JP3316432B2 - 対向二軸平面研削盤及び対向二軸平面研削盤のロータリドレッサ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、対向二軸平面研削
盤及び対向二軸平面研削盤のロータリドレッサ装置に関
し、対向して配置された各研削砥石を別々の目立て砥石
で目立てできるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】第１研削砥石と第２研削砥石とを対向し
て配置した対向二軸平面研削盤において、シリコンウエ
ーハ等を研削する場合、各研削砥石にカップ形ダイヤモ
ンドホイールを用い、このカップ形ダイヤモンドホイー
ルでシリコンウエーハ等の両面を研削している。また各
カップ形ダイヤモンドホイールの目立てを行う場合に、
回転軸に１個の目立て砥石を装着したロータリドレッサ
装置を使用し、この目立て砥石で各カップ形ダイヤモン
ドホイールの研削面を順次目立てする方法を採ってい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のロータリドレッ
サ装置で各ダイヤモンドホイールの目立てを行う場合、
１個の目立て砥石により第１ダイヤモンドホイールと第
２ダイヤモンドホイールとの順序で行うが、各ダイヤモ
ンドホイールと目立て砥石との位置合わせは作業者の手
感触に頼っているため、各位置合わせを全く同一条件で
行うことが難しい。その結果、各ダイヤモンドホイール
の目立て量に差が生じることになり、シリコンウエーハ
の両面を同一条件で研削する目的にそぐわない欠点があ
る。即ち、目立ての順序としては、先ず第１ダイヤモン
ドホイールと目立て砥石との位置合わせを行い、この第
１ダイヤモンドホイールの位置を記憶させておく。次に
第２ダイヤモンドホイールと目立て砥石との位置合わせ
を行い、同様にその位置を記憶させておく。そして、各
位置合わせの完了後に、機上に設置されたタッチプロー
ブを第１ダイヤモンドホイール及び第２ダイヤモンドホ
イールに接触させて、各々の位置を記憶させる。

【０００４】次に目立て砥石によって第１ダイヤモンド
ホイールを設定量切り込むことにより第１ダイヤモンド
ホイールの目立てを行う。そして、この目立て後、第１
ダイヤモンドホイールをタッチプローブに接触させて、
目立てにより減った第１ダイヤモンドホイールと目立て
砥石との減り量を演算により求める。続いて、この減り
量の数値を基に第２目立て砥石も同様にして目立てを行
い、タッチプローブを接触させることにより、同様に第
２ダイヤモンドホイールと目立て砥石との減り量を演算
して求める。しかしながら、各ダイヤモンドホイールと
目立て砥石との位置合わせは、作業者の手感触に頼って
いるため、第１ダイヤモンドホイールと第２ダイヤモン
ドホイールとの位置合わせを全く同じ条件で行うことは
難しい。その結果、第１ダイヤモンドホイールと第２ダ
イヤモンドホイールとの目立て量に差が生じることにな
り、シリコンウエーハの両面を同一条件で研削すると言
う目的を達成できない欠点がある。本発明は、このよう
な従来の課題に鑑み、第１研削砥石と第２研削砥石との
目立てを別々の目立て砥石で行う構成を採用し、各研削
砥石と目立て砥石との位置合わせによる誤差の影響を受
けずに各研削砥石を設定値通りの目立て量で目立てでき
る対向二軸平面研削盤及び対向二軸平面研削盤のロータ
リドレッサ装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係る対向二軸平
面研削盤のロータリドレッサ装置は、第１研削砥石と第
２研削砥石とを対向して配置した対向二軸平面研削盤に
おいて、前記各研削砥石間にその砥石軸と直角方向に配
置された同一の回転軸に、前記第１研削砥石用の第１目
立て砥石と、前記第２研削砥石用の第２目立て砥石とを
所定の間隔をおいて装着し、この各目立て砥石を前記回
転軸を介して回転駆動する回転駆動装置と、前記各目立
て砥石を前記各研削砥石の砥石面に平行に往復移動させ
て前記各目立て砥石を前記各研削砥石に選択的に接触さ
せる往復駆動装置とを備えたものである。また本発明に
係る対向二軸平面研削盤は、第１研削砥石と第２研削砥
石とを対向して配置し、前記研削砥石用のロータリドレ
ッサ装置を備えた対向二軸平面研削盤において、前記ロ
ータリドレッサ装置は、前記各研削砥石間にその砥石軸
と直角方向に配置された回転軸と、同一の該回転軸に所
定の間隔をおいて装着された前記第１研削砥石用の第１
目立て砥石及び前記第２研削砥石用の第２目立て砥石
と、各目立て砥石を前記回転軸を介して回転駆動する回
転駆動装置と、前記各目立て砥石を前記各研削砥石の砥
石面に平行に往復移動させて前記各目立て砥石を前記各
研削砥石に選択的に接触させる往復駆動装置とを備えた
ものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳述する。図面は対向二軸平面研削盤のロータ
リドレッサ装置を例示する。図２及び図３において、1
は横型両頭平面研削盤のベッドで、このベッド1 上に、
第１砥石軸2 に装着された第１研削砥石3 と第２砥石軸
4 に装着された第２研削砥石5 とが相対向して配置され
ると共に、この両研削砥石3,5 の砥石面3a,5a の形状修
正と目立てとを行うためのロータリドレッサ装置6 が配
置されている。なお、第１砥石軸2 と第２砥石軸4 、第
１研削砥石3 と第２研削砥石5 は、同一軸線上に配置さ
れている。また各研削砥石3,5 にはカップ形ダイヤモン
ドホイールが使用されている。

【０００７】ロータリドレッサ装置6 は、両端部がベッ
ド1 上の一対の軸受箱7,8 により回転自在に支持され且
つ砥石軸2,4 の側方に平行に配置された揺動軸9 と、研
削砥石3,5 と反対側で揺動軸9 により上下揺動自在に枢
支され且つ両研削砥石3,5 間の下方で横方向に配置され
た揺動フレーム10と、揺動フレーム10の研削砥石3,5側
の先端部に縦方向に配置された回転軸11と、回転軸11の
上端部側に上下に所定の間隔をおいて装着され且つ両研
削砥石3,5 間に対応する第１目立て砥石12、第２目立て
砥石13及び形状修正砥石14と、揺動フレーム10側に設け
られ且つ回転軸11をその軸線廻りに回転駆動する回転駆
動装置15と、一方の軸受箱7 側に設けられ且つ揺動フレ
ーム10を揺動軸9 廻りに往復揺動させるべく往復駆動す
る往復駆動装置16とを備えている。

【０００８】揺動フレーム10は、図１に示すように、こ
の揺動フレーム10にボルト17により着脱自在に締結され
且つ揺動軸9 を掴持する掴持部材18と、この掴持部材18
に挿入されたセットボルト19とにより、両軸受箱7,8 間
で揺動軸9 に固定されている。両軸受箱7,8 は下部側を
一体に連結する取り付け座部20を有し、また上部側が揺
動軸9 の上側の連結板21により連結されている。回転軸
11は、図１及び図４に示すように、揺動フレーム10の研
削砥石3,5 側に上下方向に挿通されており、揺動フレー
ム10内に嵌着された転がり軸受22により回転自在に保持
されている。転がり軸受22は回転軸11の軸線方向に複数
個配置され、揺動フレーム10の上下両側の軸受押さえ板
23,24 により保持されている。回転軸11には、揺動フレ
ーム10側の各軸受押さえ板23,24 に上下から対向するフ
ランジ部25,26 が設けられ、これら軸受押さえ板23,24
とフランジ部25,26 との間には、転がり軸受22側へのク
ーラントの浸入を防止するためのラビリンス部27,28 が
設けられている。

【０００９】各ラビリンス部27,28 は、図４に示すよう
に、軸受押さえ板23,24 及びフランジ部25,26 に相対向
して形成され且つ互いに相対回転自在に嵌合する凹凸部
を同心状に複数個備えている。各軸受押さえ板23,24 に
は、この軸受押さえ板23,24側の最外周側の凹溝27a,28a
に圧搾空気を供給するように空気通路29,30 が形成さ
れている。空気通路29,30 は揺動フレーム10側に形成さ
れた空気通路31から可撓ホース32を介して図外の圧搾空
気源に接続されている。第１目立て砥石12及び第２目立
て砥石13は外周側で第１研削砥石3 及び第２研削砥石5
の各砥石面3a,5a の目立てを、形状修正砥石14は外周側
で各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a の形状修正を夫々行う
ようになっており、その外周が各研削砥石3,5 の砥石面
3a,5a に接触するように、揺動フレーム10の上下揺動に
より各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a と平行に往復移動自
在である。第１目立て砥石12、第２目立て砥石13及び形
状修正砥石14は、各砥石12,13,14間にスペーサ33,34 を
介在した状態で回転軸11の上端部側に上下に配置されて
いる。

【００１０】各スペーサ33,34 は、第１目立て砥石12、
第２目立て砥石13による目立て時、及び形状修正砥石14
による形状修正時に、他の砥石12,13,14が目立て及び形
状修正対象以外の研削砥石3,5 に接触しないように、第
１目立て砥石12、第２目立て砥石13及び形状修正砥石14
間に回転軸11の軸線方向に所定の間隔を確保するための
ものである。形状修正砥石14は、フランジ部25の中央に
一体形成された芯出し突部35に嵌合した状態でフランジ
部25上に配置され、上側から複数本のボルト36により着
脱自在に固定されている。第２目立て砥石13はスペーサ
34を介して形状修正砥石14の上側に、第１目立て砥石12
はスペーサ33を介して第２目立て砥石13の上側に夫々配
置され、砥石押さえ板38と、この砥石押さえ板38に上側
から挿通されたボルト39とにより回転軸11に着脱自在に
固定されている。

【００１１】砥石押さえ板38は、目立て砥石12,13 の中
心に嵌合する嵌合筒部40を一体に備え、その嵌合筒部40
にボルト39が上側から挿通されている。嵌合筒部40はス
ペーサ33,34 に挿入され、またボルト39は回転軸11の芯
出し突部35に螺合されている。なお、揺動軸9 は研削砥
石3,5 の砥石面3a,5a の下部側の略接線上又はその近傍
にあり、また第２目立て砥石13を研削砥石3,5 の砥石面
3a,5a の下部側に位置させた時に、各砥石軸2,4 と回転
軸11との軸線が略直交するようになっている。そして、
第２目立て砥石13の上下に第１目立て砥石12と形状修正
砥石14が略対象に配置されている。形状修正砥石14及び
目立て砥石12,13 は保護カバー41により保護されてい
る。保護カバー41は、目立て砥石12,13 及び形状修正砥
石14が夫々研削砥石3,5 側に突出する程度の大きさであ
って、一端側がヒンジ41a により揺動フレーム10側の上
面側に開閉自在に枢着され、他端側が揺動フレーム10の
端面側にボルト42により着脱自在に固定されている。

【００１２】回転駆動装置15は、下向きに配置された駆
動モータ43と、揺動フレーム10の下側に横方向に配置さ
れたベルト伝動機構44とを備え、駆動モータ43によりベ
ルト伝動機構44を介して回転軸11を回転駆動するように
なっている。駆動モータ43は、ベルト伝動機構44用のテ
ンション調整機構45を介してモータ取り付け板46の上側
に装着され、モータ取り付け板46は揺動軸9 に対して回
転軸11と反対側に突出するように揺動フレーム10の下側
に固定されている。なお、駆動モータ43は両軸受箱7,8
間において揺動軸9 に近接して配置されている。ベルト
伝動機構44は、駆動モータ43の出力軸の下端に固定され
た駆動プーリ47と、回転軸11の下端に固定された従動プ
ーリ48と、この駆動プーリ47と従動プーリ48とに跨がっ
て巻き掛けられたベルト49とにより構成されている。ベ
ルト伝動機構44は、モータ取り付け板46の下側に固定さ
れた伝動ケース50により保護されている。

【００１３】往復駆動装置16は、揺動軸9 に対し回転軸
11と反対側で一方の軸受箱7 側に横方向に装着された揺
動モータ51と、一方の軸受箱7 内に組み込まれたウオー
ムギヤー機構（図示省略）とを備えている。往復駆動装
置16は、第１目立て砥石12が各研削砥石3,5 よりも下方
に下降した待機位置と、第１目立て砥石12、第２目立て
砥石13及び形状修正砥石14が各研削砥石3,5 に選択的に
接触する目立て位置又は形状修正位置との間で移動する
と共に、目立て時に第１目立て砥石12又は第２目立て砥
石13が、形状修正時に形状修正砥石14が夫々第１研削砥
石3 又は第２研削砥石5 に接触した状態で所要範囲内で
上下方向に往復移動するように、揺動モータ51によりウ
オームギヤー機構、揺動軸9 を介して揺動フレーム10を
揺動軸9廻りに駆動するようになっている。

