JP3339925B2 - 焦点板用金型の製造方法 - Google Patents
焦点板用金型の製造方法Info
- Publication number
- JP3339925B2 JP3339925B2 JP19533893A JP19533893A JP3339925B2 JP 3339925 B2 JP3339925 B2 JP 3339925B2 JP 19533893 A JP19533893 A JP 19533893A JP 19533893 A JP19533893 A JP 19533893A JP 3339925 B2 JP3339925 B2 JP 3339925B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relief
- reticle
- mold
- shaped
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、写真用カメラやビデオ
カメラ等においてファィンダー像を形成する焦点板用金
型の製造方法に関する。
カメラ等においてファィンダー像を形成する焦点板用金
型の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、写真用カメラやビデオカメラ等の
焦点板用金型の製造方法としては、例えば特公平３−７
９２６号公報に記載された製造方法がある。この製造方
法は、金属板の表面へ機械加工によって角錐状の規則的
な凹凸レリーフを形成した後、サテン状の電気メッキを
行ってレンズ面の規則的な凹凸レリーフを形成する。さ
らに電気メッキを行う事によりレンズ面の規則的な凹凸
レリーフを反転した成形用の型を得るものである。
焦点板用金型の製造方法としては、例えば特公平３−７
９２６号公報に記載された製造方法がある。この製造方
法は、金属板の表面へ機械加工によって角錐状の規則的
な凹凸レリーフを形成した後、サテン状の電気メッキを
行ってレンズ面の規則的な凹凸レリーフを形成する。さ
らに電気メッキを行う事によりレンズ面の規則的な凹凸
レリーフを反転した成形用の型を得るものである。
【０００３】かかる製造方法によれば、電気メッキのス
ムージング効果によって角錐頂部および稜面部の角が丸
められ、レンズ面の規則的な凹凸レリーフが形成され
る。従って、成形された焦点板にもレンズ面の規則的な
凹凸レリーフが形成され、微小レンズによって光の拡散
性が得られる。
ムージング効果によって角錐頂部および稜面部の角が丸
められ、レンズ面の規則的な凹凸レリーフが形成され
る。従って、成形された焦点板にもレンズ面の規則的な
凹凸レリーフが形成され、微小レンズによって光の拡散
性が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術には以下の様な問題がある。図１２は、かかる従来技
術により製造された金型７１の表面を示す部分拡大平面
図である。焦点板用の金型７１は微小レンズ７２を有す
るが、その微小レンズ７２の表面には多数のピット７３
が不規則に存在する。この多数のピット７３の大きさは
ミクロンオーダーであるために不必要な散乱光を発生さ
せて焦点板の性能に悪影響を及ぼす。この多数のピット
７３は電気メッキを行う際に発生するもので、その要因
は２種類有る。
術には以下の様な問題がある。図１２は、かかる従来技
術により製造された金型７１の表面を示す部分拡大平面
図である。焦点板用の金型７１は微小レンズ７２を有す
るが、その微小レンズ７２の表面には多数のピット７３
が不規則に存在する。この多数のピット７３の大きさは
ミクロンオーダーであるために不必要な散乱光を発生さ
せて焦点板の性能に悪影響を及ぼす。この多数のピット
７３は電気メッキを行う際に発生するもので、その要因
は２種類有る。
【０００５】まず１つめは、電気メッキの電解によって
引き起こされるものであり、還元反応でカソードに水素
ガスが発生することにより局所的に電流効率が低下して
電着を妨げるためである。そのために水素ガスが付着し
ていた部位にピット７３が発生する。もう一つは、メッ
キ前処理からメッキ後処理までの工程で付着する微小な
ゴミ等の付着物により電着を妨げるものである。装飾用
の電気メッキでは問題にならなかった微小な付着物によ
り発生するピット７３も焦点板においては性能に悪影響
を及ぼす存在になる。
引き起こされるものであり、還元反応でカソードに水素
ガスが発生することにより局所的に電流効率が低下して
電着を妨げるためである。そのために水素ガスが付着し
ていた部位にピット７３が発生する。もう一つは、メッ
キ前処理からメッキ後処理までの工程で付着する微小な
ゴミ等の付着物により電着を妨げるものである。装飾用
の電気メッキでは問題にならなかった微小な付着物によ
り発生するピット７３も焦点板においては性能に悪影響
を及ぼす存在になる。
【０００６】電気メッキにおける工程数は非常に多く複
雑である。メッキ前処理では数種類の液により脱脂，洗
浄および表面活性化を行う。また、メッキ浴は硫酸塩，
