JP3300476B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に係り、
とくに、固体撮像装置に用いる光透過用光学窓（光透過
窓）に関するものである。
とくに、固体撮像装置に用いる光透過用光学窓（光透過
窓）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像装置は、各種監視用テレビジョ
ンや高品位テレビジョン等のカメラとして有望視されて
いる。これは、従来の撮像管では得られない特長がある
からであり、画像歪みがない、低電圧、低消費電力、小
型軽量、残像が少ない、直射日光による焼付けが無い、
衝撃に強いなどの優れた特性を備えている。図８は、従
来の固体撮像装置の断面図である。固体撮像装置は、通
常パッケージを備えており、ＣＣＤ（Charge Coupled D
evice ）などの電荷転送素子が固体撮像素子としてその
中に密封されている。パッケージ２は、アルミナ等のセ
ラミックからなり、開口部は、ガラスなどの透明体から
構成されたリッド（蓋）４によって密閉されている。外
部からの光を透過する事ができるので、この部分を光透
過窓４という。セラミックパッケ−ジ２内部の底面には
固体撮像素子１が載置されている。固体撮像素子１は、
例えば、駆動回路などを含むＣＣＤが形成されたシリコ
ン半導体基板（以下、チップという）から構成されてい
る。このチップ１は、裏面にエポキシ樹脂などの接着剤
（図示せず）が塗布されこのパッケ−ジ底面に固着して
いる。
ンや高品位テレビジョン等のカメラとして有望視されて
いる。これは、従来の撮像管では得られない特長がある
からであり、画像歪みがない、低電圧、低消費電力、小
型軽量、残像が少ない、直射日光による焼付けが無い、
衝撃に強いなどの優れた特性を備えている。図８は、従
来の固体撮像装置の断面図である。固体撮像装置は、通
常パッケージを備えており、ＣＣＤ（Charge Coupled D
evice ）などの電荷転送素子が固体撮像素子としてその
中に密封されている。パッケージ２は、アルミナ等のセ
ラミックからなり、開口部は、ガラスなどの透明体から
構成されたリッド（蓋）４によって密閉されている。外
部からの光を透過する事ができるので、この部分を光透
過窓４という。セラミックパッケ−ジ２内部の底面には
固体撮像素子１が載置されている。固体撮像素子１は、
例えば、駆動回路などを含むＣＣＤが形成されたシリコ
ン半導体基板（以下、チップという）から構成されてい
る。このチップ１は、裏面にエポキシ樹脂などの接着剤
（図示せず）が塗布されこのパッケ−ジ底面に固着して
いる。
【０００３】パッケ−ジ２は、内部側壁に段部２１が形
成されており、その段部の平坦部に一部が露出して接続
配線（図示せず）が形成されていう。接続配線は、パッ
ケ−ジ２の内部に埋め込まれていて、その底面から突出
している電極ピン６に内部で接続されている。電極ピン
６は、図に示すように、パッケ−ジ２の底面の向い合う
２辺に配列されている。この底面のすべての辺に電極ピ
ン６を植設し配列されことができる。また、１列のみで
なく、３列などの複数列で底面の２辺或いは４辺に配列
させることができる。この固体撮像装置を回路基板など
に搭載し、回路基板に形成された外部回路とこの固体撮
像装置とを電気的に接続するために、電極ピン６を回路
基板に接続し、さらに、チップ１上に形成された接続電
極（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とを電気
的に接続する。そのために、段部２１の平坦部に露出す
る接続配線とチップ１の接続電極とを、例えば、Ａｌや
Ａｕなどのボンディングワイヤ７で接続する。このパッ
ケ−ジ２は、チップ１を外気から保護し気密を保持する
ためにこれを搭載後密封される。そのためにパッケ−ジ
開口部は、透明なガラスのリッド４で封止される。
成されており、その段部の平坦部に一部が露出して接続
配線（図示せず）が形成されていう。接続配線は、パッ
ケ−ジ２の内部に埋め込まれていて、その底面から突出
している電極ピン６に内部で接続されている。電極ピン
６は、図に示すように、パッケ−ジ２の底面の向い合う
２辺に配列されている。この底面のすべての辺に電極ピ
ン６を植設し配列されことができる。また、１列のみで
なく、３列などの複数列で底面の２辺或いは４辺に配列
させることができる。この固体撮像装置を回路基板など
に搭載し、回路基板に形成された外部回路とこの固体撮
像装置とを電気的に接続するために、電極ピン６を回路
基板に接続し、さらに、チップ１上に形成された接続電
極（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とを電気
的に接続する。そのために、段部２１の平坦部に露出す
る接続配線とチップ１の接続電極とを、例えば、Ａｌや
Ａｕなどのボンディングワイヤ７で接続する。このパッ
ケ−ジ２は、チップ１を外気から保護し気密を保持する
ためにこれを搭載後密封される。そのためにパッケ−ジ
開口部は、透明なガラスのリッド４で封止される。
【０００４】半導体装置は、上記のようにチップを外気
から保護し、気密を保持するためにパッケ−ジングする
ことは、通常行われていることであるが、固体撮像装置
の場合は、上記目的以外に外部からの光を透過させ、固
体撮像素子に入射する機能を有する必要がある。このた
めリッド４にはガラスなどの透明体を用いている。しか
し、入射する光が固体撮像素子とリッドとの間で反射
し、十分な光が固体撮像素子に入らない。この様な反射
を防ぐために、通常は、透明なリッド４の表面に反射防
止膜５を形成している。反射防止膜５は外気に面した表
面だけではなく、パッケ−ジ２の内側に面するその裏面
にも形成して不要な反射が原因となる映像上の不具合を
防止している。反射防止膜５は、真空蒸着法などでガラ
ス表面の全面に堆積させる。この反射防止膜を形成する
には、ＭｇＦ2 などを用いるが、この材料以外の膜を複
数積層させることによって反射防止効果を向上させてい
る。複数の膜を反射防止膜に用いることは反射防止効果
のみを狙ったものではない。これだけでは、ＭｇＦ2 膜
の熱膨張係数は、リッドに用いるガラスより大きいの
