JP2003075662A - 光波長合分波器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 導波路における光の放射損失を小さくするこ
とができ、これによって本光波長合分波器から出力され
る分波波長の変化を十分に抑制することができる光波長
合分波器を提供する。 【解決手段】 入射された光波を分波し、この分波され
た各光波を位相シフトし、この位相シフトされた各光波
を合波する導波路２，３，５を基板７上に形成して成る
光波長合分波器であって、導波路３の何れかに、当該導
波路３を横断する長方形状の溝８ａ３〜８ｅ３を３つ以
上独立して形成し、この形成された各溝に光学樹脂を充
填し、更に各溝８ａ３〜８ｅ３のうち両端の溝８ａ３，
８ｅ３の幅を、他の溝溝８ｂ３〜８ｄ３の幅の半分の寸
法とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信の分野にお
いて、波長多重伝送を行う上で用いられる光波長合分波
器に関する。

【０００２】

【従来の技術】光通信の分野においては、複数の信号を
別々の波長の光にのせ、これを１本の光ファイバで伝送
することによって情報容量を増加させる波長分割多重方
式が検討されている。この方式では、異なる波長の光を
合分波する光波長合分波器が重要な役割を果たしてい
る。特に、マッハ・ツェンダ干渉計やアレイ導波路回折
格子を用いた光波長合分波器は、狭い波長間隔の合分波
を実現可能であり、通信容量の多重数を容易に大きくで
きる利点がある。

【０００３】図９に、従来の温度無依存化マッハ・ツェ
ンダ型光波長合分波器の光回路を示し、その説明を行
う。

【０００４】図９に示す光波長合分波器は、基板７上
に、入力用チャネル導波路１と、入力用チャネル導波路
１に接続された入力側光分配用導波路２と、出力用チャ
ネル導波路６と、出力用チャネル導波路６に接続された
出力側光分配用導波路５と、入力側光分配用導波路２及
び出力側光分配用導波路５の間に接続された２本の移相
用チャネル導波路３とを備えて構成されている。また、
移相用チャネル導波路３の一方には、等しい溝幅Ｗをも
つ溝８ａ〜８ｄが形成されている。

【０００５】入力用チャネル導波路１から入力された光
波は、入力側光分配用導波路２内を伝搬し、各移相用チ
ャネル導波路３に入射される。各移相用チャネル導波路
３を伝搬する際に位相変化を受け、出力側光分配用導波
路５に入射される。出力側光分配用導波路５内の光波は
干渉し、出力用チャネル導波路６に到達する。ここで、
光波の干渉パターンが波長により異なるため、光合分波
機能が実現される。

【０００６】ここで、通常の材料を用いて光回路を構成
した場合、温度が変化すると、熱光学効果によって材料
の屈折率が変化し、このことにより移相用チャネル導波
路３の等価屈折率が変化する。さらに熱膨張によって移
相用チャネル導波路３の長さも変化する。このことによ
り、温度によって移相用チャネル導波路３で受ける位相
変化量が変化してしまう。

【０００７】この変化は波長によって異なるため、結果
として出力される分波波長が変化してしまう。ここで、
一例として石英系材料で構成した場合を考えると、波長
１．５５μｍ付近での温度による分波波長の変化は、
０．０１ｎｍ／℃となる。従って、例えば０〜６０℃の
環境温度で使用する場合には、最大０．６ｎｍ波長がシ
フトしてしまう。このため、このままでは実用システム
には使用できず、光回路の温度制御を行う必要がある。

【０００８】温度による波長シフトを低減し、温度制御
をせず実用システムに使用する温度無依存化方法とし
て、光回路の一部に溝を設け、その中に、屈折率の温度
係数が光回路と異なる材料を充填し、温度による位相変
化の波長依存性を補償する方法がある。この方法は、Y.
Inoue等による"Athermal silica-based arrayed-wavegu
ide grating(AWG) multiplexer",ECOC97 Technical Dig
est,pp.33-36,1997に詳細に述べられている。

【０００９】溝では、基板７と垂直方向の光の閉じ込め
構造が無いため、大きな回折損失が生じる。そこで、溝
を複数に分割して溝一段当たりの回折損失を減らし、さ
らに、溝同士を最適な溝間隔として、溝部で集光する作
用を生じさせることにより、溝全体としての回折損失を
低減する方法がある。図１０に、溝幅をパラメータとし
たときの溝配置間隔と損失の関係を示す。各溝幅におい
て、最適な溝配置間隔があることが分かる。このことか
ら、図９に示した温度無依存化マッハ・ツェンダ型光波
長合分波器では、移相用チャネル導波路３の一方に、等
しい溝幅Ｗをもつ溝８ａ〜８ｄを形成している。