ｐＨ調整剤および添加剤等の数種類の成分により構成さ
れている。さらに、電析中の浴管理等においても微妙な
条件に出来映えが左右されるため、金属濃度やｐＨ等の
調整のために液の補給をする必要がある。メッキ後処理
においても数種類の液により洗浄を行う。このように多
種類の成分を使用するために微小なゴミ等の微粒子が混
入してしまう。
雑である。メッキ前処理では数種類の液により脱脂，洗
浄および表面活性化を行う。また、メッキ浴は硫酸塩，
ｐＨ調整剤および添加剤等の数種類の成分により構成さ
れている。さらに、電析中の浴管理等においても微妙な
条件に出来映えが左右されるため、金属濃度やｐＨ等の
調整のために液の補給をする必要がある。メッキ後処理
においても数種類の液により洗浄を行う。このように多
種類の成分を使用するために微小なゴミ等の微粒子が混
入してしまう。
【０００７】なお、規則的な微細構造パターン上にメッ
キによって形成される不規則な微小の凹凸においては特
にその必要性は重要ではない。厳密に光学的な推測によ
って回折現象により色付きや輪帯化が生ずると判断する
ことができるが、カメラ等のレベルに於いては特に問題
とならず、むしろ明るく焦点合わせが良好な焦点板を品
質良く製造することが重要である。
キによって形成される不規則な微小の凹凸においては特
にその必要性は重要ではない。厳密に光学的な推測によ
って回折現象により色付きや輪帯化が生ずると判断する
ことができるが、カメラ等のレベルに於いては特に問題
とならず、むしろ明るく焦点合わせが良好な焦点板を品
質良く製造することが重要である。
【０００８】因って、本発明は前記従来技術における問
題点に鑑みて開発されたもので、微小レンズ表面に不要
なピットを発生させず、良好な光学特性を有する焦点板
が得られる焦点板用金型の製造方法を提供することを目
的とする。
題点に鑑みて開発されたもので、微小レンズ表面に不要
なピットを発生させず、良好な光学特性を有する焦点板
が得られる焦点板用金型の製造方法を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の焦点板用金型の
製造方法は、金属板の表面に凹凸レリーフを形成する工
程と、前記凹凸レリーフ上に乾式成膜法で金属膜、窒化
膜あるいは酸化膜を成膜することにより、前記凹凸レリ
ーフの凹凸をなだからな曲面に構成したレンズ面とする
工程と、を有する。
製造方法は、金属板の表面に凹凸レリーフを形成する工
程と、前記凹凸レリーフ上に乾式成膜法で金属膜、窒化
膜あるいは酸化膜を成膜することにより、前記凹凸レリ
ーフの凹凸をなだからな曲面に構成したレンズ面とする
工程と、を有する。
【００１０】
【作用】すなわち、本発明の焦点板用金型の製造方法
は、金属板の表面に凹凸レリーフを形成し、前記凹凸レ
リーフ上に乾式成膜法で金属膜、窒化膜あるいは酸化膜
を成膜することにより、前記凹凸レリーフの凹凸をなだ
からな曲面に構成したレンズ面を得る。
は、金属板の表面に凹凸レリーフを形成し、前記凹凸レ
リーフ上に乾式成膜法で金属膜、窒化膜あるいは酸化膜
を成膜することにより、前記凹凸レリーフの凹凸をなだ
からな曲面に構成したレンズ面を得る。
【００１１】
【実施例１】まず、本発明の具体的な実施例を説明する
前に、本発明の概要を説明する。本発明の概要は、ドラ
イプロセスによってレンズ面の規則的な凹凸レリーフを
形成する。すなわち、金属板の表面に機械加工またはフ
ォトリソグラフィーによって角部を有する凹凸レリーフ
を形成した後、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
スパッタリング法またはＣＶＤ法といった乾式成膜法に
よって凹凸レリーフ上に金属膜、窒化膜あるいは酸化膜
を成膜する。これにより、なだらかな曲面からなるレン
ズ面の凹凸レリーフを形成して焦点板用金型を得る。本
発明の概要では、減圧下において金属板表面に析出させ
るので成膜を妨げる不良部位が存在したり、不純物が混
入することがない。すなわち、ピットがないレンズ面の
規則的な凹凸レリーフを有する焦点板用金型を得ること
ができる。次に、本発明の具体的な実施例を図に基づい
て説明する。図１〜図３は本実施例を示し、図１は凹凸
レリーフの斜視図、図２は部分拡大断面図、図３は成形
された焦点板の部分拡大平面図である。まず、金属板へ
機械加工を行うことによって図１に示す様な角錐状の規
則的な凹凸レリーフ１をその表面に形成する。このレリ
ーフ１はピッチが１５μｍで底面となす角度が２５°で
ある６角錐２と３角錐３とのパターンの組合せで形成さ
れている。この機械加工においてはダイヤモンドバイド
を用いた高精度研削加工によって３本の直線を組み合わ
せることにより容易且つ高精度に加工が可能である。
前に、本発明の概要を説明する。本発明の概要は、ドラ
イプロセスによってレンズ面の規則的な凹凸レリーフを
形成する。すなわち、金属板の表面に機械加工またはフ
ォトリソグラフィーによって角部を有する凹凸レリーフ
を形成した後、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