【００１４】次に上記ロータリドレッサ装置6 による各
研削砥石3,5 の形状修正及び目立てについて説明する。
各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a の目立てを行う場合に
は、先ず揺動モータ51により揺動軸9 廻りに揺動フレー
ム10を揺動させて、図５に示すように第１目立て砥石12
を第１研削砥石3 の砥石面3aの下部側に接触させて、第
１研削砥石3 と第１目立て砥石12との位置合わせを行
い、この第１研削砥石3 にタッチプローブ52を接触させ
て第１研削砥石3 の位置を記憶させる。次に同様に揺動
モータ51により揺動軸9 廻りに揺動フレーム10を揺動さ
せて、図６に示すように第２研削砥石5 と第２目立て砥
石13の位置合わせを行い、同様に第２研削砥石5 にタッ
チプローブ52を接触させて第２研削砥石5 の位置を記憶
させる。

【００１５】各研削砥石3,5 の位置合わせが完了する
と、駆動モータ43によりベルト伝動機構44を介して回転
軸11を回転駆動し、この回転軸11と一体に第１目立て砥
石12とを回転させながら、図５に示すように第１目立て
砥石12を第１研削砥石3 の砥石面3aに接触させた状態
で、揺動モータ51により揺動フレーム10を所定範囲内で
上下方向に往復揺動させる。すると回転状態の第１目立
て砥石12が第１研削砥石3の砥石面3aに接触して上下に
往復移動するので、第１目立て砥石12によって第１研削
砥石3 を設定量切り込むことにより、第１研削砥石3 の
砥石面3aの目立てを行うことができる。

【００１６】次に同様にして回転軸11と一体に第２目立
て砥石13とを回転させながら、図６に示すように第２目
立て砥石13を第２研削砥石5 の砥石面5aに接触させた状
態で、揺動フレーム10を所定範囲内で上下方向に往復揺
動させる。すると前述と同様に回転状態の第２目立て砥
石13が第２研削砥石5 の砥石面5aに接触して上下に往復
移動するため、第２目立て砥石13によって第２研削砥石
5 を設定量切り込むことにより、第２研削砥石5 の砥石
面5aの目立てを行うことができる。第１目立て砥石12に
よる第１研削砥石3 の目立て時に、その下側の第２目立
て砥石13及び形状修正砥石14は、各研削砥石3,5 の砥石
面3a,5a の下部から下側に外れている。また第２目立て
砥石13による第２研削砥石5 の目立て時に、その上下の
第１目立て砥石12及び形状修正砥石14は、各研削砥石3,
5 の砥石面3a,5a の上下両側に外れている。従って、第
１研削砥石3 又は第２研削砥石5 の目立て時に、他の目
立て砥石、形状修正砥石14が各研削砥石3,5 に接触する
ことはない。

【００１７】各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a を形状修正
する時には、駆動モータ43によりベルト伝動機構44を介
して回転軸11を回転駆動し、この回転軸11と一体に形状
修正砥石14を回転させながら、揺動モータ51により揺動
軸9 廻りに揺動フレーム10を揺動させて、形状修正砥石
14を各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a の下部側に接触させ
る。そして、形状修正砥石14が各研削砥石3,5 に接触し
た状態で揺動モータ51により揺動フレーム10を上下方向
に往復揺動させると、形状修正砥石14が各研削砥石3,5
の砥石面3a,5a に接触しながら上下に往復移動し、この
形状修正砥石14により各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a の
形状修正を行うことができる。この時、形状修正砥石14
の上側の各目立て砥石は、各研削砥石3,5 の砥石面の下
部から上側に外れており、各研削砥石3,5 の砥石面3a,5
a と接触することはない。因みに、各研削砥石3,5 が肉
厚５ｍｍ程度のカップ形ダイヤモンドホイールの場合、
形状修正砥石14及び各目立て砥石12,13 を上下方向に１
０ｍｍ程度の範囲で往復移動させれば、各研削砥石3,5
の砥石面3a,5a の形状修正及び目立てが可能である。

