JP3291351B2 - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置およびその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、第１の金属−絶縁体−
第２の金属（ＭＩＭ）よりなる非線形素子と画素電極と
リード電極と共通電極を有する液晶表示装置の構成とそ
の製造方法とに関する。
第２の金属（ＭＩＭ）よりなる非線形素子と画素電極と
リード電極と共通電極を有する液晶表示装置の構成とそ
の製造方法とに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術における非線形素子を用いたア
クティブマトリクス基板の平面図を図５に示し、図６に
液晶表示装置の平面図を示し、図７に図６の要部を拡大
した平面図を示し、図８に要部を拡大した断面図を示
す。なお図６には対向電極基板の電極は図示していな
い。以下図５と図６と図７と図８とを交互に参照して説
明する。
クティブマトリクス基板の平面図を図５に示し、図６に
液晶表示装置の平面図を示し、図７に図６の要部を拡大
した平面図を示し、図８に要部を拡大した断面図を示
す。なお図６には対向電極基板の電極は図示していな
い。以下図５と図６と図７と図８とを交互に参照して説
明する。
【０００３】従来のＭＩＭ非線形素子の形成方法は、図
５に示すように、第１の金属である複数のリード電極３
１の一方を共通電極３２で接続する。
５に示すように、第１の金属である複数のリード電極３
１の一方を共通電極３２で接続する。
【０００４】そして、この共通電極３２を利用して、リ
ード電極３１のタンタルを弱酸性クエン酸浴中で２０〜
５０Ｖの陽極酸化電圧で陽極酸化して、絶縁体である酸
化タンタルをリード電極３１の表面に形成する。
ード電極３１のタンタルを弱酸性クエン酸浴中で２０〜
５０Ｖの陽極酸化電圧で陽極酸化して、絶縁体である酸
化タンタルをリード電極３１の表面に形成する。
【０００５】その後、第２の金属である酸化インジウム
スズ膜を形成して、タンタル−酸化タンタル−酸化イン
ジウムスズ構造からなる非線形素子と、酸化インジウム
スズからなる画素電極とを形成する。さらにその後、基
板を破線５１の位置で切断分離して、それぞれのリード
電極を電気的に独立させている。
スズ膜を形成して、タンタル−酸化タンタル−酸化イン
ジウムスズ構造からなる非線形素子と、酸化インジウム
スズからなる画素電極とを形成する。さらにその後、基
板を破線５１の位置で切断分離して、それぞれのリード
電極を電気的に独立させている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】基板の切断分離後の製
造工程中に発生する静電気や人体の静電気が、図６に示
す外部接続端子３３や、図７と図８に示す切断部３４に
印加されると素子部３５の破壊が起こる。このため、素
子欠陥となり、著しく液晶表示装置の表示品質を損な
う。
造工程中に発生する静電気や人体の静電気が、図６に示
す外部接続端子３３や、図７と図８に示す切断部３４に
印加されると素子部３５の破壊が起こる。このため、素
子欠陥となり、著しく液晶表示装置の表示品質を損な
う。
【０００７】またさらに図５に示すように、１枚の基板
から多数の表示基板３６を作製する場合、隣合う表示基
板の間に共通電極３２が存在し、余分なスペースが必要
となり、表示基板３６の外形寸法に制約を受けるという
課題もある。
から多数の表示基板３６を作製する場合、隣合う表示基
板の間に共通電極３２が存在し、余分なスペースが必要
となり、表示基板３６の外形寸法に制約を受けるという
課題もある。
【０００８】この課題を解決するため、本発明の目的
は、素子部の破壊を防止し素子欠陥をなくし、余分な基
板スペースをなくし、良好な画像品質を有する液晶表示
装置の構成とその製造方法とを提供することである。
は、素子部の破壊を防止し素子欠陥をなくし、余分な基
板スペースをなくし、良好な画像品質を有する液晶表示
装置の構成とその製造方法とを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の液晶表示装置の構成とその製造方法において
は、下記記載の手段を採用する。
に本発明の液晶表示装置の構成とその製造方法において
は、下記記載の手段を採用する。
【００１０】本発明の液晶表示装置は、複数の非線形素
子と該非線形素子に接続する画素電極とリード電極と該
リード電極に接続する共通電極を設ける表示基板と、前
記画素電極に対向する対向電極を備える対向電極基板
と、シールで貼り合わせた前記表示基板と前記対向電極
基板との間に挟持する液晶とを備えた液晶表示装置にお
いて、前記リード電極と前記共通電極とは前記表示基板
内に設けると共に、前記共通電極と前記リード電極との
切断部を前記シール部に設けることを特徴とする。
子と該非線形素子に接続する画素電極とリード電極と該
リード電極に接続する共通電極を設ける表示基板と、前
記画素電極に対向する対向電極を備える対向電極基板
と、シールで貼り合わせた前記表示基板と前記対向電極
基板との間に挟持する液晶とを備えた液晶表示装置にお
いて、前記リード電極と前記共通電極とは前記表示基板
内に設けると共に、前記共通電極と前記リード電極との
切断部を前記シール部に設けることを特徴とする。
【００１１】本発明の液晶表示装置の製造方法は、外部
接続端子に半導体集積回路装置を接続後、リード電極と
共通電極とを切断部にて分離することを特徴とする。
接続端子に半導体集積回路装置を接続後、リード電極と
共通電極とを切断部にて分離することを特徴とする。
【００１２】
【作用】共通電極の配線箇所を表示基板内に設けること
により、基板切断後もそれぞれのリード電極が完全な電
気的接続状態になる。したがって、製造工程中に発生す
る静電気や人体の静電気などが外部接続端子に印加され
ても、静電気を均一に分散させ、素子破壊を防止するこ
とができる。
により、基板切断後もそれぞれのリード電極が完全な電
気的接続状態になる。したがって、製造工程中に発生す
る静電気や人体の静電気などが外部接続端子に印加され
ても、静電気を均一に分散させ、素子破壊を防止するこ
とができる。
【００１３】
【実施例】以下図面に基づき本発明の実施例の詳細を説
明する。図１は本発明の液晶表示装置を示す平面図であ
り、図２は図１の要部を拡大して示す平面図であり、図
３は本発明の液晶表示装置の製造方法を示す液晶表示装
置の要部を示す断面図であり、そして図３の平面図を図
４に示す。なお図１と図２とには、いずれも対向電極は
図示していない。以下図１と図２と図３と図４とを交互
に参照して、本発明の実施例を説明する。
明する。図１は本発明の液晶表示装置を示す平面図であ
り、図２は図１の要部を拡大して示す平面図であり、図
３は本発明の液晶表示装置の製造方法を示す液晶表示装
置の要部を示す断面図であり、そして図３の平面図を図
４に示す。なお図１と図２とには、いずれも対向電極は
図示していない。以下図１と図２と図３と図４とを交互
に参照して、本発明の実施例を説明する。
【００１４】まず図１と図２とを用いて本発明の液晶表
示装置の構成を説明する。
示装置の構成を説明する。
【００１５】図１と図２とに示すように、表示基板１に
は、複数の非線形素子８と、画素電極９と、これらの非
線形素子８と画素電極９とを接続するリード電極３とを
設ける。
は、複数の非線形素子８と、画素電極９と、これらの非
線形素子８と画素電極９とを接続するリード電極３とを
設ける。
【００１６】そして複数のリード電極３を電気的に接続
する共通電極４は、表示基板１内のたとえばシール７領
域に設ける。
する共通電極４は、表示基板１内のたとえばシール７領
域に設ける。
【００１７】さらに表示基板１の外部接続端子１６に、
半導体集積回路装置（以下ＩＣと記載する）５を、直接
接続して設ける。
半導体集積回路装置（以下ＩＣと記載する）５を、直接
接続して設ける。
【００１８】つぎに図１と図２とを用いて説明した液晶
表示装置の構成を得るための製造方法を説明する。
表示装置の構成を得るための製造方法を説明する。
【００１９】図１に示すように、第１の金属であるタン
タルを形成後、フォトエッチング技術を用いてタンタル
をパターニングし、複数のリード電極３と、このリード
電極３と電気的に接続する共通電極４とを形成する。
タルを形成後、フォトエッチング技術を用いてタンタル
をパターニングし、複数のリード電極３と、このリード
電極３と電気的に接続する共通電極４とを形成する。
【００２０】その後、共通電極４を形成した表示基板１
を陽極側にし、陰極側に白金板を配して０．０１ｗｔ％
〜０．１ｗｔ％の弱酸性クエン酸浴中で、共通電極４を
介して２０〜５０Ｖの陽極酸化電圧を印加し、リード電
極３であるタンタル表面に酸化タンタル（図示せず）か
らなる絶縁層を形成する。
を陽極側にし、陰極側に白金板を配して０．０１ｗｔ％
〜０．１ｗｔ％の弱酸性クエン酸浴中で、共通電極４を
介して２０〜５０Ｖの陽極酸化電圧を印加し、リード電
極３であるタンタル表面に酸化タンタル（図示せず）か
らなる絶縁層を形成する。
【００２１】さらに第２の金属である酸化インジウムス
ズ膜を形成し、その後フォトエッチング技術を用いて酸
化インジウムスズ膜をパターニングして、図２に示す酸
化インジウムスズ膜からなる画素電極９と、タンタル−
酸化タンタル−酸化インジウムスズ構造からなる非線形
素子８とを形成する。
ズ膜を形成し、その後フォトエッチング技術を用いて酸
化インジウムスズ膜をパターニングして、図２に示す酸
化インジウムスズ膜からなる画素電極９と、タンタル−
酸化タンタル−酸化インジウムスズ構造からなる非線形
素子８とを形成する。
【００２２】そして図３に示すように、対向電極基板２
には赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のカラーフィ
ルター１０を、フォトリソ法を用いてパターニングす
る。
には赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のカラーフィ
ルター１０を、フォトリソ法を用いてパターニングす
る。
【００２３】そしてさらに、アクリル系熱硬化樹脂材料
からなるオーバーコート層１１を形成する。その後、オ
ーバーコート層１１上に酸化インジウムスズ膜を形成
し、フォトエッチング技術を用いて酸化インジウムスズ
膜をパターニングして、対向電極１２を形成する。
からなるオーバーコート層１１を形成する。その後、オ
ーバーコート層１１上に酸化インジウムスズ膜を形成
し、フォトエッチング技術を用いて酸化インジウムスズ
膜をパターニングして、対向電極１２を形成する。
【００２４】図２に示す非線形素子８を形成した表示基
板１と、対向電極１２を形成した対向電極基板２とを配
向処理を施した後、一定間隔を保ってシール７で貼り合
わせる。
板１と、対向電極１２を形成した対向電極基板２とを配
向処理を施した後、一定間隔を保ってシール７で貼り合
わせる。
【００２５】その後、表示基板１、および対向電極基板
２の外形寸法に、表示基板１と対向電極基板２とを切断
分離する。
２の外形寸法に、表示基板１と対向電極基板２とを切断
分離する。
【００２６】そして、図３に示すように、表示基板１と
対向電極基板２との間に液晶１３を封入し、さらに液晶
１３の封入口を封孔する。
対向電極基板２との間に液晶１３を封入し、さらに液晶
１３の封入口を封孔する。
【００２７】その後、図１に示すようにリード電極３の
外部接続端子１６にＩＣ５を、対向電極（図示せず）の
外部接続端子にＩＣ６を、いずれも導電性ペーストを介
してそれぞれ表示基板１と対向電極基板２上に直接搭載
する。
外部接続端子１６にＩＣ５を、対向電極（図示せず）の
外部接続端子にＩＣ６を、いずれも導電性ペーストを介
してそれぞれ表示基板１と対向電極基板２上に直接搭載
する。
【００２８】さらに図３に示すように、表示基板１の外
側からＹＡＧレーザのパルス照射のレーザ光１４を照射
し、リード電極３と共通電極４との接続を切断し、それ
ぞれのリード電極３を電気的に独立させる。このレーザ
光１４で切断する切断部１５を図４に示す。レーザ光１
４としては、ＹＡＧレーザ以外に、アルゴンレーザ、炭
酸ガスレーザ、エキシマレーザも用いることができる。
側からＹＡＧレーザのパルス照射のレーザ光１４を照射
し、リード電極３と共通電極４との接続を切断し、それ
ぞれのリード電極３を電気的に独立させる。このレーザ
光１４で切断する切断部１５を図４に示す。レーザ光１
４としては、ＹＡＧレーザ以外に、アルゴンレーザ、炭
酸ガスレーザ、エキシマレーザも用いることができる。
【００２９】上記実施例の説明で明らかなように、共通
電極４が表示基板１内に設置されているので、基板切断
分離後もそれぞれのリード電極３の全体数に対して、均
一な電気的接続状態ができる。
電極４が表示基板１内に設置されているので、基板切断
分離後もそれぞれのリード電極３の全体数に対して、均
一な電気的接続状態ができる。
【００３０】本発明は上述のように、リード電極３の外
部接続端子１６にＩＣ５を接続するまで、それぞれのリ
ード電極３は電気的に短絡状態になっているので、製造
工程中の静電気を分散させることができ、非線形素子８
の破壊を防止することができる。
部接続端子１６にＩＣ５を接続するまで、それぞれのリ
ード電極３は電気的に短絡状態になっているので、製造
工程中の静電気を分散させることができ、非線形素子８
の破壊を防止することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、リード電
極と共通電極とを表示基板に設ける本発明により、静電
気による素子部の破壊を防止でき、素子欠陥をなくすこ
とができる。
極と共通電極とを表示基板に設ける本発明により、静電
気による素子部の破壊を防止でき、素子欠陥をなくすこ
とができる。
【００３２】この結果、良好な画像品質が得られ、余分
な基板スペースがなくなるので、表示基板の外形寸法の
制約がない、液晶表示装置を歩留り良く製造することが
できる。
な基板スペースがなくなるので、表示基板の外形寸法の
制約がない、液晶表示装置を歩留り良く製造することが
できる。
【図１】本発明の実施例における液晶表示装置の構成と
その製造方法を示す平面図である。
その製造方法を示す平面図である。
【図２】本発明の実施例における液晶表示装置の構成と
その製造方法を示す平面図である。
その製造方法を示す平面図である。
【図３】本発明の実施例における液晶表示装置の構成と
その製造方法を示す断面図である。
その製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例における液晶表示装置の構成と
その製造方法を示す平面図である。
その製造方法を示す平面図である。
【図５】従来技術における液晶表示装置を示す平面図で
ある。
ある。
【図６】従来技術における液晶表示装置を示す平面図で
ある。
ある。
【図７】従来技術における液晶表示装置を示す平面図で
ある。
ある。
【図８】従来技術における液晶表示装置を示す断面図で
ある。
ある。
１ 表示基板 ２ 対向電極基板 ３ リード電極 ４ 共通電極 ５ 半導体集積回路装置（ＩＣ） ６ 半導体集積回路装置（ＩＣ） ７ シール １４ レーザ光 １５ 切断部
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の非線形素子と該非線形素子に接続
する画素電極とリード電極と該リード電極に接続する共
通電極を設ける表示基板と、前記画素電極に対向する対
向電極を備える対向電極基板と、シールで貼り合わせた
前記表示基板と前記対向電極基板との間に挟持する液晶
とを備えた液晶表示装置において、 前記リード電極と前記共通電極とは前記表示基板内に設
けると共に、前記共通電極と前記リード電極との切断部
を前記シール部に設けることを特徴とする液晶表示装
置。 - 【請求項２】 複数の非線形素子と、該非線形素子に接
続する画素電極とリード電極と、前記リード電極に接続
する共通電極とを形成した表示基板、及び前記画素電極
に対向する対向電極を形成した対向電極基板を形成する
工程と、 前記共通電極と前記リード電極との切断部上にシールを
形成し、前記表示基板と前記対向電極基板とを貼り合わ
せる工程と、 前記表示基板と前記対向電極基板との間に液晶を封入す
る工程と、 前記リード電極と前記共通電極との切断部に前記表示基
板の外側からレーザ光照射を行い前記共通電極と前記リ
ード電極を切断する工程とを有することを特徴とする液
晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9730093A JP3291351B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9730093A JP3291351B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06289432A JPH06289432A (ja) | 1994-10-18 |
| JP3291351B2 true JP3291351B2 (ja) | 2002-06-10 |
Family
ID=14188647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9730093A Expired - Fee Related JP3291351B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3291351B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3130761B2 (ja) * | 1995-05-15 | 2001-01-31 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP9730093A patent/JP3291351B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06289432A (ja) | 1994-10-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |