JP3309369B2 - 光波長合分波器 - Google Patents
光波長合分波器Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信、光信号処
理、光計測の分野で利用される光波長合分波器に係わ
り、特に、低クロストークで、且つ量産化、低コスト化
が可能な光波長合分波器に関する。
理、光計測の分野で利用される光波長合分波器に係わ
り、特に、低クロストークで、且つ量産化、低コスト化
が可能な光波長合分波器に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコン（Ｓｉ）や石英等の平面基板上
に作製される光回路は、光通信、光情報処理、光計測の
分野において有望な実用的光デバイスとして研究開発が
進められている（Kawachi et al.,J.Quantum Electron.
22(1990)391.）。これらの光回路のうち、光の波長合分
波機能を有する回路は、近年の波長多重光通信システム
構築の需要が高まるとともに、その重要性を増してい
る。光波長合分波機能を有する光回路としては、これま
で誘電体多層膜フィルター挿入型［Inoue et al,Electr
on.Lett.32(1996)847.］，非対称マハツェンダ干渉計型
（以下、ＭＺＩ型）［Suzuki et al.,IEEEJ.Lightwave
Technol.12(1994)790.］，グレーティング型［西原他，
光集積回路第４章，オーム社］，アレイ導波路格子型
（以下、ＡＷＧ型）［Takahashi et al.,IEEEJ.Lightwa
ve Technol.12(1994)989.］等が開発されてきた。
に作製される光回路は、光通信、光情報処理、光計測の
分野において有望な実用的光デバイスとして研究開発が
進められている（Kawachi et al.,J.Quantum Electron.
22(1990)391.）。これらの光回路のうち、光の波長合分
波機能を有する回路は、近年の波長多重光通信システム
構築の需要が高まるとともに、その重要性を増してい
る。光波長合分波機能を有する光回路としては、これま
で誘電体多層膜フィルター挿入型［Inoue et al,Electr
on.Lett.32(1996)847.］，非対称マハツェンダ干渉計型
（以下、ＭＺＩ型）［Suzuki et al.,IEEEJ.Lightwave
Technol.12(1994)790.］，グレーティング型［西原他，
光集積回路第４章，オーム社］，アレイ導波路格子型
（以下、ＡＷＧ型）［Takahashi et al.,IEEEJ.Lightwa
ve Technol.12(1994)989.］等が開発されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これら光波長合分波機
能を有する光回路の中で、ＭＺＩ型の光波長合分波器は
比較的構成が単純で、かつ、１０ＧＨｚ〜１００ＧＨｚ
程度の狭チャネル間隔の波長合分波を、低損失、低クロ
ストークで良好に実現している。図６は、従来のＭＺＩ
型光波長合分波器の一例の概略構成を示す図である。図
６に示すＭＺＩ型光波長合分波器１は、基板１０上に形
成される、２本の入力用光導波路１１と、２本の出力用
光導波路１２と、所定の長さ（ΔＬ）異なる２本のアー
ム光導波路（１５，１６）とが、結合率３ｄＢの２つの
方向性結合器（１３，１４）で接続されて構成される。
また、このＭＺＩ型の光波長合分波器１には、薄膜ヒー
ター型熱光学位相シフタ（１７，１８）が装着されてお
り、これを用いて容易に所望の光路長差に調整すること
ができる。
能を有する光回路の中で、ＭＺＩ型の光波長合分波器は
比較的構成が単純で、かつ、１０ＧＨｚ〜１００ＧＨｚ
程度の狭チャネル間隔の波長合分波を、低損失、低クロ
ストークで良好に実現している。図６は、従来のＭＺＩ
型光波長合分波器の一例の概略構成を示す図である。図
６に示すＭＺＩ型光波長合分波器１は、基板１０上に形
成される、２本の入力用光導波路１１と、２本の出力用
光導波路１２と、所定の長さ（ΔＬ）異なる２本のアー
ム光導波路（１５，１６）とが、結合率３ｄＢの２つの
方向性結合器（１３，１４）で接続されて構成される。
また、このＭＺＩ型の光波長合分波器１には、薄膜ヒー
ター型熱光学位相シフタ（１７，１８）が装着されてお
り、これを用いて容易に所望の光路長差に調整すること
ができる。
【０００４】前記ＭＺＩ型の光波長合分波器１を用いて
多チャネルの光波長合分波器を実現するためには、ＭＺ
Ｉ型の光波長合分波器を多段に接続した構成となる。例
えば、８チャネルの光波長合分波器を実現するために
は、図７に示すように、周波数間隔１０ＧＨｚの波長分
波特性を有するＭＺＩ型光波長合分波器１と、周波数間
隔２０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺＩ型光波長合
分波器（２ａ，２ｂ）と、周波数間隔４０ＧＨｚの波長
分波特性を有するＭＺＩ型光波長合分波器（３ａ〜３
ｄ）とを、３段に接続する必要がある。
多チャネルの光波長合分波器を実現するためには、ＭＺ
Ｉ型の光波長合分波器を多段に接続した構成となる。例
えば、８チャネルの光波長合分波器を実現するために
は、図７に示すように、周波数間隔１０ＧＨｚの波長分
波特性を有するＭＺＩ型光波長合分波器１と、周波数間
隔２０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺＩ型光波長合
分波器（２ａ，２ｂ）と、周波数間隔４０ＧＨｚの波長
分波特性を有するＭＺＩ型光波長合分波器（３ａ〜３
ｄ）とを、３段に接続する必要がある。
【０００５】これは、光波長合分波器を構成する各ＭＺ
Ｉ型光波長合分波器（１，２ａ，２ｂ，３ａ〜３ｄ）一
つ一つについて位相誤差の調整をする必要があり、即
ち、作製工程が煩雑になることを意味する。
Ｉ型光波長合分波器（１，２ａ，２ｂ，３ａ〜３ｄ）一
つ一つについて位相誤差の調整をする必要があり、即
ち、作製工程が煩雑になることを意味する。
【０００６】したがって、ＭＺＩ型光波長合分波器で構
成した６４波、１２８波といった多チャネルの光波長合
分波器は、大量生産には不向きで、波長多重光通信シス
テム構築における部品提供要求に応えるのは困難である
