JP3291562B2 - 高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル - Google Patents
高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリルInfo
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- JP3291562B2 JP3291562B2 JP16645598A JP16645598A JP3291562B2 JP 3291562 B2 JP3291562 B2 JP 3291562B2 JP 16645598 A JP16645598 A JP 16645598A JP 16645598 A JP16645598 A JP 16645598A JP 3291562 B2 JP3291562 B2 JP 3291562B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、耐摩耗性の低下
なく、高強度を有し、これによって一段の細径化にもす
ぐれた耐折損性を示す超硬合金製ミニチュアドリルに関
するものである。
なく、高強度を有し、これによって一段の細径化にもす
ぐれた耐折損性を示す超硬合金製ミニチュアドリルに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般に、超硬合金製ミニチュアド
リルが、図２に電子顕微鏡による組織観察結果を模式図
で示す通り、 第一硬質分散相：６０〜９２面積％、 第二硬質分散相：１〜１０面積％、 Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、 からなる組織を示し、上記第一硬質分散相は、炭化タン
グステン（以下、ＷＣで示す）からなり、上記第二硬質
分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶとＷと
Ｃｒの析出複合炭化物［以下、（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃで示
す］からなり、かついずれもＶ成分の作用で０．７μｍ
以下の平均粒径を有し、さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの
含有量が、重量％で（以下、単に％の表示は重量％を示
す）、Ｃｏ：５〜１３％、Ｃｒ：０．２〜２％、Ｖ ：
０．２〜１％、である、ＷＣ基超硬合金（以下、超硬合
金と云う）で構成され、かつ図３に概略正面図で例示さ
れるように、切刃部とシャンク部からなり、前記切刃部
に形成された外周刃によって穴あけ加工がなされること
は良く知られるところである。また、これらの超硬合金
製ミニチュアドリルが、主に半導体装置のプリント配線
基板などの穴あけ加工に用いられていることも知られて
いる。
リルが、図２に電子顕微鏡による組織観察結果を模式図
で示す通り、 第一硬質分散相：６０〜９２面積％、 第二硬質分散相：１〜１０面積％、 Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、 からなる組織を示し、上記第一硬質分散相は、炭化タン
グステン（以下、ＷＣで示す）からなり、上記第二硬質
分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶとＷと
Ｃｒの析出複合炭化物［以下、（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃで示
す］からなり、かついずれもＶ成分の作用で０．７μｍ
以下の平均粒径を有し、さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの
含有量が、重量％で（以下、単に％の表示は重量％を示
す）、Ｃｏ：５〜１３％、Ｃｒ：０．２〜２％、Ｖ ：
０．２〜１％、である、ＷＣ基超硬合金（以下、超硬合
金と云う）で構成され、かつ図３に概略正面図で例示さ
れるように、切刃部とシャンク部からなり、前記切刃部
に形成された外周刃によって穴あけ加工がなされること
は良く知られるところである。また、これらの超硬合金
製ミニチュアドリルが、主に半導体装置のプリント配線
基板などの穴あけ加工に用いられていることも知られて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の半導体装
置の高集積化は著しく、これに伴い、これらに設けられ
る穴径も小経化の傾向にあり、したがってこれの穴あけ
加工に用いられるミニチュアドリルも一段と細径となる
が、加工穴径が小径になればなるほど、ミニチュアドリ
ルには折損防止の面からより一段の強度（靭性）が要求
され、このためにはこれを構成する超硬合金のＣｏ含有
量を多くしなければならないが、Ｃｏ含有量を多くする
と反比例的に耐摩耗性が低下するようになり、使用寿命
の短命化が避けられないのが現状である。
置の高集積化は著しく、これに伴い、これらに設けられ
る穴径も小経化の傾向にあり、したがってこれの穴あけ
加工に用いられるミニチュアドリルも一段と細径となる
が、加工穴径が小径になればなるほど、ミニチュアドリ
