が低下する要因
になる。つまり、はんだ工程では基板が急激に加熱、冷
却されて割れ易くなるとともに、はんだと基板、電極材
料との熱膨張係数の差に起因する応力によっても基板が
割れ易くなるため歩留が低下するのである。

【００１０】他方で、太陽電池セルのコスト低減のため
には、今後、原価比率の高い基板をより薄くする必要が
あるが、このような薄型化を行うに際して、上述の重な
り合った脆弱な部分でのセル割れが大きな障害となる。

【００１１】また、図８(１)に示したように、表面にピ
ラミッド状の凹凸１０２を形成する(テクスチャーエッ
チ)ことにより、セル表面での光の反射ロスをなくし高
出力化が可能となる。このテクスチャーエッチ処理は
(１００)の結晶軸を有するウエハにおいてより効果的と
なるので、太陽電池用基板として(１００)面の結晶が用
いられることが多い。

【００１２】しかし、(１００)の結晶軸を有する基板の
場合、ウエハの辺のあたる部分が(０１０)、(００１)の
結晶軸を有することが一般的であるので、セルが基板の
辺に平行あるいは直角に割れることが多い。一方で、ア
ルミ電極１１１と出力取り出し用の銀電極１１２とが重
なり合った脆弱な部分１２０は、ウエハの辺に平行もし
くは直角に並んでいることが多い。したがって、上記平
行あるいは直角方向への割れやすさは、１つの脆弱部分
１２０からの平行あるいは直角方向への割れが他の脆弱
部分１２０の割れを連続的に引き起こし易くなる。

【００１３】また、一般には、上記従来例に示したよう
に、裏面の銀ペーストとアルミペーストとを印刷した後
に焼成するか、あるいは、裏面の銀ペーストとアルミペ
ーストおよび表面の銀ペーストを印刷した後に焼成して
電極を形成する。この場合、アルミペーストと銀ペース
トとシリコン基板１０１とが一層反応し易くなって、脆
弱な３種の金属の合金層がより深く形成される。したが
って、アルミ電極１１１と銀電極１１２とが重なり合っ
た部分１２０がさらにより脆弱となりセルが一層割れ易
くなる。

【００１４】なお、図１１(Ａ)および図１１(Ｂ)に従来
の太陽電池セルの割れかたの一例を示す。図１１(Ａ)お
よび(Ｂ)を参照することによって、(1) 基板１０１の辺
に平行あるいは直角に割れることが多いことと、(2) ア
ルミ電極１１１と銀電極１１２とが重なり合った脆弱な
部分１２０を起点に割れることが多いことが分かる。ま
た、銀ペーストの印刷膜厚が厚いと銀電極１１２の一部
が剥離し、そこを起点に割れることも多い。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は前記
の問題に鑑みてなされたものであり、電極に起因する脆
弱さを解消でき、薄型化に際しても製造の歩留まりを向
上でき、高性能かつ高信頼性の太陽電池セルおよびその
製造方法を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、アルミペース
トを基板裏面にスクリーン印刷してp＋層を形成する太
陽電池セルにおいて、電極パターンやペースト材料、基
板材料の変更や製造プロセスの変更によりセルの強度を
改善し、セル割れを低減するものである。

【００１７】上記目的を達成するために、請求項１の発
明は、図６(Ｂ)に示すように、裏面の出力取り出し用の
銀電極が有する複数の細線がアルミ電極と重なり合うよ
うに構成した。したがって、はんだ被覆工程やインター
コネクタ接続工程等でセルが急熱急冷される際の熱的な
応力を上記複数の細線に分散できる。したがって、セル
を割れにくくできる。したがって、より薄いシリコンウ
エハを使用でき、大幅な材料コストダウンを図ることが
できる。その上、裏面の出力取り出し用の銀電極が、上
記アルミ電極に重なっていなくて上記細線部分に連なっ
ている基部を備え、この基部は上記細線部分よりも幅太
の帯状であり、スリットを有している。したがって、こ
の基部に電気的接続のためのはんだを被覆する際に、は
んだが基部に乗り易くなって、はんだによる被覆量を均
一にできる。したがって、インターコネクタの接続も作
業性良く確実に行え、また、モジュール組み立て時のセ
ル割れも低減する。

【００１８】また、請求項２の発明の太陽電池セルは、
請求項１に記載の太陽電池セルにおいて、上記出力取り
出し用の銀電極は、上記細線部分よりも幅太の基部を有
し、上記細線部分は上記基部から横方向に延びているこ
とを特徴としている。

