JP3326441B2 - 測長用レーザ干渉計 - Google Patents
測長用レーザ干渉計Info
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- JP3326441B2 JP3326441B2 JP16020393A JP16020393A JP3326441B2 JP 3326441 B2 JP3326441 B2 JP 3326441B2 JP 16020393 A JP16020393 A JP 16020393A JP 16020393 A JP16020393 A JP 16020393A JP 3326441 B2 JP3326441 B2 JP 3326441B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- closed container
- reference beam
- length
- optical path
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、測長用レーザ干渉計
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の測長用レーザ干渉計を示す
全体構成図である。
全体構成図である。
【０００３】従来の測長用レーザ干渉計として、レーザ
発振器からのレーザがビームスプリッタにより反射した
測長ビームＢｍの光路中に配置された三角形密閉容器１
０４と、三角形密閉容器１０４を移動鏡１０５の動きに
合わせて直線移動させる駆動モータ１１１とを備え、測
長ビームＢｍとレーザ発振器からのレーザがビームスプ
リッタを透過後固定鏡１０８から戻って来る参照ビーム
Ｂｒとを、再びビームスプリッタで重ね合わせてフォト
ディテクタ１１２上で干渉させて移動鏡１０５の変位を
検出するものがある。三角形密閉容器１０４は測長ビー
ムＢｍが透過する側面部が透明で一定の厚みをもつ中空
の容器であって、内部には空気等の気体が封入されてい
るか、若しくは真空になっている。
発振器からのレーザがビームスプリッタにより反射した
測長ビームＢｍの光路中に配置された三角形密閉容器１
０４と、三角形密閉容器１０４を移動鏡１０５の動きに
合わせて直線移動させる駆動モータ１１１とを備え、測
長ビームＢｍとレーザ発振器からのレーザがビームスプ
リッタを透過後固定鏡１０８から戻って来る参照ビーム
Ｂｒとを、再びビームスプリッタで重ね合わせてフォト
ディテクタ１１２上で干渉させて移動鏡１０５の変位を
検出するものがある。三角形密閉容器１０４は測長ビー
ムＢｍが透過する側面部が透明で一定の厚みをもつ中空
の容器であって、内部には空気等の気体が封入されてい
るか、若しくは真空になっている。
【０００４】移動鏡１０５がｘ方向に移動すると三角形
密閉容器１０４もｄ方向に動き、測長ビームＢｍが大気
中を通る距離が一定に保たれるように工夫されている。
密閉容器１０４もｄ方向に動き、測長ビームＢｍが大気
中を通る距離が一定に保たれるように工夫されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、三角形密閉容
器１０４が移動の際に矢印１２２の方向に回転した場
合、測長ビームＢｍの光路長が変化して測長誤差が生じ
る。
器１０４が移動の際に矢印１２２の方向に回転した場
合、測長ビームＢｍの光路長が変化して測長誤差が生じ
る。
【０００６】図５は三角形密閉容器１０４と測長ビーム
Ｂｍとの関係を示す図である。測長ビームＢｍは入射角
θで三角形密閉容器１０４の側面部１０４ａに入射して
いる。三角形密閉容器１０４の回転により入射角θが変
化すると、測長ビームＢｍの光路長が変化する。
Ｂｍとの関係を示す図である。測長ビームＢｍは入射角
θで三角形密閉容器１０４の側面部１０４ａに入射して
いる。三角形密閉容器１０４の回転により入射角θが変
化すると、測長ビームＢｍの光路長が変化する。
【０００７】図６は測長ビームＢｍの入射部分の拡大図
である。図６のＳ間の光路長Ｌは次式のようになる。
である。図６のＳ間の光路長Ｌは次式のようになる。
【０００８】
【数１】 但し、ｎaは側面部１０４ａの透明板をはさむ気体の屈
