JP3319696B2 - 誘電体磁器組成物と磁器コンデンサ - Google Patents
誘電体磁器組成物と磁器コンデンサInfo
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Description
物、特に高周波領域で使用される低容量の磁器コンデン
サの誘電体層を形成するのに適した誘電体磁器組成物
と、この誘電体磁器組成物を用いた高周波用の磁器コン
デンサに関するものである。
ンデンサの誘電体層を形成するのに適した材料として
は、例えばTiO2 系、CaTiO3 系、Ln2 O3 −
TiO2系、CaZrO3 系、MgTiO3 系等の誘電
体磁器組成物が用いられてきた。また、この種の磁器コ
ンデンサの内部電極の材料としては、例えばPt,A
g,卑金属(Cu,Ni),Pd等が用いられてきた。
材料なので製品の材料コストを高めるという欠点があ
り、Agは抵抗率の低い材料ではあるが、誘電体層中へ
マイグレーションし易く、磁器コンデンサの信頼性を低
下させるという欠点があった。また、卑金属(Cu,N
i)は廉価な材料なので内部電極の材料コストを下げる
ことはできるが、焼成雰囲気の制御が必要なため、この
面でコストを高めるという欠点があった。
0℃と一緒に使用される誘電体磁器組成物の焼成収縮温
度1200〜1500℃よりはるかに低いので、誘電体
磁器組成物と一体焼成した場合、収縮差から磁器コンデ
ンサにデラミネーションを生じさせ易いという欠点があ
った。
によって収縮開始温度を高温側にずらし、誘電体磁器組
成物の収縮温度に近づけることができるので、この方法
によってデラミネーション等の構造欠陥の発生を抑える
ことが可能であった。
部電極の連続性が悪くなり、その比抵抗が上昇し、ES
Rが増大し、Q値が低下するという問題があった。
で、焼結遅延剤を用いることなくPdで内部電極を厚く
形成しても構造欠陥を発生させない、しかも温度補償用
の磁器コンデンサの様々なJIS規格を満足する下記の
ような誘電体磁器組成物をこの出願に先立って提案し
た。
ZSrTiO3 で表わされ、これを構成する珪酸マグネシウム・亜鉛
[(Mga Zn(1-a) )b SiOb+2]、アルミナ[A
l2 O3 ]及びチタン酸ストロンチウム[SrTiO
3 ]のモル比[%]が、これら3種の化合物のモル比
(X,Y,Z)を示す3成分組成図に於いて、 A(94.9, 0.1, 5.0) B(85.0, 10.0, 5.0) C(65.0, 10.0, 25.0) D(65.0, 0.1, 34.9) で示される各点A〜Dを頂点とする多角形で囲まれた範
囲にあり、上記一般式中のa及びbの値が、 0.1≦a≦0.8 0.67≦b≦1.5 の範囲にある誘電体磁器組成物。
電圧下における漏れ電流を少なくするという点で改良の
余地があった。
少ない誘電体磁器組成物とこの誘電体磁器組成物を使用
した磁器コンデンサを提供することを目的とする。
器組成物は、一般式 X(Mga Zn1-a )b SiOb+2 −YAl2 O3 −Z
SrTiO3 で表わされる主成分と、Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Tm,Yb及びLuから選択された1種又は2種以
上の希土類元素の酸化物からなる添加成分との混合物を
焼結させたものからなり、前記主成分を構成する珪酸マ
グネシウム・亜鉛[(Mga Zn1-a )b SiOb+2 ]
(以下、「MZS」という。)、アルミナ[Al2 O
3 ]及びチタン酸ストロンチウム[SrTiO3 ](以
下、「ST」という。)のモル比[%]が、これら3種
の化合物のモル比(X,Y,Z)を示す3成分組成図に
於いて、 A(94.9, 0.1, 5.0) B(85.0, 10.0, 5.0) C(60.0, 10.0, 30.0) D(60.0, 0.1, 39.9) で示される各点A〜Dを頂点とする多角形で囲まれた範
囲にあり、前記MZSを表わす一般式(Mga Zn
1-a )b SiOb+2 中のa及びbの値が、 0.1≦a≦0.8 0.67≦b≦1.5 の範囲にあり、前記添加成分がRe2 Om (希土類元素
ReがGd,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Luの場
合はm=3、Tbの場合はm=7/2)の形で前記主成
分の0.05〜0.5mol%量が添加されているもの
である。
比(X,Y,Z)[%]を上記の範囲としたのは、MZ
S−Al2 O3 −STのモル比(X,Y,Z)[%]が
上記の範囲を逸脱すると、1100℃以下の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなったり、温度特性が悪くなった
りするからである。
の値が上記の範囲より大きくなると、1100℃以下の
焼成で緻密な焼結体が得られなくなり、aの値が上記の
範囲より小さくなると、焼結体の内部にポアが多く存在
するようになってしまい、Q値が1000より小さくな
るからである。
の値が上記の範囲より大きくなると、1100℃の焼成
で緻密な焼結体が得られなくなり、bの値が上記の範囲
より小さくなると、焼結体中にポアが多く生成してしま
い、Q値が1000より小さくなるからである。
の添加量を上記の範囲としたのは、希土類元素の酸化物
の添加量が上記の範囲より大きくなると、漏れ電流が多
くなり、希土類元素の酸化物の添加量が上記の範囲より
少ないと、漏れ電流抑制の効果がなくなるからである。
上記の誘電体磁器組成物を誘電体層として用いたもので
ある。ここで、内部電極の材料としてはPdを使用する
ことができるが、Ag,Ptを使用してもよい。磁器コ
ンデンサは単層タイプのもの及び積層タイプのもののい
ずれにも適用できる。
低周波領域でも十分使用できるが、特に、数100MH
z〜数GHzの高周波領域で使用される0.1pF〜3
0pF程度の低容量の磁器コンデンサとして用いるのに
好適である。
2 を表1及び表1に示すような比率で秤量し、これ
らをボールミルに入れ、湿式で15時間粉砕混合し、こ
れらの混合物からなる泥漿を得た。次に、この泥漿を取
り出し、フィルターて濾過し、ケーキの部分を乾燥器に
入れ、150℃で充分に乾燥させ、混合物の粉末を得
た。
900〜1100℃で仮焼し、混合物を構成している化
合物を相互に反応させてMZS[(Mga Zn1-a )b
SiOb+2 ]を得た。
式で充分に粉砕してMZSの泥漿を得た。次に、この泥
漿を取り出して濾過し、ケーキの部分を乾燥器に入れ、
150℃で充分に乾燥させ、MZSの粉末を得た。
2 Om を表1及び表1に示すような比率で秤量し、
これらをボールミルに入れ、湿式で充分に混合し、これ
らの混合物からなる泥漿を得た。次に、この泥漿を取り
出して濾過し、ケーキの部分を乾燥器に入れ、150℃
で充分に乾燥させ、混合物の粉末を得た。
バインダー、可塑剤等を加え、混合して、スラリーと
し、該スラリーよりドクターブレード法を用いて厚さ4
0μmのセラミックグリーンシートを得た。こうして得
られたセラミックグリーンシートの表面にPd電極材料
ペーストを所定パターンに印刷し、これを交互に11枚
積層・圧着して10層の積層体を作成し、得られた積層
体を切断して複数のチップ積層体を得た。
000〜1100℃で2時間焼成して焼結させた後、得
られた焼結体試料の両端部にAg電極材料ペーストを塗
布し、700℃で15分間焼付けして外部電極を形成
し、積層コンデンサを完成させた。得られたコンデンサ
について、その電気特性を測定したところ、表2,
に示す通りの結果が得られた。(試料サイズ1.0mm
×0.5mm×0.5mm,有効交差面積0.05mm
2 ,誘電体層一層当たりの厚み30μm)
ナライザー(HP4284A)を用い、室温・1MHz
・1Vrms の条件で求めた。誘電率は試料の積層コンデ
ンサの誘電体層1層当りの厚みと電極有効交差面積と積
層層数とから算出した。TCCは、試料を恒温槽に入
れ、20℃の容量を基準として85℃の容量から次の数
1の式を用いて算出した(1MHz)。漏れ電流は、1
25℃のオイル中で試料に600VのDCを印加し、安
定した時の電流値をデジタルマルチメータ(YOKOG
AWA 7552)を用いて測定した。又、1GHzの
Q値はインピーダンスマテリアルアナライザ(HP42
91A)を用いて測定した。
とがわかる。すなわち、試料No.2,5,6,9,1
1,21,24,25に示すように、MZS−Al2 O
3 −STのモル比[%]が図1のABCDで囲まれた領
域外になると、1100℃以下の焼成で緻密な焼結体が
得られなくなるか、あるいは、誘電率εr が20よりも
大きくなり、低静電容量、高Qを得るのが設計上困難と
なる。
に、aの値が0.8より大きくなったり、試料No.3
2に示すように、aの値が0.1より小さくなると、1
100℃の焼成で緻密な焼結体が得られなくなる。
値が1.5より大きくなると、1100℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなり、試料No.38に示すよう
に、bの値が0.67より小さくなると、焼結体中にポ
アが多く生成してしまい、Q値(1MHz)が1000
より小さくなってしまう。
類元素の酸化物の添加量が0.5mol%より大きくな
ると、漏れ電流が多くなり、試料No.39,40に示
すように、希土類元素の酸化物の添加量が0.05より
小さくなると漏れ電流抑制の効果がなくなってしまう。
(εr =50)で、焼結遅延材(誘電体材料と同じ材料
粉末)を10%加えたPdペーストで内部電極を形成し
た同形(チップサイズ:1.0mm×0.5mm×0.
5mm、有効交差面積:0.05mm2 )のチップコン
デンサ(焼成温度1300℃)のQ値(1GHz)のデ
ータである。
類元素の酸化物からなる混合物の仮焼は行っても、行わ
なくても、所望の特性は得られるが、仮焼の有無で電気
的特性は変化する。ただし、仮焼は添加剤と主成分、或
いは添加剤同志で反応が起こり、結晶系が変化し、急激
に収縮が生じたり、収縮率が大きくなる場合に有効であ
る。すなわち、デラミネーション、クラック等の構造欠
陥の抑制に有効である。
℃以下の焼成で焼結でき、誘電率が20以下と低く、Q
値が高く(1MHzで1000以上)、容量の温度係数
が小さく、JIS規格の CG特性( −30〜 +30[ppm/℃]) CH特性( −60〜 +60[ppm/℃]) CJ特性(−120〜+120[ppm/℃]) CK特性(−250〜+250[ppm/℃]) PH特性( −90〜−210[ppm/℃]) RH特性(−160〜−280[ppm/℃]) SH特性(−270〜−390[ppm/℃]) TH特性(−530〜−410[ppm/℃]) を満足していることがわかる。
GHzの高周波領域においてQ値が高く、損失の小さな
低容量(0.1pF〜30pF)の積層コンデンサを得
ることができるという効果がある。
物の焼結温度を1100℃以下に低下させることができ
るので、デラミネーション等の構造欠陥を抑制でき、磁
器コンデンサ製造の際における焼成のための電力費を低
減でき、コストダウンを図ることができるという効果が
ある。
として純Pdを使用することができるので、信頼性の高
い磁器コンデンサを得ることができるという効果があ
る。
物の、高温、高電圧下における漏れ電流を少なくするこ
とができるので、信頼性の高い磁器コンデンサを得るこ
とができるという効果がある。
[%]を示す3成分組成図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 一般式 X(Mga Zn1-a )b SiOb+2 −YAl2 O3 −Z
SrTiO3 で表わされる主成分と、Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Tm,Yb及びLuから選択された1種又は2種以
上の希土類元素の酸化物からなる添加成分との混合物を
焼結させたものからなり、 前記主成分を構成する珪酸マグネシウム・亜鉛[(Mg
a Zn1-a )b SiOb+2 ](以下、「MZS」とい
う。)、アルミナ[Al2 O3 ]及びチタン酸ストロン
チウム[SrTiO3 ](以下、「ST」という。)の
モル比[%]が、これら3種の化合物のモル比(X,
Y,Z)を示す3成分組成図に於いて、 A(94.9, 0.1, 5.0) B(85.0, 10.0, 5.0) C(60.0, 10.0, 30.0) D(60.0, 0.1, 39.9) で示される各点A〜Dを頂点とする多角形で囲まれた範
囲にあり、 前記MZSを表わす一般式(Mga Zn1-a )b SiO
b+2 中のa及びbの値が、 0.1≦a≦0.8 0.67≦b≦1.5 の範囲にあり、 前記添加成分がRe2 Om (希土類元素ReがGd,D
y,Ho,Er,Tm,Yb,Luの場合はm=3、T
bの場合はm=7/2)の形で前記主成分の0.05〜
0.5mol%量が添加されていることを特徴とする誘
電体磁器組成物。 - 【請求項2】 誘電体磁器組成物からなる1又は2以上
の誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している少
なくとも2以上の内部電極とを備えた磁器コンデンサに
おいて、 前記誘電体磁器組成物が、一般式 X(Mga Zn1-a )b SiOb+2 −YAl2 O3 −Z
SrTiO3 で表わされる主成分と、Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Tm,Yb及びLuから選択された1種又は2種以
上の希土類元素の酸化物からなる添加成分との混合物を
焼結させたものからなり、 前記主成分を構成する珪酸マグネシウム・亜鉛[(Mg
a Zn1-a )b SiOb+2 ](以下、「MZS」とい
う。)、アルミナ[Al2 O3 ]及びチタン酸ストロン
チウム[SrTiO3 ](以下、「ST」という。)の
モル比[%]が、これら3種の化合物のモル比(X,
Y,Z)を示す3成分組成図に於いて、 A(94.9, 0.1, 5.0) B(85.0, 10.0, 5.0) C(60.0, 10.0, 30.0) D(60.0, 0.1, 39.9) で示される各点A〜Dを頂点とする多角形で囲まれた範
囲にあり、 前記MZSを表わす一般式(Mga Zn1-a )b SiO
b+2 中のa及びbの値が、 0.1≦a≦0.8 0.67≦b≦1.5 の範囲にあり、 前記添加成分がRe2 Om (希土類元素ReがGd,D
y,Ho,Er,Tm,Yb,Luの場合はm=3、T
bの場合はm=7/2)の形で前記主成分の0.05〜
0.5mol%量が添加されていることを特徴とする磁
器コンデンサ。 - 【請求項3】 前記内部電極の材料としてPdを使用し
たことを特徴とする請求項2に記載の磁器コンデンサ。
Priority Applications (1)
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JP33448596A JP3319696B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 誘電体磁器組成物と磁器コンデンサ |
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JP33448596A JP3319696B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 誘電体磁器組成物と磁器コンデンサ |
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JPH10167824A JPH10167824A (ja) | 1998-06-23 |
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JP33448596A Expired - Fee Related JP3319696B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 誘電体磁器組成物と磁器コンデンサ |
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JP (1) | JP3319696B2 (ja) |
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- 1996-11-29 JP JP33448596A patent/JP3319696B2/ja not_active Expired - Fee Related
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