で、固体撮像装置が高温になった場合に膜剥がれを起こ
すことがある。
から保護し、気密を保持するためにパッケ−ジングする
ことは、通常行われていることであるが、固体撮像装置
の場合は、上記目的以外に外部からの光を透過させ、固
体撮像素子に入射する機能を有する必要がある。このた
めリッド４にはガラスなどの透明体を用いている。しか
し、入射する光が固体撮像素子とリッドとの間で反射
し、十分な光が固体撮像素子に入らない。この様な反射
を防ぐために、通常は、透明なリッド４の表面に反射防
止膜５を形成している。反射防止膜５は外気に面した表
面だけではなく、パッケ−ジ２の内側に面するその裏面
にも形成して不要な反射が原因となる映像上の不具合を
防止している。反射防止膜５は、真空蒸着法などでガラ
ス表面の全面に堆積させる。この反射防止膜を形成する
には、ＭｇＦ2 などを用いるが、この材料以外の膜を複
数積層させることによって反射防止効果を向上させてい
る。複数の膜を反射防止膜に用いることは反射防止効果
のみを狙ったものではない。これだけでは、ＭｇＦ2 膜
の熱膨張係数は、リッドに用いるガラスより大きいの
で、固体撮像装置が高温になった場合に膜剥がれを起こ
すことがある。
【０００５】そこで、このＭｇＦ2 膜とガラスリッド４
との間に両者の中間の熱膨張係数を有する複数の膜を介
在させている。したがって、図１０に用いられる反射防
止膜５は、内側及び外側ともに、例えば、ＭｇＦ2 ／Ｚ
ｒＯ2 ／Ａｌ2 Ｏ3 の３層膜から構成されていれる。反
射防止膜５が両面に蒸着されたリッド４は、その周辺に
エポキシ樹脂などからなる接着剤層３によって、パッケ
−ジ２の開口部に固着される。接着剤層３は、外部から
の光を遮断するので、このリッド４が光透過窓であって
もこの接着剤が塗布されているリッドの周辺領域は、光
透過領域ではない。図９に、図８に示したパッケ−ジ２
の内部に面したリッド４裏面の平面図を示す。裏面全面
に堆積した反射防止膜５の上に重なって、裏面の周辺に
接着剤層３が形成されている。
との間に両者の中間の熱膨張係数を有する複数の膜を介
在させている。したがって、図１０に用いられる反射防
止膜５は、内側及び外側ともに、例えば、ＭｇＦ2 ／Ｚ
ｒＯ2 ／Ａｌ2 Ｏ3 の３層膜から構成されていれる。反
射防止膜５が両面に蒸着されたリッド４は、その周辺に
エポキシ樹脂などからなる接着剤層３によって、パッケ
−ジ２の開口部に固着される。接着剤層３は、外部から
の光を遮断するので、このリッド４が光透過窓であって
もこの接着剤が塗布されているリッドの周辺領域は、光
透過領域ではない。図９に、図８に示したパッケ−ジ２
の内部に面したリッド４裏面の平面図を示す。裏面全面
に堆積した反射防止膜５の上に重なって、裏面の周辺に
接着剤層３が形成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、リッド表面の
全面に反射防止膜を蒸着させた場合その光透過窓では、
以下のような問題がある。まず、前述した反射防止膜と
ガラスなどの光透過窓材料との密着性は、反射防止膜と
接着剤との密着性に比較してあまり良くない。とくに、
図８に示すように、反射防止膜の上に接着剤が塗布して
あるような場合には、熱ストレスが加わることによっ
て、反射防止膜と接着剤とは密着したまま反射膜が光透
過窓から剥離する。この様な剥離がパッケ−ジを密封し
てから発生すると、剥離したものがパッケ−ジ内で可動
ダストとなり、光の入射を妨げて映像特性が劣化するよ
うになる。また、パッケ−ジにチップを封止後、反射防
止膜が剥離すると、当然、その部分の接着剤も剥がれる
ので、パッケ−ジの気密性が損なわれる。その結果、光
透過窓の内壁が曇ったり、外の影響によって固体撮像素
子が損なわれ、画像特性が劣化する。本発明は、この様
な事情によりなされたもので、接着剤を塗布することに
よって、遮光特性が高く、光透過窓に形成した反射防止
膜及び接着剤の光透過窓からの剥離を防ぎ、可動ダスト
の発生や気密性低下による画像特性の劣化が減少した固
体撮像装置を提供することを目的にしている。
全面に反射防止膜を蒸着させた場合その光透過窓では、
以下のような問題がある。まず、前述した反射防止膜と
ガラスなどの光透過窓材料との密着性は、反射防止膜と
接着剤との密着性に比較してあまり良くない。とくに、
図８に示すように、反射防止膜の上に接着剤が塗布して
あるような場合には、熱ストレスが加わることによっ
て、反射防止膜と接着剤とは密着したまま反射膜が光透
過窓から剥離する。この様な剥離がパッケ−ジを密封し
てから発生すると、剥離したものがパッケ−ジ内で可動
ダストとなり、光の入射を妨げて映像特性が劣化するよ
うになる。また、パッケ−ジにチップを封止後、反射防
止膜が剥離すると、当然、その部分の接着剤も剥がれる
ので、パッケ−ジの気密性が損なわれる。その結果、光
透過窓の内壁が曇ったり、外の影響によって固体撮像素
子が損なわれ、画像特性が劣化する。本発明は、この様
な事情によりなされたもので、接着剤を塗布することに
よって、遮光特性が高く、光透過窓に形成した反射防止
膜及び接着剤の光透過窓からの剥離を防ぎ、可動ダスト
の発生や気密性低下による画像特性の劣化が減少した固
体撮像装置を提供することを目的にしている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、固体撮像装置
の光透過窓に形成された反射防止膜及び接着剤層が重な
らないようにするか、もしくは、その重なりを最小限に
止めるようにし、且つ接着剤層がリッド裏面のパッケー
ジと接していない部分に延在させることを特徴としてい
る。すなわち、本発明の固体撮像装置は、パッケージ
と、前記パッケージに配置された光学的入力信号を電気
信号に変換する固体撮像素子と、前記パッケージの開口
部を封止するリッドと、前記リッドの表面及び裏面に形
成された入射光の反射を防ぐ反射防止膜と、前記リッド
の裏面に形成され、前記リッドと前記パッケージとを接
着する接着剤層とを備え、前記接着剤層は、前記リッド
裏面の前記パッケージと接していない部分に延在し、且
つ前記リッド裏面に形成された前記反射防止膜とは接し
てはいるが重なっておらず、前記接着剤層の前記リッド
裏面の前記パッケージと接していない部分に延在してい
る部分は、外部から入射する光を遮蔽する遮光膜として
用いることを特徴としている。また、本発明の固体撮像
装置は、パッケージと、前記パッケージに固定された光
学的入力信号を電気信号に変換する固体撮像素子と、前
記パッケージの開口部を封止するリッドと、前記リッド
の表面及び裏面に形成された入射光の反射を防ぐ反射防
止膜と、前記リッドの裏面に形成され、前記リッドと前
記パッケージとを接着する接着剤層とを備え、前記接着
剤層は、前記リッド裏面の前記パッケージと接していな
い部分に延在し、且つ前記リッド裏面に形成された前記
反射防止膜とは部分的に重なっており、その重なり幅
は、０．５ｍｍ以下であり、前記接着剤層の前記リッド
裏面の前記パッケージと接していない部分に延在してい
る部分は、外部から入射する光を遮蔽する遮光膜として
用いることを特徴としている。
の光透過窓に形成された反射防止膜及び接着剤層が重な
らないようにするか、もしくは、その重なりを最小限に
止めるようにし、且つ接着剤層がリッド裏面のパッケー
ジと接していない部分に延在させることを特徴としてい
る。すなわち、本発明の固体撮像装置は、パッケージ
と、前記パッケージに配置された光学的入力信号を電気
信号に変換する固体撮像素子と、前記パッケージの開口
部を封止するリッドと、前記リッドの表面及び裏面に形
成された入射光の反射を防ぐ反射防止膜と、前記リッド
の裏面に形成され、前記リッドと前記パッケージとを接
着する接着剤層とを備え、前記接着剤層は、前記リッド
裏面の前記パッケージと接していない部分に延在し、且
つ前記リッド裏面に形成された前記反射防止膜とは接し
てはいるが重なっておらず、前記接着剤層の前記リッド
裏面の前記パッケージと接していない部分に延在してい
る部分は、外部から入射する光を遮蔽する遮光膜として
用いることを特徴としている。また、本発明の固体撮像
装置は、パッケージと、前記パッケージに固定された光
学的入力信号を電気信号に変換する固体撮像素子と、前
記パッケージの開口部を封止するリッドと、前記リッド
の表面及び裏面に形成された入射光の反射を防ぐ反射防
止膜と、前記リッドの裏面に形成され、前記リッドと前
記パッケージとを接着する接着剤層とを備え、前記接着
剤層は、前記リッド裏面の前記パッケージと接していな
い部分に延在し、且つ前記リッド裏面に形成された前記
反射防止膜とは部分的に重なっており、その重なり幅
は、０．５ｍｍ以下であり、前記接着剤層の前記リッド
裏面の前記パッケージと接していない部分に延在してい
る部分は、外部から入射する光を遮蔽する遮光膜として
用いることを特徴としている。
【０００８】
【作用】このような構成により、本発明の固体撮像装置
は、外部からの光を遮蔽する遮光特性が高く、固体撮像
素子がパッケ−ジに封止した後に、熱ストレスが発生し
た場合、反射防止膜が接着剤とともに光透過窓から剥離
するのが防止される。
は、外部からの光を遮蔽する遮光特性が高く、固体撮像
素子がパッケ−ジに封止した後に、熱ストレスが発生し
た場合、反射防止膜が接着剤とともに光透過窓から剥離
するのが防止される。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。まず、図１及び図２を参照して参照例を説明す
る。図１は、固体撮像装置の断面図、図２は、この固体
撮像装置に用いるリッド裏面の平面図である。この固体
撮像装置は、ＣＣＤなどの電荷転送素子が固体撮像素子
としてパッケ−ジ２の中に密封されている。パッケージ
２は、例えば、アルミナが９０ｗｔ％程度含有するセラ
ミックからなり、その線熱膨張係数は、約７０．０×１
０-7／℃である。パッケ−ジ２は、グリーンシートを積
層し、チップを搭載する凹部を形成してから加熱焼成し
て形成する。このパッケ−ジ２の開口部は、ガラスなど
の透明体から構成されたリッド４によって密閉されてい
る。外部からの光を透過するので、この部分を光透過窓
４という。パッケ−ジ２内部の底面には固体撮像素子１
が載置されている。固体撮像素子１は、例えば、駆動回
路などを含むＣＣＤが形成されたシリコン半導体基板
（チップ）から構成されている。このチップ１は裏面に
エポキシ樹脂などの接着剤（図示せず）が塗布されこの
パッケ−ジ底面に固着している。
する。まず、図１及び図２を参照して参照例を説明す
る。図１は、固体撮像装置の断面図、図２は、この固体
撮像装置に用いるリッド裏面の平面図である。この固体
撮像装置は、ＣＣＤなどの電荷転送素子が固体撮像素子
としてパッケ−ジ２の中に密封されている。パッケージ
２は、例えば、アルミナが９０ｗｔ％程度含有するセラ
ミックからなり、その線熱膨張係数は、約７０．０×１
０-7／℃である。パッケ−ジ２は、グリーンシートを積
層し、チップを搭載する凹部を形成してから加熱焼成し
て形成する。このパッケ−ジ２の開口部は、ガラスなど
の透明体から構成されたリッド４によって密閉されてい
る。外部からの光を透過するので、この部分を光透過窓
４という。パッケ−ジ２内部の底面には固体撮像素子１
が載置されている。固体撮像素子１は、例えば、駆動回
路などを含むＣＣＤが形成されたシリコン半導体基板
（チップ）から構成されている。このチップ１は裏面に
エポキシ樹脂などの接着剤（図示せず）が塗布されこの
パッケ−ジ底面に固着している。
【００１０】パッケ−ジ２は、内部側壁に段部２１が形
成されており、その段部の平坦部に一部が露出して接続
配線（図示せず）が形成されている。接続配線は、パッ
ケ−ジ２の内部に埋め込まれていて、その底面から突出
している電極ピン６に内部で接続されている。電極ピン
６は、図に示すように、パッケ−ジ２の底面の向い合う
２辺に配列されている。この底面のすべての辺に電極ピ
ン６を植設し配列することができる。また、１列のみで
なく、３列などの複数列で底面の２辺或いは４辺に配列
させることもできる。電極ピンの材料は、例えば、Ｎｉ
を４５ｗｔ％含有するＦｅ合金からなり、その表面は、
Ａｕメッキされている。この固体撮像装置を回路基板な
どに搭載し、回路基板に形成された外部回路とこの固体
撮像装置とを電気的に接続するために、電極ピン６を回
路基板に接続し、さらに、チップ１上に形成された接続
電極（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とを電
気的に接続するそのために、段部２１の平坦部に露出す
る接続配線とチップ１の接続電極とを、例えば、Ａｌや
Ａｕなどのボンディングワイヤ７で接続する。
成されており、その段部の平坦部に一部が露出して接続
配線（図示せず）が形成されている。接続配線は、パッ
ケ−ジ２の内部に埋め込まれていて、その底面から突出
している電極ピン６に内部で接続されている。電極ピン
６は、図に示すように、パッケ−ジ２の底面の向い合う
２辺に配列されている。この底面のすべての辺に電極ピ
ン６を植設し配列することができる。また、１列のみで
なく、３列などの複数列で底面の２辺或いは４辺に配列
させることもできる。電極ピンの材料は、例えば、Ｎｉ
を４５ｗｔ％含有するＦｅ合金からなり、その表面は、
Ａｕメッキされている。この固体撮像装置を回路基板な
どに搭載し、回路基板に形成された外部回路とこの固体
撮像装置とを電気的に接続するために、電極ピン６を回
路基板に接続し、さらに、チップ１上に形成された接続
電極（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とを電
気的に接続するそのために、段部２１の平坦部に露出す
る接続配線とチップ１の接続電極とを、例えば、Ａｌや
Ａｕなどのボンディングワイヤ７で接続する。
【００１１】このパッケ−ジ２は、チップ１を外気から
保護し気密を保持するためにこれを搭載後密封される。
そのためにパッケ−ジ２の開口部は、透明なガラスのリ
ッド４で封止される。リッド４の材料であるガラスの組
成の主成分は、例えば、ＳｉＯ2 が６９ｗｔ％、Ｎａ2
Ｏ＋Ｋ2 Ｏが１０．５ｗｔ％及びＢ2 Ｏ3 が１１．０ｗ
ｔ％含まれており、その線熱膨張係数は、約６５．５×
１０-7／℃である。リッドに用いるガラスには、線熱膨
張係数が、約１０〜１００×１０-7／℃程度のものを用
いることが可能である。固体撮像装置に用いるパッケ−
ジのリッドは、他の半導体装置とは異なり、チップを外
気から保護し、気密を保持するために用いる以外に外部
からの光を透過させ、固体撮像素子に入射する機能を有
する必要がある。このためリッド４にはガラスなどの透
明体を用いている。しかし、入射した光が固体撮像素子
とリッドとの間で反射し、この反射光が光学的な入力信
号となって電気信号に変えられ、これが正しい入力信号
を誤らせることになる。この様な反射を防ぐために、透
明なリッド４の表面に反射防止膜５１を形成する。ま
た、外気に面した表面だけではなく、パッケ−ジ２の内
側に面するリッド４裏面にも反射防止膜５２を形成して
不要な反射が原因となる映像上の不具合を防止してい
る。リッド表面の反射防止膜５１は、真空蒸着法などで
ガラス表面の全面に堆積させる。
保護し気密を保持するためにこれを搭載後密封される。
そのためにパッケ−ジ２の開口部は、透明なガラスのリ
ッド４で封止される。リッド４の材料であるガラスの組
成の主成分は、例えば、ＳｉＯ2 が６９ｗｔ％、Ｎａ2
Ｏ＋Ｋ2 Ｏが１０．５ｗｔ％及びＢ2 Ｏ3 が１１．０ｗ
ｔ％含まれており、その線熱膨張係数は、約６５．５×
１０-7／℃である。リッドに用いるガラスには、線熱膨
張係数が、約１０〜１００×１０-7／℃程度のものを用
いることが可能である。固体撮像装置に用いるパッケ−
ジのリッドは、他の半導体装置とは異なり、チップを外
気から保護し、気密を保持するために用いる以外に外部
からの光を透過させ、固体撮像素子に入射する機能を有
する必要がある。このためリッド４にはガラスなどの透
明体を用いている。しかし、入射した光が固体撮像素子
とリッドとの間で反射し、この反射光が光学的な入力信
号となって電気信号に変えられ、これが正しい入力信号
を誤らせることになる。この様な反射を防ぐために、透
明なリッド４の表面に反射防止膜５１を形成する。ま
た、外気に面した表面だけではなく、パッケ−ジ２の内
側に面するリッド４裏面にも反射防止膜５２を形成して
不要な反射が原因となる映像上の不具合を防止してい
る。リッド表面の反射防止膜５１は、真空蒸着法などで
ガラス表面の全面に堆積させる。
【００１２】一方、リッド裏面の反射防止膜５２はその
全面に塗布せず、パッケ−ジ２に固着するための接着剤
層３が塗布される領域にはこの反射防止膜を堆積させな
い。そして、接着剤を直接リッド４裏面に塗布し、接着
剤層３と反射防止膜５２を重ならないようにするのが、
この参照例の特徴である。この参照例では、反射防止膜
５１、５２には、３層の積層膜を用い、最上層にはＭｇ
Ｆ2 膜を配置する。リッド４のガラス面と接触する最下
層には、Ａｌ2 Ｏ3 膜を形成し、両者の中間には、Ｚｒ
Ｏ2 膜を形成する。この実施例のように複数の積層膜に
するほうが単層膜より反射防止効果が大きい。例えば、
リッド４のガラス板の光透過率が約９２％とすると、Ｍ
ｇＦ2 膜単独の反射防止膜を用いた場合は約９５％に向
上する。そして、この実施例の３層の反射防止膜５１、
５２を用いると、リッド４の光透過率は、さらに、約９
８〜９９％に改善される。反射防止膜は、２つ以上の材
料を交互に繰り返して積層した多層膜を用いることもで
きる。また、外部反射防止膜５１と内部反射防止膜５２
の各材料を異ならせることも可能である。
全面に塗布せず、パッケ−ジ２に固着するための接着剤
層３が塗布される領域にはこの反射防止膜を堆積させな
い。そして、接着剤を直接リッド４裏面に塗布し、接着
剤層３と反射防止膜５２を重ならないようにするのが、
この参照例の特徴である。この参照例では、反射防止膜
５１、５２には、３層の積層膜を用い、最上層にはＭｇ
Ｆ2 膜を配置する。リッド４のガラス面と接触する最下
層には、Ａｌ2 Ｏ3 膜を形成し、両者の中間には、Ｚｒ
Ｏ2 膜を形成する。この実施例のように複数の積層膜に
するほうが単層膜より反射防止効果が大きい。例えば、
リッド４のガラス板の光透過率が約９２％とすると、Ｍ
ｇＦ2 膜単独の反射防止膜を用いた場合は約９５％に向
上する。そして、この実施例の３層の反射防止膜５１、
５２を用いると、リッド４の光透過率は、さらに、約９
８〜９９％に改善される。反射防止膜は、２つ以上の材
料を交互に繰り返して積層した多層膜を用いることもで
