JP3249833B2 - ハンドラー装置 - Google Patents

ハンドラー装置

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JP3249833B2
JP3249833B2 JP30093791A JP30093791A JP3249833B2 JP 3249833 B2 JP3249833 B2 JP 3249833B2 JP 30093791 A JP30093791 A JP 30093791A JP 30093791 A JP30093791 A JP 30093791A JP 3249833 B2 JP3249833 B2 JP 3249833B2
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久 小野
雄二 和田
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は製品の搬送技術、特に、
半導体素子の電気的特性を試験するために用いて効果の
あるハンドラー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】デバイス特性を試験するためのハンドラ
ー装置は、半導体素子の測定に用いられる。従来、この
ようなハンドラー装置によるハンドリングは、被測定デ
バイスを搬送レールを使って個別に行っていたが、最近
では、被測定デバイスに接触するソケット、及びこのソ
ケット内に露出する電極を備えた測定基板を用い、この
測定基板に被測定デバイスを挿入して測定を行ってい
る。この場合、測定基板はテストヘッドまで搬送されて
測定子に接触し、測定基板毎に測定が行われる。
【０００３】なお、この種のハンドラー装置に関する公
知技術としては、例えば、特開昭６２−２９８７８１号
公報及び特開昭６４−４４８６４号公報がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、測定基板を用い、この基板に被測定デバイスを挿入
して測定を行うハンドリング技術は、複数台の装置を連
結し、異なる電気特性試験を連続かつ繰り返し行おうと
すると、従来、レールを用いデバイス単体で行っている
ため、デバイス形状が変わるとレールも変えねばならな
いという問題がある。このため、測定基板の自動供給、
回収機構及び測定基板の交換作業に多くの時間を要し、
作業性及び品種交換性が悪くなる。
【０００５】そこで、本発明の目的は、複数の異なる試
験を連続に行うことのできる技術を提供することにあ
る。
【０００６】また、本発明のその他の目的は、被測定デ
バイスを実装する測定基板の供給及び回収を自動化し、
測定基板の交換作業の時間を短縮することのできる技術
を提供することにある。
【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【０００９】すなわち、ローダユニット、測定部、及び
アンローダユニットを備えたハンドラー装置であって、
被測定デバイスが実装されるソケットが片面に装着され
ると共にその電極に接続されるコネクタが他面に設けら
れた測定基板と、該測定基板のコネクタに接触させて測
定を行う測定手段と、測定の済んだ前記測定基板を前記
アンローダユニットへ回収する循環手段とを具備し、前
記測定基板の供給及び回収のためのカセットを前記ロー
ダユニットに設けるようにしている。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、被測定デバイスがソケ
ットに挿入された測定基板はローダユニットから送り出
され、コンベアを介して測定部のテストヘッド上へ送り
込まれ、所定位置へ到達すると測定部側のコネクタに測
定基板側のコネクタが接触して測定が開始され、測定の
済んだ測定基板は基板上からアンローダユニットによっ
て被測定デバイスが抜かれ、基板のみがローダユニット
へ回収される。したがって、複数の異なる試験を連続に
行うことが可能になる。また、測定基板の供給、回収を
自動的に行えるようになり、交換作業の時間を短縮する
ことができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明によるハンドラー装置の一実施
例を示す斜視図である。また、図２は図１の測定部の詳
細を示す断面図である。
【００１２】測定基板１は複数の被測定デバイスを実装
しており、この測定基板１を測定するための測定部２は
筐体中央の上部に配設され、この下部には測定ユニット
３が設けられている。測定ユニット３の両側には、ロー
ダユニット４及びアンローダユニット５が配設されてい
る。ローダユニット４には着脱自在（このために、外形
寸法は標準化している）なカセット６（品種毎にソケッ
トが異なる測定基板１を収納する）が設置され、このカ
セット６へ測定基板１を搬入するために、リターンコン
ベア７が測定ユニット３内を貫通する如くに水平配置さ
れている。このリターンコンベア７には、例えば、導電
性のメッシュベルトを用いる。さらにローダユニット４
に隣接させてエレベータ８が配設され、このエレベータ
８の上部にローダ部９が設けられている。このローダ部
９に隣接させて、測定基板１を載置して測定部２へ搬入
し、更に後段へ搬送するための供給コンベア１０が長手
方向に敷設されている。供給コンベア１０の終端部近傍
には、アンローダ１１が配設され、さらにアンローダユ
ニット５には収納部１２が設けられている。
【００１３】以上の構成において、ローダユニット４で
測定基板１に規定個数の被測定デバイスが実装され、こ
れがエレベータ８によってカセット６から取り出され、
さらにローダ部９によって供給コンベア１０上へ移送さ
れる。供給コンベア１０によって搬入された測定基板１
に対し、測定ユニット３は測定基板１上の被測定デバイ
スの全数について設定項目に対する測定を行う。測定の
終了した測定基板１は、供給コンベア１０によってアン
ローダ１１へ搬送され、ここで実装されている被測定デ
バイスが測定基板１上から抜き取られ、収納部１２へ分
類される。
【００１４】測定済みデバイスが抜き取られて空になっ
た測定基板１は、リターンコンベア７によって再びロー
ダユニット４へ搬送される。ローダユニット４で上記し
たように被測定デバイスが回収された測定基板１上へ再
び実装される。被測定デバイスを実装した測定基板１
は、エレベータ８及びローダ部９を介して供給コンベア
１０上へ移送され、測定基板１が循環する。何回かの循
環によって測定対象の被測定デバイスの全ての測定が終
了すると、測定基板１はリターンコンベア７によってカ
セット６内の所定の棚に自動収納される。
【００１５】以上は測定基板１に対し単一（または１回
の測定で可能な複数の試験項目）の試験内容を繰り返し
行う場合であるが、測定内容が複数である場合には本装
置を複数台連結して行うことになる。この場合は、ロー
ダユニット４とアンローダユニット５の間に測定ユニッ
ト３を必要数だけ追加し、異なる複数の試験を行うよう
にすればよい。
【００１６】次に、図２の構成について説明する。な
お、ここでは説明の便宜上、被測定デバイスが一個のみ
を示している。
【００１７】テストヘッド１３上には２列にコネクタ１
４ｂが立設され、また、測定基板１の下部には、コネク
タ１４ｂに接触可能なようにコネクタ１４ａが設けられ
ている。測定基板１上には、ソケット１５が装着され、
このソケット１５に測定部２による測定対象の被測定デ
バイス１６が実装される。
【００１８】このような構成にあって、測定基板１が供
給コンベア１０によって測定部２の規定位置へ搬入され
ると、測定部２内に設置されたテストヘッド１３のコネ
クタ１４ｂに測定基板１のコネクタ１４ａが接触し、測
定が開始される。
【００１９】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００２０】例えば、上記実施例では、測定基板１を循
環させるものとしたが、キャリアを循環させるようにし
てもよい。
【００２１】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２２】すなわち、ローダユニット、測定部、及び
アンローダユニットを備えたハンドラー装置であって、
被測定デバイスが実装されるソケットが片面に装着され
ると共にその電極に接続されるコネクタが他面に設けら
れた測定基板と、該測定基板のコネクタに接触させて測
定を行う測定手段と、測定の済んだ前記測定基板を前記
アンローダユニットへ回収する循環手段とを具備し、前
記測定基板の供給及び回収ためのカセットを前記ローダ
ユニットに設けるようにしたので、複数の異なる試験を
連続で行うことが可能になる。また、測定基板の供給、
回収を自動的に行えるようになり、品種切換やロット切
換のための測定基板の交換作業の時間を短縮でき、量産
に対応可能なハンドラー装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるハンドラー装置の一実施例を示す
斜視図である。
【図２】図１の測定部の詳細を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 測定基板 ２ 測定部 ３ 測定ユニット ４ ローダユニット ５ アンローダユニット ６ カセット ７ リターンコンベア ８ エレベータ ９ ローダ部 １０ 供給コンベア １１ アンローダ １２ 収納部 １３ テストヘッド １４ａ，１４ｂ コネクタ １５ ソケット １６ 被測定デバイス
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−59081（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−150680（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/64 - 21/68 H05K 13/00 - 13/04

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ローダユニット、測定部、及びアンロー
    ダユニットを備えたハンドラー装置であって、被測定デ
    バイスが実装されるソケットが片面に装着されると共
    に、その電極に接続されるコネクタが他面に設けられた
    測定基板と、該測定基板のコネクタに接触させて測定を
    行う測定手段と、測定の済んだ前記測定基板を前記アン
    ローダユニットへ回収する循環手段とを具備し、前記測
    定基板の供給及び回収のためのカセットを前記ローダユ
    ニットに設けたことを特徴とするハンドラー装置。
JP30093791A 1991-11-18 1991-11-18 ハンドラー装置 Expired - Lifetime JP3249833B2 (ja)

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KR101540660B1 (ko) * 2014-11-12 2015-07-31 (주)소닉스 백라이트유닛 조립 장치의 수직승강식 지그 순환장치

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