JP3252648B2 - クリーンルームの為の建屋構造 - Google Patents
クリーンルームの為の建屋構造Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの為の建
屋構造に係り、特に、半導体製造工場や光学製品の製造
・組立工場等において製造や組立等のための精密機器を
設置するクリーンルームの建屋の構造に関する。
屋構造に係り、特に、半導体製造工場や光学製品の製造
・組立工場等において製造や組立等のための精密機器を
設置するクリーンルームの建屋の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工場、光学製品の製造・組
立工場では、クリーンルームを設けて、温度、湿度、塵
埃量などの環境条件を適正に制御する他に、振動を軽減
する対策を講じている。振動の要因としては、製造や組
立のための精密機器自体から発生する振動以外にも、ユ
ーティリィティー関連機器から発生する振動、或いは工
場外から地盤を伝播してくる外的振動がある。ユーティ
リィティー関連機器による振動の主たる要因は、クリー
ンルーム内に清浄な空調エアを供給する空調系機械や、
製造ラインから発生するガス等の排気や給水等の用役系
機械である。工場外からの外的振動の主たる要因は、他
工場や交通機関から地盤を伝播してくる振動である。
立工場では、クリーンルームを設けて、温度、湿度、塵
埃量などの環境条件を適正に制御する他に、振動を軽減
する対策を講じている。振動の要因としては、製造や組
立のための精密機器自体から発生する振動以外にも、ユ
ーティリィティー関連機器から発生する振動、或いは工
場外から地盤を伝播してくる外的振動がある。ユーティ
リィティー関連機器による振動の主たる要因は、クリー
ンルーム内に清浄な空調エアを供給する空調系機械や、
製造ラインから発生するガス等の排気や給水等の用役系
機械である。工場外からの外的振動の主たる要因は、他
工場や交通機関から地盤を伝播してくる振動である。
【０００３】従来の代表的なクリーンルームの為の建屋
構造は、地下に空調機械や用水、排水、排ガス処理機器
等の用役機械を置くと共に、１階にクリーンルームを形
成し、地下に置いた空調機械や用役機械には振動を吸収
するダンパを装填している。更には地下室部分と１階の
建屋部分の基礎を分離して、振動の伝播を防止している
ものもある。地下に空調機械や用役機械を置く方式は、
空調機械室や用役室に建設敷地が取られない利点はある
ものの、必ずしも良い除振効果が得られていない。ま
た、地下室部分と１階の建屋部分の基礎を分離した場合
には、柱が増えて構造が複雑になり機械の配置に制限を
受けやすいという弊害が生じる。
構造は、地下に空調機械や用水、排水、排ガス処理機器
等の用役機械を置くと共に、１階にクリーンルームを形
成し、地下に置いた空調機械や用役機械には振動を吸収
するダンパを装填している。更には地下室部分と１階の
建屋部分の基礎を分離して、振動の伝播を防止している
ものもある。地下に空調機械や用役機械を置く方式は、
空調機械室や用役室に建設敷地が取られない利点はある
ものの、必ずしも良い除振効果が得られていない。ま
た、地下室部分と１階の建屋部分の基礎を分離した場合
には、柱が増えて構造が複雑になり機械の配置に制限を
受けやすいという弊害が生じる。
【０００４】別の代表的なクリーンルームの為の建屋構
造としては、クリーンルームを設置する本体建屋の隣接
地に空調機械室や用役室のためのユーティリィティー建
屋を備えたものがある。しかし、ユーティリィティー建
屋をクリーンルーム建屋に隣接させる方式は、防振の点
では理想的であるが、大きな敷地面積を必要とするの
で、工場の立地条件によっては採用できない欠点があ
る。
造としては、クリーンルームを設置する本体建屋の隣接
地に空調機械室や用役室のためのユーティリィティー建
屋を備えたものがある。しかし、ユーティリィティー建
屋をクリーンルーム建屋に隣接させる方式は、防振の点
では理想的であるが、大きな敷地面積を必要とするの
で、工場の立地条件によっては採用できない欠点があ
る。
【０００５】このように、従来のクリーンルームの為の
建屋構造は一長一短があり、防振対策及び建設敷地の有
効利用の両方を満足したものはなかった。
建屋構造は一長一短があり、防振対策及び建設敷地の有
効利用の両方を満足したものはなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のクリ
ーンルーム建屋は、振動対策を考慮して、クリーンルー
ムは２階以下の低階層に設置するのが一般的である。し
かし、近年、製品の微細化、高集積化に平行して除振技
術も顕著に進歩し、従来より高い階に設置することも可