スパッタリング法またはＣＶＤ法といった乾式成膜法に
よって凹凸レリーフ上に金属膜、窒化膜あるいは酸化膜
を成膜する。これにより、なだらかな曲面からなるレン
ズ面の凹凸レリーフを形成して焦点板用金型を得る。本
発明の概要では、減圧下において金属板表面に析出させ
るので成膜を妨げる不良部位が存在したり、不純物が混
入することがない。すなわち、ピットがないレンズ面の
規則的な凹凸レリーフを有する焦点板用金型を得ること
ができる。次に、本発明の具体的な実施例を図に基づい
て説明する。図１〜図３は本実施例を示し、図１は凹凸
レリーフの斜視図、図２は部分拡大断面図、図３は成形
された焦点板の部分拡大平面図である。まず、金属板へ
機械加工を行うことによって図１に示す様な角錐状の規
則的な凹凸レリーフ１をその表面に形成する。このレリ
ーフ１はピッチが１５μｍで底面となす角度が２５°で
ある６角錐２と３角錐３とのパターンの組合せで形成さ
れている。この機械加工においてはダイヤモンドバイド
を用いた高精度研削加工によって３本の直線を組み合わ
せることにより容易且つ高精度に加工が可能である。
【００１２】次に、上記加工形成した角錐状の規則的な
凹凸レリーフ１の表面にＣＶＤによって図２に示す様に
金属膜４を形成する。本工程においては化学反応によっ
て等法的に成長することにより成膜された金属膜４のス
ムージングにより角錐状の凹凸レリーフ１の角錐頂部５
および稜線６の角が丸められて曲率をもち、レンズ状の
凹凸レリーフ７を形成する。
凹凸レリーフ１の表面にＣＶＤによって図２に示す様に
金属膜４を形成する。本工程においては化学反応によっ
て等法的に成長することにより成膜された金属膜４のス
ムージングにより角錐状の凹凸レリーフ１の角錐頂部５
および稜線６の角が丸められて曲率をもち、レンズ状の
凹凸レリーフ７を形成する。
【００１３】本実施例においては、ベーパーソースは炭
酸ニッケル、キャリヤーガスはアルゴンを用いて抵抗加
熱により１９０℃で基板を加熱することにより活性化を
行い、角錐状の凹凸レリーフ１の表面に４μｍのニッケ
ル膜４を形成する。このようにして表面にレンズ状の凹
凸レリーフ７を有する焦点板成形用の型８を得る。
酸ニッケル、キャリヤーガスはアルゴンを用いて抵抗加
熱により１９０℃で基板を加熱することにより活性化を
行い、角錐状の凹凸レリーフ１の表面に４μｍのニッケ
ル膜４を形成する。このようにして表面にレンズ状の凹
凸レリーフ７を有する焦点板成形用の型８を得る。
【００１４】上記工程によって焦点板成形用の型８を得
た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフィ
ンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射出
成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリーフ
７を転写することによって焦点板９を製造する。
た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフィ
ンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射出
成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリーフ
７を転写することによって焦点板９を製造する。
【００１５】本実施例によれば、ピットの無い規則的な
レンズ状の凹凸レリーフ７を有する焦点板成形用の型８
を得ることが出来る。また、型８表面はニッケル膜４で
形成されているので耐熱耐食性に優れており、高温でガ
スを発生する樹脂であっても成形工程において充分対応
ができる。
レンズ状の凹凸レリーフ７を有する焦点板成形用の型８
を得ることが出来る。また、型８表面はニッケル膜４で
形成されているので耐熱耐食性に優れており、高温でガ
スを発生する樹脂であっても成形工程において充分対応
ができる。
【００１６】
【実施例２】本実施例では図１〜図３を用いて説明す
る。まず、金属板へ機械加工を行うことによって前記実
施例１と同様に、図１に示す様な角錐状の規則的な凹凸
レリーフ１をその表面に形成する。次に、上記加工形成
した角錐状の規則的な凹凸レリーフ１の表面に真空蒸着
法によって図２に示すような金属膜４を形成する。
る。まず、金属板へ機械加工を行うことによって前記実
施例１と同様に、図１に示す様な角錐状の規則的な凹凸
レリーフ１をその表面に形成する。次に、上記加工形成
した角錐状の規則的な凹凸レリーフ１の表面に真空蒸着
法によって図２に示すような金属膜４を形成する。
【００１７】本実施例においては角錐状の凹凸レリーフ
１の表面に４μｍのニッケル膜４を形成する。真空蒸着
法としてはかなりの厚付けを行うことによりスムージン
グにより表面にレンズ状の凹凸レリーフ７を有する焦点
板成形用の型８を得る。
１の表面に４μｍのニッケル膜４を形成する。真空蒸着
法としてはかなりの厚付けを行うことによりスムージン
