JP3245313B2 - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、低温焼成が可能な薄板
成形用の高誘電率系の誘電体磁器組成物に関するもの
で、とりわけ高誘電率系セラミックコンデンサや積層型
セラミックコンデンサ、更にはアキシャルコンデンサ、
ディスクコンデンサ、厚膜コンデンサ等の誘電体材料と
して好適な誘電体磁器組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、高誘電率系セラミックコンデンサ
や積層型セラミックコンデンサに用いられる誘電体材料
としては、誘電率が6000〜10000程度のチタン
酸バリウム(BaTiO3 )系の誘電体磁器組成物があ
り、なかでも前記誘電体磁器組成物を用いたものとして
電気容量の観点から積層型セラミックコンデンサに多く
適用されてきた。
【0003】前記積層型セラミックコンデンサは、一般
に誘電体磁器組成物から成るグリーンシート上に電極を
形成し、該グリーンシートを所定の電気容量となるよう
に複数枚積層して前記電極を同時に焼成一体化して内部
電極が構成されている。
【0004】しかしながら、前記チタン酸バリウム(B
aTiO3 )系の誘電体磁器組成物は、焼成温度が13
00〜1400℃程度と高く、しかも積層型セラミック
コンデンサの誘電体材料として使用するためには、同時
焼成する内部電極材料として高融点、高温還元性の貴金
属であるパラジウム(Pd)や白金(Pt)等を使用し
なければならず、安価で小型・大容量の積層型セラミッ
クコンデンサを製造することが困難であるという欠点が
あった。
【0005】そこで、係る欠点を解消せんとして、誘電
率が10000以上と高い誘電体材料を用い、内部電極
間の誘電体磁器組成物のシート厚さを約30μm程度ま
で、また、対向面積も極小化して積層型セラミックコン
デンサの小型化を図るとともに、低温焼成も可能となる
ようにして内部電極材料を高価な前記貴金属から安価な
Ag−Pd等に代替し得る材料として、チタン酸バリウ
ム(BaTiO3 )に所定量のスズ酸バリウム(BaS
nO3 )及びチタン酸カルシウム(CaTiO3 )、酸
化コバルト(CoO)、酸化マンガン(MnO2 )等を
添加した誘電体磁器組成物や、チタン酸バリウム(Ba
TiO3 )、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3
に、所定量のチタン酸鉛(PbTiO3 )及びゲルマン
酸鉛(Pb5 Ge3 11)、チタン酸ビスマス(BiT
2 7 )を添加した誘電体磁器組成物が知られていた
(特公昭60−57164号公報、特公昭61−161
32号公報参照)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記チタン酸バリウム
(BaTiO3 )に所定量のスズ酸バリウム(BaSn
3 )及びチタン酸カルシウム(CaTiO3 )、酸化
コバルト(CoO)、酸化マンガン(MnO2 )等を添
加した誘電体磁器組成物は、誘電率が10000以上と
極めて高く、また、チタン酸バリウム(BaTi
3 )、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3 )に、所
定量のチタン酸鉛(PbTiO3 )及びゲルマン酸鉛
(Pb5 Ge3 11)、チタン酸ビスマス(BiTi2
7 )を添加した誘電体磁器組成物では、1200℃以
下の低温焼成が実現できる。
【0007】しかしながら、ダウンサイジングの進む電
子部品にあっては、より小型化を図るために誘電体磁器
組成物から成るシート状焼結体のより一層の薄板化が要
求されるようになり、その厚さも10μm以下となり、
その結果、異常粒成長によりシート状焼結体のレベリン
グが悪化し、内部電極を連続して形成することが困難と
なり、その結果、誘電体層一層の厚さが10μm以下の
ような薄板になると、一定量の静電容量を得ることがで
きず、小型・大容量の積層型セラミックコンデンサをは
じめ、そのような各種コンデンサを得ることができない
という課題があった。
【0008】
【発明の目的】本発明は前記課題に鑑みなされたもの
で、その目的は、厚さ10μm以下の表面が平滑な薄板
のシート状焼結体を得ることができ、かつ1200℃未
満のより低温の焼成を可能として安価な内部電極材料を
用いることができ、誘電率が10000以上と高く、小
型・大容量の積層型セラミックコンデンサをはじめ、各
種コンデンサに適用し得る誘電体磁器組成物を提供する
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の誘電体磁器組成
物は、チタンジルコン酸バリウムから成る複合酸化物を
主成分とし、該主成分100重量部に対して、酸化ネオ
ジウム(Nd2 3 )に換算したネオジウム化合物を
0.8〜1.8重量部、酸化亜鉛(ZnO)を0.8〜
2.0重量部、酸化マンガン(MnO2 )に換算したマ
ンガン化合物を0.1〜0.5重量部、更に酸化チタン
(TiO2 )に換算したチタン化合物を0.1〜1.1
重量部含有するもので、前記複合酸化物をBa(Ti
1-X Zrx )O3 と表した時、Xが 0.1<X<0.16 で示される薄板成形用の誘電体磁器組成物である。
【0010】本発明において、ネオジウム化合物は誘電
体磁器組成物の焼結性を向上し、誘電率を高くするため
に含有させるもので、その含有量が、前記主成分100
重量部に対して、酸化ネオジウム(Nd2 3 )に換算
して0.8重量部未満では誘電率が10000未満と低
下してしまい、1.8重量部を越えるとシート状焼結体
の密度及び絶縁抵抗IRが低くなって、実用範囲外とな
ってしまうことから、その含有量は0.8〜1.8重量
部に特定され、より望ましくは1.4〜1.6重量部と
なる。
【0011】また、前記酸化亜鉛(ZnO)は、誘電体
磁器組成物の焼成温度を調整するものであり、その含有
量が前記主成分100重量部に対して、0.8重量部未
満、あるいは2.0重量部を越えると、焼成温度が12
00℃以上となり、焼成後のシート状焼結体の密度が
5.7g/cm3 以下と低くなってしまい実用範囲外と
なるため、0.8〜2.0重量部に特定され、より望ま
しくは1.5〜1.8重量部となる。
【0012】更に、前記マンガン化合物は、例えば誘電
体磁器組成物の誘電損失tanδを改善するものであ
り、その含有量が前記主成分100重量部に対して、酸
化マンガン(MnO2 )に換算して0.1重量部未満で
は誘電損失tanδが2%以上と大となり、また0.5
重量部を越えると、絶縁抵抗IRが大きく低下してしま
う。
【0013】従って、マンガン化合物の含有量は、前記
主成分100重量部に対して、酸化マンガン(Mn
2 )に換算して0.1〜0.5重量部に限定され、特
に0.2〜0.3重量部が望ましい。
【0014】一方、前記チタン化合物は、例えば誘電体
磁器組成物の焼結性を向上させるために含有させるもの
であり、その添加量は前記主成分100重量部に対し
て、酸化チタン(TiO2 )に換算して0.1重量部未
満では焼成温度が1200℃以上となり、焼成後のシー
ト状焼結体の密度が5.7g/cm3 以下と低くなって
しまい実用範囲外となり、また、1.1重量部を越える
と、誘電損失tanδが1.0%を越えてしまうことか
ら、前記含有量は0.1〜1.1重量部に特定され、よ
り望ましくは0.3〜0.9重量部の範囲となる。
【0015】尚、本発明によれば、99.0%以上の高
純度のチタンジルコン酸バリウムから成る複合酸化物を
Ba(Ti1-X Zrx )O3 と表した時、高い誘電率を
維持し、かつ小型・大容量の各種コンデンサを得るため
には、Xの値は0.1を越え0.16未満に特定され、
とりわけ0.13〜0.15の範囲が望ましいものであ
る。
【0016】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物によれば、チタンジ
ルコン酸バリウムから成る複合酸化物を主成分とする誘
電体磁器組成物に、チタン化合物を更に過剰に含有させ
たことから、誘電率を10000以上に保持し、かつ1
200℃未満の低温焼成を可能としながら、その焼成温
度でも異常粒成長し難く、均一な微結晶粒径を有する緻
密な薄板のシート状焼結体が得られ、厚さ10μm以下
であっても表面が平滑となり、内部電極の連続性が保た
れるようになる。
【0017】その結果、誘電体磁器組成物として基本的
な特性である誘電損失tanδが1.0%以下、絶縁抵
抗IRが1.0×105 MΩ以上を満足し、更に、焼成
温度が1200℃未満と工業的にも製造し易く、かつ内
部電極に安価なAg/Pdの割合が70/30〜60/
40の銀−パラジウム等の電極材料を使用でき、各種セ
ラミックコンデンサに適用可能な誘電体磁器組成物が得
られる。
【0018】
【実施例】以下、本発明の誘電体磁器組成物を実施例に
基づき詳細に説明する。
【0019】(実施例1)本発明の誘電体磁器組成物を
評価するに際し、出発原料としてチタン酸バリウム(B
aTiO3 )とジルコニア(ZrO)から成る複合酸化
物として、Xが0.1〜0.16で平均粒径が1μm以
下であるBa(Ti1-X Zrx )O3 を主成分とするチ
