JP3294986B2 - 温度依存性のない光素子 - Google Patents
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Description
には、光素子の特性が温度によらない構成に関する。
信の実用化のための研究開発が盛んに行われている。こ
のような光通信においては、高速で大量の信号を伝送す
る必要があり、その一方法として波長分割多重方式が有
力視されている。波長分割多重方式においては、搬送波
の波長の異なる信号を狭い帯域に出来るだけ多く収納す
ることによって、一度に送信する情報量を多くしようと
する試みが行われている。
るチャネルの波長は、互いに非常に接近しており、これ
ら互いに接近した波長を有するチャネルの信号を正しく
送受信するためには、光通信網に使用される光素子の性
能が問題となる。特に、異なるチャネルの波長が接近し
ている場合には、光素子の波長に対する特性が安定して
いることが必要であり、わずかな特性の変化が光信号の
送受信の質を劣化させる。
題点を説明する図である。同図(a)に示されるのは、
ファブリペロー干渉計の構成図である。ファブリペロー
干渉計は、透明体で構成されたスペーサ705の両面に
反射膜703と704を形成したものである。反射膜7
03と704の反射率は例えば、それぞれ95%であ
る。また、同図(a)の構成においては、スペーサ70
5を使用しているが、必ずしもスペーサ705を使用す
る必要はなく、反射能を持つ面を互いに平行に保持する
ことができれば、ファブリペロー干渉計として機能す
る。但し、一般には、製造のし易さや構造上の安定度等
からスペーサ705が使用されるのが普通である。
701が入射すると反射膜703と704の間で多重反
射を起こし、反射されない一部の光が出射光702とし
て出力される。出射光702側では、多重反射の度に出
射される出射光702が互いに干渉しあい、強め合う条
件を満たした波長の光のみが出射光702側に光束を作
って出射され、その他の波長の光は弱め合って、光束を
形成しない。この光束を検出することによって、複数の
波長が重ね合わされた入射光701から特定の波長の光
を取り出すことができる。
(b)の光分波器は透明体からなるスペーサ708と、
その両面に設けられた反射膜706、707と、入射光
710が入射する入射窓709とからなっている。反射
膜706、707の反射率は、例えば、反射膜706が
100%で、反射膜707が95%である。入射窓70
9から入射される入射光710は、入射窓709のあた
りで一旦線状に集光されスペーサ708内部を広がりな
がら伝搬し、多重反射を起こす。反射膜707側からは
多重反射の度に一部の光が出射光711として出力され
る。出射側では、多重反射の度に出射される出射光71
1が互いに干渉しあい、波長に依存して異なる方向に光
束を形成する。このようにして形成される光束を受光す
ることによって、複数の波長が重ね合わされて送信され
てきた入射光710をそれぞれの波長に分けて受光する
ことができる。
用しているが、ファブリペロー干渉計と同様に反射膜7
06、707を互いに平行に保つことができれば特に必
要ではないが、一般にスペーサ708の両面に反射膜7
06、707を設けるのが普通である。
ては特願平7−190535号に記載されており、上記
特許出願に記載された光素子をVIPA型素子と呼ぶこ
とにする。なお、VIPA素子の詳細については、MO
C 95 学会 マイクロオプティクス コンフェレン
ス 広島 PD−3 10月20日発表の文献に記載さ
れている。
過率を波長に対して記載したものである。同図(c)に
示されているように、ファブリペロー干渉計は、特定の
条件を満たす波長の光を透過する性質を有している。と
ころが、ファブリペロー干渉計の周囲の温度等の条件が
変化すると素子自体の特性も変化し、透過する光の波長
が、同図(c)の点線で示されるようにずれてしまう。
従って、受光側でファブリペロー干渉計を介して受信す
る光の波長が変わってしまうので、光システムが正常に
働かなくなる可能性を有している。これはVIPA型素
子についても同様のことが起こり、それぞれの波長を有
する光が出力される方向が変化するという現象を生じ
る。
べたように、光素子の特性が温度の変化によって変わ
り、得るべき作用が得られなくなることが生じる。これ
は、ファブリペロー干渉計やVIPA型素子に共通に使
用されている透明体のスペーサ704あるいは708が
温度の上昇によって膨張することによる。スペーサ70
4あるいは708が膨張すると、ファブリペロー干渉計
やVIPA型素子の反射膜間が広がると共に、屈折率も
変化し、光が多重反射する間に通過する光学的距離が変
化するので、素子自体の特性も変化してしまう。例え
ば、ファブリペロー干渉計やVIPA型素子のスペーサ
としてSiO2 を使用した場合、温度が1度上がる毎に
厚さの変化はほとんどないが、屈折率の変化が10-5程
度あるので、スペーサの厚さが1500nmであるとす
ると、10度温度が上がったときの屈折率と厚さの積
(光学的距離)の変化は0.15nmに達し、無視でき
ない大きさとなる。
って特性の変化しない構成を有する光素子を提供するこ
とである。
に、本発明の光素子は、両面に光を反射する反射膜を有
する透明体薄板と、該透明体薄板と異なる材質で構成さ
れ、該透明体薄板の少なくとも片面に密着された、透明
体薄板よりも熱膨張係数の大きい板状体とを有し、温度
変化によって生じる透明体薄板の厚さと屈折率との積の
変化が、板状体の温度変化に伴って生じる体積変化によ
って透明体薄板が変形されることによって相殺され、透
明体薄板の厚さと屈折率との積が近似的に不変に保たれ
ることを特徴とする。
こし、厚さが厚くなるとともに、屈折率も変化しようと
したとき、同時に透明体薄板に密着された板状体も膨張
する。板状体の熱膨張係数は透明体薄板よりも大きいの
で、膨張する大きさも大きく、透明体薄板を引っ張って
膨張することになる。透明体薄板は板状体によって引っ
張られるので、機械的に透明体薄板が引き延ばされるよ
うになる。この機械的に引き延ばされる効果により、温
度上昇により変化した透明体薄板の厚さと屈折率との積
の値の変化が相殺され、近似的に不変に保たれる。
光が伝搬する光学的距離は透明体薄板の厚さと屈折率と
の積によるので、これが温度によって不変に保たれるこ
とにより、透明体薄板を利用した光素子の特性も不変に
保たれることになる。
収縮を起こすが、これに伴い、厚さが薄くなる。しか
し、透明体薄板に密着された板状体は透明体薄板よりも
更に収縮し、透明体薄板を更に収縮させる。これによ
り、透明体薄板の厚さは厚くなり、結果として、温度の
上昇の場合と同じように、透明体薄板の厚さと屈折率と
の積が近似的に、温度変化に対し不変に保たれる。
説明する図である。同図に示されるのはファブリペロー
干渉計やVIPA型素子のスペーサとして用いられる透
明体薄板100である。本発明の実施例においては、こ
の透明体薄板100に熱膨張係数が透明体薄板100の
それよりも比較的大きな別の材料で構成された板状体
(不図示)を接着もしくは密着する。これにより、スペ
ーサである透明体薄板100が熱によって膨張し、薄板
の厚さが変わって光の通る光路長が変化しようとしたと
しても、熱膨張係数の大きな板状体の膨張により、透明
体薄板の光路長の変化を相殺するように構成する。
両面あるいは上面か下面のいずれかの面に熱膨張係数が
透明体薄板100よりも大きな板状体(不図示)を接着
あるいは密着した場合を考える。
屈折率の温度係数をn1、ポアソン比(力学的に縦方向
に単位長さ伸びたときの物体の横縮みの大きさ)をσ、
屈折率の歪み係数の平行成分をP1、垂直成分をP2と
する。なお、屈折率の歪み係数の平行成分は、光の偏波
方向に対し平行な方向に歪みを受けた場合の屈折率の変
化の割合を示し、垂直成分は、光の偏波方向に対し垂直
な方向に歪みを受けた場合の屈折率の変化の割合を示し
ている。また、透明体薄板100に接着または密着され
た板状体の熱膨張係数をα2、とする。
型素子の特性の変化は、透明体薄板100の膨張による
光学的距離の変化であったので、これを一定にするよう
にする。そこで、今、図1の透明体薄板100の厚さを
tとし屈折率をnとすると、光学的距離はntに依存す
る。従って、温度の変化に従って生じるntの変化の割
合Δ(nt)/ntを近似的に零になるようにすれば、
光学的距離の変化をほぼ零にすることができる。
合Δ(nt)/ntは、式で表すと、
tの変化の割合Δ(nt)/ntは、屈折率の変化の割
合と透明体薄板100の厚さの変化の割合とを加えたも
のになる。
に求める。まず、熱膨張係数が大きい板状体が設けられ
ていない場合の透明体薄板100の厚さと屈折率との積
ntの変化の割合は、α1+n1となる。
れているために透明体薄板100が板状体に引っ張られ
て厚さと屈折率との積ntが変化する量を求める。先
ず、板状体が膨張することによって透明体薄板100が
よけいに引き延ばされる割合はα2−α1であり、これ
による透明体薄板100の厚さの減少はσ0(α2−α
1)となる。ここで、σ0=2σ/(1−σ)である。
このσ0は、透明体薄板100が2次元的に広がること
を考慮して得られたもので、σの無限等比級数の和によ
って表され、係数の「2」は、2次元的に引っ張る場合
に2方向あることを反映している。
とによる透明体薄板100の屈折率の変化の割合を求め
る。光の偏波方向が図1に示されるようになっていたと
すると、(A)の方向への伸びは(α2−α1)とな
る。この方向は、光の偏波方向と同じ方向であるので、
屈折率の変化の割合は、−P1(α2−α1)となる。
化の割合は、(B)の方向が光の偏波の方向に対し垂直
な方向であるので、−P2(α2−α1)となる。更
に、(C)方向の縮みによる屈折率の変化の割合は、
(C)の方向も光の偏波の方向に対し垂直な方向である
ので、P2(α2−α1)σ0となる。ここで、σ0を
掛けているのは、(A)、(B)方向の2次元的な伸び
に対する厚さの縮む割合に相当するからである。
されているので(A)、(B)のように伸びに対しての
場合はマイナス符号であり、(C)ではプラス符号であ
る。以上で屈折率の変化の割合と厚さの変化の割合との
それぞれの原因による量を求めることができたので、こ
れらを足し合わせて、透明体薄板100の光学的距離の
変化の割合Δ(nt)/ntを式(1)に従って求める
と以下のようになる。
的に零になるならば、温度変化に対し透明体薄板100
の光学的距離は変化しないことになる。従って、透明体
薄板100を使用した光素子は温度により特性を変化さ
せないものが得られることになる。すなわち、式(2)
を近似的に零にするように光素子を構成する材質を選ぶ
ことによって、温度上昇による特性の変化のない光素子
を形成できる。
板状体の熱膨張係数α2=14×10-6とし、透明体薄
板100の熱膨張係数をα1=5.9×10-6、ポアソ
ン比をσ=0.293、屈折率の温度係数をn1=2.
1×10-6とすると、式(2)の値は、
ば、ほぼ零になる。これは、上記具体的数値例に近い値
の材質を多種類ある光学ガラスから選ぶことによって、
実際に実現することができる。なお、上記数値例は、あ
くまで例であり、式(2)を満たすように材料を選べ
ば、どのような材質を使用してもよい。
〜14×10-6(例外的に、溶融石英の場合は0.
5)、ポアソン比が0.2〜0.3(例外的に、溶融石
英の場合は0.16)、屈折率の温度係数が1〜約5×
10-6、屈折率の歪み係数が平行成分、垂直成分共に
0.1〜0.3程度となっているので、上記具体的数値
例は光学ガラスを選定することによって、実現が可能で
ある。また、上記数値例にパラメータの数値が一致して
いなくても式(2)をほぼ零にするような材質を選んで
光素子を構成すれば、温度依存性のない光素子を形成す
ることができる。
ある。同図(a)は、ファブリペロー干渉計に板状体を
接着し、前述のようなパラメータを有する光学ガラスを
透明体薄板201と板状体203に使用したものであ
る。ファブリペロー干渉計は透明体薄板201と反射膜
202とからなっており、両反射膜の設けられている面
に板状体203を設けた構成である。なお、図2の構成
においては、板状体203は透明な材質でできていると
している。
って透明体薄板201が膨張して厚さtが厚くなろうと
し、また、屈折率nが増加しようとするが、板状体20
3が透明体薄板201よりも大きく膨張するために、透
明体薄板201は、矢印に示されるように、機械的に外
側へ引っ張られ厚さを薄くされる。これにより、厚さt
と屈折率nの積の上昇が打ち消されて光学的距離が一定
に保たれる。
長によって適宜選択されるが、実際的には50〜100
μm程度の厚さである。また、板状体203の厚さは、
両方が同じ厚さである必要はないものの、同じ厚さであ
ることが好ましく約2mm程度に構成する。このよう
に、透明体薄板201の厚さtよりも板状体203の厚
み(TまたはT’)をかなり厚くするのは、透明体薄板
201が板状体203に引っ張られるときに、透明体薄
板201が縮もうとする力が勝らないようにするからで
ある。透明体薄板201が縮もうとする力が、板状体2
03が透明体薄板201を引っ張る力より勝ると、透明
体薄板201が引っ張られず、光学的距離を一定に保つ
ことが出来なくなってしまう。
ためには、このように板状体203の厚さが透明体薄板
201よりも厚い必要があるが、板状体203の厚さは
透明体薄板201の厚さの5倍程度であれば、図1で説
明した効果を得ることができる。特に、好ましくは板状
体203の厚さは透明体薄板201の10倍から20倍
である。
から接着するのが一般的であるが、反射膜202の表面
及び板状体203の表面を非常に平らに研磨することに
よって、オプティカルフラットを形成し、互いに密着さ
せるだけでも板状体203を取りつけることができる。
オプティカルフラットを形成した面を密着すると面と面
の隙間が無くなり、接着剤で接着したように互いがくっ
ついてしまうので、板状体203と反射膜202の接触
する面がオプティカルフラットに形成できる場合には特
に、接着剤等を用いて接着する必要はない。
面にのみ透明な板状体203を設けた構成である。この
ように、光素子を設ける条件により板状体203を透明
体薄板201の両面に設けることができない場合にも、
片面だけに板状体203を設けることにより、上記と同
じ効果を得ることができる。このときも透明体薄板20
1の厚さtは板状体203の厚さTに比べて薄く、Tの
ほうがtよりも5倍以上厚いことが好ましい。
ー干渉計の構成を前提に述べたがVIPA型素子の場合
にも同様に作用を有する。すなわち、VIPA型素子の
場合には同図(a)及び(b)において、反射膜202
の片面に光の入射窓を設け、反射膜202の片方の面を
反射率100%、他方の面を95%程度とすることによ
り構成できる。
ある。同図においても、先に導いた式(2)を満たすよ
うに材料を選定して、構成する。同図の構成において
は、透明な板状体203の面積を透明体薄板201より
も大きく形成している。透明体薄板201の両面には図
2と同様に反射膜202が設けられており、ファブリペ
ロー干渉計を形成している。また、前述したように、反
射膜202の片面を反射率100%とし、もう片面を反
射率95%として、反射膜202の一部に光の入射窓を
設けることによりVIPA型素子を形成することができ
る。
〜100μmであり、板状体203の厚さの5分の1以
下となるように板状体203の厚さを設定する。実際に
は、この板状体203の厚さは2mm程度にするのが適
当である。同図(a)には、板状体203を透明体薄板
201の両面に設けている。このようにすることによっ
て、透明体薄板201は温度の変化に伴い、両側にある
板状体203が膨張するのに引っ張られて引き延ばされ
る。
薄板201の面積よりも大きく形成しているので、板状
体203が透明体薄板201を引っ張る力がより強くな
り、図1で説明した作用をより確実に達成することがで
きる。
片面に設けた構成を示す。このような構成は、板状体2
03が透明体薄板201を引っ張る力が片面に偏るが、
熱膨張による伸びは非常に小さいので板状体203と透
明体薄板201が反射膜202を介して全面的にしっか
りと接着されていれば、特に問題なく同図(a)の構成
と同じ作用を得ることが出来る。
体薄板201の厚さtの5倍以上に形成する。板状体2
03の材料としては前述の光学ガラスから選ぶか、他の
光透過性を有する熱膨張係数の大きいものを選ぶ。この
ような構成においては、例えば、入射光204が反射膜
202の片面から入力され、透明体薄板201内部で、
多重反射を繰り返しながら、出射光205として出射さ
れる。出射光205は板状体203内部を通過してくる
必要があるので、同図(b)に示すような構成において
は、光透過性を有する材質を選ぶ必要がある。
板状体203を透明体薄板201よりも接着面側の面積
を大きくとっているので、熱膨張の際に透明体薄板20
1を引っ張る力が透明体薄板201の全面に渡って働
き、より効率よく光学的距離の変化の補償を行うことが
できる。
ある。同図においては、透明な板状体401と、反射膜
202が設けられた透明体薄板201とを金属の溶着で
接着したものである。この場合には、反射膜202の外
側に薄い金属層を蒸着等により形成するとともに、板状
体401の透明体薄板201に接する面に金属層を蒸着
等で形成し、板状体401の金属膜と反射膜202に蒸
着された金属膜とをはんだ等で接着する。
ないので、透明体薄板201に光を入射するための光入
射口404を設ける。同図(b)に示す例においては、
中央の光入射口404を除いて金属膜405が設けられ
ている、このような場合においても、透明体薄板201
が熱によって膨張する場合に、はんだ等で接着された板
状体401も膨張し、透明体薄板201を更に面積方向
に引っ張って、光学的距離を一定に保つ。このような金
属膜405を使用して接着する場合には、金属膜405
の接着が、接着剤を用いたり、オプティカルフラットに
面を仕上げて、密着する場合よりも信頼性の高い接着を
行うことができる。
のみの場合においても、不透明な接着剤を使用する場合
には、同図(b)に示すように、光入射口404を設け
て、この部分は不透明な接着剤が付かないようにする。
明な接着剤を使用する場合には、光の通り道を確保して
おかなくてはならない。従って、この光入射口404の
部分は、接着されないことになるが、光入射口404の
周囲がしっかりと接着されるので、板状体401が透明
体薄板402を引っ張る際の効果には、変わりがない。
従って、図1で説明したように、温度による特性の変化
のない光素子を形成することができる。
明体薄板201の両側に板状体401を設ける構成のみ
を示したが、図2や図3で示したように、透明体薄板2
01の片側のみに板状体401を設ける構成としてもよ
い。このような場合にも光入射口404を板状体401
に設ける。この光入射口404の形成方法は、板状体4
01が透明な材質でできている場合には、金属膜あるい
は不透明な接着剤を光入射口404となる部分のみを避
けて板状体401あるいは透明体薄板201に設けるあ
るいは塗布するようにすればよい。なお、図4(b)に
おいては、円形状に光入射口404が設けられている
が、必ずしもこのような形状にする必要はない。
質を使用した場合の第4の実施例を示す図である。同図
(a)、(b)に示す構成は、図4で示した構成と基本
的に同じである。すなわち、透明体薄板201の両面に
反射膜202を設けたファブリペロー干渉計あるいはV
IPA型素子の両面に、透明体薄板201よりも熱膨張
係数の大きい不透明な板状体501を接着あるいは密着
する。この場合、板状体501は不透明なので、透明体
薄板201に光を導くため、光出射口504及び光入射
口505を設ける。図4の場合には、板状体501は透
明であったため金属膜あるいは接着剤を光の通り道をあ
けるように設ける、あるいは塗布すればよかったが、同
図(a)、(b)に記載した構成の場合には、板状体5
01自身が不透明なので、入射光が入射する光入射口5
05と、出射光が出力される光出射口504を、板状体
501に穴を開けることによって形成する。
うに、入射光は光入射口505から入射し、透明体薄板
201内部で多重反射し、多重反射する度に出射光が光
出射口504から出力される。出射光は互いに干渉し、
ファブリペロー干渉計の場合には、特定の波長の光が光
束として得られ、VIPA型素子の場合には光束が波長
によって異なる方向に形成される。
04が設けられていることにより、透明体薄板201と
板状体501の接触面積が狭くなるが、板状体501の
厚さが透明体薄板201よりも5倍以上厚く形成されて
いるので、図1に説明した作用は問題なく達成される。
光入射口505が設けられている構成が示されている。
同図(b)では、光入射口505の形状が円形に形成さ
れているが、必ずしも円形に限らず、素子の利用の仕方
によって、様々な形状が可能である。また、板状体50
1の面積は透明体薄板201の面積よりも小さくなって
いるが、透明体薄板201の面積よりも大きく形成して
もよい。
おいては、透明体薄板や板状体は、その形状が直方体形
に構成されているものを示したが、必ずしもこのような
形に限らず、素子の利用の仕方によって様々な形状に形
成してもよく、このような場合においても図1で説明し
た作用は同様に得ることができる。
薄板201や板状体の材質は式(2)が近似的に零にな
るようなパラメータを有する材質を選んで構成する。図
6は、本発明の第5及び第6の実施例を説明する図であ
る。
り合わせた構成を示しており、透明体薄板601の片面
と透明体薄板602の片面にそれぞれ反射膜604を有
しており、ファブリペロー干渉計やVIPA型素子を形
成可能となっている。
板602を張り合わせた構成においては、例えば、透明
体薄板601を光学的距離の温度上昇による変化が正の
材質を使用し、透明体薄板602には光学的距離の温度
上昇による変化が負の材質を使用する。ここで、光学的
距離とは近似的に透明体薄板601あるいは602の厚
さと屈折率との積をとったもので表すことができる。そ
して、光学的距離の温度による変化を透明体薄板601
と透明体薄板602とで互いに打ち消し合い、透明体薄
板601と透明体薄板602を張り合わせた全体の薄板
としては温度変化による特性の変化が起こらないように
構成することが可能である。
が近似的に零になる材質を選んで透明体薄板603と
し、透明体薄板603の両面に反射膜604を設けたも
のである。このように、厚さtと屈折率nとの積が温度
によって変化しない材質を使用することによって、透明
体薄板603に板状体を接着または密着することなし
に、温度依存性のない光素子を形成することができる。
材料としてPMMAが考えられる。PMMAは熱膨張係
数が7×10-5であり、屈折率の温度変化の割合Δn/
N=−7×10-5〜−15×10-5となっており、Δn
/Nが−7×10-5より小さい場合は屈折率と厚さの積
の温度変化が負になるので、同図(a)に示すような透
明体薄板602として使用可能である。また、PMMA
の屈折率の温度変化の割合が−7×10-5であるとき
は、熱膨張係数が7×10-5であるので、屈折率と厚さ
の積の温度変化としては、互いに打ち消し合って、ほぼ
零になるので同図(b)の透明体薄板603として使用
が可能である。
ロー干渉計あるいはVIPA型素子を前提に説明した
が、これ以外の多くの光素子にも応用が可能である。
率の高い板状体を張り合わせることによって、透明体薄
板の厚さと屈折率との積を温度変化に対して変化しない
ようにすることができる。
温度変化に対して変化しないようにするための材料は、
一般的な光学ガラスとよばれる多種類あるガラスの中か
ら選ぶだけでよいので、特別な材料を開発する必要もな
く、手軽に温度依存性のない光素子を形成することがで
きる。
ある。
る図である。
明体薄板 202、703、704、706、707 反
射膜 203、401、501 板状体 204、701、710 入射光 205、702、711 出射光 404 光入射口 405 金属膜 504 光出射口 505 光入射口 705、708 スペーサ(透明体) 709 入射窓
Claims (11)
- 【請求項1】両面に光を反射する反射膜を有する透明体
薄板と、 該透明体薄板と異なる材質で構成され、該透明体薄板の
少なくとも片面に密着された、前記透明体薄板よりも熱
膨張係数の大きい板状体とを有し、 温度変化によって生じる前記透明体薄板の厚さと屈折率
との積の変化が、前記板状体の温度変化に伴って生じる
体積変化によって前記透明体薄板が変形されることによ
って相殺され、前記透明体薄板の厚さと屈折率との積が
近似的に不変に保たれることを特徴とする光素子。 - 【請求項2】前記透明体薄板と板状体は透明な材質また
は接着剤によって接着されていることを特徴とする請求
項1記載の光素子。 - 【請求項3】前記透明体薄板と前記板状体とは、光を透
過しない材質または接着剤によって、光の通過領域を除
いて接着されていることを特徴とする請求項1記載の光
素子。 - 【請求項4】前記透明体薄板と前記板状体の表面には金
属膜が形成され、該金属膜の溶接によって前記透明体薄
板と前記板状体とが接着されていることを特徴とする請
求項3記載の光素子。 - 【請求項5】前記透明体薄板の厚さが前記板状体の厚さ
の5分の1以下の厚さであることを特徴とする請求項1
記載の光素子。 - 【請求項6】前記板状体は、光に対して不透明な材質で
構成され、光が前記透明体薄板へ入射し、もしくは前記
透明体薄板から出射するための開口部を有することを特
徴とする請求項1記載の光素子。 - 【請求項7】前記反射膜を有する前記透明体薄板はファ
ブリペロー干渉計を構成することを特徴とする請求項1
記載の光素子。 - 【請求項8】前記反射膜を有する前記透明体薄板はVI
PA型素子を構成することを特徴とする請求項1記載の
光素子。 - 【請求項9】前記透明体薄板の材質が光学ガラスからな
ることを特徴とする請求項1記載の光素子。 - 【請求項10】前記板状体の材質が光学ガラスからなる
ことを特徴とするs1記載の光素子。 - 【請求項11】両面に反射膜を有する透明体薄板を有
し、該透明体薄板の内部で光の多重反射を利用する光素
子において、 前記透明体薄板の厚さと屈折率の積が温度変化に対して
近似的に不変に保たれ、 前記透明体薄板は互いに密着された複数の薄板からな
り、各薄板の厚さと屈折率の積の合計が温度に対して近
似的に不変に保たれることを特徴とする光素子。
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