【００１８】形状修正及び目立て時には、圧搾空気源か
ら可撓ホース32、空気通路29〜31を経て転がり軸受22の
上下両側のラビリンス部27,28 側に圧搾空気を供給し
て、転がり軸受22側へのクーラントの浸入を防止する。
即ち、圧搾空気は、軸受押さえ板23,24 側の最外周側の
凹溝27a,28a に供給されており、この凹溝27a,28a の全
周から外部に吹き出すので、この圧搾空気によって転が
り軸受22側へのクーラントの浸入を防止できる。このた
めクーラントによる転がり軸受22の劣化を防止でき、転
がり軸受22の耐久性が向上する。このロータリドレッサ
装置6 では、揺動フレーム10の先端側の回転軸11の上部
に、第１研削砥石3 用の第１目立て砥石12と第２研削砥
石5 用の第２目立て砥石13とを個別に備え、この各目立
て砥石12,13 により各研削砥石3,5 の目立てを行うよう
にしているので、各研削砥石3,5 と目立て砥石12,13 と
の位置合わせによる誤差の影響を受けずに、各研削砥石
3,5 を設定値通りの目立て量で容易に目立てできる。

【００１９】従って、例えば各研削砥石3,5 にカップ形
ダイヤモンドホイールを用いて、そのダイヤモンドホイ
ールによりシリコンウエーハの両面を研削する場合に
も、シリコンウエーハの両面を同一条件で研削すること
が可能であり、その研削精度が著しく向上する。また回
転軸11に各目立て砥石12,13 の他に形状修正砥石14を設
け、その回転軸11を回転駆動装置15で駆動すると共に、
揺動フレーム10を往復駆動装置16で揺動軸9 廻りに駆動
するようにしているため、１台のロータリドレッサ装置
6 により各研削砥石3,5 の形状修正と目立てとが可能で
あり、形状修正砥石14及び各目立て砥石12,13 の支持及
び駆動用に回転軸11、揺動フレーム10、揺動軸9 、回転
駆動装置15及び往復駆動装置16の全てを兼用でき、形状
修正装置と目立て装置とを個別に設ける場合に比較し
て、装置全体の構造を簡単且つ小型化できる。

【００２０】更に装置全体を小型化できるため、ベッド
1 上の少ないスペースに配置する等の省スペース化を促
進でき、横型両頭平面研削盤の全体を小型化できる利点
がある。しかも、揺動フレーム10の先端側の同一の回転
軸11の上部に形状修正砥石14と各目立て砥石12,13 とが
あるため、形状修正及び目立て毎に各砥石12,13,14の位
置、傾き等を個別に調整する必要がなく、段取り作業が
非常に容易である。また揺動フレーム10の回転軸11に形
状修正砥石14と各目立て砥石12,13 とがあり、この揺動
フレーム10を揺動軸9 により上下揺動自在に枢支して、
揺動フレーム10の揺動により各砥石12,13,14を往復移動
させるようにしているため、直線的に往復移動する可動
フレーム10に回転軸11等を設ける場合に比較して、揺動
フレーム10の支持構造が簡単であり、各砥石12,13,14の
往復移動が安定し、装置全体の耐久性が向上する。

【００２１】その他、往復駆動装置16により揺動軸9 廻
りに揺動フレーム10を揺動させるだけで、形状修正砥石
14と目立て砥石12,13 との選択が可能であると共に、形
状修正砥石14及び目立て砥石12,13 の往復移動が可能で
あるため、各砥石12,13,14の選択と往復移動とを別々の
機構で行う場合に比較して構造を簡素化でき、装置自体
の耐久性も向上する。更に両研削砥石3,5 間に揺動フレ
ーム10を配置し、この揺動フレーム10の回転軸11に形状
修正砥石14と各目立て砥石12,13 とを装着する一方、各
砥石12,13,14の外周を略同一径にして、その各砥石12,1
3,14の外周面で形状修正及び目立てを行うようにしてい
るため、各研削砥石3,5 の砥石面3a,5a を単一の装置で
形状修正及び目立てできる。

