JP2004085915A - 波長分散発生装置並びに該波長分散発生装置に使用される多面ミラー及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光損失（ロス）が小さく、ＷＤＭ信号のチャンネル信号波長によって異なる波長分散を発生できる装置を提供する。
【解決手段】ＶＩＰＡの放出光を集束するレンズから入射される光を反射してそのレンズへ戻すミラー１１を、入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面３１〜３７を有し、且つ、これらの反射面３１〜３７がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーとして構成する。
【選択図】 図４
【解決手段】ＶＩＰＡの放出光を集束するレンズから入射される光を反射してそのレンズへ戻すミラー１１を、入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面３１〜３７を有し、且つ、これらの反射面３１〜３７がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーとして構成する。
【選択図】 図４
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長多重伝送装置向けにチャンネル信号波長によって異なる分散を発生する装置であって、光ファイバ送信網において蓄積する波長分散スロープを補償するために用いる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光を用いて情報を送信するための従来の光ファイバ通信システムでは、光送信器が、光パルスを、光ファイバを通して受光器に送出する。しかし、「色分散」ともいわれる、光ファイバの波長分散は、システムの信号の質を劣化させる。
より具体的には、波長分散の結果、光ファイバ中の信号光の伝播速度はその信号光の波長に依存する。例えば、長い波長をもつ光パルス（例えば赤色を示す波長をもつ光パルス）が、短い波長を持つ光パルス（例えば青色を示す波長をもつ光パルス）よりも速く伝播するとき、その分散は正常分散と呼ばれる。逆に、短い波長を持つ光パルス（例えば青色パルス）が、長い波長を持つパルス（例えば赤色パルス）よりも速く伝播するとき、その分散は異常分散と呼ばれる。
【０００３】
従って、信号光パルスが送信機から送出される際に赤色パルスおよび青色パルスを含む場合、信号光パルスは光ファイバ内を伝播する間に赤色パルスおよび青色パルスに分離され、それぞれの光パルスが異なる時間に受光器によって受光されることになる。
光パルス送信の他の例として、青色から赤色へ連続する波長成分を持つ信号光パルスを送信する場合には、各成分は異なる速度で光ファイバ内を伝播するため、信号光パルスは光ファイバ内でその時間幅が広げられ、歪みが生じる。全てのパルスは有限な波長範囲内の成分を含むため、このような波長分散の発生は光ファイバ通信システムにおいては、きわめて一般的である。
【０００４】
従って、特に高速の光ファイバ通信システムにおいては、高送信能力を得るために、波長分散を補償することが必要となる。このため、光ファイバ通信システムには、光ファイバにおいて発生する波長分散と逆の波長分散を光パルスに与える「逆分散コンポーネント」が必要となる。
従来装置の中には、この「逆分散コンポーネント」として用いることのできるものが存在する。例えば、分散補償ファイバ（ＤＣＦ：Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎＦｉｂｅｒ）は特定の断面屈折率分布をもち、通常の伝送路ファイバにおいて生じるのと逆の波長分散を与え、「逆分散コンポーネント」として用いることができる。
【０００５】
しかし、分散補償ファイバは製造するのに高価であり、また、伝送路ファイバで発生する波長分散を十分に補償するためには比較的長いものが必要である。例えば、１００ｋｍの伝送路ファイバで発生した波長分散を完全に補償するためには、２０ｋｍから３０ｋｍ程度の長さの分散補償ファイバが必要となる。このため、光損失が大きくなり、また、寸法が大きくなるという課題がある。
【０００６】
他に、チャープ・ファイバグレーティングも波長分散を補償するための「逆分散コンポーネント」として用いることができる。ファイバグレーティングは、コアにドープした酸化ゲルマニウムの屈折率が紫外光照射によって屈折率が変化する現象を利用して、コア中に屈折率が半波長周期で変化するグレーティングを形成するものだが、ファイバの長さ方向にグレーティング間隔を少しずつ変化させることにより、長い波長成分が遠い距離で反射され、それにより、短い波長成分よりも長い距離を伝播するように設計されたものである。従って、チャープ・ファイバグレーティングも光パルスに逆分散を与えることができる。
【０００７】
しかし、チャープ・ファイバグレーティングは、反射する光パルスについて、非常に狭い帯域しかもたないため、波長分割多重光のような多くの波長を含む光を補償するのに十分な波長帯域を得ることができない。そこで、複数のチャープ・ファイバグレーティングを、波長分割多重信号について、カスケードさせることも可能であるが、システムが高価になってしまう。
【０００８】
そこで、上記のような従来装置に対して、例えば、特表２０００−５１１６５５号公報（特願平１０−５３４４５０号）や特表２００２−５１４３２３号公報（特願平１１−５１３１３３号）により、「バーチャリ・イメージド・フェイズド・アレイ（Ｖｉｒｔｕａｌｌｙ Ｉｍａｇｅｄ Ｐｈａｓｅｄ Ａｒｒａｙ：ＶＩＰＡ）」と呼ばれるデバイスを含む光学装置が提案されている。
このＶＩＰＡは、ある波長帯域内の複数種類の連続する波長を含む光を受光し、連続的に対応する出力光を生成するデバイスで、例えば特開平９−４３０５７号公報に記載されているように、所定の間隔を空けて２つの反射面が対向するよう配置された平行平板により構成され、一方の反射面が１００％の光反射率を有し、他方の反射面が１００％よりも小さい（９８％程度）反射率を有している。
【０００９】
そして、反射率が１００％の反射面には外部から光を導入するための照射窓（透明領域）が部分的に設けられており、この照射窓からＶＩＰＡ内（平行平板間）に複数種類の波長を含む光を斜めに導入すると、平行平板間で繰り返し反射（多重反射）が起こり、反射率が１００％よりも小さい反射面の複数箇所から連続的に一部の光がＶＩＰＡ外部へ放出されることになる。
【００１０】
このようにしてＶＩＰＡから放出された複数の透過光は、ある角度をもって放射状に広がりながら進むので、同じ波長の光に関して多くの異なる進行方向をもつ光の干渉が起こる。したがって、波長によって特定の進行方向をもつ成分のみが強められて光束が形成され、これにより、所定波長帯域内の複数種類の連続する波長を含む光を波長毎に異なる方向に出力することができる（つまり、出力光に角度分散を与えることができる）。換言すれば、ＶＩＰＡの出力光は、入力光の波長帯域内の他波長をもつ光とは空間的に区別することができるのである。
【００１１】
そして、前記の特表２０００−５１１６５５号公報や特表２００２−５１４３２３号公報に記載の技術は、このようなＶＩＰＡの特徴を利用して、波長分散を発生できるようにした技術に関するものである。具体的には、ＶＩＰＡから出力される光をＶＩＰＡに戻し、ＶＩＰＡ内で再度多重反射を発生させるように構成した光装置（波長分散発生装置）に係るものである。
【００１２】
即ち、かかる光装置は、例えば図１８に示すように、コリメートレンズ１００，シリンドリカルレンズ２００，ＶＩＰＡ３００，集束レンズ４００及びミラー５００をそなえて構成され、光ファイバ６００からの入射光がコリメートレンズ１００によりコリメートされ、シリンドリカルレンズで光波の一方向のみが集束されたのち、照射窓３０１を通じてＶＩＰＡ３００内へ入射され、ＶＩＰＡの出力光が集束レンズ４００により集束（集光）されたのち、ミラー５００で反射されて、再度、ＶＩＰＡ３００内へ導入されるようになっている。
【００１３】
ここで、ＶＩＰＡ３００と集束レンズ４００は、ＶＩＰＡ３００から集束レンズ４００に進む光が、集束レンズ４００からＶＩＰＡ３００に戻る光に対して平行且つ逆方向に進むように位置決めされる。また、ＶＩＰＡ３００から集束レンズ４００に進む光は、集束レンズ４００からＶＩＰＡ３００に戻る光と重ならないようになっている。
【００１４】
上述のごとく構成された光装置では、ＶＩＰＡ３００の出力光が、上述したように波長によって異なる方向へ出力されるので、集束レンズ４００が異なる波長成分の光をミラー５００の異なる位置に集束させることになる（図１８では短波長の光がミラー５００の上部、長波長の光がミラー５００の下部に集束される状態を示している）。したがって、異なる波長の光は異なる距離の光路を辿ってＶＩＰＡ３００へ伝搬することになり、これにより、一定の波長分散を発生させることができる。
【００１５】
なお、ＶＩＰＡ３００は、実際には、同じ波長でも異なる干渉次数をもつ複数の光を出力する（干渉次数が異なる光も異なる方向へ出力される）ため、集束レンズ４００は特定の干渉次数をもつ光だけをミラー５００に集束させ、ミラー５００は特定の干渉次数をもつ光だけを反射するように設計される。また、ＶＩＰＡ３００へ戻された光は、１００％よりも小さい反射率をもつ面を透過してＶＩＰＡ３００内に導入され、ＶＩＰＡ３００内で、再度、多重反射してＶＩＰＡ３００の照射窓３０１から入力経路と同じ経路を辿って出力される。
【００１６】
以上のように、ＶＩＰＡ３００は、回折格子のように角度分散の機能をもち、波長分散を発生して波長分散の補償を可能とするが、特に大きな角度分散を有することが特徴であり、実用的な逆分散コンポーネントを容易に提供することができる。
しかし、波長分割多重伝送システムに用いるための実用的な逆分散コンポーネントとしては、さらに以下のようなニーズが存在する。
【００１７】
即ち、一般に実用化されている光ファイバの有する波長分散は、例えば図１９に示すように、波長によって一定ではなく、わずかに正の傾き（波長が長くなるほど波長分散が正となる）を有することが多い。このような波長分散の傾きを波長分散スロープないしは２次の波長分散と呼ぶことがある。
例えば、一般的なシングルモードファイバ（ＳＭＦ）の場合（点線７００参照）、１ｋｍ当たりの波長分散が＋１６．７９ｐｓ／ｎｍ／ｋｍであるのに対し、波長分散スロープは１ｋｍ当たり＋０．０５７ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍであり、必要な波長帯域幅が例えば３５ｎｍである場合には、＋２ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ程度の波長分散の変化となる。
【００１８】
なお、図１９において、実線８００及び点線９００は、ＮＺ−ＤＳＦ（ノンゼロ分散シフト光ファイバ）の代表的なものの波長分散スロープを示しており、実線８００はＥｎｈａｎｃｅｄ−ＬＥＡＦ（登録商標）ファイバ（Ｃｏｒｎｉｎｇ社製：以下、Ｅ−ＬＥＡＦと略記する）、点線９００は、ＴｒｕｅＷａｖｅ（登録商標）−ＲＳファイバ（Ｌｕｃｅｎｔ社製：以下、ＴＷ −ＲＳと略記する）の波長分散スロープをそれぞれ示している。
【００１９】
また、波長分散スロープは必ずしも正（波長が長くなるほど波長分散が正となる）とは限らず、ファイバの構造分散を変えることにより負の波長分散スロープも有りうる。
さらに、図１９に示す波長分散のグラフは実際には直線ではなく、波長分散の傾き（波長分散スロープ）も厳密には一定ではないが、このような３次の波長分散は４０Ｇｂ／ｓ程度の伝送速度では問題となることは少なく、無視することができる。このように、実用的な逆分散コンポーネントとしては、波長分散のみならず、波長分散スロープ、すなわち、チャンネル信号波長によって異なる波長分散を与えることが望ましいといえる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
このように光ファイバとは逆の波長分散スロープを発生させ、波長分散を補償する方法としては、例えば、文献“Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ ｏｆ ｃｈｒｏｍａｔｉｃ ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ａｎｄｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ｓｌｏｐｅ ｕｓｉｎｇ ａ ｖｉｒｔｕａｌｌｙ ｉｍａｇｅｄ ｐｈａｓｅｄ ａｒｒａｙ”（Ｍ．Ｓｈｉｒａｓａｋｉ， ＯＦＣ２００１）又は米国特許第６，３４３，８６６号明細書に開示されているように、ＶＩＰＡと、実質的にＶＩＰＡの分散方向と垂直な分散方向をもつ回折格子のような分波器を組み合せる方法が適用可能である。しかし、回折格子は、製造プロセスの問題で理論上の回折効率が得られにくいため、光の損失（ロス）が大きいという課題がある。
【００２１】
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、光損失（ロス）が小さく、チャンネル信号波長によって異なる波長分散を与えることのできる、波長分散発生装置並びに該波長分散発生装置に使用される多面ミラー及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の波長分散発生装置（請求項１）は、複数種類の波長の光を含む入力光を多重反射して自己干渉を行なわせることにより、波長によって異なる出力角度で出力光を放出するバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（以下、ＶＩＰＡと称する）と、該ＶＩＰＡから放出される出力光を集束するレンズと、該レンズから入射される光を反射して該レンズへ戻すミラーとをそなえ、該ミラーが、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されていることを特徴としている。
【００２３】
ここで、上記の反射面は、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有しているのが好ましく（請求項２）、また、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることが好ましい（請求項３）。
また、本発明の波長分散発生装置に使用される多面ミラー（請求項４）は、波長分散を発生する波長分散発生装置に使用され、複数種類の波長の光を含む入力光を反射するミラーであって、該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有することを特徴としている。
【００２４】
ここで、上記の多面ミラーは、例えば、次のような各工程により製造される（請求項５）。
