JP3347287B2 - チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法 - Google Patents
チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法Info
- Publication number
- JP3347287B2 JP3347287B2 JP12902598A JP12902598A JP3347287B2 JP 3347287 B2 JP3347287 B2 JP 3347287B2 JP 12902598 A JP12902598 A JP 12902598A JP 12902598 A JP12902598 A JP 12902598A JP 3347287 B2 JP3347287 B2 JP 3347287B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium
- glassy carbon
- titanium metal
- coating
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/80—After-treatment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
ガラス状カーボンの被覆方法に関する。
強度に優れ、また空気中で表面に酸化被膜を形成するの
で、耐食性に優れた性質を有することが知られている。
また、純チタンは、全ての金属、特に銅、スズ、鉄、ア
ルミニウム、バナジウム、クロム、コバルト、モリブデ
ン、ニッケルなどと合金をつくり、その加工性や機械的
強度を種々改良することが可能である。
なるチタン金属は、活性な金属であって空気中でその表
面が直ちに酸化される。このとき表面に形成されるチタ
ン酸化物からなる被膜は、その被膜の保護作用によって
腐食性環境でも優れた耐食性を示し、不動態化膜とも呼
ばれている。
表面をクリーニング処理して酸化膜を除去した後に浸炭
処理し、表面の摩擦・摩耗係数を低減させて摺動材やボ
ルト・ナットなどの締結材として有用な素材を開発し、
その製法は特開平7−90542号公報に開示した。
イト系材料の基本構造である数ナノメータの六角網面を
方向性なく集合させたものであり、3000℃付近の高
温まで加熱処理してもグラファイト構造が発達せず、非
晶質に近い構造を有するカーボン(難黒鉛化性カーボ
ン)である。非晶質性の高いガラス状カーボンは、耐食
性、耐摩耗性、潤滑性(低摩擦係数)、離型性、ガス不
透過性等、工業上利用価値の高い優れた特性を有する。
体を製造するには、フェノールなどの熱硬化性樹脂材料
を所要形状に成形し、これを重合および熱硬化した後、
機械加工し、さらに成形体を厳密な温度制御条件で加熱
してきわめて徐々に昇温させることにより炭素化し、ガ
ラス状カーボン成形体を得ていた。
状カーボンの製法を応用し、金属体の表面にガラス状カ
ーボン被膜を形成するには、成形体の表面に熱硬化性樹
脂材料を被覆し、これを温度制御条件の下で長時間加熱
する方法が考えられる。
とガラス状カーボンが入り混じった層が形成されたり、
下地金属の炭化物が形成されたりして、チタン金属の表
面に均質なガラス状カーボン被膜を形成できず、またガ
ラス状カーボン被膜を成形体表面に薄膜に効率よく形成
することもできない。
を解決し、チタン金属の表面に非晶質性の高い均質なガ
ラス状カーボン被膜を形成し、またそのようなガラス状
カーボン被膜をチタン金属の表面に効率よく薄膜に形成
することである。
率のよいガラス状カーボンの被覆方法を提供して、耐食
性、耐摩耗性、潤滑性(低摩擦係数)、離型性、ガス不
透過性、生体親和性が高く、チタン金属の工業上の利用
価値を高め得る表面処理方法を提供することである。
め、この発明においては、チタン金属表面にチタン酸化
物の被膜を緻密に形成し、このチタン酸化物の被膜の表
面を炭化水素系ガス含有の0.1〜30torr、40
0〜1100℃の雰囲気内でプラズマ熱処理することに
よりガラス状カーボンを被覆するチタン金属へのガラス
状カーボンの被覆方法としたのである。
形成し、この鏡面上にチタン酸化物の被膜を形成し、こ
のチタン酸化物の被膜の表面を炭化水素系ガス含有の
0.1〜30torr、400〜1100℃の雰囲気内
でプラズマ熱処理することによりガラス状カーボンを被
覆するチタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法とし
たのである。
成方法は、研磨剤としてエメリー紙およびアルミナ懸濁
液および酸化クロム懸濁液を用いたバフ研磨であること
が好ましい。
ンの被覆方法では、チタン金属表面にきわめて緻密で強
固なチタン酸化物の被膜を形成する。前記チタン酸化物
としては、酸化チタン (II) (TiO)、酸化チタン(I
II) (Ti2 O3 )、酸化チタン(IV)(TiO2 )など
が挙げられる。
形成方法としては、チタン金属表面を研磨し、好ましく
はバフ研磨による研磨加工を施すことであり、これによ
りきわめて緻密で平滑面、すなわち肉眼で見ても鏡面で
あることが判別できる光学的反射面(鏡面)が形成さ
れ、同時に保護性のチタン酸化物被膜が鏡面上に形成さ
れる。また、鏡面仕上げをしなくても、常温もしくは加
熱空気中または強制的な酸化雰囲気中で酸化すると、酸
化チタン(IV)等を主成分とするチタン酸化物の被膜をき
わめて緻密に形成することができる。