タンジルコン酸バリウム100重量部に対して、ネオジ
ウム化合物及び酸化亜鉛(ZnO)、マンガン化合物、
チタン化合物の各粉末を、ネオジウム化合物は酸化ネオ
ジウム(Nd2 3 )に、マンガン化合物は酸化マンガ
ン(MnO2 )に、チタン化合物は酸化チタン(TiO
2 )に換算して表1に示す重量部となるように秤量し、
それらの粉末をボールミルにて20時間湿式混合粉砕し
た。
【0020】
【表1】
【0021】次いで、前記混合粉砕物に有機系粘結剤と
媒体から成るバインダーを添加して攪拌してセラミック
泥漿を調製した後、得られたセラミック泥漿を脱泡し、
該泥漿を用いてドクターブレード法によりフィルムキャ
リア上に厚さ約10μmのグリーンシートを成形した。
【0022】得られたグリーンシートを縦130mm、
横100mmの矩形状に裁断し、該矩形状シートを40
枚重ねた後、80℃の温度でホットプレスして厚さ約1
mmの積層体を作製し、該積層体を直径20mmの円板
状に打ち抜き、大気中、1090〜1220℃の範囲の
各温度で2時間焼成した。
【0023】その後、円板状焼結体の両端面に銀ペース
トを用いて電極を焼付け、評価用試料とした。
【0024】かくして得られた評価用試料を用い、基準
温度25℃、周波数1.0kHz、測定電圧1.0Vr
msの測定条件で、誘電率ε及び誘電損失tanδを測
定するとともに、直流電圧50Vを1分間印加した時の
絶縁抵抗IRを測定した。
【0025】前記測定結果から、誘電率εが10000
未満では、例えば積層型セラミックコンデンサでは小型
化ができないため、10000以上を良とし、また、誘
電損失tanδは、1.0%以上になると、例えばコン
デンサのチップ化が困難となる等のため、1.0%未満
を良と評価した。
【0026】また、絶縁抵抗IRは、1.0×105
Ω未満では、積層型セラミックコンッデンサとして絶縁
抵抗の規格を満足せず、絶縁不良となるため、1.0×
105 MΩ以上を良と評価した。
【0027】一方、アルキメデス法で密度を測定し、該
密度が5.7g/cm3 以下ではこれら高誘電率系の誘
電体磁器組成物は焼成不十分であることを示しており、
1200℃未満の低温焼成で実用的な焼結体が得られな
いことから、密度は5.7g/cm3 以上を良と評価し
た。以上の結果を、表2に示す。
【0028】
【表2】
【0029】表2から明らかなように、試料番号1、
5、6、13、19、33、34では、積層セラミック
コンデンサ等の小型・大容量化に大きく寄与する誘電率
が9600以下と低くなっており、試料番号12、1
3、19、33、34は、いずれも焼成温度が1200
℃以上で、絶縁抵抗も1.0×104 MΩ以下と低くな
っている。
【0030】また、試料番号13、20、25、32、
33は、誘電損失が1.00%以上と大きく、試料番号
26では、焼成温度を1220℃とかなり高い温度で焼
成しても密度が5.70g/cm3 未満と低く、焼結不
足となっている。
【0031】更に、前記主成分に対するネオジウム化合
物及び酸化亜鉛(ZnO)、マンガン化合物、チタン化
合物の含有量が、いずれも本願請求範囲未満となる試料
番号33では、誘電率が6200と低く、誘電損失が
2.36%、焼成温度が1220℃と高く、絶縁抵抗、
密度までも評価範囲外となってしまう。
【0032】一方、前記含有量がいずれも本願請求範囲
を越える試料番号34でも、誘電率は9200と低く、
焼成温度も1220℃と高く、絶縁抵抗、密度のいずれ
も評価範囲外となっている。
【0033】それに対して、本願発明の試料番号のもの
は、いずれも誘電率が11200以上と高く、焼成温度
も1180℃以下と低く、かつ誘電損失は0.89%以
下、密度は5.72g/cm3 以上、及び絶縁抵抗も
1.0×105 MΩと各特性を満足するものになってい
る。
【0034】(実施例2)次に、表1に示す組成で実施
例1と同様にして調製したセラミック泥漿を用いて成形
した厚さ10μmの各グリーンシート上に、銀−パラジ
ウム(Ag−Pd)粉末から成る内部電極用ペーストを
用いて電極を所定形状にスクリーン印刷した後、該電極
を印刷したグリーンシートをそれぞれ20枚積層してホ
ットプレスして一体化し、所定寸法に切断してグリーン
チップを作製した。
【0035】得られたグリーンチップを大気中、400
℃の温度で2時間保持してバインダーを完全に分解して
脱バインダーした後、それぞれ各組成に対応した表2に
示す焼成温度で、2時間保持して焼成した。
【0036】その後、焼結したチップに銀−パラジウム
(Ag−Pd)から成る外部取り出し電極を焼き付け、
評価用のチップコンデンサを作製した。