折率、ｎg は透明板の屈折率、ｎa sin θ＝ｎg sin
φ、ｔは透明板の厚さである。
折率、ｎg は透明板の屈折率、ｎa sin θ＝ｎg sin
φ、ｔは透明板の厚さである。
【０００９】図６の透明板が点Ｐを中心に矢印の方向に
微小角Δθだけ回転した場合の光路長Ｌの変化量ΔＬは
次式のようになる。
微小角Δθだけ回転した場合の光路長Ｌの変化量ΔＬは
次式のようになる。
【００１０】
【数２】 次に、ｎa ＝１．０、ｎg ＝１．５、θ＝４５度、ｔ＝
１mmの条件下で、変化量ΔＬ＝１nmになるときの微小角
Δθの値を見積もる。
１mmの条件下で、変化量ΔＬ＝１nmになるときの微小角
Δθの値を見積もる。
【００１１】（２）式よりΔθ＝３．０μrad となり非
常に微小な角度である。
常に微小な角度である。
【００１２】したがって、ナノメータオーダの計測を行
うためには三角形密閉容器１０４が移動する際の回転を
非常に厳しく抑えなければならないという問題がある。
うためには三角形密閉容器１０４が移動する際の回転を
非常に厳しく抑えなければならないという問題がある。
【００１３】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は可動密閉容器の回転による測長誤
差の発生を防ぐことができる測長用レーザ干渉計を提供
することである。
たもので、その課題は可動密閉容器の回転による測長誤
差の発生を防ぐことができる測長用レーザ干渉計を提供
することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めこの発明の測長用レーザ干渉計は、測長ビームの光路
中に配置された可動密閉容器と、前記測長ビームが通過
する大気中の距離を微小且つほぼ一定に保つように前記
可動密閉容器を前記移動鏡の動きに合わせて直線移動さ
せる駆動手段とを備え、前記測長ビームと固定鏡から戻
って来る参照ビームとを干渉させて前記移動鏡の変位を
検出する測長用レーザ干渉計において、前記測長ビーム
が斜めに通過する前記可動密閉容器の側面部と同じ厚さ
と材質とを有し、且つ前記測長ビームに対する前記側面
部の傾斜角度と同じ角度で前記参照ビームに対して傾い
ている参照ビーム透過部材を、前記測長ビームに対して
平行な前記参照ビームの光路中に前記可動密閉容器と一
体に設けた。
めこの発明の測長用レーザ干渉計は、測長ビームの光路
中に配置された可動密閉容器と、前記測長ビームが通過
する大気中の距離を微小且つほぼ一定に保つように前記
可動密閉容器を前記移動鏡の動きに合わせて直線移動さ
せる駆動手段とを備え、前記測長ビームと固定鏡から戻
って来る参照ビームとを干渉させて前記移動鏡の変位を
検出する測長用レーザ干渉計において、前記測長ビーム
が斜めに通過する前記可動密閉容器の側面部と同じ厚さ
と材質とを有し、且つ前記測長ビームに対する前記側面
部の傾斜角度と同じ角度で前記参照ビームに対して傾い
ている参照ビーム透過部材を、前記測長ビームに対して
平行な前記参照ビームの光路中に前記可動密閉容器と一
体に設けた。
【００１５】
【作用】可動密閉容器が移動鏡の動きに同期して動く際
に、可動密閉容器が回転した場合、測長ビームが通過す
る可動密閉容器の側面部中の距離が変化することになる
が、参照ビームも可動密閉容器と一体に設けられた参照
ビーム透過部材を通過し、しかも参照ビーム透過部材は
可動密閉容器の側面部と同じ厚さと材質とを有し、且つ
測長ビームに対する側面部の傾斜角度と同じ角度で参照
ビームに対して傾いているので、変化量は測長ビームと
全く同じであり、測長ビームと参照ビームとの光路長差
は変化しない。
に、可動密閉容器が回転した場合、測長ビームが通過す
る可動密閉容器の側面部中の距離が変化することになる
が、参照ビームも可動密閉容器と一体に設けられた参照
ビーム透過部材を通過し、しかも参照ビーム透過部材は
可動密閉容器の側面部と同じ厚さと材質とを有し、且つ
測長ビームに対する側面部の傾斜角度と同じ角度で参照
ビームに対して傾いているので、変化量は測長ビームと
全く同じであり、測長ビームと参照ビームとの光路長差
は変化しない。
【００１６】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１７】図１はこの発明の一実施例に係る測長用レ
