JP3257968B2 - 切削装置のブレードカバー - Google Patents

切削装置のブレードカバー

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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    • B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ等
の切削を行う切削装置のブレードを保護する等のために
ブレードの周囲に設けるブレードカバーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハ等を切削する切削装置に
配設される切削手段としては、図１０に示す切削手段５
０が周知である。この切削手段５０は、スピンドルハウ
ジング５１内で回転可能に支持されるスピンドル５２
と、スピンドル５２に装着される回転ブレード５３と、
回転ブレード５３の周囲を覆うようにしてスピンドルハ
ウジング５１の先端に装着されるブレードカバー５４と
から概略構成されている。
【０００３】ブレードカバー５４は、スピンドルハウジ
ング５１に取り付けた後部カバー５５と、後部カバー５
５の前面側にボルト５６で固定して後部カバー５５との
間で回転ブレード５３を挟むようにして配設する前部カ
バー５７と、後部カバー５５の上部側に着脱用ボルト５
８によって着脱自在に配設し、更に微調整用ネジ５９に
よって取り付け位置の微調整ができるブレード検出手段
６０とから構成されている。
【０００４】後部カバー５５及び前部カバー５７には、
切削時に切削水を供給する切削水供給ノズル５５ａ、５
７ａがそれぞれ配設されている。また、図１１に示すよ
うに、ブレード検出手段６０には、発光素子６１と受光
素子６２とを対峙させて備え、発光素子６１から発光し
た光を受光素子６２において受光し、受光した光の強度
に基づいて回転ブレード５３の欠けの状態を検出するこ
とができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ブレー
ド交換等のために回転ブレード５３を取り外そうとした
場合には、前部カバー５７に配設された切削水供給ノズ
ル５７ａが邪魔になるため、ボルト５６を緩めて前部カ
バー５７を後部カバー５５から取り外す必要がある。ま
た、前部カバー５７の着脱の際には、切削水供給ノズル
５７ａに回転ブレード５３が接触して回転ブレード５３
が破損する場合がある。
【０００６】更に、回転ブレード５３の取り外す際に
は、着脱用ボルト５８を緩めてブレード検出手段６０も
回転ブレード５３の外周より上方に待避させる必要があ
る。また、ブレード検出手段６０の清掃等のためにブレ
ード検出手段６０を取り外す際は、着脱用ボルト５８を
完全に取り外す必要があり、また、取り付ける場合に
は、着脱用ボルト５８を締めると共に、微調整用ボルト
５９によって取り付け位置の微調整を行う必要がある。
【０００７】このように、従来のブレードカバーは、回
転ブレード及びブレード検出手段の着脱の際に煩雑な作
業を必要としており、かかる煩雑さを解消し、着脱の容
易化及び着脱時の時間の短縮を図ることに課題を有して
いる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、被加工物を保持するチャ
ックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加
工物を切削する切削手段とを含む切削装置において、切
削手段は、回転ブレードが装着されるスピンドルと、該
スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジング
とを含み、該スピンドルハウジングには、回転ブレード
に後部側から切削水を供給する後部切削水供給ノズルが
配設されたブレードカバー本体と、該ブレードカバー本
体との間で回転ブレードを挟むようにして前部側から切
削水を供給する前部切削水供給ノズル体と、回転ブレー
ドの状態を検出するブレード検出手段とから構成される
ブレードカバーが装着されていて、前部切削水供給ノズ
ル体は、ブレードカバー本体に回転可能に係合されるア
ーム部と、アーム部に連結する前部切削水供給ノズルと
を有し、前部切削水供給ノズル体は、回転によって作用
位置と非作用位置とに位置付けられ、ブレード検出手段
は、ブレードカバー本体に上下動可能に配設され、アー
ム部に設けられた係合部材の作用によって前部切削水供
給ノズル体の 回転に連動して上下動し、作用位置と非作
用位置とに位置付けられる切削装置のブレードカバーを
提供するものである。
【０００９】このように、アーム部に設けた係合部材の
作用によって前部切削水供給ノズル体の回転に連動して
ブレード検出手段が上下動することにより、ワンタッチ
で前部切削水供給ノズル体を開閉できると共に、ブレー
ド検出手段を回転ブレードの交換等の作業の支障となら
ない上方の位置に待避させることができる。
【００１０】更に、前部切削水供給ノズル体には、係止
手段が配設され、前部切削水供給ノズル体が作用位置に
位置付けられた際に、係止手段によって作用位置の位置
付けが維持され固定されること、係止手段は、係合部を
有する板バネであり、ブレードカバー本体には、係合部
が係合する被係合部が形成されていることを付加的要件
としている。
【００１１】係止手段によって作用位置の位置付けが維
持され固定されることにより、従来使用していたボルト
が不要となり、ボルトの着脱等の作業が不要となる。
【００１２】また、前部切削水供給ノズル体が非作用位
置に位置付けられた際、ブレード検出手段は、前部切削
水供給ノズル体のアーム部に形成された係合部材から開
放され、ブレードカバー本体から離脱できることを付加
的要件としている。
【００１３】このように構成することにより、ブレード
検出手段の着脱を容易に行うことができる。
【００１４】更に、前部切削水供給ノズル体には、開閉
用の把持部材を配設したことを付加的要件としている。
【００１５】このような把持部材を配設したことによ
り、前部切削水供給ノズル体を回転させる操作を簡便に
行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
に示す切削装置１０の切削手段に配設されるブレードカ
バーについて説明する。切削装置１０においては、半導
体ウェーハ等の被加工物を保持したチャックテーブル１
１がＸ軸方向に移動し、アライメント手段１２の直下に
位置付けられてパターンマッチング等の処理によって切
削すべき領域が検出され、更にチャックテーブル１１が
Ｘ軸方向に移動することによって切削手段１３によって
切削すべき領域が切削される。
【００１７】切削手段１３は、図２に示すように、円板
状の刃である回転ブレード１４と、回転ブレード１４を
先端に装着するスピンドル１５と、スピンドル１５を回
転可能に支持するスピンドルハウジング１６とから構成
されている。そして、スピンドルハウジング１６の先端
には、ブレードカバー２０が装着されている。
【００１８】このブレードカバー２０は、スピンドルハ
ウジング１６に取り付けられるブレードカバー本体２１
と、ブレードカバー本体２１の上部側に配設するブレー
ド検出手段２２と、ブレードカバー本体２１の前部側に
配設する前部切削水供給ノズル体２３とから構成されて
いる。
【００１９】ブレードカバー本体２１は、スピンドルハ
ウジング１６の先端に取り付けられ、その下部には回転
ブレード１４に後部側から切削水を供給する後部切削水
供給ノズル２４が配設されている。また、側面側には、
前部切削水供給ノズル体２３に設けた係止手段３６の係
合部３７を係止する被係合部３８を設けており、更に、
上部からは、２本の円柱状のガイド突起２５を突出させ
ている。
【００２０】ブレード検出手段２２は、その下部に従来
例で示した図１１に示したような発光素子と受光素子と
を対峙させた検出部２６を設けており、ガイド部材２７
（図４参照）が、ブレードカバー本体２１に設けられた
ガイド溝２８にガイドされて上下動可能に係合され、ま
た、２つのガイド孔２９が、ブレードカバー本体２１か
ら上方に突出した２本のガイド突起２５にガイドされて
上下動可能に遊嵌している。また、側面側には、前部切
削水供給ノズル体２３の係合部材３０を係合する係合溝
３１を備えている。
【００２１】前部切削水供給ノズル体２３は、ブレード
カバー本体２１との間で回転ブレード１４を挟むように
して配設されており、回転軸３２を中心として回転可能
に係合されたアーム部３３と、アーム部３３に連結され
て切削水を供給する前部切削水供給ノズル３４と、アー
ム部３３を回転させるときに把持する把持部材３５とか
ら構成されている。また、アーム部３３には、ブレード
検出手段２２の係合溝３１内を動作する円柱状の突起で
ある係合部材３０を備えており、更に、ブレードカバー
本体２１との固定状態を維持するための板バネである係
止手段３６を備えている。
【００２２】このような切削装置１０において、回転ブ
レード１４がスピンドル１５に装着されており、回転ブ
レード１４の前後から切削水を供給しながら非加工物を
切削可能な状態においては、図２及び図３に示すよう
に、係止手段３６の係合部３７がブレードカバー本体２
１の被係合部３８に係合し、前部切削水供給ノズル体２
３は、作用位置に位置して全体としてブレードカバー本
体２１に係止された状態が維持され固定されている。
【００２３】回転ブレード１４を取り外す際には、ま
ず、把持部材３５を前方に持ち上げることによって、作
用位置にある前部切削水供給ノズル体２３を前側上方に
持ち上げ、係合部３７と被係合部３８との係合状態を解
き、回転軸３２を中心としてアーム部３３を上方に向け
て回転させていく。
【００２４】アーム部３３に設けられた係合部材３０
は、図２及び図３に示したように、アーム部３３の回転
前は係合溝３１の下端に位置している。この状態からア
ーム部３３を徐々に回転させていくと、係合部材３０が
係合溝３１内を上方に向かって移動し、やがて係合溝３
１の天井部３９に衝突する。そして更に把持部材３５を
持ち上げてアーム部３３を回転させると、図４及び図５
に示すように、係合部材３０が係合溝３１内を後部側に
移動しながら天井部３９を持ち上げ、ガイド部材２７が
ガイド溝２８にガイドされると共に、ガイド孔２９がガ
イド突起２５にガイドされながらブレード検出手段２２
全体を上方に押し上げる。なお、図４においては図示を
省略しているが、アーム部３３に連結された前部切削水
供給ノズル３４もアーム部３３の回転に伴い回転する。
【００２５】そして更にアーム部３３を回転させると、
アーム部３３が回転抑止部４０に衝突して回転が止ま
り、前部切削水供給ノズル体２３は、非作用位置に位置
付けられ、図６、図７及び図８に示す状態となる。この
状態では、前部切削水供給ノズル体２３の前部切削水供
給ノズル３４及びブレード検出手段２２が回転ブレード
１４の外周よりも上に押し上げられており、回転ブレー
ド１４を着脱しても、前部切削水供給ノズル３４やブレ
ード検出手段２２に衝突して回転ブレード１４を破損さ
せる危険性は少なく、回転ブレード１４の交換を行いや
すい。従って、取り付け用ナット４１を緩めてスピンド
ル１５の先端から取り外すだけで、回転ブレード１４の
着脱を容易に行うことができる。
【００２６】このようにして前部切削水供給ノズル体２
３が非作用位置に位置付けられたとき、係合部材３０
は、図８に示したように、係合溝３１の開放部４２の直
上に位置している。従って、図９に示すように、ブレー
ド検出手段２２を上方に持ち上げることにより、係合部
材３０は係合溝３１の外部に位置することになり、係合
溝３１は係合部材３０との係合状態から開放され、ま
た、ガイド部材２７及びガイド孔２９もガイド溝２８及
びガイド突起２５との係合状態から開放されて、ブレー
ド検出手段２２は、ブレードカバー本体２１から離脱さ
せることができる。
【００２７】一方、一度ブレードカバー本体２１から離
脱させたブレード検出手段２２は、次のようにブレード
カバー本体２１に装着される。まず、開放部４２を介し
て係合部材３０を係合溝３１にはめ込む。そして、アー
ム部３３を逆に回転させることにより、今度は係合部材
３０が係合溝３１内を前部側に移動し、ブレード検出手
段２２は、ガイド部材２７がガイド溝２８にガイドされ
ると共にガイド孔２９がガイド突起２５にガイドされな
がら下降し、図２及び図３に示したように、前部切削水
供給ノズル体２３が作用位置に位置付けられたときに、
ブレード検出手段２２も作用位置に戻る。このとき、前
部切削水供給ノズル体２３は、係止手段３６の係合部３
７が被係合部３８に係合して作用位置への位置付けが維
持されて固定される。
【００２８】このように、前部切削水供給ノズル体２３
とブレード検出手段２２とは連動し、係合部材３０の作
用によって、前部切削水供給ノズル体２３が作用位置に
位置付けられるとブレード検出手段２２も作用位置に位
置付けられ、前部切削水供給ノズル体２３が非作用位置
に位置付けられるとブレード検出手段２２も非作用位置
位置付けられる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る切削
装置のブレードカバーは、切削水供給ノズル体とブレー
ド検出手段とが連動して位置付けられることにより、従
来のように、個別に着脱を行う必要がなくなり、作業の
効率化を図ることができ、また、アーム部に設けた係合
部材の作用によって前部切削水供給ノズル体の回転に連
動してブレード検出手段が上下動することにより、ワン
タッチで前部切削水供給ノズル体を開閉できると共に、
ブレード検出手段を回転ブレードの交換等の作業の支障
とならない上方の位置に待避させることができる、更
に、係止手段によって作用位置の位置付けが維持され固
定されることにより、従来使用していたボルトが不要と
なり、ボルトの着脱等の作業が不要となるため、回転ブ
レードの交換作業に要する時間を短縮することができ
る。
【００３０】また、前部切削水供給ノズル体が非作用位
置に位置付けられた際、ブレード検出手段は、前部切削
水供給ノズル体のアーム部に形成された係合部材から開
放され、ブレードカバー本体から離脱できることによ
り、ブレード検出手段の着脱を容易に行うことができ、
ブレード検出手段の清掃等を容易に行うことができる。
【００３１】更に、前部切削水供給ノズル体には、開閉
用の把持部材を配設したことにより、前部切削水供給ノ
ズル体を回転させる操作を簡便に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る切削装置のブレードカバーが配設
される切削装置を示す斜視図である。
【図２】同切削装置のブレードカバーの実施に形態の一
例を示す斜視図である。
【図３】同切削装置のブレードカバーにおいて、前部切
削水供給ノズル体とブレードカバー本体及びブレード検
出手段との係合状態を示す説明図である。
【図４】同切削装置のブレードカバーにおいて、前部切
削水供給ノズル体とブレード検出手段とが連動する様子
を示す斜視図である。
【図５】同切削装置のブレードカバーにおいて、前部切
削水供給ノズル体とブレードカバー本体及びブレード検
出手段との係合状態を示す説明図である。
【図６】同切削装置のブレードカバーにおいて、前部切
削水供給ノズル体とブレード検出手段とが連動する様子
を示す斜視図である。
【図７】同切削装置のブレードカバーが非作用位置に位
置付けられた状態を示す側面図である。
【図８】同切削装置のブレードカバーにおいて、前部切
削水供給ノズル体とブレードカバー本体及びブレード検
出手段との係合状態を示す説明図である。
【図９】同切削装置のブレードカバーにおいて、ブレー
ド検出手段を着脱する様子を示す斜視図である。
【図１０】従来の切削装置のブレードカバーを示す斜視
図である。
【図１１】従来のブレード検出手段の構成を示す説明図
である。
【符号の説明】
１０：切削装置 １１：チャックテーブル １２：アラ
イメント手段 １３：切削手段 １４：回転ブレード １５：スピンド
ル １６：スピンドルハウジング ２０：ブレードカバー ２１：ブレードカバー本体 ２
２：ブレード検出手段 ２３：前部切削水供給ノズル体 ２４：後部切削水供給
ノズル ２５：ガイド突起 ２６：検出部 ２７：ガイド部材
２８：ガイド溝 ２９：ガイド孔 ３０：係合部材 ３１：係合溝 ３
２：回転軸 ３３：アーム部 ３４：前部切削水供給ノズル ３５：
把持部材 ３６：係止手段 ３７：係合部 ３８：被係合部 ３
９：天井部 ４０：回転抑止部 ４１：取り付け用ナット ４２：開
放部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 7/00 B28D 5/02 H01L 21/301 B24B 27/06

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】被加工物を保持するチャックテーブルと、
    該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切
    削手段とを含む切削装置において、 前記切削手段は、回転ブレードが装着されるスピンドル
    と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウ
    ジングとを含み、 該スピンドルハウジングには、前記回転ブレードに後部
    側から切削水を供給する後部切削水供給ノズルが配設さ
    れたブレードカバー本体と、 該ブレードカバー本体との間で前記回転ブレードを挟む
    ようにして前部側から切削水を供給する前部切削水供給
    ノズル体と、 前記回転ブレードの状態を検出するブレード検出手段と
    から構成されるブレードカバーが装着されていて、前記前部切削水供給ノズル体は、ブレードカバー本体に
    回転可能に係合されるアーム部と、該アーム部に連結す
    る前部切削水供給ノズルとを有し、 前記前部切削水供給ノズル体は、前記回転によって作用
    位置と非作用位置とに位置付けられ、 ブレード検出手段は、前記ブレードカバー本体に上下動
    可能に配設され、前記アーム部に設けられた係合部材の
    作用によって前記前部切削水供給ノズル体の回転に連動
    して上下動し、作用位置と非作用位置とに位置付けられ
    る 切削装置のブレードカバー。
  2. 【請求項２】前部切削水供給ノズル体には、係止手段が
    配設され、 前記前部切削水供給ノズル体が作用位置に位置付けられ
    た際に、前記係止手段によって前記作用位置の位置付け
    が維持され固定される請求項１に記載の切削装置のブレ
    ードカバー。
  3. 【請求項３】係止手段は、係合部を有する板バネであ
    り、 ブレードカバー本体には、前記係合部が係合する被係合
    部が形成されている請求項２に記載の切削装置のブレー
    ドカバー。
  4. 【請求項４】前部切削水供給ノズル体が非作用位置に位
    置付けられた際、ブレード検出手段は、前記前部切削水
    供給ノズル体のアーム部に形成された係合部材から開放
    され、ブレードカバー本体から離脱できる請求項１、２
    または３に記載の切削装置のブレードカバー。
  5. 【請求項５】前部切削水供給ノズル体には、開閉用の把
    持部材を配設した請求項１、２、３または４に記載の切
    削装置のブレードカバー。
JP19562397A 1997-07-22 1997-07-22 切削装置のブレードカバー Expired - Lifetime JP3257968B2 (ja)

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Cited By (1)

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