グにより表面にレンズ状の凹凸レリーフ７を有する焦点
板成形用の型８を得る。
【００１８】上記工程によって焦点板成形用の型８を得
た後、前記実施例１と同様にＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモ
ルファスポリオレフィンといった光学プラスチック材料
を用いて２Ｐ法や射出成形法により精密成形を行い、レ
ンズ状の凹凸レリーフ７を転写することによって焦点板
９を製造する。
た後、前記実施例１と同様にＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモ
ルファスポリオレフィンといった光学プラスチック材料
を用いて２Ｐ法や射出成形法により精密成形を行い、レ
ンズ状の凹凸レリーフ７を転写することによって焦点板
９を製造する。
【００１９】本実施例によれば、前記実施例１と同様な
効果が得られる。
効果が得られる。
【００２０】
【実施例３】図４〜図７は本実施例を示し、図４は部分
拡大平面図、図５は部分拡大断面図、図６および図７は
変形例を示す斜視図である。まず、金属板へ機械加工を
行うことによって図４に示す様な角錐状の規則的な凹凸
レリーフ１１を表面に形成する。このレリーフ１１はピ
ッチが２０μｍで、底面となす角度が２０°である６角
錐１２のパターンで形成されている。この機械加工にお
いては６角錐のパンチを用いた押し込み加工によって容
易且つ高精度に加工が可能である。
拡大平面図、図５は部分拡大断面図、図６および図７は
変形例を示す斜視図である。まず、金属板へ機械加工を
行うことによって図４に示す様な角錐状の規則的な凹凸
レリーフ１１を表面に形成する。このレリーフ１１はピ
ッチが２０μｍで、底面となす角度が２０°である６角
錐１２のパターンで形成されている。この機械加工にお
いては６角錐のパンチを用いた押し込み加工によって容
易且つ高精度に加工が可能である。
【００２１】次に、上記加工形成した角錐状の規則的な
凹凸レリーフ１１の表面にＣＶＤによって図５に示す様
な金属膜１３を形成する。本実施例においても前記実施
例１と同様に、金属膜１３のスムージングにより角錐状
の凹凸レリーフ１１の角錐頂部５および稜線６の角が丸
められて曲率をもち、レンズ状の凹凸レリーフ１４を形
成する。
凹凸レリーフ１１の表面にＣＶＤによって図５に示す様
な金属膜１３を形成する。本実施例においても前記実施
例１と同様に、金属膜１３のスムージングにより角錐状
の凹凸レリーフ１１の角錐頂部５および稜線６の角が丸
められて曲率をもち、レンズ状の凹凸レリーフ１４を形
成する。
【００２２】本実施例においては、ベーパーソースはＴ
ｉＣｌ、キャリヤーガスは水素と窒素を用いて高周波誘
導加熱により１１００℃で基板を加熱することにより活
性化を行い、角錐状の凹凸レリーフ１１の表面に３μｍ
の窒化チタン膜１３を形成する。このようにして表面に
レンズ状の凹凸レリーフ１４を有する焦点板成形用の型
１５を得る。
ｉＣｌ、キャリヤーガスは水素と窒素を用いて高周波誘
導加熱により１１００℃で基板を加熱することにより活
性化を行い、角錐状の凹凸レリーフ１１の表面に３μｍ
の窒化チタン膜１３を形成する。このようにして表面に
レンズ状の凹凸レリーフ１４を有する焦点板成形用の型
１５を得る。
【００２３】上記工程によって焦点板成形用の型１５を
得た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフ
ィンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射
出成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリー
フ１４を転写することによって焦点板を製造する。
得た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフ
ィンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射
出成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリー
フ１４を転写することによって焦点板を製造する。
【００２４】本実施例によれば、ピットの無い規則的な
レンズ状の凹凸レリーフ１４を有する焦点板成形用の型
１５を得ることが出来る。また、パンチの形状の選択や
押し込み加工の制御によって切削加工では困難な形状の
凹凸レリーフ、例えば図６に示す様な異なる大きさの凹
凸レリーフの組み合わせとか、図７に示す様なランダム
な配置の凹凸レリーフといった形状が可能である。さら
に、型表面が窒化チタン膜１３で形成されているので非
常に硬度が高く耐摩耗性に優れており、高圧を必要とす
る樹脂であっても成形工程において充分対応ができると
ともに、型１５の寿命も延長する。
レンズ状の凹凸レリーフ１４を有する焦点板成形用の型
１５を得ることが出来る。また、パンチの形状の選択や
押し込み加工の制御によって切削加工では困難な形状の