ーザ干渉計の斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う
断面図、図３は測長用レーザ干渉計の全体構成を示す平
面図である。
ーザ干渉計の斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う
断面図、図３は測長用レーザ干渉計の全体構成を示す平
面図である。
【００１８】測長用レーザ干渉計は、レーザ発振器１、
偏光ビームスプリッタ２、密閉容器３、可動密閉容器
４、移動鏡５、密閉容器６、密閉容器７、固定鏡８、移
動テ−ブル９、駆動モータ１０，１１及びフォトディテ
クタ１２等で構成されている。各密閉容器３，４，６，
７はそれぞれ測定ビームＢｍ、参照ビームＢｒが透過す
る側面部が透明で一定の厚みをもつ中空の容器であっ
て、内部に空気等の気体が封入されているか、若しくは
真空になっている。密閉容器３、可動密閉容器４及び移
動鏡５は、測長ビームＢｍの光路中に位置している。密
閉容器３は偏光ビームスプリッタ２に固定され、密閉容
器３内には１／４波長板１３が配置されている。密閉容
器３の側面部３ａは測長ビームＢｍの光路中で可動密閉
容器４の側面部４ａの一部と対向している。可動密閉容
器４の側面部４ａは図１の上方へ突き出ており、突き出
た部分が参照ビーム透過板４ｃを構成している。可動密
閉容器４は駆動モータ１１により図３の矢印２０の方向
に移動可能である。可動密閉容器４の側面部４ｂの一部
は測長ビームＢｍの光路中で移動鏡５と対向している。
移動鏡５は移動テーブル９に取り付けられ、移動テーブ
ル９は駆動モータ１０により測長ビームＢｍの光軸に平
行に移動可能である。駆動モータ１０，１１はＣＰＵ１
４からの制御信号により制御される。
偏光ビームスプリッタ２、密閉容器３、可動密閉容器
４、移動鏡５、密閉容器６、密閉容器７、固定鏡８、移
動テ−ブル９、駆動モータ１０，１１及びフォトディテ
クタ１２等で構成されている。各密閉容器３，４，６，
７はそれぞれ測定ビームＢｍ、参照ビームＢｒが透過す
る側面部が透明で一定の厚みをもつ中空の容器であっ
て、内部に空気等の気体が封入されているか、若しくは
真空になっている。密閉容器３、可動密閉容器４及び移
動鏡５は、測長ビームＢｍの光路中に位置している。密
閉容器３は偏光ビームスプリッタ２に固定され、密閉容
器３内には１／４波長板１３が配置されている。密閉容
器３の側面部３ａは測長ビームＢｍの光路中で可動密閉
容器４の側面部４ａの一部と対向している。可動密閉容
器４の側面部４ａは図１の上方へ突き出ており、突き出
た部分が参照ビーム透過板４ｃを構成している。可動密
閉容器４は駆動モータ１１により図３の矢印２０の方向
に移動可能である。可動密閉容器４の側面部４ｂの一部
は測長ビームＢｍの光路中で移動鏡５と対向している。
移動鏡５は移動テーブル９に取り付けられ、移動テーブ
ル９は駆動モータ１０により測長ビームＢｍの光軸に平
行に移動可能である。駆動モータ１０，１１はＣＰＵ１
４からの制御信号により制御される。
【００１９】前記密閉容器６、密閉容器７及び固定鏡８
は参照ビームＢｒの光路中に位置している。密閉容器６
は偏光ビームスプリッタ２に固定され、密閉容器６内に
は１／４波長板１５が配置されている。密閉容器６の側
面部６ａは参照ビームＢｒの光路中で参照ビーム透過板
４ｃを介して密閉容器７の側面部７ａの一部と対向して
いる。密閉容器７には固定鏡８が取り付けられている。
は参照ビームＢｒの光路中に位置している。密閉容器６
は偏光ビームスプリッタ２に固定され、密閉容器６内に
は１／４波長板１５が配置されている。密閉容器６の側
面部６ａは参照ビームＢｒの光路中で参照ビーム透過板
４ｃを介して密閉容器７の側面部７ａの一部と対向して
いる。密閉容器７には固定鏡８が取り付けられている。
【００２０】レーザ発振器１から射出されたレーザビー
ムＢｏの内、偏光ビームスプリッタ２に対するＳ偏光成
分は接合面２ａで反射されて測長ビームＢｍとなる。測
長ビームＢｍは密閉容器３内の１／４波長板１３を通過
した後、可動密閉容器４を通り、移動鏡５で反射され
る。反射された測長ビームＢｍは再び可動密閉容器４を
通り、密閉容器３内の１／４波長板１３を通過するが、
その１／４波長板１３を一往復することにより偏光方向
は９０度回転する。その結果測長ビームＢｍの偏光状態
は偏光ビームスプリッタ２に対してＰ偏光となり、偏光
ビームスプリッタ２を通過する。そして偏光板１６を通
り、光学軸に平行な偏光成分がフォトディテクタ１２に
到達する。
ムＢｏの内、偏光ビームスプリッタ２に対するＳ偏光成
分は接合面２ａで反射されて測長ビームＢｍとなる。測
長ビームＢｍは密閉容器３内の１／４波長板１３を通過
した後、可動密閉容器４を通り、移動鏡５で反射され
る。反射された測長ビームＢｍは再び可動密閉容器４を
通り、密閉容器３内の１／４波長板１３を通過するが、
その１／４波長板１３を一往復することにより偏光方向
は９０度回転する。その結果測長ビームＢｍの偏光状態
は偏光ビームスプリッタ２に対してＰ偏光となり、偏光
ビームスプリッタ２を通過する。そして偏光板１６を通
り、光学軸に平行な偏光成分がフォトディテクタ１２に
到達する。
【００２１】一方、レーザ発振器１から射出されたレー
ザビームＢｏの内、偏光ビームスプリッタ２に対するＰ
偏光成分は接合面２ａを透過して参照ビームＢｒとな
る。参照ビームＢｒは密閉容器６内の１／４波長板１５
を通過した後、参照ビーム透過板４ｃを通り、更に密閉
容器７を通過して固定鏡８で反射される。反射された参
照ビームＢｒは再び密閉容器７を通り、参照ビーム透過
板４ｃを経て、密閉容器６内の１／４波長板１５を通過
する。参照ビームＢｒは１／４波長板１５を一往復する
ことにより偏光方向が９０度回転する。その結果参照ビ
ームＢｒの偏光状態は偏光ビームスプリッタ２の接合面
２ａに対してＳ偏光となり、接合面２ａで反射されて、
更に偏光板１６を通過し、光学軸に平行な偏光成分がフ
ォトディテクタ１２に到達する。
ザビームＢｏの内、偏光ビームスプリッタ２に対するＰ
偏光成分は接合面２ａを透過して参照ビームＢｒとな
る。参照ビームＢｒは密閉容器６内の１／４波長板１５
を通過した後、参照ビーム透過板４ｃを通り、更に密閉
容器７を通過して固定鏡８で反射される。反射された参
照ビームＢｒは再び密閉容器７を通り、参照ビーム透過
板４ｃを経て、密閉容器６内の１／４波長板１５を通過
する。参照ビームＢｒは１／４波長板１５を一往復する
ことにより偏光方向が９０度回転する。その結果参照ビ
ームＢｒの偏光状態は偏光ビームスプリッタ２の接合面
２ａに対してＳ偏光となり、接合面２ａで反射されて、
更に偏光板１６を通過し、光学軸に平行な偏光成分がフ
ォトディテクタ１２に到達する。
【００２２】フォトディテクタ１２に到達した測長ビー
ムＢｍと参照ビームＢｒとの偏光方向は互いに平行であ
るので干渉を生じる。このため移動鏡５が移動すると測
長ビームＢｍの光路長が変化し、フォトディテクタ１２
上で干渉したビームの強度が変化する。この強度変化を
逐次ＣＰＵ１４で計測することにより、逆に移動鏡５の
変位を知ることができる。
ムＢｍと参照ビームＢｒとの偏光方向は互いに平行であ
るので干渉を生じる。このため移動鏡５が移動すると測
長ビームＢｍの光路長が変化し、フォトディテクタ１２
上で干渉したビームの強度が変化する。この強度変化を
逐次ＣＰＵ１４で計測することにより、逆に移動鏡５の
変位を知ることができる。
【００２３】移動鏡５が動くとき、移動鏡５の動きに同
期して可動密閉容器４も動く。図３に示すように、移動
鏡５が右側へ移動すると、可動密閉容器４も右斜め下側
へ移動し、測長ビームＢｍが大気中を通る距離は常に一
定に保たれる。逆に、移動鏡５が左側へ移動すると、可
動密閉容器４も左斜め上側へ移動する。
期して可動密閉容器４も動く。図３に示すように、移動
鏡５が右側へ移動すると、可動密閉容器４も右斜め下側
へ移動し、測長ビームＢｍが大気中を通る距離は常に一
定に保たれる。逆に、移動鏡５が左側へ移動すると、可
動密閉容器４も左斜め上側へ移動する。
【００２４】このように可動密閉容器４が移動鏡５の動
きに同期して動く際に、可動密閉容器４が矢印２２の方
向に回転することがあるが、可動密閉容器４が回転する
と測長ビームＢｍが通過する可動密閉容器４の側面部４
ａ，４ｂ中の距離が変化することになる。この量は測長
ビームＢｍが斜めに通過する側面部４ａで最も多く、精
密測定を行う場合には無視できない。この実施例では、
前述のように参照ビームＢｒも可動密閉容器４の側面部
４ａの一部（参照ビーム透過板４ｃ）を通過しており、
可動密閉容器４が回転した場合、参照ビームＢｒが通過
する参照ビーム透過板４ｃ中の距離も変化する。この可
動密閉容器４の側面部４ａの厚さが一様であるとする
と、測長ビームＢｍの場合と全く同じであり、測長ビー
ムＢｍと参照ビームＢｒとの光路長差は変化しない。
きに同期して動く際に、可動密閉容器４が矢印２２の方
向に回転することがあるが、可動密閉容器４が回転する
と測長ビームＢｍが通過する可動密閉容器４の側面部４
ａ，４ｂ中の距離が変化することになる。この量は測長
ビームＢｍが斜めに通過する側面部４ａで最も多く、精
密測定を行う場合には無視できない。この実施例では、
前述のように参照ビームＢｒも可動密閉容器４の側面部
４ａの一部（参照ビーム透過板４ｃ）を通過しており、
可動密閉容器４が回転した場合、参照ビームＢｒが通過
する参照ビーム透過板４ｃ中の距離も変化する。この可
動密閉容器４の側面部４ａの厚さが一様であるとする
と、測長ビームＢｍの場合と全く同じであり、測長ビー
ムＢｍと参照ビームＢｒとの光路長差は変化しない。
【００２５】測長用レーザ干渉計では、測長ビームＢｍ
と参照ビームＢｒとの光路長差の変化だけを計測するの
で、可動密閉容器４の側面部４ａ中での測長ビームＢｍ
の光路長の変化は完全に補正されることになる。一方、
可動密閉容器４の側面部４ａ中での測長ビームＢｍの光
路長の変化は特に大きくないので無視することができ
る。
と参照ビームＢｒとの光路長差の変化だけを計測するの
で、可動密閉容器４の側面部４ａ中での測長ビームＢｍ
の光路長の変化は完全に補正されることになる。一方、
可動密閉容器４の側面部４ａ中での測長ビームＢｍの光
路長の変化は特に大きくないので無視することができ
る。
【００２６】入射角θ＝０度に対して微小角Δθだけ回
転した場合、光路長Ｌの変化量ΔＬは近似的に次式のよ
うになる。
転した場合、光路長Ｌの変化量ΔＬは近似的に次式のよ
うになる。
【００２７】
【数３】 したがって、ｎa ＝１．０、ｎg ＝１．５、ｔ＝１mmの
条件下で、変化量ΔＬ＝１nmになるときの微小角Δθの
値を計算すると、Δθ＝２．５ｍrad になり、通常の機
械精度でも容易にこれ以上の精度を得ることができるの
で、測長ビームＢｍが直角に通過する可動密閉容器４の
側面部４ｂ中での光路長の変化は無視することができ
る。
条件下で、変化量ΔＬ＝１nmになるときの微小角Δθの
値を計算すると、Δθ＝２．５ｍrad になり、通常の機
械精度でも容易にこれ以上の精度を得ることができるの
で、測長ビームＢｍが直角に通過する可動密閉容器４の
側面部４ｂ中での光路長の変化は無視することができ
る。
【００２８】なお、前述の実施例では可動密閉容器４の
側面部４ａを拡大させて参照ビーム透過板４ｃを形成し
たが、これに代え、可動密閉容器４の側面部４ａとは別
体ではあるが、側面部４ａと同じ厚さと材質とを有し、
且つ測長ビームＢｍに対する側面部４ａの傾斜角度と同
じ角度で参照ビームＢｒに対して傾いている参照ビーム
透過板を、測長ビームＢｍに対して平行な参照ビームＢ
ｒの光路中に配置し、可動密閉容器４に設けるようにし
てもよい。
側面部４ａを拡大させて参照ビーム透過板４ｃを形成し
たが、これに代え、可動密閉容器４の側面部４ａとは別
体ではあるが、側面部４ａと同じ厚さと材質とを有し、
且つ測長ビームＢｍに対する側面部４ａの傾斜角度と同
じ角度で参照ビームＢｒに対して傾いている参照ビーム
透過板を、測長ビームＢｍに対して平行な参照ビームＢ
ｒの光路中に配置し、可動密閉容器４に設けるようにし
てもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の測長用レ
ーザ干渉計によれば、可動密閉容器の回転による測長誤
差の発生を防ぐことができるので、移動鏡の変位を大気
のゆらぎにかかわらず正確に測定することができる。
ーザ干渉計によれば、可動密閉容器の回転による測長誤
差の発生を防ぐことができるので、移動鏡の変位を大気
のゆらぎにかかわらず正確に測定することができる。
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る測長用レーザ