【0037】尚、前記評価用チップコンデンサの誘電体
層一層の厚さは、いずれも平均8μmであった。
【0038】かくして得られた評価用チップコンデンサ
を用い、基準温度25℃、周波数1.0kHz、測定電
圧1.0Vrmsの測定条件で、静電容量及び誘電損失
を測定するとともに、直流電圧25Vを1分間印加した
時の絶縁抵抗IRを測定し、静電容量と絶縁抵抗から抵
抗容量積を算出した。
【0039】また、表2に示した誘電率と、焼結後の評
価用チップコンデンサの内部電極面積、内部電極の間隔
及び積層数等から算出した設計容量に対する、前記評価
用チップコンデンサの測定容量の比を容量比率とした。
【0040】更に、前記評価用チップコンデンサの磁器
表面を金属顕微鏡で観察し、異常粒成長が発生している
か、否かを確認した。
【0041】以上の測定結果から、静電容量の値は、2
00nF未満では積層型セラミックコンデンサとして小
型化が困難なことから、200nF以上を良と評価し
た。
【0042】また、誘電率損失が5.0%以上になると
積層型セラミックコンデンサとして実用的でないため、
その値は5.0%未満を良とした。
【0043】一方、抵抗容量積は、10000ΩF未満
では積層型セラミックコンデンサの高温負荷寿命等、信
頼性の各種規格を満足しなくなることから、10000
ΩF以上を良と評価した。
【0044】更に、容積比率が70%未満になると、積
層型セラミックコンデンサとして小型化が困難なことか
ら、70%以上を良とした。
【0045】
【表3】
【0046】表3から明らかなように、試料番号1、
5、6、13、19、26、33、34は、いずれも静
電容量が200μF未満と小さく、積層型セラミックコ
ンデンサの小型化が実現できない。
【0047】また、試料番号13、20、25、32、
33は、誘電損失が5.0%以上となって実用範囲外と
なっている。
【0048】更に、試料番号6、12、13、19、2
0、25、26、32、33、34は、抵抗容量積が1
0000ΩF未満となって、信頼性に関する各種規格を
満足しなくなる。
【0049】また、試料番号26、33は、異常粒成長
が認められ、容量比率も70%未満と小さく誘電体層一
層の厚さが10μm以下という薄板化は困難である。
【0050】一方、前記主成分に対するネオジウム化合
物及び酸化亜鉛(ZnO)、マンガン化合物、チタン化
合物の含有量が、いずれも本願請求範囲未満となる試料
番号33では、静電容量が152nFと低く、誘電損失
も7.3%と高く、抵抗容量積が4320ΩFと低く、
容量比率も61%と評価範囲外となり、異常粒成長も発
生している。
【0051】また、前記含有量がいずれも本願請求範囲
を越える試料番号34でも、静電容量及び抵抗容量積が
いずれも評価範囲外となっている。
【0052】それに対して、本願発明の試料番号のチッ
プコンデンサは、いずれも静電容量が282nF以上と
高く、焼成温度も1180℃以下と低く、かつ誘電損失
も4.1%以下と小さく、抵抗容量積も10200以上
と高く、容量比率は85%以上を有し、異常粒成長が全
く認められないものであることが分かる。
【0053】
【発明の効果】叙上の如く、本発明の誘電体磁器組成物
は、チタンジルコン酸バリウムから成る複合酸化物を主
成分とし、該主成分にネオジウム化合物及び酸化亜鉛
(ZnO)、マンガン化合物、更にチタン化合物を含有
させたことから、誘電率が10000以上、1200℃
未満の低温焼成が可能で、厚さ10μm以下の薄板表面
が平滑で緻密なシート状焼結体を得ることができること
から、安価な内部電極材料を用いた小型・大容量の積層
型セラミックコンデンサをはじめ、各種コンデンサに適
用できる誘電体磁器組成物を得ることができる。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】チタンジルコン酸バリウムから成る複合酸
    化物をBa(Ti1-X Zrx )O3 と表した時、Xが 0.1<X<0.16 で示される主成分から成る誘電体磁器組成物において、
    前記主成分100重量部に対して、酸化ネオジウム(N
    2 3 )に換算したネオジウム化合物を0.8〜1.
    8重量部、酸化亜鉛(ZnO)を0.8〜2.0重量
    部、酸化マンガン(MnO2 )に換算したマンガン化合
    物を0.1〜0.5重量部、更に酸化チタン(Ti
    2 )に換算したチタン化合物を0.1〜1.1重量部
    含有して成ることを特徴とする誘電体磁器組成物。
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