（１）基板上に光透過性の第１の紫外線硬化樹脂を塗布する第１工程
（２）第１の断面形状を有する第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂に圧着して該第１の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第２工程
（３）該第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂から離隔する第３工程
（４）該第１の紫外線硬化樹脂上に所定の透過波長及び反射波長特性を有する第１の反射面となる第１の光学膜フィルタを成膜する第４工程
（５）該第１の光学膜フィルタ上に光透過性の第２の紫外線硬化樹脂を塗布する第５工程
（６）該第１の断面形状とは異なる第２の断面形状を有する第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂に圧着して該第２の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第６工程
（７）該第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂から離隔する第７工程
（８）該第２の紫外線硬化樹脂上に該第１の透過波長及び反射波長特性とは異なる第２の透過波長及び反射波長特性を有する第２の反射面となる第２の光学膜フィルタを形成する第８工程
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
（Ａ）一実施形態の説明
図１は本発明の一実施形態としてのバーチャリ・イメージ・フェイズ・アレイ（ＶＩＰＡ）を用いた波長分散補償器（波長分散発生装置）の構成を示す模式的斜視図で、この図１に示す波長分散補償器１は、ＶＩＰＡ板１０，ミラー１１，コリメートレンズ１２，ラインフォーカスレンズ（シリンドリカルレンズ）１３，フォーカスレンズ（集束レンズ）１４をそなえて構成されている。なお、符号１５は光サーキュレータ、符号１５′は光ファイバをそれぞれ示す。
【００２６】
ここで、コリメートレンズ１２は、光ファイバ１５′から出射される光をコリメートしてコリメート光として出力するものであり、ラインフォーカスレンズ１３は、コリメートレンズ１２からのコリメート光を一方向のみ集束（線状に集束）するものである。
また、ＶＩＰＡ板１０は、従来技術と同様に、ラインフォーカスレンズ１３から出射される光を入力光として受けて、当該入力光を内部で多重反射して自己干渉を行なわせることにより、出力光を実質的に直線状の分散方向に、波長によって異なる出力角度で分散出力するものであり、フォーカスレンズ１４は、ＶＩＰＡ板１０から出力される光を（点状に）集束するものである。
【００２７】
このため、ＶＩＰＡ板１０は、所定の間隔をおいて配置された２枚の反射面をもつ平行平板により構成されるが、実際には、例えば図２に模式的に示すように、所定の板厚をもつガラス板の一方の面（入射面）に約１００％の反射率を有する反射膜１０ａ、他方の面（出射面）に９８％程度の反射率を有する反射膜１０ｂをそれぞれ形成（コーティング）することで実現される。
【００２８】
また、ＶＩＰＡ板１０の入射面の下部（ラインフォーカスレンズ１３からの光の入射位置）には、反射防止膜（反射率０％）１０ｃが形成（コーティング）されており、ここからラインフォーカスレンズ１３からの光がＶＩＰＡ板１０内に導入されるようになっている（つまり、上記反射防止膜１０ｃは前述した照射窓として機能する）。
【００２９】
さらに、本ＶＩＰＡ板１０は、各波長（チャネル）での分散を同時に補償するために、「ＷＤＭマッチングのＦＳＲの厚さ」の条件を満足する、即ち、
２ｎｔｃｏｓθ＝ｍλ…（１）
ＦＳＲ＝ｃ／２ｎｔｃｏｓθ…（２）
となるように設計されている。
【００３０】
なお、これらの式（１）及び（２）において、ｎはガラスの屈折率、ｔはガラスの物理的厚さ、θは各チャネルの中心波長λに対応する光束伝播方向および入力光の光軸の傾き角、ＦＳＲは各チャネルの中心波長の間隔、ｃは光速を表す。
このような条件では、例えば図３に模式的に示すように、中心波長に対応するすべての波長成分は、ＶＩＰＡ板１０から同じ出射角をもち、それぞれのビームウェストの虚像（当該虚像から光が放出されているかのようにみえる）が階段状に並ぶＶＩＰＡ１６が形成される。これにより、フォーカスレンズ１４は、（ａ）各チャネルの中心波長に対応する波長成分をミラー１１上の点１７に集束させ、（ｂ）各チャネルの長い波長の要素に対応する波長成分をミラー１１上の点１８に集束させ、（ｃ）各チャネルの短い波長の成分に対応する波長成分をミラー１１上の点１９に集束させることができる。
【００３１】
従って、ミラー１１に集光された光は、集光位置のミラー１１の形状により決まる反射角度によって任意の位置に戻り、入射時と逆の経路で光ファイバに再び結合する。ここで、例えば図３中に示すように、ミラー１１が単純な凸形状の反射面を有している場合は、短波長側の光が、上側のビームウェストに戻り、長波長側の光と比べ光路長が長くなり遅延が増大する。
【００３２】
従って、この場合、波長分散補償器１は負分散を発生することなる。逆に、ミラー１１の反射面が凹形状である場合は、正分散を発生することが可能となる。なお、ＶＩＰＡ１６を用いた分散補償器は光が同じ光路を戻ってくる構成であるため、サーキュレータ１５′を用いてインラインで用いることができる。このようにして、ＶＩＰＡ１６を使用して波長分割多重光の全てのチャネルで波長分散を補償することができる。
【００３３】
例えば、ＶＩＰＡ板１０の厚さｔ＝１ｍｍ、屈折率ｎ＝１．５であれば、１００ＧＨｚ間隔の全ての波長がこの条件に合う（ＦＳＲ＝１００ＧＨｚ）。その結果、ＶＩＰＡ板１０は、１００ＧＨｚ間隔の波長分割多重（ＷＤＭ）光の全てのチャネルで同時に同じ波長分散を与えることができる。しかし、ミラー１１が図３中に示すような単純な凸形状の曲面を有するミラーである場合は、各チャンネル信号波長に対して同じ分散量しか与えられず、チャンネル信号波長毎に異なる分散量を与えることは非常に困難である。
【００３４】
そこで、本実施形態のミラー１１は、フォーカスレンズ１４から入射される光を反射してフォーカスレンズ１４に戻すものであるが、図４に例示するような特殊な断面形状を有する多面ミラーにより構成されている。
即ち、本多面ミラー１１は、一方の面（光の入射面）に反射防止膜２９が形成されたガラス基板２８の他方の面に、複数の樹脂層２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７が厚み方向（入射光の進行方向：図１及び図４の紙面右方向）に順次積層形成されるとともに、各樹脂層２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７の表面にそれぞれ反射膜３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７が形成された構造を有している。なお、本多面ミラー１１は、紙面に対して垂直な方向には同じ形状のいわゆるシリンドリカル型となっている。
【００３５】
ここで、各樹脂層２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７は、それぞれ、入力光の波長帯域において透明な（入力光に含まれる全波長の光を透過する）特性を有する層で、それぞれ異なる波長分散（角度分散）を発生させるように異なる曲率を有する曲面形状を有している。尚且つ、これらの樹脂層２１〜２７は、それぞれ、各信号帯域内（１０Ｇｂｐｓ伝送では±０．０８ｎｍ程度）において波長分散が略一定となるように最適化された形状となっている。より具体的には、例えば、長さ８０ｋｍのＥ−ＬＥＡＦファイバに対応する場合、各樹脂層２１〜２７はそれぞれ下記表１に示すような波長分散を発生させるような形状とする。
【００３６】
また、各反射膜３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７は、それぞれ、例えば誘電体多層膜からなる光学膜フィルタとして機能するもので、本実施形態では、光学膜フィルタとして広帯域バンドパスフィルタを適用している。即ち、反射膜３１〜３７は、図５及び図６に示すように、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有しており、この場合は、光の入射側に近い反射膜３１から順に、反射する信号波長が長くなるように設計されている。
【００３７】
より詳しくは、例えば下記表１に示すように、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）に対し、光の入射側に近い反射膜３１から反射膜３７へ離れるにつれて、反射する信号波長が順次長くなるように各光学膜フィルタ３１〜３７の特性を変えているのである。
【００３８】
【表１】
【００３９】
したがって、このような多面ミラー１１に、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光が入射すると、まず、その中で最も短波長の１５２４．１ｎｍが反射膜３１で反射される。この際、波長が１５２４．１ｎｍの光は樹脂層２１の曲面形状をミラー面と感じ、ミラー面の曲率に応じた角度に反射されることになる。
【００４０】
一方、１５２４．１ｎｍよりも長い波長（１５３０．３〜１５６２．２ｎｍ）の光にとっては反射膜３１を透明と感じるのでそのまま反射されることなく次の樹脂層２２（反射膜３２）へ透過する。続いて、反射膜３２では、受けた光の波長（１５３０．３〜１５６２．２ｎｍ）のうち最も短波長（１５３０．３ｎｍ）の光がそのミラー面の曲率に応じた角度に反射され、それよりも長い波長（１５３６．６〜１５６２．２ｎｍ）の光は次の樹脂層２３（反射膜３３）へ透過する。以降、同様にして、短い波長の光から順に反射膜３３〜３６で反射されてゆき、最終的に、最も長い１５６２．２ｎｍの波長の光が反射膜３７で反射されることになる。
【００４１】
このように、反射膜（光学膜フィルタ）３１〜３７は、特定のチャンネル信号波長については反射ミラーとして機能するが、それ以外の波長には、単に透過するだけでミラーとして機能しないので、複数のチャンネル信号波長を含む入力光を受けると、その入力光は、チャンネル信号波長によって異なる形状のミラーで反射されることと実質的に等しいこととなり、各チャンネル信号波長によって、異なる波長分散を与えることが可能となる。
【００４２】
つまり、本実施形態の多面ミラー１１は、上記の反射膜３１〜３７を、それぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面として有し、且つ、これらの反射面がそれぞれ異なる形状を有する構造になっているのである。
以下、上述のごとく構成された本実施形態の波長分散補償器１の動作について詳述する。なお、以下では、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長のＷＤＭ光について、長さ８０ｋｍのＥ−ＬＥＡＦファイバ〔分散＝３．８５２（ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ），分散スロープ＝０．０８３（ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍ）〕により発生する波長分散および波長分散スロープを補償する場合を例にして説明する。また、ＦＳＲ＝２００ＧＨｚとなるように、屈折率ｎ＝１．８５、厚さｔ＝０．４ｍｍのガラス板をＶＩＰＡ板１０として用いる。したがって、８００ＧＨｚ間隔の全てのＷＤＭ信号波長（チャンネル）で、同じように波長によって分光される。
【００４３】
まず、光ファイバ１５′から出射されたＷＤＭ光は、コリメートレンズ１２にてコリメート光に変換されたのち、ラインフォーカスレンズ１３にてそのコリメート光の一方向のみが集束されて、照射窓１０ｃを通じてＶＩＰＡ板１０内に入射される。
ＶＩＰＡ板１０に入射した信号光は、ＶＩＰＡ板１０中で多重反射を繰り返す。その際に、ＶＩＰＡ板１０の反射膜１０ｂが形成された面の複数箇所から信号光の一部が出射する。出射した光のビームウェストは、それぞれ、図２に示すように、それぞれ光を照射する虚像が階段状に並んだＶＩＰＡ１６を形成する。このＶＩＰＡ１６は、回折次数の大きな回折格子であるから、出射光は干渉条件を満たす方向に伝播する。
【００４４】
そして、ＶＩＰＡ１６から分光された出射光は、フォーカスレンズ１４により多面ミラー１１に集光される。すると、前述したように、まず最も短波長である１５２４．１ｎｍの光が樹脂層２１の曲面形状を有する反射膜（曲面ミラー）３１で反射され、そのミラー面の曲率に応じた角度に反射される。ここで、樹脂層２１は、−１４０．８ｐｓ／ｎｍの波長分散を与えるような凸形状になっているので、１５２４．１ｎｍの波長の光は、ＶＩＰＡ板１０の上側のビームウェストに戻り、長波長側の光と比べて光路長が長くなって遅延が増大し、−１４０．８ｐｓ／ｎｍの負分散が生じる。
【００４５】
次に、１５２４．１ｎｍよりも長い波長（１５３０．３〜１５６２．２ｎｍ）の光は、反射膜３１を透過し、その中で最も短波長である１５３０．３ｎｍの光が樹脂層２２の曲面形状を有する反射膜（曲面ミラー）３２で反射される。ここで、樹脂層２２は、−１８２．１ｐｓ／ｎｍの波長分散を与えるような凸形状になっているので、１５３０．３ｎｍの波長の光には−１８２．１ｐｓ／ｎｍの負分散が生じる。
【００４６】
以降、同様にして、１５３６．６ｎｍの波長では−２２３．８ｐｓ／ｎｍ、１５４２．９ｎｍの波長では−２６５．８ｐｓ／ｎｍ、１５４９．３ｎｍの波長では−３０８．２ｐｓ／ｎｍ、１５５５．７ｎｍの波長では−３５０．９ｐｓ／ｎｍ、１５６２．２ｎｍの波長では−３９３．９ｐｓ／ｎｍと、それぞれ反射膜３３，３４，３５，３６，３７が形成された樹脂層２３，２４，２５，２６，２７の形状に応じて異なる波長分散を生じる。
【００４７】
なお、各信号波長が多面ミラー２０の各樹脂層の膜で反射される際、異なる集光位置（ミラー深さ）で反射されることになるが、フォーカスレンズ１４の焦点距離が集光位置の差に比べて十分に大きい場合は、波長毎のロスに特に大きな差は生じない。
図７に、本実施形態の波長分散補償器１の波長分散特性を示す。この図７に示すように、本実施形態の波長分散補償器１は、Ｅ−ＬＥＡＦファイバの波長分散および波長分散スロープとは逆の波長分散及び波長分散スロープを発生することができており、Ｅ−ＬＥＡＦファイバの波長分散補償器として極めて有用であることが分かる。
【００４８】
特に、図５及び図６から明らかなように、本実施形態で用いた光学膜フィルタ３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７の透過ロス及び反射ロスは共に小さく、結果的に、従来の波長分散補償器と比べてもロス増加は非常に小さいものにできる。
なお、本波長分散補償器１を、実際に、ＷＤＭ伝送装置に搭載し、１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍの８００ＧＨｚ間隔８チャンネルの信号波長を４０Ｇｂｉｔ／ｓで変調し、Ｅ−ＬＥＡＦファイバ（８０ｋｍ）伝送後の波形を確認したところ、良好なアイ開口が得られた。
【００４９】
また、上記の例では、ＷＤＭ信号波長数を８チャンネルとしているが、これ以外のチャンネル数の場合も、多面ミラー１１の反射面（樹脂層及び反射膜）をそのチャンネル数に応じた数だけ設ければ対応可能なことはいうまでもない。
以上のように、本実施形態の波長分散補償器１によれば、ＶＩＰＡ板１０の出力光を集束するフォーカスレンズ１４から入射される光を反射してフォーカスレンズ１４に戻すミラー１１をそなえ、このミラー１１で反射された光が、フォーカスレンズ１４を通じてＶＩＰＡ板１０に戻り、ＶＩＰＡ板１０内で多重反射を受けてＶＩＰＡ板１０の透明領域（照射窓１０ｃ）から出力される装置において、ミラー１１が、入射光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面３１〜３７を有し、且つ、各反射面３１〜３７がそれぞれ異なる波長分散を与えるような形状を有する多面ミラーにより構成されているので、ＷＤＭ信号光に含まれる異なる波長の光を、異なる形状を有する反射面３１〜３７で反射させて波長毎に異なる角度で反射させることができる。
【００５０】
したがって、ＷＤＭ信号のチャンネル信号波長によって異なる光路差、即ち、波長分散を与えることが可能で、且つ、従来よりも低光損失な新たな可変分散補償器１を提供することができる。
（Ｂ）多面ミラーの製造方法の説明
次に、以下では、上述した多面ミラー１１の製造方法の一例について、図８を用いて説明する。
【００５１】
まず、図８（ａ）に示すように、ガラス基板２８上に光透過性の（第１の）紫外線硬化樹脂４０を適量塗布する（第１工程）。このとき、ガラス基板２８と樹脂４０との結合力を高めるために、ガラス基板２８上にシランカップリング剤等を予め塗布することが望ましい。
続いて、図８（ｂ）に示すように、所望の（第１の）断面形状（所望の曲率の曲面形状）を有する（第１の）金型４１を樹脂４０に気泡が入らないように当て付け（圧着し）、ガラス基板２８側から紫外線４２を照射して、樹脂４０を硬化させる（これにより、樹脂層２１が成形される：第２工程）。このとき、金型４１の表面には、後の離型工程で離型を容易にするために、フッ素系の離型剤等を塗布あるいは表面処理しておくことが望ましい。
【００５２】
次に、図８（ｃ）に示すように、金型４１を樹脂層２１から離型（離隔）し（第３工程）、樹脂層２１上に、（第１の）反射面となる、誘電体多層膜からなる（第１の）光学膜フィルタである反射膜３１を成膜する（第４工程）。なお、この光学膜フィルタ３１は、図５及び図６により前述したように所定の透過波長及び反射波長を有するよう形成される。また、樹脂は高温に弱いので、成膜方法としては、イオンアシスト蒸着やイオンビームスパッタなどの低温で緻密な膜が得られる成膜方法が適している。さらに、誘電体多層膜からなる反射膜３１の最表面をＳｉＯ２膜としておくと、前述したようにシランカップリング剤の塗布により、反射膜３１上に後に形成する樹脂層２２との結合力を高めることができる。
【００５３】
続いて、図８（ｄ）に示すように、反射膜３１上に、光透過性の（第２の）紫外線硬化樹脂４０を塗布し（第５工程）、その上から金型４１とは異なる断面形状（曲率の異なる曲面形状）を有する（第２の）金型４３を当て付け、ガラス基板２８側から紫外線４２を照射して樹脂４０を硬化する（これにより、反射膜３１上に樹脂層２２が成形される：第６工程）。
【００５４】
そして、図８（ｅ）に示すように、樹脂層２２から金型４３を離型し（第７工程）、図８（ｆ）に示すように、その樹脂層２２の上に更に誘電体多層膜からなる（第２の）光学膜フィルタである反射膜３２（図５及び図６により前述した透過波長及び反射波長を有する）を成膜する（第８工程）。
以降、同様に、紫外線硬化樹脂４０の塗布，金型の当て付け，紫外線照射（硬化，樹脂層成形），離型，光学膜フィルタの成膜という各工程を繰り返す、即ち、（第２の）光学膜フィルタ３２を形成済みの（第１の）光学膜フィルタ３１に相当するフィルタとして上記の第５工程から第８工程を繰り返し実行することにより、図４に示したように厚さ方向に複数の反射面３１〜３７を有し、且つ、各反射面３１〜３７が異なる曲率の曲面形状を有する多面ミラー１１を容易に製造できる。
【００５５】
なお、本製造方法により多面ミラー１１を製造する場合、例えば図４において紙面に垂直な方向（奥行き）に同じ形状を有するいわゆるシリンドリカル形状であれば、一括で比較的大きなミラーを作製し、複数のミラーに小さく切断して使用することができるので、製造コスト的には問題は少ない。また、本製造方法はあくまでも一例であり、エッチングなど他の製造方法によって製造しても構わない。これらの点は、以下の各変形例においても同様である。
【００５６】
（Ｃ）第１変形例の説明
上述した実施形態では、多面ミラー１１の各樹脂層２１〜２７に形成する光学膜フィルタ３１〜３７を広帯域バンドパスフィルタとしたが、例えば、光学膜フィルタ３１〜３７として、図９及び図１０に示すように、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有する、ロングウェーブ（長波長）パスフィルタを適用しても、上述したものと同様の多面ミラー１１を実現することができる。
【００５７】
そして、この場合も、例えば下記表２に示すように、光の入射側に近い反射膜３１から反射膜３７へ離れるにつれて、それぞれで反射される信号波長が順次長くなるように光学膜フィルタ３１〜３７の特性を変えることで、図４に示した多面フィルタ１１と同等の作用効果を得ることができる。なお、下記表２は、長さ８０ｋｍのＴＷ−ＲＳファイバ〔分散：４．２１９（ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ）、分散スロープ：０．０４５（ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍ）〕の波長分散および波長分散スロープを補償する場合の例である。
【００５８】
【表２】
【００５９】
そして、このような多面ミラー１１を前述した実施形態と同様に、波長分散補償器１に搭載し、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長について分散補償を行なったところ、図１１に示すような波長分散補償器１の波長分散特性が得られた。この図１１に示すように、ＴＷ−ＲＳファイバの波長分散および波長分散スロープとは逆の波長分散および波長分散スロープを発生しており、ＴＷ−ＲＳファイバの波長分散補償器１として有用であることが分かる。
【００６０】
なお、本変形例においても、図９及び図１０から明らかなように、光学膜フィルタ３１〜３７の透過ロス及び反射ロスは小さく、既存の波長分散補償器と比べて、光損失を小さくすることができる。
（Ｄ）第２変形例の説明
上述した実施形態及び第１変形例では、多面ミラー１１で反射される波長が光の入射側から順次長くなる場合の例について説明したが、ここでは、逆に、光の入射側から反射波長が順次短くなるように多面ミラーを設計する例について説明する。なお、以下において、既述の符号と同一符号を付すものは、特に断らない限り、既述のものと同一もしくは同様のものである。
【００６１】
図１２は上述した多面ミラー１１の第２変形例を示す断面図で、この図１２に示す多面ミラー５０は、一方の面（光の入射面）に反射防止膜５９が形成されたガラス基板５８の他方の面に、複数の樹脂層５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７が厚み方向（入射光の進行方向：図１２の紙面右方向）に順次積層形成されるとともに、各樹脂層５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７の表面にそれぞれ反射膜６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７が形成された構造を有している。なお、本多面ミラー５０も、紙面に対して垂直な方向には同じ形状のいわゆるシリンドリカル型となっている。
【００６２】
ここで、各樹脂層５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７も、それぞれ、入力光の波長帯域において透明な（入力光に含まれる全波長の光を透過する）特性を有する層で、それぞれ異なる波長分散（角度分散）を発生させるように異なる曲率を有する曲面形状を有している。尚且つ、これらの樹脂層５１〜５７は、それぞれ、各信号帯域内（１０Ｇｂｐｓ伝送では±０．０８ｎｍ程度）において波長分散が略一定となるように最適化された形状となっている。より具体的には、例えば、長さ８０ｋｍのＳＭＦに対応する場合、各樹脂層５１〜５７はそれぞれ下記表３に示すような波長分散を発生させるような形状とする。
【００６３】
また、各反射膜６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７は、それぞれ、例えば誘電体多層膜からなる光学膜フィルタとして機能するもので、本変形例では、光学膜フィルタとして広帯域バンドパスフィルタを適用している。即ち、反射膜６１〜６７は、図１３及び図１４に示すように、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ、１５３０．３ｎｍ、１５３６．６ｎｍ、１５４２．９ｎｍ、１５４９．３ｎｍ、１５５５．７ｎｍ、１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有しており、この場合は、光の入射側に近い反射膜６１から順に、反射する信号波長が短くなるように設計されている。
【００６４】
より詳しくは、例えば下記表３に示すように、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）に対し、光の入射側に近い反射膜６１から反射膜６７へ離れるにつれて、反射する信号波長が順次短くなるように各光学膜フィルタ６１〜６７の特性を変えているのである。なお、下記表３には、長さ８０ｋｍのＳＭＦ〔分散：１６．７９（ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ）、分散スロープ：０．０５７（ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍ）〕の波長分散および波長分散スロープを補償する場合の例について記載している。
【００６５】
【表３】
【００６６】
そして、このような多面ミラー５０に、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ、１５３０．３ｎｍ、１５３６．６ｎｍ、１５４２．９ｎｍ、１５４９．３ｎｍ、１５５５．７ｎｍ、１５６２．２ｎｍ）の光が入射すると、まず、その中で最も長波長である１５６２．２ｎｍの光が反射膜６１で反射される。このとき、１５６２．２ｎｍの光は樹脂層５１の曲面形状をミラー面と感じ、そのミラー面の曲率に応じた角度に反射される。
【００６７】
ここで、樹脂層５１は、上記表３に示すように−１２２８．３ｐｓ／ｎｍの波長分散を与える凸形状を有しているので、１５６２．２ｎｍの波長の光が、ＶＩＰＡ板１０の上側のビームウェストに戻り、長波長側の光と比べて光路長が長くなり遅延が増大し、−１２２８．３の負分散が生じることになる。
一方、１５６２．２ｎｍよりも短い波長（１５２４．１〜１５５５．７ｎｍ）の光にとっては反射膜６１を透明と感じるのでそのまま反射されることなく透過する。続いて、反射膜６２では、次に長波長である１５５５．７ｎｍの光がミラー面の曲率に応じた角度に反射され、それよりも短い波長（１５２４．１〜１５４９．３ｎｍ）の光は透過する。ここで、樹脂層５２は、上記表３に示すように−１２５６．７ｐｓ／ｎｍの波長分散を与える凸形状になっており、１５５５．７ｎｍの信号波長では−１２５６．７ｐｓ／ｎｍの負分散が生じることになる。
【００６８】
以降、同様に、長い波長の光から順次反射膜６３〜６６で反射されてゆき、最終的に、最も短い１５２４．１ｎｍの波長の光が反射膜６７で反射されることになり、１５４９．３ｎｍの信号波長では−１２８５．３ｐｓ／ｎｍ、１５４２．９ｎｍの信号波長では− １３１４．１ｐｓ／ｎｍ、１５３６．６ｎｍの信号波長では−１３４３．２ｐｓ／ｎｍ、１５３０．３ｎｍの信号波長では−１３７２．５ｐｓ／ｎｍ、１５２４．１ｎｍの信号波長では−１４０２．１ｐｓ／ｎｍと、それぞれ反射膜６３〜６７が形成された樹脂層５３〜５７の形状に応じて、異なる波長分散を生じる。
【００６９】
この結果、多面ミラー５０を搭載した波長分散補償器１では、例えば図１７に示すような波長分散特性、即ち、ＳＭＦの波長分散および波長分散スロープとは逆の波長分散および波長分散スロープを発生することができ、ＳＭＦの波長分散補償器１として有用であることが分かる。
なお、図１３及び図１４から明らかなように、本変形例で多面ミラー５０に用いる光学膜フィルタ６１〜６７の透過ロス及び反射ロスは小さいので、結果的に既存の波長分散補償器と比べて光損失は小さい。
【００７０】
また、このような多面ミラー５０は、図８により前述した製造方法と同様の方法で製造可能である。ただし、図４及び図１２から明らかなように、本変形例の多面ミラー５０の場合は、樹脂層５１を多面ミラー１１の樹脂層２１の厚みよりも厚く形成する必要があるので、前述した多面ミラー１１の方が製造は容易である。
【００７１】
（Ｅ）第３変形例の説明
上述した第２変形例では、多面ミラー５０の各樹脂層５１〜５７に形成する光学膜フィルタ６１〜６７を広帯域バンドパスフィルタとしているが、例えば図１５及び図１６に示すような透過波長及び反射波長特性、即ち、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有する、ショートウェーブ（短波長）パスフィルタを用いても、上述した第２変形例と同様の多面ミラー５０を実現できる。
【００７２】
そして、この場合も、例えば前記表３に示すように、光の入射側に近い反射膜６１から反射膜６７へ離れるにつれて、それぞれで反射される信号波長が順次短くなるように光学膜フィルタ６１〜６７の特性を変えることで、第２変形例と同等の作用効果を奏する多面ミラー５０及び波長分散補償器１を実現することができる。
【００７３】
なお、この場合も、図１５及び図１６から明らかなように、本変形例の多面ミラー５０で用いる光学膜フィルタ６１〜６７の透過ロス及び反射ロスは小さいので、既存の波長分散補償器１と比べて光損失は小さい。また、この場合の多面ミラー５０も、図８により前述した製造方法と同様の方法で製造可能である。
（Ｆ）その他
上述した実施形態及び各変形例では、光学膜フィルタ３１〜３７（又は６１〜６７）として、広帯域バンドパスフィルタ又はロングウェーブフィルタ（広帯域バンドパスフィルタ又はショートウェーブパスフィルタ）を適用しているが、例えば、それぞれ異なる特定波長の光のみを反射する狭帯域バンド反射フィルタを適用して、上述した多面ミラー１１（５０）の機能を実現することも可能である。
【００７４】
この場合は、各光学膜フィルタ３１〜３７（６１〜６７）で反射されるべき光の波長を反射順序によらずに設定することができる。なお、かかる狭帯域バンド反射フィルタは、屈折率が異なる２つの材料の混合比率を半波長周期で変化させたルゲートフィルタ等により実現することが可能である。
また、上述した実施形態及び各変形例では、光ファイバの波長分散スロープ、即ち、２次の波長分散まで補償する例について説明したが、本発明は、これに限定されず、多面ミラー１１（５０）により異なるチャンネル信号波長で異なる波長分散を与えられるので、多面ミラー１１（５０）の設計次第で３次以上の高次の波長分散まで補償することも可能である。
【００７５】
そして、本発明のいくつかの好適実施形態を上記に示したが、本発明はこれに限定されず、当業者は、本発明の原理に基づいて、請求項に定義された範囲およびその等価物の範囲内で、種々変更を加えて実施できることはいうまでもない。
（Ｇ）付記
（付記１） 複数種類の波長の光を含む入力光を多重反射して自己干渉を行なわせることにより、波長によって異なる出力角度で出力光を放出するバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（以下、ＶＩＰＡと称する）と、
該ＶＩＰＡから放出される出力光を集束するレンズと、
該レンズから入射される光を反射して該レンズへ戻すミラーとをそなえ、
該ミラーが、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されていることを特徴とする、波長分散発生装置。
【００７６】
（付記２） 該反射面が、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有することを特徴とする、付記１記載の波長分散発生装置。
（付記３） 該反射面が、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記１又は付記２に記載の波長分散発生装置。
【００７７】
（付記４） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長を反射し当該特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はロングウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が短い波長に設定されていることを特徴とする、付記３記載の波長分散発生装置。
【００７８】
（付記５） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光を反射し当該特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はショートウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が長い波長に設定されていることを特徴とする、付記３記載の波長分散発生装置。
【００７９】
（付記６） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光のみを反射し、該特定波長以外の波長の光を透過する特性を有する、狭帯域バンド反射フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記３記載の波長分散発生装置。
（付記７） 該多面ミラーが、該複数種類の波長を含む波長帯域において光透過性を有する紫外線硬化樹脂からなる複数の樹脂層をそなえ、該樹脂層の表面にそれぞれ該光学膜フィルタが形成されていることを特徴とする、付記３〜６のいずれか１項に記載の波長分散発生装置。
【００８０】
（付記８） 波長分散を発生する波長分散発生装置に使用され、複数種類の波長の光を含む入力光を反射するミラーであって、
該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有することを特徴とする、波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８１】
（付記９） 該反射面が、該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有することを特徴とする、付記８記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
（付記１０） 該反射面が、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記８又は付記９に記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８２】
（付記１１） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光を反射し当該特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はロングウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が短い波長に設定されていることを特徴とする、付記１０記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８３】
（付記１２） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光を反射し当該特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はショートウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が長い波長に設定されていることを特徴とする、付記１０記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８４】
（付記１３） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光のみを反射し、該特定波長以外の波長の光を透過する特性を有する、狭帯域バンド反射フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記１０記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
（付記１４） 該多面ミラーが、該複数種類の波長を含む波長帯域において光透過性を有する紫外線硬化樹脂からなる複数の樹脂層をそなえ、該樹脂層の表面にそれぞれ該光学膜フィルタが形成されていることを特徴とする、付記１０〜１３のいずれか１項に記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８５】
（付記１５） 基板上に光透過性の第１の紫外線硬化樹脂を塗布する第１工程と、
第１の断面形状を有する第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂に圧着して該第１の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第２工程と、
該第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂から離隔する第３工程と、
該第１の紫外線硬化樹脂上に所定の透過波長及び反射波長特性を有する第１の反射面となる第１の光学膜フィルタを成膜する第４工程と、
該第１の光学膜フィルタ上に光透過性の第２の紫外線硬化樹脂を塗布する第５工程と、
該第１の断面形状とは異なる第２の断面形状を有する第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂に圧着して該第２の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第６工程と、
該第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂から離隔する第７工程と、
該第２の紫外線硬化樹脂上に該第１の透過波長及び反射波長特性とは異なる第２の透過波長及び反射波長特性を有する第２の反射面となる第２の光学膜フィルタを形成する第８工程とを有することを特徴とする、多面ミラーの製造方法。
【００８６】
（付記１６） 該第２の光学膜フィルタを該第１の光学膜フィルタに相当するフィルタとして該第５工程から該第８工程を繰り返し実行して、複数の反射面を形成することを特徴とする、付記１５記載の多面ミラーの製造方法。
【００８７】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、ＶＩＰＡを用いて波長分散を発生させる装置において、ＶＩＰＡから放出される出力光を反射してＶＩＰＡへ戻すミラーが、入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、各反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されているので、異なる波長の光を異なる形状を有する反射面で反射させて波長毎に異なる角度で反射させることができる。従って、波長毎に異なる光路差を与えて異なる波長分散を発生させることができ、且つ、従来よりも低光損失な装置を提供することができる。
【００８８】
また、上記の多面ミラーは、紫外線硬化樹脂の塗布，金型の圧着，紫外線照射，金型の離隔，光学膜フィルタの成膜という各工程を多面ミラーに必要な反射面数に応じて繰り返すことで製造することができるので、容易に上記多面ミラーを実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としてのバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（ＶＩＰＡ）を用いた波長分散補償器（波長分散発生装置）の構成を示す模式的斜視図である。
【図２】図１に示すＶＩＰＡの分光原理を説明するための模式図である。
【図３】図１に示すＶＩＰＡによる分散補償の原理を説明するための模式図である。
【図４】図１に示す多面ミラーの模式的断面図である。
【図５】図４に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図６】図４に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図７】本実施形態に係るＥ−ＬＥＡＦファイバ（８０ｋｍ）と波長分散補償器の波長分散（スロープ）を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｆ）はいずれも図４に示す多面ミラーの製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図９】図４に示す多面ミラーの第１変形例において反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するロングウェーブパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図１０】図４に示す多面ミラーの第１変形例において反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するロングウェーブパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図１１】本実施形態の第１変形例に係るＴＷ−ＲＳファイバ（８０ｋｍ）と波長分散補償器の波長分散（スロープ）を示す図である。
【図１２】図４に示す多面ミラーの第２変形例を示す模式的断面図である。
【図１３】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図１４】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図１５】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するショートウェーブパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図１６】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するショートウェーブパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図１７】本実施形態の第３変形例に係るＳＭＦ（８０ｋｍ）と波長分散補償器の波長分散（スロープ）を示す図である。
【図１８】従来のＶＩＰＡを含む光装置の一例を示す模式的斜視図である。
【図１９】光ファイバの種類による波長分散及び波長分散スロープを示す図である。
【符号の説明】
１ 波長分散補償器（波長分散発生装置）
１０ ＶＩＰＡ板
１０ａ，１０ｂ 反射膜
１０ｃ 反射防止膜（照射窓）
１１，５０ ミラー（多面ミラー）
１２ コリメートレンズ
１３ シリンドリカルレンズ（ラインフォーカスレンズ）
１４ フォーカスレンズ
１５ 光サーキュレータ
１５′ 光ファイバ
１６ ＶＩＰＡ
２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７ 樹脂層
２８ ガラス基板
２９ 反射防止膜
３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７ 反射膜（反射面；光学膜フィルタ）
４０ 紫外線硬化樹脂
４１，４３ 金型
４２ 紫外線
５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７ 樹脂層
５８ ガラス基板
５９ 反射防止膜
６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７ 反射膜（反射面；光学膜フィルタ）
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長多重伝送装置向けにチャンネル信号波長によって異なる分散を発生する装置であって、光ファイバ送信網において蓄積する波長分散スロープを補償するために用いる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光を用いて情報を送信するための従来の光ファイバ通信システムでは、光送信器が、光パルスを、光ファイバを通して受光器に送出する。しかし、「色分散」ともいわれる、光ファイバの波長分散は、システムの信号の質を劣化させる。
より具体的には、波長分散の結果、光ファイバ中の信号光の伝播速度はその信号光の波長に依存する。例えば、長い波長をもつ光パルス（例えば赤色を示す波長をもつ光パルス）が、短い波長を持つ光パルス（例えば青色を示す波長をもつ光パルス）よりも速く伝播するとき、その分散は正常分散と呼ばれる。逆に、短い波長を持つ光パルス（例えば青色パルス）が、長い波長を持つパルス（例えば赤色パルス）よりも速く伝播するとき、その分散は異常分散と呼ばれる。
【０００３】
従って、信号光パルスが送信機から送出される際に赤色パルスおよび青色パルスを含む場合、信号光パルスは光ファイバ内を伝播する間に赤色パルスおよび青色パルスに分離され、それぞれの光パルスが異なる時間に受光器によって受光されることになる。
光パルス送信の他の例として、青色から赤色へ連続する波長成分を持つ信号光パルスを送信する場合には、各成分は異なる速度で光ファイバ内を伝播するため、信号光パルスは光ファイバ内でその時間幅が広げられ、歪みが生じる。全てのパルスは有限な波長範囲内の成分を含むため、このような波長分散の発生は光ファイバ通信システムにおいては、きわめて一般的である。
【０００４】
従って、特に高速の光ファイバ通信システムにおいては、高送信能力を得るために、波長分散を補償することが必要となる。このため、光ファイバ通信システムには、光ファイバにおいて発生する波長分散と逆の波長分散を光パルスに与える「逆分散コンポーネント」が必要となる。
従来装置の中には、この「逆分散コンポーネント」として用いることのできるものが存在する。例えば、分散補償ファイバ（ＤＣＦ：Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎＦｉｂｅｒ）は特定の断面屈折率分布をもち、通常の伝送路ファイバにおいて生じるのと逆の波長分散を与え、「逆分散コンポーネント」として用いることができる。
【０００５】
しかし、分散補償ファイバは製造するのに高価であり、また、伝送路ファイバで発生する波長分散を十分に補償するためには比較的長いものが必要である。例えば、１００ｋｍの伝送路ファイバで発生した波長分散を完全に補償するためには、２０ｋｍから３０ｋｍ程度の長さの分散補償ファイバが必要となる。このため、光損失が大きくなり、また、寸法が大きくなるという課題がある。
【０００６】
他に、チャープ・ファイバグレーティングも波長分散を補償するための「逆分散コンポーネント」として用いることができる。ファイバグレーティングは、コアにドープした酸化ゲルマニウムの屈折率が紫外光照射によって屈折率が変化する現象を利用して、コア中に屈折率が半波長周期で変化するグレーティングを形成するものだが、ファイバの長さ方向にグレーティング間隔を少しずつ変化させることにより、長い波長成分が遠い距離で反射され、それにより、短い波長成分よりも長い距離を伝播するように設計されたものである。従って、チャープ・ファイバグレーティングも光パルスに逆分散を与えることができる。
【０００７】
しかし、チャープ・ファイバグレーティングは、反射する光パルスについて、非常に狭い帯域しかもたないため、波長分割多重光のような多くの波長を含む光を補償するのに十分な波長帯域を得ることができない。そこで、複数のチャープ・ファイバグレーティングを、波長分割多重信号について、カスケードさせることも可能であるが、システムが高価になってしまう。
【０００８】
そこで、上記のような従来装置に対して、例えば、特表２０００−５１１６５５号公報（特願平１０−５３４４５０号）や特表２００２−５１４３２３号公報（特願平１１−５１３１３３号）により、「バーチャリ・イメージド・フェイズド・アレイ（Ｖｉｒｔｕａｌｌｙ Ｉｍａｇｅｄ Ｐｈａｓｅｄ Ａｒｒａｙ：ＶＩＰＡ）」と呼ばれるデバイスを含む光学装置が提案されている。
このＶＩＰＡは、ある波長帯域内の複数種類の連続する波長を含む光を受光し、連続的に対応する出力光を生成するデバイスで、例えば特開平９−４３０５７号公報に記載されているように、所定の間隔を空けて２つの反射面が対向するよう配置された平行平板により構成され、一方の反射面が１００％の光反射率を有し、他方の反射面が１００％よりも小さい（９８％程度）反射率を有している。
【０００９】
そして、反射率が１００％の反射面には外部から光を導入するための照射窓（透明領域）が部分的に設けられており、この照射窓からＶＩＰＡ内（平行平板間）に複数種類の波長を含む光を斜めに導入すると、平行平板間で繰り返し反射（多重反射）が起こり、反射率が１００％よりも小さい反射面の複数箇所から連続的に一部の光がＶＩＰＡ外部へ放出されることになる。
【００１０】
このようにしてＶＩＰＡから放出された複数の透過光は、ある角度をもって放射状に広がりながら進むので、同じ波長の光に関して多くの異なる進行方向をもつ光の干渉が起こる。したがって、波長によって特定の進行方向をもつ成分のみが強められて光束が形成され、これにより、所定波長帯域内の複数種類の連続する波長を含む光を波長毎に異なる方向に出力することができる（つまり、出力光に角度分散を与えることができる）。換言すれば、ＶＩＰＡの出力光は、入力光の波長帯域内の他波長をもつ光とは空間的に区別することができるのである。
【００１１】
そして、前記の特表２０００−５１１６５５号公報や特表２００２−５１４３２３号公報に記載の技術は、このようなＶＩＰＡの特徴を利用して、波長分散を発生できるようにした技術に関するものである。具体的には、ＶＩＰＡから出力される光をＶＩＰＡに戻し、ＶＩＰＡ内で再度多重反射を発生させるように構成した光装置（波長分散発生装置）に係るものである。
【００１２】
即ち、かかる光装置は、例えば図１８に示すように、コリメートレンズ１００，シリンドリカルレンズ２００，ＶＩＰＡ３００，集束レンズ４００及びミラー５００をそなえて構成され、光ファイバ６００からの入射光がコリメートレンズ１００によりコリメートされ、シリンドリカルレンズで光波の一方向のみが集束されたのち、照射窓３０１を通じてＶＩＰＡ３００内へ入射され、ＶＩＰＡの出力光が集束レンズ４００により集束（集光）されたのち、ミラー５００で反射されて、再度、ＶＩＰＡ３００内へ導入されるようになっている。
【００１３】
ここで、ＶＩＰＡ３００と集束レンズ４００は、ＶＩＰＡ３００から集束レンズ４００に進む光が、集束レンズ４００からＶＩＰＡ３００に戻る光に対して平行且つ逆方向に進むように位置決めされる。また、ＶＩＰＡ３００から集束レンズ４００に進む光は、集束レンズ４００からＶＩＰＡ３００に戻る光と重ならないようになっている。
【００１４】
上述のごとく構成された光装置では、ＶＩＰＡ３００の出力光が、上述したように波長によって異なる方向へ出力されるので、集束レンズ４００が異なる波長成分の光をミラー５００の異なる位置に集束させることになる（図１８では短波長の光がミラー５００の上部、長波長の光がミラー５００の下部に集束される状態を示している）。したがって、異なる波長の光は異なる距離の光路を辿ってＶＩＰＡ３００へ伝搬することになり、これにより、一定の波長分散を発生させることができる。
【００１５】
なお、ＶＩＰＡ３００は、実際には、同じ波長でも異なる干渉次数をもつ複数の光を出力する（干渉次数が異なる光も異なる方向へ出力される）ため、集束レンズ４００は特定の干渉次数をもつ光だけをミラー５００に集束させ、ミラー５００は特定の干渉次数をもつ光だけを反射するように設計される。また、ＶＩＰＡ３００へ戻された光は、１００％よりも小さい反射率をもつ面を透過してＶＩＰＡ３００内に導入され、ＶＩＰＡ３００内で、再度、多重反射してＶＩＰＡ３００の照射窓３０１から入力経路と同じ経路を辿って出力される。
【００１６】
以上のように、ＶＩＰＡ３００は、回折格子のように角度分散の機能をもち、波長分散を発生して波長分散の補償を可能とするが、特に大きな角度分散を有することが特徴であり、実用的な逆分散コンポーネントを容易に提供することができる。
しかし、波長分割多重伝送システムに用いるための実用的な逆分散コンポーネントとしては、さらに以下のようなニーズが存在する。
【００１７】
即ち、一般に実用化されている光ファイバの有する波長分散は、例えば図１９に示すように、波長によって一定ではなく、わずかに正の傾き（波長が長くなるほど波長分散が正となる）を有することが多い。このような波長分散の傾きを波長分散スロープないしは２次の波長分散と呼ぶことがある。
例えば、一般的なシングルモードファイバ（ＳＭＦ）の場合（点線７００参照）、１ｋｍ当たりの波長分散が＋１６．７９ｐｓ／ｎｍ／ｋｍであるのに対し、波長分散スロープは１ｋｍ当たり＋０．０５７ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍであり、必要な波長帯域幅が例えば３５ｎｍである場合には、＋２ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ程度の波長分散の変化となる。
【００１８】
なお、図１９において、実線８００及び点線９００は、ＮＺ−ＤＳＦ（ノンゼロ分散シフト光ファイバ）の代表的なものの波長分散スロープを示しており、実線８００はＥｎｈａｎｃｅｄ−ＬＥＡＦ（登録商標）ファイバ（Ｃｏｒｎｉｎｇ社製：以下、Ｅ−ＬＥＡＦと略記する）、点線９００は、ＴｒｕｅＷａｖｅ（登録商標）−ＲＳファイバ（Ｌｕｃｅｎｔ社製：以下、ＴＷ −ＲＳと略記する）の波長分散スロープをそれぞれ示している。
【００１９】
また、波長分散スロープは必ずしも正（波長が長くなるほど波長分散が正となる）とは限らず、ファイバの構造分散を変えることにより負の波長分散スロープも有りうる。
さらに、図１９に示す波長分散のグラフは実際には直線ではなく、波長分散の傾き（波長分散スロープ）も厳密には一定ではないが、このような３次の波長分散は４０Ｇｂ／ｓ程度の伝送速度では問題となることは少なく、無視することができる。このように、実用的な逆分散コンポーネントとしては、波長分散のみならず、波長分散スロープ、すなわち、チャンネル信号波長によって異なる波長分散を与えることが望ましいといえる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
このように光ファイバとは逆の波長分散スロープを発生させ、波長分散を補償する方法としては、例えば、文献“Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ ｏｆ ｃｈｒｏｍａｔｉｃ ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ａｎｄｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ｓｌｏｐｅ ｕｓｉｎｇ ａ ｖｉｒｔｕａｌｌｙ ｉｍａｇｅｄ ｐｈａｓｅｄ ａｒｒａｙ”（Ｍ．Ｓｈｉｒａｓａｋｉ， ＯＦＣ２００１）又は米国特許第６，３４３，８６６号明細書に開示されているように、ＶＩＰＡと、実質的にＶＩＰＡの分散方向と垂直な分散方向をもつ回折格子のような分波器を組み合せる方法が適用可能である。しかし、回折格子は、製造プロセスの問題で理論上の回折効率が得られにくいため、光の損失（ロス）が大きいという課題がある。
【００２１】
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、光損失（ロス）が小さく、チャンネル信号波長によって異なる波長分散を与えることのできる、波長分散発生装置並びに該波長分散発生装置に使用される多面ミラー及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の波長分散発生装置（請求項１）は、複数種類の波長の光を含む入力光を多重反射して自己干渉を行なわせることにより、波長によって異なる出力角度で出力光を放出するバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（以下、ＶＩＰＡと称する）と、該ＶＩＰＡから放出される出力光を集束するレンズと、該レンズから入射される光を反射して該レンズへ戻すミラーとをそなえ、該ミラーが、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されていることを特徴としている。
【００２３】
ここで、上記の反射面は、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有しているのが好ましく（請求項２）、また、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることが好ましい（請求項３）。
また、本発明の波長分散発生装置に使用される多面ミラー（請求項４）は、波長分散を発生する波長分散発生装置に使用され、複数種類の波長の光を含む入力光を反射するミラーであって、該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有することを特徴としている。
【００２４】
ここで、上記の多面ミラーは、例えば、次のような各工程により製造される（請求項５）。
（１）基板上に光透過性の第１の紫外線硬化樹脂を塗布する第１工程
（２）第１の断面形状を有する第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂に圧着して該第１の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第２工程
（３）該第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂から離隔する第３工程
（４）該第１の紫外線硬化樹脂上に所定の透過波長及び反射波長特性を有する第１の反射面となる第１の光学膜フィルタを成膜する第４工程
（５）該第１の光学膜フィルタ上に光透過性の第２の紫外線硬化樹脂を塗布する第５工程
（６）該第１の断面形状とは異なる第２の断面形状を有する第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂に圧着して該第２の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第６工程
（７）該第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂から離隔する第７工程
（８）該第２の紫外線硬化樹脂上に該第１の透過波長及び反射波長特性とは異なる第２の透過波長及び反射波長特性を有する第２の反射面となる第２の光学膜フィルタを形成する第８工程
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
（Ａ）一実施形態の説明
図１は本発明の一実施形態としてのバーチャリ・イメージ・フェイズ・アレイ（ＶＩＰＡ）を用いた波長分散補償器（波長分散発生装置）の構成を示す模式的斜視図で、この図１に示す波長分散補償器１は、ＶＩＰＡ板１０，ミラー１１，コリメートレンズ１２，ラインフォーカスレンズ（シリンドリカルレンズ）１３，フォーカスレンズ（集束レンズ）１４をそなえて構成されている。なお、符号１５は光サーキュレータ、符号１５′は光ファイバをそれぞれ示す。
【００２６】
ここで、コリメートレンズ１２は、光ファイバ１５′から出射される光をコリメートしてコリメート光として出力するものであり、ラインフォーカスレンズ１３は、コリメートレンズ１２からのコリメート光を一方向のみ集束（線状に集束）するものである。
また、ＶＩＰＡ板１０は、従来技術と同様に、ラインフォーカスレンズ１３から出射される光を入力光として受けて、当該入力光を内部で多重反射して自己干渉を行なわせることにより、出力光を実質的に直線状の分散方向に、波長によって異なる出力角度で分散出力するものであり、フォーカスレンズ１４は、ＶＩＰＡ板１０から出力される光を（点状に）集束するものである。
【００２７】
このため、ＶＩＰＡ板１０は、所定の間隔をおいて配置された２枚の反射面をもつ平行平板により構成されるが、実際には、例えば図２に模式的に示すように、所定の板厚をもつガラス板の一方の面（入射面）に約１００％の反射率を有する反射膜１０ａ、他方の面（出射面）に９８％程度の反射率を有する反射膜１０ｂをそれぞれ形成（コーティング）することで実現される。
【００２８】
また、ＶＩＰＡ板１０の入射面の下部（ラインフォーカスレンズ１３からの光の入射位置）には、反射防止膜（反射率０％）１０ｃが形成（コーティング）されており、ここからラインフォーカスレンズ１３からの光がＶＩＰＡ板１０内に導入されるようになっている（つまり、上記反射防止膜１０ｃは前述した照射窓として機能する）。
【００２９】
さらに、本ＶＩＰＡ板１０は、各波長（チャネル）での分散を同時に補償するために、「ＷＤＭマッチングのＦＳＲの厚さ」の条件を満足する、即ち、
２ｎｔｃｏｓθ＝ｍλ…（１）
ＦＳＲ＝ｃ／２ｎｔｃｏｓθ…（２）
となるように設計されている。
【００３０】
なお、これらの式（１）及び（２）において、ｎはガラスの屈折率、ｔはガラスの物理的厚さ、θは各チャネルの中心波長λに対応する光束伝播方向および入力光の光軸の傾き角、ＦＳＲは各チャネルの中心波長の間隔、ｃは光速を表す。
このような条件では、例えば図３に模式的に示すように、中心波長に対応するすべての波長成分は、ＶＩＰＡ板１０から同じ出射角をもち、それぞれのビームウェストの虚像（当該虚像から光が放出されているかのようにみえる）が階段状に並ぶＶＩＰＡ１６が形成される。これにより、フォーカスレンズ１４は、（ａ）各チャネルの中心波長に対応する波長成分をミラー１１上の点１７に集束させ、（ｂ）各チャネルの長い波長の要素に対応する波長成分をミラー１１上の点１８に集束させ、（ｃ）各チャネルの短い波長の成分に対応する波長成分をミラー１１上の点１９に集束させることができる。
【００３１】
従って、ミラー１１に集光された光は、集光位置のミラー１１の形状により決まる反射角度によって任意の位置に戻り、入射時と逆の経路で光ファイバに再び結合する。ここで、例えば図３中に示すように、ミラー１１が単純な凸形状の反射面を有している場合は、短波長側の光が、上側のビームウェストに戻り、長波長側の光と比べ光路長が長くなり遅延が増大する。
【００３２】
従って、この場合、波長分散補償器１は負分散を発生することなる。逆に、ミラー１１の反射面が凹形状である場合は、正分散を発生することが可能となる。なお、ＶＩＰＡ１６を用いた分散補償器は光が同じ光路を戻ってくる構成であるため、サーキュレータ１５′を用いてインラインで用いることができる。このようにして、ＶＩＰＡ１６を使用して波長分割多重光の全てのチャネルで波長分散を補償することができる。
【００３３】
例えば、ＶＩＰＡ板１０の厚さｔ＝１ｍｍ、屈折率ｎ＝１．５であれば、１００ＧＨｚ間隔の全ての波長がこの条件に合う（ＦＳＲ＝１００ＧＨｚ）。その結果、ＶＩＰＡ板１０は、１００ＧＨｚ間隔の波長分割多重（ＷＤＭ）光の全てのチャネルで同時に同じ波長分散を与えることができる。しかし、ミラー１１が図３中に示すような単純な凸形状の曲面を有するミラーである場合は、各チャンネル信号波長に対して同じ分散量しか与えられず、チャンネル信号波長毎に異なる分散量を与えることは非常に困難である。
【００３４】
そこで、本実施形態のミラー１１は、フォーカスレンズ１４から入射される光を反射してフォーカスレンズ１４に戻すものであるが、図４に例示するような特殊な断面形状を有する多面ミラーにより構成されている。
即ち、本多面ミラー１１は、一方の面（光の入射面）に反射防止膜２９が形成されたガラス基板２８の他方の面に、複数の樹脂層２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７が厚み方向（入射光の進行方向：図１及び図４の紙面右方向）に順次積層形成されるとともに、各樹脂層２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７の表面にそれぞれ反射膜３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７が形成された構造を有している。なお、本多面ミラー１１は、紙面に対して垂直な方向には同じ形状のいわゆるシリンドリカル型となっている。
【００３５】
ここで、各樹脂層２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７は、それぞれ、入力光の波長帯域において透明な（入力光に含まれる全波長の光を透過する）特性を有する層で、それぞれ異なる波長分散（角度分散）を発生させるように異なる曲率を有する曲面形状を有している。尚且つ、これらの樹脂層２１〜２７は、それぞれ、各信号帯域内（１０Ｇｂｐｓ伝送では±０．０８ｎｍ程度）において波長分散が略一定となるように最適化された形状となっている。より具体的には、例えば、長さ８０ｋｍのＥ−ＬＥＡＦファイバに対応する場合、各樹脂層２１〜２７はそれぞれ下記表１に示すような波長分散を発生させるような形状とする。
【００３６】
また、各反射膜３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７は、それぞれ、例えば誘電体多層膜からなる光学膜フィルタとして機能するもので、本実施形態では、光学膜フィルタとして広帯域バンドパスフィルタを適用している。即ち、反射膜３１〜３７は、図５及び図６に示すように、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有しており、この場合は、光の入射側に近い反射膜３１から順に、反射する信号波長が長くなるように設計されている。
【００３７】
より詳しくは、例えば下記表１に示すように、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）に対し、光の入射側に近い反射膜３１から反射膜３７へ離れるにつれて、反射する信号波長が順次長くなるように各光学膜フィルタ３１〜３７の特性を変えているのである。
【００３８】
【表１】
したがって、このような多面ミラー１１に、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光が入射すると、まず、その中で最も短波長の１５２４．１ｎｍが反射膜３１で反射される。この際、波長が１５２４．１ｎｍの光は樹脂層２１の曲面形状をミラー面と感じ、ミラー面の曲率に応じた角度に反射されることになる。
【００４０】
一方、１５２４．１ｎｍよりも長い波長（１５３０．３〜１５６２．２ｎｍ）の光にとっては反射膜３１を透明と感じるのでそのまま反射されることなく次の樹脂層２２（反射膜３２）へ透過する。続いて、反射膜３２では、受けた光の波長（１５３０．３〜１５６２．２ｎｍ）のうち最も短波長（１５３０．３ｎｍ）の光がそのミラー面の曲率に応じた角度に反射され、それよりも長い波長（１５３６．６〜１５６２．２ｎｍ）の光は次の樹脂層２３（反射膜３３）へ透過する。以降、同様にして、短い波長の光から順に反射膜３３〜３６で反射されてゆき、最終的に、最も長い１５６２．２ｎｍの波長の光が反射膜３７で反射されることになる。
【００４１】
このように、反射膜（光学膜フィルタ）３１〜３７は、特定のチャンネル信号波長については反射ミラーとして機能するが、それ以外の波長には、単に透過するだけでミラーとして機能しないので、複数のチャンネル信号波長を含む入力光を受けると、その入力光は、チャンネル信号波長によって異なる形状のミラーで反射されることと実質的に等しいこととなり、各チャンネル信号波長によって、異なる波長分散を与えることが可能となる。
【００４２】
つまり、本実施形態の多面ミラー１１は、上記の反射膜３１〜３７を、それぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面として有し、且つ、これらの反射面がそれぞれ異なる形状を有する構造になっているのである。
以下、上述のごとく構成された本実施形態の波長分散補償器１の動作について詳述する。なお、以下では、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長のＷＤＭ光について、長さ８０ｋｍのＥ−ＬＥＡＦファイバ〔分散＝３．８５２（ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ），分散スロープ＝０．０８３（ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍ）〕により発生する波長分散および波長分散スロープを補償する場合を例にして説明する。また、ＦＳＲ＝２００ＧＨｚとなるように、屈折率ｎ＝１．８５、厚さｔ＝０．４ｍｍのガラス板をＶＩＰＡ板１０として用いる。したがって、８００ＧＨｚ間隔の全てのＷＤＭ信号波長（チャンネル）で、同じように波長によって分光される。
【００４３】
まず、光ファイバ１５′から出射されたＷＤＭ光は、コリメートレンズ１２にてコリメート光に変換されたのち、ラインフォーカスレンズ１３にてそのコリメート光の一方向のみが集束されて、照射窓１０ｃを通じてＶＩＰＡ板１０内に入射される。
ＶＩＰＡ板１０に入射した信号光は、ＶＩＰＡ板１０中で多重反射を繰り返す。その際に、ＶＩＰＡ板１０の反射膜１０ｂが形成された面の複数箇所から信号光の一部が出射する。出射した光のビームウェストは、それぞれ、図２に示すように、それぞれ光を照射する虚像が階段状に並んだＶＩＰＡ１６を形成する。このＶＩＰＡ１６は、回折次数の大きな回折格子であるから、出射光は干渉条件を満たす方向に伝播する。
【００４４】
そして、ＶＩＰＡ１６から分光された出射光は、フォーカスレンズ１４により多面ミラー１１に集光される。すると、前述したように、まず最も短波長である１５２４．１ｎｍの光が樹脂層２１の曲面形状を有する反射膜（曲面ミラー）３１で反射され、そのミラー面の曲率に応じた角度に反射される。ここで、樹脂層２１は、−１４０．８ｐｓ／ｎｍの波長分散を与えるような凸形状になっているので、１５２４．１ｎｍの波長の光は、ＶＩＰＡ板１０の上側のビームウェストに戻り、長波長側の光と比べて光路長が長くなって遅延が増大し、−１４０．８ｐｓ／ｎｍの負分散が生じる。
【００４５】
次に、１５２４．１ｎｍよりも長い波長（１５３０．３〜１５６２．２ｎｍ）の光は、反射膜３１を透過し、その中で最も短波長である１５３０．３ｎｍの光が樹脂層２２の曲面形状を有する反射膜（曲面ミラー）３２で反射される。ここで、樹脂層２２は、−１８２．１ｐｓ／ｎｍの波長分散を与えるような凸形状になっているので、１５３０．３ｎｍの波長の光には−１８２．１ｐｓ／ｎｍの負分散が生じる。
【００４６】
以降、同様にして、１５３６．６ｎｍの波長では−２２３．８ｐｓ／ｎｍ、１５４２．９ｎｍの波長では−２６５．８ｐｓ／ｎｍ、１５４９．３ｎｍの波長では−３０８．２ｐｓ／ｎｍ、１５５５．７ｎｍの波長では−３５０．９ｐｓ／ｎｍ、１５６２．２ｎｍの波長では−３９３．９ｐｓ／ｎｍと、それぞれ反射膜３３，３４，３５，３６，３７が形成された樹脂層２３，２４，２５，２６，２７の形状に応じて異なる波長分散を生じる。
【００４７】
なお、各信号波長が多面ミラー２０の各樹脂層の膜で反射される際、異なる集光位置（ミラー深さ）で反射されることになるが、フォーカスレンズ１４の焦点距離が集光位置の差に比べて十分に大きい場合は、波長毎のロスに特に大きな差は生じない。
図７に、本実施形態の波長分散補償器１の波長分散特性を示す。この図７に示すように、本実施形態の波長分散補償器１は、Ｅ−ＬＥＡＦファイバの波長分散および波長分散スロープとは逆の波長分散及び波長分散スロープを発生することができており、Ｅ−ＬＥＡＦファイバの波長分散補償器として極めて有用であることが分かる。
【００４８】
特に、図５及び図６から明らかなように、本実施形態で用いた光学膜フィルタ３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７の透過ロス及び反射ロスは共に小さく、結果的に、従来の波長分散補償器と比べてもロス増加は非常に小さいものにできる。
なお、本波長分散補償器１を、実際に、ＷＤＭ伝送装置に搭載し、１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍの８００ＧＨｚ間隔８チャンネルの信号波長を４０Ｇｂｉｔ／ｓで変調し、Ｅ−ＬＥＡＦファイバ（８０ｋｍ）伝送後の波形を確認したところ、良好なアイ開口が得られた。
【００４９】
また、上記の例では、ＷＤＭ信号波長数を８チャンネルとしているが、これ以外のチャンネル数の場合も、多面ミラー１１の反射面（樹脂層及び反射膜）をそのチャンネル数に応じた数だけ設ければ対応可能なことはいうまでもない。
以上のように、本実施形態の波長分散補償器１によれば、ＶＩＰＡ板１０の出力光を集束するフォーカスレンズ１４から入射される光を反射してフォーカスレンズ１４に戻すミラー１１をそなえ、このミラー１１で反射された光が、フォーカスレンズ１４を通じてＶＩＰＡ板１０に戻り、ＶＩＰＡ板１０内で多重反射を受けてＶＩＰＡ板１０の透明領域（照射窓１０ｃ）から出力される装置において、ミラー１１が、入射光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面３１〜３７を有し、且つ、各反射面３１〜３７がそれぞれ異なる波長分散を与えるような形状を有する多面ミラーにより構成されているので、ＷＤＭ信号光に含まれる異なる波長の光を、異なる形状を有する反射面３１〜３７で反射させて波長毎に異なる角度で反射させることができる。
【００５０】
したがって、ＷＤＭ信号のチャンネル信号波長によって異なる光路差、即ち、波長分散を与えることが可能で、且つ、従来よりも低光損失な新たな可変分散補償器１を提供することができる。
（Ｂ）多面ミラーの製造方法の説明
次に、以下では、上述した多面ミラー１１の製造方法の一例について、図８を用いて説明する。
【００５１】
まず、図８（ａ）に示すように、ガラス基板２８上に光透過性の（第１の）紫外線硬化樹脂４０を適量塗布する（第１工程）。このとき、ガラス基板２８と樹脂４０との結合力を高めるために、ガラス基板２８上にシランカップリング剤等を予め塗布することが望ましい。
続いて、図８（ｂ）に示すように、所望の（第１の）断面形状（所望の曲率の曲面形状）を有する（第１の）金型４１を樹脂４０に気泡が入らないように当て付け（圧着し）、ガラス基板２８側から紫外線４２を照射して、樹脂４０を硬化させる（これにより、樹脂層２１が成形される：第２工程）。このとき、金型４１の表面には、後の離型工程で離型を容易にするために、フッ素系の離型剤等を塗布あるいは表面処理しておくことが望ましい。
【００５２】
次に、図８（ｃ）に示すように、金型４１を樹脂層２１から離型（離隔）し（第３工程）、樹脂層２１上に、（第１の）反射面となる、誘電体多層膜からなる（第１の）光学膜フィルタである反射膜３１を成膜する（第４工程）。なお、この光学膜フィルタ３１は、図５及び図６により前述したように所定の透過波長及び反射波長を有するよう形成される。また、樹脂は高温に弱いので、成膜方法としては、イオンアシスト蒸着やイオンビームスパッタなどの低温で緻密な膜が得られる成膜方法が適している。さらに、誘電体多層膜からなる反射膜３１の最表面をＳｉＯ２膜としておくと、前述したようにシランカップリング剤の塗布により、反射膜３１上に後に形成する樹脂層２２との結合力を高めることができる。
【００５３】
続いて、図８（ｄ）に示すように、反射膜３１上に、光透過性の（第２の）紫外線硬化樹脂４０を塗布し（第５工程）、その上から金型４１とは異なる断面形状（曲率の異なる曲面形状）を有する（第２の）金型４３を当て付け、ガラス基板２８側から紫外線４２を照射して樹脂４０を硬化する（これにより、反射膜３１上に樹脂層２２が成形される：第６工程）。
【００５４】
そして、図８（ｅ）に示すように、樹脂層２２から金型４３を離型し（第７工程）、図８（ｆ）に示すように、その樹脂層２２の上に更に誘電体多層膜からなる（第２の）光学膜フィルタである反射膜３２（図５及び図６により前述した透過波長及び反射波長を有する）を成膜する（第８工程）。
以降、同様に、紫外線硬化樹脂４０の塗布，金型の当て付け，紫外線照射（硬化，樹脂層成形），離型，光学膜フィルタの成膜という各工程を繰り返す、即ち、（第２の）光学膜フィルタ３２を形成済みの（第１の）光学膜フィルタ３１に相当するフィルタとして上記の第５工程から第８工程を繰り返し実行することにより、図４に示したように厚さ方向に複数の反射面３１〜３７を有し、且つ、各反射面３１〜３７が異なる曲率の曲面形状を有する多面ミラー１１を容易に製造できる。
【００５５】
なお、本製造方法により多面ミラー１１を製造する場合、例えば図４において紙面に垂直な方向（奥行き）に同じ形状を有するいわゆるシリンドリカル形状であれば、一括で比較的大きなミラーを作製し、複数のミラーに小さく切断して使用することができるので、製造コスト的には問題は少ない。また、本製造方法はあくまでも一例であり、エッチングなど他の製造方法によって製造しても構わない。これらの点は、以下の各変形例においても同様である。
【００５６】
（Ｃ）第１変形例の説明
上述した実施形態では、多面ミラー１１の各樹脂層２１〜２７に形成する光学膜フィルタ３１〜３７を広帯域バンドパスフィルタとしたが、例えば、光学膜フィルタ３１〜３７として、図９及び図１０に示すように、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有する、ロングウェーブ（長波長）パスフィルタを適用しても、上述したものと同様の多面ミラー１１を実現することができる。
【００５７】
そして、この場合も、例えば下記表２に示すように、光の入射側に近い反射膜３１から反射膜３７へ離れるにつれて、それぞれで反射される信号波長が順次長くなるように光学膜フィルタ３１〜３７の特性を変えることで、図４に示した多面フィルタ１１と同等の作用効果を得ることができる。なお、下記表２は、長さ８０ｋｍのＴＷ−ＲＳファイバ〔分散：４．２１９（ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ）、分散スロープ：０．０４５（ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍ）〕の波長分散および波長分散スロープを補償する場合の例である。
【００５８】
【表２】
そして、このような多面ミラー１１を前述した実施形態と同様に、波長分散補償器１に搭載し、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長について分散補償を行なったところ、図１１に示すような波長分散補償器１の波長分散特性が得られた。この図１１に示すように、ＴＷ−ＲＳファイバの波長分散および波長分散スロープとは逆の波長分散および波長分散スロープを発生しており、ＴＷ−ＲＳファイバの波長分散補償器１として有用であることが分かる。
【００６０】
なお、本変形例においても、図９及び図１０から明らかなように、光学膜フィルタ３１〜３７の透過ロス及び反射ロスは小さく、既存の波長分散補償器と比べて、光損失を小さくすることができる。
（Ｄ）第２変形例の説明
上述した実施形態及び第１変形例では、多面ミラー１１で反射される波長が光の入射側から順次長くなる場合の例について説明したが、ここでは、逆に、光の入射側から反射波長が順次短くなるように多面ミラーを設計する例について説明する。なお、以下において、既述の符号と同一符号を付すものは、特に断らない限り、既述のものと同一もしくは同様のものである。
【００６１】
図１２は上述した多面ミラー１１の第２変形例を示す断面図で、この図１２に示す多面ミラー５０は、一方の面（光の入射面）に反射防止膜５９が形成されたガラス基板５８の他方の面に、複数の樹脂層５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７が厚み方向（入射光の進行方向：図１２の紙面右方向）に順次積層形成されるとともに、各樹脂層５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７の表面にそれぞれ反射膜６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７が形成された構造を有している。なお、本多面ミラー５０も、紙面に対して垂直な方向には同じ形状のいわゆるシリンドリカル型となっている。
【００６２】
ここで、各樹脂層５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７も、それぞれ、入力光の波長帯域において透明な（入力光に含まれる全波長の光を透過する）特性を有する層で、それぞれ異なる波長分散（角度分散）を発生させるように異なる曲率を有する曲面形状を有している。尚且つ、これらの樹脂層５１〜５７は、それぞれ、各信号帯域内（１０Ｇｂｐｓ伝送では±０．０８ｎｍ程度）において波長分散が略一定となるように最適化された形状となっている。より具体的には、例えば、長さ８０ｋｍのＳＭＦに対応する場合、各樹脂層５１〜５７はそれぞれ下記表３に示すような波長分散を発生させるような形状とする。
【００６３】
また、各反射膜６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７は、それぞれ、例えば誘電体多層膜からなる光学膜フィルタとして機能するもので、本変形例では、光学膜フィルタとして広帯域バンドパスフィルタを適用している。即ち、反射膜６１〜６７は、図１３及び図１４に示すように、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ、１５３０．３ｎｍ、１５３６．６ｎｍ、１５４２．９ｎｍ、１５４９．３ｎｍ、１５５５．７ｎｍ、１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有しており、この場合は、光の入射側に近い反射膜６１から順に、反射する信号波長が短くなるように設計されている。
【００６４】
より詳しくは、例えば下記表３に示すように、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）に対し、光の入射側に近い反射膜６１から反射膜６７へ離れるにつれて、反射する信号波長が順次短くなるように各光学膜フィルタ６１〜６７の特性を変えているのである。なお、下記表３には、長さ８０ｋｍのＳＭＦ〔分散：１６．７９（ｐｓ／ｎｍ／ｋｍ）、分散スロープ：０．０５７（ｐｓ／ｎｍ２／ｋｍ）〕の波長分散および波長分散スロープを補償する場合の例について記載している。
【００６５】
【表３】
そして、このような多面ミラー５０に、８００ＧＨｚ間隔のＷＤＭ信号波長（１５２４．１ｎｍ、１５３０．３ｎｍ、１５３６．６ｎｍ、１５４２．９ｎｍ、１５４９．３ｎｍ、１５５５．７ｎｍ、１５６２．２ｎｍ）の光が入射すると、まず、その中で最も長波長である１５６２．２ｎｍの光が反射膜６１で反射される。このとき、１５６２．２ｎｍの光は樹脂層５１の曲面形状をミラー面と感じ、そのミラー面の曲率に応じた角度に反射される。
【００６７】
ここで、樹脂層５１は、上記表３に示すように−１２２８．３ｐｓ／ｎｍの波長分散を与える凸形状を有しているので、１５６２．２ｎｍの波長の光が、ＶＩＰＡ板１０の上側のビームウェストに戻り、長波長側の光と比べて光路長が長くなり遅延が増大し、−１２２８．３の負分散が生じることになる。
一方、１５６２．２ｎｍよりも短い波長（１５２４．１〜１５５５．７ｎｍ）の光にとっては反射膜６１を透明と感じるのでそのまま反射されることなく透過する。続いて、反射膜６２では、次に長波長である１５５５．７ｎｍの光がミラー面の曲率に応じた角度に反射され、それよりも短い波長（１５２４．１〜１５４９．３ｎｍ）の光は透過する。ここで、樹脂層５２は、上記表３に示すように−１２５６．７ｐｓ／ｎｍの波長分散を与える凸形状になっており、１５５５．７ｎｍの信号波長では−１２５６．７ｐｓ／ｎｍの負分散が生じることになる。
【００６８】
以降、同様に、長い波長の光から順次反射膜６３〜６６で反射されてゆき、最終的に、最も短い１５２４．１ｎｍの波長の光が反射膜６７で反射されることになり、１５４９．３ｎｍの信号波長では−１２８５．３ｐｓ／ｎｍ、１５４２．９ｎｍの信号波長では− １３１４．１ｐｓ／ｎｍ、１５３６．６ｎｍの信号波長では−１３４３．２ｐｓ／ｎｍ、１５３０．３ｎｍの信号波長では−１３７２．５ｐｓ／ｎｍ、１５２４．１ｎｍの信号波長では−１４０２．１ｐｓ／ｎｍと、それぞれ反射膜６３〜６７が形成された樹脂層５３〜５７の形状に応じて、異なる波長分散を生じる。
【００６９】
この結果、多面ミラー５０を搭載した波長分散補償器１では、例えば図１７に示すような波長分散特性、即ち、ＳＭＦの波長分散および波長分散スロープとは逆の波長分散および波長分散スロープを発生することができ、ＳＭＦの波長分散補償器１として有用であることが分かる。
なお、図１３及び図１４から明らかなように、本変形例で多面ミラー５０に用いる光学膜フィルタ６１〜６７の透過ロス及び反射ロスは小さいので、結果的に既存の波長分散補償器と比べて光損失は小さい。
【００７０】
また、このような多面ミラー５０は、図８により前述した製造方法と同様の方法で製造可能である。ただし、図４及び図１２から明らかなように、本変形例の多面ミラー５０の場合は、樹脂層５１を多面ミラー１１の樹脂層２１の厚みよりも厚く形成する必要があるので、前述した多面ミラー１１の方が製造は容易である。
【００７１】
（Ｅ）第３変形例の説明
上述した第２変形例では、多面ミラー５０の各樹脂層５１〜５７に形成する光学膜フィルタ６１〜６７を広帯域バンドパスフィルタとしているが、例えば図１５及び図１６に示すような透過波長及び反射波長特性、即ち、それぞれ異なる特定波長（１５２４．１ｎｍ，１５３０．３ｎｍ，１５３６．６ｎｍ，１５４２．９ｎｍ，１５４９．３ｎｍ，１５５５．７ｎｍ，１５６２．２ｎｍ）の光を反射し、且つ、その特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有する、ショートウェーブ（短波長）パスフィルタを用いても、上述した第２変形例と同様の多面ミラー５０を実現できる。
【００７２】
そして、この場合も、例えば前記表３に示すように、光の入射側に近い反射膜６１から反射膜６７へ離れるにつれて、それぞれで反射される信号波長が順次短くなるように光学膜フィルタ６１〜６７の特性を変えることで、第２変形例と同等の作用効果を奏する多面ミラー５０及び波長分散補償器１を実現することができる。
【００７３】
なお、この場合も、図１５及び図１６から明らかなように、本変形例の多面ミラー５０で用いる光学膜フィルタ６１〜６７の透過ロス及び反射ロスは小さいので、既存の波長分散補償器１と比べて光損失は小さい。また、この場合の多面ミラー５０も、図８により前述した製造方法と同様の方法で製造可能である。
（Ｆ）その他
上述した実施形態及び各変形例では、光学膜フィルタ３１〜３７（又は６１〜６７）として、広帯域バンドパスフィルタ又はロングウェーブフィルタ（広帯域バンドパスフィルタ又はショートウェーブパスフィルタ）を適用しているが、例えば、それぞれ異なる特定波長の光のみを反射する狭帯域バンド反射フィルタを適用して、上述した多面ミラー１１（５０）の機能を実現することも可能である。
【００７４】
この場合は、各光学膜フィルタ３１〜３７（６１〜６７）で反射されるべき光の波長を反射順序によらずに設定することができる。なお、かかる狭帯域バンド反射フィルタは、屈折率が異なる２つの材料の混合比率を半波長周期で変化させたルゲートフィルタ等により実現することが可能である。
また、上述した実施形態及び各変形例では、光ファイバの波長分散スロープ、即ち、２次の波長分散まで補償する例について説明したが、本発明は、これに限定されず、多面ミラー１１（５０）により異なるチャンネル信号波長で異なる波長分散を与えられるので、多面ミラー１１（５０）の設計次第で３次以上の高次の波長分散まで補償することも可能である。
【００７５】
そして、本発明のいくつかの好適実施形態を上記に示したが、本発明はこれに限定されず、当業者は、本発明の原理に基づいて、請求項に定義された範囲およびその等価物の範囲内で、種々変更を加えて実施できることはいうまでもない。
（Ｇ）付記
（付記１） 複数種類の波長の光を含む入力光を多重反射して自己干渉を行なわせることにより、波長によって異なる出力角度で出力光を放出するバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（以下、ＶＩＰＡと称する）と、
該ＶＩＰＡから放出される出力光を集束するレンズと、
該レンズから入射される光を反射して該レンズへ戻すミラーとをそなえ、
該ミラーが、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されていることを特徴とする、波長分散発生装置。
【００７６】
（付記２） 該反射面が、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有することを特徴とする、付記１記載の波長分散発生装置。
（付記３） 該反射面が、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記１又は付記２に記載の波長分散発生装置。
【００７７】
（付記４） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長を反射し当該特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はロングウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が短い波長に設定されていることを特徴とする、付記３記載の波長分散発生装置。
【００７８】
（付記５） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光を反射し当該特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はショートウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が長い波長に設定されていることを特徴とする、付記３記載の波長分散発生装置。
【００７９】
（付記６） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光のみを反射し、該特定波長以外の波長の光を透過する特性を有する、狭帯域バンド反射フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記３記載の波長分散発生装置。
（付記７） 該多面ミラーが、該複数種類の波長を含む波長帯域において光透過性を有する紫外線硬化樹脂からなる複数の樹脂層をそなえ、該樹脂層の表面にそれぞれ該光学膜フィルタが形成されていることを特徴とする、付記３〜６のいずれか１項に記載の波長分散発生装置。
【００８０】
（付記８） 波長分散を発生する波長分散発生装置に使用され、複数種類の波長の光を含む入力光を反射するミラーであって、
該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有することを特徴とする、波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８１】
（付記９） 該反射面が、該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有することを特徴とする、付記８記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
（付記１０） 該反射面が、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記８又は付記９に記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８２】
（付記１１） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光を反射し当該特定波長よりも長波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はロングウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が短い波長に設定されていることを特徴とする、付記１０記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８３】
（付記１２） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光を反射し当該特定波長よりも短波長側の光を透過する特性を有する、広帯域バンドパスフィルタ又はショートウェーブパスフィルタにより構成されるとともに、該レンズからの光の入射側に近い光学膜フィルタほど該特定波長が長い波長に設定されていることを特徴とする、付記１０記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８４】
（付記１３） 該光学膜フィルタが、それぞれ、特定波長の光のみを反射し、該特定波長以外の波長の光を透過する特性を有する、狭帯域バンド反射フィルタにより構成されていることを特徴とする、付記１０記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
（付記１４） 該多面ミラーが、該複数種類の波長を含む波長帯域において光透過性を有する紫外線硬化樹脂からなる複数の樹脂層をそなえ、該樹脂層の表面にそれぞれ該光学膜フィルタが形成されていることを特徴とする、付記１０〜１３のいずれか１項に記載の波長分散発生装置に使用される多面ミラー。
【００８５】
（付記１５） 基板上に光透過性の第１の紫外線硬化樹脂を塗布する第１工程と、
第１の断面形状を有する第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂に圧着して該第１の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第２工程と、
該第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂から離隔する第３工程と、
該第１の紫外線硬化樹脂上に所定の透過波長及び反射波長特性を有する第１の反射面となる第１の光学膜フィルタを成膜する第４工程と、
該第１の光学膜フィルタ上に光透過性の第２の紫外線硬化樹脂を塗布する第５工程と、
該第１の断面形状とは異なる第２の断面形状を有する第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂に圧着して該第２の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第６工程と、
該第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂から離隔する第７工程と、
該第２の紫外線硬化樹脂上に該第１の透過波長及び反射波長特性とは異なる第２の透過波長及び反射波長特性を有する第２の反射面となる第２の光学膜フィルタを形成する第８工程とを有することを特徴とする、多面ミラーの製造方法。
【００８６】
（付記１６） 該第２の光学膜フィルタを該第１の光学膜フィルタに相当するフィルタとして該第５工程から該第８工程を繰り返し実行して、複数の反射面を形成することを特徴とする、付記１５記載の多面ミラーの製造方法。
【００８７】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、ＶＩＰＡを用いて波長分散を発生させる装置において、ＶＩＰＡから放出される出力光を反射してＶＩＰＡへ戻すミラーが、入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、各反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されているので、異なる波長の光を異なる形状を有する反射面で反射させて波長毎に異なる角度で反射させることができる。従って、波長毎に異なる光路差を与えて異なる波長分散を発生させることができ、且つ、従来よりも低光損失な装置を提供することができる。
【００８８】
また、上記の多面ミラーは、紫外線硬化樹脂の塗布，金型の圧着，紫外線照射，金型の離隔，光学膜フィルタの成膜という各工程を多面ミラーに必要な反射面数に応じて繰り返すことで製造することができるので、容易に上記多面ミラーを実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としてのバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（ＶＩＰＡ）を用いた波長分散補償器（波長分散発生装置）の構成を示す模式的斜視図である。
【図２】図１に示すＶＩＰＡの分光原理を説明するための模式図である。
【図３】図１に示すＶＩＰＡによる分散補償の原理を説明するための模式図である。
【図４】図１に示す多面ミラーの模式的断面図である。
【図５】図４に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図６】図４に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図７】本実施形態に係るＥ−ＬＥＡＦファイバ（８０ｋｍ）と波長分散補償器の波長分散（スロープ）を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｆ）はいずれも図４に示す多面ミラーの製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図９】図４に示す多面ミラーの第１変形例において反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するロングウェーブパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図１０】図４に示す多面ミラーの第１変形例において反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するロングウェーブパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図１１】本実施形態の第１変形例に係るＴＷ−ＲＳファイバ（８０ｋｍ）と波長分散補償器の波長分散（スロープ）を示す図である。
【図１２】図４に示す多面ミラーの第２変形例を示す模式的断面図である。
【図１３】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図１４】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用する広帯域バンドパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図１５】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するショートウェーブパスフィルタの透過波長特性を示す図である。
【図１６】図１２に示す多面ミラーの反射面を構成する光学膜フィルタとして適用するショートウェーブパスフィルタの反射波長特性を示す図である。
【図１７】本実施形態の第３変形例に係るＳＭＦ（８０ｋｍ）と波長分散補償器の波長分散（スロープ）を示す図である。
【図１８】従来のＶＩＰＡを含む光装置の一例を示す模式的斜視図である。
【図１９】光ファイバの種類による波長分散及び波長分散スロープを示す図である。
【符号の説明】
１ 波長分散補償器（波長分散発生装置）
１０ ＶＩＰＡ板
１０ａ，１０ｂ 反射膜
１０ｃ 反射防止膜（照射窓）
１１，５０ ミラー（多面ミラー）
１２ コリメートレンズ
１３ シリンドリカルレンズ（ラインフォーカスレンズ）
１４ フォーカスレンズ
１５ 光サーキュレータ
１５′ 光ファイバ
１６ ＶＩＰＡ
２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７ 樹脂層
２８ ガラス基板
２９ 反射防止膜
３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７ 反射膜（反射面；光学膜フィルタ）
４０ 紫外線硬化樹脂
４１，４３ 金型
４２ 紫外線
５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７ 樹脂層
５８ ガラス基板
５９ 反射防止膜
６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７ 反射膜（反射面；光学膜フィルタ）
Claims (5)
- 複数種類の波長の光を含む入力光を多重反射して自己干渉を行なわせることにより、波長によって異なる出力角度で出力光を放出するバーチャル・イメージ・フェイズ・アレイ（以下、ＶＩＰＡと称する）と、
該ＶＩＰＡから放出される出力光を集束するレンズと、
該レンズから入射される光を反射して該レンズへ戻すミラーとをそなえ、
該ミラーが、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有する多面ミラーにより構成されていることを特徴とする、波長分散発生装置。 - 該反射面が、該レンズから入射される光の進行方向に対してそれぞれ異なる曲率の曲面形状を有することを特徴とする、請求項１記載の波長分散発生装置。
- 該反射面が、それぞれ異なる透過波長及び反射波長特性を有する光学膜フィルタにより構成されていることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の波長分散発生装置。
- 波長分散を発生する波長分散発生装置に使用され、複数種類の波長の光を含む入力光を反射するミラーであって、
該入力光の進行方向に対してそれぞれ異なる波長の光を反射する複数の反射面を有し、且つ、該反射面がそれぞれ異なる形状を有することを特徴とする、波長分散発生装置に使用される多面ミラー。 - 基板上に光透過性の第１の紫外線硬化樹脂を塗布する第１工程と、
第１の断面形状を有する第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂に圧着して該第１の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第２工程と、
該第１の金型を該第１の紫外線硬化樹脂から離隔する第３工程と、
該第１の紫外線硬化樹脂上に所定の透過波長及び反射波長特性を有する第１の反射面となる第１の光学膜フィルタを成膜する第４工程と、
該第１の光学膜フィルタ上に光透過性の第２の紫外線硬化樹脂を塗布する第５工程と、
該第１の断面形状とは異なる第２の断面形状を有する第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂に圧着して該第２の紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる第６の工程と、
該第２の金型を該第２の紫外線硬化樹脂から離隔する第７工程と、
該第２の紫外線硬化樹脂上に該第１の透過波長及び反射波長特性とは異なる第２の透過波長及び反射波長特性を有する第２の反射面となる第２の光学膜フィルタを形成する第８工程とを有することを特徴とする、多面ミラーの製造方法。
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