【００１９】また、請求項３の発明は、上記出力取り出
し用の銀電極が、２μm以上の球状銀粉末を用いた銀電
極用ペーストを焼結して作製されている。したがって、
請求項３の発明によれば、ペーストの焼結時の応力を低
減でき、太陽電池セルを割れにくくできる上に、ペース
トの印刷膜厚が厚くても、銀電極が剥離しにくくなる。

【００２０】また、請求項４の発明は、基板が(１００)
の結晶軸を有し、上記基板の側辺が上記基板の(０１０)
面から±４５°以内でずれている。したがって、アルミ
電極と銀電極とが重なっている脆弱部分が基板側辺に直
角あるいは平行に並んでいる場合に、脆弱部分の連続割
れを防ぐことができる。

【００２１】また、太陽電池セルを製造する太陽電池セ
ルの製造方法において、上記基板の裏面に銀電極用ペー
ストを印刷して焼成して上記銀電極を形成してから、ア
ルミ電極用ペーストを印刷して焼成して上記アルミ電極
を形成する。

【００２２】したがって、銀電極の焼結された銀が、ア
ルミ電極のアルミと反応しにくくなる。したがって、ア
ルミと銀とシリコンとからなる脆弱な３種金属の合金層
が形成されることを抑制できる。したがって、電極に起
因する脆弱さを解消できる。

【００２３】したがって、本発明よれば、高性能でかつ
機械強度の高い太陽電池セルを提供できる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の太陽電池セルお
よびその製造方法を図示の実施の形態に基づいて詳細に
説明する。

【００２５】図１に、この発明の太陽電池セルの製造方
法の実施形態を示す。

【００２６】この実施形態では、まず、図１(１）に示
すように、０.４mm厚、結晶軸(１００)のｐ型シリコン
基板１を用いた。この基板１は、その側辺１Ｄが基板の
(０１０)面から４５°ずれている。この基板１を、数％
の水酸化ナトリウムとイソプロピルアルコールを溶かし
た８０℃の溶液中で３０分間処理し、基板表面１Ａのダ
メージを取り去るとともに表面１Ａにピラミッド状の凹
凸２を形成する(テクスチャーエッチ工程)。なお、図１
(１)において、一点鎖線で囲んだ部分は所定の倍率で拡
大されている。

【００２７】次に、図１(２)に示すように、基板１を１
０００℃で３０分間処理し、n型不純物(一般にはリン)
を拡散することにより、基板表面にｐｎ接合３を形成す
る。

【００２８】次に、図１(３)に示すように、スプレー法
を用いて受光面４に金属酸化物を形成し反射防止膜５と
する。そして、受光面４を耐酸テープで覆った後、フッ
酸と硝酸の混合液で３０秒間処理し、裏面,側面の不要
なｎ型拡散層６Ｂ,６Ｃを除去して、図１(４)に示すよ
うに、受光面４にｎ型拡散層６Ａと反射防止膜５が順に
積層した構造にする。

【００２９】次に、図１(５)に示すように、基板１の裏
面に、裏面銀電極用ペーストをスクリーン印刷し、７０
０℃〜７５０℃で焼成して、裏面の銀電極７を形成す
る。上記銀電極用ペーストは、粒径２μm以上の球状銀
粉末８０％,ガラスフリット４％,ビヒクル１６％から成
る。図４に、銀電極７を裏面側から見たパターンを示
す。この銀電極７は、基板１の側辺１Ｄに平行に延びる
２本のレール状パターンになっていて、幅太で帯状の基
部１０とこの基部１０から横方向に延びる細線部１１と
を有している。この細線部１１は帯状の基部１０が延び
る方向に沿って所定の間隔を隔てて並んでいる。また、
上記帯状の基部１０は、上記細線部１１と略同じ間隔で
並んでいる長方形状の複数のスリット１２を有してい
る。

【００３０】次に、図１(６)に示すように、基板１の裏
面にアルミペーストをスクリーン印刷し、基板１の表面
に銀ペーストをスクリーン印刷して、それぞれ、７００
℃〜８００℃で焼成して、アルミ電極１３および表銀電
極１５を形成する。

【００３１】図３(Ａ)に表銀電極１５を表面側から見た
パターンを示し、図３(Ｂ)にアルミ電極１３を裏面側か
ら見たパターンを示す。表銀電極１５は平行な２本の太
線１７,１８と、この２本の太線１７と１８を横切るよ
うに延びている複数本の細線２０を有している。また、
アルミ電極１３は、上記裏面の２本の銀電極７,７に対
応する領域に長方形の開口２１，２１を有する四角形状
である。