きる。また、外部反射防止膜５１と内部反射防止膜５２
の各材料を異ならせることも可能である。
【００１３】この多層の反射防止膜をリッドに形成する
に際しては、両者間に発生する熱ストレスにより発生す
る応力を緩和することも考慮にいれている。リッド４に
用いるガラス板に直接接触するＡｌ2 Ｏ3 膜は、線熱膨
張係数が６７．０×１０-7／℃であり、前記ガラス板の
線膨脹係数（６５．５／℃）とほぼ同じである。最上層
に形成されるＭｇＦ2 膜の線膨脹係数は、１８８．０／
℃であり、前記ガラス板とは大きく異なる。そこで、両
者の中間にＺｒＯ2 膜を形成して、互いに接触する材料
間の熱膨張係数の差を小さくして応力緩和を行う。した
がって、図１に用いられる反射防止膜５１、５２は、Ｍ
ｇＦ2 ／ＺｒＯ2 ／Ａｌ2 Ｏ3 の３層膜から構成されて
いれる。反射防止膜が両面に蒸着されたリッド４の裏面
には、その周辺の反射防止膜５２が形成されていない領
域にエポキシ樹脂などからなる接着剤層３が形成され
る。この接着剤層３をパッケ−ジ２の開口部端部に当接
させた状態で、パッケ−ジ２とリッド４とを有機シール
装置内に挿入し、約１００〜２００℃で加熱して熱硬化
性のエポキシ樹脂を硬化して、パッケ−ジ２をリッド４
によって密封する。リッド４は、光透過窓になるが、接
着剤層３は、外部からの光を遮断するのでこの接着剤が
塗布されているリッドの周辺領域は、光透過領域にはな
らない。図２に、図１に示したパッケ−ジ２の内部に面
したリッド４裏面の平面図を示す。図の様に、従来の固
体撮像装置（図８参照）とは異なり、接着剤層３と反射
防止膜５２が重なっていない。したがって、接着剤層３
が反射防止膜５２を引き摺ってリッド４から剥離するこ
ともない。
に際しては、両者間に発生する熱ストレスにより発生す
る応力を緩和することも考慮にいれている。リッド４に
用いるガラス板に直接接触するＡｌ2 Ｏ3 膜は、線熱膨
張係数が６７．０×１０-7／℃であり、前記ガラス板の
線膨脹係数（６５．５／℃）とほぼ同じである。最上層
に形成されるＭｇＦ2 膜の線膨脹係数は、１８８．０／
℃であり、前記ガラス板とは大きく異なる。そこで、両
者の中間にＺｒＯ2 膜を形成して、互いに接触する材料
間の熱膨張係数の差を小さくして応力緩和を行う。した
がって、図１に用いられる反射防止膜５１、５２は、Ｍ
ｇＦ2 ／ＺｒＯ2 ／Ａｌ2 Ｏ3 の３層膜から構成されて
いれる。反射防止膜が両面に蒸着されたリッド４の裏面
には、その周辺の反射防止膜５２が形成されていない領
域にエポキシ樹脂などからなる接着剤層３が形成され
る。この接着剤層３をパッケ−ジ２の開口部端部に当接
させた状態で、パッケ−ジ２とリッド４とを有機シール
装置内に挿入し、約１００〜２００℃で加熱して熱硬化
性のエポキシ樹脂を硬化して、パッケ−ジ２をリッド４
によって密封する。リッド４は、光透過窓になるが、接
着剤層３は、外部からの光を遮断するのでこの接着剤が
塗布されているリッドの周辺領域は、光透過領域にはな
らない。図２に、図１に示したパッケ−ジ２の内部に面
したリッド４裏面の平面図を示す。図の様に、従来の固
体撮像装置（図８参照）とは異なり、接着剤層３と反射
防止膜５２が重なっていない。したがって、接着剤層３
が反射防止膜５２を引き摺ってリッド４から剥離するこ
ともない。
【００１４】次ぎに、この参照例の固体撮像装置の特性
を前記従来例を比較しながら説明する。ミルステックテ
スト（ＴｃＴ）は、参照例及び従来例の固体撮像装置の
リッドに形成された接着剤層の特性を示したものであ
る。このテストは、試料を常温から−６５℃まで冷却
し、この温度を２０分維持する。その後５〜１０秒の間
に１５０℃に加熱し、この温度を２０分維持する。その
後やはり５〜１０秒の間に−６５℃に冷却する。これを
１サイクルとし、所定の回数のサイクルを繰り返す。従
来例は、図８の固体撮像装置のリッド上の接着剤層の特
性である。評価項目の内接着剤層の外観は、接着面の剥
がれを光の干渉縞によって認識する。干渉縞が接着剤層
の幅の２／３以上になると試料は不良であると判断す
る。また、評価項目の気密性については、ファインリー
クテスト及びグロスリークテストで評価する。第１の実
施例では、ＴＣＴテストは３００サイクルまで不良品は
発生せず、これにたいし、従来例は、１００サイクルで
外観、気密性とも悪化する。この様に、反射防止膜をリ
ッドの全面に塗布すると、接着剤が剥がれて気密性が著
しく低下する。なお、図７は、固体撮像装置の参照例で
ある。
を前記従来例を比較しながら説明する。ミルステックテ
スト（ＴｃＴ）は、参照例及び従来例の固体撮像装置の
リッドに形成された接着剤層の特性を示したものであ
る。このテストは、試料を常温から−６５℃まで冷却
し、この温度を２０分維持する。その後５〜１０秒の間
に１５０℃に加熱し、この温度を２０分維持する。その
後やはり５〜１０秒の間に−６５℃に冷却する。これを
１サイクルとし、所定の回数のサイクルを繰り返す。従
来例は、図８の固体撮像装置のリッド上の接着剤層の特
性である。評価項目の内接着剤層の外観は、接着面の剥
がれを光の干渉縞によって認識する。干渉縞が接着剤層
の幅の２／３以上になると試料は不良であると判断す
る。また、評価項目の気密性については、ファインリー
クテスト及びグロスリークテストで評価する。第１の実
施例では、ＴＣＴテストは３００サイクルまで不良品は
発生せず、これにたいし、従来例は、１００サイクルで
外観、気密性とも悪化する。この様に、反射防止膜をリ
ッドの全面に塗布すると、接着剤が剥がれて気密性が著
しく低下する。なお、図７は、固体撮像装置の参照例で
ある。
【００１５】次ぎに、図３及び図４を参照して第１の実
施例を説明する。図３は、固体撮像装置の断面図、図４
は、この固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面図であ
る。外部回路と接続する電極ピン及びパッケ−ジの段部
に形成された接続配線とチップの接続を行うボンディン
グワイヤは、図１と同じであるので記載を省略する。こ
の固体撮像装置は、ＣＣＤなどの電荷転送素子が固体撮
像素子としてパッケ−ジ２の中に密封されている。パッ
ケージ２は、セラミックからなり、その開口部は、ガラ
