JP3268737B2

JP3268737B2 - ポリッシングマット用コンディショナ及びその製造方法

Info

Publication number: JP3268737B2
Application number: JP9816097A
Authority: JP
Inventors: 知義原; 和昭谷口; 明滝口
Original assignee: Asahi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Asahi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 1997-04-01
Filing date: 1997-04-01
Publication date: 2002-03-25
Anticipated expiration: 2017-04-01
Also published as: JPH10277919A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンディショナ及
びその製造方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、
半導体ウェーハ研磨用のポリッシングマットのコンディ
ショニングを短時間に行うことができ、砥粒の脱落がな
くウェーハ表面を傷つけるおそれのないコンディショナ
及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体ウェーハの表面を研磨する
ウェーハ加工装置では、円盤状の定盤の上にポリッシン
グマット（研磨パッド、研磨布、研磨クロス、ポリッシ
ングクロスなどとも呼ばれる。）を貼り付け、定盤上面
に１枚又は複数枚のウェーハを載置し、これらウェーハ
をポリッシングマット上でキャリアにより強制回転させ
つつポリッシングマットとウェーハの間に微細な研磨粒
子と研磨液を供給して、界面の化学的・機械的作用によ
り研磨を行っている。ポリッシングマットとしては、ポ
リエステル不織布にポリウレタン樹脂を含浸させたベロ
アタイプマット、ポリエステル不織布を基材としてその
上に発泡ポリウレタン層を形成したスエードタイプマッ
ト、あるいは独立気泡を有する発泡ポリウレタンのマッ
トなどや、さらにこれらの多層構造体などが使用されて
いる。また、研磨粒子としては、酸化鉄、アルミナ、炭
酸バリウム、酸化セリウム、コロイダルシリカなどが用
いられ、研磨液には水酸化カリウム溶液、希塩酸など、
それぞれの場合に応じて使い分けられる。このようなウ
ェーハの研磨を繰り返す内に、被削材の切屑や研磨粒子
などがポリッシングマットの微細な孔に入り込んで目詰
まりを起こしたり、研磨粒子と研磨液の化学反応熱によ
ってポリッシングマットの表面が鏡面化して、研磨速度
が低下してしまう。このため、ポリッシングマットの表
面を再生して研磨速度を回復させる、いわゆるコンディ
ショニングと呼ばれる操作を常時又は定期的に行う必要
があり、このような操作にはコンディショナと呼ばれる
工具が使用される。ダイヤモンド砥粒は優れたコンディ
ショニング材料であり、ダイヤモンド砥粒を利用した半
導体ウェーハ研磨用のポリッシングマットのコンディシ
ョニングが検討されている。例えば、特開昭６４−７１
６６１号公報には、ダイヤモンド砥粒と合金粉末を混合
し、加熱焼結したダイヤモンドペレットを端面に貼り付
けるか、あるいは、端面にダイヤモンド砥粒を均一に分
布するように載せて電着した修正リングを用い、ポリッ
シングマットと修正リングを相対移動させることにより
ポリッシングマットの表面を研削して平坦度を高める方
法が提案されている。しかし、合金粉末を用いて焼結し
たダイヤモンドペレットからは、コンディショニングの
際に合金が溶出してウェーハの研磨時にウェーハを汚染
するおそれがある。また、ダイヤモンドペレットを貼り
付ける場合も、ダイヤモンド砥粒を電着する場合も、使
用するダイヤモンド砥粒は粒度の細かい＃４００〜＃３
０００の範囲のものが好ましく、ダイヤモンド砥粒が＃
４００より粗いとポリッシングマットの表面粗さが大き
くなる。このように細かいダイヤモンド砥粒を使用しな
ければならないために、コンディショニングに長時間を
要する。また、特開平４−３６４７３０号公報には、ウ
ェーハ研磨装置の定盤に貼り付けられたポリッシングマ
ットのコンディショニングに、ダイヤモンド砥粒をエポ
キシ樹脂に電着したペレットを用いる方法が提案されて
いる。しかし、従来の電着法によりダイヤモンド砥粒を
保持したコンディショナでは、ダイヤモンド砥粒層は一
層ではなく、ダイヤモンド砥粒の間に挟まった二層目の
ダイヤモンド砥粒が必ず存在し、これが脱落してポリッ
シングマットに残存し、ウェーハ表面を傷つけるという
問題がある。また、ペレットがメタルボンドの場合、金
属が研削液によって溶解され、半導体ウェーハに残存し
て悪影響を及ぼす。特に、一般にメタルボンドの主成分
として使用される銅は悪影響が著しい。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ポリッシン
グマットのコンディショニングを短時間に行うことがで
き、ダイヤモンド砥粒の脱落を生じるおそれがなく、ポ
リッシングマットに優れた平坦性を与えることができ
る、精度の高いコンディショナ及びその製造方法を提供
することを目的としてなされたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、各ダイヤモンド
砥粒の最突出部が略同一平面上に存在し、ダイヤモンド
砥粒層面の縁部がなだらかな曲面又はテーパ面を形成
し、縁部に位置するダイヤモンド砥粒の最突出部が、上
記の略同一平面より後退した位置に存在するコンディシ
ョナが、ダイヤモンド砥粒の脱落を生ずるおそれがな
く、さらに、反転電鋳法により当該形状のダイヤモンド
砥粒層面を容易に形成し得ることを見いだし、この知見
に基づいて本発明を完成するに至った。すなわち、本発
明は、（１）ダイヤモンド砥粒層面がコンディショナの回転軸
と直交し、該ダイヤモンド砥粒層面が、２個の同心円に
囲まれた環状部に形成されてなるコンディショナにおい
て、ダイヤモンド砥粒層面の内外縁部で縁部に向かって
なだらかな曲面又はテーパ面を形成し、かつ、該なだら
かな曲面又はテーパ面は、ポリッシングマットに接した
ときポリッシングマット面との間にくさび形の隙間を形
成し、前記縁部に位置するダイヤモンド砥粒の最突出部
が、ダイヤモンド砥粒層面における各ダイヤモンド砥粒
の最突出部が存在する平面より後退した位置に存在して
なり、半導体ウェーハ研磨用のポリッシングマットのコ
ンディショニングに用いることを特徴とするポリッシン
グマット用コンディショナ、（２）ダイヤモンド砥粒層面が、非連続状に分割されて
なる第１項記載のポリッシングマット用コンディショ
ナ、（３）ポリッシングマットに当てたときに該マット面と
縁部の間にくさび形隙間ができるなだらかな曲面又はテ
ーパ面を縁部に形成する反転型のダイヤモンド砥粒固定
面に、ダイヤモンド砥粒一層分を電着により仮固定し、
仮固定したダイヤモンド砥粒を金属又は樹脂で埋め込ん
で固着することによりダイヤモンド砥粒層を形成し、ダ
イヤモンド砥粒層に台金を接合し、反転型を除去するこ
とを特徴とする第１項記載のポリッシングマット用コン
ディショナの製造方法、及び（４）ポリッシングマットに当てたときに該マット面と
縁部の間にくさび形隙間ができるなだらかな曲面又はテ
ーパ面を縁部に形成する非連続状に分割された反転型の
ダイヤモンド砥粒固定面に、ダイヤモンド砥粒一層分を
電着により仮固定し、仮固定したダイヤモンド砥粒を金
属又は樹脂で埋め込んで固着することによりダイヤモン
ド砥粒層を形成し、ダイヤモンド砥粒層に台金を接合
し、反転型を除去することを特徴とする第２項記載のポ
リッシングマット用コンディショナの製造方法、を提供
するものである。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、実施例の図面により、本発
明を詳細に説明する。図１は、本発明のコンディショナ
のダイヤモンド砥粒層の部分断面図である。ダイヤモン
ド砥粒層１は、ダイヤモンド砥粒２及びダイヤモンド砥
粒を埋め込んで固着する固着層３からなる。ダイヤモン
ド砥粒層は、接合層４を介して台金５に接合されてい
る。ダイヤモンド砥粒層において、各ダイヤモンド砥粒
の最突出部６は略同一平面上に存在する。本図において
は、理解を容易にするために、ダイヤモンド砥粒の最突
出部が存在する平面を破線で示している。図２は、本発
明のコンディショナの一態様の部分断面図である。本図
のコンディショナにおいては、ダイヤモンド砥粒層面の
縁部７を除いて各ダイヤモンド砥粒の最突出部６は略同
一平面上に存在するが、ダイヤモンド砥粒層面の縁部７
がなだらかな曲面を形成し、縁部に位置するダイヤモン
ド砥粒８の最突出部は、ダイヤモンド砥粒層面における
各ダイヤモンド砥粒の最突出部が存在する平面より後退
した位置に存在する。本図においては、理解を容易にす
るために、ダイヤモンド砥粒の最突出部が存在する平面
を破線で示している。図３は、本発明のコンディショナ
の他の態様の部分断面図である。本図のコンディショナ
においては、ダイヤモンド砥粒層面の縁部７を除いて各
ダイヤモンド砥粒の最突出部６は略同一平面上に存在す
るが、ダイヤモンド砥粒層面の縁部７がテーパ面を形成
し、縁部に位置するダイヤモンド砥粒８の最突出部は、
ダイヤモンド砥粒層面における各ダイヤモンド砥粒の最
突出部が存在する平面より後退した位置に存在する。本
図においては、理解を容易にするために、ダイヤモンド
砥粒の最突出部が存在する平面を破線で示している。

【０００６】図４は、従来のコンディショナのダイヤモ
ンド砥粒層の部分断面図である。従来のコンディショナ
は、台金５にダイヤモンド砥粒２一層分を電着により仮
固定したのち、さらに電鋳を続けて固着層３を形成する
ことによりダイヤモンド砥粒を固着していた。そのた
め、ダイヤモンド砥粒の最突出部の位置は、個々のダイ
ヤモンド砥粒の大きさの差により異なって、略同一平面
上には存在しない。また、電着により仮固定したのち電
鋳する方法によっては、ダイヤモンド砥粒層１に完全に
固着されていないダイヤモンド砥粒、いわゆる浮き石９
を完全になくすことは困難である。本発明のコンディシ
ョナは、各ダイヤモンド砥粒の最突出部が略同一平面上
に存在するために、ポリッシングマットのコンディショ
ニングに使用したときに、ポリッシングマットに優れた
平坦性を与えることができる。従来のポリッシングマッ
トのコンディショニング用のコンディショナにおいて
は、使用するダイヤモンド砥粒は＃１００〜＃８００の
範囲のものが好ましく、＃１００〜＃２００の範囲のも
のがより好ましいとされ、ダイヤモンド砥粒が＃１００
より粗いと、ポリッシングマットの表面粗さが大きくな
った。このように細かいダイヤモンド砥粒を使用するた
め、ポリッシングマットのコンディショニングに長時間
を要していた。本発明のコンディショナにおいては、使
用するダイヤモンド砥粒の粒度は＃２０〜＃１２０であ
ることが好ましく、＃６０〜＃８０であることがより好
ましい。ダイヤモンド砥粒の粒度が＃２０を超えて粗く
なると、砥粒がきわめて高価になり、また、本発明のコ
ンディショナにおいても、コンディショニングされたポ
リッシングマットの平坦性が低下するおそれがある。ダ
イヤモンド砥粒の粒度が＃１２０を超えて細かくなる
と、砥粒の充分な突出量を確保することがむつかしく、
また、コンディショニングされたポリッシングマットの
平坦性は粒度の細かさに伴って向上することなく、いた
ずらにコンディショニング時間が長くなるのみである。

【０００７】従来のポリッシングマットのコンディショ
ニング用のコンディショナには、浮き石の存在が避けら
れなかったために、コンディショニング中に浮き石とな
っているダイヤモンド砥粒が脱落してポリッシングマッ
ト上に残り、ウェーハの研磨時にウェーハ表面を傷つけ
るおそれがあった。本発明のコンディショナにおいて
は、ダイヤモンド砥粒はすべて固着層に埋め込まれ、完
全に固着されているので、コンディショニング中にダイ
ヤモンド砥粒が脱落し、ウェーハの研磨時にウェーハ表
面を傷つけるおそれが全くない。本発明のコンディショ
ナにおいては、ダイヤモンド砥粒層面の縁部が、なだら
かな曲面又はテーパ面を形成し、該縁部に位置するダイ
ヤモンド砥粒の最突出部が、ダイヤモンド砥粒層面にお
ける各ダイヤモンド砥粒の最突出部が存在する平面より
後退した位置に存在する。ダイヤモンド砥粒層面の縁部
をなだらかな曲面又はテーパ面とし、縁部に位置するダ
イヤモンド砥粒の最突出部が、ダイヤモンド砥粒層面に
おける各ダイヤモンド砥粒の最突出部が存在する平面よ
り後退した位置に存在せしめることにより、縁部に位置
するダイヤモンド砥粒が固着層３により強固に保持さ
れ、かつ、コンディショニングに際して縁部に位置する
ダイヤモンド砥粒にかかる力が小さくなるので、縁部に
位置するダイヤモンド砥粒の脱落を完全かつ確実に防止
することができる。また、従来のポリッシングマットの
コンディショニング用のコンディショナは、ダイヤモン
ド砥粒層面が完全な平面で、ダイヤモンド砥粒層面の縁
部において、砥粒層面と側面により形成されるコーナー
が、ポリッシングマットに引っかかり、その表面を傷つ
ける場合があった。本発明のコンディショナは、ダイヤ
モンド砥粒層面の縁部がなだらかな曲面又はテーパ面を
形成し、滑らかなコーナーとなっているので、コンディ
ショニング中にコンディショナのコーナーがポリッシン
グマットに引っかかり、ポリッシングマットを傷つける
おそれがない。さらに、本発明のコンディショナは、ダ
イヤモンド砥粒層面の縁部がなだらかな曲面又はテーパ
面を形成しているので、ダイヤモンド砥粒層面の縁部と
ポリッシングマット面の間に断面がくさび形の隙間が形
成される。ポリッシングマットのコンディショニングに
際して、この断面がくさび形の隙間からスムーズに研削
液が流入し、作用面に行き渡りやすいので、目詰まりが
生じにくい。

【０００８】本発明のコンディショナは、ダイヤモンド
砥粒層面を、２個の同心円に囲まれた環状部に形成する
ことができる。図５は、ダイヤモンド砥粒層面が、２個
の同心円に囲まれた環状部に形成されてなる本発明のコ
ンディショナの斜視図である。ダイヤモンド砥粒層１面
を、２個の同心円に囲まれた環状部に形成し、中央部に
空間を設けることにより、ポリッシングマットのコンデ
ィショニングの際に研磨剤の流出入や研磨屑の排出が容
易になり、コンディショニングの速度と精度を向上する
ことができる。本図のコンディショナは、環状部に形成
されたダイヤモンド砥粒層面の縁部が、なだらかな曲面
を形成している。本発明のコンディショナは、ダイヤモ
ンド砥粒層面を、非連続状に分割された面とすることが
できる。図６は、円環状のダイヤモンド砥粒層面が、放
射状の溝により分割されたダイヤモンド砥粒層面を有す
るコンディショナの斜視図である。本図のコンディショ
ナは、台金５の上に、８本の溝１０により分割された８
個のダイヤモンド砥粒層１面を有している。このように
ダイヤモンド砥粒層面を分割し、溝を設けることによ
り、ポリッシングマットのコンディショニングの際に研
磨剤の流出入や研磨屑の排出が一層容易になり、コンデ
ィショニングの速度と精度をさらに向上することができ
る。本図のコンディショナは、２本の円弧と２本の直線
に囲まれた８個のダイヤモンド砥粒層面の縁部が、テー
パ面を形成している。

【０００９】図７は、本発明方法に用いる反転型の一態
様の斜視図である。本図の反転型は、ダイヤモンド砥粒
固定面１２の縁部１３が外側に対して凹のなだらかな曲
面を形成し、この反転型を用いて図２及び図５に示すダ
イヤモンド砥粒層を形成することができる。図８及び図
９は、図２に示すダイヤモンド砥粒層を形成する方法の
一態様の説明図である。図８(ａ)に示すように、反転型
１１のダイヤモンド砥粒固定面１２は、その縁部１３が
外側に対して凹のなだらかな曲面を形成している。この
反転型のダイヤモンド砥粒固定面を囲んで、絶縁性材料
からなるマスキング１４を施す。反転型をメッキ浴に浸
漬し、マスキングで囲まれたダイヤモンド砥粒固定面
に、ダイヤモンド砥粒を充填し、電気メッキを行う。ダ
イヤモンド砥粒の一層分が仮固定され、ダイヤモンド砥
粒固定面から脱落しない状態になれば、余剰のダイヤモ
ンド砥粒をダイヤモンド砥粒固定面より除去する。図８
(ｂ)は、ダイヤモンド砥粒２一層分が、ダイヤモンド砥
粒固定面に仮固定層１５により仮固定された状態を示
す。ダイヤモンド砥粒固定面に仮固定されたダイヤモン
ド砥粒は、次いで、金属又は樹脂で埋め込むことにより
固着する。ダイヤモンド砥粒を金属で埋め込んで固着す
る方法としては、電鋳法及び浸透法を好適に使用するこ
とができる。また、ダイヤモンド砥粒を樹脂で埋め込ん
で固着する方法としては、樹脂成形法を好適に使用する
ことができる。

【００１０】ダイヤモンド砥粒固定面に仮固定されたダ
イヤモンド砥粒を、電鋳法により固着する場合は、仮固
定された一層分のダイヤモンド砥粒を残して余剰のダイ
ヤモンド砥粒を除去した反転型を、ふたたびメッキ浴に
浸漬し、固着層が形成され、ダイヤモンド砥粒が完全に
埋め込まれ、固着されるまで電気メッキを続ける。ダイ
ヤモンド砥粒固定面に仮固定されたダイヤモンド砥粒
を、浸透法により埋め込んで固着する場合は、仮固定さ
れた一層分のダイヤモンド砥粒を残して余剰のダイヤモ
ンド砥粒を除去した反転型を洗浄し、乾燥したのち、タ
ングステンなどの粒子をダイヤモンド砥粒の間隙に充填
して圧粉体とし、さらに浸透用金属を圧粉体の間隙に浸
み込ませて緻密な焼結体とする。ダイヤモンド砥粒固定
面に仮固定されたダイヤモンド砥粒を、樹脂成形法によ
り埋め込んで固着する場合は、仮固定された一層分のダ
イヤモンド砥粒を残して余剰のダイヤモンド砥粒を除去
した反転型を洗浄し、乾燥したのち、マスキングにより
囲まれたダイヤモンド砥粒固定面上に、三次元架橋型の
樹脂を流し込み、ダイヤモンド砥粒を埋め込み、樹脂を
硬化して固着層３を形成する。図８(ｃ)は、固着層によ
りダイヤモンド砥粒を埋め込んで固着した状態を示す。

【００１１】固着層３を形成することにより、ダイヤモ
ンド砥粒２を埋め込んで固着し、ダイヤモンド砥粒層１
を形成したのち、反転型１１からマスキングを除去す
る。図９(ａ)は、ダイヤモンド砥粒を埋め込んで固着
し、マスキングを除去した状態の反転型を示す。反転型
上のダイヤモンド砥粒層の表面は、台金との接合に先立
って、この状態で平坦に加工することが好ましい。反転
型上のダイヤモンド砥粒層１と台金５のダイヤモンド砥
粒層接合面を接着剤を用いて固定し、接合層４を形成す
ることにより、ダイヤモンド砥粒層を台金に接合する。
図９(ｂ)は、ダイヤモンド砥粒層を台金に接合した状態
を示す。ダイヤモンド砥粒層１を台金５に接合したの
ち、反転型１１を除去する。反転型を除去する方法には
特に制限はなく、例えば、旋盤加工、フライス盤加工な
どを挙げることができるが、旋盤加工を特に好適に使用
することができる。図９(ｃ)は、ダイヤモンド砥粒層を
台金に接合し、反転型を除去した状態を示す。台金に
は、さらに、回転軸の嵌合穴など必要な機械加工を施す
ことができる。台金に接合したダイヤモンド砥粒層面
は、必要に応じて石出し加工及びラップ加工を行うこと
ができる。石出し加工により、ダイヤモンド砥粒の最突
出部を露出させ、図２に示す状態とすることができる。
石出し加工は、例えば、一般砥石などによるドレッシン
グ、鋳鉄などの定盤上でのシリコンカーバイドやアルミ
ナなどの遊離砥粒によるドレッシング、ショットブラス
ト、金属剥離材による化学エッチング、電解エッチング
などにより行うことができる。化学エッチング処理は、
台金及びダイヤモンド砥粒層を形成する材料のうち、仮
固定層及び固着層のみを溶解する薬剤に浸漬することに
より行うものである。このような薬剤としては、仮固定
層及び固着層がニッケルである場合はエンストリップＮ
Ｐ［メルテックス(株)製］、仮固定層及び固着層がクロ
ムである場合はエンストリップＣＲ−５［メルテックス
(株)製］などの市販されている薬剤を使用することがで
きる。ラップ加工は、ダイヤモンド砥石を用いて突出し
たダイヤモンド砥粒の先端部をカットするものである。
石出し加工とラップ加工を行うことにより、コンディシ
ョナに、使用当初から安定した優れた性能を発揮させる
ことができる。

【００１２】本発明方法により製造したコンディショナ
は、ダイヤモンド砥粒の仮固定の際に、ダイヤモンド砥
粒が反転型のダイヤモンド砥粒固定面に接して固定さ
れ、ダイヤモンド砥粒層を台金に接合したとき、ダイヤ
モンド砥粒の最突出部は反転型のダイヤモンド砥粒固定
面に接した部分であるので、コンディショナにおいて、
各ダイヤモンド砥粒の最突出部は略同一平面上に存在す
る構造となる。また、ダイヤモンド砥粒層と台金の接合
後の基準面転写により、ダイヤモンド砥粒層面の振れ精
度は数μｍである。ニッケルの電鋳によりダイヤモンド
砥粒を固着する場合、添加剤を加えたスルファミン酸ニ
ッケル浴を使用すると、ニッケルの硬度はＨＶ４００〜
６００、伸び率は１〜５％となり、ニッケル固着層は十
分な靭性を有する。このために、ポリッシングマットの
コンディショニングを精度よく、能率よく行うことがで
き、ダイヤモンド砥粒の脱落が長期にわたって生ずるこ
とがない。

【００１３】図１０は、反転型の他の態様の斜視図であ
る。この反転型は、２個の同心円により囲まれた環状の
ダイヤモンド砥粒固定面に中心軸より放射状に８本の溝
を設け、溝にマスキング用ブロック１６を嵌着し、２本
の円弧と２本の直線により囲まれた８個に分割されたダ
イヤモンド砥粒固定面１２を形成し、各ダイヤモンド砥
粒固定面の縁部に内向きのテーパ面１７を設けたもので
ある。このような反転型を使用することにより、２個の
同心円に囲まれた環状部に放射状に溝が形成され、ダイ
ヤモンド砥粒層面が非連続状に８個に分割され、分割さ
れたそれぞれのダイヤモンド砥粒層面の縁部がテーパ面
を形成し、縁部に位置するダイヤモンド砥粒の最突出部
が、ダイヤモンド砥粒層面における各ダイヤモンド砥粒
の最突出部が存在する平面より後退した位置に存在する
図３及び図６に示す形状のコンディショナを得ることが
できる。本発明のコンディショナにおいては、ダイヤモ
ンド砥粒層面は任意の形状とすることができる。図１１
は、本発明のコンディショナのダイヤモンド砥粒層面の
態様を示す平面図である。図１１(ａ)は、円形のダイヤ
モンド砥粒層面を、図１１(ｂ)は、楕円形のダイヤモン
ド砥粒層面を、図１１(ｃ)は、正方形のダイヤモンド砥
粒層面を示す。また、ダイヤモンド砥粒層面には、溝を
設けてダイヤモンド砥粒層面を分割することができる。
図１１(ｄ)は、円環状と放射状の溝の組み合わせを、図
１１(ｅ)は、碁盤目状の溝を、図１１(ｆ)は、放射状の
溝をそれぞれ示す。このように溝を設けることにより、
ポリッシングマットのコンディショニングの際に研磨剤
の流出入や研磨屑の排出が容易になり、コンディショニ
ングの速度と精度を一層向上することができる。

【００１４】

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。実施例１図７に示す形状で、寸法が３００Ｄ−６Ｗ−２０Ｔ−１
４０Ｈの反転型（Ｓ４５Ｃ）を、旋盤加工により作製し
た。ダイヤモンド砥粒固定面を図８(ａ)に示すようにマ
スキングテープで囲い、さらにその他のダイヤモンド砥
粒層非形成部分のマスキング処理を行った。アルカリ脱
脂処理したのち、反転型を、メッキ応力と硬度調節のた
め添加剤を加えたスルファミン酸ニッケル浴に沈め、粒
度＃６０／８０のダイヤモンド砥粒を、ダイヤモンド砥
粒固定面上に投入した。電流密度１Ａ／dm²で２時間メ
ッキを行い、ダイヤモンド砥粒の仮固定を行ったのち、
余剰のダイヤモンド砥粒を除去し、さらに電流密度２Ａ
／dm²で９６時間メッキを行い、３mmの厚みのニッケル
固着層を形成した。次いで、反転型上のニッケル固着層
面を、旋盤加工により平坦に加工した。寸法２８６Ｄ−
１２Ｗ−３５Ｔ−１６０Ｈの台金（ＳＵＳ３０４）を、
旋盤加工により作製した。２液型エポキシ接着剤１０重
量部にアルミニウム粉末５重量部を混合し、反転型上の
ニッケル固着層面と台金のダイヤモンド砥粒層接着部分
に塗布し接合した。接合層が十分に硬化したのち、旋盤
で反転型を正にして台金の裏面を切削して基準面転写し
た。さらに、台金を旋盤にくわえ、反転型を切除した。
その後、ニッケル剥離剤エンストリップＮＰ［メルテッ
クス(株)製］を用いて、ダイヤモンド砥粒層面のニッケ
ルを約３０μｍ溶解除去して石出し加工を行い、その後
ダイヤモンド砥石によりラップ加工を行って、図５に示
す形状の本発明のコンディショナを得た。このコンディ
ショナを用いて、ポリエステル不織布を基剤とし、その
上に発泡ポリウレタン層を形成したスエードタイプのポ
リッシングマットのコンディショニングを行った。平坦
性に優れたコンディショニングを、効率よく行うことが
できた。実施例２寸法が３００Ｄ−６Ｗ−２０Ｔ−１４０Ｈで、中心軸か
ら放射状に、幅６mm、深さ３mmのスリットを４５度間隔
で８カ所に設け、溝部にアクリル樹脂製のマスキング用
ブロックを嵌装した、図１０に示す形状の反転型（Ｓ４
５Ｃ）を作製した。さらにその他のダイヤモンド砥粒層
非形成部分のマスキング処理を行い、アルカリ脱脂処理
したのち、反転型をメッキ応力と硬度調節のため添加剤
を加えたスルファミン酸ニッケル浴に沈め、粒度＃６０
／８０のダイヤモンド砥粒を、ダイヤモンド砥粒固定面
上に投入した。電流密度１Ａ／dm²で２時間メッキを行
い、ダイヤモンド砥粒の仮固定を行ったのち、余剰のダ
イヤモンド砥粒を除去し、さらに電流密度２Ａ／dm^２で
９６時間メッキを行い、３mmの厚みのニッケル固着層を
形成した。アクリル樹脂製のマスキング用ブロックを取
り外したのち、反転型上のニッケル固着層面を、旋盤加
工により平坦に加工した。寸法２８６Ｄ−１２Ｗ−３５
Ｔ−１６０Ｈの台金（ＳＵＳ３０４）を、旋盤加工によ
り作製した。２液型エポキシ接着剤１０重量部にアルミ
ニウム粉末５重量部を混合し、反転型上のニッケル固着
層面と台金のダイヤモンド砥粒層接着部分に塗布し接合
した。接合層が十分に硬化したのち、旋盤で反転型を正
にして台金の裏面を切削して基準面転写した。さらに、
台金を旋盤にくわえ、反転型を切除した。その後、ニッ
ケル剥離剤エンストリップＮＰ［メルテックス(株)製］
を用いて、ダイヤモンド砥粒層面のニッケルを約３０μ
ｍ溶解除去して石出し加工を行い、その後ダイヤモンド
砥石によりラップ加工を行って、図６に示す形状のコン
ディショナを得た。このコンディショナを用いて、ポリ
エステル不織布にポリウレタン樹脂を含浸したベロアタ
イプのポリッシングマットのコンディショニングを行っ
た。溝部分からの研磨液の流出入及び研磨屑の排出が円
滑に行われ、平坦性に優れたコンディショニングを効率
よく行うことができた。

【００１５】

【発明の効果】本発明のコンディショナは、各ダイヤモ
ンド砥粒の最突出部が略同一平面上に存在するので、粒
径の大きいダイヤモンド砥粒を用いてコンディショニン
グの速度を上げても、平坦性に優れたポリッシングマッ
トのコンディショニングを行うことができる。さらに、
ダイヤモンド砥粒は固着層に確実に埋め込まれて固着さ
れ、また、ダイヤモンド砥粒層面の縁部に位置するダイ
ヤモンド砥粒は、その最突出部がダイヤモンド砥粒層面
における各ダイヤモンド砥粒の最突出部が存在する平面
より後退した位置に存在するので、コンディショニング
中にダイヤモンド砥粒の脱落を生じてウェーハ表面を傷
つけるおそれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のコンディショナの一態様のダ
イヤモンド砥粒層の部分断面図である。

【図２】図２は、本発明のコンディショナの一態様の部
分断面図である。

【図３】図３は、本発明のコンディショナの他の態様の
部分断面図である。

【図４】図４は、従来のコンディショナのダイヤモンド
砥粒層の部分断面図である。

【図５】図５は、本発明のコンディショナの一態様の斜
視図である。

【図６】図６は、本発明のコンディショナの他の態様の
斜視図である。

【図７】図７は、本発明方法に用いる反転型の一態様の
斜視図である。

【図８】図８は、ダイヤモンド砥粒層を形成する方法の
一態様の説明図である。

【図９】図９は、ダイヤモンド砥粒層を形成する方法の
一態様の説明図である。

【図１０】図１０は、反転型の他の態様の斜視図であ
る。

【図１１】図１１は、本発明のコンディショナのダイヤ
モンド砥粒層面の態様を示す平面図である。

【符号の説明】

１ダイヤモンド砥粒層２ダイヤモンド砥粒３固着層４接合層５台金６ダイヤモンド砥粒の最突出部７ダイヤモンド砥粒層面の縁部８縁部に位置するダイヤモンド砥粒９浮き石１０溝１１反転型１２ダイヤモンド砥粒固定面１３ダイヤモンド砥粒固定面の縁部１４マスキング１５仮固定層１６マスキング用ブロック１７テーパ面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者滝口明神奈川県厚木市中野３丁目15番４号厚木ＮＩビル旭ダイヤモンド工業株式会社厚木営業所内 (56)参考文献特開平10−58306（ＪＰ，Ａ) 特開平10−202531（ＪＰ，Ａ) 特開平２−65967（ＪＰ，Ａ) 特開昭54−93285（ＪＰ，Ａ) 特開平２−185375（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−146679（ＪＰ，Ａ) 特開平７−328937（ＪＰ，Ａ) 特開昭64−71661（ＪＰ，Ａ) 特公平６−77901（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 37/00 B24D 3/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ダイヤモンド砥粒層面がコンディショナの
回転軸と直交し、該ダイヤモンド砥粒層面が、２個の同
心円に囲まれた環状部に形成されてなるコンディショナ
において、ダイヤモンド砥粒層面の内外縁部で縁部に向
かってなだらかな曲面又はテーパ面を形成し、かつ、該
なだらかな曲面又はテーパ面は、ポリッシングマットに
接したときポリッシングマット面との間にくさび形の隙
間を形成し、前記縁部に位置するダイヤモンド砥粒の最
突出部が、ダイヤモンド砥粒層面における各ダイヤモン
ド砥粒の最突出部が存在する平面より後退した位置に存
在してなり、半導体ウェーハ研磨用のポリッシングマッ
トのコンディショニングに用いることを特徴とするポリ
ッシングマット用コンディショナ。
【請求項２】ダイヤモンド砥粒層面が、非連続状に分割
されてなる請求項１記載のポリッシングマット用コンデ
ィショナ。
【請求項３】ポリッシングマットに当てたときに該マッ
ト面と縁部の間にくさび形隙間ができるなだらかな曲面
又はテーパ面を縁部に形成する反転型のダイヤモンド砥
粒固定面に、ダイヤモンド砥粒一層分を電着により仮固
定し、仮固定したダイヤモンド砥粒を金属又は樹脂で埋
め込んで固着することによりダイヤモンド砥粒層を形成
し、ダイヤモンド砥粒層に台金を接合し、反転型を除去
することを特徴とする請求項１記載のポリッシングマッ
ト用コンディショナの製造方法。
【請求項４】ポリッシングマットに当てたときに該マッ
ト面と縁部の間にくさび形隙間ができるなだらかな曲面
又はテーパ面を縁部に形成する非連続状に分割された反
転型のダイヤモンド砥粒固定面に、ダイヤモンド砥粒一
層分を電着により仮固定し、仮固定したダイヤモンド砥
粒を金属又は樹脂で埋め込んで固着することによりダイ
ヤモンド砥粒層を形成し、ダイヤモンド砥粒層に台金を
接合し、反転型を除去することを特徴とする請求項２記
載のポリッシングマット用コンディショナの製造方法。