JP3239472B2 - 洗浄装置の給排気制御方法及び被洗浄物の洗浄方法 - Google Patents
洗浄装置の給排気制御方法及び被洗浄物の洗浄方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄装置に係わり、特
に、被洗浄物が配置されるチャンバ内に清浄空間を形成
するための給排気機能を備えた洗浄装置の給排気制御方
法及び該洗浄装置を用いた被洗浄物の洗浄方法に関する
ものである。
に、被洗浄物が配置されるチャンバ内に清浄空間を形成
するための給排気機能を備えた洗浄装置の給排気制御方
法及び該洗浄装置を用いた被洗浄物の洗浄方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の洗浄装置の中には、被洗浄物が配
置されるチャンバと、このチャンバ内に清浄空間を形成
するための給気ユニット及び排気ユニットを備えたもの
がある。チャンバ内の清浄度は、給気ユニットからの給
気量と排気ユニットからの排気量とに大きく影響される
ため、従来ではチャンバ内の清浄度を低下させる状況を
想定して、装置を稼働させる前に給気ユニットからの給
気量と排気ユニットからの排気量を調整、設定してい
た。この調整では、装置稼働中に使用状況が変化しても
チャンバ内の気流が乱れないように、予め各ユニットの
給排気量を大きめに設定していた。そして、これ以降
は、上述のように設定した給気量及び排気量が一定とな
るように制御してチャンバ内の清浄度を確保するように
していた。
置されるチャンバと、このチャンバ内に清浄空間を形成
するための給気ユニット及び排気ユニットを備えたもの
がある。チャンバ内の清浄度は、給気ユニットからの給
気量と排気ユニットからの排気量とに大きく影響される
ため、従来ではチャンバ内の清浄度を低下させる状況を
想定して、装置を稼働させる前に給気ユニットからの給
気量と排気ユニットからの排気量を調整、設定してい
た。この調整では、装置稼働中に使用状況が変化しても
チャンバ内の気流が乱れないように、予め各ユニットの
給排気量を大きめに設定していた。そして、これ以降
は、上述のように設定した給気量及び排気量が一定とな
るように制御してチャンバ内の清浄度を確保するように
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところでチャンバ内の
気流は、例えばチャンバ内に設置された洗浄槽の中に薬
液が入っているかどうか、或いは洗浄槽の上部に設けら
れた槽蓋が開いているか閉じているか、さらには装置前
面に設けられた作業窓が開いているか閉じているかな
ど、洗浄装置の使用状況によって変化する。しかしなが
ら上記従来の給排気制御方法では、洗浄装置の使用状況
にかかわらず常に一定の給排気量をもってチャンバ内の
清浄が行われるため、以下のような問題があった。
（１）給気ユニットからの給気量が大きめに設定される
ことで、洗浄槽から沸き上がった薬液ミストが作業窓の
開放によって作業者側に吹き出される危険性がある。
（２）上記作業窓からの空気の吹き出しや薬液ミストの
沸き上がりによってチャンバ内の気流に乱れが生じ、チ
ャンバ内の清浄度が低下する。（３）装置の使用状況に
よっては必要以上の給排気量をもってチャンバ内の清浄
が行われるといったエネルギーの無駄が生じる。
気流は、例えばチャンバ内に設置された洗浄槽の中に薬
液が入っているかどうか、或いは洗浄槽の上部に設けら
れた槽蓋が開いているか閉じているか、さらには装置前
面に設けられた作業窓が開いているか閉じているかな
ど、洗浄装置の使用状況によって変化する。しかしなが
ら上記従来の給排気制御方法では、洗浄装置の使用状況
にかかわらず常に一定の給排気量をもってチャンバ内の
清浄が行われるため、以下のような問題があった。
（１）給気ユニットからの給気量が大きめに設定される
ことで、洗浄槽から沸き上がった薬液ミストが作業窓の
開放によって作業者側に吹き出される危険性がある。
（２）上記作業窓からの空気の吹き出しや薬液ミストの
沸き上がりによってチャンバ内の気流に乱れが生じ、チ
ャンバ内の清浄度が低下する。（３）装置の使用状況に
よっては必要以上の給排気量をもってチャンバ内の清浄
が行われるといったエネルギーの無駄が生じる。
【０００４】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、作業者の安全が確保されるとともに必要最
小限の給排気量をもってチャンバ内の清浄度を確保する
ことができる洗浄装置の給排気制御方法及び該洗浄装置
を用いた被洗浄物の洗浄方法を提供することを目的とす
る。
れたもので、作業者の安全が確保されるとともに必要最
小限の給排気量をもってチャンバ内の清浄度を確保する
ことができる洗浄装置の給排気制御方法及び該洗浄装置
を用いた被洗浄物の洗浄方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、被洗浄物が配置されるチ
ャンバと、このチャンバの上方から清浄空気を供給する
給気ユニットと、チャンバの下方で当該チャンバ内の空
気を排気する排気ユニットとを備え、給気ユニットによ
り供給された清浄空気がチャンバを通して排気ユニット
により外部に排気される洗浄装置の給排気制御方法にお
いて、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有
無、洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各
項目のうち、全ての項目について装置の使用状況を検出
するとともに、この検出結果に応じて給気ユニットから
の給気量と排気ユニットからの排気量とを可変するよう
にしたものである。また本発明は、洗浄物が配置される
チャンバと、このチャンバの上方から清浄空気を供給す
る給気ユニットと、チャンバの下方で当該チャンバ内の
空気を排気する排気ユニットとを備え、給気ユニットに
より供給された清浄空気がチャンバを通して排気ユニッ
トにより外部に排気される洗浄装置を用いた被洗浄物の
洗浄方法において、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽で
の薬液の有無、洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開
閉状態の各項目のうち、全ての項目について装置の使用
状況を検出するとともに、この検出結果に応じて給気ユ
ニットからの給気量と排気ユニットからの排気量とを可
変しながら被洗浄物を洗浄するようにしたものである。
成するためになされたもので、被洗浄物が配置されるチ
ャンバと、このチャンバの上方から清浄空気を供給する
給気ユニットと、チャンバの下方で当該チャンバ内の空
気を排気する排気ユニットとを備え、給気ユニットによ
り供給された清浄空気がチャンバを通して排気ユニット
により外部に排気される洗浄装置の給排気制御方法にお
いて、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有
無、洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各
項目のうち、全ての項目について装置の使用状況を検出
するとともに、この検出結果に応じて給気ユニットから
の給気量と排気ユニットからの排気量とを可変するよう
にしたものである。また本発明は、洗浄物が配置される
チャンバと、このチャンバの上方から清浄空気を供給す
る給気ユニットと、チャンバの下方で当該チャンバ内の
空気を排気する排気ユニットとを備え、給気ユニットに
より供給された清浄空気がチャンバを通して排気ユニッ
トにより外部に排気される洗浄装置を用いた被洗浄物の
洗浄方法において、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽で
の薬液の有無、洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開
閉状態の各項目のうち、全ての項目について装置の使用
状況を検出するとともに、この検出結果に応じて給気ユ
ニットからの給気量と排気ユニットからの排気量とを可
変しながら被洗浄物を洗浄するようにしたものである。
【０００６】
【作用】本発明の洗浄装置の給排気制御方法において
は、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、
洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各項目
のうち、全ての項目について装置の使用状況を検出する
とともに、この検出結果に応じて給気ユニットからの給
気量と排気ユニットからの排気量とを可変することによ
り、給気ユニット及び排気ユニットによる給排気バラン
スを装置の使用状況に応じて適切に制御することが可能
となる。また本発明の被洗浄物の洗浄方法においては、
洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、洗浄
槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各項目のう
ち、全ての項目について装置の使用状況を検出するとと
もに、この検出結果に応じて給気ユニットからの給気量
と排気ユニットからの排気量とを可変しながら被洗浄物
を洗浄することにより、給気ユニット及び排気ユニット
による給排気バランスを装置の使用状況に応じて適切に
制御しながら被洗浄物を洗浄することが可能となる。
は、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、
洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各項目
のうち、全ての項目について装置の使用状況を検出する
とともに、この検出結果に応じて給気ユニットからの給
気量と排気ユニットからの排気量とを可変することによ
り、給気ユニット及び排気ユニットによる給排気バラン
スを装置の使用状況に応じて適切に制御することが可能
となる。また本発明の被洗浄物の洗浄方法においては、
洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、洗浄
槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各項目のう
ち、全ての項目について装置の使用状況を検出するとと
もに、この検出結果に応じて給気ユニットからの給気量
と排気ユニットからの排気量とを可変しながら被洗浄物
を洗浄することにより、給気ユニット及び排気ユニット
による給排気バランスを装置の使用状況に応じて適切に
制御しながら被洗浄物を洗浄することが可能となる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明に係わる洗浄装置の一例を示
す側断面図であり、図２はその全体斜視図である。ま
ず、図示した洗浄装置１の構成について説明すると、こ
の装置は例えば図２に示すように４つのステーションか
ら成り立っており、ウエハキャリア２に収納された被洗
浄物であるウエハは搬送ロボット３によって各ステーシ
ョンに搬送されるようになっている。搬送ロボット３の
アーム４にはキャリアチャック５が取り付けられてお
り、このキャリアチャック５に上述のウエハキャリア２
が保持される。
に説明する。図１は本発明に係わる洗浄装置の一例を示
す側断面図であり、図２はその全体斜視図である。ま
ず、図示した洗浄装置１の構成について説明すると、こ
の装置は例えば図２に示すように４つのステーションか
ら成り立っており、ウエハキャリア２に収納された被洗
浄物であるウエハは搬送ロボット３によって各ステーシ
ョンに搬送されるようになっている。搬送ロボット３の
アーム４にはキャリアチャック５が取り付けられてお
り、このキャリアチャック５に上述のウエハキャリア２
が保持される。
【０００８】また、洗浄装置１の内部にはチャンバ６が
設けられており、このチャンバ６内に、搬送ロボット３
によって搬送されたウエハ（不図示）が配置される。チ
ャンバ６の上方には給気ユニット７が設置されている。
この給気ユニット７は高性能フィルタ８と送風機９とか
らなるもので、送風機９の回転によって高性能フィルタ
８からチャンバ６内に清浄空気が吹き出される。一方、
チャンバ６の下方には排気ユニット１０が設置されてい
る。この排気ユニット１０はダクト１１とダンパ１２と
からなるもので、チャンバ６内の空気を装置の外部に排
気するためのものである。
設けられており、このチャンバ６内に、搬送ロボット３
によって搬送されたウエハ（不図示）が配置される。チ
ャンバ６の上方には給気ユニット７が設置されている。
この給気ユニット７は高性能フィルタ８と送風機９とか
らなるもので、送風機９の回転によって高性能フィルタ
８からチャンバ６内に清浄空気が吹き出される。一方、
チャンバ６の下方には排気ユニット１０が設置されてい
る。この排気ユニット１０はダクト１１とダンパ１２と
からなるもので、チャンバ６内の空気を装置の外部に排
気するためのものである。
【０００９】さらに洗浄装置１の前面には作業窓１３が
設けられており、この作業窓１３を通して作業者がチャ
ンバ６内で所定の作業を行えるようになっている。この
作業窓１３はスライド式になっており、作業を行う必要
があるとき以外は閉じられている。加えて、チャンバ６
の下部には洗浄槽１４が設置されており、しかも洗浄槽
１４の上端開口部には開閉自在な槽蓋１５が取り付けら
れている。こうして設置された洗浄槽１４の中には、被
洗浄物であるウエハを洗浄するための薬液（不図示）が
貯溜されるようになっている。
設けられており、この作業窓１３を通して作業者がチャ
ンバ６内で所定の作業を行えるようになっている。この
作業窓１３はスライド式になっており、作業を行う必要
があるとき以外は閉じられている。加えて、チャンバ６
の下部には洗浄槽１４が設置されており、しかも洗浄槽
１４の上端開口部には開閉自在な槽蓋１５が取り付けら
れている。こうして設置された洗浄槽１４の中には、被
洗浄物であるウエハを洗浄するための薬液（不図示）が
貯溜されるようになっている。
【００１０】このような構成からなる洗浄装置１におい
ては、給気ユニット７から給気された清浄空気が図中矢
印で示すようにチャンバ６内を通して排気ユニット９か
ら外部に排気され、これによりチャンバ６内の清浄度が
保持される。
ては、給気ユニット７から給気された清浄空気が図中矢
印で示すようにチャンバ６内を通して排気ユニット９か
ら外部に排気され、これによりチャンバ６内の清浄度が
保持される。
【００１１】ここで、本実施例で挙げた洗浄装置１にお
いては、送風機９を回転させるための駆動モータにイン
バータを使用し、これによって送風機９の回転速度を無
段階に調整可能としている。因みに、本実施例では、送
風機９の回転速度を３段階に設定し、給気ユニット７か
らの給気を強風、中風、弱風の何れかに切替えられるよ
うにしている。さらに洗浄装置１においては、ダクト１
１からの排気量をダンパ１２の開放度合いによって調整
可能としている。ダンパ１２には駆動用のモータが取り
付けられており、このモータの駆動量を基にダンパ１１
の開放度合いを無段階に調整可能としており、本実施例
では全開、半開の二段階に切替えられるようにしてい
る。
いては、送風機９を回転させるための駆動モータにイン
バータを使用し、これによって送風機９の回転速度を無
段階に調整可能としている。因みに、本実施例では、送
風機９の回転速度を３段階に設定し、給気ユニット７か
らの給気を強風、中風、弱風の何れかに切替えられるよ
うにしている。さらに洗浄装置１においては、ダクト１
１からの排気量をダンパ１２の開放度合いによって調整
可能としている。ダンパ１２には駆動用のモータが取り
付けられており、このモータの駆動量を基にダンパ１１
の開放度合いを無段階に調整可能としており、本実施例
では全開、半開の二段階に切替えられるようにしてい
る。
【００１２】ここで洗浄装置１の制御系について図３の
ブロック図を基に説明する。まず、制御部２０は例えば
演算装置とシーケンサとからなるもので、この制御部２
０には各種センサ２１から洗浄装置１の使用状況が信号
として入力される。本実施例では、洗浄装置１の使用状
況として、作業窓１３の開閉状態、洗浄槽１４内の薬液
の有無、洗浄槽１４における槽蓋１５の開閉状態の３項
目が設定されており、各項目毎の使用状況が各種センサ
２１によって検出される。
ブロック図を基に説明する。まず、制御部２０は例えば
演算装置とシーケンサとからなるもので、この制御部２
０には各種センサ２１から洗浄装置１の使用状況が信号
として入力される。本実施例では、洗浄装置１の使用状
況として、作業窓１３の開閉状態、洗浄槽１４内の薬液
の有無、洗浄槽１４における槽蓋１５の開閉状態の３項
目が設定されており、各項目毎の使用状況が各種センサ
２１によって検出される。
【００１３】制御部２０では、各種センサ２１からの入
力信号を基に所定の判定を行い、その判定結果に従って
給気ユニット駆動部２２と排気ユニット駆動部２３とに
それぞれ操作信号を送る。この操作信号を受けて給気ユ
ニット駆動部２２は給気ユニット７での送風機９の回転
速度を制御するとともに排気ユニット駆動部２２は排気
ユニット１０におけるダンパ１２の開放度合いを制御す
る。
力信号を基に所定の判定を行い、その判定結果に従って
給気ユニット駆動部２２と排気ユニット駆動部２３とに
それぞれ操作信号を送る。この操作信号を受けて給気ユ
ニット駆動部２２は給気ユニット７での送風機９の回転
速度を制御するとともに排気ユニット駆動部２２は排気
ユニット１０におけるダンパ１２の開放度合いを制御す
る。
【００１４】続いて、本発明に係わる洗浄装置１の給排
気制御方法の具体例を表１に基づいて説明する。
気制御方法の具体例を表１に基づいて説明する。
【表１】 まず、Ｎｏ．１の使用状況、すなわち薬液（有）、槽蓋
（開）、作業窓（閉）の状況下では、薬液ミストの沸き
上がりが激しいことから、給気ユニット７での給気は送
風機９により強風で行われ、排気ユニット１０での排気
はダンパ１２の駆動により全開で行われる。これにより
洗浄槽１４からの薬液ミストの沸き上がりが気流によっ
て抑制され、同時にチャンバ６内の気流が層流状態とな
って清浄度が維持される。
（開）、作業窓（閉）の状況下では、薬液ミストの沸き
上がりが激しいことから、給気ユニット７での給気は送
風機９により強風で行われ、排気ユニット１０での排気
はダンパ１２の駆動により全開で行われる。これにより
洗浄槽１４からの薬液ミストの沸き上がりが気流によっ
て抑制され、同時にチャンバ６内の気流が層流状態とな
って清浄度が維持される。
【００１５】次に、Ｎｏ．２の使用状況、すなわち薬液
（有）、槽蓋（閉）、作業窓（閉）の状況下では、洗浄
槽１４の槽蓋１５が閉じていることから薬液ミストの影
響が小さいので、給気ユニット７からの給気を中風に切
り換えてもチャンバ６内の気流が層流状態となって清浄
度が維持される。
（有）、槽蓋（閉）、作業窓（閉）の状況下では、洗浄
槽１４の槽蓋１５が閉じていることから薬液ミストの影
響が小さいので、給気ユニット７からの給気を中風に切
り換えてもチャンバ６内の気流が層流状態となって清浄
度が維持される。
【００１６】続いて、Ｎｏ．３の使用状況、すなわち薬
液（有）、槽蓋（開又は閉）、作業窓（開）の状況下で
は、給気ユニット７からの給気を弱風に設定して排気ユ
ニット１０からの排気を全開にする。このように設定す
れば、槽蓋１５の開閉にかかわらずチャンバ６内の空気
は排気ユニット１０側に吸い込まれるため、薬液ミスト
が作業窓１３を通して作業者側に吹き出される危険がな
く、そのうえチャンバ６内の気流が層流状態となって清
浄度が維持される。
液（有）、槽蓋（開又は閉）、作業窓（開）の状況下で
は、給気ユニット７からの給気を弱風に設定して排気ユ
ニット１０からの排気を全開にする。このように設定す
れば、槽蓋１５の開閉にかかわらずチャンバ６内の空気
は排気ユニット１０側に吸い込まれるため、薬液ミスト
が作業窓１３を通して作業者側に吹き出される危険がな
く、そのうえチャンバ６内の気流が層流状態となって清
浄度が維持される。
【００１７】次いで、Ｎｏ．４の使用状況、すなわち薬
液（無）、槽蓋（開又は閉）、作業窓（開）の状況下、
並びにＮｏ．５の使用状況、すなわち薬液（無）、槽蓋
（閉又は閉）、作業窓（閉）の状況下では、薬液ミスト
の影響が全くないので、給気ユニット７での給気を弱風
にして排気ユニット１０からの排気を半開にしても、チ
ャンバ６内の気流が層流状態となって清浄度が維持され
る。
液（無）、槽蓋（開又は閉）、作業窓（開）の状況下、
並びにＮｏ．５の使用状況、すなわち薬液（無）、槽蓋
（閉又は閉）、作業窓（閉）の状況下では、薬液ミスト
の影響が全くないので、給気ユニット７での給気を弱風
にして排気ユニット１０からの排気を半開にしても、チ
ャンバ６内の気流が層流状態となって清浄度が維持され
る。
【００１８】このように本実施例の給排気制御方法にお
いては、洗浄装置１の使用状況（洗浄槽１４での薬液の
有無、洗浄槽１４の槽蓋１５の開閉状態、作業窓１３の
開閉状態）を各種センサ２１を用いて検出し、この検出
結果に応じて給気ユニット７からの給気量と排気ユニッ
ト１０からの排気量とを可変することにより、給気ユニ
ット及び排気ユニットによる給排気バランスを装置の使
用状況に応じて適切に制御することが可能となる。これ
により、必要最小限の給排気量をもってチャンバ６内の
気流を層流状態とし、その清浄度を維持することができ
る。また、かかる洗浄装置１を用いた被洗浄物の洗浄方
法において、洗浄装置１の使用状況（洗浄槽１４での薬
液の有無、洗浄槽１４の槽蓋１５の開閉状態、作業窓１
３の開閉状態）を各種センサ２１を用いて検出し、この
検出結果に応じて給気ユニット７からの給気量と排気ユ
ニット１０からの排気量とを可変しながら被洗浄物を洗
浄することにより、給気ユニット及び排気ユニットによ
る給排気バランスを装置の使用状況に応じて適切に制御
しながら被洗浄物を洗浄することが可能となる。これに
より、必要最小限の給排気量をもってチャンバ６内の気
流を層流状態とし、かつその清浄度を維持しながら被洗
浄物を洗浄することができる。
いては、洗浄装置１の使用状況（洗浄槽１４での薬液の
有無、洗浄槽１４の槽蓋１５の開閉状態、作業窓１３の
開閉状態）を各種センサ２１を用いて検出し、この検出
結果に応じて給気ユニット７からの給気量と排気ユニッ
ト１０からの排気量とを可変することにより、給気ユニ
ット及び排気ユニットによる給排気バランスを装置の使
用状況に応じて適切に制御することが可能となる。これ
により、必要最小限の給排気量をもってチャンバ６内の
気流を層流状態とし、その清浄度を維持することができ
る。また、かかる洗浄装置１を用いた被洗浄物の洗浄方
法において、洗浄装置１の使用状況（洗浄槽１４での薬
液の有無、洗浄槽１４の槽蓋１５の開閉状態、作業窓１
３の開閉状態）を各種センサ２１を用いて検出し、この
検出結果に応じて給気ユニット７からの給気量と排気ユ
ニット１０からの排気量とを可変しながら被洗浄物を洗
浄することにより、給気ユニット及び排気ユニットによ
る給排気バランスを装置の使用状況に応じて適切に制御
しながら被洗浄物を洗浄することが可能となる。これに
より、必要最小限の給排気量をもってチャンバ６内の気
流を層流状態とし、かつその清浄度を維持しながら被洗
浄物を洗浄することができる。
【００１９】なお、上記実施例の説明では、給気ユニッ
ト７からの給気量を３段階に、また排気ユニット１０か
らの排気量を２段階に切替えられるようにしたが、本発
明はこれに限定されることなく、上記給気量及び排気量
をさらにきめ細かく切替えられるようにすれば、より好
適な給排気バランスを実現することができる。また、洗
浄装置１の使用状況についても、上述した項目に限ら
ず、例えば薬液の温度などを新たな項目に加え、それぞ
れの状況に対応して給排気量を可変するようにしてもよ
い。
ト７からの給気量を３段階に、また排気ユニット１０か
らの排気量を２段階に切替えられるようにしたが、本発
