JP3739121B2 - レーザ測長機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ光のダブルパスによって測定精度をさらに向上させることができるレーザ測長機に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザ測長機は、精密X−Yテーブルの移動長さの精密測定などに使用されている。この種のレーザ測長機の一般的な構成を図4に示している。同図に示すレーザ測長機は、レーザヘッド1と、干渉計2(具体的には、偏光ビームスプリッタ)と、測定対象物である移動体3上に設置される反射ターゲット4(具体的には、コーナープリズム)と、測長光学系5および参照光用プリズム6とから構成されている。
【0003】
この測長機においては、レーザヘッド1から発射されたレーザ光は、偏光ビームスプリッタ2に入射し、この偏光ビームスプリッタ2で反射光と透過光とに分割され、透過光が測定光としてコーナープリズム4を照射するとともに、反射光が、参照光としてプリズム6を照射する。コーナープリズム4およびプリズム6からの反射光は、再び偏光ビームスプリッタ2に入射し、この偏光ビームスプリッタ2で干渉させられ、干渉光が測長光学系5に入射する。
【0004】
干渉光を受けた測長光学系5では、干渉縞を検出,計数することにより、干渉計2からコーナープリズム4までの距離Lを演算する。このような構成の測長機における分解能は、通常、0.01μm程度であり、精度の高い測定を行うことができる。
一方、この分解能をさらに向上させるための手法として、プレーンミラー(平面鏡)を用いたダブルパス方法がある。図5は、そのダブルパス方式による測定系を示すものである。図における干渉計は、図4の構成に加え、偏光ビームスプリッタ2の下部にもプリズム6を配置するとともに、偏光ビームスプリッタ2の前面に1/4λ板7を配置している。また、移動体3の測定位置には、コーナプリズム4に換えてプレーンミラー8を対向配置している。
【0005】
この構成においては、レーザ光のうちの参照光▲1▼は、前記測長機と同様に偏光ビームスプリッタ2内で反射して、偏光ビームスプリッタ2に戻る。これに対し、偏光ビームスプリッタ2を透過した測定光▲2▼は、1/4λ板7を通過することにより円偏光となってプレーンミラー8を照射する。プレーミラー8からの反射光▲3▼は、再び1/4λ板7を通過して偏光ビームスプリッタ2に入射する。
【0006】
この入射光は、参照光▲1▼と同じく90°傾いた直線偏光であるため、偏光ビームスプリッタ2内で反射し、下部側のプリズム6に入射する。この入射光▲4▼は、プリズム6で反射して、再び偏光ビームスプリッタ2に入射し、偏光ビームスプリッタ2内で反射した後の反射光▲5▼は、1/4λ板7を通過して、測定光▲2▼と平行にプレーンミラー8を照射する。
【0007】
プレーンミラー8からの反射光▲6▼は、反射光▲5▼と同じ光路上を通って、再び1/4λ板7を通過することで、さらに90°傾いた直線偏光となって偏光ビームスプリッタ2に戻るので、今度は、偏光ビームスプリッタ2を透過し、この部分で参照光▲1▼と合成されれて、干渉させられる。
この構成においては、測定光の光路長がシングルパスの場合に比べて二倍となるため、実質上、同一測長距離Lの二倍の長さを計測することになり、従ってその分解能は、シングルパスの場合よりも向上して0.005μm程度となり、さらに測長精度を高くすることができるため、超精密測定に好適である。
【0008】
しかしながら、この構成においては、反射ターゲットとしてプレーンミラー8を用いているため、次に述べる欠点が指摘されていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、プレーンミラー8を用いた場合には、図6に示すように、プレーンミラー8の鏡面が、干渉計2の光軸に対して正確に正対配置されていないと、反射光がずれやすく、測長光学系での受光量が不足する原因となる。このため、この種のダブルパス方式の測長機では、アライメント作業に高精度が要求されるので、手間や時間がかかっていた。
【0010】
また、アライメント作業を非常に厳密に行ったとしても、被測定物である移動体がピッチング、ヨーイングなどの角度運動を行うと、アライメントがずれ、受光量不足により受光感度が低下する欠点があった。
この発明は、以上の欠点を解決するものであって、その目的とするところは、アライメント作業が簡単で、アライメントのずれのないレーザ測長機を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、この発明のうち請求項1記載の発明は、レーザヘッドから出射されたレーザ光を、干渉計を介して一対の反射ターゲットに測定光または照射光として照射し、これらの反射ターゲットからの反射光を前記干渉計で相互に干渉させ、得られた干渉光に基づいて測距するレーザ測長機において、 前記反射ターゲットの少なくとも前記測定光が照射される反射ターゲットをコーナープリズムで構成するとともに、前記干渉計の近傍に、前記コーナープリズムの反射光を受け、この反射光と同一光路上に入射光を反射させる小型コーナープリズムを設けた。
請求項1の構成によれば、光路長を二倍とし、しかも、反射用のターゲットにコーナープリズムを使用することができるので、アライメント作業の簡素化と、移動体のピッチング,ヨーイングなどによる受光光量の減少を防止できる。
また、請求項2の発明においては、前記反射ターゲットは、上下方向の同軸上に配置されたコーナープリズムから構成され、前記コーナープリズムを移動体などの測定対象物上に設けるとともに、これらの各コーナープリズムからの反射光を受け、各反射光と同一光路上に入射光を反射させる一対の小型コーナープリズムを設けた。
この構成によれば、測定対象物のピッチング,ヨーイングなどの角度を超高精度に測定することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好ましい実施の形態について添付図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、この発明に係るレーザ測長機の一実施例を示している。なお、以下の説明においては、従来と同一若しくは相当する部分には同一符号を付し、異なる部分にのみ異なる符号を付して説明する。
【0013】
図1に示した測長機における干渉計10は、ハウジング内にあって、三角プリズム部12aと平行四辺形のプリズム部12bとを一体化した偏光ビームスプリッタ12と、偏光ビームスプリッタ12のプリズム部12bの前面及びプリズム部12aの底面にそれぞれ配置された一対の1/4λ板16a,16bと、1/4λ板16bの下方に配置されたコーナプリズム18(反射ターゲット)及びハウジングの上部前面に配置された小型コーナプリズム20とを備えている。
【0014】
プリズム部12b側に設けられた1/4λ板16aの前面は、移動体3の上部に固定配置された反射ターゲットであるコーナプリズム4に対向しているとともに、前記小型コーナプリズム20は、コーナプリズム4の反射光軸と同軸上に対面し、かつ、干渉計10内のプリズム部12bの近傍に設置されている。
この小型コーナープリズム20は、コーナープリズム4からの反射光を受け、この反射光と同一光路上に入射した光を反射する。
【0015】
以上の構成において、レーザヘッド1から発射されたレーザ光のうち、参照光▲1▼は、偏光ビームスプリッタ12によって下部側に反射し、1/4λ板16を通過することで、円偏光となり、コーナプリズム18で反射し、再び1/4λ板16を通過して偏光ビームスプリッタ12内に入射する。
このような光路で入射する参照光▲1▼は、1/4λ板16を2度通過することで、元の偏光角度から90°回転させられるので、偏光ビームスプリッタ12に入射すると、今度は下から上に通過し、プリズム部12bで90°反射して、測長光学系5に入射する。
【0016】
また、偏光ビームスプリッタ12を通過する測定光▲2▼は、1/4λ板16を通過することで、円偏光となってコーナプリズム4に入射する。コーナープリズム4側に入射した測定光▲2▼の反射光▲3▼は、上方に変移して小型コーナープリズム20にのほぼ中心に入射する。小型コーナープリズム20からの反射光▲4▼は、反射光▲3▼と同一光路上を通って、再びコーナープリズム4に入射し、コーナープリズム4からの反射光▲5▼は、測定光▲2▼と同じ光路を辿って、再び1/4λ板16を介して偏光ビームスプリッタ12内に入射する。
【0017】
これによって測定光▲2▼は、1/4λ板16を二回通過することになり、もとの偏光角度に対し90°傾いた直線偏光となるので、偏光ビームスプリッタ12内で反射して、この部分で合成される参照光▲1▼と干渉させられ、これらの干渉光▲6▼が測長光学系5に受光されることになる。
このように構成された測長機によれば、測定光▲2▼の光路長がシングルパスの場合に比べて二倍となるため、同一測長距離Lの二倍の長さを実質的に計測することになり、その分解能は、プレーンミラーを用いた場合と同様に、0.005μm程度となる。またこれに加え、図2に示すように、コーナプリズム4は多少傾いたとしても、その入光及び反射光軸は不動であるため、十分な光量で測長光学系5に受光させることができる。
【0018】
従って、これによってアライメント作業が簡略化されるとともに、移動体3のピッチング、ヨーイングなどによる光量変動がなく、感度を一定に保持することができ、安定な測定を行うことができる。
図3は、この発明にかかる測長機の他の実施例を示している。同図に示す測長機は、この発明を角度光学測定系に適用した場合であり、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示した実施例では、偏光ビームスプリッタ30は、上下方向に一辺を密着するように配置された平行四辺形状のプリズム部32を一対有している。
【0019】
各プリズム32の出射面側には、1/4λ板16c,16dがそれぞれ配置され、各1/4λ板16c,16dには、移動体3側に設けた一対のコーナプリズム4a,4bが対向配置されている。また、偏光ビームスプリッタ30の前部側には、これに近接するようにして、各コーナプリズム4からの入射光を同一光路上に反射する一対の小型コーナプリズム20a,20bが配置されている。
【0020】
このように構成された測長機においては、例えば、図4に示すように、コーナープリズム4を鉛直方向の同軸上に配置して、移動体3上に設置すると、偏光ビームスプリッタ30で分光された透過および反射光は、それぞれコーナプリズム4a,4bと小型コーナプリズム20a,20bとの間で往復して、しかも、コーナプリズム4a,4bと1/4λ板16c,16dとの間で往復した後に、偏光ビームスプリッタ32に入射し、偏光ビームスプリッタ32で相互に干渉させて、測長光学系5に受光される。
【0021】
このとき、上下方向のコーナープリズム4a,4b間にに角度変移があると、測長光学計5で受光される干渉光の干渉状態が変化するので、この変化を検出すると、移動体3の平面度を測定できる。
この場合において、従来のシングルパスの分解能は0.06秒(角度)であるが、本実施例の測長機では、実質的な測長距離を二倍になるので、分解能をその半分の0.03秒までに向上させることができる。
【0022】
【発明の効果】
以上各実施例により詳細に説明したように、この発明に係るレーザ測長機にあっては、光路長を二倍とし、しかも反射用のターゲットにコーナプリズムを使用することができ、アライメント作業の簡素化と、移動体のピッチング、ヨーイングなどによる受光光量の減少を防止でき、常時一定の感度で測定を行うことができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかるレーザ測長機の一実施例を示す光学系の説明図である。
【図2】コーナプリズムの傾きと受光及び反射光軸との関係を示す説明図である。
【図3】この発明を角度光学系に適用した場合の他の実施例を示す光学系の要部説明図である。
【図4】従来のシングルパス型の測長機の光学系の説明図である。
【図5】従来のダブルパス型の測長機の光学系の説明図である。
【図6】プレーンミラーの傾きによる受光及び反射光軸の影響を示す説明図である。
【符号の説明】
1 レーザヘッド
3 移動体
4 コーナプリズム
5 測長光学系
10 干渉計
12 偏光ビームスプリッタ
20 小型コーナプリズム
Claims (2)
- レーザヘッドから出射されたレーザ光を、干渉計を介して一対の反射ターゲットに測定光または照射光として照射し、これらの反射ターゲットからの反射光を前記干渉計で相互に干渉させ、得られた干渉光に基づいて測距するレーザ測長機において、
前記反射ターゲットの少なくとも前記測定光が照射される反射ターゲットをコーナープリズムで構成するとともに、前記干渉計の近傍に、前記コーナープリズムの反射光を受け、この反射光と同一光路上に入射光を反射させる小型コーナープリズムを設けたことを特徴とするレーザ測長機。 - 前記反射ターゲットは、上下方向の同軸上に配置されたコーナープリズムから構成され、前記コーナープリズムを移動体などの測定対象物上に設けるとともに、これらの各コーナープリズムからの反射光を受け、各反射光と同一光路上に入射光を反射させる一対の小型コーナープリズムを設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザ測長機。
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JP28154995A JP3739121B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | レーザ測長機 |
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JP28154995A JP3739121B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | レーザ測長機 |
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JPH09126712A JPH09126712A (ja) | 1997-05-16 |
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JP28154995A Expired - Lifetime JP3739121B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | レーザ測長機 |
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- 1995-10-30 JP JP28154995A patent/JP3739121B2/ja not_active Expired - Lifetime
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