能となってきた。このことから、建設敷地の狭い立地条
件にあっては、クリーンルーム建屋を高層化することが
提案されている。
ーンルーム建屋は、振動対策を考慮して、クリーンルー
ムは２階以下の低階層に設置するのが一般的である。し
かし、近年、製品の微細化、高集積化に平行して除振技
術も顕著に進歩し、従来より高い階に設置することも可
能となってきた。このことから、建設敷地の狭い立地条
件にあっては、クリーンルーム建屋を高層化することが
提案されている。
【０００７】クリーンルーム建屋を高層化する上で問題
になるのは、（１）付帯する空調機械室及び用役室のス
ペースを確保し、且つ振動を確実に遮断すること。
（２）地盤を伝播してくる振動や、風による建物の振動
を防ぐこと。（３）外部から見た外観が美しく、かつ建
物の中で勤務する人が快適に過ごせるように外部が良く
見えることである。特に、（３）はクリーンルームの機
能から、日射や風雨の影響を受けにくい、窓の少ない建
屋構造が好ましいが、外部から見た印象や、内部に長時
間いる人にとっての快適性を考えると重要である。
になるのは、（１）付帯する空調機械室及び用役室のス
ペースを確保し、且つ振動を確実に遮断すること。
（２）地盤を伝播してくる振動や、風による建物の振動
を防ぐこと。（３）外部から見た外観が美しく、かつ建
物の中で勤務する人が快適に過ごせるように外部が良く
見えることである。特に、（３）はクリーンルームの機
能から、日射や風雨の影響を受けにくい、窓の少ない建
屋構造が好ましいが、外部から見た印象や、内部に長時
間いる人にとっての快適性を考えると重要である。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、クリーンルーム建屋を高層化することにより
建設敷地を有効利用することができると共に、防振対策
を効果的に行うことができ、しかもクリーンルーム内の
快適性を向上することのできるクリーンルームの為の建
屋構造を提供することを目的とする。
たもので、クリーンルーム建屋を高層化することにより
建設敷地を有効利用することができると共に、防振対策
を効果的に行うことができ、しかもクリーンルーム内の
快適性を向上することのできるクリーンルームの為の建
屋構造を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、内部に複数階のクリーンルームを有する本体建
屋と、該本体建屋から分離して、本体建屋の少なくとも
２側面に沿って立設する脚部と脚部で支えられ前記本体
建屋の上方に掛け渡される機械・用役室とからなる外周
建屋で構成することを特徴とする。
る為に、内部に複数階のクリーンルームを有する本体建
屋と、該本体建屋から分離して、本体建屋の少なくとも
２側面に沿って立設する脚部と脚部で支えられ前記本体
建屋の上方に掛け渡される機械・用役室とからなる外周
建屋で構成することを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明によれば、内部に複数階のクリーンルー
ムを有する本体建屋の外側に、該本体建屋から分離し
て、本体建屋の少なくとも２側面に沿って立設する脚部
と脚部で支えられ本体建屋の上方に掛け渡される機械・
用役室とからなる外周建屋を設け、これにより空調機械
や用役機械の機械類の振動を本体建屋に伝播させること
なく、且つクリーンルームの高層化に伴って増加する機
械類を設置するスペースを確保することができる。
ムを有する本体建屋の外側に、該本体建屋から分離し
て、本体建屋の少なくとも２側面に沿って立設する脚部
と脚部で支えられ本体建屋の上方に掛け渡される機械・
用役室とからなる外周建屋を設け、これにより空調機械
や用役機械の機械類の振動を本体建屋に伝播させること
なく、且つクリーンルームの高層化に伴って増加する機
械類を設置するスペースを確保することができる。
【００１１】また、本発明の別の態様によれば、本体建
屋と外周建屋の基礎を独立させることにより地盤を伝播
してくる交通機関や他工場等の外的振動を、外周建屋の
基礎で遮断又は減衰させ、外的振動が本体建屋に伝播し
にくいようにすることができる。更に、本発明の別の態
様によれば、外周建屋に壁面を形成すると共に、この壁
面を透光性の材料で構成し、かつ本体建屋を外部環境か
ら遮断することにより、内部に複数階のクリーンルーム
を有する本体建屋が日射や風雨の影響を受けにくい条件
を満足させながら、本体建屋の建屋構造を例えば窓の多
い快適性の良い構造にすることができる。
屋と外周建屋の基礎を独立させることにより地盤を伝播
してくる交通機関や他工場等の外的振動を、外周建屋の
基礎で遮断又は減衰させ、外的振動が本体建屋に伝播し
にくいようにすることができる。更に、本発明の別の態
様によれば、外周建屋に壁面を形成すると共に、この壁
面を透光性の材料で構成し、かつ本体建屋を外部環境か
ら遮断することにより、内部に複数階のクリーンルーム
を有する本体建屋が日射や風雨の影響を受けにくい条件
を満足させながら、本体建屋の建屋構造を例えば窓の多
い快適性の良い構造にすることができる。
【００１２】更に、本発明の他の態様によれば、本体建
屋の基礎部に免震部材を備え免震効果を図る場合には、
外周建屋は少なくとも本体建屋の上半分に当たる風を遮
断する壁面を備えることにより、突風等による本体建屋
のゆれを防止することができる。
屋の基礎部に免震部材を備え免震効果を図る場合には、
外周建屋は少なくとも本体建屋の上半分に当たる風を遮
断する壁面を備えることにより、突風等による本体建屋
のゆれを防止することができる。
【００１３】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの為の建屋構造の好ましい実施例について詳説す
る。図１はクリーンルーム建屋１０の第１実施例を説明
する外観図である。また、図２はクリーンルーム建屋１
０の縦断面図である。
ルームの為の建屋構造の好ましい実施例について詳説す
る。図１はクリーンルーム建屋１０の第１実施例を説明
する外観図である。また、図２はクリーンルーム建屋１
０の縦断面図である。
【００１４】図１及び図２に示すように、本発明のクリ
ーンルーム建屋１０構造は、５階建ての本体建屋１２
と、その本体建屋１２の外側に本体建屋１２と分離して
設けられた外周建屋１４とで構成され、本体建屋１２内
の各階には、例えば半導体製造ラインを設置するクリー
ンルーム１６が形成される。外周建屋１４は、本体建屋
１２の２側面に沿って立設される複数の脚部２０と、そ
の脚部２０同士で支えられ本体建屋１２の上方に掛け渡
された機械・用役室１８とで門型状に形成され、機械・
用役室１８の基台部２２は強度を確保するためにトラス
構造を有している。この機械・用役室１８内には、空調
機２８、送風ファン３０等の空調系機械やクリーンルー
ム１６内の製造ラインで発生する排ガスの排気処理装置
３２や煙突３４、ガスを浄化するスクラバ３６、クリー
ンルーム１６内に清浄水を供給する給水装置３８等の用
役系機械が設置される。
ーンルーム建屋１０構造は、５階建ての本体建屋１２
と、その本体建屋１２の外側に本体建屋１２と分離して
設けられた外周建屋１４とで構成され、本体建屋１２内
の各階には、例えば半導体製造ラインを設置するクリー
ンルーム１６が形成される。外周建屋１４は、本体建屋
１２の２側面に沿って立設される複数の脚部２０と、そ
の脚部２０同士で支えられ本体建屋１２の上方に掛け渡
された機械・用役室１８とで門型状に形成され、機械・
用役室１８の基台部２２は強度を確保するためにトラス
構造を有している。この機械・用役室１８内には、空調
機２８、送風ファン３０等の空調系機械やクリーンルー
ム１６内の製造ラインで発生する排ガスの排気処理装置
３２や煙突３４、ガスを浄化するスクラバ３６、クリー
ンルーム１６内に清浄水を供給する給水装置３８等の用
役系機械が設置される。
【００１５】図２及び図３（図２の３−３線に沿った断
面図）に示すように、本体建屋１２の基礎４０と外周建
屋１４の基礎４２は独立分離されると共に、本体建屋１
２の基礎４０の外側を外周建屋１４の基礎４２が囲むよ
うに形成されている。更に、外周建屋１４の基礎４２は
地表面４４から本体建屋１２の基礎４０よりも深い地盤
位置まで壁状に形成される。
面図）に示すように、本体建屋１２の基礎４０と外周建
屋１４の基礎４２は独立分離されると共に、本体建屋１
２の基礎４０の外側を外周建屋１４の基礎４２が囲むよ
うに形成されている。更に、外周建屋１４の基礎４２は
地表面４４から本体建屋１２の基礎４０よりも深い地盤
位置まで壁状に形成される。
【００１６】図４に示すように、外周建屋１４の脚部２
０は四角形の４隅に立設された４本の支柱２０Ａの外側
に鉄板２０Ｂを溶接して筒状構造に形成され、且つその
筒状構造内には所定高さ間隔で十字状の補強部材２０Ｃ
（図５参照）が設けられる。これにより、脚部２０は４
本の支柱２０Ａ同士が強固に支持された剛性構造を形成
する。このように構成された筒状の脚部２０は、その脚
部２０内が空調機２８から各クリーンルーム１６に供給
する空調空気の供給ダクト及び各クリーンルーム１６か
ら還気空気を空調機２８に戻す還気ダクトとして使用さ
れる。即ち、図２に示したように、空調機２８で調整さ
れた空調空気は、屋外給気ダクト５０を通って給気用の
脚部内２０′に供給される。給気用の脚部内２０′を流
れる空調空気は、給気用の脚部内２０′と各クリーンル
ーム１６とを連絡するフレキシブルダクト５４を通って