の被膜は、前記所定の雰囲気内で所定条件のプラズマ熱
処理行なう際に、活性化された炭素イオンのチタン金属
内への進入(浸炭)を阻止または抑制する。そのため、
所定条件のプラズマ熱処理により、チタン酸化物の被膜
の表面に非晶質性の高いカーボンが堆積し、チタン金属
表面に、チタン酸化物の被膜を介して非晶質性の高い均
質で薄膜のガラス状カーボン膜が被覆される。
純チタン、チタン合金またはチタンとその他の金属との
金属間化合物のいずれであってもよい。
属の表面に鏡面を形成することにより、極めて緻密で強
固な酸化被膜を形成するために行なう。その際の研磨方
法は、金属を鏡面仕上げする場合に採用される周知の研
磨方法であってよく、バフ(羽布)研磨その他の機械研
磨や、化学的研磨を採用できる。なお、研磨方法とし
て、研磨剤としてエメリー紙およびアルミナ懸濁液や酸
化クロム懸濁液を用いたバフ研磨を採用した場合にも好
ましい結果を得ている。
前に、上述の研磨処理により鏡面を形成するが、プラズ
マ熱処理する直前にはその表面を有機溶媒に浸漬し、ま
たは超音波を使用した洗浄処理を行なうことが望まし
い。
グラファイトファイバー等の断熱材で囲まれた処理室を
形成し、この処理室内をロッドグラファイトからなる発
熱体で加熱すると共に、処理室内の上部に直流グロー放
電の正極を接続し、かつ処理品の載置台に陰極を接続
し、また処理室内の要所にはガスマニホールドを設置し
て炭化水素、窒素、アルゴン、水素などのプロセスガス
またはクリーニング用ガスを適宜分散させながら導入す
るようにした公知の浸炭処理装置(日本電子工業社製)
を用いることができる。
以下の操作によって行なうことができる。まず、処理室
にチタン金属等を装入して排気した後、ヒータにより4
00〜1100℃にまで加熱し、アルゴン、窒素などの
不活性ガスや希釈用の水素ガスからなるクリーニング用
ガスを導入し、200〜1500Vの直流高電圧を印加
して10〜30分保持する。
るが、プラズマ中の電位は陽極から陰極までの大部分で
ほぼ一様であり、陰極付近で急激に電位が低下する。こ
のため、プラズマ中の水素イオンH+ やアルゴンイオン
Ar+ は、陰極降下によって加速され、チタン金属表面
に衝突して表面の付着物を跳ね飛ばしてチタン金属表面
をクリーニングする。しかし、前述のように、鏡面上の
酸化被膜は極めて緻密にかつ強固に固着しているから、
アルゴンや水素等のスパッタリングの作用を受けても残
存する。
化水素系ガスを0.1〜30torrの範囲で導入する
と、プラズマガス中には、イオン化した活性化炭素C+
が発生し、これがチタン金属表面に付着して堆積する。
は、炭素と水素だけからなるガスの総称であり、鎖式炭
化水素でも環式炭化水素のいずれの化合物であってもよ
い。鎖式炭化水素の代表例としては、一般式Cn H2n+2
で示されるメタン系炭化水素の他、エチレン系炭化水素
(一般式Cn H2n)、アセチレン系炭化水素(一般式C
n H2n-2)が挙げられ、直鎖状であっても側鎖をもって
もよい。特に、常温で気体のメタン、エタン、プロパ
ン、ブタンは、使用に際して気化設備が不要であるの
で、好ましいものであるといえる。また、環式炭化水素
としては、芳香族化合物または脂環式化合物のいずれで
あってもよく、芳香族化合物の代表例としては、ベンゼ
ン(C6 H6 )が挙げられる。
おける炭化水素系ガスの圧力は0.1〜30torrで
ある。このような炭化水素系ガスの圧力は、チタン金属
表面に主にガラス状カーボン(ガラスライクカーボン)
膜を形成するために必要であって、0.1torr未満
の低圧では成膜層の炭素量が少なく、成膜が充分でな
い。また、30torrを越える高圧では、実用的でな
くなるからである。このような傾向から、より好ましい
炭化水素系ガスの圧力は0.1〜20torrである。
温度は、400〜1100℃である。なぜなら、400
℃未満の低温では、チタン金属表面へのガラス状カーボ
ンの密着性が低くなる。また、1100℃を越える高温
では、チタンの強度特性を確保するためにもこれ以上の
処理温度は実用的でないからである。
チタン合金(Ti−15V−3Al−3Cr−3Sn)
の表面を1200エメリ研磨後、アルミナ(Al
2 O3 )懸濁液を研磨剤とするバフ(buff) 研磨により
鏡面仕上げし、アセトン中で超音波洗浄し、以下の装置
および条件でプラズマ熱処理を行なった。
バー等の断熱材で囲まれた処理室を有し、この処理室内
をロッドグラファイトからなる発熱体で加熱すると共
に、処理室内の上部に直流グロー放電の正極を接続し、
かつ処理品の載置台に陰極を接続し、また処理室内の要
所にガスマニホールドを設置して炭化水素、窒素、アル
ゴン、水素などのプロセスガスを適宜導入するようにし
た公知の浸炭処理装置(日本電子工業社製)を用いた。
ス組成を100%プロパンガスとし、ガス圧力1Tor
r、処理時間90分、処理温度800℃として、処理後
に窒素ガスを処理室内に圧入して常温にまで冷却した。
て、X線マイクロアナライザー(EPMA)による半
定量分析、ラマン分光分析、およびX線光電子分光
分析によるESCA広域スペクトルを行なって実施例の
金属片の表面に形成された膜の成分およびその結晶構造
を調べた。
沢膜近傍の化学成分(重量%)が以下の通りであった。 Ti:54%、C:28%、V:13%、Sn:3%、
Al:1%、O:0.4% また、β型チタン合金の基材の化学成分が以下の通りで
あった。 Ti:65%、C:2%、V:22%、Sn:5%、A
l:3%、O:1%、Si:2% 上述の結果から、表面の光沢膜近傍の化学成分として、
β型チタン合金の基材本来の成分の他に炭素と酸素のみ
が検出され、チタン合金と炭素の化合物である炭化物が
生成していないことがわかる。
ラマン分光装置を用いてラマンスペクトルを測定し、カ
ーボンの構造を調べた。測定装置はRenishaw社製のラマ
スコープ型顕微ラマン分光装置を用い、測定条件は、励
起光Ar+ レーザー、514.5nm、40mW、顕微
鏡倍率は50倍、照射時間10秒とした。
トルの結晶性炭素由来のピークが1580cm-1付近に
あり、かつ非晶性炭素に由来するピークが1350cm
-1付近にあり、このようなピークはガラス状カーボンの
典型例と一致することから、実施例の金属片の表面に形
成された膜はガラス状カーボンであることが確認でき
る。
電子分光分析によるESCA広域スペクトルのピークが
炭素の存在を示す285eV付近および酸素の存在を示
す532eV付近にあり、炭素と酸素のみが検出され
た。これらのことから、実施例の金属片の表面には均質
のガラス状カーボンの膜が、図3に示すようにチタン金
属1の鏡面1a上に、チタン酸化物の被膜層2が形成さ
れ、その上に均等な厚みのガラス状カーボン被膜3が形
成されていることがわかる。
ン金属の鏡面上にチタン酸化物の被膜を緻密に形成し、
このチタン酸化物の被膜の表面を所定条件でプラズマ熱
処理したので、チタン金属の表面に非晶質性の高い均質
なガラス状カーボン被膜が形成され、またそのようなガ
ラス状カーボン被膜をチタン金属の表面に効率よく薄膜
に形成できる。
率のよいガラス状カーボンの被覆方法が提供でき、耐食
性、耐摩耗性、潤滑性(低摩擦係数)、離型性、ガス不
透過性、生体親和性が高く、チタン金属の工業上の利用
価値を高め得る表面処理方法となる利点もある。
スペクトルを示す図表
SCA広域スペクトルを示す図表
Claims (2)
- 【請求項1】 チタン金属表面にチタン酸化物の被膜を
緻密に形成し、このチタン酸化物の被膜の表面を炭化水
素系ガス含有の0.1〜30torr、400〜110
0℃の雰囲気内でプラズマ熱処理することによりガラス
状カーボンを被覆することからなるチタン金属へのガラ
ス状カーボンの被覆方法。 - 【請求項2】 チタン金属表面を研磨して鏡面を形成
し、この鏡面上にチタン酸化物の被膜を形成し、このチ
タン酸化物の被膜の表面を炭化水素系ガス含有の0.1
〜30torr、400〜1100℃の雰囲気内でプラ
ズマ熱処理することによりガラス状カーボンを被覆する
ことからなるチタン金属へのガラス状カーボンの被覆方
法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12902598A JP3347287B2 (ja) | 1997-05-28 | 1998-05-12 | チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法 |
US09/085,042 US5908671A (en) | 1997-05-28 | 1998-05-27 | Method of forming a coating of glass-like carbon on titanium metal |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9-138665 | 1997-05-28 | ||
JP13866597 | 1997-05-28 | ||
JP12902598A JP3347287B2 (ja) | 1997-05-28 | 1998-05-12 | チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1143770A JPH1143770A (ja) | 1999-02-16 |
JP3347287B2 true JP3347287B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=26464564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12902598A Expired - Lifetime JP3347287B2 (ja) | 1997-05-28 | 1998-05-12 | チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5908671A (ja) |
JP (1) | JP3347287B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013061075A (ja) * | 2012-12-20 | 2013-04-04 | Yamaha Motor Co Ltd | 内燃機関用摺動部品、内燃機関、輸送機器および内燃機関用摺動部品の製造方法 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3548794B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2004-07-28 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 親水化した酸化物固体表面の高速疎水化方法 |
US7291229B2 (en) * | 2000-07-12 | 2007-11-06 | Osaka Prefecture | Method of surface treatment of titanium metal |
US6803008B2 (en) | 2001-12-11 | 2004-10-12 | Valeo Electrical Systems, Inc. | Method of applying a resin-rich skin on the surface of reinforced material gear or other wear surface |
US7524791B2 (en) * | 2003-12-09 | 2009-04-28 | Central Research Institute Of Electric Power Industry | Method for producing substrate having carbon-doped titanium oxide layer |
ATE503856T1 (de) * | 2003-12-09 | 2011-04-15 | Central Res Inst Elect | Multifunktionelles material mit einer schicht aus kohlenstoffdotiertem titanoxid |
DE102006027502A1 (de) * | 2005-09-10 | 2007-03-22 | Schaeffler Kg | Verschleißfeste Beschichtung und Verfahren zur Herstellung derselben |
US20070189649A1 (en) * | 2006-02-16 | 2007-08-16 | The Boeing Company | Lightweight bearing cartridge for wear application |
JP4599371B2 (ja) * | 2007-03-22 | 2010-12-15 | トーカロ株式会社 | アモルファス状炭素水素固形物皮膜被覆部材およびその製造方法 |
JP5657940B2 (ja) * | 2010-07-29 | 2015-01-21 | 株式会社田中 | チタン金属製耐摩耗性部材 |
JP6160584B2 (ja) * | 2014-09-19 | 2017-07-12 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池用セパレータの製造方法 |
JP6160877B2 (ja) | 2015-04-13 | 2017-07-12 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池用セパレータの製造方法及び燃料電池用セパレータ |
CN112176313A (zh) * | 2019-07-02 | 2021-01-05 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种玻璃碳/碳纳米管薄膜复合材料及其制备方法与应用 |
CN112176312A (zh) * | 2019-07-02 | 2021-01-05 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种简单制备玻璃碳膜的方法 |
WO2024148342A1 (en) * | 2023-01-06 | 2024-07-11 | DayLyte, Inc. | Glassy carbon coatings |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5162962A (en) * | 1988-03-29 | 1992-11-10 | Kao Corporation | Magnetic recording apparatus having reduced friction sliding parts |
JP2909361B2 (ja) * | 1993-09-21 | 1999-06-23 | 大阪府 | チタン金属の表面処理方法 |
JPH08260127A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-08 | Tanaka:Kk | ねじ部品 |
-
1998
- 1998-05-12 JP JP12902598A patent/JP3347287B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-05-27 US US09/085,042 patent/US5908671A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013061075A (ja) * | 2012-12-20 | 2013-04-04 | Yamaha Motor Co Ltd | 内燃機関用摺動部品、内燃機関、輸送機器および内燃機関用摺動部品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1143770A (ja) | 1999-02-16 |
US5908671A (en) | 1999-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3347287B2 (ja) | チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法 | |