という問題点があった。
成した６４波、１２８波といった多チャネルの光波長合
分波器は、大量生産には不向きで、波長多重光通信シス
テム構築における部品提供要求に応えるのは困難である
という問題点があった。
【０００７】誘電体多層膜フィルター挿入型、グレーテ
ィング型の各波長合分波器に関しても２波〜８波程度の
波長数に対しては、良好な特性を示す光波長合分波器が
作製された例もある。しかしながら、ＭＺＩ型光波長合
分波器の場合と同様、３２波、６４波といった多波長対
応のデバイス化を考えると、作製工程が煩雑になるこ
と、あるいはデバイスが大型化すること等が予想され、
安価に、かつ大量に生産を行うのは困難と思われる。
ィング型の各波長合分波器に関しても２波〜８波程度の
波長数に対しては、良好な特性を示す光波長合分波器が
作製された例もある。しかしながら、ＭＺＩ型光波長合
分波器の場合と同様、３２波、６４波といった多波長対
応のデバイス化を考えると、作製工程が煩雑になるこ
と、あるいはデバイスが大型化すること等が予想され、
安価に、かつ大量に生産を行うのは困難と思われる。
【０００８】これに対して、ＡＷＧ型光波長合分波器は
多波長を一度に合分波可能であり、波長多重光通信シス
テムを構築する上での重要なデバイスとして注目されて
いる。図８は、従来のＡＷＧ型光波長合分波器４の一例
の概略構成を示す図である。図８に示すＡＷＧ型光波長
合分波器４は、基板１０上に形成された、入力用チャネ
ル光導波路２１、出力用チャネル光導波路２２、チャネ
ル光導波路アレイ（アレイ光導波路格子）２３、前記入
力用チャネル光導波路２１とチャネル光導波路アレイ２
３とを接続する入力側扇型スラブ光導波路２４、および
前記チャネル光導波路アレイ２３と出力用チャネル光導
波路２２とを接続する出力側扇型スラブ光導波路２５で
構成される。また、チャネル光導波路アレイ２３は、光
導波路一本一本の長さが所定の光導波路長差（ΔＬ）で
順次長くなるように構成されている。
多波長を一度に合分波可能であり、波長多重光通信シス
テムを構築する上での重要なデバイスとして注目されて
いる。図８は、従来のＡＷＧ型光波長合分波器４の一例
の概略構成を示す図である。図８に示すＡＷＧ型光波長
合分波器４は、基板１０上に形成された、入力用チャネ
ル光導波路２１、出力用チャネル光導波路２２、チャネ
ル光導波路アレイ（アレイ光導波路格子）２３、前記入
力用チャネル光導波路２１とチャネル光導波路アレイ２
３とを接続する入力側扇型スラブ光導波路２４、および
前記チャネル光導波路アレイ２３と出力用チャネル光導
波路２２とを接続する出力側扇型スラブ光導波路２５で
構成される。また、チャネル光導波路アレイ２３は、光
導波路一本一本の長さが所定の光導波路長差（ΔＬ）で
順次長くなるように構成されている。
【０００９】このようなＡＷＧ型光波長合分波器の波長
間隔（Δλ）は、チャネル光導波路アレイ２３のピッチ
（ｄ）、光導波路長差（ΔＬ）、実効屈折率（ｎc）お
よび群屈折率（ｎg）、前記入力用チャネル光導波路２
１と前記出力用チャネル光導波路２２における光導波路
間隔（Δｘ）、前記スラブ光導波路（２４，２５）の曲
率半径（焦点距離）（ｆ）と実効屈折率（ｎs）等の値
から設定することができる。また、前記出力用チャネル
光導波路２２の中央の光導波路（回折角が０度）から得
られる光の周波数を中心周波数（ｆｏ）と呼び、中心周
波数（ｆｏ）は、Ｃを光速、ｍを回折次数として、ｆｏ
＝ｍＣ／（ｎc・ΔＬ）で求められる（ＡＷＧ型光波長
合分波器の詳細は、T.Takahashi,et al.,J.Lightwave T
echnol.12,p.989,1994.を参照されたい。）。
間隔（Δλ）は、チャネル光導波路アレイ２３のピッチ
（ｄ）、光導波路長差（ΔＬ）、実効屈折率（ｎc）お
よび群屈折率（ｎg）、前記入力用チャネル光導波路２
１と前記出力用チャネル光導波路２２における光導波路
間隔（Δｘ）、前記スラブ光導波路（２４，２５）の曲
率半径（焦点距離）（ｆ）と実効屈折率（ｎs）等の値
から設定することができる。また、前記出力用チャネル
光導波路２２の中央の光導波路（回折角が０度）から得
られる光の周波数を中心周波数（ｆｏ）と呼び、中心周
波数（ｆｏ）は、Ｃを光速、ｍを回折次数として、ｆｏ
＝ｍＣ／（ｎc・ΔＬ）で求められる（ＡＷＧ型光波長
合分波器の詳細は、T.Takahashi,et al.,J.Lightwave T
echnol.12,p.989,1994.を参照されたい。）。
【００１０】しかしながら、これまで開発されてきたＡ
ＷＧ型光波長合分波器は、分波波長間隔（Δλ）が狭く
なる程クロストークが大きくなる傾向を有している。例
えば、周波数１００ＧＨｚ（波長１．５５μｍ帯で約
０．８ｎｍ）の分波間隔を有するＡＷＧ型光波長合分波
器のクロストーク（透過域中心波長から分波波長間隔だ
け離れた波長でのクロストーク）が約−４０ｄＢに到達
しているのに対し、周波数１０ＧＨｚ（波長１．５５μ
ｍ帯で約０．０８ｎｍ）の分波間隔を有するＡＷＧ型光
波長合分波器のクロストークは約−１５ｄＢに留まって
いる［高橋他，光スイッチング技術研究会資料（1992)
ｐ．４１］。これまで開発されたＡＷＧ型光波長合分波
器における、クロストークのチャネル間隔依存性を図９
に示す。
ＷＧ型光波長合分波器は、分波波長間隔（Δλ）が狭く
なる程クロストークが大きくなる傾向を有している。例
えば、周波数１００ＧＨｚ（波長１．５５μｍ帯で約
０．８ｎｍ）の分波間隔を有するＡＷＧ型光波長合分波
器のクロストーク（透過域中心波長から分波波長間隔だ
け離れた波長でのクロストーク）が約−４０ｄＢに到達
しているのに対し、周波数１０ＧＨｚ（波長１．５５μ
ｍ帯で約０．０８ｎｍ）の分波間隔を有するＡＷＧ型光
波長合分波器のクロストークは約−１５ｄＢに留まって
いる［高橋他，光スイッチング技術研究会資料（1992)
ｐ．４１］。これまで開発されたＡＷＧ型光波長合分波
器における、クロストークのチャネル間隔依存性を図９
に示す。
【００１１】これらのクロストークは、チャネル光導波
路アレイ（アレイ光導波路格子）２３における多数本の
光導波路の一つ一つの光路長誤差に起因すると考えられ
ている。この光路長誤差を補正するため、多数本のアレ
イ光導波路の一つ一つに薄膜ヒータ型熱光学位相シフタ
を設け、位相誤差を調整する方法［山田他，信学会総合
大会Ｃ−253(1995)］や、位相補償板を挿入する方法
［特願平９−１８２６５１号］が提案されている。しか
しながら、前記チャネル光導波路アレイの位相誤差補正
を行う方法は、チャネル光導波路アレイにおける数十本
におよぶ光導波路の一つ一つを補正する手間のかかる工
程であり、量産化、低コスト化が困難であるという問題
点があった。
路アレイ（アレイ光導波路格子）２３における多数本の
光導波路の一つ一つの光路長誤差に起因すると考えられ
ている。この光路長誤差を補正するため、多数本のアレ
イ光導波路の一つ一つに薄膜ヒータ型熱光学位相シフタ
を設け、位相誤差を調整する方法［山田他，信学会総合
大会Ｃ−253(1995)］や、位相補償板を挿入する方法
［特願平９−１８２６５１号］が提案されている。しか
しながら、前記チャネル光導波路アレイの位相誤差補正
を行う方法は、チャネル光導波路アレイにおける数十本
におよぶ光導波路の一つ一つを補正する手間のかかる工
程であり、量産化、低コスト化が困難であるという問題
点があった。
【００１２】本発明は、前記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであり、本発明の目的は、光波長
合分波器において、低クロストークで、且つ量産化、低
コスト化が可能となる技術を提供することにある。本発
明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細
書の記述及び添付図面によって明らかにする。
るためになされたものであり、本発明の目的は、光波長
合分波器において、低クロストークで、且つ量産化、低
コスト化が可能となる技術を提供することにある。本発
明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細
書の記述及び添付図面によって明らかにする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、平面基板上に形成
される光導波路により構成される光波長合分波器であっ
て、ＦＳＲがＮ［ＧＨｚ］（Ｎは実数）である１個の非
対称マハツェンダ干渉計型光波長合分波器と、当該非対
称マハツェンダ干渉計型光波長合分波器の２つの出力に
それぞれ接続され、波長合分波間隔がＮ［ＧＨｚ］であ
る２個のアレイ導波路格子型光波長合分波器とを１つの
基本構造として、前記基本構造を１組以上含むことを特
徴とする。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、平面基板上に形成
される光導波路により構成される光波長合分波器であっ
て、ＦＳＲがＮ［ＧＨｚ］（Ｎは実数）である１個の非
対称マハツェンダ干渉計型光波長合分波器と、当該非対
称マハツェンダ干渉計型光波長合分波器の２つの出力に
それぞれ接続され、波長合分波間隔がＮ［ＧＨｚ］であ
る２個のアレイ導波路格子型光波長合分波器とを１つの
基本構造として、前記基本構造を１組以上含むことを特
徴とする。
【００１４】
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において、同一機能を有するものは同一符
号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
施の形態を詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において、同一機能を有するものは同一符
号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１６】［実施の形態１］図１は、本発明の実施の
形態１の光波長合分波器の概略構成を示す図である。同
図に示すように、本実施の形態の光波長合分波器は、１
個のＭＺＩ型光波長合分波器１と、当該ＭＺＩ型光波長
合分波器の２つの出力にそれぞれ接続される２個のＡＷ
Ｇ型光波長合分波器（４，５）とで構成される。このＭ
ＺＩ型光波長合分波器１と、ＡＷＧ型光波長合分波器
（４，５）とは、それぞれ基板１０上に配置される。
形態１の光波長合分波器の概略構成を示す図である。同
図に示すように、本実施の形態の光波長合分波器は、１
個のＭＺＩ型光波長合分波器１と、当該ＭＺＩ型光波長
合分波器の２つの出力にそれぞれ接続される２個のＡＷ
Ｇ型光波長合分波器（４，５）とで構成される。このＭ
ＺＩ型光波長合分波器１と、ＡＷＧ型光波長合分波器
（４，５）とは、それぞれ基板１０上に配置される。
【００１７】このＭＺＩ型光波長合分波器１は、周波数
間隔１０ＧＨｚの波長分波特性を有し、また、同図にお
いて、１３，１４は結合率３ｄＢの方向性結合器であ
り、１５，１６は方向性結合器（１３，１４）を結ぶア
ーム光導波路を示す。このアーム光導波路（１５，１
６）は１０ｍｍの光路長を有し、アーム光導波路（１
５，１６）のクラッド層の上面には、それぞれ薄膜ヒー
タ型熱光学位相シフタ（１７，１８）が設けられてお
り、光路長の微調整が可能となっている。
間隔１０ＧＨｚの波長分波特性を有し、また、同図にお
いて、１３，１４は結合率３ｄＢの方向性結合器であ
り、１５，１６は方向性結合器（１３，１４）を結ぶア
ーム光導波路を示す。このアーム光導波路（１５，１
６）は１０ｍｍの光路長を有し、アーム光導波路（１
５，１６）のクラッド層の上面には、それぞれ薄膜ヒー
タ型熱光学位相シフタ（１７，１８）が設けられてお
り、光路長の微調整が可能となっている。
【００１８】ＡＷＧ型光波長合分波器４は、周波数間隔
２０ＧＨｚの波長分波特性を有し、ＡＷＧ型光波長合分
波器４は、入力用チャネル光導波路２１、出力用チャネ
ル光導波路２２、チャネル光導波路アレイ２３、前記入
力用チャネル光導波路２１とチャネル光導波路アレイ２
３とを接続する入力側扇型スラブ光導波路２４、および
前記チャネル光導波路アレイ２３と出力用チャネル光導
波路２２とを接続する出力側扇型スラブ光導波路２５で
構成される。ＡＷＧ型光波長合分波器５もＡＷＧ型光波
長合分波器４と基本構造は同じである。ここで、ＡＷＧ
型光波長合分波器４の中心周波数（ｆ01）は１９３１０
０ＧＨｚに、ＡＷＧ型光波長合分波器５の中心周波数
（ｆ02）は、前段のＭＺＩ型光波長合分波器１の分波間
隔１０ＧＨｚに対応して、１９３１１０ＧＨｚに設定さ
