JP3045102B2 - 波長多重光伝送用光イコライザ - Google Patents

波長多重光伝送用光イコライザ

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JP3045102B2
JP3045102B2 JP9118462A JP11846297A JP3045102B2 JP 3045102 B2 JP3045102 B2 JP 3045102B2 JP 9118462 A JP9118462 A JP 9118462A JP 11846297 A JP11846297 A JP 11846297A JP 3045102 B2 JP3045102 B2 JP 3045102B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長多重光伝送装
置に用いられる、光増幅器の利得波長依存特性を平坦化
する光イコライザに関する。
【0001】
【従来の技術】光通信システムの大容量化を実現するた
めの技術のひとつに、光波長多重伝送方式がある。これ
は1本の光ファイバに互いに波長が異なる複数の光信号
を多重化した上で伝送する方式である。
【0002】一方、近年急速に実現化された、希土類ド
ープ光ファイバを増幅媒体とする光ファイバ増幅器は、
異なる波長の信号を一括して増幅することが可能であ
る。この光ファイバ増幅器を光波長多重伝送方式に適用
すれば、大容量長距離伝送システムが実現できる。
【0003】ところで、一般に光ファイバ増幅器および
光半導体増幅器のどちらについてもその利得は波長によ
り異なる。したがって、波長多重された複数の信号光を
一括増幅すると、光増幅器の光出力レベルは、波長によ
って異なる。しかも光増幅器を多段に接続した場合は、
この光出力レベル差が累積する。
【0004】受信器側において波長分岐後に受信する
際、光出力レベルが波長により異なるため、各波長間の
クロストーク劣化や、受信器の受光レベルの設定上の問
題が生じる。そこで、光増幅器の利得波長依存性を補償
する光イコライザが必要になる。
【0005】従来、光ファイバ増幅器の利得波長依存性
を補償する方法のひとつに光ファイバ増幅器にその利得
波長依存性を平坦化するための等化光フィルタを挿入す
る方法がある。このような手法は、例えば、特願平01
−177985号に記載されている。また、別の方法と
して、特願平05−109975号に記載されているよ
うな光ファイバカプラを備える方法がある。
【0006】また、等化光フィルタのひとつとして、グ
レーティング型(例えば、M.Tachibana,
R.I.Laming, P.R.Morkel an
dD.N.Payne”Gain−shaped Er
bium−doped fibre amplifie
r with broad spectral ban
dwidth”,Technical Digest
on Optical Amplifiers and
Their Applications.pp.44
−47,1990.)、マッハツエンダ型(例えば、特
願平2−270766号)が提案されている。
【0007】さらに、マッハツエンダ型の光イコライザ
の改善型として、透過率の波長依存性の変動周期が互い
に異なるマッハツエンダ型光フィルタを多段に従属接続
したものが提案されている(例えば、特願平5−600
47号)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来例には、
それぞれ以下に示す欠点がある。
【0009】すなわち、光ファイバカプラは、2本の光
ファイバを溶融・延伸して作製され、光ファイバ間のエ
バネセント結合を利用している。この種のカプラでは、
損失の波長依存性の変動周期を短くする場合、原理上、
融着結合部を長く作る必要があり、融着結合部の長さと
ともに、損失波長特性の製造再現性は低下する。
【0010】現在、光ファイバ増幅器で用いられている
波長1550nm帯において、光ファイバ増幅器の利得
対波長特性を補償しようとした場合には、光ファイバカ
プラの損失対波長特性曲線の周期を約100nm以下ま
で短くする必要があり、このような特性を安定的に作製
するには技術的困難が伴う。
【0011】一般に、光増幅器の利得対波長特性を光フ
ィルタによって補償しようとした場合、光フィルタの透
過波長特性を双峰性としなければならない場合が多い。
このような双峰性の透過波長特性を得る場合には、2つ
の透過ピークの波長間隔と透過率を厳密に再現性良く作
製する必要が生じる。誘電体多層膜による干渉膜フィル
タを用いた例では、このような双峰性の透過特性を厳密
かつ安定的に製造するのは極めて困難である。
【0012】また、グレーティング(ファイバ型グレー
ティング、あるいは、ガラス基板上に設けられたグレー
ティング)を用いた例では、その損失の波長依存性は特
定の波長で急峻なピークを有しており、光増幅器の利得
波長曲線とのずれが大きいため、これを利得波長依存性
の補償に使用する場合には、原理上、補償誤差が大きく
なるという欠点がある。
【0013】他の従来例として、マッハツエンダ型光フ
ィルタがある。これは、石英導波路基板上にマッハツエ
ンダ型導波路が形成され、それぞれの位相調整には熱光
学効果が用いられている。このマッハツエンダ型光フィ
ルタでは、電極に印加される電圧を調整して熱光学効果
による屈折率変化を生じさせ、位相を変化させて透過率
波長依存性を波長方向に調整している。マッハツエンダ
型光フィルタは、例えば特願平5−60047号に詳細
に記載されている。
【0014】しかしながら、マッハツエンダ型光フィル
タの場合、導波路上に設けられた電極の発熱により透過
光の位相調整を行うため、導波路内部の歪みが発生しや
すく、これが透過率の偏光依存性を発生させるという欠
点がある。
【0015】このような従来の光フィルタに内在する種
々の問題点を解決する手段として、特願平8−1009
10号に記載の光イコライザとこのイコライザを用いた
光増幅器及び波長多重光伝送装置に関する発明がある。
本発明の目的は、この光イコライザがもつ光増幅器の利
得波長依存性の補償誤差が少なく、透過率の偏光依存性
が小さいという特徴を生かしつつ、さらに安定に製造し
得る光イコライザを実現することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の波長多重光伝送
用光イコライザは、従来の上記欠点を除去するために、
縦続に配置された複数のエタロンフィルタと、このエタ
ロンフィルタに光を出力する光出力部と、エタロンフィ
ルタを透過する光が入力される光入力部とを備え、複数
のエタロンフィルタは、互いに異なるフリースペクトラ
ム領域を有している。
【0017】ここで、本発明の光イコライザでは、エタ
ロンフィルタがあらかじめ定められた角度を有するくさ
び形状の第1の基板と、角度と同じ角度のくさび形状を
有し第1の基板のくさび形状とは逆向きに配置された第
2の基板の間に配置されていることを特徴としている。
【0018】また、本発明の波長多重光伝送用光イコラ
イザは、エタロンフィルタがあらかじめ定められた角度
を有するくさび形状の第1の基板に接合されていること
を特徴としている。一方、エタロンフィルタは、光信号
のビーム径よりも大きい穴を有する基板が、穴を光信号
が通過するように接合されていることを特徴としてい
る。
【0019】そして、エタロンフィルタは、光を透過さ
せるガラス等の基板の両面に光の一部を反射させる反射
膜が形成された反射基板及び、上記基板の線膨張係数に
近い、もしくは同一のガラスなどのブロックが固定され
ている。また、ガラスブロックの一面に、反射基板にか
わり蒸着あるいはスパッタリングにより形成されたエタ
ロンフィルタと同等の光学特性を持つ誘電体多層膜が形
成されている。ここで、この基板ないし誘電体多層膜
は、エタロンフィルタを透過する複数の光信号の損失差
があらかじめ定められた特定の値になる板厚ないし膜厚
を有している。
【0020】
【発明の実施の形態】まず最初に、上記特徴を有する光
イコライザの基本原理について説明する。
【0021】本発明の波長多重光伝送用光イコライザ
は、光軸を一致して配置した2つの光ファイバコリメー
タの光路間に、フリースペクトラム領域(以下「FS
R」という。)が互いに異なる少なくとも2つ以上のエ
タロンフィルタが縦続に配置されている。
【0022】エタロンフィルタは、平行に配置した2つ
の半透過膜間の繰り返し反射による干渉の原理を応用し
たものである。空気中に置かれた屈折率nの媒質の両面
に、それぞれ反射率r1およびr2の半透過膜を施した
場合、これらの半透過膜間の繰り返し反射による干渉の
透過率(T)は、近似的に
【0023】
【数1】
【0024】で表される。ここで、
【0025】
【数2】
【0026】である。
【0027】一方、信号光波長に対する光増幅器の利得
曲線は、波長に対するフーリエ級数に展開できる。した
がって、利得曲線のフーリエ展開項と同じ振幅および周
期の正弦波状損失特性を有するフィルタを組み合わせれ
ば、光増幅器の利得曲線を完全に平坦化することができ
る。
【0028】本発明の光イコライザでは、(1)式で示
される正弦波状の損失波長特性を有するエタロンフィル
タを用いるため、光増幅器の利得対波長曲線を、原理
上、完全に補償し平坦化することができる。
【0029】上述した本発明の光イコライザを光増幅器
に適用した場合の波長間の利得の平坦化の原理について
を、図面を参照してさらに詳細に説明する。図1は、光
イコライザの利得波長依存性補償動作の原理説明図であ
る。
【0030】図1(a)は、光ファイバ増幅器の利得の
波長依存性の一例を示す曲線(利得波長曲線)である。
このような利得の波長依存性もエタロンフィルタにより
平坦化することができる。すなわち、本発明の図1
(a)の利得波長曲線を2次のフーリエ展開項にまで展
開し、これらのフーリエ展開項とそれぞれ同じ振幅およ
び周期を持つ複数のエタロンフィルタを用いる。
【0031】例えば、上記利得波長曲線に対しては、図
1(c)および(d)のような損失波長特性を有するエ
タロンフィルタを用いる。この損失波長特性の振幅およ
び周期は、上述したように、エタロンフィルタの光路長
および反射率を適宜設定することにより得られる。この
2つのエタロンフィルタを組み合わせると、図1(b)
の損失波長特性を持った光イコライザが得られる。
【0032】図1(b)の損失波長特性は、利得波長曲
線のフーリエ展開項の重ね合わせであるため、図1
(a)と本質的に同等の曲線となっている。したがっ
て、図1(b)の損失波長特性を有する光イコライザを
用いれば、図1(a)の利得波長線を平坦化することが
できる。
【0033】なお、上記エタロンフィルタは、透過波長
特性を光の入射角度θで調整できるため、光イコライザ
製造時に損失波長特性を微調できるという利点を有して
いる。さらに、エタロンフィルタの損失の偏光依存性
は、光の入射角θをゼロに近づけることにより簡単に解
消することができるという利点も有している。
【0034】次に、本発明の光イコライザの実施例につ
いて図面を参照して詳細に説明する。
【0035】図2は、本発明の光イコライザの実施例の
構成を示す図である。
【0036】光ファイバ11および12は、レンズ21
および22により、コリメートビームによって光学的に
結合されている。レンズ21および22の間には、互い
にFSRの異なるN個のエタロンフィルタ30が挿入さ
れている。N番目のエタロンフィルタの損失最大値、損
失最小値およびFSRは、本発明の光イコライザを適用
する光増幅器の利得波長特性をフーリエ級数展開して設
定される。
【0037】まず、本発明の光イコライザを構成するエ
タロンフィルタについて説明する。
【0038】図3は、本発明の光イコライザに用いられ
るエタロンフィルタの構成を一例を示す図、図4は、図
3に示されるエタロンフィルタに用いられる基板の構成
を示す斜視図、図5は、図4に示される基板の縦断面図
である。
【0039】エタロンフィルタは、上述の理論を適用す
ることにより、設計することができる。ところが、実際
の光イコライザの組立においては、エタロンフィルタ
は、通常板厚が極めて薄く、ハンドリングが困難という
問題がある。本実施例では、これらの実際の製造上の問
題をも解決し得る構成について説明する。
【0040】本発明の光イコライザの一実施例に用いら
れるエタロンフィルタは、その光学的特性を損なうこと
なく、エタロンフィルタ板厚を増やすことで取り扱いを
容易にすると同時にし、強度を確保している。エタロン
素子とその支持固定部分の線膨張係数差により発生す
る、エタロン素子の熱応力による変形及びそれに付随す
る光学特性劣化も抑制している。
【0041】図3に示されるように、エタロンフィルタ
は、エタロン素子63がこれと同等あるいはこれに近い
線膨張係数を持ち、かつ強度が十分に大きいブロック6
1によって、厚さ方向に挟持された構成を有している。
ブロック61のB面(図5参照)とエタロン素子63の
両光学面は、光学用接着剤62で接着固定されている。
【0042】ブロック61は、Figs. 4と5に示される
ように、エタロン素子63と同一あるいは近い線膨張係
数を有する誘電体の平行平板(たとえば石英ガラス)の
1面を1方向に研磨し、楔状にしたものである。光軸5
(図中x軸と平行)と直交し、図中A面と垂直な軸をy
軸と置き、x、y軸と直交する軸をz軸とおいた場合、
ブロックの楔加工面(以下傾斜面と呼ぶ)は、図中y軸
方向にのみ傾斜しているので、x−y平面と平行な任意
の面にてブロックを切断した場合、その断面形状は同一
の台形となる.また、x−z平面と平行な任意の面にて
ブロックを切断した場合、その断面形状は長方形とな
る.図3に示すエタロン素子63の両面に固定された2
つの同一のブロック61は、図3に示されるように、そ
の傾斜面の法線ベクトルが平行であるように配置されて
いる.次に、本発明の光イコライザの原理について、説
明する。図6は、図3に示されるエタロンフィルタを用
いた本発明の光イコライザの一実施例を示す図である。
【0043】光ファイバ11及び12は、レンズ21、
22によって光学的に結合されている。レンズ21、2
2の間は、コリメートビームになっており、光路中には
少なくとも一つのフィルタ6が挿入されている。フィル
タ6は、2つの楔状ブロック61とエタロン素子63が
光学用接着剤で固定されている。
【0044】コリメートビーム5は、ブロック61に入
射した後、ブロック内部を透過、光学用接着剤62を透
過した後、エタロン素子63にてファブリ・ペロー共振
し、波長選択される。波長選択された光は、図中右側の
光学用接着剤62を透過した後、ブロック61と透過
し、空気中へ出射し、レンズ22を経て出射側ファイバ
12に結合する。
【0045】本実施例では、エタロン素子の両側に配置
されている2つのブロックの傾斜面の法線ベクトル(図
4中の点線)が平行であるため、フィルタ6の通過前後
での光線の曲がりは発生せず、過剰損失が発生しない。
これは、スネルの法則から明らかである。ブロック61
の光線入射・出射面(図4のB、C、面)が平行ではな
いため、ブロック内部でのファブリ・ペロー共振が発生
せず、光学特性の劣化が生じない。
【0046】上記2つの理由から、本発明の実施の形態
を用いることで、エタロン素子の光学特性を劣化させる
ことなく、エタロンフィルタ板厚を増大させることが可
能となり、強度も確保される。ブロックの材質にエタロ
ン素子と線膨張係数の近い材質を選択することで、熱応
力の発生が抑圧され、本発明のもう一つの目的である環
境温度変化による光学特性変動も抑制することができ
る.次に、本発明の光イコライザに用いられるエタロン
フィルタの別の実施例について説明する。図7は、本発
明の光イコライザに用いられるエタロンフィルタの第2
の実施例の構成を示す図である。本実施例では、ブロッ
ク61がエタロン素子の片側にのみ配置されている。こ
の場合、ブロックの傾斜面を光線が通過するときに、ス
ネルの法則により透過光線が屈折するため、図に示すよ
うにフィルタ通過前後で光線の曲がりが発生する。しか
しながら、傾斜面の傾斜角度を2deg程度以下とし
て、かつ出射側レンズ22及びファイバ12を最適光軸
調整することで、光線の曲がりによる損失増加は無視で
きるレベル(0.1dB以下)に抑圧でき、エタロン素
子の光学特性劣化なく実効板厚増大が可能である.図8
は、本発明の光イコライザに用いられるエタロンフィル
タの第3の実施例の構成を示す図である。本実施例の構
成では、ブロック61上に、蒸着、スパッタ等によりエ
タロン素子と同一の特性を有する膜構造(高反射膜6
5、66及びファブリペロー共振部64)が形成され、
エタロンフィルタとして機能させるものである。エタロ
ン素子を直接ブロック上に作成した場合も、エタロン素
子の特性変動なくエタロンフィルタの板厚を増大させる
という点で有効であることは明らかである。
【0047】図9は、本発明の波長多重光伝送用光イコ
ライザに用いられるエタロンフィルタの第4の実施例の
構成を示す図である。この実施例の構成では、ブロック
61に誘電体平行平板が用いられ、ドーナッツ状の光線
通過部分が形成されている。この構成では、光線通過部
分にエタロン素子以外の媒質(ブロックあるいは接着
剤)が存在しないため、エタロン素子の光学特性劣化は
発生しない.また、エタロン素子の、光線通過部分以外
については、接着剤にてブロックと固定されているた
め、実効板厚の増大も実現している。もちろん、ブロッ
クの材質を選択することで、環境変化に対する特性変動
が抑圧できる点も、上記2つの実施例と同様である。
【0048】エタロンフィルタとして、エタロン素子
を、素子と同等、もしくは近い線膨張係数を持ち、かつ
強度が十分に大きいブロックによって、厚さ方向に挟持
する構成を採用している。これにより、熱応力の発生が
抑圧され、環境温度変化による光学特性変動を制するこ
とができる。
【0049】次に、本発明の光イコライザを用いた光増
幅装置の構成について説明する。
【0050】図10および図11は、本発明による波長
多重光伝送用光イコライザを光増幅装置に使用する場合
の実施例の構成を示す図である。
【0051】光ファイバ増幅器あるいは光半導体増幅器
からなる光増幅器40の出力端あるいは入力端に、図2
に示した光イコライザ50が接続されている。光増幅器
40の利得の波長依存性に起因して、増幅された各波長
の増幅光信号の出力レベルに差が生じても、これを相殺
するようにあらかじめ光イコライザの各波長に対する挿
入損失を設定しておけば、レベル差を補償してレベルを
平坦化することができる。このような機能を有する本発
明の光イコライザは、光増幅器40の前段に配置しても
よいし、また後段に配置してもよい。光増幅器40を2
つ用いて、光イコライザを2つの光増幅器の間に配置し
てもよい。
【0052】さらに、本発明の波長多重光伝送用光イコ
ライザは、光増幅器40の利得の波長依存性によるレベ
ル差のみならず、光伝送路により生じた各波長の光信号
間のレベル差をも解消することができる。
【0053】次に、本発明の波長多重光伝送用光イコラ
イザを、光増幅装置を有する中継器からなる波長多重光
伝送システムに適用した場合について説明する。
【0054】図12は、本発明による光イコライザを含
む光増幅器を、波長多重光伝送システムに適用する場合
の実施例の構成を示している。互いに波長の異なる複数
の光送信器60の出力は、光合波器71により1本の光
ファイバに結合されて、光伝送路80へ出力される。光
伝送路80には少なくとも1個の光増幅器90が挿入さ
れている。光増幅器90の内部には、図2に示した光イ
コライザ50が使用されている。光伝送路80の出力端
には、波長多重信号を波長毎に分離するための光分波器
72が接続されており、光分波器72で分離された光信
号は、複数の光受信器100により受信される。
【0055】本発明の波長多重光伝送用光イコライザ
は、縦続に配置された複数のエタロンフィルタと、この
エタロンフィルタに光を出力する光出力部と、エタロン
フィルタを透過する光が入力される光入力部とを備え、
複数のエタロンフィルタは、互いに異なるフリースペク
トラム領域を有している。このような構成の採用によ
り、光増幅器の利得波長曲線をほぼ完全に平坦化するこ
とができる。
【0056】これは、すでに詳細に説明したように、原
理上、利得波長曲線のフーリエ展開項を正弦波状の損失
波長特性を有する複数のフィルタにより完全に補償でき
ること、およびエタロンフィルタは原理的に正弦波状の
損失波長特性を有すること、から理解される。
【0057】本発明の波長多重光伝送用光イコライザ
は、製造時にエタロンフィルタへの光の入射角度を調整
することにより損失波長特性を微調できる。このため、
安定的に一定の特性を有する光イコライザを製造できる
という利点がある。これは、エタロンフィルタの損失波
長特性を示す原理式において、損失波長特性が光の入射
角θの関数になっていることから理解される。
【0058】エタロンフィルタの光路長を適切に選んで
作製することにより、エタロンフィルタへの光の入射角
度を0度付近にまで近づけて、損失の偏光依存性を低減
することもできる。これは、エタロンフィルタの損失波
長特性の原理式において、損失波長特性が光路長dの関
数になっていることから理解される。
【0059】
【発明の効果】本発明の波長多重光伝送用光イコライザ
では、エタロンフィルタがあらかじめ定められた角度を
有し、互いに逆向きに配置される一組のくさび形状の基
板により構成されているので、光イコライザ内部で生じ
る反射の影響を受けることがない。また、本発明の波長
多重光伝送用光イコライザは、エタロンフィルタがあら
かじめ定められた角度を有する1枚のくさび形状の基板
に接合されようにすることもできる。さらに、エタロン
フィルタは、光信号のビーム径よりも大きい穴を有する
基板が、穴を光信号が通過するように接合されるように
することもできる。このような構成の採用により、安定
した特性を維持しつつ生産性に優れた光イコライザを実
現することができる。
【0060】そして、本発明の波長多重光伝送用光イコ
ライザを光増幅装置と組合せて光中継器として用いるこ
とにより、波長多重光伝送装置においても光信号の波長
間の利得の相違によるレベル差の発生を抑制し、安定し
た波長多重光伝送が実現できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の光イコライザの利得波長依存
性の補償動作の原理を説明するための図であって、
(a)は光ファイバ増幅器の利得の波長依存性の一例を
示す曲線(利得波長曲線)、(b)は(a)に示される
利得波長曲線のフーリエ展開項の重ね合わせによって得
られる損失波長特性を示す曲線、(c)および(d)は
利得を補償するために用いられるエタロンフィルタの損
失波長特性を示す曲線である。
【図2】図2は、本発明の光イコライザの基本構成を示
す図である。
【図3】図3は、本発明の光イコライザに用いられるエ
タロンフィルタの構成を一例を示す図である。
【図4】図4は、図3に示されるエタロンフィルタに用
いられる基板の構成を示す斜視図である。
【図5】図5は、図4に示される基板の縦断面図であ
る。
【図6】図6は、図3に示されるエタロンフィルタを用
いた本発明の光イコライザの一実施例を示す図である。
【図7】図7は、本発明の光イコライザに用いられるエ
タロンフィルタの構成を第2の実施例を示す図である。
【図8】図8は、本発明の光イコライザに用いられるエ
タロンフィルタの構成を第3の実施例を示す図である。
【図9】図9は、本発明の光イコライザに用いられるエ
タロンフィルタの構成を第4の実施例を示す図である。
【図10】図10は、本発明の光イコライザを適用した
光増幅器の第1の実施例の構成を示す図である。
【図11】図11は、本発明の光イコライザを適用した
光増幅器の第2の実施例の構成を示す図である。
【図12】図12は、本発明の光イコライザを備える光
増幅器を適用した波長多重光伝送装置の一実施例の構成
を示す図である。
【符号の説明】
11 光ファイバ 12 光ファイバ 21 レンズ 22 レンズ 30 エタロンフィルタ 40 光イコライザ 50 光増幅器 60 光送信器 61 ブロック 62 光学用接着剤 63 エタロン素子 64 ファブリペロー共振器 65 高反射膜 66 高反射膜 71 光合波器 72 光分波器 80 光伝送路 90 光増幅器 100 光受信器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−276154(JP,A) 特開 平8−223116(JP,A) 特開 平5−45618(JP,A) 特開 平10−285113(JP,A) 特開 平4−147114(JP,A) 特開 平9−289349(JP,A) 特開 平3−44206(JP,A) 特開 平6−302895(JP,A) 特表 平6−500408(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04J 14/00 H04B 10/00 G02B 5/28 G02B 6/293 H01S 3/10

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1又は縦続に配置された複数のエタロン
    フィルタと、 互いに異なる波長の複数の光信号を前記エタロンフィル
    タに出力する光出力手段と、 前記エタロンフィルタを透過する光が入力される光入力
    手段とを備え、 前記複数のエタロンフィルタは、互いに異なるフリース
    ペクトラム領域を有する波長多重光伝送用光イコライザ
    であって、 前記エタロンフィルタは、あらかじめ定められた角度を
    有するくさび形状の第1の基板と、前記角度と同じ角度
    のくさび形状を有し前記第1の基板の前記くさび形状と
    は逆向きに配置された第2の基板の間に配置されている
    ことを特徴とする波長多重光伝送用光イコライザ。
  2. 【請求項2】 前記エタロンフィルタは、 あらかじめ定められた角度を有するくさび形状の第1の
    基板に接合されていることを特徴とする請求項1記載の
    波長多重光伝送用光イコライザ。
  3. 【請求項3】 前記エタロンフィルタは、 前記光信号のビーム径よりも大きい穴を有する基板が、
    前記穴を前記光信号が通過するように接合されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の波長多重光伝送用光イコ
    ライザ。
  4. 【請求項4】 前記波長多重光伝送用光イコライザは、 前記複数の光信号の出力差を低減するように、前記エタ
    ロンフィルタの前記各波長の光信号に対する損失が設定
    されていることを特徴とする請求項1又は請求項又は請
    求項3記載の波長多重光伝送用光イコライザ。
  5. 【請求項5】 前記波長多重光伝送用光イコライザにお
    いて、 前記エタロンフィルタは、 光を透過させる基板の両面に光の一部を反射させる反射
    膜が形成された反射基板を含み、 前記基板は、前記エタロンフィルタを透過する前記複数
    の光信号の損失差があらかじめ定められた特定の値にな
    る板厚を有していることを特徴とする請求項1から請求
    項4までのいずれかの請求項に記載の波長多重光伝送用
    光イコライザ。
  6. 【請求項6】 前記波長多重光伝送用光イコライザは、 前記複数の光信号の各波長をλi (iは2以上の整
    数)としたときに、 前記エタロンフィルタは、屈折率nの媒質であって互い
    の面間隔がdである両面に施されたそれぞれ反射率r1
    およびr2 の半透過膜を含む干渉部を備え、 1又は複数の前記エタロンフィルタの前記各干渉部を通
    過した前記各波長λiの光信号に対する透過率Tが前記
    各光信号間であらかじめ定められた比率になるように、
    前記各干渉部の前記面間隔と前記反射率r1 およびr
    2 が定められていることを特徴とする請求項1から請
    求項5までのいずれかの請求項に記載の波長多重光伝送
    用光イコライザ。
  7. 【請求項7】 前記反射膜は、 誘電体多層膜であることを特徴とする請求項5記載の波
    長多重光伝送用光イコライザ。
  8. 【請求項8】 前記反射膜は、 誘電体多層膜であることを特徴とする請求項5記載の波
    長多重光伝送用光イコライザ。
  9. 【請求項9】 前記反射膜は、 ガラスであることを特徴とする請求項5記載の波長多重
    光伝送用光イコライザ。
  10. 【請求項10】 前記誘電体多層膜は、 前記エタロンフィルタを透過する前記複数の光信号の損
    失差があらかじめ定められた特定の値になる膜厚を有し
    ていることを特徴とする請求項5記載の波長多重光伝送
    用光イコライザ。
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