JP3261142B2 - 放電灯点灯装置 - Google Patents
放電灯点灯装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高輝度放電灯等を点灯
し、光束安定時間を短くする機能を備える放電灯点灯装
置に関するものである。
し、光束安定時間を短くする機能を備える放電灯点灯装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、高輝度放電灯（以下、ＨＩＤラ
ンプと呼ぶ）は、放電開始直後の放電管内の圧力が低
く、放電エネルギにより発光する金属の蒸気圧が低いの
で、発光光束が少ない。そして、放電管温度が上昇する
につれて、金属蒸気圧は高くなり、光束も増加し、やが
て安定する。このときの金属蒸気圧はランプ電圧に比例
すると考えてよい。
ンプと呼ぶ）は、放電開始直後の放電管内の圧力が低
く、放電エネルギにより発光する金属の蒸気圧が低いの
で、発光光束が少ない。そして、放電管温度が上昇する
につれて、金属蒸気圧は高くなり、光束も増加し、やが
て安定する。このときの金属蒸気圧はランプ電圧に比例
すると考えてよい。
【０００３】従来のＨＩＤランプの点灯装置を図１３に
示す。この放電灯点灯装置では、交流電源ＡＣに銅鉄型
の安定器Ｌを介してＨＩＤランプＬａを接続してある。
この放電灯点灯装置の出力特性を図１４に示す。ＨＩＤ
ランプＬａの点灯直後のＡ点ではランプ電圧ＶLaが低
く、光出力が安定するＢ点ではランプ電圧ＶLaが高くな
り、動作点が上記Ａ点からＢ点まで徐々に移動して行
く。このため、ＨＩＤランプＬａは光束（光出力）が安
定するまでに時間がかかる。
示す。この放電灯点灯装置では、交流電源ＡＣに銅鉄型
の安定器Ｌを介してＨＩＤランプＬａを接続してある。
この放電灯点灯装置の出力特性を図１４に示す。ＨＩＤ
ランプＬａの点灯直後のＡ点ではランプ電圧ＶLaが低
く、光出力が安定するＢ点ではランプ電圧ＶLaが高くな
り、動作点が上記Ａ点からＢ点まで徐々に移動して行
く。このため、ＨＩＤランプＬａは光束（光出力）が安
定するまでに時間がかかる。
【０００４】そこで、図１４における動作点がＡ点から
Ｂ点に移行するときに、放電灯点灯装置の出力を増加さ
せ、ＨＩＤランプＬａに過剰なランプ電流ＩLaを流すこ
とにより、発光管温度を急激に増加させて、光束安定ま
での時間を短縮する方式を採用したものがある。その回
路例を図１５に示す。この放電灯点灯装置では、基本的
には、中間タップと一端との間に交流電源ＡＣが接続さ
れたリーケージトランスＬＴのフルタップ出力（昇圧出
力）を安定器Ｌを介してＨＩＤランプＬａに供給するも
ので、点灯直後に過剰なランプ電流Ｉ Laを流すために、
ＨＩＤランプＬａの両端に接続されたリレーＲｙの接点
Ｓの切換により安定器Ｌを介して交流電源ＡＣを直接に
ＨＩＤランプＬａに供給するようにしてある。
Ｂ点に移行するときに、放電灯点灯装置の出力を増加さ
せ、ＨＩＤランプＬａに過剰なランプ電流ＩLaを流すこ
とにより、発光管温度を急激に増加させて、光束安定ま
での時間を短縮する方式を採用したものがある。その回
路例を図１５に示す。この放電灯点灯装置では、基本的
には、中間タップと一端との間に交流電源ＡＣが接続さ
れたリーケージトランスＬＴのフルタップ出力（昇圧出
力）を安定器Ｌを介してＨＩＤランプＬａに供給するも
ので、点灯直後に過剰なランプ電流Ｉ Laを流すために、
ＨＩＤランプＬａの両端に接続されたリレーＲｙの接点
Ｓの切換により安定器Ｌを介して交流電源ＡＣを直接に
ＨＩＤランプＬａに供給するようにしてある。
【０００５】いま、ＨＩＤランプＬａが点灯した直後に
おいては、ランプ電圧ＶLaが感応電圧以下であるので、
リレーＲｙは駆動されず、交流電源ＡＣが安定器Ｌを介
して直接にＨＩＤランプＬａに供給され、ＨＩＤランプ
Ｌａに過剰なランプ電流ＩLaが流される。そして、ＨＩ
ＤランプＬａのランプ電圧ＶLaがリレーＲｙの感応電圧
に達すると、リレーＲｙが駆動されて接点Ｓがｂ側に切
り換えられ、リーケージトランスＬＴ及び安定器Ｌを介
して交流電源ＡＣがＨＩＤランプＬａに供給され、ラン
プ電流ＩLaを小さくする。この放電灯点灯装置の出力特
性を図１６に示す。
おいては、ランプ電圧ＶLaが感応電圧以下であるので、
リレーＲｙは駆動されず、交流電源ＡＣが安定器Ｌを介
して直接にＨＩＤランプＬａに供給され、ＨＩＤランプ
Ｌａに過剰なランプ電流ＩLaが流される。そして、ＨＩ
ＤランプＬａのランプ電圧ＶLaがリレーＲｙの感応電圧
に達すると、リレーＲｙが駆動されて接点Ｓがｂ側に切
り換えられ、リーケージトランスＬＴ及び安定器Ｌを介
して交流電源ＡＣがＨＩＤランプＬａに供給され、ラン
プ電流ＩLaを小さくする。この放電灯点灯装置の出力特
性を図１６に示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＨＩＤラン
プは、発光管内の金属蒸気が抜けることにより、発光管
内圧力が十分に上昇しなくなることがある。これをスロ
ーリークという。この場合、ランプ電圧ＶLaは低いまま
維持され、十分な光出力も得られなくなる。スローリー
クしたＨＩＤランプＬａを上記図１５の放電灯点灯装置
で点灯した場合、図１６におけるＡ点からＢ点への移行
途中におけるＣ点でＨＩＤランプが動作し続け、ＨＩＤ
ランプに過剰な電流が流れ続けることになる。
プは、発光管内の金属蒸気が抜けることにより、発光管
内圧力が十分に上昇しなくなることがある。これをスロ
ーリークという。この場合、ランプ電圧ＶLaは低いまま
維持され、十分な光出力も得られなくなる。スローリー
クしたＨＩＤランプＬａを上記図１５の放電灯点灯装置
で点灯した場合、図１６におけるＡ点からＢ点への移行
途中におけるＣ点でＨＩＤランプが動作し続け、ＨＩＤ
ランプに過剰な電流が流れ続けることになる。
【０００７】ＨＩＤランプが正常である場合には、Ａ点
からＢ点への移行は速いので、コイル等の巻線の線径は
図１３に示す放電灯点灯装置などと同等の線径でよい
が、スローリークしたＨＩＤランプの場合には、過剰な
電流が流れ続けるために、コイル等の巻線には上記電流
に耐え得る太い線径のものが要求される。即ち、線径が
細い場合には、過剰電流により発熱が著しくなり、発火
する恐れがあるからである。また、過剰な電流が流れ続
けると、ＨＩＤランプが破損してしまうこともある。
からＢ点への移行は速いので、コイル等の巻線の線径は
図１３に示す放電灯点灯装置などと同等の線径でよい
が、スローリークしたＨＩＤランプの場合には、過剰な
電流が流れ続けるために、コイル等の巻線には上記電流
に耐え得る太い線径のものが要求される。即ち、線径が
細い場合には、過剰電流により発熱が著しくなり、発火
する恐れがあるからである。また、過剰な電流が流れ続
けると、ＨＩＤランプが破損してしまうこともある。
【０００８】しかし、太い線径のものを用いると、放電
灯点灯装置が大型化すると共に重量化するという問題が
ある。本発明は上述の点に鑑みて為されたものであり、
その目的とするところは、光束安定時間を短縮できる放
電灯点灯装置において、高輝度放電灯がスローリークを
起こしても、この高輝度放電灯を破損させることがな
く、しかも装置が大型で、大重量となることがないよう
にすることにある。
灯点灯装置が大型化すると共に重量化するという問題が
ある。本発明は上述の点に鑑みて為されたものであり、
その目的とするところは、光束安定時間を短縮できる放
電灯点灯装置において、高輝度放電灯がスローリークを
起こしても、この高輝度放電灯を破損させることがな
く、しかも装置が大型で、大重量となることがないよう
にすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明では、少なくとも高輝度放電灯の始
動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達するまで
に必要な時間、定格ランプ電流よりも大きな電流を高輝
度放電灯に流すと共に、上記所定時間後は高輝度放電灯
の定格点灯状態を維持可能なランプ電流を流すようにＤ
Ｃ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御する制御回路を備
え、高輝度放電灯のランプ電圧が定格電圧に達すること
を検知するランプ電圧検知回路を上記制御回路に設け、
少なくとも高輝度放電灯の始動直後からランプ電圧が略
定格ランプ電圧に達するまでに必要な時間が経過し、且
つランプ電圧が定格電圧に達しない場合にのみ、上記制
御回路が高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能なラン
プ電流以下の電流を流すようにＤＣ−ＤＣコンバータ回
路の動作を制御している。
に、請求項１の発明では、少なくとも高輝度放電灯の始
動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達するまで
に必要な時間、定格ランプ電流よりも大きな電流を高輝
度放電灯に流すと共に、上記所定時間後は高輝度放電灯
の定格点灯状態を維持可能なランプ電流を流すようにＤ
Ｃ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御する制御回路を備
え、高輝度放電灯のランプ電圧が定格電圧に達すること
を検知するランプ電圧検知回路を上記制御回路に設け、
少なくとも高輝度放電灯の始動直後からランプ電圧が略
定格ランプ電圧に達するまでに必要な時間が経過し、且
つランプ電圧が定格電圧に達しない場合にのみ、上記制
御回路が高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能なラン
プ電流以下の電流を流すようにＤＣ−ＤＣコンバータ回
路の動作を制御している。
【００１０】
【００１１】
【作用】請求項１の発明では、上述のように少なくとも
高輝度放電灯が始動直後からランプ電圧が略定格ランプ
電圧に達するまでに必要な時間後は、高輝度放電灯の定
格点灯状態を維持可能なランプ電流を流すようにＤＣ−
ＤＣコンバータ回路の動作を制御しているので、高輝度
放電灯に過剰な電流を流し続けることを防止でき、さら
に少なくとも高輝度放電灯が始動直後からランプ電圧が
略定格ランプ電圧に達するまでに必要な時間が経過し、
且つランプ電圧が定格電圧に達しない場合にのみ、上記
制御回路が高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能なラ
ンプ電流以下の電流を流しているので、スローリークを
起こしているかどうかを識別することで、スローリーク
を起こした高輝度放電灯には定格点灯状態を維持可能な
ランプ電流以下の電流を流すことができるから、高輝度
放電灯の破損を防止できるようにし、またコイル等の巻
線の線径を太くする必要をなくして、装置が大型化，大
重量化することがないようにしたものである。
高輝度放電灯が始動直後からランプ電圧が略定格ランプ
電圧に達するまでに必要な時間後は、高輝度放電灯の定
格点灯状態を維持可能なランプ電流を流すようにＤＣ−
ＤＣコンバータ回路の動作を制御しているので、高輝度
放電灯に過剰な電流を流し続けることを防止でき、さら
に少なくとも高輝度放電灯が始動直後からランプ電圧が
略定格ランプ電圧に達するまでに必要な時間が経過し、
且つランプ電圧が定格電圧に達しない場合にのみ、上記
制御回路が高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能なラ
ンプ電流以下の電流を流しているので、スローリークを
起こしているかどうかを識別することで、スローリーク
を起こした高輝度放電灯には定格点灯状態を維持可能な
ランプ電流以下の電流を流すことができるから、高輝度
放電灯の破損を防止できるようにし、またコイル等の巻
線の線径を太くする必要をなくして、装置が大型化，大
重量化することがないようにしたものである。
【００１２】
【００１３】
【実施例】（参考例） 図１に本発明の参考例としての放電灯点灯装置を示す。
この放電灯点灯装置は、直流電源Ｅの電圧をＤＣ−ＤＣ
コンバータ回路としての昇圧チョッパ回路１で昇圧し、
この昇圧電圧を高周波電圧にインバータ回路２で変換
し、このインバータ回路２の出力で高輝度放電灯（以
下、ＨＩＤランプと呼ぶ）Ｌａを点灯するものである。
なお、直流電源Ｅは交流電源を整流平滑して得たものを
含む。また、この直流電源Ｅは電源スイッチＳＷ1 を介
して昇圧チョッパ回路１に供給され、昇圧チョッパ回路
１の入力端には雑音防止用のフィルタコンデンサＣ1 を
並列接続してある。
この放電灯点灯装置は、直流電源Ｅの電圧をＤＣ−ＤＣ
コンバータ回路としての昇圧チョッパ回路１で昇圧し、
この昇圧電圧を高周波電圧にインバータ回路２で変換
し、このインバータ回路２の出力で高輝度放電灯（以
下、ＨＩＤランプと呼ぶ）Ｌａを点灯するものである。
なお、直流電源Ｅは交流電源を整流平滑して得たものを
含む。また、この直流電源Ｅは電源スイッチＳＷ1 を介
して昇圧チョッパ回路１に供給され、昇圧チョッパ回路
１の入力端には雑音防止用のフィルタコンデンサＣ1 を
並列接続してある。
【００１４】昇圧チョッパ回路１は、チョークコイルＬ
1 、ＦＥＴＱ1 、ダイオードＤ1 及びコンデンサＣ3 か
らなり、ＦＥＴＱ1 をオン，オフさせ、このＦＥＴＱ1
のオン時にチョークコイルＬ1 に蓄積されたエネルギを
ＦＥＴＱ1 のオフ時にダイオードＤ1 を介してコンデン
サＣ3 に供給し、直流電源Ｅから供給される電圧を昇圧
するものである。なお、ＦＥＴＱ1 の両端にはコンデン
サＣ2 と抵抗Ｒ1 からなるスナバ回路を接続して、過渡
的なパルスの発生を防止してある。また、抵抗Ｒ5 はバ
イアス抵抗である。
1 、ＦＥＴＱ1 、ダイオードＤ1 及びコンデンサＣ3 か
らなり、ＦＥＴＱ1 をオン，オフさせ、このＦＥＴＱ1
のオン時にチョークコイルＬ1 に蓄積されたエネルギを
ＦＥＴＱ1 のオフ時にダイオードＤ1 を介してコンデン
サＣ3 に供給し、直流電源Ｅから供給される電圧を昇圧
するものである。なお、ＦＥＴＱ1 の両端にはコンデン
サＣ2 と抵抗Ｒ1 からなるスナバ回路を接続して、過渡
的なパルスの発生を防止してある。また、抵抗Ｒ5 はバ
イアス抵抗である。
【００１５】インバータ回路２としてはＨＩＤランプＬ
ａを高周波点灯するもの以外に、矩形波点灯あるいは直
流点灯するものであってもよい。上記昇圧チョッパ回路
１のＦＥＴＱ1 のスイッチングを制御する制御回路３
は、図３（ａ）に示す鋸波を発生する発振回路４と、Ｆ
ＥＴＱ1 の最大オンデューティを決定する電圧を出力す
る抵抗Ｒ2 〜Ｒ4 からなるオンデューティコントロール
回路５と、発振回路４の鋸波出力とオンデューティコン
トロール回路５の出力とを比較して例えば図３（ｂ），
（ｃ）に示す矩形波信号を作成するコンパレータ６と、
電源スイッチＳＷ1 の投入時点から一定時間の限時動作
を行うタイマ７と、このタイマ７の出力でオン，オフ制
御され抵抗Ｒ4 の両端を短絡，開放するトランジスタＱ
2 と、昇圧チョッパ回路１の出力電圧Ｖｏを検出する抵
抗Ｒ6 ，Ｒ7 及び可変抵抗Ｒ8 からなる出力電圧検出回
路８と、この出力電圧検出回路８の出力と発振回路４の
出力とを比較して矩形波信号を作成するコンパレータ９
と、コンパレータ６，９の夫々の出力のアンドをとるア
ンドゲート１０とで構成してある。
ａを高周波点灯するもの以外に、矩形波点灯あるいは直
流点灯するものであってもよい。上記昇圧チョッパ回路
１のＦＥＴＱ1 のスイッチングを制御する制御回路３
は、図３（ａ）に示す鋸波を発生する発振回路４と、Ｆ
ＥＴＱ1 の最大オンデューティを決定する電圧を出力す
る抵抗Ｒ2 〜Ｒ4 からなるオンデューティコントロール
回路５と、発振回路４の鋸波出力とオンデューティコン
トロール回路５の出力とを比較して例えば図３（ｂ），
（ｃ）に示す矩形波信号を作成するコンパレータ６と、
電源スイッチＳＷ1 の投入時点から一定時間の限時動作
を行うタイマ７と、このタイマ７の出力でオン，オフ制
御され抵抗Ｒ4 の両端を短絡，開放するトランジスタＱ
2 と、昇圧チョッパ回路１の出力電圧Ｖｏを検出する抵
抗Ｒ6 ，Ｒ7 及び可変抵抗Ｒ8 からなる出力電圧検出回
路８と、この出力電圧検出回路８の出力と発振回路４の
出力とを比較して矩形波信号を作成するコンパレータ９
と、コンパレータ６，９の夫々の出力のアンドをとるア
ンドゲート１０とで構成してある。
【００１６】以下、本回路の動作を説明する。電源スイ
ッチＳＷ1 が投入されると、制御回路３に駆動電圧Ｖcc
が供給され、タイマ７が限時動作を開始する。なお、こ
のタイマ７の限時時間は、少なくともＨＩＤランプＬａ
の始動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達する
までに必要な時間に設定してある。また、このタイマ７
は、限時動作期間に出力ＶT がハイレベルとなり、限時
動作の終了後にローレベルとなるものである。このた
め、スイッチＳＷ1 の投入後は、タイマ７の出力でトラ
ンジスタＱ2 がオンとなり、オンデューティコントロー
ル回路５の出力電圧は、駆動電圧Ｖccを抵抗Ｒ2 ，Ｒ3
で分圧した低い電圧（図３（ａ）のＶａ’）となる。従
って、この電圧Ｖａ’と発振回路４の出力Ｖｂとを比較
するコンパレータ６から出力される矩形波信号のオンデ
ューティは大きくなる。
ッチＳＷ1 が投入されると、制御回路３に駆動電圧Ｖcc
が供給され、タイマ７が限時動作を開始する。なお、こ
のタイマ７の限時時間は、少なくともＨＩＤランプＬａ
の始動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達する
までに必要な時間に設定してある。また、このタイマ７
は、限時動作期間に出力ＶT がハイレベルとなり、限時
動作の終了後にローレベルとなるものである。このた
め、スイッチＳＷ1 の投入後は、タイマ７の出力でトラ
ンジスタＱ2 がオンとなり、オンデューティコントロー
ル回路５の出力電圧は、駆動電圧Ｖccを抵抗Ｒ2 ，Ｒ3
で分圧した低い電圧（図３（ａ）のＶａ’）となる。従
って、この電圧Ｖａ’と発振回路４の出力Ｖｂとを比較
するコンパレータ６から出力される矩形波信号のオンデ
ューティは大きくなる。
【００１７】ここで、ＨＩＤランプＬａのランプ電圧は
始動直後低いため、インバータ回路２を介してＨＩＤラ
ンプＬａに流される電流が大きくなり、このため昇圧チ
ョッパ回路１の出力電圧Ｖｏは低い状態を保ち、この際
に出力電圧検出回路８の抵抗Ｒ6 ，Ｒ7 及び可変抵抗Ｒ
8 で分圧して出力される電圧が、オンデューティコント
ロール回路５の出力電圧Ｖａ’よりも低い状態になる。
このため、コンパレータ９から出力される矩形波信号の
オンデューティはコンパレータ６の出力する矩形波信号
のオンデューティよりも長くなり、少なくとも始動初期
においては、アンドゲート１０からコンパレータ６の出
力がそのまま出力される。つまり、この期間においては
昇圧チョッパ回路１が最大出力状態で動作することにな
る。
始動直後低いため、インバータ回路２を介してＨＩＤラ
ンプＬａに流される電流が大きくなり、このため昇圧チ
ョッパ回路１の出力電圧Ｖｏは低い状態を保ち、この際
に出力電圧検出回路８の抵抗Ｒ6 ，Ｒ7 及び可変抵抗Ｒ
8 で分圧して出力される電圧が、オンデューティコント
ロール回路５の出力電圧Ｖａ’よりも低い状態になる。
このため、コンパレータ９から出力される矩形波信号の
オンデューティはコンパレータ６の出力する矩形波信号
のオンデューティよりも長くなり、少なくとも始動初期
においては、アンドゲート１０からコンパレータ６の出
力がそのまま出力される。つまり、この期間においては
昇圧チョッパ回路１が最大出力状態で動作することにな
る。
【００１８】なお、この際に昇圧チョッパ回路１は定格
ランプ電流よりも大きな電流をＨＩＤランプＬａに流す
ことができるようにオンデューティコントロール回路５
の出力電圧Ｖａ’は設定してあるので、ＨＩＤランプＬ
ａには定格ランプ電流よりも大きな過剰な電流が流れ、
これにより光束安定時間は短縮される。そして、タイマ
７に設定された時間が経過すると、タイマ７の出力がロ
ーレベルとなり、トランジスタＱ2 がオフとなる。この
場合には抵抗Ｒ4 の両端を短絡した状態が解除されるの
で、コンパレータ６には図３（ａ）に示す高い電圧Ｖａ
が入力され、コンパレータ６から出力される矩形波信号
のオンデューティが小さくなる。つまり、昇圧チョッパ
回路１から出力可能な最大出力が小さく制限されること
になる。なお、この場合に上記コンパレータ６の出力で
昇圧チョッパ回路１を動作制御した場合の出力（つまり
は、最大出力）は、定格出力を少し上回るものとなるよ
うにしてある。
ランプ電流よりも大きな電流をＨＩＤランプＬａに流す
ことができるようにオンデューティコントロール回路５
の出力電圧Ｖａ’は設定してあるので、ＨＩＤランプＬ
ａには定格ランプ電流よりも大きな過剰な電流が流れ、
これにより光束安定時間は短縮される。そして、タイマ
７に設定された時間が経過すると、タイマ７の出力がロ
ーレベルとなり、トランジスタＱ2 がオフとなる。この
場合には抵抗Ｒ4 の両端を短絡した状態が解除されるの
で、コンパレータ６には図３（ａ）に示す高い電圧Ｖａ
が入力され、コンパレータ６から出力される矩形波信号
のオンデューティが小さくなる。つまり、昇圧チョッパ
回路１から出力可能な最大出力が小さく制限されること
になる。なお、この場合に上記コンパレータ６の出力で
昇圧チョッパ回路１を動作制御した場合の出力（つまり
は、最大出力）は、定格出力を少し上回るものとなるよ
うにしてある。
【００１９】いま、ＨＩＤランプＬａが正常なものであ
る場合には、定格点灯状態で安定に点灯される。この際
に昇圧チョッパ回路１の可能な最大出力状態は定格点灯
状態よりも少し上回るものであるが、この際のオンデュ
ーティコントロール回路５の出力電圧Ｖａよりも、ＨＩ
ＤランプＬａを定格点灯させるように可変抵抗Ｒ8 が調
整された出力電圧検出回路８の出力電圧の方が高くなる
ため、コンパレータ９から出力される矩形波信号のオン
デューティで、ＦＥＴＱ1 のスイッチング制御が制御さ
れ、ＨＩＤランプＬａは定格点灯されることになる。
る場合には、定格点灯状態で安定に点灯される。この際
に昇圧チョッパ回路１の可能な最大出力状態は定格点灯
状態よりも少し上回るものであるが、この際のオンデュ
ーティコントロール回路５の出力電圧Ｖａよりも、ＨＩ
ＤランプＬａを定格点灯させるように可変抵抗Ｒ8 が調
整された出力電圧検出回路８の出力電圧の方が高くなる
ため、コンパレータ９から出力される矩形波信号のオン
デューティで、ＦＥＴＱ1 のスイッチング制御が制御さ
れ、ＨＩＤランプＬａは定格点灯されることになる。
【００２０】ＨＩＤランプＬａがスローリークを起こし
ている場合、ＨＩＤランプＬａが正常な場合のように図
２におけるＡ点からＢ点に移行せずに、Ａ点のままとな
る。つまり、ランプ電圧ＶLaが上昇しきれず、ランプ電
流ＩLaが多く流れる状態を維持する。このため、タイマ
７の限時動作が終了し、オンデューティコントロール回
路５の出力電圧がＶａになっても、出力電圧検出回路８
の出力電圧がオンデューティコントロール回路５の出力
電圧Ｖａ以上に上昇しない。従って、ＦＥＴＱ1 はコン
パレータ６の出力で制御される。つまり、昇圧チョッパ
回路１から供給される出力が図２中のＷ1 からＷ2 に低
下し、ＨＩＤランプＬａの動作点は同図中のＡ’から
Ａ”になる。なお、この場合の昇圧チョッパ回路１の最
大可能出力は上述した定格出力を少し上回る程度のもの
となる。
ている場合、ＨＩＤランプＬａが正常な場合のように図
２におけるＡ点からＢ点に移行せずに、Ａ点のままとな
る。つまり、ランプ電圧ＶLaが上昇しきれず、ランプ電
流ＩLaが多く流れる状態を維持する。このため、タイマ
７の限時動作が終了し、オンデューティコントロール回
路５の出力電圧がＶａになっても、出力電圧検出回路８
の出力電圧がオンデューティコントロール回路５の出力
電圧Ｖａ以上に上昇しない。従って、ＦＥＴＱ1 はコン
パレータ６の出力で制御される。つまり、昇圧チョッパ
回路１から供給される出力が図２中のＷ1 からＷ2 に低
下し、ＨＩＤランプＬａの動作点は同図中のＡ’から
Ａ”になる。なお、この場合の昇圧チョッパ回路１の最
大可能出力は上述した定格出力を少し上回る程度のもの
となる。
【００２１】このようにすれば、所定時間後にスローリ
ークしたＨＩＤランプＬａに過剰な電流が流されること
を防止でき、ＨＩＤランプＬａが破損することを防止で
きる。しかも、このように所定時間後にＨＩＤランプＬ
ａに流す電流を小さく制限するので、コイルの巻線等の
線径を太くしなくても済み、放電灯点灯装置が大型化，
大重量化することがない。なお、この場合にはＨＩＤラ
ンプＬａは光束は減少するが、点灯状態が維持されるの
で、車両用等に用いる場合に応急的にそのまま使用する
ことが可能であるという利点もある。
ークしたＨＩＤランプＬａに過剰な電流が流されること
を防止でき、ＨＩＤランプＬａが破損することを防止で
きる。しかも、このように所定時間後にＨＩＤランプＬ
ａに流す電流を小さく制限するので、コイルの巻線等の
線径を太くしなくても済み、放電灯点灯装置が大型化，
大重量化することがない。なお、この場合にはＨＩＤラ
ンプＬａは光束は減少するが、点灯状態が維持されるの
で、車両用等に用いる場合に応急的にそのまま使用する
ことが可能であるという利点もある。
【００２２】（実施例１） 図４に本発明の一実施例を示す。上述の参考例の場合に
はＨＩＤランプＬａが正常であるかどうかに関係なく、
オンデューティコントロール回路５の出力電圧を切り換
えて、昇圧チョッパ回路１の可能最大出力を調整してい
たが、本実施例の場合にはＨＩＤランプＬａが正常であ
る場合には昇圧チョッパ回路１の可能最大出力を小さく
制限しないようにしたものである。
はＨＩＤランプＬａが正常であるかどうかに関係なく、
オンデューティコントロール回路５の出力電圧を切り換
えて、昇圧チョッパ回路１の可能最大出力を調整してい
たが、本実施例の場合にはＨＩＤランプＬａが正常であ
る場合には昇圧チョッパ回路１の可能最大出力を小さく
制限しないようにしたものである。
【００２３】このため、本実施例ではＨＩＤランプＬａ
のランプ電圧Ｌａが所定電圧に達することを検出するラ
ンプ電圧検出回路としてのコンパレータ１１と、このコ
ンパレータ１１の出力とタイマ７の出力とのオアをとる
オアゲート１２とを設けてある。なお、上記コンパレー
タ１１の基準電圧ＶｒはＨＩＤランプＬａがスローリー
クを起こしていないことを判断できる程度の電圧値であ
ればよく、従って正常なＨＩＤランプＬａである場合に
はタイマ７の限時期間内にコンパレータ１１の出力がハ
イレベルとなるようにしてある。
のランプ電圧Ｌａが所定電圧に達することを検出するラ
ンプ電圧検出回路としてのコンパレータ１１と、このコ
ンパレータ１１の出力とタイマ７の出力とのオアをとる
オアゲート１２とを設けてある。なお、上記コンパレー
タ１１の基準電圧ＶｒはＨＩＤランプＬａがスローリー
クを起こしていないことを判断できる程度の電圧値であ
ればよく、従って正常なＨＩＤランプＬａである場合に
はタイマ７の限時期間内にコンパレータ１１の出力がハ
イレベルとなるようにしてある。
【００２４】本実施例の動作は、ＨＩＤランプＬａが正
常である場合、図５（ａ）に示すタイマ７の限時動作期
間τS にＨＩＤランプＬａのランプ電圧ＶLaが基準電圧
Ｖｒを越えるので、同図（ｃ）に示すようにコンパレー
タ１１の出力電圧Ｖｄがハイレベルとなる。このため、
タイマ７の限時時間の経過後もオアゲート１２の出力は
ハイレベル状態に保持され、このためトランジスタＱ2
はオン状態に維持され、コンパレータ６から出力される
矩形波信号Ｖｃのオンデューティは図５（ｄ）に示すよ
うに大きな状態に維持される。よって、本実施例の場合
には昇圧チョッパ回路１の最大出力の出力可能状態は図
５（ｅ）に示すように大きなまま保持される。なお、こ
の場合にも実際の昇圧チョッパ回路１の出力は出力電圧
検出回路８の出力電圧で決まるので、参考例と同様にＨ
ＩＤランプＬａは図５（ｅ）に破線で示す定格点灯状態
で点灯される。
常である場合、図５（ａ）に示すタイマ７の限時動作期
間τS にＨＩＤランプＬａのランプ電圧ＶLaが基準電圧
Ｖｒを越えるので、同図（ｃ）に示すようにコンパレー
タ１１の出力電圧Ｖｄがハイレベルとなる。このため、
タイマ７の限時時間の経過後もオアゲート１２の出力は
ハイレベル状態に保持され、このためトランジスタＱ2
はオン状態に維持され、コンパレータ６から出力される
矩形波信号Ｖｃのオンデューティは図５（ｄ）に示すよ
うに大きな状態に維持される。よって、本実施例の場合
には昇圧チョッパ回路１の最大出力の出力可能状態は図
５（ｅ）に示すように大きなまま保持される。なお、こ
の場合にも実際の昇圧チョッパ回路１の出力は出力電圧
検出回路８の出力電圧で決まるので、参考例と同様にＨ
ＩＤランプＬａは図５（ｅ）に破線で示す定格点灯状態
で点灯される。
【００２５】ＨＩＤランプＬａがスローリークを起こし
た場合、図６（ｂ）に示すようにＨＩＤランプＬａのラ
ンプ電圧ＶLaは基準電圧Ｖｒに達しないので、コンパレ
ータ１１の出力電圧Ｖｄはローレベル状態を保持する。
従って、タイマ７の限時時間τS 経過後にトランジスタ
Ｑ2 がオフされ、図６（ｃ）に示すようにコンパレータ
６から出力される矩形波信号Ｖｃのオンデューティが小
さくなる。従って、実施例１の場合と同様にして、ＨＩ
ＤランプＬａに流れる電流が小さく抑えられる。
た場合、図６（ｂ）に示すようにＨＩＤランプＬａのラ
ンプ電圧ＶLaは基準電圧Ｖｒに達しないので、コンパレ
ータ１１の出力電圧Ｖｄはローレベル状態を保持する。
従って、タイマ７の限時時間τS 経過後にトランジスタ
Ｑ2 がオフされ、図６（ｃ）に示すようにコンパレータ
６から出力される矩形波信号Ｖｃのオンデューティが小
さくなる。従って、実施例１の場合と同様にして、ＨＩ
ＤランプＬａに流れる電流が小さく抑えられる。
【００２６】但し、本実施例の場合には正常なＨＩＤラ
ンプＬａとスローリークを起こしたＨＩＤランプＬａと
を正確に識別できるので、参考例のように少なくとも正
常なＨＩＤランプＬａの始動直後からランプ電圧が略定
格ランプ電圧に達するまでに必要な時間を経過した後
に、ＨＩＤランプＬａを定格点灯させる出力を供給する
必要はない。そこで、本実施例ではオンデューティコン
トロール回路５の出力電圧Ｖａを高く設定して、スロー
リークを起こしたＨＩＤランプＬａには定格点灯以下の
出力を供給するようにしてある。従って、本実施例の放
電灯点灯装置の出力特性は図７に示すようになる。
ンプＬａとスローリークを起こしたＨＩＤランプＬａと
を正確に識別できるので、参考例のように少なくとも正
常なＨＩＤランプＬａの始動直後からランプ電圧が略定
格ランプ電圧に達するまでに必要な時間を経過した後
に、ＨＩＤランプＬａを定格点灯させる出力を供給する
必要はない。そこで、本実施例ではオンデューティコン
トロール回路５の出力電圧Ｖａを高く設定して、スロー
リークを起こしたＨＩＤランプＬａには定格点灯以下の
出力を供給するようにしてある。従って、本実施例の放
電灯点灯装置の出力特性は図７に示すようになる。
【００２７】なお、本実施例の場合には図４に示す回路
構成としたが、上記動作を実現できる回路構成であれ
ば、上述の回路構成に限定されるものではないことは言
うまでもない。 （実施例２） 図８に本発明のさらに他の実施例を示す。本実施例の場
合には、発振回路４の周波数を昇圧チョッパ回路１のＦ
ＥＴＱ1 のオンデューティに応じて適切な状態に切り換
え、昇圧チョッパ回路１の昇圧効率を改善したものであ
る。
構成としたが、上記動作を実現できる回路構成であれ
ば、上述の回路構成に限定されるものではないことは言
うまでもない。 （実施例２） 図８に本発明のさらに他の実施例を示す。本実施例の場
合には、発振回路４の周波数を昇圧チョッパ回路１のＦ
ＥＴＱ1 のオンデューティに応じて適切な状態に切り換
え、昇圧チョッパ回路１の昇圧効率を改善したものであ
る。
【００２８】具体的には、発振回路５は、図９に示すよ
うに、発振回路用ＩＣ１３、抵抗Ｒ 6 ，Ｒ7 及びコンデ
ンサＣ4 で構成してあり、発振周波数は抵抗Ｒ6 ，Ｒ7
及びコンデンサＣ4 で決まるようになっている。ここ
で、本実施例では抵抗Ｒ7 の両端にトランジスタＱ3 を
接続し、このトランジスタＱ3 をタイマ７の出力ＶT を
インバータゲート１４で反転出力でオン，オフ制御する
ようになっている。
うに、発振回路用ＩＣ１３、抵抗Ｒ 6 ，Ｒ7 及びコンデ
ンサＣ4 で構成してあり、発振周波数は抵抗Ｒ6 ，Ｒ7
及びコンデンサＣ4 で決まるようになっている。ここ
で、本実施例では抵抗Ｒ7 の両端にトランジスタＱ3 を
接続し、このトランジスタＱ3 をタイマ７の出力ＶT を
インバータゲート１４で反転出力でオン，オフ制御する
ようになっている。
【００２９】従って、本実施例では図１０（ａ）のタイ
マ７の限時時間τSの経過後に同図（ｂ）に示すように
昇圧チョッパ回路１の出力が制限された場合には、トラ
ンジスタＱ3 がオンとなり、抵抗Ｒ7 が短絡される。こ
のときの発振回路４の発振周波数は抵抗Ｒ6 とコンデン
サＣ4 とで決まる高い周波数となる。なお、このように
周波数を昇圧チョッパ回路１の昇圧効率を改善するよう
に可変する場合には次の点に留意する必要がある。つま
り、昇圧チョッパ回路１のチョークコイルＬ1 に蓄積さ
れるエネルギを蓄積し、そのエネルギを放出する動作の
繰り返し期間の間に不要な間欠期間を設けないようにす
る必要がある。
マ７の限時時間τSの経過後に同図（ｂ）に示すように
昇圧チョッパ回路１の出力が制限された場合には、トラ
ンジスタＱ3 がオンとなり、抵抗Ｒ7 が短絡される。こ
のときの発振回路４の発振周波数は抵抗Ｒ6 とコンデン
サＣ4 とで決まる高い周波数となる。なお、このように
周波数を昇圧チョッパ回路１の昇圧効率を改善するよう
に可変する場合には次の点に留意する必要がある。つま
り、昇圧チョッパ回路１のチョークコイルＬ1 に蓄積さ
れるエネルギを蓄積し、そのエネルギを放出する動作の
繰り返し期間の間に不要な間欠期間を設けないようにす
る必要がある。
【００３０】いま、図１１の（ｂ）に示すように、チョ
ークコイルＬ1 に蓄積されるエネルギを蓄積し、そのエ
ネルギを放出する動作の繰り返し期間の間に不要な間欠
期間があると、チョークコイルＬ1 に流れる電流ＩL1に
停止期間が生じ、損失が増加して、効率良く昇圧を行え
ない。逆に、図１１（ｃ）に示すように、エネルギを放
出しきらない内にエネルギの蓄積動作に移行すると、昇
圧チョッパ回路１を破壊してしまう。そこで、図１１の
（ａ）に示すように、チョークコイルＬ1 に蓄積される
エネルギを蓄積し、そのエネルギを放出する動作の繰り
返し期間の間に不要な間欠期間ができないようにし、且
つ蓄積，放電期間に重なりがないように、周波数を設定
することが必要である。つまり、本実施例の場合には、
昇圧チョッパ回路１の最大出力状態を可変した際に、図
１２（ａ），（ｂ）に示すようになるように発振回路４
の発振周波数を調整してある。従って、昇圧効率を改善
できる。
ークコイルＬ1 に蓄積されるエネルギを蓄積し、そのエ
ネルギを放出する動作の繰り返し期間の間に不要な間欠
期間があると、チョークコイルＬ1 に流れる電流ＩL1に
停止期間が生じ、損失が増加して、効率良く昇圧を行え
ない。逆に、図１１（ｃ）に示すように、エネルギを放
出しきらない内にエネルギの蓄積動作に移行すると、昇
圧チョッパ回路１を破壊してしまう。そこで、図１１の
（ａ）に示すように、チョークコイルＬ1 に蓄積される
エネルギを蓄積し、そのエネルギを放出する動作の繰り
返し期間の間に不要な間欠期間ができないようにし、且
つ蓄積，放電期間に重なりがないように、周波数を設定
することが必要である。つまり、本実施例の場合には、
昇圧チョッパ回路１の最大出力状態を可変した際に、図
１２（ａ），（ｂ）に示すようになるように発振回路４
の発振周波数を調整してある。従って、昇圧効率を改善
できる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１の発明では、上述のように、少
なくとも高輝度放電灯の始動直後からランプ電圧が略定
格ランプ電圧に達するまでに必要な時間、定格ランプ電
流よりも大きな電流を高輝度放電灯に流すと共に、上記
所定時間後は高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能な
ランプ電流を流すようにＤＣ−ＤＣコンバータ回路の動
作を制御する制御回路を備え、高輝度放電灯のランプ電
圧が定格電圧に達することを検知するランプ電圧検知回
路を上記制御回路に設け、少なくとも高輝度放電灯の始
動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達するまで
に必要な時間が経過し、且つランプ電圧が定格電圧に達
しない場合にのみ、上記制御回路が高輝度放電灯の定格
点灯状態を維持可能なランプ電流以下の電流を流すよう
にＤＣ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御しているの
で、スローリークを起こした高輝度放電灯に過剰な電流
を流し続けることを防止でき、このため高輝度放電灯の
破損を防止することができ、しかもコイル等の巻線の線
径を太くする必要が無いので、装置が大型化，大重量化
することがなく、さらにスローリークを起こしているか
どうかを識別する機能を有するので、スローリークを起
こした高輝度放電灯には定格点灯状態を維持可能なラン
プ電流以下の電流を流すことができる利点がある。
なくとも高輝度放電灯の始動直後からランプ電圧が略定
格ランプ電圧に達するまでに必要な時間、定格ランプ電
流よりも大きな電流を高輝度放電灯に流すと共に、上記
所定時間後は高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能な
ランプ電流を流すようにＤＣ−ＤＣコンバータ回路の動
作を制御する制御回路を備え、高輝度放電灯のランプ電
圧が定格電圧に達することを検知するランプ電圧検知回
路を上記制御回路に設け、少なくとも高輝度放電灯の始
動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達するまで
に必要な時間が経過し、且つランプ電圧が定格電圧に達
しない場合にのみ、上記制御回路が高輝度放電灯の定格
点灯状態を維持可能なランプ電流以下の電流を流すよう
にＤＣ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御しているの
で、スローリークを起こした高輝度放電灯に過剰な電流
を流し続けることを防止でき、このため高輝度放電灯の
破損を防止することができ、しかもコイル等の巻線の線
径を太くする必要が無いので、装置が大型化，大重量化
することがなく、さらにスローリークを起こしているか
どうかを識別する機能を有するので、スローリークを起
こした高輝度放電灯には定格点灯状態を維持可能なラン
プ電流以下の電流を流すことができる利点がある。
【００３２】また、請求項２の発明では、高輝度放電灯
のランプ電圧が定格電圧に達することを検知するランプ
電圧検知回路を上記制御回路に設け、少なくとも高輝度
放電灯の始動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に
達するまでに必要な時間が経過し、且つランプ電圧が定
格電圧に達しない場合にのみ、上記制御回路が高輝度放
電灯の定格点灯状態を維持可能なランプ電流以下の電流
を流すようにＤＣ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御し
ているので、高輝度放電灯がスローリークを起こしてい
るときだけ、過剰な電流を流し続けることを防止し、上
記請求項１と同様の効果を得ることができ、しかもスロ
ーリークを起こしているかどうかを識別する機能を有す
るので、スローリークを起こした高輝度放電灯には定格
点灯状態を維持可能なランプ電流以下の電流を流すこと
ができる利点もある。
のランプ電圧が定格電圧に達することを検知するランプ
電圧検知回路を上記制御回路に設け、少なくとも高輝度
放電灯の始動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に
達するまでに必要な時間が経過し、且つランプ電圧が定
格電圧に達しない場合にのみ、上記制御回路が高輝度放
電灯の定格点灯状態を維持可能なランプ電流以下の電流
を流すようにＤＣ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御し
ているので、高輝度放電灯がスローリークを起こしてい
るときだけ、過剰な電流を流し続けることを防止し、上
記請求項１と同様の効果を得ることができ、しかもスロ
ーリークを起こしているかどうかを識別する機能を有す
るので、スローリークを起こした高輝度放電灯には定格
点灯状態を維持可能なランプ電流以下の電流を流すこと
ができる利点もある。
【図１】本発明の参考例の回路図である。
【図２】同上の出力特性を示す説明図である。
【図３】同上の動作説明図である。
【図４】本発明の一実施例の回路図である。
【図５】同上による正常なＨＩＤランプの点灯時の動作
説明図である。
説明図である。
【図６】同上によるスローリークを起こしたＨＩＤラン
プの点灯時の動作説明図である。
プの点灯時の動作説明図である。
【図７】同上の出力特性の説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の回路図である。
【図９】同上の要部の具体回路図である。
【図１０】同上の動作説明図である。
【図１１】最適周波数の設定する方法のための説明図で
ある。
ある。
【図１２】最適周波数の設定した場合の説明図である。
【図１３】従来例の回路図である。
【図１４】同上の出力特性の説明図である。
【図１５】他の従来例の回路図である。
【図１６】同上の出力特性の説明図である。
１ 昇圧チョッパ回路 ２ インバータ回路 ３ 制御回路 １１ コンパレータ Ｌａ 高輝度放電灯 Ｅ 直流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05B 41/282 H02M 3/155 H05B 41/24
Claims (1)
- 【請求項１】 直流電源と、この直流電源の電圧を昇圧
するＤＣ−ＤＣコンバータ回路と、昇圧電圧を交流電圧
に変換するインバータ回路と、インバータ回路出力で点
灯される高輝度放電灯と、少なくとも高輝度放電灯の始
動直後からランプ電圧が略定格ランプ電圧に達するまで
に必要な時間、定格ランプ電流よりも大きな電流を高輝
度放電灯に流すと共に、上記所定時間後は高輝度放電灯
の定格点灯状態を維持可能なランプ電流を流すようにＤ
Ｃ−ＤＣコンバータ回路の動作を制御する制御回路とを
備え、高輝度放電灯のランプ電圧が定格電圧に達するこ
とを検知するランプ電圧検知回路を上記制御回路に設
け、少なくとも高輝度放電灯の始動直後からランプ電圧
が略定格ランプ電圧に達するまでに必要な時間が経過
し、且つランプ電圧が定格電圧に達しない場合にのみ、
上記制御回路が高輝度放電灯の定格点灯状態を維持可能
なランプ電流以下の電流を流すようにＤＣ−ＤＣコンバ
ータ回路の動作を制御して成ることを特徴とする放電灯
点灯装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11062691A JP3261142B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 放電灯点灯装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11062691A JP3261142B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 放電灯点灯装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04337294A JPH04337294A (ja) | 1992-11-25 |
| JP3261142B2 true JP3261142B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=14540545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11062691A Expired - Lifetime JP3261142B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 放電灯点灯装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3261142B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7015651B2 (en) | 2002-05-15 | 2006-03-21 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Light source device having a discharge lamp with high radiance and a current feed controller |
| US8623146B2 (en) | 2011-01-20 | 2014-01-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05251800A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Nec Corp | Ｈｅ−Ｎｅレーザ電源 |
| JPH06335256A (ja) * | 1993-05-17 | 1994-12-02 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | メタルハライドランプ用電源装置 |
| DE102004022571A1 (de) * | 2004-05-07 | 2005-12-08 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Elektronisches Vorschaltgerät für eine Lampe |
| JP2007287638A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Osamu Nakamura | 水銀灯の点灯時に消費される電力を削減するｈｉｄ電力削減装置。 |
| JP2012169080A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Denso Corp | 点灯装置、灯具および点灯方法 |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP11062691A patent/JP3261142B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7015651B2 (en) | 2002-05-15 | 2006-03-21 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Light source device having a discharge lamp with high radiance and a current feed controller |
| US8623146B2 (en) | 2011-01-20 | 2014-01-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04337294A (ja) | 1992-11-25 |
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