JP3254269B2 - 静電気除去用カーボンブラシ - Google Patents

静電気除去用カーボンブラシ

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JP3254269B2
JP3254269B2 JP31002092A JP31002092A JP3254269B2 JP 3254269 B2 JP3254269 B2 JP 3254269B2 JP 31002092 A JP31002092 A JP 31002092A JP 31002092 A JP31002092 A JP 31002092A JP 3254269 B2 JP3254269 B2 JP 3254269B2
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JP
Japan
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static electricity
semiconductor device
carbon brush
removing static
carbon
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JP31002092A
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JPH05243405A (ja
Inventor
ユーン セオ ジュン
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エルジイ・セミコン・カンパニイ・リミテッド
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/14—Means for supporting or protecting brushes or brush holders
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02B—BOARDS, SUBSTATIONS OR SWITCHING ARRANGEMENTS FOR THE SUPPLY OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02B3/00—Apparatus specially adapted for the manufacture, assembly, or maintenance of boards or switchgear
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/02—Carrying-off electrostatic charges by means of earthing connections

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスの梱
包、組立て、マーキング等の種々の作業実施間に発生す
る静電気を除去することによって半導体デバイスを保護
することを可能とする静電気除去用カーボンブラシに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体の梱包、組立て、マーキン
グ等の工程においては、半導体デバイスに静電気が蓄積
され、移送、組立て、試験、マーキング等の工程間に放
電して、半導体デバイスがしばしば破損するという不具
合があった。これは、半導体デバイスに発生した静電気
を、これらの工程間に除去する手段や装置がなかったた
めである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このため、不良率が上
昇し、生産性が損なわれ、更に、特にマーキングや組立
て工程中における半導体デバイスの静電気による破損
は、重大な経済的損失をもたらす等の問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、上記の問題点を解決する
ために、半導体デバイスの梱包、組立て、マーキング等
の種々の工程間に発生する静電気を除去することによっ
て半導体デバイスを保護することを可能とする静電気除
去用カーボンブラシを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明になる半導体デバイスの静電気除去用カーボ
ンブラシは、柔軟な複数の導電性カーボン繊維と、上記
カーボン繊維の上端を半導体デバイス吸着パッドの外周
に固定する電気導体からなる固定リングから成り、上記
カーボン繊維は、接触する半導体デバイスの静電気をカ
ーボン繊維を通して放電するように導体を経由して接地
されている。
【０００６】
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【作用】半導体デバイスの静電気は、半導体デバイスと
接触するカーボンブラシを通して除去されるので、移
送、組立て、試験、マーキング等の工程間に静電気が蓄
積されることはなく、静電気の放電による半導体デバイ
スの破損を防止することができる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例である静電気除去用カーボン
ブラシを、添付図面を参照して説明する。
【００１１】図１は、参考例を示す斜視図であり、図２
は、参考例の静電気除去用カーボンブラシを、半導体デ
バイスの通路上において使用中の状況を示す図である。
【００１２】図１及び図２に示すように、柔軟な複数の
導電性カーボン繊維２が、その上端でブラシ状に固定バ
ー１に固定されている。更に、上記固定バー１の両端に
は、左右の支持板７ａ，７ｂが、半導体デバイス３の通
路の左右に位置し、上記カーボン繊維２が上記半導体デ
バイス３の上部に接触するように取り付けられている。
【００１３】上記半導体デバイス３の静電気を、上記カ
ーボン繊維２を通して放電するために、上記カーボン繊
維２は導体を経由して接地６されている。なお、上記固
定バー１を導体で構成し、該固定バー１を接地６しても
よい。
【００１４】図３は、本発明の実施例を示す図である。
【００１５】カーボン繊維２は、半導体吸着パッド４の
外周に装着された固定リング１ａに、吸着パッド４に吸
着される半導体デバイス３の上部に接触するように取り
付けられている。この場合、上記半導体デバイス３の静
電気を、上記カーボン繊維２を通して放電するために、
上記カーボン繊維２は導体を経由して接地６されてい
る。また、上記固定リング１ａを導体で構成し、該固定
リング１ａを接地６してもよい。
【００１６】
【発明の効果】半導体デバイスの静電気は、半導体デバ
イスと接触するカーボンブラシを通して除去されるの
で、移送、組立て、試験、マーキング等の工程間に静電
気が蓄積されることはなく、静電気の放電による半導体
デバイスの破損を防止することができる。従って、不良
率の上昇を押さえ、生産性を向上し、経済的損失を防止
できる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】静電気除去用カーボンブラシの参考例を示す斜
視図である。
【図２】静電気除去用カーボンブラシの参考例を、半導
体デバイスの通路上において使用中の状況を示す図であ
る。
【図３】本発明の静電気除去用カーボンブラシを、半導
体デバイスの吸着パッドと共に使用中の状況を示す図で
ある。
【符号の説明】
１ 固定バー、 １ａ固定リング、 ２
カーボン繊維、３ 半導体デバイス、 ４ 吸着パッ
ド、 ６ 接地、７ａ，７ｂ 支持板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 23/00 H01L 21/00 - 21/02 H05K 13/02 A46B 15/00

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】柔軟な複数のカーボン繊維と、上記カーボ
    ン繊維の上端を半導体デバイス吸着パッドの外周に固定
    する電気導体からなる固定リングから成り、上記カーボ
    ン繊維は、接触する半導体デバイスの静電気をカーボン
    繊維を通して放電するように導体を経由して接地されて
    いることを特徴とする静電気除去用カーボンブラシ。
JP31002092A 1991-12-20 1992-11-19 静電気除去用カーボンブラシ Expired - Lifetime JP3254269B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019910023620A KR100237428B1 (ko) 1991-12-20 1991-12-20 정전기 제거용 브러쉬
KR1991-23620 1991-12-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05243405A JPH05243405A (ja) 1993-09-21
JP3254269B2 true JP3254269B2 (ja) 2002-02-04

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ID=19325322

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JP31002092A Expired - Lifetime JP3254269B2 (ja) 1991-12-20 1992-11-19 静電気除去用カーボンブラシ

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KR100237428B1 (ko) 2000-01-15
US5469322A (en) 1995-11-21
JPH05243405A (ja) 1993-09-21
KR930015258A (ko) 1993-07-24

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