スリッド４によって密閉されている。外部からの光を透
過するので、この部分を光透過窓４という。パッケ−ジ
２内部の底面には固体撮像素子１が載置されている。こ
のチップ１は、接着剤によってパッケ−ジ底面に固着し
ている。パッケ−ジ２は、内部側壁に段部２１が形成さ
れており、その段部の平坦部に一部が露出して接続配線
が形成されている。接続配線は、パッケ−ジ２の内部に
埋め込まれていて、その底面から突出している電極ピン
に内部で接続されている。この固体撮像装置を回路基板
などに搭載し、回路基板に形成された外部回路とこの固
体撮像装置とを電気的に接続するために、電極ピンを回
路基板に接続し、さらに、チップ１上に形成された接続
電極（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とを電
気的に接続する。
施例を説明する。図３は、固体撮像装置の断面図、図４
は、この固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面図であ
る。外部回路と接続する電極ピン及びパッケ−ジの段部
に形成された接続配線とチップの接続を行うボンディン
グワイヤは、図１と同じであるので記載を省略する。こ
の固体撮像装置は、ＣＣＤなどの電荷転送素子が固体撮
像素子としてパッケ−ジ２の中に密封されている。パッ
ケージ２は、セラミックからなり、その開口部は、ガラ
スリッド４によって密閉されている。外部からの光を透
過するので、この部分を光透過窓４という。パッケ−ジ
２内部の底面には固体撮像素子１が載置されている。こ
のチップ１は、接着剤によってパッケ−ジ底面に固着し
ている。パッケ−ジ２は、内部側壁に段部２１が形成さ
れており、その段部の平坦部に一部が露出して接続配線
が形成されている。接続配線は、パッケ−ジ２の内部に
埋め込まれていて、その底面から突出している電極ピン
に内部で接続されている。この固体撮像装置を回路基板
などに搭載し、回路基板に形成された外部回路とこの固
体撮像装置とを電気的に接続するために、電極ピンを回
路基板に接続し、さらに、チップ１上に形成された接続
電極（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とを電
気的に接続する。
【００１６】そのために、段部２１の平坦部に露出する
接続配線とチップ１の接続電極とをボンディングワイヤ
で接続する。光の反射を防ぐために、透明なリッド４の
表面に反射防止膜５１を形成する。また、外気に面した
表面だけではなく、パッケ−ジ２の内側に面するリッド
４裏面にも反射防止膜５２を形成して不要な反射が原因
となる映像上の不具合を防止している。リッド表面の反
射防止膜５１は、真空蒸着法などでガラス表面の全面に
堆積させる。一方、リッド裏面の反射防止膜５２は、そ
の全面に塗布せず、パッケ−ジ２に固着するための接着
剤層３が塗布される領域には、この反射防止膜を堆積さ
せない。そして、接着剤を直接リッド４裏面に塗布し、
接着剤層３と反射防止膜５２を重ならないようにする。
この実施例では接着剤層３の領域を広くして、広くした
部分を遮光部として用いる。固体撮像素子は、光電変
換、蓄積、走査の基本的な３機能を満たす集積回路であ
り、信号の取出しには、例えば、ＣＣＤなどの機能素子
を有する電荷転送方式が用いられる。ＣＣＤを２次元撮
像素子として用いる形式には大別して、フレーム転送
（ＦＴ：Frame Transfer）方式とインタライン転送（Ｉ
ＬＴ：InterlineTransfer）方式が実用になっている。
フレーム転送は、受光部と蓄積部とを同一のチップに同
じ面積の割合で必要であるが、クロック回路の構成はイ
ンタライン転送に比べて簡単である。受光部に光が照射
され信号電荷を集積すると、その電荷の塊は、高速で遮
光された蓄積部に送られ、次に各ラインごとに比較的遅
い速度で順次読み出される。この読み出しの間に、次の
光照射による電荷蓄積が行われる。この様に、フレーム
転送では、蓄積部を遮光するものが必要であり、本発明
にこのフレーム転送を適用する場合には、この実施例の
ように接着剤層を遮光部に兼用するのが適当である。
接続配線とチップ１の接続電極とをボンディングワイヤ
で接続する。光の反射を防ぐために、透明なリッド４の
表面に反射防止膜５１を形成する。また、外気に面した
表面だけではなく、パッケ−ジ２の内側に面するリッド
４裏面にも反射防止膜５２を形成して不要な反射が原因
となる映像上の不具合を防止している。リッド表面の反
射防止膜５１は、真空蒸着法などでガラス表面の全面に
堆積させる。一方、リッド裏面の反射防止膜５２は、そ
の全面に塗布せず、パッケ−ジ２に固着するための接着
剤層３が塗布される領域には、この反射防止膜を堆積さ
せない。そして、接着剤を直接リッド４裏面に塗布し、
接着剤層３と反射防止膜５２を重ならないようにする。
この実施例では接着剤層３の領域を広くして、広くした
部分を遮光部として用いる。固体撮像素子は、光電変
換、蓄積、走査の基本的な３機能を満たす集積回路であ
り、信号の取出しには、例えば、ＣＣＤなどの機能素子
を有する電荷転送方式が用いられる。ＣＣＤを２次元撮
像素子として用いる形式には大別して、フレーム転送
（ＦＴ：Frame Transfer）方式とインタライン転送（Ｉ
ＬＴ：InterlineTransfer）方式が実用になっている。
フレーム転送は、受光部と蓄積部とを同一のチップに同
じ面積の割合で必要であるが、クロック回路の構成はイ
ンタライン転送に比べて簡単である。受光部に光が照射
され信号電荷を集積すると、その電荷の塊は、高速で遮
光された蓄積部に送られ、次に各ラインごとに比較的遅
い速度で順次読み出される。この読み出しの間に、次の
光照射による電荷蓄積が行われる。この様に、フレーム
転送では、蓄積部を遮光するものが必要であり、本発明
にこのフレーム転送を適用する場合には、この実施例の
ように接着剤層を遮光部に兼用するのが適当である。
【００１７】次に、図５及び図６を参照して第２の実施
例を説明する。図５は、固体撮像装置の断面図、図６
は、この固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面図であ
る。外部回路と接続する電極ピンは、図１と同じである
ので記載を省略する。パッケージ２の開口部は、光透過
窓であるガラスリッド４によって密閉されている。パッ
ケ−ジ２内部の底面にはチップ１が載置されている。こ
のチップ１は、接着剤によってパッケ−ジ底面に固着し
ている。パッケ−ジ２は、内部側壁に段部２１が形成さ
れており、また、その段部の平坦部に一部が露出した接
続配線が形成されており、接続配線は、パッケ−ジ２の
内部に埋め込まれていてパッケージ底部に植設された電
極ピンに内部で接続されている。チップ１の接続電極
（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とはボンデ
ィングワイヤ７で接続されている。光の反射を防ぐため
に透明なリッド４の表面に反射防止膜５１を形成する。
また、外気に面した表面だけではなく、パッケ−ジ２の
内側に面するリッド４裏面にも反射防止膜５２を形成し
て不要な反射が原因となる映像上の不具合を防止してい
る。リッド表面の反射防止膜５１は、真空蒸着法などで
ガラス表面の全面に堆積させる。一方、リッド裏面の反
射防止膜５２は、その全面に塗布せず、パッケ−ジ２に
固着するための接着剤層３が塗布される領域には、この
反射防止膜を一部しか堆積させない。また、接着剤層３
は、リッド４の裏面のパッケージ２と接していない部分
に延在している。
例を説明する。図５は、固体撮像装置の断面図、図６
は、この固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面図であ
る。外部回路と接続する電極ピンは、図１と同じである
ので記載を省略する。パッケージ２の開口部は、光透過
窓であるガラスリッド４によって密閉されている。パッ
ケ−ジ２内部の底面にはチップ１が載置されている。こ
のチップ１は、接着剤によってパッケ−ジ底面に固着し
ている。パッケ−ジ２は、内部側壁に段部２１が形成さ
れており、また、その段部の平坦部に一部が露出した接
続配線が形成されており、接続配線は、パッケ−ジ２の
内部に埋め込まれていてパッケージ底部に植設された電
極ピンに内部で接続されている。チップ１の接続電極
（図示せず）と前記パッケ−ジ２の接続配線とはボンデ
ィングワイヤ７で接続されている。光の反射を防ぐため
に透明なリッド４の表面に反射防止膜５１を形成する。
また、外気に面した表面だけではなく、パッケ−ジ２の
内側に面するリッド４裏面にも反射防止膜５２を形成し
て不要な反射が原因となる映像上の不具合を防止してい
る。リッド表面の反射防止膜５１は、真空蒸着法などで
ガラス表面の全面に堆積させる。一方、リッド裏面の反
射防止膜５２は、その全面に塗布せず、パッケ−ジ２に
固着するための接着剤層３が塗布される領域には、この
反射防止膜を一部しか堆積させない。また、接着剤層３
は、リッド４の裏面のパッケージ２と接していない部分
に延在している。
【００１８】そして、接着剤を直接リッド４裏面に塗布
し、接着剤層３と反射防止膜５２の端部とが一部分しか
重ならないようにする。図６に示すように、例えば、エ
ポキシ樹脂の接着剤層３は、リッド４裏面の中央部分に
堆積している図１と同じ構造の反射防止膜５２とは小さ
な幅（Ｌ）だけ重なっている。この実施例では、幅Ｌは
約０．５ｍｍである。リッド４のサイズは、１５〜２０
ｍｍ角である。この重なり部分がどの部分も同じ幅のＬ
＝０．５ｍｍとし、リッド４のサイズを前記の通りであ
るとすると、重なり部分と接着剤層３の塗布面積との面
積比は、約１：１３になる。したがって、重なり部分が
大体この面積比の値より小さければ反射防止膜や接着剤
層のリッドからの剥離が効果的に減少するといえるが、
しかし、実際は、剥離現象は、必ずしも接着剤層の前記
反射防止膜との重なり部分の大きさには左右されない。
むしろ、接着剤層の前記重なり部分の剥離は、その部分
の微小な領域（例えば、図６の領域Ａ）の状態に左右さ
れる。また、その重なり部分の重なり幅は、前記微小な
領域ごとに変化し、その結果、各微小な領域の重なり幅
Ｌが大体０．５ｍｍを越えるとその部分の剥離現象が増
加し、それ以下であると剥離が少なくなる。つまり、剥
離現象は、接着剤層の重なり部分全体の接着剤層に対す
る面積比では無く、前記重なり幅Ｌに依存している。
し、接着剤層３と反射防止膜５２の端部とが一部分しか
重ならないようにする。図６に示すように、例えば、エ
ポキシ樹脂の接着剤層３は、リッド４裏面の中央部分に
堆積している図１と同じ構造の反射防止膜５２とは小さ
な幅（Ｌ）だけ重なっている。この実施例では、幅Ｌは
約０．５ｍｍである。リッド４のサイズは、１５〜２０
ｍｍ角である。この重なり部分がどの部分も同じ幅のＬ
＝０．５ｍｍとし、リッド４のサイズを前記の通りであ
るとすると、重なり部分と接着剤層３の塗布面積との面
積比は、約１：１３になる。したがって、重なり部分が
大体この面積比の値より小さければ反射防止膜や接着剤
層のリッドからの剥離が効果的に減少するといえるが、
しかし、実際は、剥離現象は、必ずしも接着剤層の前記
反射防止膜との重なり部分の大きさには左右されない。
むしろ、接着剤層の前記重なり部分の剥離は、その部分
の微小な領域（例えば、図６の領域Ａ）の状態に左右さ
れる。また、その重なり部分の重なり幅は、前記微小な
領域ごとに変化し、その結果、各微小な領域の重なり幅
Ｌが大体０．５ｍｍを越えるとその部分の剥離現象が増
加し、それ以下であると剥離が少なくなる。つまり、剥
離現象は、接着剤層の重なり部分全体の接着剤層に対す
る面積比では無く、前記重なり幅Ｌに依存している。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明では、固体撮像装
置の光透過窓の内側に形成する反射防止膜と光透過窓を
パッケ−ジに固着する接着剤が重ならない様にするか、
重なりを最小限に限定し、且つ接着剤層がリッド裏面の
パッケージと接していない部分に延在するようにするこ
とにより、熱ストレスによって反射防止膜や接着剤の剥
離を防ぎ、可動ダストの発生、気密性低下による画像特
性の劣化を防止し、且つ外部からの光を遮蔽する遮光特
性を高くする。
置の光透過窓の内側に形成する反射防止膜と光透過窓を
パッケ−ジに固着する接着剤が重ならない様にするか、
重なりを最小限に限定し、且つ接着剤層がリッド裏面の
パッケージと接していない部分に延在するようにするこ
とにより、熱ストレスによって反射防止膜や接着剤の剥
離を防ぎ、可動ダストの発生、気密性低下による画像特
性の劣化を防止し、且つ外部からの光を遮蔽する遮光特
性を高くする。
【図１】参照例の固体撮像装置の断面図。
【図２】図１の固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面
図。
図。
【図３】第１の実施例の固体撮像装置の断面図。
【図４】図３の固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面
図。
図。
【図５】第２の実施例の固体撮像装置の断面図。
【図６】図５の固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面
図。
図。
【図７】参照例の固体撮像装置の断面図。
【図８】従来の固体撮像装置の断面図。
【図９】従来の固体撮像装置に用いるリッド裏面の平面
図。
図。
１ チップ ２ パッケ−ジ ３ 接着剤層 ４ リッド ５、５１、５２ 反射防止膜 ６ 電極ピン ７ ボンディングワイヤ ２１、２２ パッケ−ジの段部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 27/14 H01L 23/02 H04N 5/335
Claims (2)
- 【請求項１】 パッケージと、 前記パッケージに配置された光学的入力信号を電気信号
に変換する固体撮像素子と、 前記パッケージの開口部を封止するリッドと、 前記リッドの表面及び裏面に形成された入射光の反射を
防ぐ反射防止膜と、 前記リッドの裏面に形成され、前記リッドと前記パッケ
ージとを接着する接着剤層とを備え、 前記接着剤層は、前記リッド裏面の前記パッケージと接
していない部分に延在し、且つ前記リッド裏面に形成さ
れた前記反射防止膜とは接してはいるが重なっておら
ず、前記接着剤層の前記リッド裏面の前記パッケージと
接していない部分に延在している部分は、外部から入射
する光を遮蔽する遮光膜として用いることを特徴とする
固体撮像装置。 - 【請求項２】パッケージと、 前記パッケージに固定された光学的入力信号を電気信号
に変換する固体撮像素子と、 前記パッケージの開口部を封止するリッドと、 前記リッドの表面及び裏面に形成された入射光の反射を
防ぐ反射防止膜と、 前記リッドの裏面に形成され、前記リッドと前記パッケ
ージとを接着する接着剤層とを備え、 前記接着剤層は、前記リッド裏面の前記パッケージと接
していない部分に延在し、且つ前記リッド裏面に形成さ
れた前記反射防止膜とは部分的に重なっており、その重
なり幅は、０．５ｍｍ以下であり、前記接着剤層の前記
リッド裏面の前記パッケージと接していない部分に延在
している部分は、外部から入射する光を遮蔽する遮光膜
として用いることを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16951793A JP3300476B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16951793A JP3300476B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778951A JPH0778951A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3300476B2 true JP3300476B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=15887980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16951793A Expired - Fee Related JP3300476B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300476B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1369929B1 (en) | 2002-05-27 | 2016-08-03 | STMicroelectronics Srl | A process for manufacturing encapsulated optical sensors, and an encapsulated optical sensor manufactured using this process |
| TWI222705B (en) * | 2003-10-08 | 2004-10-21 | United Microelectronics Corp | Method and structure for a wafer level packaging |
| JP5768396B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-08-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 |
| US8872293B2 (en) * | 2011-02-15 | 2014-10-28 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same and electronic apparatus |
| JP6281214B2 (ja) * | 2013-06-06 | 2018-02-21 | 株式会社リコー | 撮像素子パッケージ及び撮像装置 |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP16951793A patent/JP3300476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0778951A (ja) | 1995-03-20 |
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