【００１０】次に、図１１に従来の温度無依存化アレイ
導波路格子型光波長合分波器の光回路を示し、その説明
を行う。但し、この図１１において図９の各部に対応す
る部分には同一符号を付す。

【００１１】この図１１に示す光波長合分波器でも、複
数の移相用チャネル導波路３に、等しい溝幅Ｗをもつ溝
８ａ１〜８ｄ１を形成している。各溝８ａ１〜８ｄ１
は、移相用チャネル導波路３の長さが内側の導波路から
外側の導波路に向けて直線的に増加するため、溝全体の
幅も直線的に増加させて温度による位相変化量の補償量
が各移相用チャネル導波路３で一定になるように溝端が
楔形状に成されている。この構造としては、A.Kaneko等
による"Athermal silica-based arrayed-waveguide gra
ting(AWG) multiplexers with new loss groove desig
n",OFC'99 Technical Digest,TuO1,pp.204-206,1999に
詳細に述べられている。

【００１２】図１２に、従来の温度無依存化アレイ導波
路格子型光波長合分波器の光回路の他の例を示し、その
説明を行う。但し、この図１２において図１１の各部に
対応する部分には同一符号を付す。

【００１３】この図１２に示す例では、入力側光分配用
導波路２に、開き角θが同じ複数の楔形の溝８ａ２〜８
ｄ２を設けている。この構造としては、K.Maru等によ
る"Athermal and center wavelength adjustable array
ed-waveguide grating",OFC2000 Technical Digestに詳
細に述べられている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の光波長合分波器においては、上述したように光回路の
移相用チャネル導波路３に複数の溝を設け、それら溝に
屈折率の温度係数が光回路と異なる材料を充填すること
によって温度による位相変化の波長依存性を補償し、こ
れによって光波長合分波器から出力される分波波長の変
化を抑制する構造が採られている。しかし、この溝構造
でも導波路における光の放射損失が０．３〜０．７ｄＢ
と比較的大きくなり、出力分波波長の変化を十分に抑制
することができないという問題がある。

【００１５】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、導波路における光の放射損失を小さくすることが
でき、これによって本光波長合分波器から出力される分
波波長の変化を十分に抑制することができる光波長合分
波器を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の光波長合分波器は、入射された光波を分波
し、この分波された各光波を位相シフトし、この位相シ
フトされた各光波を合波する導波路を基板上に形成して
成る光波長合分波器において、前記導波路に、当該導波
路を横断する四方形状の溝が３つ以上独立して形成さ
れ、この形成された各溝に光学樹脂が充填され、この各
溝のうち両端又は一端の溝の幅が、他の溝の幅の半分の
寸法に成されていることを特徴としている。

【００１７】また、本発明の光波長合分波器は、入射さ
れた光波を分波する分波用導波路と、この分波用導波路
で分波された各光波を位相シフトする複数の移相用導波
路と、この各移相用導波路で位相シフトされた各光波を
合波する合波用導波路とを基板上に形成して成る光波長
合分波器において、前記複数の移相用導波路の何れか又
は全てに、当該導波路を横断する四方形状の溝が３つ以
上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹脂が
充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の幅が、他
の溝の幅の半分の寸法に成されていることを特徴として
いる。

【００１８】また、前記複数の移相用導波路に代え、前
記分波用導波路に、当該導波路を横断する四方形状の溝
が３つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光
学樹脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の
幅が、他の溝の幅の半分の寸法に成されていることを特
徴としている。

【００１９】また、前記複数の移相用導波路に代え、前
記合波用導波路に、当該導波路を横断する四方形状の溝
が３つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光
学樹脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の
幅が、他の溝の幅の半分の寸法に成されていることを特
徴としている。

【００２０】また、本発明の光波長合分波器は、入射さ
れた光波を分波する分波用導波路と、この分波用導波路
で分波された各光波を位相シフトする複数の移相用導波
路と、この各移相用導波路で位相シフトされた各光波を
合波する合波用導波路とを基板上に形成して成る光波長
合分波器において、前記複数の移相用導波路の何れか又
は全てに、当該導波路を横断する楔形状の溝が３つ以上
独立して形成され、この形成された各溝に光学樹脂が充
填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の楔開き角
が、他の溝の楔開き角の半分の大きさに成されているこ
とを特徴としている。

