JP5508469B2 - エタロン及びエタロンの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係るエタロン1を模式的に示す側面図である。
通常は、先に材料(屈折率)を選択して、厚みを設定する。以下の説明においては、材料が既に特定されていることを前提として、厚みの設定方法を説明することがあるものとする。
FSR=(νm−νm+L)/L
により求められてもよい。
図3は、エタロン1の製造方法の手順を示すフローチャートである。
図4は、透光体7の加工精度のばらつきをギャップ53の間隔の調整で補償する(ステップST1〜ST4)場合の計算例を示す図表である。
図5は、エタロン1の応用例を示すブロック図である。
Claims (6)
- 入射面及び出射面の一方を構成する第1外側面、及び、その背面の第1内側面を有し、温度上昇変化に対する光路長の変化が正である第1透光体と、
入射面及び出射面の他方を構成する第2外側面、及び、その背面の第2内側面を有し、温度上昇変化に対する光路長の変化が負である第2透光体と、
前記第1外側面を覆う第1反射膜と、
前記第1内側面を覆う第1反射防止膜と、
前記第2外側面を覆う第2反射膜と、
前記第2内側面を覆う第2反射防止膜と、
を有し、
前記第1内側面と前記第2内側面とがギャップを挟んで対向している
エタロン。 - 前記第1内側面及び前記第2内側面の外縁側においてこれら内側面の間に介在して前記第1透光体及び前記第2透光体を接合する金属層を更に有する
請求項1に記載のエタロン。 - 第1外側面及びその背面の第1内側面を有し、温度上昇変化に対する光路長の変化が正である第1透光体を準備するステップと、
第2外側面及びその背面の第2内側面を有し、温度上昇変化に対する光路長の変化が負である第2透光体を準備するステップと、
前記第1外側面を覆う第1反射膜を形成するステップと、
前記第1内側面を覆う第1反射防止膜を形成するステップと、
前記第2外側面を覆う第2反射膜を形成するステップと、
前記第2内側面を覆う第2反射防止膜を形成するステップと、
前記第1反射防止膜に覆われた前記第1内側面と前記第2反射防止膜に覆われた前記第2内側面とをギャップを介して対向させた状態で前記第1透光体と前記第2透光体とを互いに固定するステップと、
を有するエタロンの製造方法。 - 前記第1透光体と前記第2透光体とを互いに固定する前に、前記第1透光体及び前記第2透光体の厚みを測定するステップを更に有し、
前記第1透光体と前記第2透光体とを互いに固定するステップでは、測定された前記第1透光体及び前記第2透光体の厚みに基づいて前記ギャップの間隔を調整する
請求項3に記載のエタロンの製造方法。 - 前記第1透光体と前記第2透光体とを互いに固定するステップでは、前記第1内側面及び前記第2内側面の少なくとも一方の面においてその外縁側に金属層を成膜して当該金属層により前記第1透光体と前記第2透光体とを固定し、また、前記金属層を成膜するときの厚みの調整により前記ギャップの間隔を調整する
請求項4に記載のエタロンの製造方法。 - 前記第1透光体と前記第2透光体とを互いに固定するステップの前に、
形成された前記第1反射防止膜の反射率を測定するステップと、
形成された前記第2反射防止膜の反射率を測定するステップと、
を更に有し、
測定された反射率が所定の許容範囲内に収まるときにのみ、前記第1透光体と前記第2透光体とを固定するステップを行う
請求項3〜5のいずれか1項に記載のエタロンの製造方法。
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