ルには折損防止の面からより一段の強度（靭性）が要求
され、このためにはこれを構成する超硬合金のＣｏ含有
量を多くしなければならないが、Ｃｏ含有量を多くする
と反比例的に耐摩耗性が低下するようになり、使用寿命
の短命化が避けられないのが現状である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、上記の従来超硬合金製ミニチュ
アドリルに着目し、これのもつ耐摩耗性を損なう事な
く、強度向上を図るべく研究を行った結果、上記の従来
超硬合金製ミニチュアドリルを構成する超硬合金（従来
超硬合金と云う）においては、その製造に際して、その
焼結を、「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、
温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、少な
くとも１２００℃まで炉冷（この場合の冷却速度は約１
０℃／ｍｉｎ）」、の条件で行っているが、この焼結
を、「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温
度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気
を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ2 の加圧雰囲気に変え、この
加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２０
０℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急
冷」、の条件とすると、上記従来超硬合金では、（Ｖ，
Ｗ，Ｃｒ）Ｃのすべてが冷却時に結合相中に分散析出し
て独自に第二硬質分散相を形成していたものが、上記の
通り真空雰囲気を加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に
所定時間保持した後急冷することにより、図１に電子顕
微鏡による組織観察結果を模式図で示した通り、その一
部がＷＣの表面に全面被覆薄層および／または部分被覆
薄層として析出して被覆ＷＣからなる第一硬質分散相を
形成するようになり、この結果の（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの
析出割合にはほとんど変化がないが、前記（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃの一部が前記被覆ＷＣを形成する超硬合金は、結
合相中にだけ（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが分散析出した上記従
来超硬合金に比して一段と高い強度をもつようになり、
したがってこの超硬合金でミニチュアドリルを構成すれ
ば、これの一段の細径化にもすぐれた耐折損性を示し、
かつ細径化によっても耐摩耗性の低下が抑制されるよう
になるという研究結果を得たのである。
上述のような観点から、上記の従来超硬合金製ミニチュ
アドリルに着目し、これのもつ耐摩耗性を損なう事な
く、強度向上を図るべく研究を行った結果、上記の従来
超硬合金製ミニチュアドリルを構成する超硬合金（従来
超硬合金と云う）においては、その製造に際して、その
焼結を、「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、
温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、少な
くとも１２００℃まで炉冷（この場合の冷却速度は約１
０℃／ｍｉｎ）」、の条件で行っているが、この焼結
を、「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温
度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気
を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ2 の加圧雰囲気に変え、この
加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２０
０℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急
冷」、の条件とすると、上記従来超硬合金では、（Ｖ，
Ｗ，Ｃｒ）Ｃのすべてが冷却時に結合相中に分散析出し
て独自に第二硬質分散相を形成していたものが、上記の
通り真空雰囲気を加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に
所定時間保持した後急冷することにより、図１に電子顕
微鏡による組織観察結果を模式図で示した通り、その一
部がＷＣの表面に全面被覆薄層および／または部分被覆
薄層として析出して被覆ＷＣからなる第一硬質分散相を
形成するようになり、この結果の（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの
析出割合にはほとんど変化がないが、前記（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃの一部が前記被覆ＷＣを形成する超硬合金は、結
合相中にだけ（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが分散析出した上記従
来超硬合金に比して一段と高い強度をもつようになり、
したがってこの超硬合金でミニチュアドリルを構成すれ
ば、これの一段の細径化にもすぐれた耐折損性を示し、
かつ細径化によっても耐摩耗性の低下が抑制されるよう
になるという研究結果を得たのである。
【０００５】この発明は、上記の研究結果に基づいてな
されたものであって、電子顕微鏡による組織観察で、 第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、 第二硬質分散相：０．５〜５面積％、 Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、 からなる組織を示し、上記第一硬質分散相は、ＷＣを
（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの薄層で全面被覆および／または部
分被覆してなる被覆ＷＣからなり、上記第二硬質分散相
は、上記結合相中に微細に分散分布した（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃからなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒
径を有し、さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、Ｃ
ｏ：５〜１３％、Ｃｒ：０．２〜２％、Ｖ ：０．２〜
１％、である、超硬合金で構成してなる、耐折損性のす
ぐれた超硬合金製ミニチュアドリルに特徴を有するもの
である。
されたものであって、電子顕微鏡による組織観察で、 第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、 第二硬質分散相：０．５〜５面積％、 Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、 からなる組織を示し、上記第一硬質分散相は、ＷＣを
（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの薄層で全面被覆および／または部
分被覆してなる被覆ＷＣからなり、上記第二硬質分散相
は、上記結合相中に微細に分散分布した（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃからなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒
径を有し、さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、Ｃ
ｏ：５〜１３％、Ｃｒ：０．２〜２％、Ｖ ：０．２〜
１％、である、超硬合金で構成してなる、耐折損性のす
ぐれた超硬合金製ミニチュアドリルに特徴を有するもの
である。
【０００６】つぎに、この発明のミニチュアドリルにお
いて、これを構成する超硬合金の組成および硬質分散相
の平均粒径を上記の通りに限定した理由を説明する。 （Ａ） 組成 （ａ） 第一硬質分散相（被覆ＷＣ）の割合 第一硬質分散相における（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの存在、す
なわちＷＣの表面を（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが被覆すること
によって超硬合金の強度が著しく向上するようになるこ
とは経験的に判明したものであり、またこの場合電子顕
微鏡による組織観察で、ＷＣの全粒界長さの５０％以上
が（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃで被覆されているのが望ましく、
さらに第一硬質分散相には、ＷＣと、これの表面を被覆
する（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃとの共存によって耐摩耗性を一
段と向上させる作用があるが、その割合が６５面積％未
満では、所望のすぐれた耐摩耗性を確保することができ
ず、一方その割合が９２．５面積％を越えると相対的に
結合相の割合が少なくなりすぎて、強度が急激に低下す
るようになることから、その割合を６５〜９２．５面積
％、望ましくは８０〜８９面積％と定めた。
いて、これを構成する超硬合金の組成および硬質分散相
の平均粒径を上記の通りに限定した理由を説明する。 （Ａ） 組成 （ａ） 第一硬質分散相（被覆ＷＣ）の割合 第一硬質分散相における（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの存在、す
なわちＷＣの表面を（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが被覆すること
によって超硬合金の強度が著しく向上するようになるこ
とは経験的に判明したものであり、またこの場合電子顕
微鏡による組織観察で、ＷＣの全粒界長さの５０％以上
が（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃで被覆されているのが望ましく、
さらに第一硬質分散相には、ＷＣと、これの表面を被覆
する（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃとの共存によって耐摩耗性を一
段と向上させる作用があるが、その割合が６５面積％未
満では、所望のすぐれた耐摩耗性を確保することができ
ず、一方その割合が９２．５面積％を越えると相対的に
結合相の割合が少なくなりすぎて、強度が急激に低下す
るようになることから、その割合を６５〜９２．５面積
％、望ましくは８０〜８９面積％と定めた。
【０００７】（ｂ） 第二硬質分散相（（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃ）の割合 第二硬質分散相には、超硬合金の硬さをさらに一段と高
め、もって耐摩耗性を向上させる作用があるが、その割
合が０．５面積％未満では、所望の硬さ向上効果が得ら
れず、一方その割合が５面積％を越えると、強度が急激
に低下するようになることから、その割合を０．５〜５
面積％、望ましくは１〜３面積％と定めた。
ｒ）Ｃ）の割合 第二硬質分散相には、超硬合金の硬さをさらに一段と高
め、もって耐摩耗性を向上させる作用があるが、その割
合が０．５面積％未満では、所望の硬さ向上効果が得ら
れず、一方その割合が５面積％を越えると、強度が急激
に低下するようになることから、その割合を０．５〜５
面積％、望ましくは１〜３面積％と定めた。
【０００８】（ｃ） Ｃｏの含有量 Ｃｏ成分は焼結性を向上させ、かつ結合相を形成して強
度を向上させ、もってドリルの折損を抑制する作用をも
つが、その含有量が５％未満では細経化に対して十分な
耐折損性を確保することができず、一方その含有量が１
３％を越えると耐摩耗性の急激な低下が避けられないこ
とから、その含有量を５〜１３％、望ましくは６〜１０
％と定めた。
度を向上させ、もってドリルの折損を抑制する作用をも
つが、その含有量が５％未満では細経化に対して十分な
耐折損性を確保することができず、一方その含有量が１
３％を越えると耐摩耗性の急激な低下が避けられないこ
とから、その含有量を５〜１３％、望ましくは６〜１０
％と定めた。
【０００９】（ｄ） Ｃｒの含有量 Ｃｒ成分には、上記の通りＷＣの表面に全面被覆薄層お
よび／または部分被覆薄層として析出する（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃを形成して強度向上および耐摩耗性向上に寄与す
るほか、さらに第二硬質分散相を形成して、耐摩耗性の
一段の向上に寄与し、かつ結合相中に固溶して、これの
耐熱性を向上させる作用があるが、その含有量が０．２
％未満では前記作用に所望の向上効果が得られず、一方
その含有量が２％を越えると、結合相中への固溶割合が
高くなりすぎ、強度低下の原因となることから、その含
有量を０．２〜２％、望ましくは０．３〜１．０％と定
めた。
よび／または部分被覆薄層として析出する（Ｖ，Ｗ，Ｃ
ｒ）Ｃを形成して強度向上および耐摩耗性向上に寄与す
るほか、さらに第二硬質分散相を形成して、耐摩耗性の
一段の向上に寄与し、かつ結合相中に固溶して、これの
耐熱性を向上させる作用があるが、その含有量が０．２
％未満では前記作用に所望の向上効果が得られず、一方
その含有量が２％を越えると、結合相中への固溶割合が
高くなりすぎ、強度低下の原因となることから、その含
有量を０．２〜２％、望ましくは０．３〜１．０％と定
めた。
【００１０】（ｅ） Ｖの含有量 Ｖ成分には、同じく（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃを形成して、強
度および耐摩耗性を向上させるほか、結合相中に固溶し
て、焼結時における上記第一および第二硬質分散相の粒
成長を抑制する作用があるが、その含有量が０．２％未
満では、硬質の（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの形成が困難である
ばかりでなく、原料粉末であるＷＣ粉末の平均粒径を
０．７μｍ以下にしても焼結時に粒成長して上記第一硬
質分散相が０．７μｍを越えた平均粒径になってしま
い、また結合相中に析出した第二硬質分散相の成長抑制
効果も十分でなく、この結果所望の高強度を確保するこ
とができず、折損の発生を防止することができなくな
り、一方その含有量が１％を越えると結合相自体の強度
が低下し、折損が発生し易くなることから、その含有量
を０．２〜１％、望ましくは０．２〜０．５％と定め
た。
度および耐摩耗性を向上させるほか、結合相中に固溶し
て、焼結時における上記第一および第二硬質分散相の粒
成長を抑制する作用があるが、その含有量が０．２％未
満では、硬質の（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの形成が困難である
ばかりでなく、原料粉末であるＷＣ粉末の平均粒径を
０．７μｍ以下にしても焼結時に粒成長して上記第一硬
質分散相が０．７μｍを越えた平均粒径になってしま
い、また結合相中に析出した第二硬質分散相の成長抑制
効果も十分でなく、この結果所望の高強度を確保するこ
とができず、折損の発生を防止することができなくな
り、一方その含有量が１％を越えると結合相自体の強度
が低下し、折損が発生し易くなることから、その含有量
を０．２〜１％、望ましくは０．２〜０．５％と定め
た。
【００１１】（ｆ） 第一および第二硬質分散相の平均
粒径 これらの平均粒径は、上記の通り原料粉末としてのＷＣ
粉末の平均粒径およびＶ含有量によって調整するが、そ
の平均粒径が０．７μｍを越えると、硬質分散相粒粗大
化に伴う強度低下が著しくなることから、その平均粒径
を０．７μｍ以下と定めた。
粒径 これらの平均粒径は、上記の通り原料粉末としてのＷＣ
粉末の平均粒径およびＶ含有量によって調整するが、そ
の平均粒径が０．７μｍを越えると、硬質分散相粒粗大
化に伴う強度低下が著しくなることから、その平均粒径
を０．７μｍ以下と定めた。
【００１２】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の超硬合金製ミ
ニチュアドリルを実施例により具体的に説明する。原料
粉末として、それぞれ平均粒径：０．８μｍのＷＣ粉
末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ3 Ｃ
2 粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を所
定の配合組成に配合し、湿式ボールミルで７２時間混合
し、減圧乾燥し、さらにワックスと溶剤を加えて１時間
混和した後、押出しプレスにて直径：４．４ｍｍの長尺
状成形体とし、これらの長尺状成形体を、脱ワックスし
た状態で、０．０５ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１３５０
〜１４８０℃の範囲内の所定の温度に１．５時間保持
後、雰囲気を圧力：６０ｋｇ／ｃｍ2 の加圧雰囲気に変
え、この加圧雰囲気に２５分間保持後、１２００℃まで
を５０〜１００℃／ｍｉｎの範囲内の所定の冷却速度で
急冷の条件で焼結することにより超硬合金からなる直
径：３．５ｍｍの長尺状焼結素材を製造し、この長尺状
焼結素材について、定量分析法にてＣｏ、Ｃｒ、および
Ｖ成分の含有量を測定し、さらにその任意断面を透過型
電子顕微鏡およびエネルギー分散型Ｘ線分光装置を用い
て観察し、第一硬質分散相が被覆ＷＣ、第二硬質分散相
が（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃからなることを確認した上で、こ
れらの平均粒径を測定し、かつ画像解析装置にてその割
合を算出し、この結果表１に示される測定および算出結
果を示し、ついで前記長尺状焼結素材からそれぞれ表１
に示される寸法に切削加工することによりいずれも２枚
刃形状の本発明ミニチュアドリル１〜８をそれぞれ製造
した。また、比較の目的で、焼結条件を、０．０５ｔｏ
ｒｒの真空雰囲気中、１３５０〜１４８０℃の範囲内の
所定の温度に１．５時間保持後、炉冷（この場合の１２
００℃までの冷却速度は約１０℃／ｍｉｎ）とする以外
は同一の条件で表２に示される通りの従来ミニチュアド
リル１〜８をそれぞれ製造した。
ニチュアドリルを実施例により具体的に説明する。原料
粉末として、それぞれ平均粒径：０．８μｍのＷＣ粉
末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ3 Ｃ
2 粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を所
定の配合組成に配合し、湿式ボールミルで７２時間混合
し、減圧乾燥し、さらにワックスと溶剤を加えて１時間
混和した後、押出しプレスにて直径：４．４ｍｍの長尺
状成形体とし、これらの長尺状成形体を、脱ワックスし
た状態で、０．０５ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１３５０
〜１４８０℃の範囲内の所定の温度に１．５時間保持
後、雰囲気を圧力：６０ｋｇ／ｃｍ2 の加圧雰囲気に変
え、この加圧雰囲気に２５分間保持後、１２００℃まで
を５０〜１００℃／ｍｉｎの範囲内の所定の冷却速度で
急冷の条件で焼結することにより超硬合金からなる直
径：３．５ｍｍの長尺状焼結素材を製造し、この長尺状
焼結素材について、定量分析法にてＣｏ、Ｃｒ、および
Ｖ成分の含有量を測定し、さらにその任意断面を透過型
電子顕微鏡およびエネルギー分散型Ｘ線分光装置を用い
て観察し、第一硬質分散相が被覆ＷＣ、第二硬質分散相
が（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃからなることを確認した上で、こ
れらの平均粒径を測定し、かつ画像解析装置にてその割
合を算出し、この結果表１に示される測定および算出結
果を示し、ついで前記長尺状焼結素材からそれぞれ表１
に示される寸法に切削加工することによりいずれも２枚
刃形状の本発明ミニチュアドリル１〜８をそれぞれ製造
した。また、比較の目的で、焼結条件を、０．０５ｔｏ
ｒｒの真空雰囲気中、１３５０〜１４８０℃の範囲内の
所定の温度に１．５時間保持後、炉冷（この場合の１２
００℃までの冷却速度は約１０℃／ｍｉｎ）とする以外
は同一の条件で表２に示される通りの従来ミニチュアド
リル１〜８をそれぞれ製造した。
【００１３】この結果得られた本発明ミニチュアドリル
１〜８および従来ミニチュアドリル１〜８について、ガ
ラス層とエポキシ樹脂層と銅層の交互６層積層板からな
る厚さ：１．６ｍｍのプリント基板を２枚重ねにしたも
のに、表３に示される条件および試験本数：２０本にて
穴あけ加工試験を行い、ミニチュアドリルの外周刃外径
寸法に５％の摩耗が生じる迄の穴あけ加工数および折損
数を測定した。これらの測定結果を表３に示したが、穴
あけ加工数は折損発生のないものの平均値で示した。
１〜８および従来ミニチュアドリル１〜８について、ガ
ラス層とエポキシ樹脂層と銅層の交互６層積層板からな
る厚さ：１．６ｍｍのプリント基板を２枚重ねにしたも
のに、表３に示される条件および試験本数：２０本にて
穴あけ加工試験を行い、ミニチュアドリルの外周刃外径
寸法に５％の摩耗が生じる迄の穴あけ加工数および折損
数を測定した。これらの測定結果を表３に示したが、穴
あけ加工数は折損発生のないものの平均値で示した。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】
【表３】
【００１７】
【発明の効果】表３に示される結果から、本発明ミニチ
ュアドリル１〜８は、いずれも（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの一
部をＷＣの全面被覆薄層および／または部分被覆薄層と
して析出させることによって、前記（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃ
が結合相中にのみ分散分布した従来ミニチュアドリル１
〜８に比して同等の耐摩耗性で、一段とすくれた耐折損
性を示すことが明らかである。上述のように、この発明
のミニチュアドリルは、細経化に十分満足に対応できる
高強度を有するので、例えば高集積化した半導体装置へ
の適用に際しても折損の発生なく、長期に亘ってすぐれ
た性能を発揮するものである。
ュアドリル１〜８は、いずれも（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの一
部をＷＣの全面被覆薄層および／または部分被覆薄層と
して析出させることによって、前記（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃ
が結合相中にのみ分散分布した従来ミニチュアドリル１
〜８に比して同等の耐摩耗性で、一段とすくれた耐折損
性を示すことが明らかである。上述のように、この発明
のミニチュアドリルは、細経化に十分満足に対応できる
高強度を有するので、例えば高集積化した半導体装置へ
の適用に際しても折損の発生なく、長期に亘ってすぐれ
た性能を発揮するものである。
【図１】本発明ミニチュアドリルを構成する超硬合金の
電子顕微鏡による組織観察結果を示す模式図である。
電子顕微鏡による組織観察結果を示す模式図である。
【図２】従来ミニチュアドリルを構成する超硬合金の電
子顕微鏡による組織観察結果を示す模式図である。
子顕微鏡による組織観察結果を示す模式図である。
【図３】ミニチュアドリルを示す概略正面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 棚瀬 照義 茨城県結城郡石下町大字古間木1511番地 三菱マテリアル株式会社 筑波製作所 内 (72)発明者 佐久間 健人 千葉県船橋市高野台１−10−６ (56)参考文献 特開 平11−350061（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−100014（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−273701（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−259433（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23B 51/00 B23P 15/32 C22C 29/08
Claims (1)
- 【請求項１】 電子顕微鏡による組織観察で、 第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、 第二硬質分散相：０．５〜５面積％、 Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、 からなる組織を示し、 上記第一硬質分散相は、炭化タングステンをＶとＷとＣ
ｒの析出複合炭化物の薄層で全面被覆および／または部
分被覆してなる被覆炭化タングステンからなり、上記第
二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶ
とＷとＣｒの析出複合炭化物からなり、かついずれも
０．７μｍ以下の平均粒径を有し、 さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、重量％で、 Ｃｏ：５〜１３％、 Ｃｒ：０．２〜２％、 Ｖ ：０．２〜１％、である、炭化タングステン基超硬
合金で構成したことを特徴とする高強度を有する超硬合
金製ミニチュアドリル。
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