【００２１】また、前記複数の移相用導波路に代え、前
記分波用導波路に、当該導波路を横断する楔形状の溝が
３つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光学
樹脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の楔
開き角が、他の溝の楔開き角の半分の大きさに成されて
いることを特徴としている。

【００２２】また、前記複数の移相用導波路に代え、前
記合波用導波路に、当該導波路を横断する楔形状の溝が
３つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光学
樹脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の楔
開き角が、他の溝の楔開き角の半分の大きさに成されて
いることを特徴としている。

【００２３】また、前記光学樹脂は、シリコーン系又は
エポキシ系光学樹脂であることを特徴としている。

【００２４】また、前記分波用導波路と、前記複数の移
相用導波路と、前記合波用導波路と、前記基板とは、石
英系材料で構成されていることを特徴としている。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。

【００２６】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態に係るマッハ・ツェンダ光波長合分波器
の光回路を示す図である。但し、この図１に示す第１の
実施の形態において図９の従来例の各部に対応する部分
には同一符号を付す。

【００２７】この図１に示す光波長合分波器は、石英の
基板７上に作製され、基板７上に石英系の材料によるコ
アが形成され、このコアにより光回路を構成している。
コア及び石英基板７の表面は、石英系の材料によるクラ
ッド膜で覆われている。光回路は、入力用チャネル導波
路１と、入力用チャネル導波路１に接続された入力側光
分配用導波路２と、出力用チャネル導波路６と、出力用
チャネル導波路６に接続された出力側光分配用導波路５
と、入力側光分配用導波路２及び出力側光分配用導波路
５の間に接続された２本の移相用チャネル導波路３とを
備え、移相用チャネル導波路３の一方に、光学樹脂が各
々に充填された複数の溝８ａ３〜８ｅ３が形成されるこ
とにより構成されている。

【００２８】また、各溝８ａ３〜８ｅ３は近接して配置
され、溝全体としての回折損失が最も小さくなる溝間隔
とされている。更に、図９に示した従来例の構造と比較
すると、移相用チャネル導波路３を横断する溝幅の合計
幅は同じであるが、両端の溝８ａ３，８ｅ３の溝幅Ｗ′
が、その間に挟まれた他の溝８ｂ３，８ｃ３，８ｄ３の
溝幅Ｗの半分であるＷ／２と成されており、更に全体の
溝の数が図９の従来例よりも１つ多く形成されている。
この例ではＷ＝３０μｍに形成されている。

【００２９】このように図１及び図９に示した光波長合
分波器は、移相用チャネル導波路３の一方のみに複数の
溝が形成されたものである。この場合、導波路の切除量
（溝幅の合計量）が相違して中心波長がシフトしてしま
うため、移相用チャネル導波路３を横断する溝幅の合計
を、全ての溝幅が等しく形成されている従来例と等しく
する必要がある。

【００３０】これに対して、図２に示すように、一部の
移相用チャネル導波路３だけでなく、全部の移相用チャ
ネル導波路３に溝幅Ｗの溝８ａ４〜８ｅ４と８ａ４′〜
８ｃ４′とが形成された態様の場合には、必ずしも移相
用チャネル導波路３を横断する溝幅の合計幅を等しくす
る必要はなく、即ち移相用チャネル導波路３あたりの溝
数を１つ増加させる必要はない。この場合、図３に示す
ように、両端の溝の少なくとも一方（８ａ４と８ａ
４′）の溝幅Ｗ′を、他の溝８ｂ４〜８ｅ４と８ｂ４′
〜８ｃ４′の溝幅Ｗに比べて半分（Ｗ／２）にするだけ
で、全ての溝幅８ａ４〜８ｅ４と８ａ４′〜８ｃ４′を
等しくする図２のものよりも導波路における光の放射損
失を減少させることができる。

【００３１】最も溝幅を半分にすることにより増加する
導波路長は、各移相用チャネル導波路３のそれぞれにお
いて等しくなければならない。また、図２の態様におい
て、両端の溝８ａ４，８ｅ４及び８ａ４′，８ｃ４′の
溝幅を、両方とも他の溝幅の半分とする構成にすれば
（図示せず）、一方の溝幅のみを半分とする図３の態様
と比べ更なる損失減少を図ることができる。

【００３２】このような、本実施の形態の光波長合分波
器における溝構造の利点を、従来例の溝構造と比較して
説明する。図４の（ａ）に従来例の光波長合分波器にお
ける溝構造を示し、（ｂ）に本実施の形態の光波長合分
波器における溝構造を示す。（ａ）に示す従来例の構造
では、周期的に溝８ａ〜８ｄを配置し、溝間の導波路長
が十分短い場合、溝間の導波路２１ａ〜２１ｃは、焦点
距離ｆを持つ凸レンズの役割を持つと考えることができ
る。

【００３３】ここで、溝配置間隔を最適化したとき、即
ち光の放射損失が最小となるように溝配置間隔を設定し
たとき、溝幅は焦点距離ｆの２倍となり、焦点位置２０
ａ〜２０ｄは、波線で示すように溝８ａ〜８ｄの中央に
あるとみなすことができる。更にここで、両端の溝８
ａ，８ｄに着目すると、（ａ）に示す従来例の構造で
は、溝幅が全て同じであるため、両端の溝８ａ，８ｄに
おいても焦点位置２０ａ，２０ｄは溝の中央にある。従
って、溝８ａ，８ｄに接続された導波路２２，２３の伝
搬モードと、溝内を自由伝搬して導波路２２，２３に到
達する光波の位相分布が異なり、結合損失が大きくな
る。

【００３４】一方、（ｂ）に示す本実施の形態の構造で
は、両端の溝８ａ３，８ｄ３に接続された導波路２２、
２３の端面と焦点位置２０ａ、２０ｅとが一致するた
め、位相分布のずれが小さくなり、結合損失を小さくす
ることができる。

【００３５】また、図５に、両端以外の溝幅３０μｍに
おける溝配置間隔と損失（光の放射損失）との関係を示
す。曲線３１は両端の溝幅を３０μｍとした場合の従来
の溝構造のものであり、曲線３２は両端の溝幅を１５μ
ｍとした場合の本実施の形態の場合のものである。この
図から分かるように、光の放射損失の最小損失は従来の
ものでは０．２９ｄＢ、本実施の形態のものでは０．１
３ｄＢとなり、この結果、０．１６ｄＢ損失を低減する
ことができた。

【００３６】（第２の実施の形態）図６は、本発明の第
２の実施の形態に係るアレイ回析格子型光波長合分波器
の光回路を示す図である。

【００３７】この図６に示す光波長合分波器の光回路
は、入力用チャネル導波路１と、入力用チャネル導波路
１に接続された入力側光分配用導波路２と、出力用チャ
ネル導波路６と、出力用チャネル導波路６に接続された
出力側光分配用導波路５と、入力側光分配用導波路２及
び出力側光分配用導波路５の間に接続された１５０本の
移相用チャネル導波路３とを備え、移相用チャネル導波
路３に、光学樹脂が各々に充填された複数の溝８ａ５〜
８ｅ５が形成されることにより構成されている。

【００３８】また各溝８ａ５〜８ｅ５は、各々一端が楔
形状を成し、入力側に最寄りであって全ての移相用チャ
ネル導波路３を横断する溝８ａ５の溝幅Ｗ′を、他の溝
幅Ｗの半分（Ｗ／２）として形成した。但し、Ｗ＝３０
μｍとする。

【００３９】このような構成の第２の実施の形態の光波
長合分波器においても、上記第１の実施の形態と同様の
作用効果によって、光の放射損失を減少させることがで
きる。

【００４０】（第３の実施の形態）図７は、本発明の第
３の実施の形態に係るアレイ回析格子型光波長合分波器
の光回路を示す図である。

【００４１】この図７に示す光波長合分波器の光回路
は、入力用チャネル導波路１と、入力用チャネル導波路
１に接続された入力側光分配用導波路２と、出力用チャ
ネル導波路６と、出力用チャネル導波路６に接続された
出力側光分配用導波路５と、入力側光分配用導波路２及
び出力側光分配用導波路５の間に接続された１５０本の
移相用チャネル導波路３とを備え、入力側光分配用導波
路２に、光学樹脂が各々に充填された複数の溝８ａ６〜
８ｄ６が形成されることにより構成されている。

【００４２】また各溝８ａ６〜８ｄ６は、各々楔形状を
成し、両端の溝８ａ６，８ｄ６の楔の開き角度θ′を、
他の溝８ｂ６，８ｃ６の楔の開き角度θの半分とした。

【００４３】このような構成の第３の実施の形態の光波
長合分波器においては、入力側光分配用導波路２に、両
端の溝８ａ６，８ｄ６の楔の開き角度θ′を、他の溝８
ｂ６，８ｃ６の楔の開き角度θの半分として複数の楔形
状の溝８ａ６〜８ｄ６を形成したので、上記第１の実施
の形態と同様な作用効果によって、図１２に示した従来
例の全て同じ角度の溝８ａ２〜８ｄ２を形成した場合に
比べ、光の放射損失を低減することができる。この従来
と本実施の形態の光波長合分波器における波長損失特性
の一例を図８に示す。この図から分かるように、光の放
射損失の最小損失は従来のものでは３．０ｄＢ、本実施
の形態のものでは２．８ｄＢとなり、この結果、０．２
ｄＢ損失を低減することができた。

【００４４】また、上記のように図７に示した両端の溝
８ａ６,８ｂ６の楔開き角θ′をそれぞれ半分としなく
ても、両者のうち少なくとも一方の楔開き角θ′を半分
とすれば、図１２に示した従来のものと比べ損失を減ら
すことができる。

【００４５】また、上記第１〜第３の実施の形態の光波
長合分波器では、移相用チャネル導波路３および入力側
光分配用導波路２に溝を設けた例を説明したが、出力側
光分配用導波路５に入力側光分配用導波路２と同様に溝
を設けても、同様の効果を得ることができる。

【００４６】また、上記第１〜第３の実施の形態の光波
長合分波器において、溝に挿入する光学樹脂の屈折率の
温度依存性は、光回路を構成する材料と大きく異なるほ
ど温度無依存化に効果的である。光回路を石英系材料で
構成する場合、光回路の屈折率の温度依存性は正の値と
なる。従って、光学樹脂としては、屈折率の温度依存性
が負の値となるシリコーン樹脂、エポキシ樹脂等が良
い。

【００４７】また、上記第１〜第３の実施の形態の光波
長合分波器は、光多重伝送システムに用いられる光波長
合分波器、Ｍ×Ｎ周波数ルーティング装置、Ａｄｄ／Ｄ
ｒｏｐフィルタ等に利用可能である。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
入射された光波を分波し、この分波された各光波を位相
シフトし、この位相シフトされた各光波を合波する導波
路を基板上に形成して成る光波長合分波器の導波路に、
当該導波路を横断する四方形状若しくは楔形状の溝が３
つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹
脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の幅若
しくは楔開き角が、他の溝の幅の半分の寸法若しくは他
の溝の楔開き角の半分の大きさに成されていることを特
徴としたので、導波路における光の放射損失を小さくす
ることができ、これによって本光波長合分波器から出力
される分波波長の変化を十分に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るマッハ・ツェ
ンダ光波長合分波器の光回路を示す図である。

【図２】第１の実施の形態に係るマッハ・ツェンダ光波
長合分波器の光回路において全ての入力側光分配用導波
路に複数の溝を形成した状態を示す図である。

【図３】第１の実施の形態に係るマッハ・ツェンダ光波
長合分波器の光回路において全ての入力側光分配用導波
路に複数の溝を形成し、一端の溝幅を他の溝幅の１／２
とした状態を示す図である。

【図４】従来例と第１の実施の形態に係るマッハ・ツェ
ンダ光波長合分波器の光回路における溝構造を示す図で
ある。

【図５】従来例と第１の実施の形態に係るマッハ・ツェ
ンダ光波長合分波器の光回路における溝配置間隔と損失
（光の放射損失）との関係を示す図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係るアレイ回析格
子型光波長合分波器の光回路を示す図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態に係るアレイ回析格
子型光波長合分波器の光回路を示す図である。