【００３２】次に、図１(７)に示すように、表の銀電極
１５および裏の銀電極７に半田２３を被覆した後、キシ
レン、トルエン、アセトン等の有機溶剤によってフラック
スを洗浄して除去する。これにより、太陽電池セル２５
が完成する。

【００３３】この太陽電池セル２５を表面から見た様子
を図２(Ａ)に示し、太陽電池セル２５を裏面から見た様
子を図２(Ｂ)に示す。図２(Ａ)に示すように、表の銀電
極１５は基板１の表面の略全エリアに亘っている。ま
た、図２(Ｂ)に示すように、アルミ電極１３は、基板１
の裏面を略全エリアに亘って覆っている。そして、この
アルミ電極１３の２つの開口２１,２１から、裏の銀電
極７,７の帯状の基部１０と、横方向に延びる細線部１
１が露出している。ただし、図６(Ｂ)に断面を示すよう
に、この細線部１１の先の部分１１Ａは上記アルミ電極
１３と基板１の裏面とで挟まれていて、アルミ電極１３
に重なっている。

【００３４】この実施形態の太陽電池セル２５によれ
ば、図６(Ｂ)に示すように、裏面の出力取り出し用の銀
電極７が有する複数の細線部１１がアルミ電極１３と重
なり合うように構成した。したがって、はんだ被覆工程
やインターコネクタ接続工程等でセル２５が急熱急冷さ
れる際の熱的な応力を上記複数の細線部１１に分散でき
る。したがって、セル２５を割れにくくできる。

【００３５】また、この実施形態によれば、裏面の出力
取り出し用の銀電極７の基部１０がスリット１２を有し
ている。したがって、この基部１０に電気的接続のため
のはんだ２３を被覆する際に、はんだ２３が基部１０に
乗り易くなって、図６(Ｂ)に示すように、はんだ２３に
よる被覆量を均一にできる。したがって、インターコネ
クタの接続も作業性良く確実に行え、また、モジュール
組み立て時のセル割れも低減する。

【００３６】また、この実施形態は、上記出力取り出し
用の銀電極７が、２μm以上の球状銀粉末を用いた銀電
極用ペーストを焼結して作製されている。したがって、
ペーストの焼結時の応力を低減でき、太陽電池セルを割
れにくくできる上に、ペーストの印刷膜厚が厚くても、
銀電極７が剥離しにくくなる。

【００３７】また、この実施形態は、基板１が(１００)
の結晶軸を有し、上記基板１の側辺１Ｄが上記基板の
(０１０)面から±４５°だけずれている。したがって、
アルミ電極１３と銀電極７とが重なっている脆弱部分３
０の連続割れを防ぐことができる。なお、この実験例に
よれば、基板１の側辺１Ｄが上記基板の(０１０)面から
±４５°だけずれていることによって、従来例に比べて
セル強度を７％改善できた。

【００３８】また、上記実施の形態の製造方法によれ
ば、基板１の裏面に銀電極用ペーストを印刷して焼成し
て上記銀電極７を形成してから、アルミ電極用ペースト
を印刷して焼成して上記アルミ電極１３を形成する。し
たがって、銀電極７の焼結された銀が、アルミ電極１３
のアルミと反応しにくくなる。したがって、アルミと銀
とシリコンとからなる脆弱な３種金属の合金層が形成さ
れることを抑制でき、電極に起因する脆弱さを解消でき
る。なお、実験例によれば、この製造方法によって、従
来の方法に比べて、セル強度を２０％改善できた。

【００３９】したがって、上記実施の形態の太陽電池セ
ルの製造方法および太陽電池セルによれば、高性能でか
つ機械強度の高い太陽電池セルを提供できる。

【００４０】〔実験結果〕 図１４に、裏面の銀電極の形状によって太陽電池セルの
強度が変化することを確認した実験結果を黒丸で示す。
セル強度は裏面銀電極が中心になるようにセル(ウエハ
厚２５０μm)を５cm角に切断し、裏面銀電極部に反対の
面から荷重をかけて破壊する限界強度として求めた。

【００４１】この実験結果によれば、上記アルミ電極１
３を図１５(Ａ)に示すように細線部１１の幅および細線
部１１間の間隔を１.０ｍｍの銀電極とした場合には、
強度が１２００ｇであった。また、上記アルミ電極１３
を図１５(Ｂ)に示すように細線部１１の幅および細線部
１１間の間隔を０.５ｍｍの銀電極とした場合には、強
度が１２００ｇであった。また、上記アルミ電極１３を
図１５(Ｃ)に示すように細線部１１の幅および細線部１
１間の間隔を０.２５ｍｍの銀電極とした場合には、強
度が１４００ｇであった。また、従来の太陽電池セルで
は、セルの強度は８００ｇであった。なお、この実験
は、上記各場合において、裏面銀電極がアルミ電極と重
なり合う部分の面積を同一にして行った。