れる。また、ＡＷＧ型光波長合分波器４の出射口２６、
並びにＡＷＧ型光波長合分波器５の出射口２７は、ファ
イバアレイ等との接続が容易に行えるように、光導波路
を同一平面内に２５０μｍ間隔に並べて配置している。
２０ＧＨｚの波長分波特性を有し、ＡＷＧ型光波長合分
波器４は、入力用チャネル光導波路２１、出力用チャネ
ル光導波路２２、チャネル光導波路アレイ２３、前記入
力用チャネル光導波路２１とチャネル光導波路アレイ２
３とを接続する入力側扇型スラブ光導波路２４、および
前記チャネル光導波路アレイ２３と出力用チャネル光導
波路２２とを接続する出力側扇型スラブ光導波路２５で
構成される。ＡＷＧ型光波長合分波器５もＡＷＧ型光波
長合分波器４と基本構造は同じである。ここで、ＡＷＧ
型光波長合分波器４の中心周波数（ｆ01）は１９３１０
０ＧＨｚに、ＡＷＧ型光波長合分波器５の中心周波数
（ｆ02）は、前段のＭＺＩ型光波長合分波器１の分波間
隔１０ＧＨｚに対応して、１９３１１０ＧＨｚに設定さ
れる。また、ＡＷＧ型光波長合分波器４の出射口２６、
並びにＡＷＧ型光波長合分波器５の出射口２７は、ファ
イバアレイ等との接続が容易に行えるように、光導波路
を同一平面内に２５０μｍ間隔に並べて配置している。
【００１９】本実施の形態の光波長合分波器は、以下の
方法により作製される。まず、シリコン（Ｓｉ）基板上
に火炎堆積法によって二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主
成分とする下部クラッド層を堆積し、次に、二酸化ゲル
マニウム（ＧｅＯ2）をドーパントとして添加した二酸
化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とするコア層を堆積し
た後に、電気炉で透明ガラス化する。次に、エッチング
して光導波路部分を作製し、再び二酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏ2）を主成分とする上部クラッド層を堆積する。そし
て、最後に薄膜ヒータ型熱光学位相シフタ（１７，１
８）を上部クラッド層に形成した。なお、光導波路のコ
ア層のサイズは、７μｍ×７μｍで、コア層とクラッド
層との比屈折率差Δは０．７５％とした。
方法により作製される。まず、シリコン（Ｓｉ）基板上
に火炎堆積法によって二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主
成分とする下部クラッド層を堆積し、次に、二酸化ゲル
マニウム（ＧｅＯ2）をドーパントとして添加した二酸
化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とするコア層を堆積し
た後に、電気炉で透明ガラス化する。次に、エッチング
して光導波路部分を作製し、再び二酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏ2）を主成分とする上部クラッド層を堆積する。そし
て、最後に薄膜ヒータ型熱光学位相シフタ（１７，１
８）を上部クラッド層に形成した。なお、光導波路のコ
ア層のサイズは、７μｍ×７μｍで、コア層とクラッド
層との比屈折率差Δは０．７５％とした。
【００２０】以下、本実施の形態の光波長合分波器の動
作原理について説明する。例えば、ＭＺＩ型光波長合分
波器１のＦＳＲ（Free Spectral Range）をＮ（ＧＨ
ｚ）とすると、２本の出力用光導波路１２の一方からは
周波数が、ｆ，ｆ±Ｎ，ｆ±２Ｎ・・・・・の出力が、
他方からは周波数が、ｆ±（１／２）Ｎ，ｆ±（３／
２）Ｎ・・・・・が得られる。この出力用光導波路１２
の二つの出力に、互いに等しい分波間隔Ｎ（ＧＨｚ）を
有し、中心周波数（ｆｏ）がそれぞれ、ｆ，ｆ＋（１／
２）ＮのＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）をそれぞれ
接続する。したがって、周波数間隔Ｎ／２（ＧＨｚ）で
周波数多重化された光信号は、ＭＺＩ型光波長合分波器
１において周波数間隔がＮ（ＧＨｚ）で周波数が互いに
Ｎ／２（ＧＨｚ）ずれた二つの信号光束（光信号群）に
分離され、その後その二つの信号光束は、さらに中心周
波数が互いにＮ／２（ＧＨｚ）異なる二つのＡＷＧ型光
波長合分波器（４，５）に入力される。この結果、二つ
のＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）の和として、分波
間隔Ｎ（ＧＨｚ）のＡＷＧ型光波長合分波器のクロスト
ークが維持されたまま、分波間隔Ｎ／２（ＧＨｚ）の出
力が得られる。即ち、本実施の形態の光波長合分波器に
よれば、周波数間隔Ｎ／２（ＧＨｚ）の光信号を分波す
るのに、分波間隔Ｎ（ＧＨｚ）のＡＷＧ型光波長合分波
器を使用することができるので、波長合分波間隔Ｎ／２
（ＧＨｚ）のＡＷＧ型光波長合分波器を単独で使用する
場合に比較して、クロストークを著しく改善することが
できる。
作原理について説明する。例えば、ＭＺＩ型光波長合分
波器１のＦＳＲ（Free Spectral Range）をＮ（ＧＨ
ｚ）とすると、２本の出力用光導波路１２の一方からは
周波数が、ｆ，ｆ±Ｎ，ｆ±２Ｎ・・・・・の出力が、
他方からは周波数が、ｆ±（１／２）Ｎ，ｆ±（３／
２）Ｎ・・・・・が得られる。この出力用光導波路１２
の二つの出力に、互いに等しい分波間隔Ｎ（ＧＨｚ）を
有し、中心周波数（ｆｏ）がそれぞれ、ｆ，ｆ＋（１／
２）ＮのＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）をそれぞれ
接続する。したがって、周波数間隔Ｎ／２（ＧＨｚ）で
周波数多重化された光信号は、ＭＺＩ型光波長合分波器
１において周波数間隔がＮ（ＧＨｚ）で周波数が互いに
Ｎ／２（ＧＨｚ）ずれた二つの信号光束（光信号群）に
分離され、その後その二つの信号光束は、さらに中心周
波数が互いにＮ／２（ＧＨｚ）異なる二つのＡＷＧ型光
波長合分波器（４，５）に入力される。この結果、二つ
のＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）の和として、分波
間隔Ｎ（ＧＨｚ）のＡＷＧ型光波長合分波器のクロスト
ークが維持されたまま、分波間隔Ｎ／２（ＧＨｚ）の出
