KR100321556B1 - 탄성 표면파 필터 - Google Patents

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Abstract

탄성 표면파 필터는 전극부들을 입력측 및 출력측에 각각 배열하여 형성되는데, 각각의 전극부는 압전 기판 상에 소정 거리를 두고 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 콤 전극들을 서로 맞물리게 형성함으로써 얻어진다. 각각의 전극부는 임피던스 정합 회로를 포함한다.

Description

탄성 표면파 필터{SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER}
본 발명은 페이저용 필터 등에서 사용된 탄성 표면파 필터에 관한 것으로서, 특히 기판의 표면 상에 형성된 필터 패턴들 간의 정전 브레이크다운(electrostatic breakdown)을 방지할 수 있는 탄성 표면파 필터에 관한 것이다.
탄성 표면파 필터에서는, 압전 기판 상에 기설정된 거리를 두고 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 콤 전극들을 서로 맞물리게 형성함으로써 얻어진 각각의 전극부가 각각의 입력측 및 출력측 상에 배열된다. 2 개의 배열된 전극부 중 하나는 입력측 전극부로, 다른 하나는 출력측 전극부로서 사용하기 위해, 입력 단자는 입력측 전극부의 하나의 콤 전극에 접속되고, 출력 단자는 출력측 전극부의 하나의 콤 전극에 접속되며, 입력측 및 출력측 전극부들의 각각의 다른 콤 전극은 접지되므로, 입력 단자로 입력되는 신호는 출력 단자로부터 출력된다.
탄성 표면파 필터의 각각의 전극부에서, 한 쌍의 콤 전극들의 인접 전극 핑거들은 각기 작은 갭을 갖고 있다. 고전압 정전기 등이 전극부로 인가되면, 콤 전극들 사이에서 누설 전류가 흐른다.
정전기로 충전된 부분 또는 주변 장치 등과 전극부가 접촉하게 되는 경우, 정전기 인가는 통상적인 사용 상태에서 뿐 아니라 탄성 표면파 필터의 제조 공정이나 탄성 표면파 필터가 최종 제품으로서 보관되는 동안에도 발생한다.
누설 전류가 콤 전극들 사이에서 흐를 때, 절연 파괴 현상이 전극들 사이에서 발생되어, 제품에서 불량이 발생한다.
정전기 인가에 의한 결함을 방지하기 위해, 각각의 전극을 정전 방지제로 코팅한다. 그러나, 이러한 코팅은 정전 방지제가 도포되기 이전에 발생하는 정전기에는 효과적이지 않다. 게다가, 정전 방지제의 도포는 종종 탄성 표면파 필터의 특성을 변화시킬 수 있다.
본 발명은 종래 기술에서 상술된 상황을 고려한 것으로서, 정전기 인가에 의한 전극간 브레이크다운이 방지되어, 제품 결함을 방지한 탄성 표면파 필터를 제공하는데 그 목적이 있다.
상술된 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 주 특징에 따르면, 압전 기판 상에 기설정된 거리를 두고 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 콤 전극들을 서로 맞물리게 형성함으로써 각각 얻어진 전극부들을 각각의 입력측 및 출력측 상에 배열하여 형성된 탄성 표면파 필터가 제공되는데, 여기서 각각의 전극부는 임피던스 정합 수단을 포함한다.
이러한 주 특징과 연관해서, 본 발명은 다음과 같은 부 특징을 갖는다.
상기 주 특징에 따른 임피던스 정합 수단은 입력측 전극부의 입력측 및 출력측 전극부의 출력측 상에 각각 형성된다.
상기 주 특징에 따른 임피던스 정합 수단은 코일 및/또는 커패시터를 포함한다.
상기 주 특징에 따른 임피던스 정합 수단은 전극부가 형성된 기판 상에 형성된다.
상술된 바와 같이 각각의 특징을 갖는 본 발명에 따른 탄성 표면파 필터에 있어서, 정전기가 입력 또는 출력 단자로 인가되는 경우에도, 정전기는 임피던스 정합 코일 및/또는 커패시터를 통해 접지로 방전될 수 있으므로, 정전기에 의한 전극간 브레이크다운이 발생하지 않는다.
본 발명의 상술된 목적 및 다른 목적, 특징, 및 이점은 본 발명의 원리를 채택한 양호한 실시예가 예시적으로 도시된 이하의 상세한 설명 및 첨부된 도면을 참조할 때 당업자들에게 명백할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 탄성 표면파 필터의 개략적인 구성을 도시하는 투시도.
도 2는 본 발명에 따른 탄성 표면파 필터 회로의 일례를 도시하는 회로도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전체 구성을 개략적으로 도시하는 투시도.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 탄성 표면파 필터의 개략적인 구성을 도시하는 투시도.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 탄성 표면파 필터의 회로의 다른 일례들을 개략적으로 도시하는 각각의 회로도.
도 6은 본 발명에 따른 탄성 표면파 필터의 전극부의 일례를 도시하는 평면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 탄성 표면파 필터의 개략적인 구성을 도시하는 투시도.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 탄성 표면파 필터의 개략적인 구성을 도시하는 투시도.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 탄성 표면파 필터의 개략적인 구성을도시하는 투시도.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
2 : 탄성 표면파 필터
4 : 칩
6, 8 : 코일
10 : 제1 전극
10a : 제1 콤 전극
10b : 제2 콤 전극
12a : 제3 콤 전극
12b : 제4 콤 전극
12 : 제2 전극
14 : 압전 부재
20 : 입력 단자
22 : 출력 단자
24 : 접지 단자
32 : 기판
34 : 측벽
50 : 앰프
52 : 믹서
소정의 양호한 실시예가 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명된다.
본 발명의 제1 실시예로서의 탄성 표면파 필터(2)는 도 1에 도시된 바와 같이, 외부 케이싱(30), 외부 케이싱 내에 저장된 칩(4), 및 코일(6, 8) 등으로 구성된다.
외부 케이싱(30)은 도 3에 도시된 바와 같이, 하부면을 정의하는 기판(32), 주변 측벽(34), 및 리드(36) 등으로 구성된다. 칩(4)은 도 1에 도시된 바와 같이, 압전 기능을 갖는 압전 부재(14), 및 이 압전 부재(14) 상에 형성된 제1 전극부(10)와 제2 전극부(12)로 구성된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제1 전극부(10)는 입력측 전극이며, 서로 맞물려 배치되어 있는 제1 콤 전극(comb electrode ; 10a) 및 외부측 제2 콤 전극(10b)으로 구성된다. 제1 및 제2 콤 전극(10a, 10b)의 전극 핑거들이 서로 맞물려 배치되므로, 전극(10a, 10b)은 기설정된 거리를 두고 서로 대향되어 있다.
제2 전극부(12)는 출력측 전극이며, 제1 전극부(10)에서와 동일한 방식으로 서로 맞물려 배치된 제3 콤 전극(12a) 및 제4 콤 전극(12b)으로 구성되고, 제1 전극부(10)에서와 동일한 방식으로`서로 대향되어 있다. 제1 전극부(10) 및 제2 전극부(12)는 압전 부재(14) 상에 사진 제판 공정에 따른 프린팅, 또는 다른 방법에 의해 형성된다.
제1 콤 전극(10a)은 외부 케이싱(30)의 한 측면 상에 형성된 입력 단자(20)에 접속되어 있고, 제3 콤 전극(12a)은 외부 케이싱(30)의 다른 측면 상에 형성된 출력 단자(22)에 접속되어 있다. 제2 콤 전극(10b) 및 제4 콤 전극(12b)은 접지 단자(24)에 각각 접속되어 있다.
코일(6, 8)은 기설정된 임피던스를 갖도록 형성된 임피던스 정합 코일이다. 코일(6)의 한 종단부는 제1 콤 전극(10a)에 접속되고, 다른 종단부는 제2 콤 전극(10b)에 접속된다. 코일(8)의 한 종단부는 제3 콤 전극(12a)에 접속되고, 다른 종단부는 제4 콤 전극(12b)에 접속된다.
도 2는 탄성 표면파 필터(2)의 회로도를 도시한 것이다. 정합 코일(6, 8)은 칩(4)의 입력측 및 출력측에 각각 접속된다. 코일(6)은 앰프(50)에 접속되고, 코일(8)은 믹서(52)에 접속된다.
따라서, 탄성 표면파 필터(2)에 있어서, 앰프(50) 측으로부터 입력 단자(20)로 고전압 정전기가 인가되면, 인가된 정전기는 코일(6)을 통해 접지 단자(24)로 방전된다. 고전압은 제1 콤 전극(10a)과 제2 콤 전극(10b) 사이의 정전기에 의해 발생되지 않으며, 전극간 브레이크다운은 정전기에 의해 발생하지 않는다.
유사하게, 믹서(52) 측으로부터 출력 단자(22)로 정전기가 인가되는 경우에도, 코일(8)을 통해 접지 단자(24)로 방전된다. 고전압은 제3 콤 전극(12a)과 제4 콤 전극(12b)의 전극 핑거간 정전기 인가에 의해 발생되지 않으며, 전극간 브레이크다운은 정전기에 의해 발생하지 않는다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 도시한다.
제2 실시예에서, 제2 기판(42)은 멀티레벨 방식으로 기판(32)의 하부에 위치한다. 제2 기판(42)에는 기판(32)의 코일(6)에 접속될 코일(46)이 형성되어 있다. 특히, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 기판(42)은 기판(32)의 하부측에 부착되고, 제2 기판(42) 상에 형성된 코일(46, 48)은 각각 코일(6, 8)에 직렬로 접속된다.
이는 기판(32)의 하부 영역을 증가시키지 않고도, 코일의 길이를 늘릴 수 있다. 코일(6) 등의 임피던스가 작더라도, 임피던스 정합 코일에 필요한 임피던스 조건이 만족될 수 있다.
임피던스 정합 회로가 도 5a 및 도 5b에 도시된 회로에서와 같이, 커패시터 C1, C2, C5, 및 C6을 갖는다고 가정하자. 이 경우, 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 도 7에 도시된 바와 같이, 커패시터(7, 9)는 코일(6, 8)과 함께, 기판(32) 상에 형성된다. 이는 탄성 표면파 필터가 캐패시터를 요구하는 경우에 대처할 수 있다.
본 발명의 제4 실시예에 따르면, 코일(6) 등과 같은 임피던스 정합 회로는 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(32) 상이 아닌 압전 기판(14) 상에 형성될 수 있다.
본 발명의 제5 실시예에 따르면, 도 9에 도시된 바와 같이, 코일을 사용하지 않고, 커패시터(7) 만이 접속될 수 있다.
본 발명에 있어서의 탄성 표면파 필터의 효과는 정전기가 입력 또는 출력 단자로 인가되는 경우에도, 정전기는 임피던스 정합 코일 및/또는 커패시터를 통해 접지로 방전될 수 있으므로, 정전기에 의한 전극간 브레이크다운이 발생하지 않는다는 것이다.

Claims (9)

  1. 압전 기판 상에 한 쌍의 콤(comb) 전극들을 소정의 간격으로 서로 대향하도록 서로 맞물려 형성한 전극부들을 입력측 및 출력측에 각각 배열하여 형성한 탄성 표면파 필터에 있어서,
    상기 각각의 전극부는 임피던스 정합 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 임피던스 정합 수단은 상기 입력측 전극부의 입력측 및 상기 출력측 전극부의 출력측에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  3. 제1항에 있어서, 상기 임피던스 정합 수단은 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 임피던스 정합 수단은 코일 및 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  5. 제2항에 있어서, 상기 임피던스 정합 수단은 코일을 포함하는 것을 특징으로하는 탄성 표면파 필터.
  6. 제3항에 있어서, 상기 코일은 패턴 코일인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  7. 제4항에 있어서, 상기 코일은 패턴 코일인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  8. 제1항에 있어서, 상기 코일은 멀티레벨 구조를 형성하는 기판들 각각에 형성되고, 상기 기판들에 형성된 코일들은 서로 직렬로 접속되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  9. 제1항에 있어서, 상기 임피던스 정합 수단은 상기 전극부들이 형성된 압전 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6937113B2 (en) * 1998-06-09 2005-08-30 Oki Electric Industry Co., Ltd. Branching filter package
US6222426B1 (en) * 1998-06-09 2001-04-24 Oki Electric Industry, Co., Ltd. Branching filter with a composite circuit of an LC circuit and a serial arm saw resonator
US6426583B1 (en) * 1999-06-14 2002-07-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave element, method for producing the same and surface acoustic wave device using the same
JP3435639B2 (ja) * 2000-04-13 2003-08-11 株式会社村田製作所 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置
US6794958B2 (en) * 2002-07-25 2004-09-21 Agilent Technologies, Inc. Method of fabricating a semiconductor device and an apparatus embodying the method
EP1429460A1 (en) * 2002-12-09 2004-06-16 Evolium S.A.S. Circuit comprising a filter and an analog to digital converter
JP2004304622A (ja) 2003-03-31 2004-10-28 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波デバイス及びその製造方法
JP4419732B2 (ja) * 2003-09-02 2010-02-24 株式会社村田製作所 弾性表面波装置およびその製造方法
US20050093652A1 (en) * 2003-10-31 2005-05-05 Qing Ma Size scaling of film bulk acoustic resonator (FBAR) filters using impedance transformer (IT) or balun
JP4697528B2 (ja) 2004-06-02 2011-06-08 太陽誘電株式会社 弾性波装置
JP4852835B2 (ja) * 2004-09-02 2012-01-11 ソニー株式会社 回折格子−光変調装置集合体

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5533382A (en) * 1978-08-31 1980-03-08 Toshiba Corp Surface wave element
US4297660A (en) * 1978-12-14 1981-10-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electric circuit using surface acoustic wave device
JPS5694815A (en) * 1979-12-28 1981-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elastic surface wave device
JPS56156015A (en) * 1981-03-26 1981-12-02 Toshiba Corp Elastic surface wave device
US4625184A (en) * 1982-07-02 1986-11-25 Clarion Co., Ltd. Surface acoustic wave device with impedance matching network formed thereon
JPH02237211A (ja) * 1989-03-10 1990-09-19 Nec Corp 弾性表面波フィルタ
JPH0329407A (ja) * 1989-06-26 1991-02-07 Mitsubishi Electric Corp 弾性表面波発性装置
JPH03128518A (ja) * 1989-07-12 1991-05-31 Mitsubishi Electric Corp 表面弾性波素子
JPH03220911A (ja) * 1990-01-26 1991-09-30 Fujitsu Ltd 弾性表面波フィルタ
JPH03258010A (ja) * 1990-03-07 1991-11-18 Mitsubishi Electric Corp 弾性表面波装置
JPH04280112A (ja) * 1991-03-07 1992-10-06 Mitsubishi Electric Corp 弾性表面波デバイス
JPH04288720A (ja) * 1991-03-18 1992-10-13 Fujitsu Ltd 弾性表面波フィルタ
JPH04354412A (ja) * 1991-05-31 1992-12-08 Oki Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フィルタ
DE4307726C1 (de) * 1993-03-11 1994-07-28 Siemens Matsushita Components Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement
EP0648015B1 (en) * 1993-10-08 2000-05-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
DE4414160C1 (de) * 1994-04-22 1995-12-21 Siemens Matsushita Components Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement, insbesondere Oberflächenwellenfilter
JPH08167826A (ja) * 1994-12-13 1996-06-25 Nec Corp 弾性表面波素子

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Publication number Publication date
JPH11274886A (ja) 1999-10-08
CN1135697C (zh) 2004-01-21
CN1234651A (zh) 1999-11-10
KR19990078274A (ko) 1999-10-25
US6121859A (en) 2000-09-19

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