【図８】従来例と第３の実施の形態に係るマッハ・ツェ
ンダ光波長合分波器の光回路における波長損失特性を示
す図である。

【図９】従来のマッハ・ツェンダ光波長合分波器の光回
路を示す図である。

【図１０】従来のマッハ・ツェンダ光波長合分波器の光
回路における溝配置間隔と損失（光の放射損失）との関
係を示す図である。

【図１１】従来のアレイ回析格子型光波長合分波器の光
回路を示す図である。

【図１２】従来の他のアレイ回析格子型光波長合分波器
の光回路を示す図である。

【符号の説明】

１ 入力用チャネル導波路 ２ 入力側光分配用導波路 ３ 移相用チャネル導波路 ５ 出力側光分配用導波路 ６ 出力用チャネル導波路 ７ 基板 ８ａ〜８ｄ，８ａ１〜８ｄ１，８ａ２〜８ｄ２，８ａ３
〜８ｅ３，８ａ４〜８ｅ４，８ａ４′〜８ｅ４′，８ａ
５〜８ｄ５，８ａ６〜８ｄ６ 溝 ２０ａ〜２０ｅ 焦点位置 ２１ａ〜２１ｄ 導波路長 ２２，２３ 導波路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上塚 尚登 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA11 LA19 QA04 QA05 RA00 TA11 TA36

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入射された光波を分波し、この分波され
   た各光波を位相シフトし、この位相シフトされた各光波
   を合波する導波路を基板上に形成して成る光波長合分波
   器において、 前記導波路に、当該導波路を横断する四方形状の溝が３
   つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹
   脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の幅
   が、他の溝の幅の半分の寸法に成されていることを特徴
   とする光波長合分波器。
2. 【請求項２】 入射された光波を分波する分波用導波路
   と、この分波用導波路で分波された各光波を位相シフト
   する複数の移相用導波路と、この各移相用導波路で位相
   シフトされた各光波を合波する合波用導波路とを基板上
   に形成して成る光波長合分波器において、 前記複数の移相用導波路の何れか又は全てに、当該導波
   路を横断する四方形状の溝が３つ以上独立して形成さ
   れ、この形成された各溝に光学樹脂が充填され、この各
   溝のうち両端又は一端の溝の幅が、他の溝の幅の半分の
   寸法に成されていることを特徴とする光波長合分波器。
3. 【請求項３】 前記複数の移相用導波路に代え、前記分
   波用導波路に、当該導波路を横断する四方形状の溝が３
   つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹
   脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の幅
   が、他の溝の幅の半分の寸法に成されていることを特徴
   とする請求項２記載の光波長合分波器。
4. 【請求項４】 前記複数の移相用導波路に代え、前記合
   波用導波路に、当該導波路を横断する四方形状の溝が３
   つ以上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹
   脂が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の幅
   が、他の溝の幅の半分の寸法に成されていることを特徴
   とする請求項２記載の光波長合分波器。
5. 【請求項５】 入射された光波を分波する分波用導波路
   と、この分波用導波路で分波された各光波を位相シフト
   する複数の移相用導波路と、この各移相用導波路で位相
   シフトされた各光波を合波する合波用導波路とを基板上
   に形成して成る光波長合分波器において、 前記複数の移相用導波路の何れか又は全てに、当該導波
   路を横断する楔形状の溝が３つ以上独立して形成され、
   この形成された各溝に光学樹脂が充填され、この各溝の
   うち両端又は一端の溝の楔開き角が、他の溝の楔開き角
   の半分の大きさに成されていることを特徴とする光波長
   合分波器。
6. 【請求項６】 前記複数の移相用導波路に代え、前記分
   波用導波路に、当該導波路を横断する楔形状の溝が３つ
   以上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹脂
   が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の楔開き
   角が、他の溝の楔開き角の半分の大きさに成されている
   ことを特徴とする請求項５記載の光波長合分波器。
7. 【請求項７】 前記複数の移相用導波路に代え、前記合
   波用導波路に、当該導波路を横断する楔形状の溝が３つ
   以上独立して形成され、この形成された各溝に光学樹脂
   が充填され、この各溝のうち両端又は一端の溝の楔開き
   角が、他の溝の楔開き角の半分の大きさに成されている
   ことを特徴とする請求項５記載の光波長合分波器。
8. 【請求項８】 前記光学樹脂は、シリコーン系又はエポ
   キシ系光学樹脂であることを特徴とする請求項１〜７の
   いずれかに記載の光波長合分波器。
9. 【請求項９】 前記分波用導波路と、前記複数の移相用
   導波路と、前記合波用導波路と、前記基板とは、石英系
   材料で構成されていることを特徴とする請求項１〜８の
   いずれかに記載の光波長合分波器。