Wei et al. | Mechanical properties of diamond-like carbon composite thin films prepared by pulsed laser deposition | |
CA1315918C (en) | Hard outer coatings deposited on titanium or titanium alloys | |
EP1598441B1 (en) | Amorphous carbon film and process for producing the same | |
EP2316983B1 (en) | Nitrogen-containing amorphous carbon and amorphous carbon layered film, and sliding member | |
JP5265073B2 (ja) | 環境バリア皮膜 | |
JPS6326350A (ja) | 機械的かつ腐食的に応力がかかるエレメント用の硬質被覆物 | |
Venkatraman et al. | Tribological properties of diamond-like nanocomposite coatings at high temperatures | |
Peng et al. | Residual stress and debonding of DLC films on metallic substrates | |
JP2909361B2 (ja) | チタン金属の表面処理方法 | |
JPH0598422A (ja) | イオン窒化〜セラミツクスコーテイング連続処理方法 | |
JPH09509221A (ja) | チタン合金のための耐酸化性コーティング | |
Wang et al. | Effect of tribochemistry on friction behavior of fluorinated amorphous carbon films against aluminum | |
Kao et al. | Structure, mechanical properties and thermal stability of nitrogen-doped TaNbSiZrCr high entropy alloy coatings and their application to glass moulding and micro-drills | |
Wongpanya et al. | Nanomechanical properties and thermal stability of Al–N-co-doped DLC films prepared by filtered cathodic vacuum arc deposition | |
JP2003147508A (ja) | 炭素膜、炭素膜の成膜方法、および炭素膜被覆部材 | |
JPH10505879A (ja) | 無電解めっきニッケル層へのダイヤモンド膜蒸着法 | |
JP2941260B1 (ja) | チタン金属製腕時計用外装部品およびその表面処理方法 | |
Leu et al. | Diamond-like coatings prepared by the filtered cathodic arc technique for minting application | |
JPH11158631A (ja) | 保護膜およびその製造方法ならびに物品 | |
Vassell et al. | Characterization of silicon-stabilized amorphous hydrogenated carbon | |
Ronkainen et al. | Tribological characterisation of hard carbon films produced by the pulsed vacuum arc discharge method | |
US4873152A (en) | Heat treated chemically vapor deposited products | |
JP4612147B2 (ja) | 非晶質硬質炭素膜及びその製造方法 | |
JP2004176085A (ja) | 硬質皮膜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070906 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080906 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090906 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090906 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100906 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110906 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120906 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130906 Year of fee payment: 11 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |