JP3265025B2 - 電子線描画装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子線描画装置に関し、
とくに、制御コンピュータと電子線描画装置本体等によ
り構成された電子線描画装置の複数を集中的に制御する
電子線描画装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の電子線描画装置は主としてステッ
パ用のレチクル描画や素子試作のための直接描画等に使
用されてきたため、一般的にＬＳＩチップ等の大量生産
用途には使用されていなかった。

【０００３】このため、通常、装置は単独に使用され、
装置近傍に配置された装置制御用のコンピュータのコン
ソールを介して装置の操作、モニタ等が行なわれてい
た。

【０００４】また、ＣＡＤ等で作成したＬＳＩ等のパタ
ーンは大型コンピュータ等で電子線描画装置固有の描画
データフォマットに変換後、ＭＴ（磁気テープ）に記録
され、ローカルエリアネットワーク等を介して電子線描
画装置に転送されていた。

【０００５】しかし、最近では、複数の電子線描画装置
を用いてゲートアレイやカスタムＬＳＩ等のＡＳＩＣ、
さらにはメモリ素子等の生産等が行なわれるようになっ
ている。

【０００６】電子線描画装置ではステッパのような描画
パターンの変更に伴うレチクル交換が不要であり、ウエ
ハの描画データやその手順デ−タ等を装置にローディン
グして描画パターンを変更できるので、複数の電子線描
画装置を用いる場合には各装置の状態監視、キャリブレ
ーション、描画パターンのデータ変換、描画手順の予約
登録等を集中的かつ柔軟に管理する方が効率的である。

【０００７】また、複数の電子線描画装置のオートビー
ムコントロール等やキャリブレーション等も集中的に管
理した方が効率的である。

【０００８】また、最近のレチクルパターンは高集積化
に伴い複雑化して１枚の描画当たり数時間を要するよう
になっているので、描画中は装置が無人運転される結
果、トラブル等を途中で認識して迅速に対応することが
できなかった。

【０００９】特開昭６３−２０８２１５号公報には、複
数の電子線描画系にそれぞれ描画デ−タ格納用の複数の
バッファメモリを接続し、制御用計算機によりこれらの
複数のバッファメモリを共通に管理して画像デ−タ格納
部から各バッファメモリに所要の画像デ−タを記憶する
ようにして、各電子線描画系の描画領域内に異なる図形
を連続して描画することが開示されている。

【００１０】また、特開昭６２−９８７２４号公報に
は、１系統の制御用計算機から描画デ−タをバッファメ
モリに送って蓄え、デ−タ分解回路によりこの描像デ−
タを分解して複数の電子光学系に分配し、各電子光学系
は分配された描像デ−タにそれぞれの偏向歪補正を施し
てそれぞれの描画を行なうことが開示されている。

【００１１】また、特開昭６２−５７２１５号公報に
は、１系統のパタ−ンデ−タ／システム管理部から複数
のパタ−ン描画部にパタ−ンデ−タを同時に送って複数
の材料（ウエハ）を同時に描画することが開示されてい
る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、描画デ−タを複数のメモリに分けて格納して描画領
域内に異なる図形を連続して描画したり、１系統のパタ
−ンデ−タ／システム管理部から複数のパタ−ン描画部
にパタ−ンデ−タを同時に送って複数の材料（ウエハ）
を同時に描画することができるものの、（１）複数台の
電子線描画装置を遠隔地で集中的にモニタして装置状況
を把握し集中管理したり、（２）複数台の装置履歴等を
収集して管理し、（３）遠隔地から複数台の装置のキャ
リブレーション等を行ない、（４）上記装置パラメー
タ、プロセスパラメータ等により描画データを補正し、
また、ウエハ上のチップ配列情報、描画手順等の情報等
を修正して各電子線描画装置毎に個別に実行したりする
ことができないという問題があった。

【００１３】本発明の目的は、上記の問題点を解決して
複数台の装置を有機的に効率良く運用するようにした電
子線描画装置を提供するにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明に係る電子線描画装置の構成は、それぞれ制
御コンピュータを有し、その情報に基づいて電子線描画
装置本体を制御して描画を行う複数台の電子線描画装置
と、モニタ用コンピュータとを通信路にて接続した電子
線描画装置において、上記制御コンピュータは上記電子
線描画装置の装置状態データをファィルに収集し 、 上記
モニタ用コンピュータは上記制御用コンピュータに収集
されている装置状態ファィルのデータを上記通信路を介
して読み取りファィルに記憶し 、 上記制御コンピュータ
は指定された描画ロットに対応した上記モニタ用コンピ
ュータ内の描画データファィル 、 描画手順ファイルを収
集し描画を開始するようになし、上記モニタ用コンピュ
ータは上記制御コンピュータから読み取る装置状態ファ
ィルのデータに異常を検知した場合には、異常を検知し
た電子線描画装置の予定または実行中の描画データファ
イル、描画手順フアイルを他の正常な電子線描画装置へ
振り替えうるようにする。

【００１５】このため、請求項１において、上記モニタ
用コンピュータは上記収集した装置状態ファィルのデー
タと経時変化許容値を比較して異常を検知した場合には
警告を表示するようにする。

【００１６】さらに、請求項１において、上記制御コン
ピュータは上記モニタ用コンピュータからの指示により
起動されるキャリブレーション処理ソフトを有するよう
にする。

【００１７】さらに、請求項１ないし３のいずれかにお
いて、上記モニタ用コンピュータに、ＣＡＤ等で作成し
たＬＳＩパターンデータを上記電子線描画装置それぞれ
に固有の描画データに変換するデータ変換機能を具備す
るようにする。

【００１８】さらに、請求項１ないし４のいずれかにお
いて、上記モニタ用コンピュータに、上記電子線描画装
置それぞれの描画に必要なウエハ上のチップ配列情報、
装置に起因するパラメータ、プロセスに起因するパラメ
ータ、描画手順等をファイルとして予約登録する機能を
具備するようにする。

【００１９】さらに、請求項１ないし５のいずれかにお
いて、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画
装置固有の描画データ、ウエハ上のチップ配列情報、パ
ラメータ、描画手順等の情報を各電子線描画装置の要求
に応じ転送するファイルサーバ機能を具備するようにす
る。

【００２０】さらに、請求項１ないし６のいずれかにお
いて、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画
装置の装置状態データ経時変化を表示するデータベース
機能を具備するようにする。請求項７において、上記モ
ニタ用コンピュータに、上記装置状態の経時変化情報に
基づいて部品交換時期等のメンテナンス情報を表示する
ようにする。

【００２１】

【作用】上記モニタ用コンピュータはローカルエリアネ
ットワーク等の通信路に接続された電子線描画装置の装
置状態をモニタして集中管理する。

【００２２】また、上記集中管理はモニタ用コンピュー
タから各電子線描画装置をリモート操作して行なう。

【００２３】また、上記モニタ用コンピュータのデータ
変換機能はＣＡＤ等で作成したＬＳＩパターンデータを
上記複数台の電子線描画装置それぞれに固有の描画デー
タに変換する。

【００２４】また、上記モニタ用コンピュータの予約登
録機能は、上記複数台の電子線描画装置それぞれの描画
に必要なウエハ上のチップ配列情報、装置に起因するパ
ラメータ、プロセスに起因するパラメータ、描画手順等
をファイルする。

【００２５】また、上記モニタ用コンピュータのファイ
ルサーバ機能は上記各電子線描画装置固有の描画デー
タ、ウエハ上のチップ配列情報、パラメータ、描画手順
等の情報を各電子線描画装置の要求に応じて転送する。

【００２６】また、上記モニタ用コンピュータのデータ
ベース機能は上記各電子線描画装置の装置状態情報を記
録し、また、装置状態情報の経時変化等を出力する。

【００２７】また、上記モニタ用コンピュータのメンテ
ナンス情報出力機能は、上記装置状態の経時変化情報に
基づいて部品交換時期等の情報を出力する。

【００２８】

【実施例】図１は本発明による電子線描画装置実施例の
構成図である。

【００２９】図１において、クリーンルーム内に設置さ
れた電子線描画装置４、８、１２等がローカルエリアネ
ットワーク１３を介してクリーンルーム外の遠隔地に配
置されたモニタ用コンピュータ１４に接続されている。
なお、電子線描画装置が１台の場合も同様である。

【００３０】また、電子線描画装置４は制御コンピュー
タ１、制御部２、電子線描画装置本体３で構成されてい
る。同様に電子線描画装置８は制御コンピュータ５、制
御部６、電子線描画装置本体７で構成され、電子線描画
装置１２は制御コンピュータ９、制御部１０、電子線描
画装置本体１１で構成されている。

【００３１】制御コンピュータ１は内部インターフェイ
スを介してローカルエリアネットワーク１３と接続さ
れ、制御部２に所要の描画データを転送し、また、描画
指令を発行して電子線描画装置本体３を制御する。

【００３２】また、制御コンピュータ１は制御部２と電
子線描画装置本体３の動作状態を定期的にモニタして、
その装置状態ファイル１５の装置状態データを更新す
る。

【００３３】同様に、電子線描画装置８、１２等の各制
御コンピュータもそれぞれの制御系と電子線描画装置本
体の動作状態をモニタして、それぞれの装置状態ファイ
ルを更新する。

【００３４】モニタ用コンピュータ１４はローカルエリ
アネットワーク１３のプロトコルを介して装置状態ファ
イル１５、１６、１７を定期的に読み出し表示する。

【００３５】図２はモニタ用コンピュータ１４の上記装
置状態表示例である。

【００３６】装置状態ファイル１５、１６、１７から読
み出した装置状態デ−タを解釈して装置の動作状況、異
常発生状況、装置各部の状態（装置本体の真空度、ウエ
ハ搭載状況等）等を判り易く絵にして表示する。

【００３７】図１では３台の電子線描画装置４、８、１
２がモニタされているので、図２では表示画面１８を３
分割して３台の装置状態を同時に表示している。この分
割数はモニタする電子線描画装置の数に応じて増減され
る。

【００３８】また、モニタ用コンピュータ１４は上記装
置状態デ−タを項目別に分類して対応する項目のファイ
ルへ格納する。この結果、オペレータは例えば装置真空
度の経時変化情報等を任意に指定して表示させることが
できる。

【００３９】また、上記経時変化データを予め設定した
基準値と比較して装置の再調整、部品の交換等のメンテ
ナンス情報を生成して表示することもできる。

【００４０】この他、各制御コンピュータ１、５、９等
は、データ変換機能（ＣＡＤ等で作成したＬＳＩパター
ンデータ等を電子線描画装置固有のフォマットに変換し
ファイルに登録する機能）、描画手順ファイル作成機能
（電子線描画装置を制御するコマンドの発行手順をファ
イルに予約登録する機能）、描画アレイ作成機能（描画
ウエハ上のチップ配列、描画条件をファイルに登録する
機能）等を備えている。

【００４１】また、上記各機能をモニタ用コンピュータ
１４に移してモニタ用コンピュータ１４上で上記データ
変換、描画アレイファイル、描画手順ファイルの作成を
行なうようにすることもできる。

【００４２】また、オペレータがそれぞれの制御コンピ
ュータ１端末から描画ウエハロツトのＩＤ情報を入力
し、この情報をローカルエリアネットワーク１３の通信
プロトコルを介してモニタ用コンピュータ１４に伝え、
モニタ用コンピュータ１４より予め作成済みのデータ変
換されたデータファイル、描画手順ファイル、描画アレ
イファイルを折り返し受け取るようにするようにしても
よい。

【００４３】また、モニタ用コンピュータ１４から描画
手順ファイルを１コマンド毎に対応する制御コンピュー
タ宛に転送するようにすれば、モニタ用コンピュータ１
４から各電子線描画装置４、８、１２等をリモート操作
することができる。

【００４４】図３は上記データ変換操作、描画手順ファ
イル作成操作、描画アレイファイル作成操作、単独コマ
ンドによるリモート操作等の手順をモニタ用コンピュー
タ１４で実行する場合の表示画面例である。

【００４５】上記各操作は、操作用のウインドウ１９を
すでに表示済みのモニタ表示上にオーバラップさせて実
行し、コマンド発行時にはリモート操作する通信相手を
ローカルエリアネットワーク１３を介して相手側に通知
し決定する。

【００４６】図４は上記本発明による電子線描画装置の
集中管理の概念を説明するフローチャ−ト例である。

【００４７】ステップ１００にて、制御コンピュータ
１、５、９等はそれぞれの制御部２、６、１０を定期的
にアクセスして対応する電子線描画装置４、８、１２の
装置状態を収集し、ステップ１０１にて各装置状態ファ
イルに記録する。

【００４８】ステップ１０３にて、モニタ用コンピュー
タ１４は制御コンピュータ１、５、９の装置状態ファイ
ルをローカルエリアネットワーク１３を介して読み出
し、ステップ１０４にて集中モニタに表示する。次い
で、ステップ１０５にてモニタ用コンピュータ１４は必
要に応じて上記収集データを履歴ファイルに登録し、ス
テップ１０６にてこれを経時変化許容値を比較し、異常
があれば集中モニタ上に警告を表示する。

【００４９】また、ステップ１０７ではオペレータがモ
ニタ用コンピュータ１４からローカルエリアネットワー
クのリモート端末等の通信プロトコルを介してリモート
操作により、描画に先立つ装置キャリブレーションやＱ
Ｃ的に実施する装置キャリブレーションなどを指示し、
ステップ１０８にて指示された制御コンピュ−タがこれ
を起動する。

【００５０】図５は上記図４のステップ１０７、１０８
の続きを示すフロ−チャ−トである。

【００５１】ステップ１０９にて、制御コンピュータ
１、５、９等は、オペレータが指定した描画ロットの描
画データファイル、描画手順ファイル等をローカルエリ
アネットワーク１３を介してモニタ用コンピュータ１４
より収集し、ステップ１１０にてこれらのファイルに従
った描画を開始する。

【００５２】一方、モニタ用コンピュータ１４はステッ
プ１１３にてローカルエリアネットワーク１３を介した
装置状態ファイルを読み取り、ステップ１１４にて装置
異常を検知すると、ステップ１１５にてオペレータの指
示により予定、または実行中の描画デ−タファイル、描
画手順ファイル等を他の正常な装置へ振り替える。

【００５３】電子線描画装置ではレチクルが不要なの
で、上記描画データファイル、描画手順ファイル等の転
送のみにより、装置異常を迅速にバックアップすること
ができる。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では電子線描
画装置４、８、１２等をクリーンルーム外の遠隔地に配
置したモニタ用コンピュータ１４にローカルエリアネッ
トワーク１３を介して集中モニタするので、各電子線描
画装置の状況を一括管理し、全体の効率を向上させるこ
とができる。

【００５５】また、モニタ用コンピュータ１４は各電子
線描画装置をモニタして得た情報を逐次、項目別に分類
してファイルにメモリするので、経時変化等の装置保守
情報を管理し、部品交換時期等を事前に予想することが
できる。

【００５６】また、モニタ用コンピュータ操作により、
描画データ変換、描画手順ファイル作成等を実行して描
画スケジュール等の生産工程を一括管理し、必要に応じ
各描画装置へ転送するので複数の電子線描画装置を柔軟
に運用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明実施例の構成図である。

【図２】本発明における集中モニタ表示画面例である。

【図３】本発明における集中操作画面例である。

【図４、５】本発明の集中管理概念を示すフローチャ−
トである。

【符号の説明】

１、５、９…制御コンピュ−タ、２、６、１０…制御
部、４、８、１２…電子線描画装置、１３…ローカルエ
リアネットワーク、１４…モニタ用コンピュータ、１５
〜１７…装置状態ファイル、１８…表示画面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−305913（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−138732（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−208215（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−98724（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−57215（ＪＰ，Ａ)

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】それぞれ制御コンピュータを有し、その情
   報に基づいて電子線描画装置本体を制御して描画を行う
   複数台の電子線描画装置と、モニタ用コンピュータとを
   通信路にて接続した電子線描画装置において、上記制御
   コンピュータは上記電子線描画装置の装置状態データを
   ファィルに収集し 、 上記モニタ用コンピュータは上記制
   御用コンピュータに収集されている装置状態ファィルの
   データを上記通信路を介して読み取りファィルに記憶
   し 、 上記制御コンピュータは指定された描画ロットに対
   応した上記モニタ用コンピュータ内の描画データファィ
   ル 、 描画手順ファイルを収集し描画を開始するようにな
   し、上記モニタ用コンピュータは上記制御コンピュータ
   から読み取る装置状態ファィルのデータに異常を検知し
   た場合には、異常を検知した電子線描画装置の予定また
   は実行中の描画データファイル、描画手順フアイルを他
   の正常な電子線描画装置へ振り替えうるようにしたこと
   を特徴とする電子線描画装置。
2. 【請求項２】請求項１において、 上記モニタ用コンピュータは上記収集した装置状態ファ
   ィルのデータと経時変化許容値を比較して異常を検知し
   た場合には警告を表示するようにしたことを特徴とする
   電子線描画装置。
3. 【請求項３】請求項１において、 上記制御コンピュータは上記モニタ用コンピュータから
   の指示により起動されるキャリブレーション処理ソフト
   を有することを特徴とする電子線描画装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかにおいて、
   上記モニタ用コンピュータに、ＣＡＤ等で作成したＬＳ
   Ｉパターンデータを上記電子線描画装置それぞれに固有
   の描画データに変換するデータ変換機能を具備するよう
   にしたことを特徴とする電子線描画装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、
   上記モニタ用コンピュータに、上記電子線描画装置それ
   ぞれの描画に必要なウエハ上のチップ配列情報、装置に
   起因するパラメータ、プロセスに起因するパラメータ、
   描画手順等をファイルとして予約登録する機能を具備す
   るようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかにおいて、
   上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置固
   有の描画データ、ウエハ上のチップ配列情報、パラメー
   タ、描画手順等の情報を各電子線描画装置の要求に応じ
   転送するファイルサーバ機能を具備するようにしたこと
   を特徴とする電子線描画装置。
7. 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかにおいて、
   上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置の
   装置状態データ経時変化を表示するデータベース機能を
   具備するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、上記モニタ用コンピ
   ュータに、上記装置状態の経時変化情報に基づいて部品
   交換時期等のメンテナンス情報を表示するようにしたこ
   とを特徴とする電子線描画装置。