【００２２】また回転軸11に形状修正砥石14と目立て砥
石12,13 とを装着するに当たって、形状修正砥石14と目
立て砥石12,13 との間にスペーサを介在し、このスペー
サによって両砥石間に所定の間隔を確保しているため、
揺動フレーム10を揺動軸9 廻りに揺動させて形状修正と
目立てとを選択する構造であるにも拘わらず、各砥石の
内、必要な砥石のみを確実に研削砥石の砥石面に接触さ
せることができ、不要な砥石の研削砥石に対する干渉を
防止できる。回転駆動装置15が揺動フレーム10側にある
ため、この回転駆動装置15により揺動フレーム10側の回
転軸11を容易に駆動できる。また回転駆動装置15は、揺
動軸9 に対して回転軸11と反対側に配置された駆動モー
タ43と、揺動フレーム10の下側に近接して配置されたベ
ルト伝動機構44とにより構成しているため、回転駆動装
置15を含む揺動フレーム10側の構造を小型化できると共
に、揺動軸9 の両側における揺動フレーム10側の重量的
な平衡を取り易く、往復駆動装置16により揺動フレーム
10を揺動軸9 廻りに容易に駆動できる。

【００２３】往復駆動装置16は一方の軸受箱7,8 側に配
置し、この往復駆動装置16の揺動モータ51によりウオー
ムギヤー機構を介して揺動軸9 を駆動するように構成し
ているので、揺動フレーム10側に往復駆動装置16を設け
る場合に比較して、揺動フレーム10側の負担を軽減し小
型化できる。また駆動モータ43及び揺動モータ51が揺動
軸9 に対して回転軸11と反対側にあるため、揺動軸9 と
回転軸11との間隔を小さくして揺動フレーム10の長さを
短くできる。しかも一対の軸受箱7,8 は下部の取り付け
座部20と一体であり、その上部側が連結板21で連結され
ているため、各軸受箱7,8 の傾き等を防止できる。

【００２４】以上、本発明の実施形態について詳述した
が、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。
例えば、実施形態では、横型二軸対向平面研削盤につい
て例示しているが、一対の研削砥石3,5 を上下配置した
縦型二軸対向平面研削盤でも同様に実施可能である。ま
た揺動フレーム10の板厚を薄くして、回転軸11の両側に
形状修正砥石14と目立て砥石12,13 とを別々に装着する
ことも可能である。更に実施形態では、揺動軸9 廻りに
揺動自在な揺動フレーム10に回転軸11を設け、この回転
軸11に形状修正砥石14と目立て砥石12,13 とを装着し
て、研削砥石3,5 の砥石面3a,5a に沿って各砥石12,13,
14が円弧状に揺動するようにしているが、直線的に往復
移動可能な可動フレームを設け、この可動フレームに回
転軸11を介して形状修正砥石14及び目立て砥石12,13 を
装着し、可動フレームの直線移動によって形状修正砥石
14及び目立て砥石12,13 を直線的に往復移動させるよう
にしても良い。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、第１研削砥石と第２研
削砥石とを対向して配置した対向二軸平面研削盤におい
て、各研削砥石間にその砥石軸と直角方向に配置された
同一の回転軸に、第１研削砥石用の第１目立て砥石と、
第２研削砥石用の第２目立て砥石とを装着し、第１研削
砥石と第２研削砥石とを別々の目立て砥石で目立てを行
う構成を採用しているので、各研削砥石と目立て砥石と
の位置合わせによる誤差の影響を受けずに各研削砥石を
設定値通りの目立て量で目立てできる。また砥石軸と直
角方向の回転軸に第１目立て砥石と第２目立て砥石とを
所定の間隔をおいて装着し、各目立て砥石を回転軸を介
して回転駆動する回転駆動装置と、各目立て砥石を各研
削砥石の砥石面に平行に往復移動させて各目立て砥石を
各研削砥石に選択的に接触させる往復駆動装置とを備え
ているので、第１研削砥石と第２研削砥石とを別々の目
立て砥石で目立てを行う構成であるにも拘わらず、構造
が簡単で小型化できると共に、少ないスペースで容易に
配置でき、しかも各目立て砥石の個々の段取り作業を容
易にできる。

【００２６】更に回転軸に形状修正砥石を備えているの
で、各目立て砥石による各研削砥石の目立ての他、各研
削砥石の形状修正を１台の装置で容易にできる。また研
削砥石を回転自在に支持する砥石軸と平行に配置された
揺動軸と、この揺動軸により揺動自在に枢支された揺動
フレームとを備え、この揺動フレームの先端部に回転軸
を砥石軸と直角方向に配置すると共に、該揺動フレーム
に回転駆動装置を設け、揺動フレームを揺動軸廻りに往
復揺動させるように往復駆動装置を設けているので、全
体の構造が簡単で小型化できると共に、各砥石面の往復
移動が容易であり、耐久性が向上する。また本発明によ
れば、第１研削砥石と第２研削砥石とを対向して配置
し、研削砥石用のロータリドレッサ装置を備えた対向二
軸平面研削盤において、ロータリドレッサ装置は、各研
削砥石間にその砥石軸と直角方向に配置された回転軸
と、同一の該回転軸に所定の間隔をおいて装着された第
１研削砥石用の第１目立て砥石及び第２研削砥石用の第
２目立て砥石と、各目立て砥石を回転軸を介して回転駆
動する回転駆動装置と、各目立て砥石を各研削砥石の砥
石面に平行に往復移動させて各目立て砥石を各研削砥石
に選択的に接触させる往復駆動装置とを備えているの
で、第１研削砥石と第２研削砥石とを別々の目立て砥石
で目立てを行う構成であるにも拘わらず、構造が簡単で
小型化できると共に、少ないスペースで容易に配置で
き、しかも各目立て砥石の個々の段取り作業を容易にで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示すロータリドレッサ装
置の断面図である。

【図２】本発明の一実施形態を示すロータリドレッサ装
置の平面図である。

【図３】本発明の一実施形態を示すロータリドレッサ装
置の側面図である。

【図４】本発明の一実施形態を示す回転軸側の拡大断面
図である。

【図５】本発明の一実施形態を示す第１研削砥石の目立
て時の説明図である。

【図６】本発明の一実施形態を示す第２研削砥石の目立
て時の説明図である。

【符号の説明】

2 第１研削砥石軸 3 第１研削砥石 4 第２研削砥石軸 5 第２研削砥石 9 揺動軸 10 揺動フレーム 11 回転軸 12 第１目立て砥石 13 第２目立て砥石 14 形状修正砥石 15 回転駆動装置 16 往復駆動装置 27,28 ラビリンス部

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 53/053

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１研削砥石と第２研削砥石とを対向し
   て配置した対向二軸平面研削盤において、前記各研削砥
   石間にその砥石軸と直角方向に配置された同一の回転軸
   に、前記第１研削砥石用の第１目立て砥石と、前記第２
   研削砥石用の第２目立て砥石とを所定の間隔をおいて装
   着し、この各目立て砥石を前記回転軸を介して回転駆動
   する回転駆動装置と、前記各目立て砥石を前記各研削砥
   石の砥石面に平行に往復移動させて前記各目立て砥石を
   前記各研削砥石に選択的に接触させる往復駆動装置とを
   備えたことを特徴とする対向二軸平面研削盤のロータリ
   ドレッサ装置。
2. 【請求項２】 前記同一の回転軸に形状修正砥石を備え
   たことを特徴とする請求項１に記載の対向二軸平面研削
   盤のロータリドレッサ装置。
3. 【請求項３】 前記各研削砥石を回転自在に支持する砥
   石軸と平行に配置された揺動軸と、この揺動軸により揺
   動自在に枢支された揺動フレームとを備え、この揺動フ
   レームの先端部に前記回転軸を前記砥石軸と直角方向に
   配置すると共に、該揺動フレームに回転駆動装置を設
   け、前記揺動フレームを前記揺動軸廻りに往復揺動させ
   るように前記往復駆動装置を設けたことを特徴とする請
   求項１又は２に記載の対向二軸平面研削盤のロータリド
   レッサ装置。
4. 【請求項４】 第１研削砥石と第２研削砥石とを対向し
   て配置し、前記研削砥石用のロータリドレッサ装置を備
   えた対向二軸平面研削盤において、前記ロータリドレッ
   サ装置は、前記各研削砥石間にその砥石軸と直角方向に
   配置された回転軸と、同一の該回転軸に所定の間隔をお
   いて装着された前記第１研削砥石用の第１目立て砥石及
   び前記第２研削砥石用の第２目立て砥石と、各目立て砥
   石を前記回転軸を介して回転駆動する回転駆動装置と、
   前記各目立て砥石を前記各研削砥石の砥石面に平行に往
   復移動させて前記各目立て砥石を前記各研削砥石に選択
   的に接触させる往復駆動装置とを備えたことを特徴とす
   る対向二軸平面研削盤。