【００４２】上記実験から分かるように、裏面の銀電極
が細線部１１を備えることによって、セル強度が向上す
ることが実験により確認できた。また、細線部１１の幅
が最も狭い０.２５ｍｍ幅のパターンが最も強かった。

【００４３】また、図１３に、裏面銀電極用ペーストが
含有する球状銀粉末の粒径とセル強度の関係を黒丸で示
す。粒径が１μm以下の銀粉末を含有するペーストに比
べて、粒径が２μm以上の銀粉末を含有するペーストの
方がセル強度が改善されている。ただし、あまり粒径が
大きすぎると基板への接着強度が低下するので望ましく
ない。

【００４４】なお、上記実施形態の太陽電池セルでは、
裏面の銀電極７の形状を、図４に示す形状にしたが、裏
面の銀電極の形状としては、図５(Ａ)に示すように、複
数の細線５１が縦横に延びているメッシュ状パターンで
あってもよい。また、図６(Ｂ)に示すように、図４に示
したようなレール状パターンの銀電極７が７Ａ,７Ｂ,７
Ｃに３分割されたような形状であってもよい。また、図
５(Ｃ)に示すように、裏面の銀電極は、丸い形状の基部
５２から放射状に延びる複数の細線５３を有した形状の
３つの電極５５で構成されていてもよい。また、裏面の
銀電極が、図５(Ｄ)に示すように、複数の細線５７が縦
横に延びているメッシュ状の３つの電極５６で構成され
ていてもよい。

【００４５】なお、上記実施形態のような結晶軸が(１
００)の基板１の側辺１Ｄが(０１０)面から±４５°以
内でずれている基板を、上述の実施形態のような(ｎ＋
／ｐ／ｐ＋)構造のセルに適用するのではなく、従来型
の(ｎ＋／ｐ)セルに適用した場合にも、セル割れを抑制
できる効果がある。なぜならば、ペーストをスクリーン
印刷する場合、スキージが基板１に荷重をかけながら基
板１の側辺１Ｄに平行に移動するので、側辺１Ｄが(０
１０)面から±４５°以内でずれているほうが基板１が
割れにくくなるのである。

【００４６】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
１の発明の太陽電池セルは、図６(Ｂ)に示すように、裏
面の出力取り出し用の銀電極が有する複数の細線がアル
ミ電極と重なり合うように構成した。したがって、はん
だ被覆工程やインターコネクタ接続工程等でセルが急熱
急冷される際の熱的な応力を上記複数の細線に分散でき
る。したがって、セルを割れにくくできる。したがっ
て、より薄いシリコンウエハを使用でき、大幅な材料コ
ストダウンを図ることができる。また、基板への応力が
分散減少できるため、通常の厚さのシリコンウエハを使
用した場合には、セル割れが減少し歩留が上がる。

【００４７】また、請求項２の発明は、裏面の出力取り
出し用の銀電極が、上記アルミ電極に重なっていなくて
上記細線部分に連なっている基部を備え、この基部は上
記細線部分よりも幅太の帯状であり、スリットを有して
いる。したがって、この基部に電気的接続のためのはん
だを被覆する際に、はんだが基部に乗り易くなって、は
んだによる被覆量を均一にできる。したがって、インタ
ーコネクタの接続も作業性良く確実に行え、また、モジ
ュール組み立て時のセル割れも低減する。また、セル裏
面の凹凸が少なくなるため、セルの電気特性検査時や、
セルをラミネートしモジュールに組み立てる工程でも、
セル割れが低減できる。

【００４８】また、脆弱なアルミ／銀／シリコン合金層
がはんだ付けをする基部から離れているので、インター
コネクタをはんだ付けする際の局部加熱に対しても割れ
にくい。

【００４９】また、請求項３の発明は、上記出力取り出
し用の銀電極が、２μm以上の球状銀粉末を用いた銀電
極用ペーストを焼結して作製されている。したがって、
請求項３の発明によれば、ペーストの焼結時の応力を低
減でき、太陽電池セルを割れにくくできる上に、ペース
トの印刷膜厚が厚くても、銀電極が剥離しにくくなる。

【００５０】また、請求項４の発明は、基板が(１００)
の結晶軸を有し、上記基板の側辺が上記基板の(０１０)
面から±４５°以内でずれている。したがって、アルミ
電極と銀電極とが重なっている脆弱部分が基板側辺に直
角あるいは平行に並んでいる場合に、脆弱部分の連続割
れを防ぐことができる。

【００５１】また、請求項１乃至４のいずれか１つに記
載の太陽電池セルを製造する太陽電池セルの製造方法に
おいて、上記基板の裏面に銀電極用ペーストを印刷して
焼成して上記銀電極を形成してから、アルミ電極用ペー
ストを印刷して焼成して上記アルミ電極を形成する。

【００５２】したがって、銀電極の焼結された銀が、ア
ルミ電極のアルミと反応しにくくなる。したがって、ア
ルミと銀とシリコンとからなる脆弱な３種金属の合金層
が形成されることを抑制できる。したがって、電極に起
因する脆弱さを解消できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の太陽電池セルの製造方法の実
施形態を示すプロセス図である。

【図２】 図２(Ａ)は本発明の太陽電池セルの実施形態
を表面から見た様子を示す形状図であり、図２(Ｂ)は上
記実施形態を裏面から見た様子を示す形状図である。

【図３】 図３(Ａ)は上記実施形態の基板表面の銀電極
の形状を示す図であり、図３(Ｂ)は上記実施形態の基板
裏面のアルミ電極の形状を示す図である。

【図４】 図４は上記実施形態の裏面銀電極の形状を示
す図である。

【図５】 図５(Ａ)〜(Ｄ)は、上記実施形態の裏面銀電
極の変形例の形状を示す図である。

【図６】 図６(Ａ)は上記実施形態の裏面銀電極にはん
だが被覆された状態を裏面側から見た様子を示す図であ
り、図６(Ｂ)は上記状態の断面図である。

【図７】 図７(Ａ)は従来の太陽電池セルの裏面銀電極
にはんだが被覆された状態を裏面側から見た様子を示す
図であり、図７(Ｂ)は上記状態の断面図である。

【図８】 図８は従来の太陽電池セルの製造プロセス図
である。

【図９】 図９は従来の太陽電池セルの表面形状図であ
る。

【図１０】 図１０は従来の太陽電池セルの裏面形状図
である。

【図１１】 図１１(Ａ)および(Ｂ)は従来の太陽電池セ
ルの割れ方を示す裏面形状図である。

【図１２】 図１２(Ａ)は(０１０)面と基板側辺とが一
致している場合の割れ方を示す裏面形状図であり、図１
２(Ｂ)は(０１０)面と基板側辺とが４５°だけずれてい
る場合の割れ方を示す裏面形状図である。

【図１３】 裏面の銀電極を作製するペーストの銀粒径
とセル強度との関係を調べた実験結果を示す図である。

【図１４】 裏面の銀電極の細線の寸法とセル強度との
関係を調べた実験結果を示す図である。

【図１５】 図１５(Ａ),(Ｂ),(Ｃ)は裏面の銀電極の細
線の寸法を１.０ｍｍ,０.５ｍｍ,０.２５ｍｍに設定し
た場合の形状を示す図である。

【符号の説明】

１…基板、１Ｄ…側辺、２…凹凸、３…ｐｎ接合、４…
受光面、５…反射防止膜、６Ａ，６Ｂ，６Ｃ、７…裏面
の銀電極、１０…基部、１１…細線部、１２…スリッ
ト、１３…アルミ電極、１５…表銀電極、１７,１８…
太線、２０…細線、２１…開口、２３…はんだ、２５…
太陽電池セル、３０…脆弱部分。

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板裏面にスクリーン印刷されたアルミ
   ペーストがｐ＋層とアルミ電極を形成している太陽電池
   セルにおいて、 出力取り出し用の銀電極を備え、 前記出力取り出し用の銀電極は、複数の細線で構成され
   た細線部分を有し、かつ、上記アルミ電極に重なってい
   なくて上記細線部分に連なっている基部を備え、 上記線部分が上記基板裏面と上記アルミ電極とで挟まれ
   て上記アルミ電極に重なっており、 上記基部は、上記細線部分よりも幅太の帯状であり、ス
   リットを有している ことを特徴とする太陽電池セル。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の太陽電池セルにおい
   て、 上記出力取り出し用の銀電極は、上記細線部分よりも幅
   太の基部を有し、上記細線部分は上記基部から横方向に
   延びていることを特徴とする太陽電池セル。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の太陽電池セル
   において、 上記出力取り出し用の銀電極は、 粒径が２μｍ以上の銀粉末からなる銀電極用ペーストを
   焼結して作製されていることを特徴とする太陽電池セ
   ル。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか１つに記載の
   太陽電池セルにおいて、 上記基板が(１００)の結晶軸を有し、 上記基板の側辺が上記基板の(０１０)面から±４５°以
   内でずれていることを特徴とする太陽電池セル。