JP3288906B2 - 球面形状定圧測定装置 - Google Patents
球面形状定圧測定装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、凹球面または凸球
面を有する光学レンズ等の被測定物の球面形状の測定に
用いる球面形状定圧測定装置に関するものである。
面を有する光学レンズ等の被測定物の球面形状の測定に
用いる球面形状定圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、凹球面または凸球面を有する光学
レンズ等の被測定物の球面形状の測定には、次に説明す
る簡易球面計が用いられている。
レンズ等の被測定物の球面形状の測定には、次に説明す
る簡易球面計が用いられている。
【０００３】図７に示すように、簡易球面計１００は、
一端側に開放部１０１ａを有する円筒状のリング１０１
と、リング１０１の底壁部１０１ｂに固定部材１０４を
介して取付けられたダイヤルゲージ１０２と、軸方向に
移動自在な測定子１０３を備えている。
一端側に開放部１０１ａを有する円筒状のリング１０１
と、リング１０１の底壁部１０１ｂに固定部材１０４を
介して取付けられたダイヤルゲージ１０２と、軸方向に
移動自在な測定子１０３を備えている。
【０００４】この簡易球面計１００の測定原理を、凸球
面を有する被測定物の球面形状を測定する場合を例に挙
げて説明する。
面を有する被測定物の球面形状を測定する場合を例に挙
げて説明する。
【０００５】 先ず、図７の（ａ）に示すように、マ
スターゲージとなる球面原器Ｗ0 に簡易球面計１００の
リング１０１の開放部１０１ａの内周縁部および測定子
１０３を押し当てて、ダイヤルゲージ１０２の目盛りの
０点調整を行なう。
スターゲージとなる球面原器Ｗ0 に簡易球面計１００の
リング１０１の開放部１０１ａの内周縁部および測定子
１０３を押し当てて、ダイヤルゲージ１０２の目盛りの
０点調整を行なう。
【０００６】 上記ののち、図７の（ｂ）に示すよ
うに、球面原器Ｗ0 にかわって被測定物Ｗ1 に目盛りの
０点調整を行なった簡易球面計１００のリング１０１の
開放部１０１ａの内周縁部および測定子１０３を押し当
てて、ダイヤルゲージ１０２の目盛りを読み取る。
うに、球面原器Ｗ0 にかわって被測定物Ｗ1 に目盛りの
０点調整を行なった簡易球面計１００のリング１０１の
開放部１０１ａの内周縁部および測定子１０３を押し当
てて、ダイヤルゲージ１０２の目盛りを読み取る。
【０００７】つまり、被測定物Ｗ1 とリング１０１との
接触点１０７で形成される円断面に対する被測定物Ｗ1
の頂点と測定子１０３との接触点１０８の高さＹと、球
面原器Ｗ0 の頂点とリング１０１との接触点１０５で形
成された円断面に対する球面原器Ｗ0 と測定子１０３と
の接触点１０６の高さＸとの差Ｚがダイヤルゲージ１０
２の目盛りに表われる。
接触点１０７で形成される円断面に対する被測定物Ｗ1
の頂点と測定子１０３との接触点１０８の高さＹと、球
面原器Ｗ0 の頂点とリング１０１との接触点１０５で形
成された円断面に対する球面原器Ｗ0 と測定子１０３と
の接触点１０６の高さＸとの差Ｚがダイヤルゲージ１０
２の目盛りに表われる。
【０００８】ここで、Ｙ−Ｘ＝＋Ｚの場合は、凸球面形
状が小さいことを示す。Ｙ−Ｘ＝−Ｚの場合は、凸球面
形状が大きいことを示す。
状が小さいことを示す。Ｙ−Ｘ＝−Ｚの場合は、凸球面
形状が大きいことを示す。
【０００９】なお、凹球面の場合は、リング１０１の開
放部１０１ａの外周縁部が、前記凹球面に当接される点
が、上述した凸球面の場合と異なるだけであるので、そ
の説明は省略する。
放部１０１ａの外周縁部が、前記凹球面に当接される点
が、上述した凸球面の場合と異なるだけであるので、そ
の説明は省略する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術では、簡易球面計を一方の手で把持するとともに
被測定物を他方の手に把持して両者を互に押し付けて測
定を行なうため、次に記載するような問題点があった。
の技術では、簡易球面計を一方の手で把持するとともに
被測定物を他方の手に把持して両者を互に押し付けて測
定を行なうため、次に記載するような問題点があった。
【００１１】測定を繰り返すたびに、リングと被測定物
とを互に押し付ける力、つまり測定圧が変動することが
避けられず、この測定圧の変動に起因して、リングまた
は被測定物の変形量が変動して測定値にバラツキが発生
する。また、被測定物の表面には微小な凹凸があるが、
上述した測定圧の変動に起因して、リングと被測定物と
の接触点における被測定物表面の損傷程度が変動して測
定値にバラツキが発生する。加えて、測定作業者が異な
る場合には、前記測定圧には個人差が生じるために測定
値に個人差が生じる。このような測定圧の変動や個人差
による測定値のバラツキは、０．５〜１．０μｍとな
り、０．３μｍ程度の高い精度が要求される光学レンズ
加工時等における球面形状の測定には用いることができ
ない。
とを互に押し付ける力、つまり測定圧が変動することが
避けられず、この測定圧の変動に起因して、リングまた
は被測定物の変形量が変動して測定値にバラツキが発生
する。また、被測定物の表面には微小な凹凸があるが、
上述した測定圧の変動に起因して、リングと被測定物と
の接触点における被測定物表面の損傷程度が変動して測
定値にバラツキが発生する。加えて、測定作業者が異な
る場合には、前記測定圧には個人差が生じるために測定
値に個人差が生じる。このような測定圧の変動や個人差
による測定値のバラツキは、０．５〜１．０μｍとな
り、０．３μｍ程度の高い精度が要求される光学レンズ
加工時等における球面形状の測定には用いることができ
ない。
【００１２】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであって、測定圧を一定にして測定
値のバラツキの発生を防止し、高精度な球面形状の測定
ができる球面形状定圧測定装置を実現することを目的と
するものである。
鑑みてなされたものであって、測定圧を一定にして測定
値のバラツキの発生を防止し、高精度な球面形状の測定
ができる球面形状定圧測定装置を実現することを目的と
するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の球面形状定圧測定装置は、被測定物の球
面に当接される開放部を上向きにして配設されたリング
と、前記リングの下方部位に配設された前記リングの下
面側から前記開放部へ向って突出する軸方向へ移動自在
な測定子を備えた微小変位計と、前記リングの上方部位
に上下方向へ移動自在に配設された加圧手段を備え、前
記加圧手段には前記リング上に載置された前記被測定物
に一定の測定圧を加えるための重りが交換自在に取付け
られていることを特徴とするものである。
めに、本発明の球面形状定圧測定装置は、被測定物の球
面に当接される開放部を上向きにして配設されたリング
と、前記リングの下方部位に配設された前記リングの下
面側から前記開放部へ向って突出する軸方向へ移動自在
な測定子を備えた微小変位計と、前記リングの上方部位
に上下方向へ移動自在に配設された加圧手段を備え、前
記加圧手段には前記リング上に載置された前記被測定物
に一定の測定圧を加えるための重りが交換自在に取付け
られていることを特徴とするものである。
【００１４】また、微小変位計が、上下方向へ移動自在
な位置決め手段によって支持されており、測定子の上下
方向の位置を被測定物の球面形状に対応するように変更
できるようにしたり、重りが、重量の異なる複数の重り
からなり、重りを交換することで被測定物に加えられる
測定圧を変化させるようにするとよい。
な位置決め手段によって支持されており、測定子の上下
方向の位置を被測定物の球面形状に対応するように変更
できるようにしたり、重りが、重量の異なる複数の重り
からなり、重りを交換することで被測定物に加えられる
測定圧を変化させるようにするとよい。
【００１５】さらに、加圧手段が、ボールスプラインを
介して上下動自在に支持されたスライド軸と、前記スラ
イド軸の下端に一体的に設けられた加圧ヘッドを備えた
ものとしたり、加圧手段に、自然落下を防止するための
ロック手段を設けると効果的である。
介して上下動自在に支持されたスライド軸と、前記スラ
イド軸の下端に一体的に設けられた加圧ヘッドを備えた
ものとしたり、加圧手段に、自然落下を防止するための
ロック手段を設けると効果的である。
【００１６】
【作用】開放部を上向きにして配設されたリング上に球
面を下向きにして載置した被測定物に対し、重りを取付
けた加圧手段による重力で被加工物を押圧する。その結
果、前記重りの重量によって定まる一定の測定圧を加え
た状態で被加工物の球面形状を測定することができる。
面を下向きにして載置した被測定物に対し、重りを取付
けた加圧手段による重力で被加工物を押圧する。その結
果、前記重りの重量によって定まる一定の測定圧を加え
た状態で被加工物の球面形状を測定することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１８】本発明に係る球面形状定圧測定装置の一実
施例について説明する。
施例について説明する。
【００１９】図１および図２に示すように、ベース１９
上には下部支柱１５が立設されており、下部支柱１５の
上端には側方へ突出する支持台１０が一体的に設けられ
ている。支持台１０の自由端近傍に形成された取付孔１
０ａには、リング取付台９の小径部が着脱自在に嵌挿さ
れており、取付台１０の先端面に螺合されたセットネジ
１７の先端をリング取付台９の小径部の凹所９ｃの底面
に当接することにより固定されている。
上には下部支柱１５が立設されており、下部支柱１５の
上端には側方へ突出する支持台１０が一体的に設けられ
ている。支持台１０の自由端近傍に形成された取付孔１
０ａには、リング取付台９の小径部が着脱自在に嵌挿さ
れており、取付台１０の先端面に螺合されたセットネジ
１７の先端をリング取付台９の小径部の凹所９ｃの底面
に当接することにより固定されている。
【００２０】リング取付台９は、後述する電気マイクロ
１３の測定子１３ａが遊嵌される中心孔９ａを有し、そ
の上端面には、リング８が被加工物Ｗの球面が当接され
る開放部を上向きにして、リング取付台９の雄ネジ部９
ｂにリング８の雌ネジ部８ｂを螺合することにより着脱
自在に固着されている。
１３の測定子１３ａが遊嵌される中心孔９ａを有し、そ
の上端面には、リング８が被加工物Ｗの球面が当接され
る開放部を上向きにして、リング取付台９の雄ネジ部９
ｂにリング８の雌ネジ部８ｂを螺合することにより着脱
自在に固着されている。
【００２１】リング８の下方部位の下部支柱１５の側面
には、スライドテーブル１２が図示しないガイドを介し
て上下動自在に配設されており、スライドテーブル１２
に突設されたホルダ１１には、リング８の下面側から開
放部へ向って突出する軸方向へ移動自在な測定子１３ａ
を備えた電気マイクロ１３が支持されている。また、ス
ライドテーブル１２の側面には当接部材１２ａが突設さ
れており、この当接部材１２ａの下面には下部支柱１５
に突設されたブラケット１５ａに支持されたマイクロメ
ータ１４の軸部材１４ａの先端面が当接されている。こ
れにより、図３に示すように、マイクロメータ１４の軸
部材１４ａを伸縮させてスライドテーブル１２を上下方
向へ移動し、リング８上に載置される被測定物Ｗが凸球
面Ｌ1 を有する場合には実線で示す位置へ、また被測定
物Ｗが凹球面Ｌ2 を有する場合には破線で示す位置へ電
気マイクロ１３の測定子１３ａを所定の高さに位置決め
することができるように構成されている。つまり、微小
変位計である測定子１３ａを有する電気マイクロ１３は
上下方向へ移動自在な位置決め手段によって支持されて
おり、測定子１３ａの上下方向の位置を被測定物Ｗの球
面形状に対応して変更できるように構成されている。
には、スライドテーブル１２が図示しないガイドを介し
て上下動自在に配設されており、スライドテーブル１２
に突設されたホルダ１１には、リング８の下面側から開
放部へ向って突出する軸方向へ移動自在な測定子１３ａ
を備えた電気マイクロ１３が支持されている。また、ス
ライドテーブル１２の側面には当接部材１２ａが突設さ
れており、この当接部材１２ａの下面には下部支柱１５
に突設されたブラケット１５ａに支持されたマイクロメ
ータ１４の軸部材１４ａの先端面が当接されている。こ
れにより、図３に示すように、マイクロメータ１４の軸
部材１４ａを伸縮させてスライドテーブル１２を上下方
向へ移動し、リング８上に載置される被測定物Ｗが凸球
面Ｌ1 を有する場合には実線で示す位置へ、また被測定
物Ｗが凹球面Ｌ2 を有する場合には破線で示す位置へ電
気マイクロ１３の測定子１３ａを所定の高さに位置決め
することができるように構成されている。つまり、微小
変位計である測定子１３ａを有する電気マイクロ１３は
上下方向へ移動自在な位置決め手段によって支持されて
おり、測定子１３ａの上下方向の位置を被測定物Ｗの球
面形状に対応して変更できるように構成されている。
【００２２】支持台１０上に立設された上部支柱７に
は、支持台１０から上方へ所定の間隔をおいた部位に加
圧手段Ｐを上下動自在に支持するためのスライド軸支持
部材４が支持台１０とほぼ平行して突設されている。
は、支持台１０から上方へ所定の間隔をおいた部位に加
圧手段Ｐを上下動自在に支持するためのスライド軸支持
部材４が支持台１０とほぼ平行して突設されている。
【００２３】本実施例における加圧手段Ｐは、スライド
軸支持部材４の自由端近傍部位に摩擦抵抗が微小である
ボールスプライン４ａを介して上下動自在に支持された
スライド軸３と、スライド軸３の下端に一体的に設けら
れた下端面から突出する小径の当接部５ａを有する加圧
ヘッド５を備えるとともに、スライド軸３の上部に一体
的に設けられた頭部部材２の上面から上方へ突出する小
径部３ａには、リング状の重り１が交換自在に嵌挿され
ている。なお、リング状の重りは、複数個の重量の異な
る重りを準備しておき、被測定物に対応する重量の重り
を選択して、加圧手段に取付けることにより、一定の押
圧力（測定圧）を得ることができる。
軸支持部材４の自由端近傍部位に摩擦抵抗が微小である
ボールスプライン４ａを介して上下動自在に支持された
スライド軸３と、スライド軸３の下端に一体的に設けら
れた下端面から突出する小径の当接部５ａを有する加圧
ヘッド５を備えるとともに、スライド軸３の上部に一体
的に設けられた頭部部材２の上面から上方へ突出する小
径部３ａには、リング状の重り１が交換自在に嵌挿され
ている。なお、リング状の重りは、複数個の重量の異な
る重りを準備しておき、被測定物に対応する重量の重り
を選択して、加圧手段に取付けることにより、一定の押
圧力（測定圧）を得ることができる。
【００２４】さらに、本実施例の加圧手段Ｐには、頭部
部材２に枢軸１６ａを介して回動自在に枢支された棒状
のストッパ１６を設け、スライド軸３を上方位置に引き
上げてストッパ１６を図１に示すように直立（スライド
軸３と平行）させると、ストッパ１６の自由端（下端
面）がスライド軸支持部材４の上面に当接し、スライド
軸３が自然落下しないようにロックするロック手段が設
けられている。
部材２に枢軸１６ａを介して回動自在に枢支された棒状
のストッパ１６を設け、スライド軸３を上方位置に引き
上げてストッパ１６を図１に示すように直立（スライド
軸３と平行）させると、ストッパ１６の自由端（下端
面）がスライド軸支持部材４の上面に当接し、スライド
軸３が自然落下しないようにロックするロック手段が設
けられている。
【００２５】次に、上記実施例の球面形状定圧測定装置
を用いて凸球面を有する被測定物の球面を測定する手順
について説明する。
を用いて凸球面を有する被測定物の球面を測定する手順
について説明する。
【００２６】 図４の（ａ）に示すように、加圧ヘッ
ド５に突設されたハンドル６を把持して加圧手段Ｐを上
方へ引き上げ、ストッパ１６を直立させて加圧手段Ｐが
落下しないようにロックし、小径部３ａに所定の重量を
有するリング状の重り１を嵌挿して取付ける（図２参
照）。
ド５に突設されたハンドル６を把持して加圧手段Ｐを上
方へ引き上げ、ストッパ１６を直立させて加圧手段Ｐが
落下しないようにロックし、小径部３ａに所定の重量を
有するリング状の重り１を嵌挿して取付ける（図２参
照）。
【００２７】 上記ののち、図４の（ｂ）に示すよ
うに、球面原器Ｗ0 をその凸球面を下向きにしてリング
８上に載置する。
うに、球面原器Ｗ0 をその凸球面を下向きにしてリング
８上に載置する。
【００２８】 上記ののち、ストッパ１６を枢軸１
６ａを支点として回動させてロックを解除し、図４の
（ｃ）に示すように、ハンドル６を把持して加圧手段Ｐ
を下降させ、加圧ヘッド５の当接部５ａの下端面を球面
原器Ｗ0 の裏面に当接させてハンドル６より手を離す。
これにより、重り１の重量によって定まる一定の押圧力
（測定圧）によって球面原器Ｗ0 がリング８に押し付け
られ、球面原器Ｗ0 は第１の接触点Ｔ1 でリング８に当
接するとともに、第２の接触点Ｔ2 で測定子１３ａに当
接する。
６ａを支点として回動させてロックを解除し、図４の
（ｃ）に示すように、ハンドル６を把持して加圧手段Ｐ
を下降させ、加圧ヘッド５の当接部５ａの下端面を球面
原器Ｗ0 の裏面に当接させてハンドル６より手を離す。
これにより、重り１の重量によって定まる一定の押圧力
（測定圧）によって球面原器Ｗ0 がリング８に押し付け
られ、球面原器Ｗ0 は第１の接触点Ｔ1 でリング８に当
接するとともに、第２の接触点Ｔ2 で測定子１３ａに当
接する。
【００２９】そして、上記従来の簡易球面計と同様に、
第１の接触点Ｔ1 で形成される円断面に対する第２の接
触点Ｔ2 の高さＸに対する電気マイクロ１３の電気配線
１８で接続された表示部（不図示）の目盛りの０点調整
を行なう。
第１の接触点Ｔ1 で形成される円断面に対する第２の接
触点Ｔ2 の高さＸに対する電気マイクロ１３の電気配線
１８で接続された表示部（不図示）の目盛りの０点調整
を行なう。
【００３０】 上記ののち、ハンドル６を把持して
加圧手段Ｐを上方へ引き上げるとともに、ストッパ１６
を直立状態にして加圧手段Ｐが落下しないようにロック
し（図２参照）、ついで図５の（ａ）に示すようにリン
グ８より球面原器Ｗ0 を取り外す。
加圧手段Ｐを上方へ引き上げるとともに、ストッパ１６
を直立状態にして加圧手段Ｐが落下しないようにロック
し（図２参照）、ついで図５の（ａ）に示すようにリン
グ８より球面原器Ｗ0 を取り外す。
【００３１】 上記ののち、被測定物Ｗをその凸球
面を下向きにしてリング８上に載置する。
面を下向きにしてリング８上に載置する。
【００３２】 上記ののち、ストッパ１６を枢軸１
６ａを支点として回動させてロックを解除し、図５の
（ｃ）に示すように、ハンドル６を把持して加圧手段Ｐ
を下降させ、加圧ヘッド５の当接部５ａの下端面を被測
定物Ｗの裏面に当接させてハンドル６より手を離す。こ
れにより重り１の重量によって定まる一定の押圧力（測
定圧）によって、被測定物Ｗがリング８に押し付けら
れ、被測定物Ｗは第１の接触点Ｔ1 でリング８に当接す
るとともに、第２の接触点Ｔ2 で測定子１３ａに当接
し、第１の接触点Ｔ1 で形成される円断面に対する第２
の接触点Ｔ2 の高さＹを測定する。この場合、上記に
よって電気マイクロ１３の表示部の目盛りは０点調整さ
れているため、該表示部には上述した従来の簡易球面計
と同様にＹとＸとの差Ｚが表示される。
６ａを支点として回動させてロックを解除し、図５の
（ｃ）に示すように、ハンドル６を把持して加圧手段Ｐ
を下降させ、加圧ヘッド５の当接部５ａの下端面を被測
定物Ｗの裏面に当接させてハンドル６より手を離す。こ
れにより重り１の重量によって定まる一定の押圧力（測
定圧）によって、被測定物Ｗがリング８に押し付けら
れ、被測定物Ｗは第１の接触点Ｔ1 でリング８に当接す
るとともに、第２の接触点Ｔ2 で測定子１３ａに当接
し、第１の接触点Ｔ1 で形成される円断面に対する第２
の接触点Ｔ2 の高さＹを測定する。この場合、上記に
よって電気マイクロ１３の表示部の目盛りは０点調整さ
れているため、該表示部には上述した従来の簡易球面計
と同様にＹとＸとの差Ｚが表示される。
【００３３】なお、図３に示すように、凹球面Ｌ2 を有
する被測定物の場合は、リング８の開放部の外周縁部が
凹球面Ｌ2 に当接する点のみが上述した凸球面Ｌ1 の場
合と異なるだけであるので、その説明は省略する。
する被測定物の場合は、リング８の開放部の外周縁部が
凹球面Ｌ2 に当接する点のみが上述した凸球面Ｌ1 の場
合と異なるだけであるので、その説明は省略する。
【００３４】図６は、本発明に係る球面形状定圧測定装
置の一変形例の模式正面図である。
置の一変形例の模式正面図である。
【００３５】本変形例は、微小変位計として上記実施例
の電気マイクロ１３のかわりに、測定子３０ａを有する
ダイヤルゲージ３０の非可動部をホルダ１１に固着した
ものであって、これ以外は上記実施例と同様であるので
その説明は省略する。
の電気マイクロ１３のかわりに、測定子３０ａを有する
ダイヤルゲージ３０の非可動部をホルダ１１に固着した
ものであって、これ以外は上記実施例と同様であるので
その説明は省略する。
【００３６】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
で、次に記載するような効果を奏する。
【００３７】重りを取付けた加圧手段の重力による測定
圧を被測定物に加えるため、一定の測定圧で測定できる
ので、測定値のバラツキが０．１μｍ程度になる。ま
た、測定作業者が変わっても個人差が無くなり、正確な
球面形状の測定が可能となる。
圧を被測定物に加えるため、一定の測定圧で測定できる
ので、測定値のバラツキが０．１μｍ程度になる。ま
た、測定作業者が変わっても個人差が無くなり、正確な
球面形状の測定が可能となる。
【図１】本発明に係る球面形状定圧測定装置の一実施例
の模式正面図である。
の模式正面図である。
【図２】図１に示す球面形状定圧測定装置の一部を断面
図で示す模式側面図である。
図で示す模式側面図である。
【図３】図１および図２に示す球面形状定圧測定装置に
おけるスライドテーブルに支持された電気マイクロの位
置決め操作の説明図である。
おけるスライドテーブルに支持された電気マイクロの位
置決め操作の説明図である。
【図４】図１および図２に示す球面形状定圧測定装置に
よる球面原器の測定原理を示す説明図である。
よる球面原器の測定原理を示す説明図である。
【図５】図１および図２に示す球面形状定圧測定装置に
よる被測定物の測定原理を示す説明図である。
よる被測定物の測定原理を示す説明図である。
【図６】本発明に係る球面形状定圧測定装置の一変形例
の模式正面図である。
の模式正面図である。
【図７】従来の簡易球面計の測定原理を示す説明図であ
る。
る。
１ 重り ２ 頭部部材 ３ スライド軸 ４ スライド軸支持部材 ５ 加圧ヘッド ５ａ 当接部 ６ ハンドル ７ 上部支柱 ８ リング ９ リング取付台 １０ 支持台 １１ ホルダ １２ スライドテーブル １３ 電気マイクロ １３ａ，３０ａ 測定子 １４ マイクロメータ １５ 下部支柱 １６ ストッパ １７ セットネジ １８ 電気配線 １９ ベース ３０ ダイヤルゲージ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 3/00 - 5/30 G01B 21/00 - 21/32 G01M 11/00 - 11/08
Claims (5)
- 【請求項１】 被測定物の球面に当接される開放部を上
向きにして配設されたリングと、前記リングの下方部位
に配設された前記リングの下面側から前記開放部へ向っ
て突出する軸方向へ移動自在な測定子を備えた微小変位
計と、前記リングの上方部位に上下方向へ移動自在に配
設された加圧手段を備え、前記加圧手段には前記リング
上に載置された前記被測定物に一定の測定圧を加えるた
めの重りが交換自在に取付けられていることを特徴とす
る球面形状定圧測定装置。 - 【請求項２】 微小変位計が、上下方向へ移動自在な位
置決め手段によって支持されており、測定子の上下方向
の位置を被測定物の球面形状に対応するように変更でき
ることを特徴とする請求項１記載の球面形状定圧測定装
置。 - 【請求項３】 重りが、重量の異なる複数の重りからな
り、重りを交換することで被測定物に加えられる測定圧
を変化させることを特徴とする請求項１または２記載の
球面形状定圧測定装置。 - 【請求項４】 加圧手段が、ボールスプラインを介して
上下動自在に支持されたスライド軸と、前記スライド軸
の下端に一体的に設けられた加圧ヘッドを備えたことを
特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の球面形
状定圧測定装置。 - 【請求項５】 加圧手段に、自然落下を防止するための
ロック手段を設けたことを特徴とする請求項１ないし４
いずれか１項記載の球面形状定圧測定装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27192695A JP3288906B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 球面形状定圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27192695A JP3288906B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 球面形状定圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989508A JPH0989508A (ja) | 1997-04-04 |
| JP3288906B2 true JP3288906B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=17506792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27192695A Expired - Fee Related JP3288906B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 球面形状定圧測定装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3288906B2 (ja) |
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-
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- 1995-09-26 JP JP27192695A patent/JP3288906B2/ja not_active Expired - Fee Related
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