力が得られる。即ち、本実施の形態の光波長合分波器に
よれば、周波数間隔Ｎ／２（ＧＨｚ）の光信号を分波す
るのに、分波間隔Ｎ（ＧＨｚ）のＡＷＧ型光波長合分波
器を使用することができるので、波長合分波間隔Ｎ／２
（ＧＨｚ）のＡＷＧ型光波長合分波器を単独で使用する
場合に比較して、クロストークを著しく改善することが
できる。
【００２１】さらに、１０ＧＨｚで多重化された光信号
を分波する場合を例に挙げて、前記原理を具体的に補足
する。まず、１０ＧＨｚで多重化された光信号は、ＦＳ
Ｒが２０ＧＨｚのＭＺＩ型光波長合分波器１において、
周波数間隔２０ＧＨｚの二つに信号光束に分波される。
そして、それぞれの信号光束は、分波間隔が２０ＧＨｚ
の二つのＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）を通過する
ことにより、分波されて出力される。この結果、本実施
の形態の光波長合分波器全体では、周波数間隔１０ＧＨ
ｚの光波長分波を、従来の２０ＧＨｚの光波長合分波特
性を有するＡＷＧ型光波長合分波器と同等のクロストー
クで実現できる。図２は、本実施の形態の光波長合分波
器の光波長分波特性を示すグラフである。同図には、二
つのＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）からの出力光を
重ねて表示しており、同図中でＡと表示された光はＡＷ
Ｇ型光波長合分波器４から、Ｂと表示された光はＡＷＧ
型光波長合分波器５からの出力光を示している。なお、
本実施の形態の光波長合分波器で分波される光は、全部
で１２８波に及ぶが、図２では、特に中心周波数
（ｆ01）（１９３１００ＦＨｚ，図２のＡ５）前後の８
波と、中心周波数（ｆ02）（１９３１１０ＦＨｚ，図２
のＢ５）前後の８波、合計１６波分の光波長分波特性を
示している。図２のグラフから分かるように、従来のＡ
ＷＧ型光波長合分波器単体では−１４ｄＢのクロストー
クでしか実現されていなかった周波数間隔１０ＧＨｚの
光波長分波が、本実施の形態の光波長合分波器では−２
５ｄＢのクロストークまで改善されている。
を分波する場合を例に挙げて、前記原理を具体的に補足
する。まず、１０ＧＨｚで多重化された光信号は、ＦＳ
Ｒが２０ＧＨｚのＭＺＩ型光波長合分波器１において、
周波数間隔２０ＧＨｚの二つに信号光束に分波される。
そして、それぞれの信号光束は、分波間隔が２０ＧＨｚ
の二つのＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）を通過する
ことにより、分波されて出力される。この結果、本実施
の形態の光波長合分波器全体では、周波数間隔１０ＧＨ
ｚの光波長分波を、従来の２０ＧＨｚの光波長合分波特
性を有するＡＷＧ型光波長合分波器と同等のクロストー
クで実現できる。図２は、本実施の形態の光波長合分波
器の光波長分波特性を示すグラフである。同図には、二
つのＡＷＧ型光波長合分波器（４，５）からの出力光を
重ねて表示しており、同図中でＡと表示された光はＡＷ
Ｇ型光波長合分波器４から、Ｂと表示された光はＡＷＧ
型光波長合分波器５からの出力光を示している。なお、
本実施の形態の光波長合分波器で分波される光は、全部
で１２８波に及ぶが、図２では、特に中心周波数
（ｆ01）（１９３１００ＦＨｚ，図２のＡ５）前後の８
波と、中心周波数（ｆ02）（１９３１１０ＦＨｚ，図２
のＢ５）前後の８波、合計１６波分の光波長分波特性を
示している。図２のグラフから分かるように、従来のＡ
ＷＧ型光波長合分波器単体では−１４ｄＢのクロストー
クでしか実現されていなかった周波数間隔１０ＧＨｚの
光波長分波が、本実施の形態の光波長合分波器では−２
５ｄＢのクロストークまで改善されている。
【００２２】［実施の形態２］図３は、本発明の実施の
形態２の光波長合分波器の概略構成を示す図である。同
図に示すように、本実施の形態の光波長合分波器は、周
波数間隔１０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺＩ型光
波長合分波器１と、周波数間隔２０ＧＨｚの波長分波特
性を有するＭＺＩ型光波長合分波器（２ａ，２ｂ）と、
さらに、周波数間隔４０ＧＨｚの波長分波特性を有する
６４×６４チャネルの２個のＡＷＧ型光波長合分波器
（４〜７）とが、上層８と下層９の２層構造を構成して
形成される。
形態２の光波長合分波器の概略構成を示す図である。同
図に示すように、本実施の形態の光波長合分波器は、周
波数間隔１０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺＩ型光
波長合分波器１と、周波数間隔２０ＧＨｚの波長分波特
性を有するＭＺＩ型光波長合分波器（２ａ，２ｂ）と、
さらに、周波数間隔４０ＧＨｚの波長分波特性を有する
６４×６４チャネルの２個のＡＷＧ型光波長合分波器
（４〜７）とが、上層８と下層９の２層構造を構成して
形成される。
【００２３】前記周波数間隔１０ＧＨｚの波長分波特性
を有するＭＺＩ型光波長合分波器１は、上層８上の光導
波路３１、下層９上の光導波路３２から構成されてお
り、１３，１４の部分において上下に結合率３ｄＢの方
向性結合器を構成している。また、１５，１６は、方向
性結合器（１３，１４）を接続するアーム光導波路であ
り、このアーム光導波路（１５，１６）は１０ｍｍの光
路長差を有する。さらに、アーム光導波路１５上の中間
クラッド層上面には、薄膜ヒータ型熱光学位相シフタ１
７、アーム光導波路１６上の上部クラッド層上には、薄
膜ヒータ型熱光学位相シフタ１８が設けられており、光
路長の微調整を行うことが可能である。上層８上におけ
る、周波数間隔２０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺ
Ｉ型光波長合分波器２ａと、下層９上における、周波数
間隔２０ＧＨｚ間隔の波長分波特性を有するＭＺＩ型光
波長合分波器２ｂとは、回路の基本構成については前記
周波数間隔１０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺＩ型
光波長合分波器１と同じであるが、アーム光導波路が５
ｍｍの光路長差を有する。
を有するＭＺＩ型光波長合分波器１は、上層８上の光導
波路３１、下層９上の光導波路３２から構成されてお
り、１３，１４の部分において上下に結合率３ｄＢの方
向性結合器を構成している。また、１５，１６は、方向
性結合器（１３，１４）を接続するアーム光導波路であ
り、このアーム光導波路（１５，１６）は１０ｍｍの光
路長差を有する。さらに、アーム光導波路１５上の中間
クラッド層上面には、薄膜ヒータ型熱光学位相シフタ１
７、アーム光導波路１６上の上部クラッド層上には、薄
膜ヒータ型熱光学位相シフタ１８が設けられており、光
路長の微調整を行うことが可能である。上層８上におけ
る、周波数間隔２０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺ
Ｉ型光波長合分波器２ａと、下層９上における、周波数
間隔２０ＧＨｚ間隔の波長分波特性を有するＭＺＩ型光
波長合分波器２ｂとは、回路の基本構成については前記
周波数間隔１０ＧＨｚの波長分波特性を有するＭＺＩ型
光波長合分波器１と同じであるが、アーム光導波路が５
ｍｍの光路長差を有する。
【００２４】周波数間隔４０ＧＨｚの波長分波特性を有
するＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）の中で、ＡＷＧ
型光波長合分波器４とＡＷＧ型光波長合分波器５とが上
層８に配置され、ＡＷＧ型光波長合分波器６とＡＷＧ型
光波長合分波器７とが下層９に配置される。これらＡＷ
Ｇ型光波長合分波器（４〜７）の基本構成はほぼ同じ
で、ＡＷＧ型光波長合分波器４を例に挙げれば、入力用
チャネル光導波路２１、出力用チャネル光導波路２２、
チャネル光導波路アレイ２３、前記入力用チャネル光導
波路２１とチャネル光導波路アレイ２３とを接続する入
力側扇型スラブ光導波路２４、および前記チャネル光導
波路アレイ２３と出力用チャネル光導波路２２とを接続
する出力側扇型スラブ光導波路２５で構成される。ここ
で、ＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）の中心周波数
（ｆ01〜ｆ04）は、前段のＭＺＩ型光波長合分波器（２
ａ，２ｂ）の分波間隔２０ＧＨｚに対応して、１９３０
９０ＧＨｚ、１９３１００ＧＨｚ、１９３１１０ＧＨ
ｚ、１９３１２０ＧＨｚに設定される。また、図４に示
すように、ＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）の出射口
（２６〜２９）は、一定のまとまりを持って形成され、
ファイバアレイ等との接続が容易に行えるようにされて
いる。
するＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）の中で、ＡＷＧ
型光波長合分波器４とＡＷＧ型光波長合分波器５とが上
層８に配置され、ＡＷＧ型光波長合分波器６とＡＷＧ型
光波長合分波器７とが下層９に配置される。これらＡＷ
Ｇ型光波長合分波器（４〜７）の基本構成はほぼ同じ
で、ＡＷＧ型光波長合分波器４を例に挙げれば、入力用
チャネル光導波路２１、出力用チャネル光導波路２２、
チャネル光導波路アレイ２３、前記入力用チャネル光導
波路２１とチャネル光導波路アレイ２３とを接続する入
力側扇型スラブ光導波路２４、および前記チャネル光導
波路アレイ２３と出力用チャネル光導波路２２とを接続
する出力側扇型スラブ光導波路２５で構成される。ここ
で、ＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）の中心周波数
（ｆ01〜ｆ04）は、前段のＭＺＩ型光波長合分波器（２
ａ，２ｂ）の分波間隔２０ＧＨｚに対応して、１９３０
９０ＧＨｚ、１９３１００ＧＨｚ、１９３１１０ＧＨ
ｚ、１９３１２０ＧＨｚに設定される。また、図４に示
すように、ＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）の出射口
（２６〜２９）は、一定のまとまりを持って形成され、
ファイバアレイ等との接続が容易に行えるようにされて
いる。
【００２５】本実施の形態の光波長合分波器は、以下の
方法により作製される。まず、シリコン（Ｓｉ）基板上
に火炎堆積法によって二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主
成分とする下部クラッド層を堆積し、次に、二酸化ゲル
マニウム（ＧｅＯ2）をドーパントとして添加した二酸
化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とするコア層を堆積し
た後に、電気炉で透明ガラス化する。次に、エッチング
して下部光導波路部分を作製し、再び二酸化シリコン
（ＳｉＯ2）を主成分とする中間クラッド層を堆積し、
その上部に、薄膜ヒータ型熱光学位相シフタを作製す
る。さらに、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）をドーパ
ントとして添加した二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成
分とするコア層を堆積し、エッチングして上部光導波路
部分を作製し、再び二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成
分とする上部クラッド層を堆積した。そして、最後に薄
膜ヒータ型熱光学位相シフタを上部クラッド層に形成す
る。なお、光導波路のコア層のサイズは、７μｍ×７μ
ｍで、コア層とクラッド層との比屈折率差Δは０．７５
％とした（このような多層化された光導波路について
は、鈴木他，1992年電子情報通信学会秋期大会予稿集4-
25を参照されたい）。
方法により作製される。まず、シリコン（Ｓｉ）基板上
に火炎堆積法によって二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主
成分とする下部クラッド層を堆積し、次に、二酸化ゲル
マニウム（ＧｅＯ2）をドーパントとして添加した二酸
化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とするコア層を堆積し
た後に、電気炉で透明ガラス化する。次に、エッチング
して下部光導波路部分を作製し、再び二酸化シリコン
（ＳｉＯ2）を主成分とする中間クラッド層を堆積し、
その上部に、薄膜ヒータ型熱光学位相シフタを作製す
る。さらに、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）をドーパ
ントとして添加した二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成
分とするコア層を堆積し、エッチングして上部光導波路
部分を作製し、再び二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成
分とする上部クラッド層を堆積した。そして、最後に薄
膜ヒータ型熱光学位相シフタを上部クラッド層に形成す
る。なお、光導波路のコア層のサイズは、７μｍ×７μ
ｍで、コア層とクラッド層との比屈折率差Δは０．７５
％とした（このような多層化された光導波路について
は、鈴木他，1992年電子情報通信学会秋期大会予稿集4-
25を参照されたい）。
【００２６】以下、本実施の形態の光波長合分波器の動
作原理について説明する。本実施の形態では、さらにク
ロストークを低減するために、ＦＳＲが２０ＧＨｚの一
個のＭＺＩ型光波長合分波器１と、ＦＳＲが４０ＧＨｚ
の二個のＭＺＩ型光波長合分波器（２ａ，２ｂ）とを多
段に接続し、１０ＧＨｚで多重化された光信号を、周波
数間隔４０ＧＨｚの４つの信号光束に波長分波を行う
（Takato etal.,IEEEJ.SelectedAreas in Commun.Vol.8
(1990)1120.）。その後、それぞれの信号光束を、周波
数間隔４０ＧＨｚの四個のＡＷＧ型光波長合分波器（４
〜７）で分波する。したがって、本実施の形態によれ
ば、光波長合分波器全体では、周波数間隔１０ＧＨｚの
波長分波を、従来の、周波数間隔４０ＧＨｚの光波長合
分波特性を持つＡＷＧ型光波長合分波器と同等のクロス
トークで実現することができる。
作原理について説明する。本実施の形態では、さらにク
ロストークを低減するために、ＦＳＲが２０ＧＨｚの一
個のＭＺＩ型光波長合分波器１と、ＦＳＲが４０ＧＨｚ
の二個のＭＺＩ型光波長合分波器（２ａ，２ｂ）とを多
段に接続し、１０ＧＨｚで多重化された光信号を、周波
数間隔４０ＧＨｚの４つの信号光束に波長分波を行う
（Takato etal.,IEEEJ.SelectedAreas in Commun.Vol.8
(1990)1120.）。その後、それぞれの信号光束を、周波
数間隔４０ＧＨｚの四個のＡＷＧ型光波長合分波器（４
〜７）で分波する。したがって、本実施の形態によれ
ば、光波長合分波器全体では、周波数間隔１０ＧＨｚの
波長分波を、従来の、周波数間隔４０ＧＨｚの光波長合
分波特性を持つＡＷＧ型光波長合分波器と同等のクロス
トークで実現することができる。
【００２７】図５は、本実施の形態の光波長合分波器の
光波長分波特性を示すグラフである。同図には、四つの
ＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）からの出力光を重ね
て表示しており、同図中でＡと表示された光はＡＷＧ型
光波長合分波器４から、Ｂと表示された光はＡＷＧ型光
波長合分波器５から、Ｃと表示された光はＡＷＧ型光波
長合分波器６から、Ｄと表示された光はＡＷＧ型光波長
合分波器７からの出力光を示している。なお、本実施の
形態の光波長合分波器で分波される光は、全部で２５６
波に及ぶが、図５では、特に中心周波数（ｆ01）（１９
３０９０ＦＨｚ，図５のＡ３）前後の４波と、中心周波
数（ｆ02）（１９３１００ＦＨｚ，図５のＢ３）前後の
４波、中心周波数（ｆ03）（１９３１１０ＦＨｚ，図５
のＣ３）前後の４波と、中心周波数（ｆ04）（１９３１
２０ＦＨｚ，図５のＤ３）前後の４波、合計１６波分の
光波長分波特性を示している。図５のグラフから分かる
ように、従来ＡＷＧ型光波長合分波器単体では−１４ｄ
Ｂのクロストークでしか実現されていなかった周波数間
隔１０ＧＨｚの光波長分波が、本実施の形態の光波長合
分波器では−３５ｄＢのクロストークまで改善されてい
る。
光波長分波特性を示すグラフである。同図には、四つの
ＡＷＧ型光波長合分波器（４〜７）からの出力光を重ね
て表示しており、同図中でＡと表示された光はＡＷＧ型
光波長合分波器４から、Ｂと表示された光はＡＷＧ型光
波長合分波器５から、Ｃと表示された光はＡＷＧ型光波
長合分波器６から、Ｄと表示された光はＡＷＧ型光波長
合分波器７からの出力光を示している。なお、本実施の
形態の光波長合分波器で分波される光は、全部で２５６
波に及ぶが、図５では、特に中心周波数（ｆ01）（１９
３０９０ＦＨｚ，図５のＡ３）前後の４波と、中心周波
数（ｆ02）（１９３１００ＦＨｚ，図５のＢ３）前後の
４波、中心周波数（ｆ03）（１９３１１０ＦＨｚ，図５
のＣ３）前後の４波と、中心周波数（ｆ04）（１９３１
２０ＦＨｚ，図５のＤ３）前後の４波、合計１６波分の
光波長分波特性を示している。図５のグラフから分かる
ように、従来ＡＷＧ型光波長合分波器単体では−１４ｄ
Ｂのクロストークでしか実現されていなかった周波数間
隔１０ＧＨｚの光波長分波が、本実施の形態の光波長合
分波器では−３５ｄＢのクロストークまで改善されてい
る。
【００２８】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明
は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは
勿論である。
前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明
は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは
勿論である。
【００２９】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。 （１）本発明によれば、１個の非対称マハツェンダ干渉
計型光波長合分波器と、当該非対称マハツェンダ干渉計
型光波長合分波器の２つの出力にそれぞれ接続される２
個のアレイ導波路格子型光波長合分波器とを基本構造と
し、当該基本構造を１つ以上含むようにしたので、従来
のアレイ導波路格子型光波長合分波器単独の特性よりも
低クロストークで、光波長合分波を実現することが可能
となる。 （２）本発明によれば、アレイ導波路格子型光波長合分