明はこれに限定されることなく、上記給気量及び排気量
をさらにきめ細かく切替えられるようにすれば、より好
適な給排気バランスを実現することができる。また、洗
浄装置１の使用状況についても、上述した項目に限ら
ず、例えば薬液の温度などを新たな項目に加え、それぞ
れの状況に対応して給排気量を可変するようにしてもよ
い。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、洗浄
槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各項目のう
ち、全ての項目について装置の使用状況を検出するとと
もに、この検出結果に応じて給気ユニットからの給気量
と排気ユニットからの排気量とを可変することにより、
給気ユニット及び排気ユニットによる給排気バランスを
装置の使用状況に応じて適切に制御することが可能とな
る。これにより、必要最小限の給排気量をもってチャン
バ内の気流を層流状態とし、その清浄度を維持すること
ができる。また、かかる洗浄装置を用いた被洗浄物の洗
浄方法において、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での
薬液の有無、洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉
状態の各項目のうち、全ての項目について装置の使用状
況を検出するとともに、この検出結果に応じて給気ユニ
ットからの給気量と排気ユニットからの排気量とを可変
しながら被洗浄物を洗浄することにより、給気ユニット
及び排気ユニットによる給排気バランスを装置の使用状
況に応じて適切に制御しながら被洗浄物を洗浄すること
が可能となる。これにより、必要最小限の給排気量をも
ってチャンバ内の気流を層流状態とし、かつその清浄度
を維持しながら被洗浄物を洗浄することができる。その
結果、作業窓からの薬液ミストの吹き出しが阻止されて
作業者の安全が確保される。また、チャンバ内の気流が
層流状態に維持されることから清浄度の向上が期待でき
る。さらに、必要最小限の給排気量をもってチャンバ内
の清浄度を維持できることからエネルギーの無駄が解消
される。
洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、洗浄
槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各項目のう
ち、全ての項目について装置の使用状況を検出するとと
もに、この検出結果に応じて給気ユニットからの給気量
と排気ユニットからの排気量とを可変することにより、
給気ユニット及び排気ユニットによる給排気バランスを
装置の使用状況に応じて適切に制御することが可能とな
る。これにより、必要最小限の給排気量をもってチャン
バ内の気流を層流状態とし、その清浄度を維持すること
ができる。また、かかる洗浄装置を用いた被洗浄物の洗
浄方法において、洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での
薬液の有無、洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉
状態の各項目のうち、全ての項目について装置の使用状
況を検出するとともに、この検出結果に応じて給気ユニ
ットからの給気量と排気ユニットからの排気量とを可変
しながら被洗浄物を洗浄することにより、給気ユニット
及び排気ユニットによる給排気バランスを装置の使用状
況に応じて適切に制御しながら被洗浄物を洗浄すること
が可能となる。これにより、必要最小限の給排気量をも
ってチャンバ内の気流を層流状態とし、かつその清浄度
を維持しながら被洗浄物を洗浄することができる。その
結果、作業窓からの薬液ミストの吹き出しが阻止されて
作業者の安全が確保される。また、チャンバ内の気流が
層流状態に維持されることから清浄度の向上が期待でき
る。さらに、必要最小限の給排気量をもってチャンバ内
の清浄度を維持できることからエネルギーの無駄が解消
される。
【図１】本発明に係わる洗浄装置の一例を示す側断面図
である。
である。
【図２】洗浄装置の全体斜視図である。
【図３】制御系のブロック図である。
【符号の説明】１ 洗浄装置６ チャンバ７ 給気ユニ
ット１０ 排気ユニット
ット１０ 排気ユニット
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−202534（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−265519（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−323824（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−55190（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−54924（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−116131（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 648
Claims (2)
- 【請求項１】 被洗浄物が配置されるチャンバと、前記
チャンバの上方から清浄空気を供給する給気ユニット
と、前記チャンバの下方で当該チャンバ内の空気を排気
する排気ユニットとを備え、前記給気ユニットにより供
給された清浄空気が前記チャンバを通して前記排気ユニ
ットにより外部に排気される洗浄装置の給排気制御方法
において、 前記洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、
前記洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各
項目のうち、全ての項目について装置の使用状況を検出
するとともに、この検出結果に応じて前記給気ユニット
からの給気量と前記排気ユニットからの排気量とを可変
することを特徴とする洗浄装置の給排気制御方法。 - 【請求項２】 被洗浄物が配置されるチャンバと、前記
チャンバの上方から清浄空気を供給する給気ユニット
と、前記チャンバの下方で当該チャンバ内の空気を排気
する排気ユニットとを備え、前記給気ユニットにより供
給された清浄空気が前記チャンバを通して前記排気ユニ
ットにより外部に排気される洗浄装置を用いた被洗浄物
の洗浄方法において、 前記洗浄装置の使用状況を示す洗浄槽での薬液の有無、
前記洗浄槽の槽蓋の開閉状態及び作業窓の開閉状態の各
項目のうち、全ての項目について装置の使用状況を検出
するとともに、この検出結果に応じて前記給気ユニット
からの給気量と前記排気ユニットからの排気量とを可変
しながら前記被洗浄物を洗浄することを特徴とする被洗
浄物の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26302292A JP3239472B2 (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 洗浄装置の給排気制御方法及び被洗浄物の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26302292A JP3239472B2 (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 洗浄装置の給排気制御方法及び被洗浄物の洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684876A JPH0684876A (ja) | 1994-03-25 |
| JP3239472B2 true JP3239472B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=17383798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26302292A Expired - Fee Related JP3239472B2 (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 洗浄装置の給排気制御方法及び被洗浄物の洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3239472B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100801660B1 (ko) * | 2006-09-12 | 2008-02-05 | 세메스 주식회사 | 반도체 제조 설비의 압력 밸런스를 조절하기 위한 압력 제어 시스템 및 그 방법 |
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| KR102127564B1 (ko) * | 2018-06-08 | 2020-06-26 | 에스케이실트론 주식회사 | 웨이퍼 세정장치 |
-
1992
- 1992-09-04 JP JP26302292A patent/JP3239472B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684876A (ja) | 1994-03-25 |
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