JP3296362B2 - 音響表面波で作動するデバイス - Google Patents
音響表面波で作動するデバイスInfo
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- JP3296362B2 JP3296362B2 JP51845194A JP51845194A JP3296362B2 JP 3296362 B2 JP3296362 B2 JP 3296362B2 JP 51845194 A JP51845194 A JP 51845194A JP 51845194 A JP51845194 A JP 51845194A JP 3296362 B2 JP3296362 B2 JP 3296362B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02921—Measures for preventing electric discharge due to pyroelectricity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は請求項１の上位概念による音響表面波で作動
するデバイスに関する。
するデバイスに関する。
表面波フィルタ、特に微細パターンを有するフィルタ
は静電放電に敏感である。この種のフィルタが実際に静
電気を帯電した部分に接触すると、この部分がフィルタ
内に含まれるインターディジタル変換器を介して放電し
てフィルタが破壊されることがある。
は静電放電に敏感である。この種のフィルタが実際に静
電気を帯電した部分に接触すると、この部分がフィルタ
内に含まれるインターディジタル変換器を介して放電し
てフィルタが破壊されることがある。
従来は単に表面波フィルタと静電気帯電部分との接触
が製造時、測定時およびそれらが使用される機器におい
てできるだけ避けられるように努められてきたにすぎな
い。
が製造時、測定時およびそれらが使用される機器におい
てできるだけ避けられるように努められてきたにすぎな
い。
しかしこのような接触は実際には確実に排除できない
ので、本発明の課題は、フィルタが静電気帯電部分と接
触する際に破壊を生じることのないようにフィルタ自体
を構成することにある。
ので、本発明の課題は、フィルタが静電気帯電部分と接
触する際に破壊を生じることのないようにフィルタ自体
を構成することにある。
この課題は、冒頭に述べた形式の音響表面波で作動す
るデバイスにおいて本発明によれば、請求項１の特徴部
分に記載された構成により解決される。
るデバイスにおいて本発明によれば、請求項１の特徴部
分に記載された構成により解決される。
本発明の実施態様は従属請求項の対象である。
本発明を以下に唯一の図面で示した実施例に基づき詳
細に説明する。
細に説明する。
図は本発明により構成される表面波フィルタと静電気
帯電部分により形成される電圧源の概略等価回路図であ
る。
帯電部分により形成される電圧源の概略等価回路図であ
る。
図の垂直破線の右側には表面波フィルタが示されてい
るこの種の表面波フィルタは公知であるので、フィルタ
のインターディジタル変換器Ｗだけが示されている。
るこの種の表面波フィルタは公知であるので、フィルタ
のインターディジタル変換器Ｗだけが示されている。
このインターディジタル変換器Ｗには本発明により抵
抗Rpが並列接続されており、この抵抗を介してフィルタ
と静電気帯電部分との接触時に放電電流が流出できるの
で、フィルタを破壊するようなフラッシュオーバーの発
生が回避される。
抗Rpが並列接続されており、この抵抗を介してフィルタ
と静電気帯電部分との接触時に放電電流が流出できるの
で、フィルタを破壊するようなフラッシュオーバーの発
生が回避される。
静電気帯電部分としての外部電圧源は図の垂直白線の
左側に、外部電圧Ue、固有キャパシタンスCeおよび内部
インピーダンスReを備えた等価電圧源として示されてい
る。
左側に、外部電圧Ue、固有キャパシタンスCeおよび内部
インピーダンスReを備えた等価電圧源として示されてい
る。
並列抵抗Rpの最適化寸法には２つの相反する条件が基
準となる。即ち一方では並列抵抗Rpの値は、デバイスの
通常の機能を重要な程度に損なわないように、インター
ディジタル変換器Ｗのインピーダンスより大きくしなけ
ればならない。また他方では静電気帯電部分との接触に
よる放電時に並列抵抗Rpを介する電荷の流出が外部キャ
パシタンスCeの放電よりも長くは続かないことである。
外部電圧源の時定数Re・Ceをteとし、並列抵抗Rpを備え
たフィルタの時定数Rp・Ci（Ciはインターディジタル変
換器Ｗの固有キャパシタンス）をt1とすれば、本発明の
一構成によりteはtiより大きくなければならない。
準となる。即ち一方では並列抵抗Rpの値は、デバイスの
通常の機能を重要な程度に損なわないように、インター
ディジタル変換器Ｗのインピーダンスより大きくしなけ
ればならない。また他方では静電気帯電部分との接触に
よる放電時に並列抵抗Rpを介する電荷の流出が外部キャ
パシタンスCeの放電よりも長くは続かないことである。
外部電圧源の時定数Re・Ceをteとし、並列抵抗Rpを備え
たフィルタの時定数Rp・Ci（Ciはインターディジタル変
換器Ｗの固有キャパシタンス）をt1とすれば、本発明の
一構成によりteはtiより大きくなければならない。
並列抵抗Rpは好適にはフィルタの基板上に集積された
抵抗層として設けられ、図に概略的に示すように例えば
蛇行状の形状をとることができる。
抵抗層として設けられ、図に概略的に示すように例えば
蛇行状の形状をとることができる。
衛星受信機用の480MHzの帯域フィルタの形の表面波フ
ィルタに対しては、実験により並列抵抗Rpの値が1.5〜3
kΩの範囲内にあると良好な結果が得られることが判明
している。例えば3kΩの抵抗値ではこの種の帯域フィル
タにおいてUmax＝150Vの著しく改良された限界電圧が生
じた。
ィルタに対しては、実験により並列抵抗Rpの値が1.5〜3
kΩの範囲内にあると良好な結果が得られることが判明
している。例えば3kΩの抵抗値ではこの種の帯域フィル
タにおいてUmax＝150Vの著しく改良された限界電圧が生
じた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルイーレ、ウエルナー ドイツ連邦共和国 デー‐80636 ミユ ンヘン クララシユトラーセ ５アー (72)発明者 ラインドル、レオンハルト ドイツ連邦共和国 デー‐83134 プル ツテイング ゾンネンシユトラーセ 14 (72)発明者 チビス、ペーター ドイツ連邦共和国 デー‐85635 ヘー ヘンキルヒエン‐ジーゲルツブルン リ ーシユボーゲン 39 (72)発明者 マフイ、ユルゲン ドイツ連邦共和国 デー‐80809 ミユ ンヘン シユトラースベルガーシユトラ ーセ 103 審査官 工藤 一光 (56)参考文献 特開 平４−150512（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−35312（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−29407（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−116432（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−38922（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−181036（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−139126（ＪＰ，Ｕ) 特表 昭57−501759（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/145 H03H 9/64
Claims (3)
- 【請求項１】少なくとも１つのインターディジタル変換
器（Ｗ）を有し、インターデイジタル変換器（Ｗ）に抵
抗（RP）が並列接続されている音響表面波で作動するデ
バイスにおいて、デバイスが静電気帯電部分に接触した
ときに静電気放電を防止するために、静電気帯電部分に
より形成される電圧源の内部インピーダンス（Re）と固
有キャパシタンス（Ce）とから成る時定数（te）が並列
抵抗（RP）とインターディジタル変換器（Ｗ）の固有キ
ャパシタンス（Ci）とから成る時定数（ti）より大きい
ように並列抵抗（RP）の値が設定されることを特徴とす
る音響表面波で作動するデバイス。 - 【請求項２】並列抵抗（RP）としてデバイスの基板上に
抵抗層の形で集積された抵抗を設けることを特徴とする
請求項１記載のデバイス。 - 【請求項３】抵抗層（RP）が蛇行形状をとることを特徴
とする請求項１又は２記載のデバイス。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4307726.9 | 1993-03-11 | ||
| DE4307726A DE4307726C1 (de) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
| PCT/DE1994/000263 WO1994021040A1 (de) | 1993-03-11 | 1994-03-11 | Mit akustischen oberflächenwellen arbeitendes bauelement |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08507662A JPH08507662A (ja) | 1996-08-13 |
| JP3296362B2 true JP3296362B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=6482528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51845194A Expired - Lifetime JP3296362B2 (ja) | 1993-03-11 | 1994-03-11 | 音響表面波で作動するデバイス |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5699026A (ja) |
| EP (1) | EP0688475B1 (ja) |
| JP (1) | JP3296362B2 (ja) |
| CA (1) | CA2157920A1 (ja) |
| DE (2) | DE4307726C1 (ja) |
| WO (1) | WO1994021040A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4413975C1 (de) * | 1993-03-11 | 1995-12-07 | Siemens Matsushita Components | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
| DE4414160C1 (de) * | 1994-04-22 | 1995-12-21 | Siemens Matsushita Components | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement, insbesondere Oberflächenwellenfilter |
| DE19631745C1 (de) * | 1996-08-06 | 1997-10-16 | Siemens Ag | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Anordnung - OFW-Anordnung - |
| JPH11274886A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-08 | Nec Shizuoka Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| DE102004005129B4 (de) | 2004-02-02 | 2018-09-27 | Snaptrack, Inc. | Bauelement mit empfindlichen Bauelementstrukturen und Verfahren zur Herstellung |
| JP2006332122A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Fujitsu Ltd | 電子回路装置、その製造方法、バリスタの製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
| DE102006039515B4 (de) * | 2006-08-23 | 2012-02-16 | Epcos Ag | Drehbewegungssensor mit turmartigen Schwingstrukturen |
| DE102006048879B4 (de) * | 2006-10-16 | 2018-02-01 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustisches Bauelement |
| JP5141766B2 (ja) * | 2008-07-10 | 2013-02-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びラダー型フィルタ装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54844A (en) * | 1977-06-03 | 1979-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave filter |
| US4438417A (en) * | 1980-06-17 | 1984-03-20 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Filter circuit utilizing a surface acoustic wave filter |
| GB2088167B (en) * | 1980-11-17 | 1984-06-20 | Secr Defence | Preventing damaging electric fields eg in saw devices |
| US4448805A (en) * | 1980-11-17 | 1984-05-15 | National Research Development Corporation | Methods of producing devices comprising metallized regions on dielectric substrates |
| JPH0329407A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波発性装置 |
| JPH0435312A (ja) * | 1990-05-28 | 1992-02-06 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置 |
| JPH0758876B2 (ja) * | 1990-10-12 | 1995-06-21 | 日本無線株式会社 | 表面弾性波素子 |
| DE4115702A1 (de) * | 1991-05-14 | 1992-11-26 | Siemens Matsushita Components | Reflektive verzoegerungsleitung in oberflaechenwellentechnik |
-
1993
- 1993-03-11 DE DE4307726A patent/DE4307726C1/de not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-03-11 CA CA002157920A patent/CA2157920A1/en not_active Abandoned
- 1994-03-11 JP JP51845194A patent/JP3296362B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1994-03-11 DE DE59406932T patent/DE59406932D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-03-11 EP EP94908970A patent/EP0688475B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-03-11 WO PCT/DE1994/000263 patent/WO1994021040A1/de active IP Right Grant
-
1995
- 1995-09-11 US US08/526,631 patent/US5699026A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4307726C1 (de) | 1994-07-28 |
| DE59406932D1 (de) | 1998-10-22 |
| CA2157920A1 (en) | 1994-09-15 |
| EP0688475A1 (de) | 1995-12-27 |
| JPH08507662A (ja) | 1996-08-13 |
| WO1994021040A1 (de) | 1994-09-15 |
| EP0688475B1 (de) | 1998-09-16 |
| US5699026A (en) | 1997-12-16 |
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