凹凸レリーフ、例えば図６に示す様な異なる大きさの凹
凸レリーフの組み合わせとか、図７に示す様なランダム
な配置の凹凸レリーフといった形状が可能である。さら
に、型表面が窒化チタン膜１３で形成されているので非
常に硬度が高く耐摩耗性に優れており、高圧を必要とす
る樹脂であっても成形工程において充分対応ができると
ともに、型１５の寿命も延長する。
【００２５】
【実施例４】本実施例では図４および図５を用いて説明
する。まず、金属板へ前記実施例３と同様な機械加工を
行うことによって図４に示す様な角錐状の規則的な凹凸
レリーフ１１をその表面に形成する。
する。まず、金属板へ前記実施例３と同様な機械加工を
行うことによって図４に示す様な角錐状の規則的な凹凸
レリーフ１１をその表面に形成する。
【００２６】次に、上記加工形成した角錐状の規則的な
凹凸レリーフ１１の表面へイオンプレーティング法によ
って図５に示す様な金属膜１３を形成する。本実施例に
おいても厚付けのスムージングにより角錐状の凹凸レリ
ーフ１１の角錐頂部５および稜線６の角が丸められて曲
率をもち、レンズ状の凹凸レリーフ１４を形成する。本
実施例においては、角錐状の凹凸レリーフ１１の表面に
３μｍの窒化チタン膜１３を形成する。このようにして
表面にレンズ状の凹凸レリーフ１４を有する焦点板成形
用の型１５を得る。
凹凸レリーフ１１の表面へイオンプレーティング法によ
って図５に示す様な金属膜１３を形成する。本実施例に
おいても厚付けのスムージングにより角錐状の凹凸レリ
ーフ１１の角錐頂部５および稜線６の角が丸められて曲
率をもち、レンズ状の凹凸レリーフ１４を形成する。本
実施例においては、角錐状の凹凸レリーフ１１の表面に
３μｍの窒化チタン膜１３を形成する。このようにして
表面にレンズ状の凹凸レリーフ１４を有する焦点板成形
用の型１５を得る。
【００２７】上記工程によって焦点板成形用の型１５を
得た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフ
ィンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射
出成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリー
フ１４を転写することによって焦点板を製造する。
得た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフ
ィンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射
出成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリー
フ１４を転写することによって焦点板を製造する。
【００２８】本実施例によれば、前記実施例３と同様な
効果を得ることが出来る。
効果を得ることが出来る。
【００２９】
【実施例５】図８〜図１１は本実施例を示し、図８およ
び図９は斜視図、図１０および図１１は部分拡大断面図
である。まず、フォトリソグラフィーによって金属板上
へ図８に示す様な規則的配列をした径８μｍのレジスト
パターン２１を形成する。
び図９は斜視図、図１０および図１１は部分拡大断面図
である。まず、フォトリソグラフィーによって金属板上
へ図８に示す様な規則的配列をした径８μｍのレジスト
パターン２１を形成する。
【００３０】次に、イオンビームスパッタによる調精密
加工を行い、金属表面を１μｍエッチングする。アッシ
ャーによりレジストを除去した後、さらにエッチングに
より形成された規則的配列をした径８μｍのパターン２
２と同心円となる規則的配列をした径５μｍのレジスト
パターン２３を図９に示す様に形成する。さらに、前記
と同様のエッチングを行い、図１０に示す様に規則的な
３段の凹凸レリーフ２４を形成する。
加工を行い、金属表面を１μｍエッチングする。アッシ
ャーによりレジストを除去した後、さらにエッチングに
より形成された規則的配列をした径８μｍのパターン２
２と同心円となる規則的配列をした径５μｍのレジスト
パターン２３を図９に示す様に形成する。さらに、前記
と同様のエッチングを行い、図１０に示す様に規則的な
３段の凹凸レリーフ２４を形成する。
【００３１】この後、図１１に示す様に、上記加工形成
した３段の規則的な凹凸レリーフ２４の表面へＣＶＤに
よって金属膜２５を形成する。本実施例においても前記
実施例１と同様に、金属膜２５のスムージングにより３
段の凹凸レリーフ２４の角部が丸められて曲率をもち、
レンズ状の凹凸レリーフ２６を形成する。
した３段の規則的な凹凸レリーフ２４の表面へＣＶＤに
よって金属膜２５を形成する。本実施例においても前記
実施例１と同様に、金属膜２５のスムージングにより３
段の凹凸レリーフ２４の角部が丸められて曲率をもち、
レンズ状の凹凸レリーフ２６を形成する。
【００３２】本実施例においては、ベーパーソースはＡ
ｌＣｌ3 、キャリヤーガスは水素と一酸化炭素を用いて
高周波誘導加熱により９００℃で基板を加熱することに
より活性化を行い、３段の凹凸レリーフ２４の表面に２