各クリーンルーム１６に供給される。一方、クリーンル
ーム１６内の還気空気は各クリーンルーム１６と還気用
の脚部内２０′′とを連絡するフレキシブルダクト５８
を通って還気用の脚部内２０′′に排出され、屋外還気
ダクト６０を通って空調機２８に戻される。
０は四角形の４隅に立設された４本の支柱２０Ａの外側
に鉄板２０Ｂを溶接して筒状構造に形成され、且つその
筒状構造内には所定高さ間隔で十字状の補強部材２０Ｃ
（図５参照）が設けられる。これにより、脚部２０は４
本の支柱２０Ａ同士が強固に支持された剛性構造を形成
する。このように構成された筒状の脚部２０は、その脚
部２０内が空調機２８から各クリーンルーム１６に供給
する空調空気の供給ダクト及び各クリーンルーム１６か
ら還気空気を空調機２８に戻す還気ダクトとして使用さ
れる。即ち、図２に示したように、空調機２８で調整さ
れた空調空気は、屋外給気ダクト５０を通って給気用の
脚部内２０′に供給される。給気用の脚部内２０′を流
れる空調空気は、給気用の脚部内２０′と各クリーンル
ーム１６とを連絡するフレキシブルダクト５４を通って
各クリーンルーム１６に供給される。一方、クリーンル
ーム１６内の還気空気は各クリーンルーム１６と還気用
の脚部内２０′′とを連絡するフレキシブルダクト５８
を通って還気用の脚部内２０′′に排出され、屋外還気
ダクト６０を通って空調機２８に戻される。
【００１７】上記の如く構成された本発明のクリーンル
ームの為の建屋構造によれば、クリーンルームが複数階
形成された高層な本体建屋１２を跨ぐ門型状の外周建屋
１４を設けて外周建屋上の機械・用役室１８に、空調系
機械や用役系機械を設置するようにしたので、空調系機
械や用役系機械を設置する機械・用役室１８のための専
用建設敷地を要せず、且つ空調系機械や用役系機械の振
動が本体建屋１２に伝播しないようにできる。この防振
対策において、外周建屋１４は本体建屋１２から分離さ
れると共に、本体建屋１２と外周建屋１４のそれぞれの
基礎４０、４２も独立分離し、更に、本体建屋１２と外
周建屋１４との間を連絡するダクト等の付帯設備はフレ
キシブル性を有する構造に形成したので、外周建屋１４
で発生する機械的振動を略完全に遮断することができ
る。
ームの為の建屋構造によれば、クリーンルームが複数階
形成された高層な本体建屋１２を跨ぐ門型状の外周建屋
１４を設けて外周建屋上の機械・用役室１８に、空調系
機械や用役系機械を設置するようにしたので、空調系機
械や用役系機械を設置する機械・用役室１８のための専
用建設敷地を要せず、且つ空調系機械や用役系機械の振
動が本体建屋１２に伝播しないようにできる。この防振
対策において、外周建屋１４は本体建屋１２から分離さ
れると共に、本体建屋１２と外周建屋１４のそれぞれの
基礎４０、４２も独立分離し、更に、本体建屋１２と外
周建屋１４との間を連絡するダクト等の付帯設備はフレ
キシブル性を有する構造に形成したので、外周建屋１４
で発生する機械的振動を略完全に遮断することができ
る。
【００１８】また、外周建屋１４の基礎４２が本体建屋
１２の基礎４０を囲むようにしたので、地盤を伝播して
くる交通機関等の外的振動を外周建屋１４の基礎４２で
遮断又は減衰することができる。これにより、外的振動
が本体建屋１２に伝播しにくくすることができる。ま
た、外周建屋１４の脚部２０を筒状構造に形成して、そ
の脚部２０内を空調空気の給気ダクト、還気空気の還気
ダクトとして使用するようにしたので、空調機２８とク
リーンルーム１６との間に特別に空調用のダクトを配設
する必要がない。これにより、外周建屋１４は単に機械
を設置するためだけの用途の他にユーティリィティー通
路としても有効活用することができる。この場合、脚部
２０内を、例えば、給水配管、電気配線等の配設通路と
して使用してもよく、或いはクリーンルーム１６内で発
生する排気ガスの排気ダクトとして使用するようにして
もよい。
１２の基礎４０を囲むようにしたので、地盤を伝播して
くる交通機関等の外的振動を外周建屋１４の基礎４２で
遮断又は減衰することができる。これにより、外的振動
が本体建屋１２に伝播しにくくすることができる。ま
た、外周建屋１４の脚部２０を筒状構造に形成して、そ
の脚部２０内を空調空気の給気ダクト、還気空気の還気
ダクトとして使用するようにしたので、空調機２８とク
リーンルーム１６との間に特別に空調用のダクトを配設
する必要がない。これにより、外周建屋１４は単に機械
を設置するためだけの用途の他にユーティリィティー通
路としても有効活用することができる。この場合、脚部
２０内を、例えば、給水配管、電気配線等の配設通路と
して使用してもよく、或いはクリーンルーム１６内で発
生する排気ガスの排気ダクトとして使用するようにして
もよい。
【００１９】次に、本発明のクリーンルームの為の建屋
構造の第２実施例を説明する。図６は第２実施例を説明
するクリーンルーム建屋１０の構造の縦断面図であり、
図７は本体建屋に形成される複数階のクリーンルームの
うちの最上階のクリーンルーム位置での横断面図であ
る。また、第１実施例と同じ部材、装置には同符号を付
して説明する。
構造の第２実施例を説明する。図６は第２実施例を説明
するクリーンルーム建屋１０の構造の縦断面図であり、
図７は本体建屋に形成される複数階のクリーンルームの
うちの最上階のクリーンルーム位置での横断面図であ
る。また、第１実施例と同じ部材、装置には同符号を付
して説明する。
【００２０】第２実施例は、図６及び図７に示すように
本体建屋の２側面に沿って立設させる脚部２０のうちの
一方側の脚部２０の代わりに幅２ｍ程度の中空な側壁部
２１を設け、その側壁部２１の空間内をエレべータ６１
を昇降させる昇降室６２や空調系や用役系のうち特にフ
ァン６４やポンプ６６等の振動源機械を設置する振動源
機械・用役室６８として利用するようにしたことであ
る。そして、これらの振動源機械を外周建屋１４の機械
・用役室１８に設置した空調系や用役系の本体機器７０
に繋ぐようにする。振動源機械・用役室６８は図７に示
すように、エレベータの昇降室６２を挟んでファン室６
８Ａ、ポンプ室６８Ｂとに区分けされ、ファン室６８Ａ
には空調系や用役系のファン６４類が配置され、ポンプ
室６８Ｂには空調系や用役系のポンプ６６類が配置され
る。ファン室６８Ａとポンプ室６８Ｂ、及び昇降室６２
の各階は蛇腹状のフレキシブル通路７２で連絡されると
共に、本体建屋１２と外周建屋１４の間に配設されるダ
クト７４や配管７６等は全てフレキシブル性を有する構
造の部材が用いられる。その他の構成については第１実
施例と同様である。
本体建屋の２側面に沿って立設させる脚部２０のうちの
一方側の脚部２０の代わりに幅２ｍ程度の中空な側壁部
２１を設け、その側壁部２１の空間内をエレべータ６１
を昇降させる昇降室６２や空調系や用役系のうち特にフ
ァン６４やポンプ６６等の振動源機械を設置する振動源
機械・用役室６８として利用するようにしたことであ
る。そして、これらの振動源機械を外周建屋１４の機械
・用役室１８に設置した空調系や用役系の本体機器７０
に繋ぐようにする。振動源機械・用役室６８は図７に示
すように、エレベータの昇降室６２を挟んでファン室６
８Ａ、ポンプ室６８Ｂとに区分けされ、ファン室６８Ａ
には空調系や用役系のファン６４類が配置され、ポンプ
室６８Ｂには空調系や用役系のポンプ６６類が配置され
る。ファン室６８Ａとポンプ室６８Ｂ、及び昇降室６２
の各階は蛇腹状のフレキシブル通路７２で連絡されると
共に、本体建屋１２と外周建屋１４の間に配設されるダ
クト７４や配管７６等は全てフレキシブル性を有する構
造の部材が用いられる。その他の構成については第１実
施例と同様である。
【００２１】上記の如く構成された第２実施例によれ
ば、第１実施例と比べて外周建屋１４のための建設敷地
がやや大きくなる反面、第１実施例では本体建屋１２に
設置せざるを得ないエレベータ６１の昇降室６２を外周
建屋１４の側壁部２１に形成した空間内に設けることが
できるので、第２実施例の場合にも第１実施例と略同様
の効果を得ることができる。また、第２実施例では、側
壁部２１内にファン室６８Ａとポンプ室６８Ｂを設けて
機械・用役室１８に設置する機械の数を減らし外周建屋
１４に加わる荷重を低減した。これにより、第２実施例
では、外周建屋１４の屋根部分の構造の強度を第１実施
例に比べて下げることができるので、屋根構造を簡素化
できる。尚、第２実施例では、空調系や用役系の機械を
外周建屋１４の上または側壁部２１内に設けるようにし
たが、地上に置いた方が良い機器は、地上に設置した機
械・用役室７１に置くようにしてもよい。この場合も、
クリーンルーム建屋に隣接させて機械・用役室を設ける
従来のクリーンルームの為の建屋構造に比べて建設敷地
を有効利用することができる。
ば、第１実施例と比べて外周建屋１４のための建設敷地
がやや大きくなる反面、第１実施例では本体建屋１２に
設置せざるを得ないエレベータ６１の昇降室６２を外周
建屋１４の側壁部２１に形成した空間内に設けることが
できるので、第２実施例の場合にも第１実施例と略同様
の効果を得ることができる。また、第２実施例では、側
壁部２１内にファン室６８Ａとポンプ室６８Ｂを設けて
機械・用役室１８に設置する機械の数を減らし外周建屋
１４に加わる荷重を低減した。これにより、第２実施例
では、外周建屋１４の屋根部分の構造の強度を第１実施
例に比べて下げることができるので、屋根構造を簡素化
できる。尚、第２実施例では、空調系や用役系の機械を
外周建屋１４の上または側壁部２１内に設けるようにし
たが、地上に置いた方が良い機器は、地上に設置した機
械・用役室７１に置くようにしてもよい。この場合も、
クリーンルーム建屋に隣接させて機械・用役室を設ける
従来のクリーンルームの為の建屋構造に比べて建設敷地
を有効利用することができる。
【００２２】次に、本発明のクリーンルームの為の建屋
構造の第３実施例を説明する。図８は第３実施例を説明
するクリーンルームの為の建屋構造の縦断面図である。
第３実施例は、本体建屋１２と基礎４０との間に多段積
層ゴム等の免震部材８０を備え、外周建屋１４は少なく
とも本体建屋１２の上半分に当たる風を遮断する壁面８
２を備えるようにしたものである。その他の構成は第１
実施例と同様である。
構造の第３実施例を説明する。図８は第３実施例を説明
するクリーンルームの為の建屋構造の縦断面図である。
第３実施例は、本体建屋１２と基礎４０との間に多段積
層ゴム等の免震部材８０を備え、外周建屋１４は少なく
とも本体建屋１２の上半分に当たる風を遮断する壁面８
２を備えるようにしたものである。その他の構成は第１
実施例と同様である。
【００２３】このように構成された第３実施例によれ
ば、第１実施例と同様の効果が得られる他に、外周建屋
１４の防風効果によって高層の本体建屋１２がゆれるの
を防止することができると共に、地震に対する免震対策
を図ることができる。この場合、本体建屋１２の基礎に
免震部材８０を設けた場合、突風を受けて本体建屋１２
がゆれやすくなるので、外周建屋１４は少なくとも本体
建屋１２の上半分に当たる風を遮断する壁面８２を備え
ることが不可欠となる。
ば、第１実施例と同様の効果が得られる他に、外周建屋
１４の防風効果によって高層の本体建屋１２がゆれるの
を防止することができると共に、地震に対する免震対策
を図ることができる。この場合、本体建屋１２の基礎に
免震部材８０を設けた場合、突風を受けて本体建屋１２
がゆれやすくなるので、外周建屋１４は少なくとも本体
建屋１２の上半分に当たる風を遮断する壁面８２を備え
ることが不可欠となる。
【００２４】次に、本発明のクリーンルームの為の建屋
構造の第４実施例を説明する。図９は第４実施例を説明
するクリーンルームの為の建屋構造の外観図である。第
４実施例は、外周建屋１４の脚部２０同士の間にガラ
ス、透明プラスチック等の透光性の材料で形成した壁面
８４を設け、この壁面８４により本体建屋１２が外部環
境から遮断されるようにしたものである。壁面８４の一
部に本体建屋１２へのドアー８６が形成される。その他
の構成は第１実施例と同様である。
構造の第４実施例を説明する。図９は第４実施例を説明
するクリーンルームの為の建屋構造の外観図である。第
４実施例は、外周建屋１４の脚部２０同士の間にガラ
ス、透明プラスチック等の透光性の材料で形成した壁面
８４を設け、この壁面８４により本体建屋１２が外部環
境から遮断されるようにしたものである。壁面８４の一
部に本体建屋１２へのドアー８６が形成される。その他
の構成は第１実施例と同様である。
【００２５】このように構成された第４実施例によれ
ば、クリーンルーム１６を有する本体建屋１２が日射や
風雨の影響を受けにくい条件を満足させながら、本体建
屋１２の建屋構造を例えば窓の多い快適性の良い構造に
することができる。また、壁面８４にガラスや透明プラ
スチック等を使用すると共に、第１実施例で説明したよ
うに脚部２０内をユーティリィティー通路として利用す
ることでクリーンルーム建屋１０のデザイン性やクリー
ンルーム１６内の快適性をも向上させることができる。
更に、第４実施例では、本体建屋１２を外周建屋１４で
覆うことで保温効果があるので、本体建屋１２の冷暖房
エネルギーを削減でき省エネになる。
ば、クリーンルーム１６を有する本体建屋１２が日射や
風雨の影響を受けにくい条件を満足させながら、本体建
屋１２の建屋構造を例えば窓の多い快適性の良い構造に
することができる。また、壁面８４にガラスや透明プラ
スチック等を使用すると共に、第１実施例で説明したよ
うに脚部２０内をユーティリィティー通路として利用す
ることでクリーンルーム建屋１０のデザイン性やクリー
ンルーム１６内の快適性をも向上させることができる。
更に、第４実施例では、本体建屋１２を外周建屋１４で
覆うことで保温効果があるので、本体建屋１２の冷暖房
エネルギーを削減でき省エネになる。
【００２６】尚、本実施例では半導体製造に使用する精
密機器の例で説明したが、これに限定されるものではな
く、振動を制御した環境が必要な精密機器産業の全てに
適用することができる。また、第１実施例では、外周建
屋の脚部のみを筒状構造にしたが、本体建屋の支柱も筒
状構造にしてダクト等として使用してもよい。
密機器の例で説明したが、これに限定されるものではな
く、振動を制御した環境が必要な精密機器産業の全てに
適用することができる。また、第１実施例では、外周建
屋の脚部のみを筒状構造にしたが、本体建屋の支柱も筒
状構造にしてダクト等として使用してもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルームの為の建屋構造によれば、内部に複数階のクリー
ンルームが形成される本体建屋の外側に、本体建屋と分
離させて本体建屋の側面に沿って立設させた脚部及びそ
の脚部と脚部に掛け渡された機械・用役室から成る門型
状の外周建屋を設け、この機械・用役室に空調系機械や
用役系機械を設置するようにしたので、機械・用役室の
ための建設敷地を要せず、且つ効果的な防振対策を図る
ことができる。
ルームの為の建屋構造によれば、内部に複数階のクリー
ンルームが形成される本体建屋の外側に、本体建屋と分
離させて本体建屋の側面に沿って立設させた脚部及びそ
の脚部と脚部に掛け渡された機械・用役室から成る門型
状の外周建屋を設け、この機械・用役室に空調系機械や
用役系機械を設置するようにしたので、機械・用役室の
ための建設敷地を要せず、且つ効果的な防振対策を図る
ことができる。
【００２８】また、地盤を伝搬してくる交通機関等の外
的振動を、外周建屋の基礎で遮断或いは減衰させ、外的
振動が本体建屋に伝播しにくいようにできる。また、外
周建屋に透光性の材料で壁面を設けたので、本体建屋の
快適性を向上させることができると共に、省エネにな
る。また、本体建屋の基礎部に免震部材を備え免震効果
を図る場合には、外周建屋は少なくとも本体建屋の上半
分に当たる風を遮断する壁面を備えるようにしたので、
突風等による本体建屋のゆれを防止することができる。
的振動を、外周建屋の基礎で遮断或いは減衰させ、外的
振動が本体建屋に伝播しにくいようにできる。また、外
周建屋に透光性の材料で壁面を設けたので、本体建屋の
快適性を向上させることができると共に、省エネにな
る。また、本体建屋の基礎部に免震部材を備え免震効果
を図る場合には、外周建屋は少なくとも本体建屋の上半
分に当たる風を遮断する壁面を備えるようにしたので、
突風等による本体建屋のゆれを防止することができる。
【００２９】従って、本発明のクリーンルームの為の建
屋構造は、特に都会等のように広い建設敷地スペースが
確保できにくく、また交通機関等の外的振動の多い立地
条件において高層のクリーンルーム建屋を建設する場合
において極めて有効である。
屋構造は、特に都会等のように広い建設敷地スペースが
確保できにくく、また交通機関等の外的振動の多い立地
条件において高層のクリーンルーム建屋を建設する場合
において極めて有効である。
【図１】本発明のクリーンルームの為の建屋構造の第１
実施例を説明する外観図
実施例を説明する外観図
【図２】本発明のクリーンルームの為の建屋構造の第１
実施例の縦断面図
実施例の縦断面図
【図３】図２の３─３線に沿った断面図で、本体建屋の
基礎と外周建屋の基礎の関係を説明する図
基礎と外周建屋の基礎の関係を説明する図
【図４】外周建屋の脚部構造を説明する断面図
【図５】脚部の補強部材を説明する斜視図
【図６】本発明のクリーンルームの為の建屋構造の第２
実施例を説明する縦断面図
実施例を説明する縦断面図
【図７】本発明のクリーンルームの為の建屋構造の第２
実施例を説明する横断面図
実施例を説明する横断面図
【図８】本発明のクリーンルームの為の建屋構造の第３
実施例を説明する縦断面図
実施例を説明する縦断面図
【図９】本発明のクリーンルームの為の建屋構造の第４
実施例を説明する外観図
実施例を説明する外観図
１０…クリーンルーム建屋 １２…本体建屋 １４…外周建屋 １６…クリーンルーム １８…機械・用役室 ２０…外周建屋の脚部 ２２…機械・用役室の基台部 ２８…空調機 ４０…本体建屋の基礎 ４２…外周建屋の基礎 ４４…地表面 ８２…壁面 ８４…透光性の壁面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 登 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日立プラント建設株式会社内 (72)発明者 佐藤 史 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日立プラント建設株式会社内 (72)発明者 河西 正隆 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日立プラント建設株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−27282（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−6073（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−272345（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−136634（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) E04H 5/00 - 5/02 E04H 9/02 E04H 9/14 E04B 1/98 E04G 21/28 E04F 17/08 F24F 3/16 F24F 7/06
Claims (6)
- 【請求項１】 内部に複数階のクリーンルームを有する
本体建屋と、該本体建屋から分離して、本体建屋の少な
くとも２側面に沿って立設する脚部と脚部で支えられ前
記本体建屋の上方に掛け渡される機械・用役室とからな
る外周建屋で構成することを特徴とするクリーンルーム
の為の建屋構造。 - 【請求項２】 前記本体建屋と前記外周建屋の基礎が独
立していることを特徴とする請求項１のクリーンルーム
の為の建屋構造。 - 【請求項３】 前記本体建屋と前記外周建屋の間を繋ぐ
配線、ダクト、通路、搬送設備等がフレキシブルな構造
を有し、機械的振動が遮断されていることを特徴とする
請求項１又は２のクリーンルームの為の建屋構造。 - 【請求項４】 前記外周建屋は、透光性の材料で壁面が
構成され、かつ前記本体建屋が外部環境から遮断されて
いることを特徴とする請求項１、２又は３のクリーンル
ームの為の建屋構造。 - 【請求項５】 前記本体建屋は基礎部に免震部材を備
え、前記外周建屋は少なくとも本体建屋の上半分に当た
る風を遮断する壁面を備えていることを特徴とする請求
項１、２又は３のクリーンルームの為の建屋構造。 - 【請求項６】 前記外周建屋の支柱は、複数の柱を集合
したものであり、該柱同士で形成される空間をダクト、
配管、配線等を設置するユーティリィティー空間として
いることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５のク
リーンルームの為の建屋構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10527495A JP3252648B2 (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | クリーンルームの為の建屋構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10527495A JP3252648B2 (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | クリーンルームの為の建屋構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08303029A JPH08303029A (ja) | 1996-11-19 |
| JP3252648B2 true JP3252648B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=14403096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10527495A Expired - Fee Related JP3252648B2 (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | クリーンルームの為の建屋構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3252648B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3939472B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2007-07-04 | 株式会社竹中工務店 | 半導体工場 |
| JP5464814B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2014-04-09 | 大成建設株式会社 | 複合構造建物 |
-
1995
- 1995-04-28 JP JP10527495A patent/JP3252648B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08303029A (ja) | 1996-11-19 |
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