波器のアレイ光導波路格子において、その１本１本の位
相誤差補正を回避することができるので、量産化、低コ
スト化を図ることが可能となる。 （３）本発明によれば、光波長合分波器を構成する光導
波路を、２層以上に積層するようにしたので、光波長合
分波器をコンパクトに作製することが可能となる。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。 （１）本発明によれば、１個の非対称マハツェンダ干渉
計型光波長合分波器と、当該非対称マハツェンダ干渉計
型光波長合分波器の２つの出力にそれぞれ接続される２
個のアレイ導波路格子型光波長合分波器とを基本構造と
し、当該基本構造を１つ以上含むようにしたので、従来
のアレイ導波路格子型光波長合分波器単独の特性よりも
低クロストークで、光波長合分波を実現することが可能
となる。 （２）本発明によれば、アレイ導波路格子型光波長合分
波器のアレイ光導波路格子において、その１本１本の位
相誤差補正を回避することができるので、量産化、低コ
スト化を図ることが可能となる。 （３）本発明によれば、光波長合分波器を構成する光導
波路を、２層以上に積層するようにしたので、光波長合
分波器をコンパクトに作製することが可能となる。
【図１】本発明の実施の形態１の光波長合分波器の概略
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】本実施の形態１の光波長合分波器の光波長分波
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図３】本発明の実施の形態２の光波長合分波器の概略
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図４】本実施の形態２における出射口の光導波路配置
を示す図である。
を示す図である。
【図５】本実施の形態２の光波長合分波器の光波長分波
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図６】従来のＭＺＩ型光波長合分波器の一例の概略構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図７】ＭＺＩ型光波長合分波器を多段に接続し多チャ
ネル化した光波長合分波器の一例の概略構成を示す図で
ある。
ネル化した光波長合分波器の一例の概略構成を示す図で
ある。
【図８】従来のＡＷＧ型光波長合分波器の一例の概略構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図９】従来のＡＷＧ型光波長合分波器におけるチャネ
ル間隔とクロストークとの関係を示すグラフである。
ル間隔とクロストークとの関係を示すグラフである。
１，２ａ，２ｂ，３ａ〜３ｄ…非対称マハツェンダ干渉
計型光波長合分波器、４，５，６，７…アレイ導波路格
子型光波長合分波器、８…上層、９…下層、１０…基
板、１１…入力用光導波路、１２…出力用光導波路、１
３，１４…方向性結合器、１５，１６…アーム光導波
路、１７，１８…薄膜ヒーター型熱光学位相シフタ、２
１…入力用チャネル光導波路、２２…出力用チャネル光
導波路、２３…チャネル光導波路アレイ、２４…入力側
扇型スラブ光導波路、２５…出力側扇型スラブ光導波
路、２６，２７，２８，２９…出射口、３１，３２…光
導波路。
計型光波長合分波器、４，５，６，７…アレイ導波路格
子型光波長合分波器、８…上層、９…下層、１０…基
板、１１…入力用光導波路、１２…出力用光導波路、１
３，１４…方向性結合器、１５，１６…アーム光導波
路、１７，１８…薄膜ヒーター型熱光学位相シフタ、２
１…入力用チャネル光導波路、２２…出力用チャネル光
導波路、２３…チャネル光導波路アレイ、２４…入力側
扇型スラブ光導波路、２５…出力側扇型スラブ光導波
路、２６，２７，２８，２９…出射口、３１，３２…光
導波路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−261175（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−267902（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−157918（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−261181（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−98419（ＪＰ，Ａ) 米国特許5488680（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/12 - 6/14 G02B 6/28 - 6/293 G02F 1/00 - 1/035 G02F 1/29 - 1/313
Claims (4)
- 【請求項１】 平面基板上に形成される光導波路により
構成される光波長合分波器であって、ＦＳＲがＮ［ＧＨｚ］（Ｎは実数）である １個の非対称
マハツェンダ干渉計型光波長合分波器と、 当該非対称マハツェンダ干渉計型光波長合分波器の２つ
の出力にそれぞれ接続され、波長合分波間隔がＮ［ＧＨ
ｚ］である２個のアレイ導波路格子型光波長合分波器と
を１つの基本構造として、前記基本構造を１組以上含む
ことを特徴とする光波長合分波器。 - 【請求項２】 前記光導波路は、石英を主成分とする材
料により作成されることを特徴とする請求項１に記載の
光波長合分波器。 - 【請求項３】 前記光導波路の少なくとも１部は、２層
以上に積層されて構成されることを特徴とする請求項１
または請求項２に記載の光波長合分波器。 - 【請求項４】 前記光波長合分波器の入出力部分におい
て、少なくとも１本の光導波路とそれに隣接する光導波
路が同一平面上に形成されていることを特徴とする請求
項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の光波長合分
波器。
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-
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