μｍのアルミナ膜２５を形成する。このようにして表面
にレンズ状の凹凸レリーフ２６を有する焦点板成形用の
型２７を得る。
ｌＣｌ3 、キャリヤーガスは水素と一酸化炭素を用いて
高周波誘導加熱により９００℃で基板を加熱することに
より活性化を行い、３段の凹凸レリーフ２４の表面に２
μｍのアルミナ膜２５を形成する。このようにして表面
にレンズ状の凹凸レリーフ２６を有する焦点板成形用の
型２７を得る。
【００３３】上記工程によって焦点板成形用の型２７を
得た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフ
ィンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射
出成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリー
フ２６を転写することによって焦点板を製造する。
得た後、ＰＭＭＡ，ＰＣおよびアモルファスポリオレフ
ィンといった光学プラスチック材料を用いて２Ｐ法や射
出成形法により精密成形を行い、レンズ状の凹凸レリー
フ２６を転写することによって焦点板を製造する。
【００３４】本実施例によれば、ピットの無い規則的な
レンズ状の凹凸レリーフ２６を有する焦点板成形用の型
２７を得ることが出来る。また、マスクの形状の選択や
エッチングの制御によって機械加工では困難な形状の凹
凸レリーフ、例えば機械加工の精度を越える微小な大き
さの凹凸レリーフの組み合わせであるといった形状も可
能である。さらに、型表面がアルミナ膜２５で形成され
ているので非常に硬度が高く耐摩耗性に優れており、高
圧を必要とする樹脂であっても成形工程において充分対
応ができるとともに、型２７の寿命も延長する。
レンズ状の凹凸レリーフ２６を有する焦点板成形用の型
２７を得ることが出来る。また、マスクの形状の選択や
エッチングの制御によって機械加工では困難な形状の凹
凸レリーフ、例えば機械加工の精度を越える微小な大き
さの凹凸レリーフの組み合わせであるといった形状も可
能である。さらに、型表面がアルミナ膜２５で形成され
ているので非常に硬度が高く耐摩耗性に優れており、高
圧を必要とする樹脂であっても成形工程において充分対
応ができるとともに、型２７の寿命も延長する。
【００３５】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る焦点板
用金型の製造方法によれば、角部を有する凹凸レリーフ
の表面へ減圧下において金属膜を形成することにより、
ピットの無いレンズ状の凹凸レリーフを有する焦点板成
形用の型を得ることが出来る。
用金型の製造方法によれば、角部を有する凹凸レリーフ
の表面へ減圧下において金属膜を形成することにより、
ピットの無いレンズ状の凹凸レリーフを有する焦点板成
形用の型を得ることが出来る。
【図１】実施例１を示す斜視図である。
【図２】実施例１を示す部分拡大断面図である。
【図３】実施例１を示す部分拡大平面図である。
【図４】実施例３を示す部分拡大平面図である。
【図５】実施例３を示す部分拡大断面図である。
【図６】実施例３の変形例を示す斜視図である。
【図７】実施例３の変形例を示す斜視図である。
【図８】実施例５を示す斜視図である。
【図９】実施例５を示す斜視図である。
【図１０】実施例５を示す部分拡大断面図である。
【図１１】実施例５を示す部分拡大断面図である。
【図１２】従来例を示す部分拡大平面図である。
１ レリーフ ２ ６角錐 ３ ３角錐 ４ 金属膜 ５ 角錐頂部 ６ 稜線 ７ 凹凸レリーフ ８ 型 ９ 焦点板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03B 13/00 - 13/28 G02B 5/02
Claims (1)
- 【請求項１】 金属板の表面に凹凸レリーフを形成する
工程と、 前記凹凸レリーフ上に乾式成膜法で金属膜、窒化膜ある
いは酸化膜を成膜することにより、前記凹凸レリーフの
凹凸をなだからな曲面に構成したレンズ面とする工程
と、 を有することを特徴とする焦点板用金型の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19533893A JP3339925B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 焦点板用金型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19533893A JP3339925B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 焦点板用金型の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0728137A JPH0728137A (ja) | 1995-01-31 |