干渉計の斜視図である。
干渉計の斜視図である。
【図２】図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図であ
る。
る。
【図３】図３は測長用レーザ干渉計の全体構成を示す平
面図である。
面図である。
【図４】図４は従来の測長用レーザ干渉計を示す全体構
成図である。
成図である。
【図５】図５は三角形密閉容器と測長ビームとの関係を
示す図である。
示す図である。
【図６】図６は測長ビームの入射部分の拡大図である。
４ 可動密閉容器 ４ａ 側面部 ５ 移動鏡 ８ 固定鏡 Ｂｍ 測長ビーム Ｂｒ 参照ビーム
Claims (1)
- 【請求項１】 測長ビームの光路中に配置された可動密
閉容器と、 前記測長ビームが通過する大気中の距離を微小且つほぼ
一定に保つように前記可動密閉容器を移動鏡の動きに合
わせて直線移動させる駆動手段とを備え、 前記測長ビームと固定鏡から戻って来る参照ビームとを
干渉させて前記移動鏡の変位を検出する測長用レーザ干
渉計において、 前記測長ビームが斜めに通過する前記可動密閉容器の側
面部と同じ厚さと材質とを有し、且つ前記測長ビームに
対する前記側面部の傾斜角度と同じ角度で前記参照ビー
ムに対して傾いている参照ビーム透過部材を、前記測長
ビームに対して平行な前記参照ビームの光路中に前記可
動密閉容器と一体に設けたことを特徴とする測長用レー
ザ干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16020393A JP3326441B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 測長用レーザ干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16020393A JP3326441B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 測長用レーザ干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347207A JPH06347207A (ja) | 1994-12-20 |
| JP3326441B2 true JP3326441B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=15710021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16020393A Expired - Fee Related JP3326441B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 測長用レーザ干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3326441B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5180594B2 (ja) * | 2008-01-08 | 2013-04-10 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 干渉計 |
| JP5541722B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2014-07-09 | キヤノン株式会社 | 測長装置、及び工作機械 |
| JP5736284B2 (ja) * | 2011-09-20 | 2015-06-17 | 株式会社ミツトヨ | 精密移動装置 |
-
1993
- 1993-06-04 JP JP16020393A patent/JP3326441B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06347207A (ja) | 1994-12-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020521 |
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