| JP3339925B2 true JP3339925B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=16339517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19533893A Expired - Fee Related JP3339925B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 焦点板用金型の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3339925B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4527967B2 (ja) * | 2003-11-17 | 2010-08-18 | オリンパス株式会社 | 焦点板原盤及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-07-12 JP JP19533893A patent/JP3339925B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0728137A (ja) | 1995-01-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI227371B (en) | Stamper, lithographic method of using the stamper and method of forming a structure by a lithographic pattern | |
| US7320231B2 (en) | Method of making a molding die | |
| US20070125652A1 (en) | Electroform, methods of making electroforms, and products made from electroforms | |
| US4851164A (en) | Method of manufacturing focal plates | |
| US5997709A (en) | Method of providing diffuse risers on a fresnel lens die | |
| JP3339925B2 (ja) | 焦点板用金型の製造方法 | |
| JP3865085B2 (ja) | 電鋳製品の製造方法 | |
| CN105891912A (zh) | 模具 | |
| US6541187B1 (en) | Process for producing an article with a microstructure | |
| JP3433988B2 (ja) | 焦点板作成用金型の製造方法 | |
| JP2008055665A (ja) | 転写用金型の製造方法及び凹凸付基板の製造方法 | |
| JPH08190135A (ja) | 焦点板用金型および焦点板 | |
| CN101169589A (zh) | 导光板模仁的制造方法 | |
| JP2008250264A (ja) | 反射防止機能を有する部材の製造方法 | |
| US20070125655A1 (en) | Electroform, methods of making electroforms, and products made from electroforms | |
| US20050127032A1 (en) | Master for concavo-convex pattern transfer and method for manufacturing stamp for manufacturing information recording medium | |
| JPH0266531A (ja) | 焦点板用金型の製造方法 | |
| JPS58150148A (ja) | スタンパ−の製造方法 | |
| JP3735176B2 (ja) | 射出成形用金型およびその製造方法 | |
| JP2001038739A (ja) | 金属表面の処理方法 | |
| JP4221954B2 (ja) | 電鋳方法及び電着物 | |
| JPH0237334A (ja) | 焦点板用金型とその製造方法 | |
| JP2001343684A (ja) | 焦点板用金型の製造方法 | |
| JPS60114834A (ja) | 焦点板の製造方法 | |
| US20070125653A1 (en) | Multilayer electroform, methods of making multilayer electroforms, and products made therefrom |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020730 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |